JP2527623Y2 - IC test equipment - Google Patents

IC test equipment

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JP2527623Y2
JP2527623Y2 JP7163990U JP7163990U JP2527623Y2 JP 2527623 Y2 JP2527623 Y2 JP 2527623Y2 JP 7163990 U JP7163990 U JP 7163990U JP 7163990 U JP7163990 U JP 7163990U JP 2527623 Y2 JP2527623 Y2 JP 2527623Y2
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JP
Japan
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output
low
circuit
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和宏 山下
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Advantest Corp
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Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この考案は被試験IC素子にテスト信号を供給し、その
時の被試験IC素子の出力が高レベルを期待値としている
時、基準高レベル以上か否か、低レベルを期待値として
いる時、基準低レベル以下か否かを検出するIC試験装置
に関する。
[Detailed description of the invention] "Industrial application field" This invention supplies a test signal to the IC device under test, and when the output of the IC device at that time assumes the high level as the expected value, it is higher than the reference high level. The present invention relates to an IC test apparatus for detecting whether or not a low level is an expected value when a low level is an expected value.

「従来の技術」 第3図に従来のIC試験装置の一部、つまり被試験IC素
子の出力を判定する部分を示す。被試験IC素子11の出力
は高レベル比較器12で基準高レベルと比較され、高レベ
ル比較器12はIC素子出力が基準高レベルより高いと低レ
ベルを出力し、基準高レベルより低いと高レベルを出力
する。また被試験IC素子11の出力は低レベル比較器13で
基準低レベルと比較され、低レベル比較器13はIC素子出
力が基準低レベルより低いと低レベルを出力し、基準低
レベルより高いと高レベルを出力する。
[Prior Art] FIG. 3 shows a part of a conventional IC test apparatus, that is, a part for determining the output of an IC element under test. The output of the IC under test 11 is compared with the reference high level by the high level comparator 12, and the high level comparator 12 outputs a low level when the IC element output is higher than the reference high level, and outputs a low level when the IC element output is lower than the reference high level. Output level. Also, the output of the IC under test 11 is compared with the reference low level by the low level comparator 13, and the low level comparator 13 outputs a low level when the IC element output is lower than the reference low level, and outputs a low level when the IC element output is higher than the reference low level. Output high level.

高レベル比較器12の出力及び低レベル比較器13の出力
はそれぞれ、端子14からの共通のストローブにより高レ
ベルラッチ回路15及び低レベルラッチ回路16にラッチさ
れる。高レベルラッチ回路15の出力は、端子17からの高
レベルを期待値としていることを示す信号(高レベル期
待値)EXPHとの論理積が高レベルアンド回路18でとられ
る。低レベルラッチ回路16の出力は、端子19からの低レ
ベルを期待値としていることを示す信号(低レベル期待
値)EXPLとの論理積が低いレベルアンド回路21でとられ
る。なお高レベル期待値の反転信号も低レベルアンド回
路21に入力され、低レベル期待値の反転信号も高レベル
アンド回路18に入力されている。
The output of the high-level comparator 12 and the output of the low-level comparator 13 are respectively latched by the high-level latch circuit 15 and the low-level latch circuit 16 by a common strobe from the terminal 14. The logical product of the output of the high-level latch circuit 15 and a signal (high-level expected value) EXPH indicating that the high level from the terminal 17 is the expected value is obtained by the high-level AND circuit 18. The output of the low-level latch circuit 16 is obtained by a level-and-circuit 21 having a low logical product with a signal (low-level expected value) EXPL indicating that the low level from the terminal 19 is set as the expected value. The inverted signal of the high-level expected value is also input to the low-level AND circuit 21, and the inverted signal of the low-level expected value is also input to the high-level AND circuit 18.

高レベルラッチ回路15の出力はインバータ22aで反転
されてオア回路23へ供給され、低レベルラッチ回路16の
出力はインバータ22bで反転されてオア回路23へ供給さ
れる。オア回路23の出力と、高レベル期待値EXPHと、低
レベル期待値EXPLとの論理積がZモード不良検出用アン
ド回路24でとられる。
The output of the high-level latch circuit 15 is inverted by the inverter 22a and supplied to the OR circuit 23, and the output of the low-level latch circuit 16 is inverted by the inverter 22b and supplied to the OR circuit 23. The logical product of the output of the OR circuit 23, the high-level expected value EXPH, and the low-level expected value EXPL is obtained by the Z-mode failure detection AND circuit 24.

高レベルを期待値としている時に、IC素子11の出力が
基準高レベル以下であると、高レベルアンド回路18の出
力が高レベル“1"となり、高レベル不良HFAILが出力さ
れ、低レベルを期待値としている時に、IC素子11の出力
が基準低レベル以上であると、低レベルアンド回路21の
出力が高レベル“1"となり、低レベル不良LFAILが出力
される。基準高レベルと基準低レベルとの間にあること
を期待値としている時(Zモードと呼ぶ)は、高レベル
期待値EXPH、低レベル期待値EXPLは共に高レベル“1"と
され、IC素子11の出力が基準高レベル以上の場合、又は
基準低レベル以下の場合にZモード不良検出用アンド回
路24の出力が高レベル“1"となり、Zモード不良ZFAIL
が出力される。
If the output of the IC element 11 is below the reference high level when the high level is the expected value, the output of the high level AND circuit 18 becomes high level “1”, a high level fault HFAIL is output, and a low level is expected. When the value is set to the value, if the output of the IC element 11 is equal to or higher than the reference low level, the output of the low level AND circuit 21 becomes high level “1”, and a low level fault LFAIL is output. When the expected value is between the reference high level and the reference low level (referred to as Z mode), both the high-level expected value EXPH and the low-level expected value EXPL are set to the high level “1”, and the IC element When the output 11 is equal to or higher than the reference high level or equal to or lower than the reference low level, the output of the Z-mode failure detection AND circuit 24 becomes high level “1” and the Z-mode failure ZFAIL
Is output.

この第3図に示した従来のIC試験装置て1テストサイ
クル中における被試験IC素子11の出力の波形の切替り、
つまり低レベルから高レベルへの変化又は高レベルから
低レベルの変化が正しく行われているかを試験するに
は、例えば第4図Aに示すように被試験IC素子11の出力
が1テストサイクル中に低レベルから高レベルに変化す
る時に、その低レベルの区間に端子14のストローブのタ
イミングを選定してIC素子出力が低レベル(基準低レベ
ル以下)であるか否かを調べ、次に第4図Bに示すよう
にストローブのタイミングをIC素子出力の高レベルの区
間に移動させてIC素子出力が高レベル(基準高レベル以
上)であるか否かを調べる。つまり2回に分けて試験す
る必要があった。
Switching of the output waveform of the IC under test 11 during one test cycle with the conventional IC testing apparatus shown in FIG.
That is, to test whether the change from the low level to the high level or the change from the high level to the low level is performed correctly, for example, as shown in FIG. 4A, the output of the IC under test 11 is output during one test cycle. When the level changes from the low level to the high level, the strobe timing of the terminal 14 is selected in the low level section to check whether or not the output of the IC element is at the low level (lower than the reference low level). 4 As shown in FIG. B, the strobe timing is shifted to the high-level section of the IC element output to check whether or not the IC element output is at the high level (above the reference high level). That is, it was necessary to perform the test twice.

1回の試験で1テストサイクル中におけるIC素子の出
力波形の切替りが正しく行われているか否かを試験する
ため、従来においては第5図に示すように、高レベル比
較器12、及び低レベル比較器13の出力側を二重化し、つ
まり第3図に示した構成に、これと対応する部分に同一
番号にダッシュ「′」を付けて示すものを付加し、第6
図に示すように端子14のストローブ1のタイミングをIC
素子出力の低レベル区間に選定し、端子14′のストロー
ブ2のタイミングをIC素子出力の高レベル区間に選定し
てアンド回路18,21,18′,21′の各出力から出力の波形
切替りが正しく行われているか否かを調べる。しかしこ
の第5図に示す装置は回路が二重化され、ハードウエア
の規模が大きくなる欠点があった。
In order to test whether or not the output waveform of the IC element is correctly switched during one test cycle in one test, conventionally, as shown in FIG. 5, a high-level comparator 12 and a low-level comparator 12 are used. The output side of the level comparator 13 is duplicated. That is, the same parts as those shown in FIG.
As shown in the figure, the timing of strobe 1
Select the low-level section of the element output, select the timing of strobe 2 at terminal 14 'to the high-level section of the IC element output, and switch the output waveform from each output of AND circuits 18, 21, 18', and 21 '. To see if it is done correctly. However, the apparatus shown in FIG. 5 has a drawback that the circuit is duplicated and the scale of hardware is increased.

「課題を解決するための手段」 この考案によれば高レベル比較器の出力をラッチする
高レベルラッチ回路は高レベル用ストローブでラッチさ
れ、低レベル比較器の出力をラッチする低レベルラッチ
回路は低レベル用ストローブでラッチされ、つまり高レ
ベルラッチ回路と低レベルラッチ回路とは各別のストロ
ーブでラッチすることができるようにされる。また高レ
ベルラッチ回路の出力と低レベルラッチ回路の出力との
論理和が第2オア回路でとられ、1テストサイクル中に
おける出力波形の切替りを試験する際にはセレクタで第
2オア回路の出力が切替えられてZモード不良検出用ア
ンド回路へ提供される。
According to the present invention, the high-level latch circuit that latches the output of the high-level comparator is latched by the high-level strobe, and the low-level latch circuit that latches the output of the low-level comparator is The latch is performed by the low-level strobe, that is, the high-level latch circuit and the low-level latch circuit can be latched by different strobes. In addition, the OR of the output of the high-level latch circuit and the output of the low-level latch circuit is obtained by the second OR circuit. When the switching of the output waveform during one test cycle is tested, the selector selects the second OR circuit. The output is switched and provided to the Z-mode failure detection AND circuit.

「実施例」 第1図はこの考案の実施例を示し、第3図と対応する
部分に同一符号を付けてある。この考案においては高レ
ベルラッチ回路15は端子25からの高レベル用ストローブ
でラッチされ、低レベルラッチ回路16は端子26からの低
レベル用ストローブでラッチされ、つまりこれらラッチ
回路15,16は各別のタイミングでラッチすることが可能
とされている。更に高レベルラッチ回路15の出力と低レ
ベルラッチ回路16の出力とが第2オア回路27へ供給さ
れ、第1オア回路23の出力と第2オア回路27の出力との
一方がセレクタ28で選択されてZモード不良検出用アン
ド回路24へ供給される。セレクタ28はZモードを示す信
号の反転信号MODEが“0"の時(Zモードの時)は第1
オア回路23の出力を選択し、信号MODEが“1"の時(Z
モード以外の時)は第2オア回路27の出力を選択するよ
うにされる。
"Embodiment" FIG. 1 shows an embodiment of the present invention, in which parts corresponding to those in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals. In the present invention, the high-level latch circuit 15 is latched by the high-level strobe from the terminal 25, and the low-level latch circuit 16 is latched by the low-level strobe from the terminal 26. It is possible to latch at the timing shown in FIG. Further, the output of the high level latch circuit 15 and the output of the low level latch circuit 16 are supplied to the second OR circuit 27, and one of the output of the first OR circuit 23 and the output of the second OR circuit 27 is selected by the selector 28. Then, it is supplied to the Z-mode failure detection AND circuit 24. When the inverted signal MODE of the signal indicating the Z mode is "0" (in the Z mode), the selector 28 outputs the first signal.
When the output of the OR circuit 23 is selected and the signal MODE is “1” (Z
(Other than the mode), the output of the second OR circuit 27 is selected.

この構成においても高レベルを期待値としている時
に、IC素子11の出力が基準高レベル以下であると、高レ
ベルアンド回路18から高レベル不良HFAILが出力され、
低レベルを期待値としている時に、IC素子11の出力が基
準低レベル以上であると、低レベルアンド回路21から低
レベル不良LFAILが出力される。これらにおいてセレク
タ28は第2オア回路27の出力が選択され、その出力が
“1"となるが、高レベル期待値EXPH、又は低レベル期待
値EXPLの何れかが“0"であるから、Zモード不良検出用
アンド回路24の出力は“0"のままである。またZモー
ド、つまり基準高レベルと基準低レベルとの間にあるこ
とを期待している時は、セレクタ28で第1オア回路23の
出力が選択され、高レベル期待値EXPH、低レベル期待値
EXPLは共に“1"とされ、よってIC素子11の出力が基準高
レベル以上、又は基準低レベル以下の場合はZモード不
良検出用アンド回路24からZモード不良ZFAILが出力さ
れる。なおこれらの不良検出においては端子25,26には
一般に同一タイミングのストローブを与える。
Also in this configuration, when the high level is the expected value and the output of the IC element 11 is equal to or lower than the reference high level, the high level AND circuit 18 outputs a high level fault HFAIL,
If the output of the IC element 11 is equal to or higher than the reference low level when the low level is the expected value, the low level AND circuit 21 outputs a low level fault LFAIL. In these, the selector 28 selects the output of the second OR circuit 27 and outputs "1". However, since either the high-level expected value EXPH or the low-level expected value EXPL is "0", Z The output of the mode failure detection AND circuit 24 remains "0". When the Z mode, that is, when it is expected to be between the reference high level and the reference low level, the output of the first OR circuit 23 is selected by the selector 28, and the high level expected value EXPH and the low level expected value
Both EXPL are set to "1". Therefore, when the output of the IC element 11 is equal to or higher than the reference high level or equal to or lower than the reference low level, the Z-mode failure ZFAIL is output from the Z-mode failure detection AND circuit 24. In detecting these defects, strobes with the same timing are generally applied to the terminals 25 and 26.

更にこの構成においてIC素子11の出力波形の1テスト
サイクル中における切替えが正しく行われたか否かを試
験する場合は、セレクタ28で第2オア回路27を選択し、
高レベル期待値EXPH、低レベル期待値EXPLを共に“1"と
し、第2図に示すように、端子25の高レベル用ストロー
ブのタイミングを、IC素子11の出力の高レベル区間に選
定し、端子26の低レベル用ストローブのタイミングを、
IC素子11の出力の低レベル区間に選定する。従ってIC素
子11の出力がその波形切替えの前でこの例では基準低レ
ベル以上であれば低レベルラッチ回路16の出力が“1"と
なり、Zモード不良検出用アンド回路24の出力が“1"と
なり、また波形切替えの後でIC素子11の出力が基準高レ
ベル以下であれば高レベルラッチ回路15の出力が“1"と
なり、Zモード不良検出用アンド回路24の出力が“1"と
なる。つまりIC素子11の出力の波形が正しく切替えられ
ないと、Zモード不良検出用アンド回路24から“1"が出
力される。
Further, in this configuration, in order to test whether or not the output waveform of the IC element 11 has been correctly switched during one test cycle, the selector 28 selects the second OR circuit 27, and
The high-level expected value EXPH and the low-level expected value EXPL are both set to “1”, and the timing of the high-level strobe at the terminal 25 is selected in the high-level section of the output of the IC element 11 as shown in FIG. The timing of the low-level strobe at pin 26 is
It is selected in the low level section of the output of the IC element 11. Therefore, if the output of the IC element 11 is equal to or higher than the reference low level in this example before the waveform switching, the output of the low-level latch circuit 16 becomes "1" and the output of the Z-mode failure detection AND circuit 24 becomes "1". If the output of the IC element 11 is equal to or lower than the reference high level after the waveform switching, the output of the high-level latch circuit 15 becomes "1", and the output of the Z-mode failure detection AND circuit 24 becomes "1". . That is, if the output waveform of the IC element 11 is not properly switched, “1” is output from the Z-mode failure detection AND circuit 24.

「考案の効果」 以上述べたようにこの考案によれば、第3図に示した
従来の装置をわずか変更し、わずかの回路を付加するこ
とにより、従来と同様に、高レベル不良、低レベル不
良、Zモード不良を検出することができ、しかも1回の
試験で1テストサイクル内での波形切替えをチェックす
ることができる。
"Effects of the invention" As described above, according to the invention, the conventional device shown in FIG. 3 is slightly modified and a small number of circuits are added, thereby achieving high level failure and low level Defective and Z-mode deficiencies can be detected, and waveform switching within one test cycle can be checked by one test.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図はこの考案によるIC試験装置の実施例の要部を示
すブロック図、第2図はその波形切替えチェック時の動
作例を示す図、第3図は従来のIC試験装置の一部を示す
ブロック図、第4図は第3図の装置により波形切替えチ
ェックを行う動作例を示す図、第5図は従来のICの試験
装置の他のものの一部を示すブロック図、第6図は第5
図の装置により波形切替えチェックを行う動作例を示す
図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an essential part of an embodiment of an IC test apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a view showing an operation example at the time of a waveform switching check, and FIG. 3 is a part of a conventional IC test apparatus. FIG. 4 is a diagram showing an example of an operation of performing a waveform switching check by the apparatus of FIG. 3, FIG. 5 is a block diagram showing a part of another conventional IC test apparatus, and FIG. Fifth
It is a figure which shows the example of an operation | movement which performs a waveform switching check by the apparatus of a figure.

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項1】テスト信号が供給された被試験IC素子の出
力と、基準高レベルとを比較する高レベル比較器と、 上記被試験IC素子の出力と基準低レベルとを比較する低
レベル比較器と、 上記高レベル比較器の出力を高レベル用ストローブでラ
ッチする高レベルラッチ回路と、 上記低レベル比較器の出力を低レベル用ストローブでラ
ッチする低レベルラッチ回路と、 上記高レベルラッチ回路の出力と高レベル期待値と低レ
ベル期待値の反転したものとの論理積をとる高レベルア
ンド回路と、 上記低レベルラッチ回路の出力と上記低レベル期待値と
上記高レベル期待値の反転したものとの論理積をとる低
レベルアンド回路と、 上記高レベルラッチ回路の出力の反転出力と上記低レベ
ルラッチ回路の出力の反転出力との論理和をとる第1オ
ア回路と、 上記高レベルラッチ回路の出力と上記低レベルラッチ回
路の出力との論理和をとる第2オア回路と、 上記第1オア回路の出力と上記第2オア回路の出力との
何れかを選択するセレクタと、 そのセレクタの出力と上記高レベル期待値と上記低レベ
ル期待値との論理積をとるZモード不良検出用アンド回
路と、 を具備するIC試験装置。
1. A high-level comparator for comparing an output of an IC device under test supplied with a test signal with a reference high level, and a low-level comparator for comparing an output of the IC device under test with a reference low level. A high-level latch circuit for latching the output of the high-level comparator with a high-level strobe, a low-level latch circuit for latching the output of the low-level comparator with a low-level strobe, and the high-level latch circuit And a high-level AND circuit which takes the logical product of the output of the high-level expected value and the inverted low-level expected value, and the output of the low-level latch circuit and the inverted low-level expected value and the high-level expected value A low-level AND circuit for performing an AND operation with a first OR circuit; and a first OR circuit for performing an OR operation on an inverted output of the output of the high-level latch circuit and an inverted output of the output of the low-level latch circuit A second OR circuit that performs an OR operation on the output of the high-level latch circuit and the output of the low-level latch circuit; and selects one of the output of the first OR circuit and the output of the second OR circuit. An IC test apparatus comprising: a selector; and a Z-mode failure detection AND circuit that takes a logical product of an output of the selector, the high-level expected value, and the low-level expected value.
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