JP2532229B2 - Transmission line parameter measuring device - Google Patents

Transmission line parameter measuring device

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JP2532229B2
JP2532229B2 JP62025253A JP2525387A JP2532229B2 JP 2532229 B2 JP2532229 B2 JP 2532229B2 JP 62025253 A JP62025253 A JP 62025253A JP 2525387 A JP2525387 A JP 2525387A JP 2532229 B2 JP2532229 B2 JP 2532229B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、測定用入力信号と反射信号をサンプリング
し、デジタル化した後信号処理を行い、伝送路パラメー
タを高精度で求めうるようにした伝送路パラメータ測定
装置に関する。
Description: TECHNICAL FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a transmission in which a measurement input signal and a reflection signal are sampled, digitized, and then subjected to signal processing so that transmission path parameters can be obtained with high accuracy. The present invention relates to a road parameter measuring device.

〔従来技術とその問題点〕[Prior art and its problems]

多数の端子を有する集積回路の試験等において、多数
の信号を既知の位相差(時間差)でそれらの端子に入力
せしめることが非常に重要である。そのため、従来より
信号源と被測定集積回路の端子間に遅延回路を設け、そ
れらを調整することにより各端子における信号の位相を
調整している。
In testing an integrated circuit having a large number of terminals, it is very important to input a large number of signals to those terminals with a known phase difference (time difference). Therefore, conventionally, a delay circuit is provided between the terminal of the signal source and the terminal of the integrated circuit under test, and by adjusting them, the phase of the signal at each terminal is adjusted.

各端子における信号の位相の絶対値よりも、それら信
号間の位相差(遅延差)がより重要である。まず時間領
域反射率計を構成して信号源と各端子間の遅延を測定
し、それらの遅延差を最小にするように調整する。その
ため、従来は第2図に示すような伝搬遅延時間測定装置
により遅延を求めていた。
The phase difference (delay difference) between the signals is more important than the absolute value of the phase of the signal at each terminal. First, a time domain reflectometer is constructed and the delay between the signal source and each terminal is measured and adjusted so as to minimize the delay difference between them. Therefore, conventionally, the delay has been calculated by a propagation delay time measuring device as shown in FIG.

第2図の(a)において、端子1,高速バッファ3,終端
抵抗4を介した後ステップ信号がスイッチ6と抵抗5を
介して時間間隔カウンタ10のストップ入力端子8とに導
入される。ステップ信号はさらにスイッチ6を介して伝
送路67、被測定素子(集積回路)のソケット端子7に伝
達される。端子1にステップが印加される時刻より一定
時間前に、端子2よりカウンタ10のスタート入力端子に
パルスを印加しその時刻t0にカウンタの計数を開始す
る。
In FIG. 2A, a post-step signal is introduced to the stop input terminal 8 of the time interval counter 10 via the switch 1, the resistor 5, and the terminal 1, the high speed buffer 3, and the terminating resistor 4. The step signal is further transmitted to the transmission line 67 and the socket terminal 7 of the device under test (integrated circuit) via the switch 6. A pulse is applied to the start input terminal of the counter 10 from the terminal 2 at a fixed time before the step is applied to the terminal 1, and the counter starts counting at the time t 0 .

第2図の(b)と(c)は、それぞれスイッチ6がオ
フ及びオンの場合におけるストップ入力端子8における
電圧の時間変化を示したものである。
FIGS. 2B and 2C show changes with time in the voltage at the stop input terminal 8 when the switch 6 is off and on, respectively.

第2図の(b)では、時刻t11近傍においてステップ
信号が立ち上り、時刻t12近傍でスイッチ6からの反射
信号が立ち上っている。従って時間間隔t12−t11はスイ
ッチ6とサンプリング点(抵抗5とスイッチ6への伝送
路の接続点)sp間の伝搬遅延時間の2倍となる。
In FIG. 2B, the step signal rises near time t 11 and the reflection signal from the switch 6 rises near time t 12 . Therefore, the time interval t 12 -t 11 is twice the propagation delay time between the switch 6 and the sampling point (connection point of the resistor 5 and the transmission line to the switch 6) sp.

第2図の(c)では時間間隔t22−t21が伝送路67の伝
搬遅延時間の2倍だけ第2図の(b)の場合より伸びて
いる。
Figure 2 (c), the time interval t 22 -t 21 are extended from the case of (b) of FIG. 2 by twice the propagation delay time of the transmission line 67.

前述のようにt11−t0=t21−t0と選れているので、伝
送路67の伝搬遅延時間t67は次式で求まる。
Since t 11 −t 0 = t 21 −t 0 is selected as described above, the propagation delay time t 67 of the transmission line 67 is obtained by the following equation.

2t67=(t22−t21)−(t12−t11)=(t22−t21+(t
21−t0))−(t12−t11+(t11−t0))=(t22−t0
−(t12−t0) 従って、カウンタ10の計数を時刻t0(任意)に開始
し、反射信号の開始時刻t22及びt12でそれぞれ終了する
ことによりt22−t0とt12−t0が求まり、従って、t67
求まる。
2t 67 = (t 22 −t 21 ) − (t 12 −t 11 ) = (t 22 −t 21 + (t
21 −t 0 )) − (t 12 −t 11 + (t 11 −t 0 )) = (t 22 −t 0 )
- (t 12 -t 0) Thus, t 22 -t 0 by start the count in counter 10 at time t 0 (optional), and ends respectively at the start time t 22 and t 12 of the reflected signal and t 12 - t 0 is obtained, and thus t 67 is obtained.

この方法ではいろいろな欠点を生ずる。 This method has various drawbacks.

上述の装置では高速ステップを使用するため、伝送路
の不整合による波形のなまりやリンギングを生じ、カウ
ンタ10のトリガレベル(第2図の(b),(c)におけ
るv12やv22)の設定が困難である。即ち、波形の不要成
分(リンギングやなまりなど)により同一ステップ入力
同一トリガレベルでもカウンタ10の指示値が変化する。
また、ステップの大きさを変えたときはトリガレベルを
どこに設定するかを決めるためにトリガ可能範囲を詳細
にしらべてあるレベル(例えばトリガ可能範囲の中点)
を選択する。この作業は非常にわずらわしく数分を要す
ることもある。
Since the above-mentioned device uses high-speed steps, waveform rounding or ringing occurs due to the mismatch of the transmission line, and the trigger level of the counter 10 (v 12 and v 22 in (b) and (c) of FIG. 2) is reduced. It is difficult to set. That is, the indicated value of the counter 10 changes due to unnecessary components of the waveform (ringing, rounding, etc.) even at the same step input and the same trigger level.
When the step size is changed, the trigger range is detailed to determine where to set the trigger level (for example, the middle point of the trigger range).
Select This process can be very cumbersome and take minutes.

また、ソケット端子のストレー容量の違いによる波形
なまりの補正などは不可能である。
Further, it is impossible to correct the waveform distortion due to the difference in the stray capacity of the socket terminals.

〔発明の目的〕[Object of the Invention]

本発明の目的は、伝送路のステップ応答波形をサンプ
リングした後デジタル化してメモリし、それを信号処理
して上述の欠点を解消することである。
It is an object of the present invention to eliminate the above-mentioned drawbacks by sampling the step response waveform of the transmission line, digitizing it, storing it, and performing signal processing on it.

〔発明の概要〕[Outline of Invention]

本発明の一実施例においては、伝送路に入力されたス
テップ信号とその反射信号は、サンプリングされデジタ
ル化された後信号処理される。サンプリングされた波形
(デジタルデータ)は信号波形を時間軸拡大により表示
したものとなる。
In one embodiment of the present invention, the step signal input to the transmission line and its reflection signal are sampled, digitized, and then processed. The sampled waveform (digital data) is a signal waveform displayed by expanding the time axis.

デジタルデータを処理することによりリンギングの影
響を消去して、ステップ波形の開始時刻をステップ高さ
の相対位置から決定している。反射波の開始時刻も反射
信号と入力ステップ信号との相対関係から定められる。
The influence of ringing is eliminated by processing the digital data, and the start time of the step waveform is determined from the relative position of the step height. The start time of the reflected wave is also determined from the relative relationship between the reflected signal and the input step signal.

さらに、信号の立ち上り波形から、端子容量の推定と
伝搬遅延時間測定に対するその影響の補正をおこなって
いる。
Furthermore, from the rising waveform of the signal, the terminal capacitance is estimated and its influence on the propagation delay time measurement is corrected.

〔発明の実施例〕Example of Invention

第1図は本発明の一実施例の伝送路パラメータ測定装
置のブロック図と観測される信号波形図を示す。第1図
の(a)において第2図の(a)におけると同一の機能
性能を有する部分には同一の参照番号を付してある。第
1図の(a)において、第2図の(a)と異る部分につ
いて以下に説明する。
FIG. 1 shows a block diagram of a transmission line parameter measuring apparatus according to one embodiment of the present invention and a signal waveform diagram observed. In FIG. 1A, parts having the same functional performance as in FIG. 2A are given the same reference numerals. The part of FIG. 1 (a) different from that of FIG. 2 (a) will be described below.

サンプラ11は抵抗5から入力した信号をサンプリング
しデジタイザ12に入力する。デジタル化された信号波形
データはメモリ13に一定期間連続的に蓄積される。計算
/制御部14は、メモリ13にある信号波形データから後述
するように伝送路パラメータを計算する。計算/制御部
14はまた、サンプラ11,デジタイザ12,メモリ13およびそ
の他の周辺装置を制御して周知のデータ収集と計算をお
こなわせる。なお、端子2から入力されたパルスは、サ
ンプラ11のサンプリング操作の同期をとるとともに、そ
の他の装置の同期をとっている。
The sampler 11 samples the signal input from the resistor 5 and inputs it to the digitizer 12. The digitized signal waveform data is continuously stored in the memory 13 for a certain period. The calculation / control unit 14 calculates transmission line parameters from the signal waveform data in the memory 13 as described later. Calculation / control unit
14 also controls the sampler 11, digitizer 12, memory 13 and other peripheral devices to perform well known data collection and calculations. The pulse input from the terminal 2 synchronizes the sampling operation of the sampler 11 and other devices.

本発明の一実施例では、端子1に入力されるステップ
信号はくり返し周波数10MHzの短形波であり、時間分解
能10psでメモリ13に蓄積される波形データは10,000点で
あるが、これはこの発明を限定するものではない。
In one embodiment of the present invention, the step signal input to the terminal 1 is a rectangular wave having a repetition frequency of 10 MHz, and the waveform data stored in the memory 13 with a time resolution of 10 ps is 10,000 points. Is not limited.

なお、第1図の(a)ではサンプリング点spとスイッ
チ6の間に伝送路46が挿入されているが、測定されるべ
きソケット端子71,〜,75とサンプリング点spまでの伝送
路に共通に入るので、遅延時間の差分を調整する用途で
は無視される。スイッチ6は計算/制御部14の指令によ
り、ソケット端子71,〜,75をスイッチ6に結ぶ伝送路67
1,〜,675を順次切り換えて伝搬遅延時間を求める。
Although the transmission line 46 is inserted between the sampling point sp and the switch 6 in FIG. 1A, it is common to the socket terminals 71 to 75 to be measured and the transmission line up to the sampling point sp. Therefore, it is ignored for the purpose of adjusting the difference in delay time. The switch 6 is instructed by the calculation / control unit 14 to transmit a transmission line 67 connecting the socket terminals 71, ..., 75 to the switch 6.
Propagation delay time is obtained by switching 1 to 675 sequentially.

第1図の(b)は、伝送路671,〜,675の一つを測定し
ているときのサンプラ入力波形(およびメモリされた波
形データ)を示している。
FIG. 1B shows a sampler input waveform (and stored waveform data) when measuring one of the transmission lines 671, to 675.

メモリに蓄積された波形データから伝送路パラメータ
を求める計算方法についてつぎに述べる。
The calculation method for obtaining the transmission line parameters from the waveform data stored in the memory will be described below.

(イ) 伝搬遅延時間の測定 1.ステップ信号の立ち上り前の10点の波形データから、
平均電圧としてV0を求め信号波形の基底値とする。
(A) Propagation delay time measurement 1. From the waveform data of 10 points before the rise of the step signal,
V 0 is obtained as the average voltage and is used as the base value of the signal waveform.

2.ステップ信号の立ち上り部のリンギングにおける最初
の極大・極小点の電圧Vu,Vbをそれぞれ数値微分を用い
て求める。VuとVbの平均V3(=(Vu+Vb)/2)を求め
る。
2. The voltages V u and V b at the first maximum and minimum points in the ringing at the rising edge of the step signal are obtained using numerical differentiation. The average V 3 (= (V u + V b ) / 2) of V u and V b is calculated.

3.電圧V0とV3の間の定比で分割する電圧V1(例えばV1
χV3+(1−χ)V0;0<χ<=1)を選び、信号の立ち
上りにステップ印加後はじめてV1を切る時刻t1を求め
る。
3. The voltage V 1 (eg V 1 = which divides by a constant ratio between the voltages V 0 and V 3
χ V 3 + (1-χ) V 0 ; 0 <χ <= 1) is selected, and the time t 1 at which V 1 is turned off for the first time after step application to the rising edge of the signal is obtained.

4.前述矩形波の1周期内に存在する信号波形の最大値Vt
を求める。
4. Maximum value V t of the signal waveform existing within one period of the rectangular wave
Ask for.

5.VtとV3を定比で分ける電圧V2を求め、波形がはじめて
反射信号でV2を切る時刻t2を求める。(例えばV2=yVt
+(1−y)V3;0<y<=1) 6.t2−t1からサンプリング点spと選択されたソケット端
子間の往復の伝搬遅延時間が求められる。
5. Find the voltage V 2 that divides V t and V 3 in a constant ratio, and find the time t 2 at which the waveform first cuts V 2 with the reflected signal. (For example, V 2 = yV t
+ (1-y) V 3 ; 0 <y <= 1) 6.t propagation delay time of reciprocating between 2 -t 1 socket terminal and the selected sampling point sp from is determined.

(ロ) ソケット端子の負荷容量の効果 第1図の(c)は反射信号の立ち上りをより緩慢に誇
張して表わしてある。図においてRで示した部分は約20
0データ点を含む程度であり、次の式によって波形が近
似される。信号波形は時間tの関数V(t)であり、 V(t)=Vt(1−2exp(−(t−ts)/RC)))。
(B) Effect of load capacity of socket terminal In FIG. 1 (c), the rising edge of the reflected signal is exaggerated more slowly. The part indicated by R in the figure is about 20
It includes 0 data points, and the waveform is approximated by the following formula. Signal waveform is a time t of the function V (t), V (t ) = V t (1-2exp (- (t-t s) / RC))).

ここで、Vtは入力ステップ電圧振幅,V(t)は反射信
号波形,Cは伝送路の遠端負荷容量,Rは伝送路の特性イン
ピーダンス(抵抗50Ω),tsは定数である。
Here, V t is the input step voltage amplitude, V (t) is the reflected signal waveform, C is the far end load capacitance of the transmission line, R is the characteristic impedance (resistance 50Ω) of the transmission line, and t s is a constant.

上式から、 ln〔(1−V(t)/Vt)/2〕=ts/(RC)−t/(R
C)。
From the above equation, ln [(1-V (t) / V t) / 2 ] = t s / (RC) -t / (R
C).

ここで、各データ点を時刻hi(i=1,2,…n)とし、
又各hiに対する−ln〔(1−V(hi)/Vt)/2〕をyi
し、ts/(RC)をkとし、w=1/RCとおくと、 yi=−k+whi となる。但しhiの原点は適当に選んでよい。
Here, each data point is time h i (i = 1, 2, ... N),
If −ln [(1-V (h i ) / V t ) / 2] for each h i is y i, and t s / (RC) is k, and w = 1 / RC, then y i = -K + wh i . However, the origin of h i may be selected appropriately.

最小自乗法によって、wを推定すると となる。このwからC=1/(wR)としてCが求まる。When w is estimated by the method of least squares, Becomes From this w, C can be obtained as C = 1 / (wR).

(ハ) 伝搬遅延時間測定の精密化 伝搬遅延時間測定において、前記容量Cがソケット端
子における波形のなまりにどの程度影響しているかがわ
かっているときは補正により測定精度を高めることもで
きる。
(C) Precision of propagation delay time measurement In the propagation delay time measurement, when it is known how much the capacitance C affects the rounding of the waveform at the socket terminal, the measurement accuracy can be improved by correction.

信号波形の伝搬遅延時間は、伝搬遅延時間ta,tbに対
しそれらが継続しているときの伝搬遅延時間tcとして表
わされるが、 tc 2ta 2+tb 2 である。
Propagation delay time of the signal waveform, propagation delay time t a, although they respect t b is represented as the propagation delay time t c when continues, a t c 2 t a 2 + t b 2.

従って、Cによる影響(CR)がもともとの波形の立ち
時間の数倍であれば、伝搬遅延時間を定めるt2をt2
(CR)として精度向上が可能となる。
Therefore, if the influence (CR) due to C is several times the standing time of the original waveform, t 2 that determines the propagation delay time is t 2
(CR) can improve accuracy.

なお、ソケット端子に負荷されたインピーダンスが容
量でないときも同じような考え方を適用できる。インダ
クタンス負荷におけるインダクタンスや不整合抵抗終端
なども、そのインダクタンス値と抵抗値が求められ、同
様に伝搬遅延時間の補正にも用いられる。
The same idea can be applied when the impedance loaded on the socket terminal is not the capacitance. The inductance value and the resistance value of the inductance in the inductance load and the mismatched resistance termination are also obtained, and similarly used for the correction of the propagation delay time.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

本発明の一実施例について前述したことから、本発明
の実施により、伝送線路の伝搬遅延時間の測定や負荷さ
れる端子インピーダンスの測定が容易に、自動的におこ
なえる。また、測定される負荷端子容量により伝搬時間
の精密化も行えるので、実用に供して有益である。
As described above with respect to one embodiment of the present invention, by carrying out the present invention, it is possible to easily and automatically measure the propagation delay time of the transmission line and the loaded terminal impedance. Further, the propagation time can be refined by the measured load terminal capacitance, which is useful for practical use.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明の一実施例の伝送パラメータ測定装置の
ブロック図と観測される信号波形図。第2図は従来例の
伝搬遅延時間測定装置のブロック図と観測される波形
図。 1:ステップ信号入力端子;2:パルス入力端子;3:入力高速
バッファ;4,5:抵抗;6:スイッチ;46,47,671,〜,675:伝送
路;7,71,〜,75:ソケット端子;8:ストップ入力端子;9:ス
トップ入力端子;10:時間間隔カウンタ;11:サンプラ;12:
デジタイザ;13:メモリ;14:計算/制御部;sp:サンプリン
グ点。
FIG. 1 is a block diagram of a transmission parameter measuring device according to an embodiment of the present invention and a signal waveform diagram observed. FIG. 2 is a block diagram of a conventional propagation delay time measuring device and a waveform diagram observed. 1: Step signal input terminal; 2: Pulse input terminal; 3: Input high-speed buffer; 4,5: Resistance; 6: Switch; 46,47,671, ~, 675: Transmission line; 7,71, ~, 75: Socket terminal ; 8: Stop input terminal; 9: Stop input terminal; 10: Time interval counter; 11: Sampler; 12:
Digitizer; 13: memory; 14: calculation / control unit; sp: sampling point.

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】測定用入力ステップ信号を被測定伝送路
(671-675)の一方の端子に入力するための入力手段
(1、3、4、6)と、前記一方の端子に生ずる前記測
定用入力ステップ信号と該測定用入力ステップ信号の前
記被測定伝送路による反射信号とをサンプリングしてデ
ジタル化したのち波形データとしてメモリに蓄積するデ
ータ収集手段(2、5、11、13)と、前記データ収集手
段から前記波形データを受信して、前記測定用入力ステ
ップ信号の立ち上がり時刻と前記反射信号の立ち上がり
時刻とを決定し、これらの決定された立上り時刻から前
記被測定伝送路による伝搬遅延時間を計算する計算手段
(14)とを有する伝送路測定装置において、前記被測定
伝送路の他方の端子(71-75)に接続された負荷インピ
ーダンスに起因する前記反射信号の立ち上がり時刻の測
定誤差を補正することを特徴とする伝送路パラメータ測
定装置。
1. Input means (1, 3, 4, 6) for inputting a measurement input step signal to one terminal of a transmission line under measurement (671-675), and the measurement generated at the one terminal. Data collecting means (2, 5, 11, 13) for sampling and digitizing the input step signal for measurement and the reflection signal of the measurement input step signal from the transmission path under measurement, and then storing it as waveform data in a memory; Receiving the waveform data from the data collecting means, determining the rising time of the measurement input step signal and the rising time of the reflected signal, and the propagation delay of the measured transmission line from these determined rising times. In a transmission line measuring device having a calculating means (14) for calculating time, the reflection signal resulting from a load impedance connected to the other terminal (71-75) of the transmission line under measurement. Transmission path parameter measurement device and corrects a measurement error of the rise time of the.
【請求項2】前記測定用入力ステップ信号の立ち上がり
時刻を、前記測定用入力ステップ信号の最初の2つの極
値の平均値を前記測定用入力ステップ信号が最初にとる
時刻とすることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
の伝送路パラメータ測定装置。
2. A rising time of the measuring input step signal is a time at which the measuring input step signal first takes an average value of the first two extreme values of the measuring input step signal. The transmission path parameter measuring device according to claim 1.
【請求項3】前記反射信号の立ち上がり時刻を、前記平
均値と前記反射信号の最大値の平均値を前記反射信号が
最初にとる時刻とすることを特徴とする特許請求の範囲
第1項あるいは第2項記載の伝送路パラメータ測定装
置。
3. The rising time of the reflection signal is a time at which the reflection signal first takes an average value of the average value and the maximum value of the reflection signal. The transmission line parameter measuring device according to the second aspect.
【請求項4】前記負荷インピーダンスが容量値Cの容量
で前記被測定伝送路の特性インピーダンスがRのとき、
前記反射信号の立ち上がり時刻からC×Rを減じて補正
することを特徴とする特許請求の範囲第3項記載の伝送
路パラメータ測定装置。
4. When the load impedance is a capacitance having a capacitance value C and the characteristic impedance of the measured transmission line is R,
The transmission path parameter measuring device according to claim 3, wherein C × R is subtracted from the rising time of the reflected signal to perform correction.
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