JP2522612B2 - 薄膜インダクタンス素子 - Google Patents
薄膜インダクタンス素子Info
- Publication number
- JP2522612B2 JP2522612B2 JP3215070A JP21507091A JP2522612B2 JP 2522612 B2 JP2522612 B2 JP 2522612B2 JP 3215070 A JP3215070 A JP 3215070A JP 21507091 A JP21507091 A JP 21507091A JP 2522612 B2 JP2522612 B2 JP 2522612B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spiral coil
- magnetic
- thin film
- inductance element
- magnetic film
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- Expired - Lifetime
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- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電気回路素子として使
用される薄膜インダクタンス素子に関するものである。
用される薄膜インダクタンス素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来は、角型に旋回したコイルのみで薄
膜インダクタンス素子を構成するか、あるいは、図３の
ように角型に旋回したコイル１１の上下を２つの磁性膜
１２，１３ではさむように配置し、薄膜インダクタンス
素子を構成していた。
膜インダクタンス素子を構成するか、あるいは、図３の
ように角型に旋回したコイル１１の上下を２つの磁性膜
１２，１３ではさむように配置し、薄膜インダクタンス
素子を構成していた。
【０００３】また、前記コイル１１をはさむ２つの磁性
膜１２，１３は、図４（ａ）のように平板状の膜、ある
いは図４（ｂ）のように前記コイル１１の幅と同じ幅の
磁性膜１２，１３で形成され、薄膜インダクタ素子を構
成していた。これらは、電気学会研究会資料マグネティ
ックス研究会ＭＡＧ−８８−２３に記載されている。
膜１２，１３は、図４（ａ）のように平板状の膜、ある
いは図４（ｂ）のように前記コイル１１の幅と同じ幅の
磁性膜１２，１３で形成され、薄膜インダクタ素子を構
成していた。これらは、電気学会研究会資料マグネティ
ックス研究会ＭＡＧ−８８−２３に記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記のような角型に旋
回したコイルのみの薄膜インダクタンス素子では、イン
ダクタンス値が小さいという問題点があった。また、角
型に旋回したコイルの上下を、平板状の２つの磁性膜、
あるいは前記コイルの幅と同じ幅の２つの磁性膜て、は
さむ方式の薄膜インダクタンス素子では、上下の磁性膜
が磁気的に接続されていないため、反磁界の影響が大き
く、十分なインダクタンス値が得られないという問題点
があった。
回したコイルのみの薄膜インダクタンス素子では、イン
ダクタンス値が小さいという問題点があった。また、角
型に旋回したコイルの上下を、平板状の２つの磁性膜、
あるいは前記コイルの幅と同じ幅の２つの磁性膜て、は
さむ方式の薄膜インダクタンス素子では、上下の磁性膜
が磁気的に接続されていないため、反磁界の影響が大き
く、十分なインダクタンス値が得られないという問題点
があった。
【０００５】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
で、角型に旋回した角型スパイラルコイルを用いた薄膜
インダクタンス素子において、前記角型スパイラルコイ
ルの各辺の個々の導線の上下に配置した第１の磁性膜及
び第２の磁性膜を接続し磁性膜を閉磁路構造にすること
により、反磁界の影響を少なくし、大きなインダクタン
ス値を有する小型で高周波数特性が優れた薄膜インダク
タンス素子を提供することを目的とする。
で、角型に旋回した角型スパイラルコイルを用いた薄膜
インダクタンス素子において、前記角型スパイラルコイ
ルの各辺の個々の導線の上下に配置した第１の磁性膜及
び第２の磁性膜を接続し磁性膜を閉磁路構造にすること
により、反磁界の影響を少なくし、大きなインダクタン
ス値を有する小型で高周波数特性が優れた薄膜インダク
タンス素子を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、角型に旋回した角型スパイラルコイルと、
この角型スパイラルコイルの各辺の個々の導線にそれぞ
れ対応して上下に配置した複数個の第１の磁性膜及び複
数個の第２の磁性膜とを備え、前記第１の磁性膜及び前
記第２の磁性膜を前記角型スパイラルコイルの各辺の個
々の導線の外辺部近傍及び内辺部近傍で接続し、前記角
型スパイラルコイルの各辺の個々の導線の周囲を磁性膜
が囲む構造にしたものである。
するために、角型に旋回した角型スパイラルコイルと、
この角型スパイラルコイルの各辺の個々の導線にそれぞ
れ対応して上下に配置した複数個の第１の磁性膜及び複
数個の第２の磁性膜とを備え、前記第１の磁性膜及び前
記第２の磁性膜を前記角型スパイラルコイルの各辺の個
々の導線の外辺部近傍及び内辺部近傍で接続し、前記角
型スパイラルコイルの各辺の個々の導線の周囲を磁性膜
が囲む構造にしたものである。
【０００７】
【作用】上記手段のような構成の薄膜インダクタンス素
子の角型スパイラルコイルに電流を流すと、第１の磁性
膜と第２の磁性膜は互いに逆向きに励磁する。前記第１
の磁性膜と前記第２の磁性膜は前記角型スパイラルコイ
ルの各辺の個々の導線と重ならない領域の前記角型スパ
イラルコイルの各辺の個々の導線の外辺部近傍と内辺部
近傍で接続しているため、磁気的に接続され、反磁界の
影響が少ない閉磁路構造を形成する。この構成により大
きなインダクタンス値を得ることができ、小さい磁性膜
で十分なインダクタンス値を得ることが可能になる。
子の角型スパイラルコイルに電流を流すと、第１の磁性
膜と第２の磁性膜は互いに逆向きに励磁する。前記第１
の磁性膜と前記第２の磁性膜は前記角型スパイラルコイ
ルの各辺の個々の導線と重ならない領域の前記角型スパ
イラルコイルの各辺の個々の導線の外辺部近傍と内辺部
近傍で接続しているため、磁気的に接続され、反磁界の
影響が少ない閉磁路構造を形成する。この構成により大
きなインダクタンス値を得ることができ、小さい磁性膜
で十分なインダクタンス値を得ることが可能になる。
【０００８】一方、磁性膜を小さくし、磁性膜を角型ス
パイラルコイルの各辺の個々の導線に対応した複数個に
分割することにより、磁性膜による高周波数帯域での渦
電流損を少なくすることができ、インダクタンス値の高
周波数特性の向上が図れる。
パイラルコイルの各辺の個々の導線に対応した複数個に
分割することにより、磁性膜による高周波数帯域での渦
電流損を少なくすることができ、インダクタンス値の高
周波数特性の向上が図れる。
【０００９】また、磁性膜を角型スパイラルコイルの各
辺の個々の導線に対応した複数個に分割した構造とした
ので、インダクタンス素子を複数個に分割した構成にな
り、寄生容量が分散され共振周波数を高くすることがで
きる。
辺の個々の導線に対応した複数個に分割した構造とした
ので、インダクタンス素子を複数個に分割した構成にな
り、寄生容量が分散され共振周波数を高くすることがで
きる。
【００１０】
【実施例】以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。本発明の実施例を図１に示す。すなわち、角型に
旋回した角型スパイラルコイル１の各辺の個々の導線の
上下に配置した１２個の第１の磁性膜２０１と１２個の
第２の磁性膜３０１は、角型スパイラルコイル１の各辺
の隣合う個々の導線間において、前記角型スパイラルコ
イル１の各辺の個々の導線の外辺部近傍４０１と内辺部
近傍５０１で接続し、前記角型スパイラルコイル１の各
辺の個々の導線の周囲を磁性膜２０１，３０１が囲む構
造を形成する。図２は、図１のＤ−Ｄ線断面図である。
電流ｉを図に示す方向に流すと、前記第１の磁性膜２０
１は矢印Ｅ方向に励磁し、第２の磁性膜３０１は矢印Ｆ
方向に励磁し、角型スパイラルコイル１の各辺の隣合う
個々の導線間において、前記角型スパイラルコイル１の
各辺の個々の導線の外辺部近傍４０１と内辺部近傍５０
１で磁気的に接続され、閉磁路構造を形成するため、大
きなインダクタンス値を得ることができる。
する。本発明の実施例を図１に示す。すなわち、角型に
旋回した角型スパイラルコイル１の各辺の個々の導線の
上下に配置した１２個の第１の磁性膜２０１と１２個の
第２の磁性膜３０１は、角型スパイラルコイル１の各辺
の隣合う個々の導線間において、前記角型スパイラルコ
イル１の各辺の個々の導線の外辺部近傍４０１と内辺部
近傍５０１で接続し、前記角型スパイラルコイル１の各
辺の個々の導線の周囲を磁性膜２０１，３０１が囲む構
造を形成する。図２は、図１のＤ−Ｄ線断面図である。
電流ｉを図に示す方向に流すと、前記第１の磁性膜２０
１は矢印Ｅ方向に励磁し、第２の磁性膜３０１は矢印Ｆ
方向に励磁し、角型スパイラルコイル１の各辺の隣合う
個々の導線間において、前記角型スパイラルコイル１の
各辺の個々の導線の外辺部近傍４０１と内辺部近傍５０
１で磁気的に接続され、閉磁路構造を形成するため、大
きなインダクタンス値を得ることができる。
【００１１】また、図１の実施例のように、第１の磁性
膜２０１と第２の磁性膜３０１を長方形にし、短辺方向
に励磁する構成にすると、磁化困難軸励磁になり、高周
波数特性が優れた薄膜インダクタンス素子が得られる。
膜２０１と第２の磁性膜３０１を長方形にし、短辺方向
に励磁する構成にすると、磁化困難軸励磁になり、高周
波数特性が優れた薄膜インダクタンス素子が得られる。
【００１２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、大きなイ
ンダクタンス値を有し、小型で高周波数特性が優れた薄
膜インダクタンス素子を得ることができる。
ンダクタンス値を有し、小型で高周波数特性が優れた薄
膜インダクタンス素子を得ることができる。
【図１】本発明の実施例を示す概略構成図である。
【図２】図１のＤ−Ｄ線断面図である。
【図３】従来の薄膜インダクタンス素子を示す概略構成
図である。
図である。
【図４】従来の薄膜インダクタンス素子の断面図であ
る。
る。
１…角型に旋回した角型スパイラルコイル、２０１…第
１の磁性膜、３０１…第２の磁性膜。
１の磁性膜、３０１…第２の磁性膜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−283004（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−45815（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭44−1631（ＪＰ，Ｂ１)
Claims (1)
- 【請求項１】 角型に旋回した角型スパイラルコイル
と、この角型スパイラルコイルの各辺の個々の導線にそ
れぞれ対応して上下に配置した複数個の第１の磁性膜及
び複数個の第２の磁性膜とを備え、前記第１の磁性膜及
び前記第２の磁性膜を前記角型スパイラルコイルの各辺
の個々の導線の外辺部近傍及び内辺部近傍で接続し、前
記角型スパイラルコイルの各辺の個々の導線の周囲を磁
性膜が囲む構造を有することを特徴とする薄膜インダク
タンス素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3215070A JP2522612B2 (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 薄膜インダクタンス素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3215070A JP2522612B2 (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 薄膜インダクタンス素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0684644A JPH0684644A (ja) | 1994-03-25 |
| JP2522612B2 true JP2522612B2 (ja) | 1996-08-07 |
Family
ID=16666262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3215070A Expired - Lifetime JP2522612B2 (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | 薄膜インダクタンス素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2522612B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6225607A (ja) * | 1985-07-24 | 1987-02-03 | Taisei Corp | 防波堤 |
| JPS6224607A (ja) * | 1985-07-24 | 1987-02-02 | Nec Corp | 変成器 |
| JPS63283004A (ja) * | 1987-05-14 | 1988-11-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 平面インダクタならびにその製造方法 |
-
1991
- 1991-08-27 JP JP3215070A patent/JP2522612B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0684644A (ja) | 1994-03-25 |
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