JP2503275B2 - スライシングマシンの切断装置 - Google Patents
スライシングマシンの切断装置Info
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- JP2503275B2 JP2503275B2 JP1194557A JP19455789A JP2503275B2 JP 2503275 B2 JP2503275 B2 JP 2503275B2 JP 1194557 A JP1194557 A JP 1194557A JP 19455789 A JP19455789 A JP 19455789A JP 2503275 B2 JP2503275 B2 JP 2503275B2
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- Japan
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- cutting
- air
- inner peripheral
- blade
- slicing machine
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices
- B23D59/02—Devices for lubricating or cooling circular saw blades
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、スライシングマシンの切断装置に係り、特
に半導体製造工程に於いて、シリコン等の半導体インゴ
ットをウエハに切断するスライシングマシンの切断装置
に関する。
に半導体製造工程に於いて、シリコン等の半導体インゴ
ットをウエハに切断するスライシングマシンの切断装置
に関する。
従来、インゴットをウエハに切断する装置として、ス
ライシングマシンが使用されている。
ライシングマシンが使用されている。
第４図では、この種のスライシングマシンの内周刃付
近の構造が示され、第４図に於いて、スピンドル10の上
端に設けられたカップ形状の回転体12には内周刃14が所
定の張力を持って張設され、インゴット16は、この内周
刃14によって薄片状に切断される。
近の構造が示され、第４図に於いて、スピンドル10の上
端に設けられたカップ形状の回転体12には内周刃14が所
定の張力を持って張設され、インゴット16は、この内周
刃14によって薄片状に切断される。
しかしながら、前記内周刃は、クーラント液の粘性抵
抗で内周刃の台金がインゴットの切断面に吸着し反りが
発生するので、内周刃はインゴットの切断加工位置が不
安定になり、ウエハの切断面に反りや歪み等を発生させ
る。このような場合、従来は内周刃14のドレッシングや
増し張り（張力を加えること）で対応していたが、ドレ
ッシングや増し張りは熟練と経験が必要であった。
抗で内周刃の台金がインゴットの切断面に吸着し反りが
発生するので、内周刃はインゴットの切断加工位置が不
安定になり、ウエハの切断面に反りや歪み等を発生させ
る。このような場合、従来は内周刃14のドレッシングや
増し張り（張力を加えること）で対応していたが、ドレ
ッシングや増し張りは熟練と経験が必要であった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、内
周刃の切断加工位置を安定することができるスライシン
グマシンの切断装置を提供することを目的とする。
周刃の切断加工位置を安定することができるスライシン
グマシンの切断装置を提供することを目的とする。
本発明は、前記目的を達成する為に、転するスピンド
ルに切断刃を取付けて柱状体材料を薄片状に切断するス
ライシングマシンの切断装置に於いて、エア源と連通さ
れて吹き出されるエアによって、切断した前記柱状体材
料の切断溝の壁面と切断刃の台金との間の両側の隙間に
正圧を作用させてクーラント液を除去すると共に、前記
切断刃が切断面と垂直な方向に変位した時に、前記両側
の隙間の一方側のエアー圧力と、前記両側の隙間の他方
側のエアー圧力との差により切断刃の変位を制御する一
対のエアノズルを内周刃に向けて設けたことを特徴とす
る。
ルに切断刃を取付けて柱状体材料を薄片状に切断するス
ライシングマシンの切断装置に於いて、エア源と連通さ
れて吹き出されるエアによって、切断した前記柱状体材
料の切断溝の壁面と切断刃の台金との間の両側の隙間に
正圧を作用させてクーラント液を除去すると共に、前記
切断刃が切断面と垂直な方向に変位した時に、前記両側
の隙間の一方側のエアー圧力と、前記両側の隙間の他方
側のエアー圧力との差により切断刃の変位を制御する一
対のエアノズルを内周刃に向けて設けたことを特徴とす
る。
本発明によれば、エアノズルからのエアーを、柱状体
材料の切断溝の壁面と切断刃の台金との間の両側の隙間
に向けて吹き出して、その両側の隙間に正圧を作用させ
て前記隙間にあるクーラント液を除去する。これによ
り、本発明によれば、クーラント液の粘性抵抗で切断刃
の台金が柱状体材料の切断面に吸着するのを阻止できる
ので、切断刃の切断加工位置を安定させることができ
る。
材料の切断溝の壁面と切断刃の台金との間の両側の隙間
に向けて吹き出して、その両側の隙間に正圧を作用させ
て前記隙間にあるクーラント液を除去する。これによ
り、本発明によれば、クーラント液の粘性抵抗で切断刃
の台金が柱状体材料の切断面に吸着するのを阻止できる
ので、切断刃の切断加工位置を安定させることができ
る。
また、本発明によれば、前記エアノズルからのエアー
流量を可変させて、前記両側の隙間の一方側のエアー圧
力と、前記両側の隙間の他方側のエアー圧力との差によ
り切断刃の変位を制御する。即ち、本発明では、柱状体
材料を実際に切断している切断部を通過する切断刃の変
位を制御するようにしたので、切断部以外の場所で切断
刃の変位を制御するよるも、切断刃の切断加工位置を安
定させることができる。
流量を可変させて、前記両側の隙間の一方側のエアー圧
力と、前記両側の隙間の他方側のエアー圧力との差によ
り切断刃の変位を制御する。即ち、本発明では、柱状体
材料を実際に切断している切断部を通過する切断刃の変
位を制御するようにしたので、切断部以外の場所で切断
刃の変位を制御するよるも、切断刃の切断加工位置を安
定させることができる。
以下添付図面に従って本発明に係るスライシングマシ
ンの切断装置の好ましい実施例を詳説する。
ンの切断装置の好ましい実施例を詳説する。
第１図に於いて、スライシングマシン18の本体20の上
面には内周刃22が配置され、この内周刃22の近傍には第
２図に示すように、エアー吹出しノズル24、25が取付け
られている。また、前記内周刃22は、回転体26に所定の
張力で張設されている。前記回転体26は、スピンドル28
に取付けられ、スピンドル28は図示しない回転機構によ
り回転される。
面には内周刃22が配置され、この内周刃22の近傍には第
２図に示すように、エアー吹出しノズル24、25が取付け
られている。また、前記内周刃22は、回転体26に所定の
張力で張設されている。前記回転体26は、スピンドル28
に取付けられ、スピンドル28は図示しない回転機構によ
り回転される。
また、本体20の上面には、切断送りテーブル30が矢印
Ａ、Ｂ方向に摺動自在に支持され、図示しない駆動源に
よって往復動される。前記切断送りテーブル30の第１図
上左端部には支柱32が立設され、支柱32の正面には割出
スライダ34が取付けられている。前記割出スライダ34
は、支柱32の長手方向に取付けられている図示しない送
りネジ部と螺合し、この送りネジ部が回転すると支柱32
の長手方向、即ち上下方向に移動することができる。
Ａ、Ｂ方向に摺動自在に支持され、図示しない駆動源に
よって往復動される。前記切断送りテーブル30の第１図
上左端部には支柱32が立設され、支柱32の正面には割出
スライダ34が取付けられている。前記割出スライダ34
は、支柱32の長手方向に取付けられている図示しない送
りネジ部と螺合し、この送りネジ部が回転すると支柱32
の長手方向、即ち上下方向に移動することができる。
また、割出スライダ34は、スライスベース36が固着さ
れたインゴット38を支持している。これによって、イン
ゴット38は矢印Ａ、Ｂ方向（切断方向）及び矢印Ｃ、Ｄ
方向（インゴット切断厚さ割り出し方向）に移動するこ
とができる。
れたインゴット38を支持している。これによって、イン
ゴット38は矢印Ａ、Ｂ方向（切断方向）及び矢印Ｃ、Ｄ
方向（インゴット切断厚さ割り出し方向）に移動するこ
とができる。
第３図は、前記内周刃22付近の要部側面図が示され、
第２図に示したエアー吹出しノズル24、25は、内周刃22
の上側、下側に一対設置されている。また、エアー吹出
しノズル24、25のエアー吹出口24A、25Aは内周刃22に対
して傾斜して設けられ、上側のエアー吹出口24Aが切断
しているインゴット38の切断溝の上壁38Aと内周刃22の
台金23の上面との間の隙間に向けられ、下側のエアー吹
出口25Aが内周刃22の台金23の下面と切断溝の下壁40Aと
の間の隙間に向けられている。
第２図に示したエアー吹出しノズル24、25は、内周刃22
の上側、下側に一対設置されている。また、エアー吹出
しノズル24、25のエアー吹出口24A、25Aは内周刃22に対
して傾斜して設けられ、上側のエアー吹出口24Aが切断
しているインゴット38の切断溝の上壁38Aと内周刃22の
台金23の上面との間の隙間に向けられ、下側のエアー吹
出口25Aが内周刃22の台金23の下面と切断溝の下壁40Aと
の間の隙間に向けられている。
前記エアー吹出しノズル24、25は第２図に示したよう
に、空気圧制御装置42を介してエアー源に連通され、吹
き出すエアー流量が制御される。また、内周刃22に近接
して変位検出器44、44が所定の間隔で取付けられ、変位
検出器44の先端から内周刃22の上表面までの距離を非接
触で検出し、その信号を非接触式変位計46に送ってい
る。前記検出器44は、公知の非接触式センサが用いられ
る。非接触式変位計46からの検出信号は主制御装置48に
送られる。主制御装置48は、前記検出信号に基づいて前
記空気圧制御装置42に制御信号を送り、エアー吹出しノ
ズル24、25の吹出口24A、25Aから吹き出すエアー流量を
調節する。
に、空気圧制御装置42を介してエアー源に連通され、吹
き出すエアー流量が制御される。また、内周刃22に近接
して変位検出器44、44が所定の間隔で取付けられ、変位
検出器44の先端から内周刃22の上表面までの距離を非接
触で検出し、その信号を非接触式変位計46に送ってい
る。前記検出器44は、公知の非接触式センサが用いられ
る。非接触式変位計46からの検出信号は主制御装置48に
送られる。主制御装置48は、前記検出信号に基づいて前
記空気圧制御装置42に制御信号を送り、エアー吹出しノ
ズル24、25の吹出口24A、25Aから吹き出すエアー流量を
調節する。
次に、前記の如く構成されたスライシングマシンの切
断装置の作用について説明する。
断装置の作用について説明する。
前述したように前記エアー吹出しノズル24、25から吹
き出されたエアーは、インゴット38、ウエハ40の各切断
溝の壁面38A、40Aと内周刃22の台金23との間の上下の隙
間に向けて吹き出される。これにより、前記隙間には正
圧が作用し、そして、この正圧によって前記隙間にある
クーラント液を除去することができる。また、前記正圧
によって前記隙間にはクーラント液が滞留しなくなる。
従って、クーラント液の粘性抵抗で内周刃22の台金23が
各切断溝の壁面38A、40Aに吸着するのを阻止することが
できる。
き出されたエアーは、インゴット38、ウエハ40の各切断
溝の壁面38A、40Aと内周刃22の台金23との間の上下の隙
間に向けて吹き出される。これにより、前記隙間には正
圧が作用し、そして、この正圧によって前記隙間にある
クーラント液を除去することができる。また、前記正圧
によって前記隙間にはクーラント液が滞留しなくなる。
従って、クーラント液の粘性抵抗で内周刃22の台金23が
各切断溝の壁面38A、40Aに吸着するのを阻止することが
できる。
また、インゴット38の切断中に、前記内周刃22の刃22
Aに刃こぼれや目詰まり等が発生して内周刃22に回転振
れが発生すると、変位検出器44でその振れ量を検出して
主制御装置48にこの検出信号を送る。前記振れ量が許容
範囲内を超えている場合は、主制御装置48から空気圧制
御装置42に制御信号を送り、内周刃22の上側及び下側の
エアー吹出しノズル24、25からエアーを吹き出し、エア
ー流量の差、即ちインゴット38の切断溝の上壁38Aと内
周刃22の台金23の上面との間の隙間のエアー圧と、前記
台金23の下面と切断溝の下壁40Aとの間の隙間のエアー
圧との差で内周刃22の振れ量を許容範囲内に収める。
Aに刃こぼれや目詰まり等が発生して内周刃22に回転振
れが発生すると、変位検出器44でその振れ量を検出して
主制御装置48にこの検出信号を送る。前記振れ量が許容
範囲内を超えている場合は、主制御装置48から空気圧制
御装置42に制御信号を送り、内周刃22の上側及び下側の
エアー吹出しノズル24、25からエアーを吹き出し、エア
ー流量の差、即ちインゴット38の切断溝の上壁38Aと内
周刃22の台金23の上面との間の隙間のエアー圧と、前記
台金23の下面と切断溝の下壁40Aとの間の隙間のエアー
圧との差で内周刃22の振れ量を許容範囲内に収める。
例えば、内周刃22が許容範囲内よりも下側に反りを発
生している場合は、内周刃22の下側のエアー吹出しノズ
ル25のエアー流量を上側のエアー吹出しノズル24のエア
ー流量よりも多くして吹き出し、エアー圧の差で内周刃
22の反りを修正する。
生している場合は、内周刃22の下側のエアー吹出しノズ
ル25のエアー流量を上側のエアー吹出しノズル24のエア
ー流量よりも多くして吹き出し、エアー圧の差で内周刃
22の反りを修正する。
また、内周刃22が許容範囲内よりも上側に反りを発生
している場合には、内周刃22の上側のエアー吹出しノズ
ル24のエアー流量を下側のエアー吹出しノズル25のエア
ー流量よりも多くして吹き出し、エアー圧の差によって
内周刃22の反りを修正する。
している場合には、内周刃22の上側のエアー吹出しノズ
ル24のエアー流量を下側のエアー吹出しノズル25のエア
ー流量よりも多くして吹き出し、エアー圧の差によって
内周刃22の反りを修正する。
このように上下のノズル24、25のエアー圧差による制
御は、上下いずれかのノズル24、25で制御するより制御
し易く、また刃の位置も急激に変動しない利点がある。
御は、上下いずれかのノズル24、25で制御するより制御
し易く、また刃の位置も急激に変動しない利点がある。
また、本実施例では、インゴット38を実際に切断して
いる切断部を通過する内周刃22の変位を、前記エアー圧
の差によって制御するようにしたので、切断部以外の場
所で内周刃22の変位を制御するよりも、内周刃22の切断
加工位置を安定させることができる。
いる切断部を通過する内周刃22の変位を、前記エアー圧
の差によって制御するようにしたので、切断部以外の場
所で内周刃22の変位を制御するよりも、内周刃22の切断
加工位置を安定させることができる。
以上説明したように本発明に係るスライシングマシン
の切断装置によれば、切断した柱状体材料の切断溝の壁
面と切断刃の台金との間の両側の隙間に向くように傾斜
配置されたエアノズルからエアーを吹き出し、このエア
ーによって前記隙間に正圧を作用させてクーラント液を
除去すると共に、柱状体材料を実際に切断している切断
部を通過する切断刃の変位を、エアー圧の差により制御
するようにしたので、切断部以外の場所で内周刃の変位
を制御するよりも、切断刃の切断加工位置をより安定さ
せることができる。
の切断装置によれば、切断した柱状体材料の切断溝の壁
面と切断刃の台金との間の両側の隙間に向くように傾斜
配置されたエアノズルからエアーを吹き出し、このエア
ーによって前記隙間に正圧を作用させてクーラント液を
除去すると共に、柱状体材料を実際に切断している切断
部を通過する切断刃の変位を、エアー圧の差により制御
するようにしたので、切断部以外の場所で内周刃の変位
を制御するよりも、切断刃の切断加工位置をより安定さ
せることができる。
第１図は本発明に係る切断装置が適用されるスライシン
グマシンの斜視図、第２図は本発明に係る切断装置の切
断制御系統図、第３図はエアー吹出しノズルからのエア
ー吹出し状況を示す要部説明図、第４図は従来の切断装
置の実施例を示す断面図である。 22……内周刃、26……回転体、24、25……エアー吹出し
ノズル、38……インゴット、44……変位検出器。
グマシンの斜視図、第２図は本発明に係る切断装置の切
断制御系統図、第３図はエアー吹出しノズルからのエア
ー吹出し状況を示す要部説明図、第４図は従来の切断装
置の実施例を示す断面図である。 22……内周刃、26……回転体、24、25……エアー吹出し
ノズル、38……インゴット、44……変位検出器。
Claims (1)
- 【請求項１】回転するスピンドルに切断刃を取付けて柱
状体材料を薄片状に切断するスライシングマシンの切断
装置に於いて、 エア源と連通させて吹き出されるエアによって、切断し
た前記柱状体材料の切断溝の壁面と切断刃の台金との間
の両側の隙間に正圧を作用させてクーラント液を除去す
ると共に、前記切断刃が切断面と垂直な方向に変位した
時に、前記両側の隙間の一方側のエアー圧力と、前記両
側の隙間の他方側のエアー圧力との差により切断刃の変
位を制御する一対のエアノズルを内周刃に向けて設けた
ことを特徴とするスライシングマシンの切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1194557A JP2503275B2 (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 | スライシングマシンの切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1194557A JP2503275B2 (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 | スライシングマシンの切断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0358805A JPH0358805A (ja) | 1991-03-14 |
| JP2503275B2 true JP2503275B2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=16326514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1194557A Expired - Fee Related JP2503275B2 (ja) | 1989-07-27 | 1989-07-27 | スライシングマシンの切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2503275B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06112451A (ja) * | 1992-09-29 | 1994-04-22 | Nagano Denshi Kogyo Kk | Ｓｏｉ基板の製造方法 |
| JP2979870B2 (ja) * | 1992-11-27 | 1999-11-15 | 信越半導体株式会社 | 半導体インゴットのコーン状端部切除方法 |
| JP3085136B2 (ja) * | 1995-03-25 | 2000-09-04 | 信越半導体株式会社 | ワークのスライシング方法および装置 |
| CN115139420B (zh) * | 2022-08-31 | 2022-11-29 | 天通控股股份有限公司 | Led衬底用超薄蓝宝石晶片的切割方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01110105A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-04-26 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 硬脆材料の切断方法 |
-
1989
- 1989-07-27 JP JP1194557A patent/JP2503275B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0358805A (ja) | 1991-03-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |