JP2525489Y2 - Electronic equipment cooling device - Google Patents

Electronic equipment cooling device

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JP2525489Y2
JP2525489Y2 JP1991006620U JP662091U JP2525489Y2 JP 2525489 Y2 JP2525489 Y2 JP 2525489Y2 JP 1991006620 U JP1991006620 U JP 1991006620U JP 662091 U JP662091 U JP 662091U JP 2525489 Y2 JP2525489 Y2 JP 2525489Y2
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cooling device
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悦義 高木
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アジアエレクトロニクス株式会社
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Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本考案は放射状配列のプリント基
板を搭載した電子機器の冷却装置に係り、特に冷却性能
を改善したものに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cooling device for an electronic device having a printed circuit board having a radial arrangement, and more particularly to a cooling device having improved cooling performance.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、電子機器は発熱電子部品の実装
されたプリント基板を多数搭載しており、それらの信頼
性を保証するため冷却装置が不可欠である。近年、冷却
装置は電子機器の高性能化に伴ってより高い冷却性能が
要求されている。このような要求に応えるための冷却装
置は種々提案されているが、ここでは、ICテスタ用の
テストヘッドの冷却装置を例に取って説明する。
2. Description of the Related Art In general, electronic equipment has a large number of printed circuit boards on which heat-generating electronic components are mounted, and a cooling device is indispensable to guarantee the reliability thereof. In recent years, cooling devices have been required to have higher cooling performance as electronic devices have higher performance. Various cooling devices have been proposed to meet such demands. Here, a cooling device for a test head for an IC tester will be described as an example.

【0003】ICテスタはテスタ本体とテストヘッドと
を備える。テストヘッドは、被測定デバイス(以下、D
UTという)を電気的に評価する本体の端末に相当する
ものである。通常、DUTに印加する試料用電源部、タ
イミングジェネレータ出力部、パターンジェネレータ出
力部、及びDUT出力をICテスタ本体の測定部に取り
込むための入力部等を備える。これらは電子部品として
プリント基板に搭載され、ケーシング内に納められてい
る。多数のプリント基板をケーシング内に収納する必要
があるが、テストヘッド小型化の要請からプリント基板
を平行にではなく、放射状に配列することが行なわれて
いる。図3はこのようなテストヘッドを冷却するための
従来の冷却装置を示したものである。
An IC tester has a tester main body and a test head. The test head is a device under test (hereinafter, D
UT) is equivalent to the terminal of the main body that electrically evaluates the UT. Usually, it includes a sample power supply unit to be applied to the DUT, a timing generator output unit, a pattern generator output unit, and an input unit for taking the DUT output into the measurement unit of the IC tester main body. These are mounted on a printed circuit board as electronic components and housed in a casing. A large number of printed boards need to be accommodated in a casing, but due to the demand for a smaller test head, printed boards are arranged radially instead of in parallel. FIG. 3 shows a conventional cooling device for cooling such a test head.

【0004】テストヘッド30内に放射状に立設された
多数のプリント基板31を均一に冷却するためには、放
射状に立設されたプリント基板31の中央から冷却空気
を導入して放射方向に曲げてやる必要がある。そのため
に、テストヘッド30内に冷却空気を吸入する軸流ファ
ン32を複数台設け、テストヘッド30の外周側面に排
気用の多数のスリット38を設けてある。また、プリン
ト基板31を立設したマザーボード34の中央に、軸流
ファン32を設けた裏面側からプリント基板のある表側
へ冷却空気を導入するための冷却空気導入口を設ける必
要がある。この場合において、通常、テストヘッド30
の中央には図示するように、ウェハチェック時に必要と
なる顕微鏡のための覗き孔33をもつ筒体35が、マザ
ーボード34を通ってテストヘッド30を上下に貫通し
ている。そのために、マザーボード34の中央部の全部
ではなく一部に、筒体35を避けるように風孔リングと
呼ばれる通気開口36が筒体35を取り囲む外周にリン
グ状に設けてある。
In order to uniformly cool a large number of printed boards 31 radiating in the test head 30, cooling air is introduced from the center of the printed boards 31 radiating and bent in the radial direction. I need to do it. For this purpose, a plurality of axial fans 32 for sucking cooling air are provided in the test head 30, and a number of slits 38 for exhaust are provided on the outer peripheral side surface of the test head 30. In addition, it is necessary to provide a cooling air inlet for introducing cooling air from the back surface side where the axial fan 32 is provided to the front side where the printed circuit board is provided, in the center of the motherboard 34 on which the printed circuit board 31 is erected. In this case, usually, the test head 30
As shown in the figure, a cylindrical body 35 having a viewing hole 33 for a microscope required at the time of wafer check passes through the motherboard 34 and vertically penetrates the test head 30 as shown in the figure. For this purpose, a ventilation opening called a vent hole ring is provided in a part of the central portion of the motherboard 34, not all of the central portion, so as to avoid the cylindrical body 35, in a ring shape around the cylindrical body 35.

【0005】これにより、ファン32から排出された冷
却空気はこの開口36を通ってテストヘッド30の上側
に流入し、プリント基板31上の発熱電子部品を冷却し
た後、テストヘッド外周側面に設けたスリット38から
排出されるようになっている。
As a result, the cooling air discharged from the fan 32 flows into the upper side of the test head 30 through the opening 36, cools the heat-generating electronic components on the printed circuit board 31, and is provided on the outer peripheral side surface of the test head. The ink is discharged from the slit 38.

【0006】[0006]

【考案が解決しようとする課題】しかしながら上述した
従来の冷却装置によると、風量分布はプリント基板31
間で均等になっているものの、プリント基板31面上で
はバラツキがあり、基板の上方と下方とで比較的大きな
温度差が生じていた。例えば、図4(A)に示すように、
プリント基板31の高さ方向に4点a、b、c、dを取
って、これらの点での風速と温度をプロットすると、図
4(B)に示すように高い位置程よく冷えているが、逆に
低い位置では冷却が不十分なのが分かる。これは、軸流
ファン32から吹き出された空気が狭い通気開口36を
通過するときに加速されるため、矢印で示すように空気
流の本流がプリント基板31の上方に偏って流れてしま
うことが原因である。
However, according to the conventional cooling device described above, the air volume distribution is limited to the printed circuit board 31.
Although the distance between the printed circuit boards was uniform, there was a variation on the surface of the printed circuit board 31, and a relatively large temperature difference occurred between the upper part and the lower part of the substrate. For example, as shown in FIG.
Taking four points a, b, c, and d in the height direction of the printed circuit board 31 and plotting wind speed and temperature at these points, the higher the position, the better the cooling, as shown in FIG. Conversely, it can be seen that cooling is insufficient at the lower position. This is because the air blown out from the axial fan 32 is accelerated when passing through the narrow ventilation opening 36, so that the main flow of the air flow may be biased above the printed circuit board 31 as shown by the arrow. Responsible.

【0007】プリント基板31面上での冷却温度にばら
つきがあると、空気流本流上にある発熱電子部品41は
問題はないが、本流から逸れた位置にある発熱電子部品
42は余り冷却されず信頼性上問題となる。特に、電子
部品がパルスドライバ等のように非常に発熱量が大きい
部品であると、この部品のみが頻繁に破壊されるという
現象が起きる。
If the cooling temperature on the surface of the printed circuit board 31 varies, the heat-generating electronic components 41 located on the main stream of the air flow will have no problem, but the heat-generating electronic components 42 located at positions deviated from the main stream will not be cooled much. This is a problem in reliability. In particular, if the electronic component is a component that generates a very large amount of heat, such as a pulse driver, a phenomenon occurs in which only this component is frequently destroyed.

【0008】本考案の目的は、プリント基板面上におい
ても均一な冷却効果が得られる電子機器の冷却装置を提
供することにある。
[0008] An object of the present invention is to provide a cooling device for electronic equipment which can obtain a uniform cooling effect even on a printed circuit board surface.

【0009】また、本考案の目的は、発熱分布が不均一
であっても、より均一な冷却温度分布が得られる電子機
器の冷却装置を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a cooling device for electronic equipment which can obtain a more uniform cooling temperature distribution even if the heat generation distribution is not uniform.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】本考案は、発熱電子部品
の実装されたプリント基板をケーシング内に放射状に多
数枚立設した電子機器であって、中央に冷却空気導入用
の空間をもち、空間に冷却空気を流入して放射状に立設
したプリント基板に流出させる電子機器の冷却装置に適
用される。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is an electronic device in which a plurality of printed circuit boards on which heat-generating electronic components are mounted are erected radially in a casing, and has a central space for introducing cooling air, The present invention is applied to a cooling device of an electronic device in which cooling air flows into a space and flows out to a printed circuit board erected radially.

【0011】このような冷却装置において、プリント基
板の放射方向に流出する冷却空気の方向を制御して、各
プリント基板の立設方向、即ち幅方向に冷却空気を均一
に分布させる風向制御板を備え、この風向制御板が、空
間内に立設方向から流入する冷却気体とほぼ直交する風
向制御面をもち、かつ風向を調整できるようにするため
に、プリント基板の立設方向に沿って移動自在に設けら
れるようにしたものである。
In such a cooling device, a wind direction control plate for controlling the direction of the cooling air flowing out in the radial direction of the printed circuit board and uniformly distributing the cooling air in the upright direction of each printed circuit board, ie, in the width direction is provided. The wind direction control plate is empty
Wind that is almost perpendicular to the cooling gas flowing from the vertical direction into the space
In order to have a direction control surface and to be able to adjust the wind direction
In addition, it is provided to be movable in the
It is intended to be.

【0012】[0012]

【0013】また、プリント基板を均一に冷却するため
の最適な風向を自動調整できるようにするために、電子
機器内の温度を検知する温度センサと、検知温度を設定
温度と比較してそれに応じた信号を出力する温度制御部
と、この温度制御部の出力信号に応じて前記風向制御板
の位置を制御するアクチュエータとを備えることが好ま
しい。
Further, in order to automatically adjust the optimal wind direction for uniformly cooling the printed circuit board, a temperature sensor for detecting the temperature in the electronic device, and comparing the detected temperature with a set temperature and responding accordingly. It is preferable to include a temperature control unit that outputs a signal indicating that the air flow direction is low, and an actuator that controls the position of the wind direction control plate according to the output signal of the temperature control unit.

【0014】[0014]

【作用】プリント基板の立設方向から空間に導入された
冷却気体は、空間流入時に加わる加速を伴ってプリント
基板31の遠端に向うように緩やかに曲げられて放射方
向に導出されようとするが、風向制御板の作用を受けて
手前で大きく曲げられる。このため放射方向の気体の流
れはプリント基板の幅方向遠方に偏椅せず均一に分布す
るようになる。従って、電子機器内の温度分布が均一化
される。
The cooling gas introduced into the space from the standing direction of the printed circuit board is gently bent toward the far end of the printed circuit board 31 with acceleration applied when flowing into the space, and tends to be led out in the radial direction. However, due to the action of the wind direction control plate, it is largely bent in front. For this reason, the gas flow in the radial direction is distributed uniformly without being biased to the far side in the width direction of the printed circuit board. Therefore, the temperature distribution in the electronic device is made uniform.

【0015】[0015]

【実施例】以下、ICテスタのテストヘッドに本考案を
適用した実施例を図1〜図2及び図5〜図7を用いて説
明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment in which the present invention is applied to a test head of an IC tester will be described below with reference to FIGS. 1 to 2 and FIGS.

【0016】図7はICテストシステムを示し、例えば
ロジックLSIやメモリの機能及び電気的特性を測定す
るICテスタ本体71と、これに電気的に接続されてD
UTがテストされるテストヘッド70とから主に構成さ
れる。台車72に載せられたテストヘッド70は、内蔵
された軸流ファンにより冷却されるようになっている。
図1はこのようなテストヘッドの概略断面図、図2は同
じく上蓋を取り除いたテストヘッドの内部構造を詳細に
示した斜視図である。
FIG. 7 shows an IC test system, for example, an IC tester main body 71 for measuring functions and electrical characteristics of a logic LSI and a memory, and a D which is electrically connected to the IC tester main body 71.
It mainly comprises a test head 70 on which the UT is tested. The test head 70 mounted on the carriage 72 is cooled by a built-in axial fan.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of such a test head, and FIG. 2 is a perspective view showing the internal structure of the test head from which the upper lid has been removed.

【0017】図2において、上蓋を取り除いたテストヘ
ッド10は、軸流ファンを内蔵した下カバー21、プリ
ント基板を立設した中央枠体22、ICテスタ本体及び
テストヘッドを電気的に接続する結栓板23から主に構
成される。中央に開けられた孔13は顕微鏡用の覗き孔
である。枠体22のマザーボード14上に、顕微鏡用の
覗き孔13を形成する筒体15を取り囲むように放射状
に多数のプリント基板11が立設されている。このプリ
ント基板11にはDUTを測定するための発熱電子部
品、例えばECL(エミッタ・カップルド・ロジック)等
の比較的消費電力の大きな高速素子が実装されている。
In FIG. 2, the test head 10 with the upper lid removed has a lower cover 21 with a built-in axial fan, a central frame 22 on which a printed board is erected, an IC tester main body, and a test head for electrical connection. It is mainly composed of the plug plate 23. The hole 13 formed in the center is a viewing hole for a microscope. A large number of printed circuit boards 11 are erected radially on a mother board 14 of a frame 22 so as to surround a cylindrical body 15 forming a viewing hole 13 for a microscope. On the printed circuit board 11, heat-generating electronic components for measuring the DUT, for example, high-speed elements with relatively large power consumption such as ECL (emitter coupled logic) are mounted.

【0018】マザーボード14上の筒体15の外周には
リング状の通気開口16が形成される。通気開口16の
上方はそのまま放射状に配列したプリント基板11の端
部に囲まれたリング状の空間19になっており、マザー
ボード14裏側から通気開口16、空間19を通して、
プリント基板11間へ冷却空気を導入するようになって
いる。このリング状の空間19に、これへ流入してプリ
ント基板11に流出する冷却空気の方向を制御して、放
射状に配列した各プリント基板11の立設方向(高さ方
向)に冷却空気を均一に分布させる風向制御板1が設け
られている。風向制御板1は、図示例のものでは、筒体
15に水平に嵌挿された円板で構成され、空間内に立設
方向から流入する冷却空気とほぼ直交する風向制御面を
もつようになっている。風向制御板1は固定としても、
可動としてもよい。固定にするときは、プリント基板1
1の高さの丁度半分位の高さに水平に固定することが風
量均一化のために好ましいことが、実験結果から分かっ
ている。また、可動とするときは、筒体15の軸方向に
沿って上下移動自在に取り付け、任意の位置に止められ
るようにして最適位置の調整ができるようにする。
A ring-shaped ventilation opening 16 is formed on the outer periphery of the cylindrical body 15 on the motherboard 14. Above the ventilation opening 16 is a ring-shaped space 19 surrounded by the ends of the printed circuit boards 11 arranged radially as it is, and through the ventilation opening 16 and the space 19 from the back side of the motherboard 14.
Cooling air is introduced between the printed circuit boards 11. The direction of the cooling air flowing into the ring-shaped space 19 and flowing out to the printed circuit board 11 is controlled so that the cooling air is uniformly distributed in the standing direction (height direction) of the printed circuit boards 11 arranged radially. Is provided. In the illustrated example, the wind direction control plate 1 is formed of a disk horizontally fitted into the cylindrical body 15 and has a wind direction control surface substantially perpendicular to the cooling air flowing into the space from the standing direction. Has become. Even if the wind direction control plate 1 is fixed,
It may be movable. When fixing, the printed circuit board 1
Experimental results show that it is preferable to fix horizontally at a height of about half of the height of 1 for uniform air volume. In addition, when it is movable, it is mounted so as to be movable up and down along the axial direction of the cylindrical body 15 so that it can be stopped at an arbitrary position so that the optimal position can be adjusted.

【0019】さて、図1に示すように、軸流ファン12
により通気開口16を通って空間19内に流入した冷却
空気はプリント基板11を冷却した後、スリット18か
ら排出される。テストヘッド12内の空気流は、筒体1
5に水平に風向制御板1を嵌挿すると、軸方向の嵌挿位
置a、b、cに応じて、一点鎖線、実線、二点鎖線の各
矢印に示すようにその流れが変化する。これらの各線で
示された風向は空気の主流と解してよい。風向制御板1
の位置を降下させていくと、これにより空気流が抑え込
まれる格好になって、プリント基板11の下方に移って
いくのが分かる。これからも、プリント基板11の中央
にくるように設定するとよいことが理解できる。
Now, as shown in FIG.
As a result, the cooling air flowing into the space 19 through the ventilation opening 16 cools the printed circuit board 11 and then is discharged from the slit 18. The air flow in the test head 12 is
When the wind direction control plate 1 is horizontally inserted into the block 5, the flow changes as indicated by the dashed line, the solid line, and the two-dot chain line according to the axial insertion positions a, b, and c. The wind direction indicated by each of these lines may be interpreted as the main flow of air. Wind direction control plate 1
It can be seen that when the position is lowered, the airflow is reduced and the airflow moves below the printed circuit board 11. From now on, it can be understood that the setting should be made to be at the center of the printed circuit board 11.

【0020】図5(A)に示すように、プリント基板11
の高さ方向の4点a、b、c、dを取って、これらの点
での風速、温度をプロットすると、図5(B)に示すよう
に、いずれの点の温度も一箇所に集約していることが分
かり、プリント基板面全面が均一に冷却されているのが
分かる。特に、図5(A)に示すように、風向制御板1を
上下動自在に設け、上限と下限位置との間を所定の速度
で、間欠的あるいは連続的に移動させると、風向が平均
化されるため均一化の効果が大きくなる。さらに、同図
中に破線で示した特性曲線Sのように、上下動速度を中
間で最も遅く、上限、下限位置で最も速くなるように設
定すると、先に述べた実験結果の利点と、平均化効果の
利点とが生かされることになって、一層効果的である。
As shown in FIG. 5A, the printed circuit board 11
Taking the four points a, b, c, and d in the height direction, and plotting the wind speed and temperature at these points, as shown in FIG. It can be seen that the entire surface of the printed circuit board is cooled uniformly. In particular, as shown in FIG. 5A, when the wind direction control plate 1 is provided so as to be vertically movable and is moved intermittently or continuously at a predetermined speed between an upper limit and a lower limit, the wind direction is averaged. As a result, the effect of uniformization is increased. Further, if the vertical movement speed is set to be the slowest in the middle and the fastest in the upper and lower positions as shown by the characteristic curve S shown by the broken line in FIG. The advantage of the chemical effect is utilized, and the effect is more effective.

【0021】図6は本考案の他の実施例を示すもので、
上記実施例と異なる点は、テストヘッド内の風量分布を
固定的にするということではなく、プリント基板の発熱
量に応じて最適な風向調整を行なうことにより、温度分
布のより一層の均一化を図るようにしたものである。
FIG. 6 shows another embodiment of the present invention.
The point different from the above embodiment is not to make the air volume distribution in the test head fixed, but to perform the optimal air direction adjustment according to the heat generation amount of the printed circuit board, thereby further uniforming the temperature distribution. It is designed to work.

【0022】風向制御板1をこれにより風向を変更でき
るように垂直方向に調整移動自在に設けることは既述し
た通りである。プリント基板11の各部の温度を検知す
る温度センサ61,61…をテストヘッド10内の周方
向に必要数設けて、テストヘッド10内の温度をきめ細
かく測定できるようにしてある。
As described above, the wind direction control plate 1 is provided so as to be adjustable in the vertical direction so that the wind direction can be changed. The number of temperature sensors 61, 61,... For detecting the temperature of each part of the printed circuit board 11 is provided in the circumferential direction in the test head 10 so that the temperature in the test head 10 can be measured finely.

【0023】これら温度センサ61によって検知された
検知温度を、予め設定した設定温度と比較してそれに応
じた信号を出力する温度制御部62を設ける。これは比
較器やマイクロコンピュータで構成することができる。
そして、この温度制御部62の出力信号に応じて制御さ
れるアクチュエータ63を設け、このアクチュエータ6
3によって風向制御板1の移動速度あるいは位置を制御
するように構成する。これによれば、プリント基板位置
の発熱量が異なっても、例えばプリント基板の高さの低
い方から高い方に向って発熱量が異なる傾向にある場合
であっても、全てのプリント基板を同じような傾向にす
れば、プリント基板面上の温度分布を常に均一化するこ
とができる。このため、プリント基板設計時、各基板に
ついて発熱が基板上で均一化するように厳密に考慮する
必要がなく、発熱傾向を同一にすれば足りるので、プリ
ント基板設計、ひいてはテストヘッドの設計の自由度が
向上するという利点もある。
A temperature control unit 62 is provided for comparing the detected temperature detected by these temperature sensors 61 with a preset set temperature and outputting a signal corresponding thereto. This can be constituted by a comparator or a microcomputer.
An actuator 63 controlled according to an output signal of the temperature control unit 62 is provided.
3, the moving speed or the position of the wind direction control plate 1 is controlled. According to this, even if the amount of heat generated at the position of the printed circuit board is different, for example, even if the amount of heat generated tends to be different from the lower side to the higher side of the printed circuit board, all the printed circuit boards are the same. With such a tendency, the temperature distribution on the printed circuit board surface can always be made uniform. For this reason, when designing a printed circuit board, it is not necessary to strictly consider the generation of heat for each substrate so as to make it uniform on the substrate, and it is sufficient to make the heat generation tendency the same. There is also an advantage that the degree is improved.

【0024】以上述べたように本実施例によれば、風向
制御板として円板を設けてプリント基板に流入する冷却
空気の風向を制御して風量分布を幅方向に均一化したの
で、プリント基板の均一冷却が可能となり、テストヘッ
ドの大容量化に対処できる。
As described above, according to the present embodiment, the circular plate is provided as the wind direction control plate to control the direction of the cooling air flowing into the printed circuit board to make the air volume distribution uniform in the width direction. Can be uniformly cooled, and the capacity of the test head can be increased.

【0025】なお、上記実施例ではテストヘッドの下部
に軸流ファンを設けて下方から冷却空気を吸入する場合
について述べたが、本考案はこれに限定されるものでは
なく、テストヘッドの上部に軸流ファンを設けて上方か
ら冷却空気を吸入するようにした場合にも適用できる。
In the above embodiment, the case where the axial fan is provided at the lower part of the test head and the cooling air is sucked from below has been described. However, the present invention is not limited to this. The present invention can also be applied to a case where an axial fan is provided to suck cooling air from above.

【0026】また、風向制御板用の円板を水平方向に設
けるようにしたが、幾分傾斜させても構わない。しか
し、実験結果によると大きく傾斜させたり、制御板の形
状を漏斗状もしくはラッパ状にすることは好ましくな
い。流入時の風向を助長することになるからである。
Although the disk for the wind direction control plate is provided in the horizontal direction, it may be slightly inclined. However, according to the experimental results, it is not preferable to make the control plate inclined greatly or to make the shape of the control plate funnel-shaped or trumpet-shaped. This is because the wind direction at the time of inflow is promoted.

【0027】また、上記実施例では電子機器としてIC
テスタ用のテストヘッドの場合について説明したが、本
考案はテストヘッドに限定されない。吸引手段で気体を
導入して冷却する機器であって、機器内の風量分布が不
均一になるものであれば、いずれの電子機器にも適用で
きる。
In the above embodiment, the electronic device is an IC.
Although the case of the test head for the tester has been described, the present invention is not limited to the test head. The present invention can be applied to any electronic device as long as it is a device that introduces gas by a suction unit and cools the device, and the air volume distribution in the device becomes non-uniform.

【0028】[0028]

【考案の効果】以上述べたように本考案によれば次の効
果を発揮する。
[Effects of the Invention] As described above, the present invention has the following effects.

【0029】請求項1に記載の電子機器の冷却装置によ
れば、風向制御板を設けることにより、プリント基板に
流れる冷却気体の風向を制御して風量分布をプリント基
板の立設方向に均一化したので、プリント基板面上を均
一に冷却することができる。しかも、風向制御板を移動
自在に設けたので、風向の適正化が行える。
According to the cooling device for electronic equipment of the present invention, by providing the air flow direction control plate, the air flow direction of the cooling gas flowing through the printed circuit board is controlled to make the air volume distribution uniform in the standing direction of the printed circuit board. As a result, the surface of the printed circuit board can be uniformly cooled. In addition, move the wind direction control plate
Since it is provided freely, the wind direction can be optimized.

【0030】[0030]

【0031】請求項に記載の電子機器の冷却装置によ
れば、風向制御板を温度制御機構と連動させたので、機
器内の発熱分布が不均一であっても、より均一な冷却温
度分布が得られる。
[0031] According to the cooling device of an electronic apparatus according to claim 2, since the air direction control board was in conjunction with the temperature control mechanism, even heat generation distribution is uneven in the device, a more uniform cooling temperature distribution Is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】ICテスタのテストヘッドに適用した本考案の
実施例を示す概略断面図。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing an embodiment of the present invention applied to a test head of an IC tester.

【図2】本実施例の上蓋を取ったテストヘッドの詳細構
造を示す斜視図。
FIG. 2 is a perspective view showing a detailed structure of a test head with an upper lid removed according to the embodiment.

【図3】従来のテストヘッドの冷却装置例の概略を示す
平面図及び断面図。
FIG. 3 is a plan view and a cross-sectional view schematically illustrating an example of a conventional cooling device for a test head.

【図4】従来例の冷却特性を示す説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram showing cooling characteristics of a conventional example.

【図5】本実施例の冷却特性を示す説明図。FIG. 5 is an explanatory diagram showing cooling characteristics of the embodiment.

【図6】本考案の他の実施例を示す構成図。FIG. 6 is a block diagram showing another embodiment of the present invention.

【図7】ICテストシステムを示す全体構成図。FIG. 7 is an overall configuration diagram showing an IC test system.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 風向制御板 10 テストヘッド 11 プリント基板 12 軸流ファン 13 顕微鏡用覗き孔 14 マザーボード 15 筒体 16 通気開口 18 スリット 19 空間 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Wind direction control board 10 Test head 11 Printed circuit board 12 Axial flow fan 13 Microscope observation hole 14 Motherboard 15 Cylindrical body 16 Vent opening 18 Slit 19 Space

Claims (2)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of request for utility model registration] 【請求項1】中央に空間が形成されるようにプリント基
板を放射状に立設し、立設方向から前記空間に流入させ
た冷却気体を放射方向に流出させることによりプリント
基板を冷却する電子機器の冷却装置において、 前記空間に、冷却気体の方向を制御して、放射状に流出
させる冷却気体を各プリント基板の立設方向に沿って均
一に分布させる風向制御板を備え 該風向制御板が、空間内に立設方向から流入する冷却気
体とほぼ直交する風向制御面をもち、プリント基板の立
設方向に移動自在に設けられている ことを特徴とする電
子機器の冷却装置。
An electronic device for cooling a printed circuit board by radiating a printed circuit board radially so that a space is formed in the center, and discharging a cooling gas flowing into the space from the erected direction in a radial direction. in the cooling device, in the space, by controlling the direction of the cooling gas, along the cooling gas to flow out radially standing direction of the printed circuit board comprises a uniform wind direction is controlled distribution plate, is該風direction control plate , Cooling air flowing into the space from the vertical direction
It has a wind direction control surface that is almost perpendicular to the body,
A cooling device for electronic equipment, wherein the cooling device is movably provided in a setting direction .
【請求項2】プリント基板の温度を検知する温度センサ
と、 検知温度を設定温度と比較してそれに応じた信号を出力
する温度制御部と、 この温度制御部の出力信号に応じて前記風向制御板の位
置を制御するアクチュエータとを備えた ことを特徴とす
る請求項1に記載の電子機器の冷却装置。
2. A temperature sensor for detecting a temperature of a printed circuit board.
And compares the detected temperature with the set temperature and outputs a signal according to it
And a position of the wind direction control plate according to an output signal of the temperature control unit.
The cooling device for an electronic device according to claim 1, further comprising an actuator for controlling an arrangement.
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