JP2531705B2 - Linear motor transport device - Google Patents
Linear motor transport deviceInfo
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- JP2531705B2 JP2531705B2 JP62295562A JP29556287A JP2531705B2 JP 2531705 B2 JP2531705 B2 JP 2531705B2 JP 62295562 A JP62295562 A JP 62295562A JP 29556287 A JP29556287 A JP 29556287A JP 2531705 B2 JP2531705 B2 JP 2531705B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はリニアモータ搬送装置に関し、特にキャリヤ
上の物品の有無によってその加速度を変更することので
きるリニアモータ搬送装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a linear motor conveyance device, and more particularly to a linear motor conveyance device capable of changing the acceleration depending on the presence or absence of an article on a carrier.
従来のリニアモータ搬送装置は、複数個のステータ間
のレールで結合し、レール上を２次導体であるキャリヤ
が走行するようにしたものである。走行するキャリヤの
速度（Ｖ）は下記式によって決定され、その速度（Ｖ）
は次のステータに到達するに要する最小速度以上となる
ように制御している。In a conventional linear motor transfer device, a plurality of stators are connected by rails, and a carrier, which is a secondary conductor, travels on the rails. The speed (V) of the traveling carrier is determined by the following formula, and the speed (V)
Controls so that the speed is higher than the minimum speed required to reach the next stator.
VS;リニアモータの同期速度 F;始動推力（kgf） f;負荷推力（kgf） 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記従来のリニアモータ搬送装置は以上のように構成
されていたので、クリーン搬送装置として半導体ウエア
を搬送する場合に本装置を適用すると種々の問題が生じ
る。中でもウエハは振動に極めて弱く、キャリヤの加速
度を小さく抑制する必要があり、また加速度を抑制する
と次のステータに到達させるためにはステータを長くし
て駆動源を確保する必要性が生じてステータの製造が難
しくなる。 V S ; Synchronous speed of linear motor F; Starting thrust (kgf) f; Load thrust (kgf) [Problems to be solved by the invention] Since the conventional linear motor transfer device described above is configured as described above, When this device is applied as a clean transfer device for transferring semiconductor ware, various problems occur. Above all, the wafer is extremely vulnerable to vibration, and it is necessary to suppress the acceleration of the carrier to be small. Further, if the acceleration is suppressed, it is necessary to lengthen the stator to secure a drive source in order to reach the next stator. Manufacturing becomes difficult.
また加速度を抑制し得たとしても従来装置ではステー
タに印加する周波数出力が一定であることからウエハの
有無に関係なく走行速度が一定で作業の高速化という要
請に沿わなくなるという新たな問題が生じる。Even if the acceleration can be suppressed, in the conventional apparatus, the frequency output applied to the stator is constant, which causes a new problem that the traveling speed is constant irrespective of the presence or absence of the wafer and the requirement for high-speed work cannot be met. .
本発明は上記問題点を解決するためになされたもの
で、積載物品の有無によってキャリヤの加速度を自動的
に変更し得、もって搬送作業の高速化を達成することの
できるリニアモータ搬送装置を提供することを目的とし
ている。The present invention has been made to solve the above problems, and provides a linear motor transfer device that can automatically change the acceleration of a carrier depending on the presence or absence of a loaded article, thereby achieving a high speed transfer operation. The purpose is to do.
本発明に係るリニアモータ搬送装置は、複数個のステ
ータをレールによって結合し、前記ステータに印加した
電流によって前記レール上のキャリヤを走行させるリニ
アモータ搬送装置において、前記キャリヤ上の物品の有
無を検出する検出手段と、前記検出手段の検出信号に基
づいて前記複数個のステータのうち連続配置されたステ
ータの電流周波数をインバータによって一括制御するこ
とにより、前記キャリヤ上に物品が有るときは、前記キ
ャリヤの加速度を下げ、前記キャリヤ上に物品が無いと
きには、前記キャリヤの加速度を上げる制御手段とを備
えたものである。A linear motor transfer apparatus according to the present invention is a linear motor transfer apparatus in which a plurality of stators are connected by rails and a carrier on the rails is caused to travel by a current applied to the stators. When the article is on the carrier, the current frequency of the continuously arranged detecting means of the plurality of stators is collectively controlled by the inverter based on the detection signal of the detecting means. Control means for reducing the acceleration of the carrier and increasing the acceleration of the carrier when there is no article on the carrier.
検出手段によって、キャリヤ上の物品の有無が検出さ
れ、前記検出手段の検出信号に基づいて複数個のステー
タのうち連続配置されたステータの電流周波数をインバ
ータにより一括制御する制御手段によって、前記キャリ
ヤ上に物品が有るときは、前記キャリヤの加速度が下げ
られ、前記キャリヤ上に物品が無いときには、前記キャ
リヤの加速度が上げられる。The presence or absence of the article on the carrier is detected by the detection means, and the control means collectively controls the current frequency of the continuously arranged stators of the plurality of stators by the inverter based on the detection signal of the detection means. When there is an article in the carrier, the acceleration of the carrier is reduced, and when there is no article on the carrier, the acceleration of the carrier is increased.
以下第１図、第２図に示す一実施例に基づいて本発明
を説明する。第１図は本実施例装置を示す構成図で、同
図中、（１）〜（４）はステータで、ステータ（１）〜
（３）は連続配置され、ステータ（４）はステータ
（３）に対して所定間隔を空けて配置されている。
（５）はステータ（１）〜（４）を縦走すべき配設され
たレールで、レール（５）上を２次導体として構成され
たキャリヤ（６）が走行するよう構成されている。The present invention will be described below based on an embodiment shown in FIG. 1 and FIG. FIG. 1 is a block diagram showing the apparatus of the present embodiment. In FIG. 1, (1) to (4) are stators and stators (1) to (4).
(3) are continuously arranged, and the stator (4) is arranged at a predetermined distance from the stator (3).
Reference numeral (5) is a rail that is arranged to run longitudinally through the stators (1) to (4), and a carrier (6) configured as a secondary conductor travels on the rail (5).
また、（７）はキャリヤ（６）に積載されて搬送され
る物品（本実施例ではウエハ）を監視する視覚センサ、
（８）は視覚センサ（７）に接続され、視覚センサ
（７）によってウエハを検出するとその検出信号を処理
して処理信号を送信する信号処理回路、（９）は信号処
理回路（８）に接続されて処理信号を受信して処理信号
に見合った電流周波数を選択してインバータ（10）の周
波数出力を制御する制御回路で、インバータ（10）は周
波数が制御されることによってキャリヤ（６）の加速度
を増減するように構成されている。なお、本発明に係る
検出手段は、本実施例では視覚センサ（７）に相当し、
本発明に係る制御手段は、本実施例では信号処理回路
（Ｓ）及び制御回路（９）から構成されている。Further, (7) is a visual sensor for monitoring articles (wafers in this embodiment) loaded on the carrier (6) and conveyed,
Reference numeral (8) is connected to the visual sensor (7), and when the visual sensor (7) detects a wafer, a signal processing circuit for processing the detection signal and transmitting a processing signal, and (9) to the signal processing circuit (8). A control circuit for controlling the frequency output of the inverter (10) by receiving the processed signal, selecting the current frequency corresponding to the processed signal, and controlling the frequency output of the inverter (10). It is configured to increase or decrease the acceleration of. The detection means according to the present invention corresponds to the visual sensor (7) in this embodiment,
The control means according to the present invention comprises a signal processing circuit (S) and a control circuit (9) in this embodiment.
然してインバータ（10）はステータ（１）〜（３）に
接続されてこのステータ（１）〜（３）に印加する電流
の周波数出力を同時に制御するように構成されている。
ステータ（１）〜（３）を連続配置してそれらの電流を
一括制御することによって実質的にステータを一体化し
て、長尺ステータに代わる役割を果し、もって長尺ステ
ータの製造上の困難を解消している。ステータをこのよ
うに長尺化するのは上述したように、加速度ａを小さく
抑制してキャリヤ（６）の駆動源を長く確保する必要が
あることによる。尚、キャリヤ（６）の必要とする速度
（VN）を得るためには、リニアモータのステータの長さ
を下記式に従って長くする必要があるからである。Therefore, the inverter (10) is connected to the stators (1) to (3) and is configured to simultaneously control the frequency output of the current applied to the stators (1) to (3).
By continuously arranging the stators (1) to (3) and collectively controlling the currents thereof, the stators are substantially integrated to serve as a substitute for the long stator, which makes it difficult to manufacture the long stator. Has been resolved. The reason why the length of the stator is increased as described above is because it is necessary to suppress the acceleration a to be small and to secure a long drive source of the carrier (6) as described above. This is because in order to obtain the speed (V N ) required by the carrier (6), the length of the stator of the linear motor needs to be increased according to the following formula.
ａ ：キャリアの加速度 lS:ステータの長さ 即ち、本実施例装置ではウエハの有る場合にはキャリ
ヤ（６）の加速度を抑制する一方、ウエハの無い場合に
は逆に加速度を増加させて作業の高速化を図るようにし
ている。 a: Acceleration of carrier l S : Length of stator That is, in the apparatus of this embodiment, when the wafer is present, the acceleration of the carrier (6) is suppressed, while when the wafer is not present, the acceleration is increased to work. We are trying to speed up.
即ち本実施例装置では、上記構成から視覚センサ
（７）によってウエハの有無を検出して、ウエハの有る
場合にはその検出信号を信号処理回路（８）に送信す
る。検出信号を受信した信号処理回路（８）はその信号
を処理して制御回路（９）に処理信号を送信する。これ
を受信した制御回路（９）は処理信号に見合ったインバ
ータ（10）の周波数を選択して選択信号をインバータ
（10）に送信する。このインバータ（10）は選択信号に
基づいた周波数が決定されキャリヤ（６）の加速度を抑
制し低速走行してウエハを破損から防止する。逆にウエ
ハが無ければ上述したと同様に検出信号を処理してキャ
リヤ（６）の加速度を上げて高速走行する。That is, in the apparatus of this embodiment, the presence / absence of a wafer is detected by the visual sensor (7) from the above configuration, and if there is a wafer, the detection signal is transmitted to the signal processing circuit (8). Upon receiving the detection signal, the signal processing circuit (8) processes the signal and sends the processed signal to the control circuit (9). The control circuit (9) having received this selects the frequency of the inverter (10) corresponding to the processed signal and transmits the selection signal to the inverter (10). The frequency of the inverter (10) is determined based on the selection signal, and the acceleration of the carrier (6) is suppressed to run at a low speed to prevent the wafer from being damaged. On the other hand, if there is no wafer, the detection signal is processed in the same manner as described above to increase the acceleration of the carrier (6) and run at high speed.
キャリヤ（６）の加速度は、本実施例では２種類を選
択することができ、ウエハの有る低速走行時には加速度
a1を、ウエハの無い高速走行時には加速a2を選択する。
本発明では必要に応じてウエハの積載量に対応する走行
速度を更にきめ細かく制御するように制御回路（９）内
に３種以上の加速度を選択することができる構成にする
ことができる。尚、視覚センサに代えて接触スイッチな
ど他の圧力センサなどをウエハの検出手段として用いる
ことができる。In the present embodiment, two types of acceleration of the carrier (6) can be selected, and the acceleration during low speed running with a wafer.
Select a 1 and acceleration a 2 for high-speed running without a wafer.
According to the present invention, three or more kinds of accelerations can be selected in the control circuit (9) so that the traveling speed corresponding to the loaded amount of wafers can be controlled more finely if necessary. Instead of the visual sensor, another pressure sensor such as a contact switch can be used as the wafer detecting means.
以上本発明によれば、キャリヤ上の物品の有無によっ
てキャリヤの走行速度を変更することができ、物品積載
時には低速走行を、物品のない時には高速走行を自動的
に行うことができる。As described above, according to the present invention, the traveling speed of the carrier can be changed depending on the presence / absence of the article on the carrier, and the low-speed traveling can be automatically performed when the article is loaded and the high-speed traveling can be automatically performed when the article is not present.
第１図は本発明に係るリニアモータ搬送装置の一実施例
を示す構成図、第２図は２種の加速度に応じたキャリヤ
の走行速度と時間との関係を示す図である。 図において、 （１）ないし（４）はステータ、 （５）はレール、 （６）はキャリヤ、 （７）は視覚センサ（検出手段）、 （８）は信号処理回路、 （９）は制御回路、 （10）はインバータである。FIG. 1 is a configuration diagram showing an embodiment of a linear motor conveying device according to the present invention, and FIG. 2 is a diagram showing a relationship between a traveling speed of a carrier and time according to two kinds of accelerations. In the figure, (1) to (4) are stators, (5) is a rail, (6) is a carrier, (7) is a visual sensor (detection means), (8) is a signal processing circuit, and (9) is a control circuit. , (10) is an inverter.
Claims (1)
し、前記ステータに印加した電流によって前記レール上
のキャリヤを走行させるリニアモータ搬送装置におい
て、 前記キャリヤ上の物品の有無を検出する検出手段と、 前記検出手段の検出信号に基づいて前記複数個のステー
タのうち連続配置されたステータの電流周波数をインバ
ータによって一括制御することにより、前記キャリヤ上
に物品が有るときは、前記キャリヤの加速度を下げ、前
記キャリヤ上に物品が無いときには、前記キャリヤの加
速度を上げる制御手段と を備えたことを特徴とするリニアモータ搬送装置。1. A linear motor carrying device, comprising: a plurality of stators connected by rails; and a carrier on the rails running on the carrier by an electric current applied to the stators; By collectively controlling the current frequency of the continuously arranged stators of the plurality of stators based on the detection signal of the detection means by the inverter, when there is an article on the carrier, the acceleration of the carrier is reduced, A linear motor conveyance device, comprising: a control means for increasing the acceleration of the carrier when there is no article on the carrier.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62295562A JP2531705B2 (en) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | Linear motor transport device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62295562A JP2531705B2 (en) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | Linear motor transport device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01138905A JPH01138905A (en) | 1989-05-31 |
| JP2531705B2 true JP2531705B2 (en) | 1996-09-04 |
Family
ID=17822248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62295562A Expired - Lifetime JP2531705B2 (en) | 1987-11-24 | 1987-11-24 | Linear motor transport device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531705B2 (en) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6107501B2 (en) * | 2013-07-19 | 2017-04-05 | 株式会社ダイフク | Sorting equipment |
| US9582237B2 (en) | 2013-12-31 | 2017-02-28 | Ultravision Technologies, Llc | Modular display panels with different pitches |
| US10706770B2 (en) | 2014-07-16 | 2020-07-07 | Ultravision Technologies, Llc | Display system having module display panel with circuitry for bidirectional communication |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6122197U (en) * | 1984-07-13 | 1986-02-08 | 神鋼電機株式会社 | Inverter-driven linear motor conveyor |
| JPS6194727U (en) * | 1984-11-28 | 1986-06-18 |
-
1987
- 1987-11-24 JP JP62295562A patent/JP2531705B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01138905A (en) | 1989-05-31 |
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