JP2535275B2 - 冷却システム - Google Patents
冷却システムInfo
- Publication number
- JP2535275B2 JP2535275B2 JP3318994A JP31899491A JP2535275B2 JP 2535275 B2 JP2535275 B2 JP 2535275B2 JP 3318994 A JP3318994 A JP 3318994A JP 31899491 A JP31899491 A JP 31899491A JP 2535275 B2 JP2535275 B2 JP 2535275B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- cooling
- cooling gas
- gas
- cooling system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Pipe Accessories (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、管用継手を用いた冷却
システムに関する。
システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】ホットチャック等の冷却対象を冷却する
ときに、炭酸ガス等の冷却ガスを用いる場合がある。通
常、ボンベ等から供給される冷却ガスは、ニードルバル
ブ等でその流量を絞った後、冷却対象に供給される。
ときに、炭酸ガス等の冷却ガスを用いる場合がある。通
常、ボンベ等から供給される冷却ガスは、ニードルバル
ブ等でその流量を絞った後、冷却対象に供給される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方法では、冷却ガスによりニードルバルブ等の流路
が凍結し（流路の屈曲部等で水分が凍結するものと推定
される。）、冷却対象に安定して冷却ガスを供給できな
いという問題点があった。
来の方法では、冷却ガスによりニードルバルブ等の流路
が凍結し（流路の屈曲部等で水分が凍結するものと推定
される。）、冷却対象に安定して冷却ガスを供給できな
いという問題点があった。
【０００４】本発明の目的は、冷却ガスを安定して供給
することが可能な冷却システムを提供することである。
することが可能な冷却システムを提供することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係わる冷却シス
テムは、冷却ガスを供給する第１配管と、上記第１配管
に上記冷却ガスの流入側が接続され、管の内径を上記冷
却ガスの流入側よりも上記冷却ガスの流出側の方を細く
するとともに当該管の流路を略直線状にした管用継手
と、上記管の流出側に接続された第２配管と、上記第２
配管から供給される上記冷却ガスで冷却される冷却対象
とを有する。
テムは、冷却ガスを供給する第１配管と、上記第１配管
に上記冷却ガスの流入側が接続され、管の内径を上記冷
却ガスの流入側よりも上記冷却ガスの流出側の方を細く
するとともに当該管の流路を略直線状にした管用継手
と、上記管の流出側に接続された第２配管と、上記第２
配管から供給される上記冷却ガスで冷却される冷却対象
とを有する。
【０００６】
【実施例】図１は本発明における管用継手の一例を示し
た平面図である。管用継手１１は、冷却ガスの流入側の
管１２ａの内径よりも冷却ガスの流出側の管１２ｂの内
径の方を細くする（流入側よりも流出側の方の流路を細
くする）とともに、管１２ａおよび１２ｂの流路を略直
線状にし、冷却ガスの流量を絞るものである。管１２ｂ
の内径は０．１〜２ｍｍ程度が好ましく、管１２ａの内
径は管１２ｂの内径の数倍〜数１０倍程度が好ましい。
管１２ａおよび１２ｂの合計の長さは数１０ｍｍ程度が
好ましい。図１では管の内径を２段階としているが、３
段階以上でもよく、内径が流入側から流出側へ向って連
続的に細くなるようにしてもよい。この管用継手１１
は、ガスの流入側ネジ１３ａにより第１配管２５に、流
出側ネジ１３ｂにより第２配管２６に、それぞれ接続さ
れる（図２参照）。
た平面図である。管用継手１１は、冷却ガスの流入側の
管１２ａの内径よりも冷却ガスの流出側の管１２ｂの内
径の方を細くする（流入側よりも流出側の方の流路を細
くする）とともに、管１２ａおよび１２ｂの流路を略直
線状にし、冷却ガスの流量を絞るものである。管１２ｂ
の内径は０．１〜２ｍｍ程度が好ましく、管１２ａの内
径は管１２ｂの内径の数倍〜数１０倍程度が好ましい。
管１２ａおよび１２ｂの合計の長さは数１０ｍｍ程度が
好ましい。図１では管の内径を２段階としているが、３
段階以上でもよく、内径が流入側から流出側へ向って連
続的に細くなるようにしてもよい。この管用継手１１
は、ガスの流入側ネジ１３ａにより第１配管２５に、流
出側ネジ１３ｂにより第２配管２６に、それぞれ接続さ
れる（図２参照）。
【０００７】図２は図１の管用継手１１を用いた冷却シ
ステムを示した説明図である。ボンベ２１は、炭酸ガス
等の冷却ガスを蓄えるものであり（ただし、通常は液体
状態で蓄えられている。）、サイフォンのないものが好
ましい。バルブ２２は、第１配管２４および２５の途中
に設けてあり、開閉動作のみを行うものが好ましい。な
お、ボンベ自体のバルブを流用すれば、バルブ２２は必
ずしも設ける必要はない。冷却対象となるホットチャッ
ク２３は、その上部に半導体基板等の測定用の試料を載
せ、試料を加熱および冷却するものである。このホット
チャック２３の内部には冷却ガスの流路が形成され、第
２配管２６から供給される冷却ガスはこの流路を通って
排気される。
ステムを示した説明図である。ボンベ２１は、炭酸ガス
等の冷却ガスを蓄えるものであり（ただし、通常は液体
状態で蓄えられている。）、サイフォンのないものが好
ましい。バルブ２２は、第１配管２４および２５の途中
に設けてあり、開閉動作のみを行うものが好ましい。な
お、ボンベ自体のバルブを流用すれば、バルブ２２は必
ずしも設ける必要はない。冷却対象となるホットチャッ
ク２３は、その上部に半導体基板等の測定用の試料を載
せ、試料を加熱および冷却するものである。このホット
チャック２３の内部には冷却ガスの流路が形成され、第
２配管２６から供給される冷却ガスはこの流路を通って
排気される。
【０００８】図２の冷却システムでは、バルブ２２の開
閉動作のみにより、ホットチャックへの冷却ガスの供給
が制御される。そして、冷却ガスは管用継手１１によっ
て流量が絞られることになる。なお、ホットチャック２
３等の冷却対象を冷却する場合には、冷却ガスの流量を
厳密に調整する必要はない。したがって、冷却対象の冷
却スピード等に合わせて管用継手１１の管１２ａおよび
１２ｂを形成しておけば、ニードルバルブ等の可変バル
ブを用いなる必要はなく、図２のような冷却システムに
よって十分に冷却機能を発揮することができる。
閉動作のみにより、ホットチャックへの冷却ガスの供給
が制御される。そして、冷却ガスは管用継手１１によっ
て流量が絞られることになる。なお、ホットチャック２
３等の冷却対象を冷却する場合には、冷却ガスの流量を
厳密に調整する必要はない。したがって、冷却対象の冷
却スピード等に合わせて管用継手１１の管１２ａおよび
１２ｂを形成しておけば、ニードルバルブ等の可変バル
ブを用いなる必要はなく、図２のような冷却システムに
よって十分に冷却機能を発揮することができる。
【０００９】つぎに、図１の管用継手１１を用いて図２
の冷却システムを構成したときの具体的な効果について
述べる。まず、本願発明者は、図２の冷却システムの管
用継手１１およびバルブ２２に代えて、ニードルバルブ
を用いて実験を行った。その結果、ニードルバルブを所
定量に絞って炭酸ガス（冷却ガス）を流した場合、ニー
ドルバルブの流路が凍結するために、１５分間で数回ニ
ードルバルブを調整する必要があった。一方、図２の冷
却システムを用いた場合には、炭酸ガスを３０分間流し
ても、ホットチャック２３には常に安定して炭酸ガスを
供給することができた。
の冷却システムを構成したときの具体的な効果について
述べる。まず、本願発明者は、図２の冷却システムの管
用継手１１およびバルブ２２に代えて、ニードルバルブ
を用いて実験を行った。その結果、ニードルバルブを所
定量に絞って炭酸ガス（冷却ガス）を流した場合、ニー
ドルバルブの流路が凍結するために、１５分間で数回ニ
ードルバルブを調整する必要があった。一方、図２の冷
却システムを用いた場合には、炭酸ガスを３０分間流し
ても、ホットチャック２３には常に安定して炭酸ガスを
供給することができた。
【００１０】
【発明の効果】本発明における冷却システムでは、管用
継手の管の内径をガスの流入側よりもガスの流出側の方
を細くするとともに当該管の流路を略直線状にしたの
で、ガスの流入側に接続された第１配管からガスの流出
側に接続された第２配管へ冷却ガスを安定して供給する
ことが可能となり、優れた冷却システムを構成すること
ができる。
継手の管の内径をガスの流入側よりもガスの流出側の方
を細くするとともに当該管の流路を略直線状にしたの
で、ガスの流入側に接続された第１配管からガスの流出
側に接続された第２配管へ冷却ガスを安定して供給する
ことが可能となり、優れた冷却システムを構成すること
ができる。
【図１】本発明の冷却システムに用いる管用継手を示し
た平面図である。
た平面図である。
【図２】図１の管用継手を用いた冷却システムを示した
説明図である。
説明図である。
１１……管用継手 １２ａ、１２ｂ……管 ２３……ホットチャック（冷却対象） ２４、２５……第１配管 ２６……第２配管
フロントページの続き (72)発明者 吉澤 邦雄 東京都三鷹市牟礼四丁目19番５号 ルフ ト株式会社内 (56)参考文献 特開 昭59−187192（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】 冷却ガスを供給する第１配管と、 上記第１配管に上記冷却ガスの流入側が接続され、管の
内径を上記冷却ガスの流入側よりも上記冷却ガスの流出
側の方を細くするとともに当該管の流路を略直線状にし
た管用継手と、 上記管の流出側に接続された第２配管と、 上記第２配管から供給される上記冷却ガスで冷却される
冷却対象とを有する冷却システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3318994A JP2535275B2 (ja) | 1991-12-03 | 1991-12-03 | 冷却システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3318994A JP2535275B2 (ja) | 1991-12-03 | 1991-12-03 | 冷却システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05157191A JPH05157191A (ja) | 1993-06-22 |
| JP2535275B2 true JP2535275B2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=18105314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3318994A Expired - Lifetime JP2535275B2 (ja) | 1991-12-03 | 1991-12-03 | 冷却システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2535275B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4526593A (en) * | 1983-04-04 | 1985-07-02 | International Business Machines Corporation | Restrictor plug device with filter for a gas supply system |
-
1991
- 1991-12-03 JP JP3318994A patent/JP2535275B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05157191A (ja) | 1993-06-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960321 |