JPH0244076Y2 - - Google Patents
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- JPH0244076Y2 JPH0244076Y2 JP9577389U JP9577389U JPH0244076Y2 JP H0244076 Y2 JPH0244076 Y2 JP H0244076Y2 JP 9577389 U JP9577389 U JP 9577389U JP 9577389 U JP9577389 U JP 9577389U JP H0244076 Y2 JPH0244076 Y2 JP H0244076Y2
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- impeller
- port
- stage
- vacuum pump
- discharge port
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Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この考案は、2段形水封式真空ポンプに関する
もので、更に詳細には、筒状胴体内に回転自在に
配設される複数の羽根を有する2個の羽根車と、
各羽根車の2枚の羽根と共働して室を形成する側
板とを有する高真空用の2段形水封式真空ポンプ
の改良に係るものである。[Detailed description of the invention] [Field of industrial application] This invention relates to a two-stage water ring vacuum pump. two impellers having
This invention relates to an improvement of a two-stage water ring type vacuum pump for high vacuum having two blades of each impeller and a side plate that cooperates with each other to form a chamber.
従来のこの種真空ポンプには、両段側共にポー
トプレート式に形成したものや、両段側共にポー
トシリンダ式に形成したものが使用されている。
この場合前者のポートプレート式は、第2図に示
すように、筒状胴体a内に回転自在に配設される
羽根車b,b′のそれぞれの側面に接する側板c,
cに吸込ポートd及び吐出ポートeを設け、胴体
a内に封入された水等の液体すなわち封水にピス
トン作用を行なわせて、吸込ポートd及び吐出ポ
ートeを介してガスの圧送を行なう形式のもので
あり、また後者すなわちポートシリンダ式のもの
は、図示しないが、羽根車の内面に接する吸込ポ
ート及び吐出ポートを形成し、前述と同様に、封
水にピストン作用を行なわせて吸込ポート及び吐
出ポートを介してガスを羽根車の軸方向へ圧送す
る形式である。
Conventional vacuum pumps of this type include those in which both stage sides are formed in a port plate type, and those in which both stage sides are formed in a port cylinder type.
In this case, the former port plate type, as shown in FIG.
A type in which a suction port d and a discharge port e are provided in the body c, and a liquid such as water sealed in the body a, that is, seal water, performs a piston action, and gas is pumped through the suction port d and the discharge port e. The latter, that is, the port cylinder type, although not shown, forms a suction port and a discharge port that are in contact with the inner surface of the impeller, and similarly to the above, the suction port is opened by making the sealed water perform a piston action. This is a type in which gas is pumped in the axial direction of the impeller through a discharge port and a discharge port.
上記のように構成されるこの種真空ポンプは、
圧縮条件により各部の諸元は決定され、とりわけ
吐出ポートの開口面積及び形状は重要な要件であ
り、特に2段形水封式真空ポンプについては、各
段によつて圧縮されるべき条件は常に臨界的であ
る。またこの種真空ポンプは、高い圧力比すなわ
ち高真空状態で使用されるため、低圧力比で使用
する状態に比べ、大量に封水を供給し、真空の破
壊を防止しなければならない。そのためこれに対
応して真空ポンプ吐出側においては圧縮されたガ
スと共に吐出ポートから封水を排出する必要があ
る。また封水はポンプ内において、羽根車によつ
て高速の回転力を与えられ、大きな遠心力を受け
ているなどの種々の条件下での使用に耐えなけれ
ばならない。 This type of vacuum pump configured as above is
The specifications of each part are determined by the compression conditions, and the opening area and shape of the discharge port are particularly important requirements. Especially for two-stage water ring vacuum pumps, the conditions to be compressed by each stage are always Critical. Furthermore, since this type of vacuum pump is used at a high pressure ratio, that is, in a high vacuum state, it is necessary to supply a large amount of sealing water to prevent the vacuum from breaking, compared to when it is used at a low pressure ratio. Therefore, in response to this, it is necessary to discharge sealed water from the discharge port along with the compressed gas on the discharge side of the vacuum pump. In addition, the water seal must withstand use under various conditions such as being subjected to high-speed rotational force by an impeller and being subjected to large centrifugal force within the pump.
前記ポートプレート式のものは、上記の状態の
下において、圧縮されたガスと共に多量の封水を
排出するには、吐出ポートeの位置が、第3図に
示すように、封水の回転流れの方向fに対して全
く異なり、流れに対して直角方向に排出されねば
ならず、理想的な排出が行われない。このため吐
出ポートeの角部においては極めて大きな流速に
なる部分が発生する可能性があり、特に高真空と
なる1段側羽根車bが局部的なキヤビテーシヨン
を生じて孔蝕されるおそれがある。さらにかかる
キヤビテーシヨンによつて真空ポンプの安定的な
運転が不可能となり、故障を生ずることもある。
また製作上の観点から特に羽根車b,b′を同軸上
に取り付けた一体化構造では、端面の正確な位置
決定を必要とする箇所が第2図に示すA,B,C
及びDの4箇所となり、固定部及び回転部共に高
い軸方向精度を必要とする。すなわち羽根車b,
b′と側板c,cのすき間の大きさが、真空ポンプ
の性能に大きく影響するため、前記4箇所におい
て高精度のすき間を確保することが要求される。 In the port plate type, in order to discharge a large amount of sealed water together with the compressed gas under the above conditions, the position of the discharge port e must be adjusted so that the rotational flow of the sealed water is controlled as shown in Figure 3. is completely different from the direction f, and must be discharged in a direction perpendicular to the flow, which does not result in ideal discharge. For this reason, there is a possibility that there will be a part where the flow velocity is extremely high at the corner of the discharge port e, and there is a risk that the first-stage impeller b, which is under a particularly high vacuum, may cause local cavitation and be corroded. . Furthermore, such cavitation makes it impossible to operate the vacuum pump stably and may even cause a failure.
In addition, from a manufacturing standpoint, especially in an integrated structure in which impellers b and b' are mounted coaxially, the positions A, B, and C shown in Fig. 2 require accurate positioning of the end faces.
and D, and both the fixed part and the rotating part require high axial accuracy. That is, impeller b,
Since the size of the gap between b' and the side plates c and c greatly affects the performance of the vacuum pump, it is required to ensure a highly accurate gap at the four locations.
一方前記ポートシリンダ式のものは、前記ポー
トプレート式のものに比して構造は複数となり、
かつ一体化構造のものでは、2個の羽根車共に内
面の直径方向の正確なすき間を維持する必要があ
るため、精密な芯出しを必要とする。またポンプ
自体もやや大型となるため、製作が面倒で高価と
なるなどの欠点がある。しかしその反面、空気の
絶対流れが単純であるため、水の飽和蒸気圧付近
の真空度で運転しても、キヤビテーシヨンを起し
にくいという優れた特徴を有している。 On the other hand, the port cylinder type has a plurality of structures compared to the port plate type.
In addition, in the case of an integrated structure, it is necessary to maintain an accurate gap in the diametrical direction of the inner surface of both impellers, which requires precise centering. In addition, the pump itself is somewhat large, so it has drawbacks such as being cumbersome and expensive to manufacture. However, on the other hand, since the absolute flow of air is simple, it has the excellent feature that cavitation does not easily occur even when operating at a vacuum level near the saturated vapor pressure of water.
この考案は、上記事情に鑑みなされたもので、
運転時のキヤビテーシヨンを防止するとともに、
ポンプ性能の向上を図れるようにし、かつ製作を
容易にして安価に製作できるようにすることを目
的とするものである。
This idea was made in view of the above circumstances,
In addition to preventing cavitation during operation,
The purpose of this invention is to improve the performance of the pump, and to facilitate and inexpensively manufacture the pump.
すなわちこの考案は、筒状胴体内に回転自在に
配置される複数の羽根を有する2個の羽根車と、
各羽根車の2枚の羽根と共働して室を形成する側
板とを有し、かつ両段の羽根車を、同一軸上に配
設して形成した2段形水封式真空ポンプにおい
て、1段側を、前記羽根車の内面に接する吸込ポ
ート及び吐出ポートを介してガスを羽根車の軸方
向へ圧送するポートシリンダ式に形成するととも
に、2段側を、前記羽根車の側面に接する吸込ポ
ート及び吐出ポートを介してガスを羽根車の側方
に圧送するポートプレート式に形成して成ること
を特徴とする2段形水封式真空ポンプを提案する
ものである。
That is, this invention includes two impellers each having a plurality of blades rotatably arranged within a cylindrical body;
In a two-stage water ring vacuum pump, which has a side plate that cooperates with two blades of each impeller to form a chamber, and in which both stages of impellers are arranged on the same axis. , the first stage side is formed in a port cylinder type for pumping gas in the axial direction of the impeller through a suction port and discharge port in contact with the inner surface of the impeller, and the second stage side is formed on the side surface of the impeller. This invention proposes a two-stage water ring vacuum pump characterized by being formed in a port plate type that pumps gas to the side of an impeller through a suction port and a discharge port that are in contact with each other.
上記構成のこの考案において、特に高真空とな
る1段側におけるキヤビテーシヨンを防止すると
ともに、ポンプ性能の向上を図り、かつ容易にし
かも低廉に製作できるようにしたものである。
In this invention with the above-mentioned structure, cavitation is prevented particularly on the first stage side where the vacuum is high, pump performance is improved, and it is possible to manufacture the pump easily and inexpensively.
以下にこの考案の実施例を添付図面に基づいて
詳細に説明する。
Embodiments of this invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings.
第1図はこの考案の真空ポンプの断面図を示す
もので、図中1,1は筒状の胴体であつて、例え
ば円筒状に形成されており、その間に挾持された
画壁板2によつて、1段側空間3と2段側空間4
とに区画されている。5は前記胴体1の偏心位置
を貫通する回転軸であつて、前記胴体1の端部に
配設された軸受6,6によつて回転自在に支承さ
れ、その一端には図示しない駆動モータが連結さ
れている。そして前記第1段及び2段側空間3,
4内において、回転軸5の一端にキー7をもつ
て、それぞれ放射線方向に複数の羽根8a,8a
…又は9a,9a…を有する羽根車8又は9が取
り付けられている。この場合1段側空間3におけ
る羽根車8の内面には、吸込ポート10及び吐出
ポート11を有するポートシリンダ12が接して
おり、また1段側空間3の一側には、吸込ポート
10と吸込通路13とを連通する連通口14と、
吐出ポート11と吐出通路15とを連通する連通
口16が設けられている。したがつて前記回転軸
5の回転に伴つて羽根車8が回転すると、空間3
内に封入された封水(図示せず)が、各羽根8
a,8a間で水膜を作りながらピストン作用を行
ない、このピストン作用により、ガスは吸込及び
吐出ポート10,11を介して、羽根車8の軸方
向へ圧送される。 FIG. 1 shows a cross-sectional view of the vacuum pump of this invention. In the figure, 1, 1 is a cylindrical body, for example, formed in a cylindrical shape, and a wall plate 2 held between them. Therefore, the first stage side space 3 and the second stage side space 4
It is divided into. Reference numeral 5 denotes a rotation shaft passing through an eccentric position of the body 1, and is rotatably supported by bearings 6, 6 disposed at the ends of the body 1, and a drive motor (not shown) is connected to one end of the rotation shaft. connected. and the first stage and second stage side spaces 3,
4, a key 7 is provided at one end of the rotating shaft 5, and a plurality of blades 8a, 8a are installed in the radial direction, respectively.
... or 9a, 9a... is attached to the impeller 8 or 9. In this case, a port cylinder 12 having a suction port 10 and a discharge port 11 is in contact with the inner surface of the impeller 8 in the first stage side space 3, and one side of the first stage side space 3 is provided with a suction port 10 and a suction port 12. a communication port 14 that communicates with the passage 13;
A communication port 16 is provided that communicates the discharge port 11 and the discharge passage 15. Therefore, when the impeller 8 rotates with the rotation of the rotating shaft 5, the space 3
Sealed water (not shown) sealed inside each blade 8
A piston action is performed while forming a water film between a and 8a, and gas is forced into the axial direction of the impeller 8 through the suction and discharge ports 10 and 11 by this piston action.
一方前記2段側空間4における羽根車9は、そ
の一側は前記画壁2に接し、かつその他側は側板
17と接しており、これら画壁2及び側壁16と
2枚の羽根9a,9aとで、ガスを圧送するため
の室を形成しうるようになつており、また前記側
板17には、吸込通路13′と連通する吸込ポー
ト10′と、吐出通路15′と連通する吐出ポート
11′とが設けられている。したがつて前記回転
軸5に伴なつて羽根9が回転すると、ガスは前記
吸込及び吐出ポート10′,11′を介して、羽根
車9の側方へ圧送される。 On the other hand, the impeller 9 in the second stage side space 4 is in contact with the partition wall 2 on one side and the side plate 17 on the other side, and the impeller 9 is in contact with the partition wall 2 and the side wall 16 and the two blades 9a, 9a. The side plate 17 has a suction port 10' communicating with the suction passage 13' and a discharge port 11 communicating with the discharge passage 15'. ' is provided. Therefore, when the impeller 9 rotates along with the rotating shaft 5, gas is forced to the side of the impeller 9 through the suction and discharge ports 10' and 11'.
なお前記1段側の吐出通路15と2段側の吸込
通路13′は、連結管18を介して連結されてい
る。 Note that the discharge passage 15 on the first stage side and the suction passage 13' on the second stage side are connected via a connecting pipe 18.
上記実施例では胴体1が円筒の場合について説
明したが、必ずしも円筒である必要はなく、例え
ばだ円形の胴体であつても、同様の作用効果が得
られることはもちろんである。 In the above embodiment, the case where the body 1 is cylindrical has been described, but it does not necessarily have to be cylindrical, and it goes without saying that similar effects can be obtained even if the body is oval, for example.
以上に説明したように、この考案の両段の羽根
車を、同一軸上に形成して成る2段形水封式真空
ポンプによれば、高真空となる1段側をポートシ
リンダ式に形成するとともに、2段側をポートプ
レート式に形成して成るため、水の飽和蒸気圧付
近で使用される1段側においても、キヤビテーシ
ヨンを防止することができるとともに、羽根車の
内面とポートシリンダとのすき間設定を高精度に
維持して、ポンプ性能の向上を図ることができ、
1段側に比べて高真空とならない2段側において
は、製作面の容易性を有するポートプレート式に
し、かつ羽根車と側板とのすき間によつて高性能
を維持し得るなどの特徴を有し、かつ両段側の相
乗効果によつて高性能のポンプ作用が得られるな
どの優れた効果が得られるので、その利用価値は
顕著である。
As explained above, according to the two-stage water ring vacuum pump of this invention, in which both stages of impellers are formed on the same axis, the first stage side, which produces a high vacuum, is formed as a port cylinder type. In addition, since the second stage side is formed in a port plate type, cavitation can be prevented even on the first stage side, which is used near the saturated vapor pressure of water, and the inner surface of the impeller and the port cylinder can be prevented. The gap setting can be maintained with high precision to improve pump performance.
The second stage side, which does not have a high vacuum compared to the first stage side, uses a port plate type that is easy to manufacture, and has features such as maintaining high performance due to the gap between the impeller and the side plate. However, the synergistic effect between the two stages provides excellent effects such as high-performance pumping action, so its utility value is remarkable.
第1図はこの考案の真空ポンプを示す断面図、
第2図は従来のポートプレート式真空ポンプを示
す断面図で、第3図は第2図の−線に沿う断
面図である。
図において、1…胴体、3…1段側空間、4…
2段側空間、5…回転軸、8a,9a…羽根、
8,9…羽根車、10,10′…吸込ポート、1
1,11′…吐出ポート、12…ポートシリンダ、
17…側板、である。
Figure 1 is a sectional view showing the vacuum pump of this invention.
FIG. 2 is a sectional view showing a conventional port plate type vacuum pump, and FIG. 3 is a sectional view taken along the line - in FIG. In the figure, 1... fuselage, 3... 1st stage side space, 4...
2nd stage side space, 5...rotating shaft, 8a, 9a...blade,
8, 9... Impeller, 10, 10'... Suction port, 1
1, 11'...discharge port, 12...port cylinder,
17...Side plate.
Claims (1)
を有する2個の羽根車と、各羽根車の2枚の羽根
と共働して室を形成する側板とを有し、かつ両段
の羽根車を、同一軸上に配設して形成した2段形
水封式真空ポンプにおいて、1段側を、前記羽根
車の内面に接する吸込ポート及び吐出ポートを介
してガスを羽根車の軸方向へ圧送するポートシリ
ンダ式に形成するとともに、2段側を、前記羽根
車の側面に接する吸込ポート及び吐出ポートを介
してガスを羽根車の側方に圧送するポートプレー
ト式に形成して成ることを特徴とする2段形水封
式真空ポンプ。 It has two impellers having a plurality of blades that are rotatably arranged in a cylindrical body, and a side plate that cooperates with the two blades of each impeller to form a chamber, and has both stages. In a two-stage water ring vacuum pump formed by arranging two impellers on the same axis, the first stage side is configured to supply gas to the impeller through a suction port and a discharge port that are in contact with the inner surface of the impeller. The second stage side is formed as a port cylinder type that pumps gas in the axial direction, and the second stage side is formed as a port plate type that pumps gas to the side of the impeller through a suction port and a discharge port that contact the side surface of the impeller. A two-stage water ring vacuum pump characterized by:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9577389U JPH0244076Y2 (en) | 1989-08-17 | 1989-08-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9577389U JPH0244076Y2 (en) | 1989-08-17 | 1989-08-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0243493U JPH0243493U (en) | 1990-03-26 |
| JPH0244076Y2 true JPH0244076Y2 (en) | 1990-11-22 |
Family
ID=31320486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9577389U Expired JPH0244076Y2 (en) | 1989-08-17 | 1989-08-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0244076Y2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11143186B2 (en) | 2017-01-30 | 2021-10-12 | Ebara Corporation | Liquid ring vacuum pump |
-
1989
- 1989-08-17 JP JP9577389U patent/JPH0244076Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0243493U (en) | 1990-03-26 |
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