JP2508668Y2 - Structure of pump chamber in two-stage water-sealed vacuum pump - Google Patents

Structure of pump chamber in two-stage water-sealed vacuum pump

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JP2508668Y2
JP2508668Y2 JP1991070070U JP7007091U JP2508668Y2 JP 2508668 Y2 JP2508668 Y2 JP 2508668Y2 JP 1991070070 U JP1991070070 U JP 1991070070U JP 7007091 U JP7007091 U JP 7007091U JP 2508668 Y2 JP2508668 Y2 JP 2508668Y2
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stage
pump chamber
stage pump
impeller
center
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泰利 妹尾
伸章 柳原
範雄 安
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Miura Co Ltd
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Miura Co Ltd
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Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この考案は、2段水封式真空ポン
プに関するもので、さらに詳細には、第1段ポンプ室と
第2段ポンプ室の空気流量比に適合したポンプ室の構造
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a two-stage water-sealed vacuum pump, and more particularly to a structure of a pump chamber adapted to the air flow ratio of the first-stage pump chamber and the second-stage pump chamber. It is a thing.

【0002】[0002]

【従来の技術】周知のように、ポンプ室内の液体(たと
えば、水)をインペラによって回転させることにより、
その液体がインペラの半径方向へ移動するのに伴って気
体(たとえば、空気)を吸入、排出し、気体を圧送また
は排除する水封式の真空ポンプは公知であり、この真空
ポンプを複数個内部で結合し、第1段ポンプの排気口と
第2段ポンプの吸気口を連通し、1段の真空ポンプより
も高い真空度が得られるようにした2段水封式真空ポン
プも種々提案されている。
2. Description of the Related Art As is well known, by rotating a liquid (for example, water) in a pump chamber by an impeller,
There is known a water-sealed vacuum pump that sucks and discharges gas (for example, air) as the liquid moves in the radial direction of the impeller, and pumps or removes the gas. Various two-stage water-sealed vacuum pumps have been proposed, which are connected with each other by connecting the exhaust port of the first-stage pump and the intake port of the second-stage pump to obtain a higher degree of vacuum than that of the one-stage vacuum pump. ing.

【0003】従来、この種の2段水封式真空ポンプは、
図7に示すように、第1段ポンプ部101,第2段ポン
プ部102および軸受部103からなり、第1段ポンプ
部101と第2段ポンプ部102の間に連通プレート1
04を介在させ、この連通プレート104により仕切ら
れた第1段ポンプ室105内に第1段インペラ106を
備えるとともに、第2段ポンプ室107内には第2段イ
ンペラ108を備え、これら両インペラ106,108
を同一回転軸にそれぞれ固定している。そして、第1段
ポンプ室105の排気口と第2段ポンプ室107の吸気
口とを、連通プレート104を介して連通している。な
お、この構成においては、2段水封式真空ポンプへの給
水は、直接吸気口へ供給するか、あるいは図7に示すよ
うに、給水口109より第1段インペラ106の側面を
経由して第1段ポンプ室105および第2段ポンプ室1
07内へそれぞれ供給する。
Conventionally, this type of two-stage water-sealed vacuum pump has been
As shown in FIG. 7, a first stage pump unit 101, a second stage pump unit 102 and a bearing unit 103 are provided, and the communication plate 1 is provided between the first stage pump unit 101 and the second stage pump unit 102.
04 is provided and a first-stage pump chamber 105 partitioned by the communication plate 104 is provided with a first-stage impeller 106, and a second-stage pump chamber 107 is provided with a second-stage impeller 108. 106, 108
Are fixed to the same rotating shaft . The exhaust port of the first-stage pump chamber 105 and the intake port of the second-stage pump chamber 107 communicate with each other via the communication plate 104. In this configuration, water is supplied to the two-stage water-sealed vacuum pump directly to the intake port or, as shown in FIG. 7, from the water supply port 109 via the side surface of the first-stage impeller 106. First-stage pump chamber 105 and second-stage pump chamber 1
It supplies each into 07.

【0004】ところで、前記のような2段水封式真空ポ
ンプでは、吸入された空気は、第1段ポンプ室105に
おいて圧縮され、体積が減少した状態で、第2段ポンプ
室107に流入するため、第2段ポンプ室107におけ
る空気流量は、第1段ポンプ室105における空気流量
に比べて前記圧縮の度合いに応じて少なく設定する必要
がある。そのため、通常は、両インペラ106,108
の幅寸法のみを変更して、この空気流量の変化に対応し
ている。
By the way, the two-stage water-sealed vacuum port as described above is used.
In the pump, the inhaled air enters the first-stage pump chamber 105.
The second stage pump is compressed at
Since it flows into the chamber 107, it should be placed in the second-stage pump chamber 107.
The air flow rate is the air flow rate in the first-stage pump chamber 105.
It is necessary to set less depending on the degree of compression compared to
There is. Therefore, normally, both impellers 106 and 108 are
Only the width dimension of is changed to correspond to the change of the air flow rate.

【0005】前記のように、第1段インペラ106と第
2段インペラ108の幅寸法のみを変更して空気流量の
変化に対応することは、大型の水封式真空ポンプでは容
易であるが、小型の2段水封式真空ポンプの場合は、加
工や羽根の強度上の問題もあり、第2段インペラ108
の幅寸法を過度に小さくすることは望ましくない。
As described above, it is easy for a large-sized water-sealed vacuum pump to deal with a change in the air flow rate by changing only the width dimensions of the first-stage impeller 106 and the second-stage impeller 108. In the case of a small two-stage water-sealed vacuum pump, there are also problems in processing and blade strength, so the second-stage impeller 108
It is not desirable to make the width dimension of the tape too small.

【0006】したがって、従来の小型の2段水封式真空
ポンプにおいては、第1段インペラ106と第2段イン
ペラ108の幅の比、すなわち空気流量の比をあまり大
きく設定することはできなかった。このため、第1段ポ
ンプ室105で圧縮されて体積が減少していた空気は、
第2段ポンプ室107に入ると忽ち膨張する。したがっ
て、吸込み真空度が高い場合、あるいは、より真空度の
高い領域で使用する場合には、第2段ポンプ室107に
おいてもキャビテーションが発生し易く、ポンプ構成部
品にエロージョンが発生したり、騒音が発生するという
問題を生じる。
Therefore, in the conventional small-sized two-stage water-sealed vacuum pump, the width ratio of the first-stage impeller 106 and the second-stage impeller 108, that is, the ratio of the air flow rate is too large.
It was not possible to set it quickly. Therefore, the air volume is compressed by the first stage pump chamber 105 was reduced, the
When it enters the second-stage pump chamber 107, it expands. Therefore, if the suction vacuum is high , or if
When used in a high region, cavitation is likely to occur even in the second-stage pump chamber 107, causing problems such as erosion and noise in pump components.

【0007】[0007]

【考案が解決しようとする課題】この考案は、前記の問
題点に鑑み、小型の2段水封式真空ポンプにおける第1
段ポンプ室と第2段ポンプ室の吸入空気流量の比を適正
にし、第2段ポンプ室にキャビテーションが発生するの
を防止するようにしたものである。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, the present invention is directed to a first small-sized two-stage water-sealed vacuum pump.
The ratio between the intake air flow rates of the second-stage pump chamber and the second-stage pump chamber is made proper to prevent cavitation from occurring in the second-stage pump chamber.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】この考案は、前記課題を
解決するためになされたものであって、第1段ポンプ室
内に設けた第1段インペラと第2段ポンプ室内に設けた
第2段インペラとを同一回転軸に固定し、第1段ポンプ
室の排気ポートと第2段ポンプ室の吸気ポートとを連通
した2段水封式真空ポンプにおいて、前記第1段ポンプ
室の中心と前記第1段インペラの中心との偏心量より
も、前記第2段ポンプ室の中心と前記第2段インペラの
中心との偏心量を小さくしたことを特徴としている。
The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and it is a first stage impeller provided in the first stage pump chamber and a second stage provided in the second stage pump chamber. A two-stage water-sealed vacuum pump in which the stage impeller is fixed to the same rotary shaft, and the exhaust port of the first stage pump chamber and the intake port of the second stage pump chamber communicate with each other, in the center of the first stage pump chamber. than eccentricity of the center of the first stage impeller, it is characterized by having a reduced amount of eccentricity between the center and the center of the second stage pump chamber and the second stage impeller.

【0009】[0009]

【作用】この考案によれば、第2段ポンプ室の中心と第
2段インペラの中心との偏心量を、第1段ポンプ室の中
心と第1段インペラの中心との偏心量よりも小さくし、
第1段ポンプ室と第2段ポンプ室との空気流量の比を適
正な比率としたので、第1段ポンプ室で圧縮されて体積
が減少していた空気が第2段ポンプ室に入っても急激に
膨張することがなくなる。したがって、第2段ポンプ室
の内部においてキャビテーションが発生しない。
According to this invention, the amount of eccentricity between the center of the second stage pump chamber and the center of the second stage impeller is smaller than the amount of eccentricity between the center of the first stage pump chamber and the center of the first stage impeller. Then
Since the ratio of the air flow rates of the first-stage pump chamber and the second-stage pump chamber was set to an appropriate ratio, the air compressed in the first-stage pump chamber and reduced in volume enters the second-stage pump chamber. Will not expand rapidly. Therefore, cavitation does not occur inside the second-stage pump chamber.

【0010】[0010]

【実施例】以下、この考案の具体的実施例を図面に基づ
いて詳細に説明する。図1に示すように、2段水封式真
空ポンプAは、第1段ポンプ部B,第2段ポンプ部Cお
よび軸受部Dからなり、第1段ポンプ部Bと第2段ポン
プ部Cの間に連通プレート1を介設し、そして第1段ポ
ンプ部Bと第2段ポンプ部Cとをボルト13により軸受
部Dに対して連結している。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A concrete embodiment of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the two-stage water-sealed vacuum pump A includes a first-stage pump unit B, a second-stage pump unit C, and a bearing unit D, and the first-stage pump unit B and the second-stage pump unit C. A communication plate 1 is interposed between the first stage pump portion B and the second stage pump portion C and is connected to the bearing portion D by bolts 13.

【0011】前記第1段ポンプ部Bは、一方側から吸気
し、他方側へ排気するもので、吸気側ケーシング2,連
通プレート1および両者の間に介設した1段側ポートプ
レート4からなり、連通プレート1と1段側ポートプレ
ート4とに挟まれた部分には第1段ポンプ室3が形成さ
れており、この第1段ポンプ室3内には第1段インペラ
5が回転自在に設けられている。同様に、前記第2段ポ
ンプ部Cは、一方側から吸気し、他方側へ排気するもの
で、連通プレート1,排気側ケーシング6および両者の
間に介設した2段側ポートプレート7からなり、連通プ
レート1と2段側ポートプレート7とに挟まれた部分に
は第2段ポンプ室8が形成されており、この第2段ポン
プ室8内には第2段インペラ9が回転自在に設けられて
いる。そして、第1段インペラ5と第2段インペラ9
は、同一回転軸10上に配置されており、キーおよびバ
ネを介してC型止め輪により前記回転軸10に固定され
ている。
The first-stage pump section B sucks air from one side and exhausts it to the other side, and is composed of an intake-side casing 2, a communication plate 1 and a first-stage port plate 4 interposed therebetween. A first-stage pump chamber 3 is formed in a portion sandwiched between the communication plate 1 and the first-stage port plate 4, and a first-stage impeller 5 is rotatably provided in the first-stage pump chamber 3. It is provided. Similarly, the second-stage pump section C sucks air from one side and exhausts it to the other side, and is composed of a communication plate 1, an exhaust-side casing 6 and a second-stage port plate 7 interposed therebetween. A second-stage pump chamber 8 is formed in a portion sandwiched between the communication plate 1 and the second-stage port plate 7, and a second-stage impeller 9 is rotatably provided in the second-stage pump chamber 8. It is provided. Then, the first stage impeller 5 and the second stage impeller 9
Are arranged on the same rotary shaft 10 and are fixed to the rotary shaft 10 by a C-shaped retaining ring via a key and a spring.

【0012】前記軸受部Dは、軸受ハウジング11と回
転軸10を回転自在に支持する軸受(図示省略)を備え
ており、前記第1段ポンプ部Bおよび第2段ポンプ部C
の反対側には、駆動モータ(図示省略)を配置してい
る。
The bearing portion D is provided with a bearing (not shown) for rotatably supporting the bearing housing 11 and the rotary shaft 10, and the first stage pump portion B and the second stage pump portion C.
A drive motor (not shown) is arranged on the opposite side of.

【0013】前記連通プレート1は、図1および図2に
示すように、一側面に第1段ポンプ室3を形成してお
り、この第1段ポンプ室3の中心Pを第1段インペラ5
の中心Oに対して偏心させている(その偏心量は、図2
において「t」で示す)。また、この連通プレート1の
一側面に第1段ポンプ室3の排気ポート1aを形成する
とともに、その他側面に第2段ポンプ室8の吸気ポート
1bを形成しており、これら排気ポート1aおよび吸気
ポート1bにより第1段ポンプ室3と第2段ポンプ室8
とを連通している。
As shown in FIGS. 1 and 2, the communication plate 1 has a first-stage pump chamber 3 formed on one side surface, and the center P of the first-stage pump chamber 3 is located at the center P of the first-stage impeller 5.
Is eccentric with respect to the center O of the
At "t"). Further, an exhaust port 1a of the first-stage pump chamber 3 is formed on one side surface of the communication plate 1, and an intake port 1b of the second-stage pump chamber 8 is formed on the other side surface thereof. First stage pump chamber 3 and second stage pump chamber 8 through port 1b
And communicate with.

【0014】前記吸気側ケーシング2は、図1に示すよ
うに、中心部に給水口2aを形成しており、上側には吸
気口2bを吸気流路2cに連通するように形成してい
る。また、前記1段側ポートプレート4は、図1に示す
ように、中心部に孔4aを形成しており、その周りに吸
気ポート4bを形成している。そして、前記排気側ケー
シング6は、図1に示すように、中心部にメカニカルシ
ール12を収納する孔6aを形成しており、上方には排
気口6bを設け、この排気口6bと連通する排気流路6
cを孔6aの周りに形成している。
As shown in FIG. 1, the intake side casing 2 has a water supply port 2a formed in the center thereof, and an intake port 2b formed at the upper side so as to communicate with the intake flow passage 2c. Further, as shown in FIG. 1, the first-stage side port plate 4 has a hole 4a formed in the center thereof and an intake port 4b formed around the hole 4a. As shown in FIG. 1, the exhaust side casing 6 is formed with a hole 6a for accommodating the mechanical seal 12 in the center, an exhaust port 6b is provided above the exhaust port 6b, and an exhaust gas communicating with the exhaust port 6b is formed. Channel 6
c is formed around the hole 6a.

【0015】さて、この考案において、連通プレート1
と2段側ポートプレート7に挟まれた第2段ポンプ室8
は、図2および図3に示すように、第1段インペラ5の
中心Oに対し第1段ポンプ室3の中心Pを偏心させた偏
心量tよりも小さい、所定の偏心量s(第2段ポンプ室
8の中心Rと第2段インペラ9の中心Oとの偏心量)に
設定しており、その設定値としては、偏心量sを偏心量
tに対して約0.4倍ないし0.8倍に設定することが
望ましい。このように、第2段ポンプ室8の中心Rと第
2段インペラ9の中心Oとの偏心量sを偏心量tの値よ
りも小さくしたこと、および第2段インペラ9の幅を第
1段インペラ5の幅に対して約7割の割合で狭くしてい
ることにより、第2段ポンプ室8の体積が第1段ポンプ
室3の体積の約0.3〜0.4倍となり、この結果、第
1段ポンプ室3と第2段ポンプ室8との空気流量はほぼ
3:1となる。したがって、第2段ポンプ室8の内径が
第1段ポンプ室3の内径より小さいために、第2段ポン
プ室8の吸気ポート1bおよび2段側ポートプレート7
の側面に形成した2段側排気ポート7aの形状は、図6
に示す従来のそれぞれの形状よりも、図5に示すよう
に、それぞれ縮小されている。
Now, in this invention, the communication plate 1
Second-stage pump chamber 8 sandwiched between the second-stage port plate 7 and
2 and 3, a predetermined eccentricity amount s (second eccentricity s (smaller than the eccentricity amount t that eccentricizes the center P of the first-stage pump chamber 3 with respect to the center O of the first-stage impeller 5). The amount of eccentricity between the center R of the stage pump chamber 8 and the center O of the second stage impeller 9) is set as the set value. It is desirable to set 8 times. Thus, the eccentricity amount s between the center R of the second-stage pump chamber 8 and the center O of the second-stage impeller 9 is set smaller than the value of the eccentricity amount t, and the width of the second-stage impeller 9 is set to the first value. By narrowing the width of the stage impeller 5 by about 70%, the volume of the second stage pump chamber 8 becomes about 0.3 to 0.4 times the volume of the first stage pump chamber 3, As a result, the air flow rate between the first-stage pump chamber 3 and the second-stage pump chamber 8 becomes approximately 3: 1. Therefore, since the inner diameter of the second-stage pump chamber 8 is smaller than the inner diameter of the first-stage pump chamber 3, the intake port 1b and the second-stage side port plate 7 of the second-stage pump chamber 8 are
The shape of the second-stage exhaust port 7a formed on the side surface of FIG.
As shown in FIG. 5, the respective shapes are smaller than the conventional shapes shown in FIG.

【0016】前記第1段インペラ5および前記第2段イ
ンペラ9は、図1および図4に示すように、ほぼ放射状
に配置した複数枚の羽根5a,5a,・・および羽根9
a,9a,・・によりそれぞれ構成されている。なお、
前記のように、第1段ポンプ室3および第1段インペラ
5の方が、第2段ポンプ室8および第2段インペラ9よ
りも幅をそれぞれ広くしてある。
The first-stage impeller 5 and the second-stage impeller 9 are, as shown in FIGS. 1 and 4, a plurality of blades 5a, 5a, ...
., a, 9a, ... In addition,
As described above, the width of the first-stage pump chamber 3 and the first-stage impeller 5 is wider than that of the second-stage pump chamber 8 and the second-stage impeller 9, respectively.

【0017】つぎに、この考案の前記実施例における2
段水封式真空ポンプAの作動および作用を説明する。吸
気側ケーシング2の給水口2aから水を供給し、駆動モ
ータ(図示省略)により回転軸10を回転させて第1段
インペラ5および第2段インペラ9を回転させると、第
1段ポンプ室3および第2段ポンプ室8内にそれぞれ流
入した水は、第1段ポンプ室3および第2段ポンプ室8
の内周壁に沿ってそれぞれ流れ、環状になってそれぞれ
周回する。第1段インペラ5および第2段インペラ9の
中心Oは、第1段ポンプ室3および第2段ポンプ室8の
各中心P,Rに対してそれぞれ偏心しているので、各イ
ンペラにおいて、それぞれ隣接する2枚の羽根5a(9
a)とボス部(符号省略)および水面との間にそれぞれ
空間部(図示省略)が生じ、インペラの回転によってこ
れらの空間部が膨張、収縮することによりそれぞれ空気
を吸入、排出する。
Next, 2 in the above embodiment of the present invention
The operation and action of the water-sealed vacuum pump A will be described. When water is supplied from the water supply port 2a of the intake side casing 2 and the rotation shaft 10 is rotated by the drive motor (not shown) to rotate the first stage impeller 5 and the second stage impeller 9, the first stage pump chamber 3 The water that has flowed into the second-stage pump chamber 8 and the water that has flowed into the second-stage pump chamber 8, respectively.
Flow along the inner peripheral wall of each of them, and circulate in an annular shape. The centers O of the first-stage impeller 5 and the second-stage impeller 9 are eccentric with respect to the centers P and R of the first-stage pump chamber 3 and the second-stage pump chamber 8, respectively. 2 blades 5a (9
Spaces (not shown) are formed between a) and the boss (not shown) and the water surface, respectively, and the rotation of the impeller expands and contracts these spaces to suck and discharge air, respectively.

【0018】一方、空気の流れを説明すると、まず第1
段ポンプ部Bにおいて、吸気側ケーシング2の吸気口2
bからの空気は、吸気側ケーシング2の吸気流路2cを
通過して1段側ポートプレート4の吸気ポート4bから
第1段ポンプ室3に吸い込まれる。第1段ポンプ室3か
ら排出される空気は、この第1段ポンプ室3において圧
縮され体積が減少しており、この圧縮された空気は、
通プレート1の一側面に形成された排気ポート1aよ
り、連通プレート1の他側面に形成された吸気ポート1
bを介して第2段ポンプ室8内に流入する。この際、前
述のように、各インペラ5,9の偏心量を変えてあり、
第1段ポンプ室3と第2段ポンプ室8とで空気流量の比
が適切に設定されているため、第1段ポンプ室3内で圧
縮され体積の減少した空気が、第2段ポンプ室8内に流
入しても膨張することがない。そして、この空気は、第
2段ポンプ室8内でさらに圧縮され体積を減少した状態
で、第2段ポンプ室8から排出され、2段側ポートプレ
ート7の2段側排気ポート7aから排気側ケーシング6
の排気流路6cを通過し、排気側ケーシング6の排気口
6bを介して外部に排出されることになる。
On the other hand, the flow of air will be described first.
In the stage pump section B, the intake port 2 of the intake side casing 2
Air from b passes through the intake passage 2c of the intake casing 2 and is sucked into the first-stage pump chamber 3 from the intake port 4b of the first-stage port plate 4. The air discharged from the first-stage pump chamber 3 is compressed in the first-stage pump chamber 3.
The volume of the compressed air is reduced, and the compressed air flows from the exhaust port 1a formed on one side surface of the communication plate 1 to the intake port 1 formed on the other side surface of the communication plate 1.
It flows into the second stage pump chamber 8 via b . At this time,
As mentioned above, the eccentricity of each impeller 5, 9 is changed,
Air flow rate ratio between the first-stage pump chamber 3 and the second-stage pump chamber 8
Is set appropriately, the pressure in the first-stage pump chamber 3
The compressed air whose volume has been reduced flows into the second-stage pump chamber 8.
Does not expand even when put in. And this air is
A state in which the volume is reduced by being further compressed in the second-stage pump chamber 8.
Is discharged from the second-stage pump chamber 8, and is discharged from the second-stage exhaust port 7a of the second-stage port plate 7 to the exhaust-side casing 6
Will be discharged to the outside through the exhaust port 6b of the exhaust side casing 6.

【0019】[0019]

【考案の効果】この考案は、以上のように構成したの
で、第1段ポンプ室と第2段ポンプ室の空気流量の比を
適正にすることができ、第2段ポンプ室における流入空
気の急激な膨張を防止し、第2段ポンプ室においてキャ
ビテーションの発生を阻止することができる。これによ
り、キャビテーションの発生に伴う種々の不具合、たと
えば、エロージョンの発生や、騒音の増大等を確実に防
止することができ、小型で効率の良い2段水封式真空ポ
ンプを提供することができる。また、比較的簡単な構成
で、かつ容易に製作することができるので、この種の真
空ポンプとしては頗る効果的である。
Since the present invention is configured as described above, the ratio of the air flow rates of the first-stage pump chamber and the second-stage pump chamber can be made proper, and the inflowing air in the second-stage pump chamber can be adjusted. It is possible to prevent rapid expansion and prevent cavitation in the second-stage pump chamber. And thereby, various problems due to the occurrence of cavitation, were
For example, it is possible to reliably prevent the occurrence of erosion, increase in noise, and the like, and it is possible to provide a small-sized and highly efficient two-stage water-sealed vacuum pump. Further, since it has a relatively simple structure and can be easily manufactured, it is very effective as a vacuum pump of this type.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この考案を適用した2段水封式真空ポンプの断
面図である。
FIG. 1 is a sectional view of a two-stage water-sealed vacuum pump to which the present invention is applied.

【図2】図1に示した連通プレートの正面図である。FIG. 2 is a front view of the communication plate shown in FIG.

【図3】図1に示した2段側ポートプレートの正面図で
ある。
3 is a front view of the second-stage side port plate shown in FIG. 1. FIG.

【図4】図1に示した両インペラの概略を示す正面図で
ある。
FIG. 4 is a front view showing an outline of both impellers shown in FIG.

【図5】図1に示した第2段ポンプ室,第2段インペ
ラ,吸気ポートおよび排気ポートの形状と関係位置を示
す説明図である。
5 is an explanatory diagram showing shapes and related positions of a second-stage pump chamber, a second-stage impeller, an intake port and an exhaust port shown in FIG.

【図6】図5との比較を示す説明図で、従来の形状と関
係位置を示ている。
[6] an explanatory view showing a comparison of FIG. 5, which shows the relationship position to the conventional shape.

【図7】従来の2段水封式真空ポンプの断面図である。FIG. 7 is a sectional view of a conventional two-stage water-sealed vacuum pump.

【付号の説明】[Explanation of supplements]

A 2段水封式真空ポンプ B 第1段ポンプ部 C 第2段ポンプ部 1a 第1段ポンプ室3の排気ポート 1b 第2段ポンプ室8の吸気ポート 3 第1段ポンプ室 5 第1段インペラ 8 第2段ポンプ室 9 第2段インペラ 10 回転軸 O 第1段インペラ5および第2段インペラの中心 P 第1段ポンプ室3の中心 R 第2段ポンプ室8の中心 s 第2段ポンプ室8の中心Rと第2段インペラ9の中
心Oとの偏心量 t 第1段ポンプ室3の中心Pと第1段インペラ5の中
心Oとの偏心量
A 2 stage water-sealed vacuum pump B 1st stage pump part C 2nd stage pump part 1a 1st stage pump chamber 3 exhaust port 1b 2nd stage pump chamber 8 intake port 3 1st stage pump chamber 5 1st stage Impeller 8 Second stage pump chamber 9 Second stage impeller 10 Rotating shaft O Center of first stage impeller 5 and second stage impeller P Center of first stage pump chamber 3 R Center of second stage pump chamber 8 s Second stage Eccentricity between the center R of the pump chamber 8 and the center O of the second-stage impeller 9 t Eccentricity between the center P of the first-stage pump chamber 3 and the center O of the first-stage impeller 5

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】(57) [Scope of utility model registration request] 【請求項1】 第1段ポンプ室3内に設けた第1段イン
ペラ5と第2段ポンプ室8内に設けた第2段インペラ9
とを同一回転軸10に固定し、第1段ポンプ室3の排気
ポート1aと第2段ポンプ室8の吸気ポート1bとを連
通した2段水封式真空ポンプAにおいて、前記第1段ポ
ンプ室3の中心Pと前記第1段インペラ5の中心Oとの
偏心量tよりも、前記第2段ポンプ室8の中心Rと前記
第2段インペラ9の中心Oとの偏心量sを小さくしたこ
とを特徴とする2段水封式真空ポンプにおけるポンプ室
の構造。
1. A first-stage impeller 5 provided in a first-stage pump chamber 3 and a second-stage impeller 9 provided in a second-stage pump chamber 8.
Are fixed to the same rotary shaft 10 and the exhaust port 1a of the first-stage pump chamber 3 and the intake port 1b of the second-stage pump chamber 8 communicate with each other. The eccentricity amount s between the center R of the second stage pump chamber 8 and the center O of the second stage impeller 9 is smaller than the eccentricity amount t between the center P of the chamber 3 and the center O of the first stage impeller 5. The structure of the pump chamber in the two-stage water-sealed vacuum pump characterized in that
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