JP2505204Y2 - 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 - Google Patents
高周波誘導結合プラズマ質量分析装置Info
- Publication number
- JP2505204Y2 JP2505204Y2 JP1991109254U JP10925491U JP2505204Y2 JP 2505204 Y2 JP2505204 Y2 JP 2505204Y2 JP 1991109254 U JP1991109254 U JP 1991109254U JP 10925491 U JP10925491 U JP 10925491U JP 2505204 Y2 JP2505204 Y2 JP 2505204Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coil
- high frequency
- matching box
- mass spectrometer
- inductively coupled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/30—Plasma torches using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本考案は、高周波誘導結合プラ
ズマ（ＩＣＰ）イオン源と質量分析装置を結合した高周
波誘導結合プラズマ質量分析装置（ＩＣＰ−ＭＳ）に関
し、特に高周波誘導コイルの位置調整の構造に関する。
ズマ（ＩＣＰ）イオン源と質量分析装置を結合した高周
波誘導結合プラズマ質量分析装置（ＩＣＰ−ＭＳ）に関
し、特に高周波誘導コイルの位置調整の構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】 図１は、従来における高周波誘導結合
プラズマ質量分析装置のイオン源の構成概略図、図２は
プラズマを発生する高周波誘導コイルの要部拡大図であ
る。
プラズマ質量分析装置のイオン源の構成概略図、図２は
プラズマを発生する高周波誘導コイルの要部拡大図であ
る。
【０００３】図１および図２において、１１はＩＣＰイ
オン源で、高周波誘導コイル１を巻回した石英などの電
気絶縁体製プラズマトーチ１３とから構成されている。
１４は試料液１７を噴霧するためのネブライザであり、
前記ＩＣＰイオン源１１に接続されている。１５は前記
コイル１に高周波を供給するための高周波発振器、１６
は試料液１７を収納すると共に前記ネブライザ１４に導
入管１８を介して接続された試料ボトルである。１９は
前記コイル１からの高周波をシールドするためのケース
で、このケースは前記高周波発振器１５のアース側に接
続されている。図２に示されるように前記コイル１は継
手５ａ、５ｂを介してマッチングボックス３内の配管４
ａ，４ｂに接続されており、配管４ａからコイル内部を
通って配管４ｂへと冷却水を流通させるように構成され
ている。また、６はプラズマトーチ１３の周囲を巻回す
るように設けられた前記コイル１と、それに接続された
マッチングボックス３およびネブライザ１４の固定され
た支持台であり、図示されない駆動機構によって移動可
能に構成されている。
オン源で、高周波誘導コイル１を巻回した石英などの電
気絶縁体製プラズマトーチ１３とから構成されている。
１４は試料液１７を噴霧するためのネブライザであり、
前記ＩＣＰイオン源１１に接続されている。１５は前記
コイル１に高周波を供給するための高周波発振器、１６
は試料液１７を収納すると共に前記ネブライザ１４に導
入管１８を介して接続された試料ボトルである。１９は
前記コイル１からの高周波をシールドするためのケース
で、このケースは前記高周波発振器１５のアース側に接
続されている。図２に示されるように前記コイル１は継
手５ａ、５ｂを介してマッチングボックス３内の配管４
ａ，４ｂに接続されており、配管４ａからコイル内部を
通って配管４ｂへと冷却水を流通させるように構成され
ている。また、６はプラズマトーチ１３の周囲を巻回す
るように設けられた前記コイル１と、それに接続された
マッチングボックス３およびネブライザ１４の固定され
た支持台であり、図示されない駆動機構によって移動可
能に構成されている。
【０００４】かかる構成において、プラズマトーチ１３
内には図示外のガス供給源からアルゴンガスが供給され
ると共に、ネブライザ１４から試料液１７が霧状となっ
て導入される。この状態でコイル１に高周波電力を供給
して高周波磁界を形成することにより、図１に示される
ような高周波誘導結合プラズマＰが発生する。このプラ
ズマＰは導入口２０から図示外の質量分析系へ導入され
質量分析される。この時、支持台６を図示外の駆動機構
によって移動させ、マッチングボックス３に接続された
コイル１とプラズマトーチ１３およびネブライザ１４を
移動させてプラズマＰが導入口２０に対して最適な位置
に発生するように調整される。
内には図示外のガス供給源からアルゴンガスが供給され
ると共に、ネブライザ１４から試料液１７が霧状となっ
て導入される。この状態でコイル１に高周波電力を供給
して高周波磁界を形成することにより、図１に示される
ような高周波誘導結合プラズマＰが発生する。このプラ
ズマＰは導入口２０から図示外の質量分析系へ導入され
質量分析される。この時、支持台６を図示外の駆動機構
によって移動させ、マッチングボックス３に接続された
コイル１とプラズマトーチ１３およびネブライザ１４を
移動させてプラズマＰが導入口２０に対して最適な位置
に発生するように調整される。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】 図２に示されたマッ
チングボックス３は高周波を使用していることからコイ
ル１の大きさに比べて実際にはかなり大きく、重量も重
い。そのため、支持台６を移動させる駆動機構は大き
く、強度も十分なものにしなくてはならない。そこで本
考案はかかる問題点に鑑がみてなされたものであり、コ
イルを移動させる駆動機構を小型にすることのできる装
置を提供することを目的とするものである。
チングボックス３は高周波を使用していることからコイ
ル１の大きさに比べて実際にはかなり大きく、重量も重
い。そのため、支持台６を移動させる駆動機構は大き
く、強度も十分なものにしなくてはならない。そこで本
考案はかかる問題点に鑑がみてなされたものであり、コ
イルを移動させる駆動機構を小型にすることのできる装
置を提供することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】 上記目的を達成するた
めに、本考案は、プラズマトーチの周囲に巻回され、内
部に冷却媒体が流通するように構成された高周波誘導コ
イルと、該コイルに高周波を供給する発振器と、該発振
器とコイルの間に設けられたマッチングボックスとから
なり、該トーチを質量分析装置への導入口に対して移動
可能にした装置において、前記コイルとマッチングボッ
クスを分離し、その間にフレキシブルなパイプを接続
し、該パイプを介してコイルに冷却媒体を流通させるこ
とにより、該コイルをマッチングボックスに対して独立
に移動可能にすることを特徴とするものである。
めに、本考案は、プラズマトーチの周囲に巻回され、内
部に冷却媒体が流通するように構成された高周波誘導コ
イルと、該コイルに高周波を供給する発振器と、該発振
器とコイルの間に設けられたマッチングボックスとから
なり、該トーチを質量分析装置への導入口に対して移動
可能にした装置において、前記コイルとマッチングボッ
クスを分離し、その間にフレキシブルなパイプを接続
し、該パイプを介してコイルに冷却媒体を流通させるこ
とにより、該コイルをマッチングボックスに対して独立
に移動可能にすることを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】 高周波誘導コイルとマッチングボックスを分
離し、その間にフレキシブルなパイプを接続することに
より、コイルをマッチングボックスに対して独立して移
動可能にさせている。
離し、その間にフレキシブルなパイプを接続することに
より、コイルをマッチングボックスに対して独立して移
動可能にさせている。
【０００８】
【実施例】 以下、本考案の実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【０００９】図３は考案の一実施例装置の要部拡大図で
あり、図１および図２と同一番号のものは同一構成要素
を示す。
あり、図１および図２と同一番号のものは同一構成要素
を示す。
【００１０】図中７ａ，７ｂはフレキシブルパイプであ
り、一端を継手９ａ，９ｂによって高周波誘導コイル１
の端部に接続される。また、フレキシブルパイプの他端
は、継手５ａ，５ｂによってマッチングボックス３内に
配置された配管４ａ，４ｂに接続される。なお、前記コ
イル１や、フレキシブルパイプ７ａ，７ｂ、および配管
４ａ，４ｂは、内部に冷却水を流通させるように構成さ
れている。また、１０はプラズマトーチ１３の周囲を巻
回するように設けられたコイル１およびネブライザ１４
を固定するコイル支持台であり、図示されない駆動機構
によって移動可能に構成されている。
り、一端を継手９ａ，９ｂによって高周波誘導コイル１
の端部に接続される。また、フレキシブルパイプの他端
は、継手５ａ，５ｂによってマッチングボックス３内に
配置された配管４ａ，４ｂに接続される。なお、前記コ
イル１や、フレキシブルパイプ７ａ，７ｂ、および配管
４ａ，４ｂは、内部に冷却水を流通させるように構成さ
れている。また、１０はプラズマトーチ１３の周囲を巻
回するように設けられたコイル１およびネブライザ１４
を固定するコイル支持台であり、図示されない駆動機構
によって移動可能に構成されている。
【００１１】かかる構成において、先に述べた通り、プ
ラズマトーチ１３内に高周波誘導結合プラズマＰが発生
される。この時、コイル１とプラズマトーチ１３および
ネブライザ１４をコイル支持台１０に設けられた図示外
の駆動機構によって移動させ、プラズマＰがインターフ
ェース２０に対して最適な位置に発生するように調整す
る。これにより、インターフェース２０に導入されるプ
ラズマにおける最適な位置の質量分析が可能となる。こ
の時、支持台１０には、コイル１に比べて大型で重量の
重いマッチングボックスは固定されないため、支持台を
移動させる駆動機構にかかる負荷は小さく、支持台の移
動機構を小型にすることができる。また、コイルから発
生される高周波をシールドする囲いも、コイル１とマッ
チングボックス３を分離しているため、マッチングボッ
クス３を除いてシールドすることが可能となり、小型に
することができる。
ラズマトーチ１３内に高周波誘導結合プラズマＰが発生
される。この時、コイル１とプラズマトーチ１３および
ネブライザ１４をコイル支持台１０に設けられた図示外
の駆動機構によって移動させ、プラズマＰがインターフ
ェース２０に対して最適な位置に発生するように調整す
る。これにより、インターフェース２０に導入されるプ
ラズマにおける最適な位置の質量分析が可能となる。こ
の時、支持台１０には、コイル１に比べて大型で重量の
重いマッチングボックスは固定されないため、支持台を
移動させる駆動機構にかかる負荷は小さく、支持台の移
動機構を小型にすることができる。また、コイルから発
生される高周波をシールドする囲いも、コイル１とマッ
チングボックス３を分離しているため、マッチングボッ
クス３を除いてシールドすることが可能となり、小型に
することができる。
【００１２】なお、フレキシブルパイプの材質は柔軟性
のあるもので導電性があれば良いが、非導電性のもの
や、導電性の悪い材質の場合には、コイルの端と配管４
ａ，４ｂを柔軟性のある配線で結ぶ必要がある。また、
コイル支持台１０と継手９ａ，９ｂの間に絶縁物を挿入
すればコイル支持台１０は絶縁物で構成しなくても良
い。さらに、移動機構はＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸の３軸方向に
移動させなくても良く、軸移動させなくても良い。
のあるもので導電性があれば良いが、非導電性のもの
や、導電性の悪い材質の場合には、コイルの端と配管４
ａ，４ｂを柔軟性のある配線で結ぶ必要がある。また、
コイル支持台１０と継手９ａ，９ｂの間に絶縁物を挿入
すればコイル支持台１０は絶縁物で構成しなくても良
い。さらに、移動機構はＸ軸，Ｙ軸，Ｚ軸の３軸方向に
移動させなくても良く、軸移動させなくても良い。
【００１３】
【考案の効果】 以上詳説したように、本考案は高周波
誘導コイルをマッチングボックスと分離し、その間にフ
レキシブルパイプを設け、前記コイルをマッチングボッ
クスと独立してコイル支持台に固定することにより、コ
イルを大型で重量の重いマッチングボックスと独立して
移動可能にすることができる。その結果、コイル支持台
に設けられた移動機構にかかる負荷が小さく、小型の移
動機構にすることができる。
誘導コイルをマッチングボックスと分離し、その間にフ
レキシブルパイプを設け、前記コイルをマッチングボッ
クスと独立してコイル支持台に固定することにより、コ
イルを大型で重量の重いマッチングボックスと独立して
移動可能にすることができる。その結果、コイル支持台
に設けられた移動機構にかかる負荷が小さく、小型の移
動機構にすることができる。
【図１】 図１は従来例を説明するための構成概略図で
ある。
ある。
【図２】 図２は従来例を説明するための要部拡大図で
ある。
ある。
【図３】 図３は本考案による一実施例装置の要部拡大
図である。
図である。
７ａ，７ｂ：フレキシブルパイプ ８ａ，８ｂ：配線 ９ａ，９ｂ：継手 １０：コイル支持台
Claims (1)
- 【請求項１】 プラズマトーチの周囲に巻回され、内部
に冷却媒体が流通するように構成された高周波誘導コイ
ルと、該コイルに高周波を供給する発振器と、該発振器
とコイルの間に設けられたマッチングボックスとからな
り、該トーチを質量分析装置への導入口に対して移動可
能にした装置において、前記コイルとマッチングボック
スを分離し、その間にフレキシブルなパイプを接続し、
該パイプを介してコイルに冷却媒体を流通させることに
より、該コイルをマッチングボックスに対して独立に移
動可能にすることを特徴とする高周波誘導結合プラズマ
質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991109254U JP2505204Y2 (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991109254U JP2505204Y2 (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0550649U JPH0550649U (ja) | 1993-07-02 |
| JP2505204Y2 true JP2505204Y2 (ja) | 1996-07-24 |
Family
ID=14505521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991109254U Expired - Lifetime JP2505204Y2 (ja) | 1991-12-09 | 1991-12-09 | 高周波誘導結合プラズマ質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2505204Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6476020B2 (ja) | 2015-03-10 | 2019-02-27 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 誘導結合プラズマ発生装置及び誘導結合プラズマ分析装置 |
| EP3890449A1 (en) * | 2020-04-02 | 2021-10-06 | Tofwerk AG | Microwave driven plasma ion source |
-
1991
- 1991-12-09 JP JP1991109254U patent/JP2505204Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0550649U (ja) | 1993-07-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960326 |