JP2516335B2 - Test head cooling mechanism - Google Patents

Test head cooling mechanism

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JP2516335B2
JP2516335B2 JP61068003A JP6800386A JP2516335B2 JP 2516335 B2 JP2516335 B2 JP 2516335B2 JP 61068003 A JP61068003 A JP 61068003A JP 6800386 A JP6800386 A JP 6800386A JP 2516335 B2 JP2516335 B2 JP 2516335B2
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test head
fan
cylindrical body
cooling mechanism
intake
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章司 露木
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Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ICテスト装置用テストヘッドの冷却機構
に関する。更に詳細には、本発明は吸気効果の高いテス
トヘッド用冷却機構に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a cooling mechanism for a test head for an IC test device. More specifically, the present invention relates to a cooling mechanism for a test head having a high intake effect.

〔従来技術〕[Prior art]

ICテスト装置のテストヘッド内には多数の回路基板が
実装されており、その搭載部品による発熱量は相当に大
きい。そこで従来は、テストヘッドの内部にファンを設
け、テストヘッドの底面に設けられた開口より外気を吸
い込み、テストヘッド内部を通過させてテストヘッドの
側面から排出させることにより、回路基板を冷却するよ
うにしている。
A large number of circuit boards are mounted in the test head of the IC test apparatus, and the amount of heat generated by the mounted components is considerably large. Therefore, conventionally, a circuit board is cooled by providing a fan inside the test head, sucking the outside air through an opening provided on the bottom surface of the test head, passing it through the inside of the test head, and discharging it from the side surface of the test head. I have to.

〔発明が解決しようとする問題点〕[Problems to be solved by the invention]

第5図は従来の冷却機構の概略的な部分断面図であ
る。
FIG. 5 is a schematic partial sectional view of a conventional cooling mechanism.

第5図に示されるように、従来の冷却機構は冷却外気
取込み用の有孔円筒体100と該円筒体に隣接して配設さ
れた吸気用ファン110とを有する。有底円筒体100は筐体
120に接合されており、また、吸気用ファン110も取り付
け用プレート112により筐体に固設されている。
As shown in FIG. 5, the conventional cooling mechanism has a perforated cylindrical body 100 for taking in cooling air and an intake fan 110 disposed adjacent to the cylindrical body. The bottomed cylindrical body 100 is a housing
It is joined to 120, and the intake fan 110 is also fixed to the housing by a mounting plate 112.

しかし、テスト対象のICの高集積化に伴い、テストヘ
ッド内に実装される回路基板の枚数が増加し、また、そ
の実装密度も高くなってきたため、前記のような従来の
冷却構造では十分な冷却効果を達成することが困難にな
りつつある。
However, as the number of circuit boards mounted in the test head has increased with the high integration of the ICs to be tested, and the mounting density has also increased, the conventional cooling structure as described above is sufficient. It is becoming difficult to achieve the cooling effect.

冷却風量を増加させるために大型のファンを配設する
ことは筐体の容積に限界があるため現実的な解決法とは
言えない。
Arranging a large fan to increase the cooling air volume is not a realistic solution because the volume of the housing is limited.

〔発明の目的〕[Object of the Invention]

従って、この発明の目的は、筐体の容積およびファン
のサイズを全く変更することなく冷却風量を増大させる
ことのできるテストヘッド用冷却機構を提供することで
ある。
Therefore, an object of the present invention is to provide a cooling mechanism for a test head capable of increasing the cooling air volume without changing the volume of the housing and the size of the fan.

〔問題点を解決するための手段〕[Means for solving problems]

前記の問題点を解決し、この目的は達成するための手
段として、本発明は、テストヘッドの略中央部に、冷却
外気取込み用の有孔円筒体と該円筒体の外周面に隣接し
て該円筒体を取り囲むように配設された外側筐体を具備
する複数の吸気用ファンとを有する、ICテスト装置用テ
ストヘッドの冷却機構において、前記吸気用ファンの直
下および/または直上の前記テストヘッドの筐体部分に
吸気孔が穿設され、この吸気孔が穿設された前記テスト
ヘッドの筐体部分と前記吸気用ファンの外側筐体との間
に空気の流通路を有することを特徴とするテストヘッド
冷却機構を提供する。
As a means for solving the above-mentioned problems and achieving this object, the present invention provides a test head, which is provided with a perforated cylindrical body for intake of cooling outside air and a peripheral surface of the cylindrical body. In a cooling mechanism for a test head for an IC test device, comprising: a plurality of intake fans provided with an outer casing arranged so as to surround the cylindrical body, the test just below and / or directly above the intake fan. An air intake hole is formed in a housing portion of the head, and an air flow passage is provided between the housing portion of the test head in which the intake hole is formed and an outer housing of the intake fan. And a test head cooling mechanism.

〔作用〕[Action]

テストヘッド用冷却機構の改良実験を重ねるうちに、
本発明者はファンと、これに隣接した筐体部分との間に
負圧が発生することを発見した。この発見に基づき、負
圧が発生している筐体部分に開孔部を穿設した。
During repeated experiments on the cooling mechanism for the test head,
The inventor has discovered that a negative pressure is generated between the fan and the housing portion adjacent to the fan. Based on this finding, an opening was made in the case where negative pressure was generated.

その結果、ファンを回転させると、この開孔部からも
外気が激しく吸込まれることを確認した。かくして、筐
体の容積およびファンのサイズを全く変更することな
く、冷却風量を増大させることにより、冷却効果を高め
ることができる。
As a result, it was confirmed that when the fan was rotated, the outside air was drastically sucked also from this opening. Thus, the cooling effect can be enhanced by increasing the cooling air volume without changing the volume of the housing and the size of the fan at all.

〔実施例〕〔Example〕

以下、この発明の一実施例について図面を参照して詳
細に説明する。
An embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

第1図は本発明のテストヘッド冷却機構の概略的部分
断面図,第2図は本発明の冷却機構を有するテストヘッ
ドを備えたICテスト装置の側面図,第3図はテストヘッ
ドのII-II′線に沿った概略断面図である。第4図はテ
ストヘッドの一部切欠断面を有する上面図である。
FIG. 1 is a schematic partial sectional view of a test head cooling mechanism of the present invention, FIG. 2 is a side view of an IC test apparatus equipped with a test head having the cooling mechanism of the present invention, and FIG. 3 is a test head II-. It is a schematic sectional drawing along the II 'line. FIG. 4 is a top view having a partially cutaway cross section of the test head.

第1図に示されるように、本発明のテストヘッド冷却
機構は、冷却外気取込み用の有孔円筒体10と該円筒体の
外周面に隣接して配設された吸気用ファン20とを有す
る。有孔円筒体10はテストヘッドの上下の筐体30,30に
接合されており、また、吸気用ファン20も取り付け用プ
レート22によりテストヘッドの上下の筐体30,30に固設
されている。
As shown in FIG. 1, the test head cooling mechanism of the present invention includes a perforated cylindrical body 10 for taking in cooling outside air, and an intake fan 20 arranged adjacent to the outer peripheral surface of the cylindrical body. . The perforated cylindrical body 10 is joined to the upper and lower casings 30, 30 of the test head, and the intake fan 20 is also fixed to the upper and lower casings 30, 30 of the test head by the mounting plate 22. .

前記テストヘッドの筐体30の、吸気用ファン20の直下
にあたる部分に吸気孔40が穿設されている。具体的に
は、図示されているように、ファン20のプロペラと取付
用プレート22との間ぐらいの位置の筐体部分に吸気孔40
を穿設する。同様に、ファンの直上にも吸気孔を穿設す
ることができる。
An intake hole 40 is formed in a portion of the casing 30 of the test head, which is directly below the intake fan 20. Specifically, as shown in the drawing, the intake hole 40 is provided in the housing portion at a position between the propeller of the fan 20 and the mounting plate 22.
To drill. Similarly, an intake hole can be provided directly above the fan.

ファンが回転されると二点鎖線で示される方向に外気
が吸引される。
When the fan is rotated, the outside air is sucked in the direction indicated by the chain double-dashed line.

第2図に示されるように、ICテスト装置50は、本体52
とテストヘッド60とから構成されている。本体52は、テ
ストヘッド60内の回路用の電源などを収容しているもの
であり、レベリングボルト54によって床上に移動可能に
設置される。
As shown in FIG. 2, the IC test device 50 includes a main body 52.
And a test head 60. The main body 52 accommodates a power source for circuits inside the test head 60, and is movably installed on the floor by the leveling bolts 54.

テストヘッド60は、支持部56によって、少なくとも回
動可能に支持されている。ICテスト装置50をICハンドラ
と組合わせて使用する場合、テストヘッド60は図示のよ
うに垂直に回動させられ、テストヘッド60の上面側に設
けられたソケット62とICハンドラの接続ピンとが結合さ
れる。ICの手選別を行うような場合、テストヘッド60は
水平位置に倒される。58aはテストヘッド60を直立位置
に固定するためのロックピンであり、58bはテストヘッ
ド60を水平位置に固定するためのロックピンである。
The test head 60 is at least rotatably supported by the support portion 56. When the IC test device 50 is used in combination with the IC handler, the test head 60 is rotated vertically as shown in the figure, and the socket 62 provided on the upper surface side of the test head 60 and the connection pin of the IC handler are combined. To be done. In the case of hand-selecting ICs, the test head 60 is tilted to the horizontal position. 58a is a lock pin for fixing the test head 60 in the upright position, and 58b is a lock pin for fixing the test head 60 in the horizontal position.

なお、本体52とテストヘッド60との間の信号ケーブル
や、冷却構造に直接関係しない前記以外の部分は、図中
省略されている。
The signal cable between the main body 52 and the test head 60 and other parts not directly related to the cooling structure are omitted in the drawing.

次に、第3図を参照して、テストヘッド60の冷却に関
連した構造を説明する。この図は、テストヘッド60のII
-II′線概略断面図であり、テストヘッド60の冷却に直
接関連しない部分は省略または簡略化されている。
Next, with reference to FIG. 3, a structure related to the cooling of the test head 60 will be described. This figure shows test head 60 II
6 is a schematic cross-sectional view taken along line -II ′ in which portions of the test head 60 that are not directly related to cooling are omitted or simplified.

この図に示されているように、テストヘッド60の内部
には、多数の回路基板64が放射状に配置されている。中
央部には、円筒体10が、テストヘッド60の下面に対し垂
直に設けられている。円筒体10の下端は開口されてい
る。また、円筒体10の側面には、冷却用外気を取り込む
ため多数の空気穴または網の窓が形成されている。従っ
て、外気は、円筒体10の側面を通過し、回路基板64の実
装空間へ流れる。円筒体10の下端開口部には除塵用のフ
ィルタを取り付けることもできる。
As shown in this figure, a large number of circuit boards 64 are radially arranged inside the test head 60. The cylindrical body 10 is provided in the center portion in a direction perpendicular to the lower surface of the test head 60. The lower end of the cylindrical body 10 is open. In addition, a large number of air holes or net windows are formed on the side surface of the cylindrical body 10 for taking in outside air for cooling. Therefore, the outside air passes through the side surface of the cylindrical body 10 and flows into the mounting space of the circuit board 64. A filter for removing dust can be attached to the lower end opening of the cylindrical body 10.

円筒体10の外周面に隣接して吸気用ファン20が配設さ
れている。吸気用ファン20は円筒体10の外周面を取り囲
むように4基設けられている。ファン20はプレート22に
よりテストヘッド60の下側の筐体30に取付けられてい
る。(ファン20は上側の筐体30にも同様に取付けられて
いる。)点線で示されるように、ファン20の直下には吸
気孔40の穿設されている。
An intake fan 20 is arranged adjacent to the outer peripheral surface of the cylindrical body 10. Four intake fans 20 are provided so as to surround the outer peripheral surface of the cylindrical body 10. The fan 20 is attached to the housing 30 below the test head 60 by the plate 22. (The fan 20 is also attached to the upper housing 30 in the same manner.) As shown by the dotted line, an intake hole 40 is provided immediately below the fan 20.

また、テストヘッド60の側面板66の近傍に排気用ファ
ン20aが配置されている。側面板66には、第2図に示さ
れるように、網窓68が設けられている。排気用ファン20
aはこの網窓68に対峙して設けることが好ましい。
An exhaust fan 20a is arranged near the side plate 66 of the test head 60. The side plate 66 is provided with a mesh window 68, as shown in FIG. Exhaust fan 20
It is preferable that a is provided so as to face the mesh window 68.

従って、円筒体10の空気穴および筐体の吸気孔40から
ファン20により吸い込まれた冷却外気は回路基板実装空
間を経由して外向きに送られ、回路基板64を冷却した
後、排気用ファン20aにより網窓68を通じて外部へ排出
される。
Therefore, the cooling outside air sucked by the fan 20 from the air hole of the cylindrical body 10 and the intake hole 40 of the housing is sent outward through the circuit board mounting space to cool the circuit board 64, and then the exhaust fan. It is discharged to the outside through the mesh window 68 by 20a.

第4図はテストヘッドの上面図であり、内部が見える
ように筐体30の一部が切り欠かれている。また、第4図
では、図示を簡略化し、かつ、明確化するために、第2
図に示されたソケット62を省略した状態のテストヘッド
上面が図示されている。ここで、第4図におけるI−
I′線に沿った断面は第1図の断面図に相当する。
FIG. 4 is a top view of the test head, and a part of the housing 30 is cut away so that the inside can be seen. In addition, in FIG. 4, the second part is shown in order to simplify and clarify the illustration.
The upper surface of the test head is shown with the socket 62 shown in the figure omitted. Here, I- in FIG.
The cross section taken along line I'corresponds to the cross sectional view of FIG.

〔発明の効果〕〔The invention's effect〕

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、IC
テスト装置用テストヘッドの冷却機構において、冷却外
気取込み用の有孔円筒体と該円筒体に隣接して配設され
た吸気用ファンとを有し、前記吸気用ファンに隣接した
筐体部分に吸気孔が穿設されていることを特徴とするテ
ストヘッド冷却機構が提供される。
As is clear from the above description, according to the present invention, the IC
In a cooling mechanism of a test head for a test apparatus, a cooling head has a cylindrical body for taking in outside air for cooling, and an intake fan arranged adjacent to the cylindrical body, and a casing part adjacent to the intake fan is provided. There is provided a test head cooling mechanism characterized in that an intake hole is provided.

有孔円筒体に隣接した位置に配設されたファンを回転
させる。ファンと、これに隣接した筐体部分との間に負
圧が発生する。負圧が発生している筐体部分に開孔部を
穿設すると、ファンの回転により、この開孔部からも外
気が激しく吸込まれる。かくして、筐体の容積およびフ
ァンのサイズを全く変更することなく、冷却風量を増大
させることにより、冷却効果を高めることができる。
A fan arranged adjacent to the perforated cylinder is rotated. Negative pressure is generated between the fan and the housing portion adjacent to the fan. When an opening portion is bored in the housing portion where negative pressure is generated, the fan is rotated so that the outside air is strongly sucked from the opening portion. Thus, the cooling effect can be enhanced by increasing the cooling air volume without changing the volume of the housing and the size of the fan at all.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

第1図は本発明のテストヘッド冷却機構の概略的部分断
面図,第2図は本発明の冷却機構を有するテストヘッド
を備えたICテスト装置の側面図,第3図はテストヘッド
のII-II′線に沿った概略断面図,第4図はテストヘッ
ドの一部切欠断面を有する上面図,第5図は従来のテス
トヘッド冷却機構の概略的部分断面図である。 10……有孔円筒体、20……吸気用ファン、20a……排気
用ファン、30……筐体、40……吸気孔、50……ICテスト
装置、52……本体、54……レベリングボルト、56……支
持部、58aおよび58b……ロックピン、60……テストヘッ
ド、62……ソケット、64……IC基板、68……側面板、68
……網窓
FIG. 1 is a schematic partial sectional view of a test head cooling mechanism of the present invention, FIG. 2 is a side view of an IC test apparatus equipped with a test head having the cooling mechanism of the present invention, and FIG. 3 is a test head II-. FIG. 4 is a schematic sectional view taken along line II ′, FIG. 4 is a top view having a partially cutaway sectional view of the test head, and FIG. 5 is a schematic partial sectional view of a conventional test head cooling mechanism. 10 …… Cylindrical body with holes, 20 …… Intake fan, 20a …… Exhaust fan, 30 …… Enclosure, 40 …… Intake hole, 50 …… IC test device, 52 …… Main body, 54 …… Leveling Bolts, 56 ... Supports, 58a and 58b ... Lock pins, 60 ... Test head, 62 ... Sockets, 64 ... IC board, 68 ... Side plate, 68
...... Mesh window

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】テストヘッドの略中央部に、冷却外気取込
み用の有孔円筒体と該円筒体の外周面に隣接して該円筒
体を取り囲むように配設された外側筐体を具備する複数
の吸気用ファンとを有する、ICテスト装置用テストヘッ
ドの冷却機構において、前記吸気用ファンの直下および
/または直上の前記テストヘッドの筐体部分に吸気孔が
穿設され、この吸気孔が穿設された前記テストヘッドの
筐体部分と前記吸気用ファンの外側筐体との間に空気の
流通路を有することを特徴とするテストヘッド冷却機
構。
1. A test head is provided with a perforated cylindrical body for taking in cooling air and an outer casing disposed adjacent to an outer peripheral surface of the cylindrical body so as to surround the cylindrical body, in a substantially central portion of the test head. In a cooling mechanism for a test head for an IC test device, which has a plurality of intake fans, an intake hole is formed in a housing portion of the test head immediately below and / or immediately above the intake fan. A test head cooling mechanism comprising an air flow passage between a housing portion of the test head that is punched and an outer housing of the intake fan.
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