JP2513673B2 - 真空吸着装置 - Google Patents

真空吸着装置

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JP2513673B2
JP2513673B2 JP62088502A JP8850287A JP2513673B2 JP 2513673 B2 JP2513673 B2 JP 2513673B2 JP 62088502 A JP62088502 A JP 62088502A JP 8850287 A JP8850287 A JP 8850287A JP 2513673 B2 JP2513673 B2 JP 2513673B2
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信夫 藤江
謙二 渡辺
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Fujitsu VLSI Ltd
Fujitsu Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 水中或いは化学的に腐食性の雰囲気中でも使用できる
ように、本体の吸着面に撥水性の微小孔をもったメンブ
ランフィルタを設けた真空吸着装置。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、真空吸着装置に係り、特にその吸着面の改
良に関するものである。
半導体基板のような薄いウエーハを吸着して、ハンド
リングする真空吸着装置はその他の産業分野においても
広く用いられている。
しかしながら、半導体装置の製造における現像工程等
のような水中或いは化学的に腐食性の雰囲気中で使用す
る場合にはその機能を充分に発揮することができないの
が現状である。
以上のような状況から水中或いは化学的に腐食性の雰
囲気中でも使用が可能な真空吸着装置が要望されてい
る。
〔従来の技術〕
従来の真空吸着装置は第３図（ａ）に示すように、真
空吸着装置の本体１の吸着面1aに吸引孔1bを設け、本体
１に接続した配管を通して図示しない真空ポンプによ
り、被吸着物５を吸引している。
又、被吸着物５に本体１を直接接触させることが出来
ない場合には、第３図（ｂ）に示すように先端部が柔軟
アダプタ４を本体１に取り付けて、アダプタ４の先端部
で被吸着物５を吸引している。
〔発明が解決しようとする問題点〕
以上説明の従来の真空吸着装置で問題となるのは、ア
ダプタを用いるか否かにかかわらず、吸引孔が露出して
おり、吸着面には何も設けられていないので、通常の雰
囲気では問題はないが、水中或いは化学薬品処理を行う
場合には、吸引孔から水或いは化学薬品を吸いこむの
で、このような場合には真空ポンプの劣化の原因となる
ことである。
本発明は以上のような状況から簡単且つ安価に調達可
能な真空吸着装置の提供を目的としたものである。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明の真空吸着装置は、本体の吸着面に密着する撥
水性の材料からなり、通気可能で、通水不可能な微小孔
を有するメンブランフィルタと、該メンブランフィルタ
を固着する手段とを具備するように構成する。
〔作用〕
即ち本発明においては、真空吸着装置の本体の吸着面
に、撥水性の材料からなり、通気可能で、通水不可能な
微小孔を有するメンブランフィルタを密着して設けてい
るから、被吸着物をこのメンブランフィルタに接触させ
てこの本体内を真空にして吸着する場合に、この微小孔
は空気のみを通し、水や化学薬品を通さないので、水中
或いは化学的に腐食性の雰囲気中でも使用することが可
能である。
〔実施例〕
以下第１図について本発明の一実施例を、第２図につ
いて他の実施例を説明する。
第１図に示すように真空吸着装置の本体１の吸着面1a
には撥水性の微小孔2aを持ったメンブランフィルタ２を
本体１の側面まで覆うように被せ、固定リング３で固定
している。
この状態で図示しない真空ポンプに接続すると、本体
１内が真空になり、メンブランフィルタ２の微小孔2aか
ら空気を吸い込む。
メンブランフィルタ２、例えば日本ミリポア社製の
「0.1μｍ径FV」のような弗素系樹脂製のものを用いる
と、このメンブランフィルタ２は気孔率が70〜80％であ
るから、被吸着物５を吸引するのに必要な流量は確保で
きる。
第２図に示すような先端が柔軟なアダプタ４を用いる
場合には、本体１の側面に雄ネジを、アダプタ４の内側
に雌ネジを加工しておくと、メンブランフィルタ２を介
してネジにより固定することが可能となる。
このように本体１の吸着面1aにメンブランフィルタ２
を設けると、撥水性のメンブランフィルタ２の微小孔2a
の孔径が0.1μｍのため、微小孔2aを通して空気を通過
させても、水或いは化学薬品は通過させないようにする
ことが可能であり、水中或いは化学的に腐食性の雰囲気
中でも真空吸着装置としての機能を果たすことが可能と
なる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば極めて簡単な構造
のメンブランフィルタを備えた真空吸着装置を用いるこ
とにより、水中或いは化学的に腐食性の雰囲気中でも被
吸着物を吸着することが可能となる利点があり、著しい
経済的及び、信頼性向上の効果が期待でき工業的には極
めて有用なものである。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明による一実施例の側断面図、 第２図は本発明による他の実施例の側断面図、 第３図は従来の真空吸着装置の側断面図、 である。 図において、 １は本体、 1aは吸着面、 1bは吸引孔、 ２はメンブランフィルタ、 2aは微小孔、 ３は固定リング、 ４はアダプタ、 ５は被吸着物、 を示す。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】本体の吸着面に密着する撥水性の材料から
    なり、通気可能で、通水不可能な微小孔を有するメンブ
    ランフィルタと、該メンブランフィルタを固着する手段
    とを具備することを特徴とする真空吸着装置。
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KR102635122B1 (ko) * 2021-11-04 2024-02-08 에스지씨에너지(주) 생산성이 향상된 석영 도가니 제조장치

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