JP2502335B2 - Inspection equipment - Google Patents
Inspection equipmentInfo
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- JP2502335B2 JP2502335B2 JP63014194A JP1419488A JP2502335B2 JP 2502335 B2 JP2502335 B2 JP 2502335B2 JP 63014194 A JP63014194 A JP 63014194A JP 1419488 A JP1419488 A JP 1419488A JP 2502335 B2 JP2502335 B2 JP 2502335B2
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- ball screw
- brake
- inspected
- support base
- brake disc
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16D—COUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
- F16D65/00—Parts or details
- F16D65/14—Actuating mechanisms for brakes; Means for initiating operation at a predetermined position
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16D—COUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
- F16D2121/00—Type of actuator operation force
- F16D2121/18—Electric or magnetic
- F16D2121/20—Electric or magnetic using electromagnets
- F16D2121/22—Electric or magnetic using electromagnets for releasing a normally applied brake
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Braking Arrangements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、主に液晶表示装置を構成するLCD基板等の
被検査基板を目視検査する検査装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Object of the Invention (Field of Industrial Application) The present invention mainly relates to an inspection device for visually inspecting a substrate to be inspected such as an LCD substrate which constitutes a liquid crystal display device.
(従来の技術) 一般に、液晶画面(LCD)の表示の検査は目視検査で
行われており、この目視検査する際に凝視角と直交する
支持面が必要不可決である。そのために、従来のように
支持台が水平方向にのみ移動する構造から水平方向に対
して目視する凝視線と沿うように支持面を傾斜、例えば
45゜の傾斜をさせて検査をする目視検査装置が求められ
ている。(Prior Art) In general, a display of a liquid crystal screen (LCD) is inspected by visual inspection, and a supporting surface orthogonal to a gaze angle is required for this visual inspection. Therefore, the support surface is inclined, for example, along the gaze line visually observed in the horizontal direction from the conventional structure in which the support base moves only in the horizontal direction, for example,
There is a demand for a visual inspection device that inspects at a 45 ° inclination.
上記目視検査装置の構成は、第5図に示すように凝視
線(1)と直交した基台面(2)に沿って、支持台
(3)を移動させるようにボールスクリュ(4)が配置
されている。このボールスクリュ(4)の両端は支持体
(5)で回転自在に固定されておりこのボースクリュ
(4)の端部にはパルスモータ(6)が連動してボール
スクリュ(4)を回転するように設けられている。As shown in FIG. 5, the visual inspection apparatus has a ball screw (4) arranged so as to move the support base (3) along a base surface (2) orthogonal to the stare line (1). ing. Both ends of this ball screw (4) are rotatably fixed by a support body (5), and a pulse motor (6) interlocks with the end of this bow screw (4) to rotate the ball screw (4). It is provided in.
上記パルスモータ(6)は、CPU(7)の指令信号に
より駆動回路を介して、パルスモータ(6)が回転され
るように構成されている。このパルスモータ(6)の回
転によりボールスクリュ(4)が支持台(3)を移動さ
せるように螺合結合されている。この支持台(3)及び
この支持台(3)を移動させるボールスクリュ(4)は
凝視線(1)に対して直交するように傾斜して設けられ
ている。この傾斜した支持台(3)の荷重Wは、傾斜方
向に傾斜移動する分力Wcosθの荷重で落下する方向に働
いている。The pulse motor (6) is configured such that the pulse motor (6) is rotated by a command signal from the CPU (7) via a drive circuit. The ball screw (4) is screwed and coupled to the support base (3) by the rotation of the pulse motor (6). The support base (3) and the ball screw (4) for moving the support base (3) are provided so as to be inclined so as to be orthogonal to the gaze line (1). The load W of the tilted support base (3) acts in the direction of falling by the load of the component force Wcosθ that tilts in the tilt direction.
また、上記ポールスクリュ(4)の反端部には、電源
が遮断されると同時にこのボールスクリュ(4)の回転
をロックせしめる回転ロック手段(9)は例えば電磁ブ
レーキ(10)がD/Aコンバータ(11)を有し設けられて
いるのが一般的である。Further, at the opposite end of the pole screw (4), a rotation lock means (9) for locking the rotation of the ball screw (4) at the same time that the power is cut off is provided by, for example, an electromagnetic brake (10) D / A. It is generally provided with a converter (11).
(発明が解決しようとする課題) 上記電磁ブレーキ(10)は支持台(3)を傾斜方向に
沿って移動させる軸、すなわち、ボールスクリュ(4)
の端部をインナドライバ(12)と称する部材を挿着す
る。このインナドライバ(12)は外周がギア形状に設け
られ、ことギア形状部(12a)にブレーキデスク(13)
がスラスト方向に摺動自在に挿着されている。(Problems to be Solved by the Invention) The electromagnetic brake (10) is a shaft for moving the support base (3) along the inclination direction, that is, a ball screw (4).
A member called an inner driver (12) is attached to the end of the. The inner driver (12) has a gear-shaped outer periphery, and the gear-shaped portion (12a) has a brake desk (13).
Is slidably inserted in the thrust direction.
即ち、第4図で示すように上記ブレーキデスク(13)
の中央にギア形状のギア穴部(13a)が穿設されて、ブ
レーキデスク(13)がアーマチュア(14)の押込みによ
って摺動される構造のために、通電状態時には常にイン
ナドライバとブレーキデスク(13)とギア当部(13a)
との結合部の間隙から衝撃音をともなって回転駆動して
いるので騒音発生の欠点があった。That is, as shown in FIG. 4, the brake desk (13)
A gear-shaped gear hole (13a) is bored in the center of the brake disc (13), and the brake desk (13) is slid by pushing the armature (14). 13) and gear section (13a)
Since it is rotationally driven with an impact sound from the gap of the joint portion with, there is a drawback of noise generation.
本発明の目的とするところは、上述した従来の課題に
対処してなされたもので、被検査基板の支持台を昇降せ
しめるポールスクリュの回転を電磁ブレーキで確実に制
止できて、被検査基板を斜めに正確に位置決め保持で
き、安定した検査が可能となると共に、ボールスクリュ
の駆動モータの稼働時でも電源が遮断された時でも、常
に電磁ブレーキがガタや騒音を発生することが無い高性
能な検査装置を提供することを目的とする。The purpose of the present invention is to solve the above-mentioned conventional problems, the rotation of the pole screw that raises and lowers the support base of the substrate to be inspected can be reliably stopped by the electromagnetic brake, and the substrate to be inspected is Positioning and holding can be performed accurately at an angle, stable inspection is possible, and the electromagnetic brake does not generate rattling or noise even when the ball screw drive motor is operating or the power is cut off. An object is to provide an inspection device.
(課題を解決するための手段) 本発明は、前記目的を達成するために、被検査基板を
支持する支持台と、この支持台を傾斜した基台面上にて
該傾斜に沿って昇降移動させるボールスクリュ及びこの
駆動モータと、そのボールスクリュの回転を制止する電
磁ブレーキとにより、該支持台と共に被検査基板を所定
位置に斜めに位置決め保持し、この被検査基板に対向配
置するプローブ端子を電気的に接触させて該被検査基板
を目視検査可能な構成とした検査装置において、 前記電磁ブレーキのブレーキディスク部を、ボーユス
クリュに固定したボス部材と、これに一体的に固定され
スラスト方向に弾性変形可能なブレーキディスクと、こ
のブレーキディスクの周縁部に固着された摩擦体とで構
成したことを特徴とする。(Means for Solving the Problems) In order to achieve the above object, the present invention provides a support base for supporting a substrate to be inspected, and moving the support base up and down along the inclined base surface. The ball screw, the drive motor, and an electromagnetic brake that stops the rotation of the ball screw hold the substrate to be inspected together with the support at an oblique position at a predetermined position, and electrically connect the probe terminals arranged facing the substrate to be inspected. In a structure capable of visually inspecting the substrate to be inspected by making a physical contact with the boss member that fixes the brake disc portion of the electromagnetic brake to the Boyle screw and integrally fixed to the boss member and elastically deformed in the thrust direction. It is characterized in that it is composed of a possible brake disc and a friction body fixed to the peripheral portion of the brake disc.
(作用) 前述した構成の本発明の検査装置によれば、傾斜した
基台面上の支持台に被検査基板を支持し、この状態で駆
動モータによりボールスクリュを回転して、該支持台を
昇降せしめ、その支持台と共に被検査基板を所定位置に
移動したら、駆動モータへの通電を止めると同時に、電
磁ブレーキが自己のバネ力でブレーキディスク部を押圧
する。これで該ブレーキディスク部のブレーキディスク
がスラスト方向に弾性変形して、この周縁部の摩擦体が
固定部に挟圧されて摩擦力によりボールスクリュの回転
を止める。これで被検査基板を支持台と共に自重落下し
ない状態に制止して所定の位置に斜めに位置決め保持
し、この被検査基板に対向配置するプローブ端子を電気
的に接触させることで該被検査基板を目視検査可能とあ
る。(Operation) According to the inspection apparatus of the present invention having the above-described configuration, the substrate to be inspected is supported on the support base on the inclined base surface, and the ball screw is rotated by the drive motor in this state to move the support base up and down. If the board to be inspected is moved to a predetermined position together with the support base, the power supply to the drive motor is stopped and the electromagnetic brake presses the brake disc portion by its own spring force. As a result, the brake disc of the brake disc portion is elastically deformed in the thrust direction, and the friction body at the peripheral portion is pinched by the fixed portion, and the rotation of the ball screw is stopped by the frictional force. With this, the substrate to be inspected is restrained in a state where it does not drop by its own weight together with the supporting base, is diagonally positioned and held at a predetermined position, and the substrate to be inspected is electrically contacted with the probe terminal arranged facing the substrate to be inspected. It can be visually inspected.
また、駆動モータが稼働してボールスクリュを回転さ
せる時には、電磁ブレーキが励磁してバネ力による押圧
を解除することで、ブレーキディスク部のブレーキディ
スクがスラスト方向に弾性復帰する。これでそのブレー
キディスクの周囲側面の摩擦体が固定部材から離れ、ブ
レーキ解除状態となる。Further, when the drive motor is operated to rotate the ball screw, the electromagnetic brake is excited to release the pressing force by the spring force, so that the brake disc of the brake disc portion elastically returns in the thrust direction. As a result, the friction body on the peripheral side surface of the brake disc is separated from the fixing member, and the brake is released.
このように電磁ブレーキのブレーキディスク部に用い
たブレーキディスクがスラスト方向に弾性変形可能であ
るので、そのブレーキディスクをボールスクリュに対し
一体的に設けることができて、従来の如くスラスト方向
に摺動可能なギア噛み合い構造が一切不要で、被検査基
板の支持台を昇降せしめるボールスクリュの回転をガタ
なく確実に制止できて、被検査基板を斜めに正確に位置
決め保持でき、安定した検査が可能となると共に、ボー
ルスクリュの駆動モータの稼働時でも電源が遮断された
停止時でも、電磁ブレーキから騒音を発生することが無
くなる。Since the brake disc used in the brake disc portion of the electromagnetic brake can be elastically deformed in the thrust direction, the brake disc can be integrally provided with the ball screw and slid in the thrust direction as in the past. It does not require any gear meshing structure, and can reliably stop the rotation of the ball screw that raises and lowers the support base of the board to be inspected without rattling, and the board to be inspected can be accurately positioned and held diagonally, enabling stable inspection. In addition, noise is not generated from the electromagnetic brake even when the drive motor of the ball screw is operating or when the power supply is stopped.
(実施例) 以下、本発明の検査装置の一実施例を第1図乃至第3
図により説明する。なお、図中前記第5図で示したもの
と重複する構成のものには同一符号付して説明の簡略化
を図る。(Embodiment) An embodiment of the inspection apparatus of the present invention will be described below with reference to FIGS.
It will be described with reference to the drawings. In the figure, the same components as those shown in FIG. 5 are designated by the same reference numerals to simplify the description.
まず、第3図に示す如く、検査装置(15)は被検査基
板としてLCD基板を搬送するローダ部(16)と、これか
ら搬送されたLCD基板を検査する検査部(17)とから構
成されている。First, as shown in FIG. 3, the inspection device (15) is composed of a loader section (16) for transferring an LCD board as an inspection target board and an inspection section (17) for inspecting the LCD board transferred from now on. There is.
上記ローダ部(16)は、例えば5インチ角のLCD基板
を多数収容するカセット(18)と、このカセット(18)
よりLCD基板を一枚ずつ取出す取出しアーム(19)と、
このアーム(19)により取出したLCD基板をプリアライ
メントした後に受け取って搬送する移動体(20a)を有
するX軸搬送部(20)を備えている。The loader section (16) includes, for example, a cassette (18) that accommodates a large number of 5-inch square LCD substrates, and the cassette (18).
Take-out arm (19) to take out the LCD boards one by one,
An X-axis transport unit (20) having a moving body (20a) for receiving and transporting the LCD substrate taken out by the arm (19) after pre-aligning the LCD substrate is provided.
なお、その移動体(20a)はLCD基板を受け取って吸着
した後に、その移動体(20a)自身が45度の角度に起立
回動してX軸方向に移動し、傾斜状態の支持台(3)上
にLCD基板を移載したり、検査終了したLCD基板を支持台
(3)上から取って前記ご逆にカセット(18)内に戻す
構成となっている。The movable body (20a) receives the LCD substrate and adsorbs it, and then the movable body (20a) itself stands up at an angle of 45 degrees and moves in the X-axis direction, so that the movable support (3a) is inclined. ), The LCD substrate is transferred onto the substrate, or the LCD substrate after the inspection is taken from the support base (3) and then returned to the inside of the cassette (18).
上記検査部(17)は、前述したローダ部(16)の側部
に設置されており、水平面に対し45度に傾斜した基台
(23)の基台面(2)に該傾斜に沿って支持台(3)を
備え、この支持台(3)の上側に固定台であるヘッドプ
レート(21)が設置され、これにプローブ端子(第5図
中に符号(21a)で示す)と顕微鏡(22)が設けられて
いる。そとプローブ端子は、支持台(3)上に位置決め
保持されたLCD基板に電気的に接触して該基板を通電状
態とする。顕微鏡(22)は、そのプローブ端子の基板へ
の接触状態の確認とLCD基板の画素を目視検査するもの
である。The inspection unit (17) is installed on the side of the loader unit (16) described above, and is supported along the inclination on the base surface (2) of the base (23) inclined at 45 degrees with respect to the horizontal plane. A table (3) is provided, and a head plate (21), which is a fixed table, is installed on the upper side of the support table (3), and a probe terminal (shown by reference numeral (21a) in FIG. 5) and a microscope (22 ) Is provided. Then, the probe terminal electrically contacts with the LCD substrate positioned and held on the supporting base (3) to bring the substrate into an energized state. The microscope (22) is for confirming the contact state of the probe terminal with the substrate and visually inspecting the pixels of the LCD substrate.
上記支持台(3)は、基台面(2)と同傾斜(45度)
でボールスクリュ(4)により該傾斜に沿って昇降可能
に設置されている。この傾斜した支持台(3)は、これ
自体でも、該傾斜面上でのX軸方向とY軸方向及び回転
方向θに調整制御が可能な構造であると共に、X軸及び
Y軸方向と直交するZ軸方向に移動制御可能な構造であ
る。The support base (3) has the same inclination (45 degrees) as the base surface (2).
The ball screw (4) is installed so as to be able to move up and down along the inclination. The tilted support base (3) itself has a structure capable of adjusting and controlling in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the rotation direction θ on the tilted surface, and is orthogonal to the X-axis and Y-axis directions. It is a structure in which movement control is possible in the Z-axis direction.
また、前記支持台(3)を傾斜に沿って昇降可能に支
持するボールスクリュ(4)は、基台(23)の基台面
(2)に沿って上下一対の支持体(5)(第5図参照)
により回転自在に設けられている。このボールスクリュ
(4)に支持台(3)が螺合結合されている。このボー
ルスクリュー(4)を回転せしめる駆動モータ(例えば
パルスモータ)(6)が上方に設置され、このモータ
(6)が通電されて稼働しボールスクリュ(4)を往復
回転することで、支持台(3)を傾斜した基台面(2)
上に沿って昇降移動させる構成である。In addition, the ball screw (4) that supports the support base (3) so as to be able to move up and down along the slope includes a pair of upper and lower support bodies (5) (fifth) along the base surface (2) of the base (23). (See figure)
It is rotatably provided. A support base (3) is screwed to the ball screw (4). A drive motor (for example, a pulse motor) (6) for rotating the ball screw (4) is installed above, and the motor (6) is energized to operate to reciprocally rotate the ball screw (4), thereby supporting the support base. (3) Inclined base surface (2)
It is configured to move up and down along the top.
このボールスクリュ(4)の駆動モータ(6)への電
源が遮断された停止時、該ボールスクリュ(4)が回転
フリーでコントロール能力を欠くばかりでなく、支持台
(3)が自重Wにより降下しようとする力を発生して、
ボールスクリュ(4)を回転させながら支持台(3)が
下降してしまうことから、これを防止すべく、該ボール
スクリュ(4)の下端部に電磁ブレーキ(10)が設けら
れている。When the drive motor (6) of the ball screw (4) is stopped due to power interruption, not only the ball screw (4) is free to rotate and lacks controllability, but the support base (3) is lowered by its own weight W. Generate the force to try,
Since the support base (3) descends while rotating the ball screw (4), an electromagnetic brake (10) is provided at the lower end of the ball screw (4) in order to prevent this.
この電磁ブレーキ(10)は、第1図に断面で示す如
く、前記ボールスクリュ(4)の端軸部に固定されたブ
レーキディス部(回転部)(25)と、このブレーキディ
ス部(25)を制動せしめる本体部(固定部)(33)とで
構成されている。This electromagnetic brake (10) has a brake disc portion (rotating portion) (25) fixed to the end shaft portion of the ball screw (4) and the brake disc portion (25) as shown in the cross section in FIG. It is composed of a main body part (fixed part) (33) for braking.
この本体部(33)は、前記ボールスクリュ(4)の端
軸部を回転自在に支承するスラスト軸受(24a)を有し
た固定ブラケット(24)の下面側に固設されたフィール
ド(29)と、このフィールド(29)内に装着されたコイ
ルバネ(30)及び励磁コイル(31)と、フィールド(2
9)の更に下面側に複数本のスタッド(32)を介し固設
されたサイドプレート(24)と、該スタッド(32)に摺
嵌されサイドプレート(24)とフィールド(29)との間
でコイルバネ(30)の押圧及び励磁コイル(31)の吸引
により往復移動するアーマチュア(14)とを備えてい
る。The body portion (33) includes a field (29) fixedly provided on the lower surface side of a fixed bracket (24) having a thrust bearing (24a) for rotatably supporting the end shaft portion of the ball screw (4). , A coil spring (30) and an exciting coil (31) mounted in this field (29), and a field (2
The side plate (24) fixedly provided on the lower surface side of 9) via a plurality of studs (32) and between the side plate (24) and the field (29) slidably fitted to the studs (32). An armature (14) that reciprocates by pressing a coil spring (30) and attracting an exciting coil (31) is provided.
また、前記回転部としてのブレーキディス部(25)
は、ボールスクリュ(4)の端軸部に固定したボス部材
(26)と、これに一体的に固定されスラスト方向に弾性
変形可能なブレーキディスク(27)と、このブレーキデ
ィスク(27)の周縁両側面部に固着された摩擦体として
のシュー(28a),(28b)とで構成されている なお、そのボス部材(26)は、第2図(b)に示す如
く、直径6mmH7の中心穴をボールスリュ(4)の端軸部
に嵌合した状態で押ネジ(図示せず)で締結固定され
て、該ボールスクリュ(4)の一体に回転するようなっ
ている。このボス部材(26)の上側段状インナー端部に
ブレーキディスク(27)が中心穴部を圧入嵌合してカシ
メることで固定されている。In addition, the brake disc section (25) as the rotating section
Is a boss member (26) fixed to the end shaft portion of the ball screw (4), a brake disc (27) integrally fixed to the boss member (26) and elastically deformable in the thrust direction, and a peripheral edge of the brake disc (27). It is composed of shoes (28a) and (28b) as friction bodies fixed to both side surfaces. The boss member (26) has a central hole of diameter 6 mm H7 as shown in Fig. 2 (b). Is fastened and fixed with a set screw (not shown) in a state of being fitted to the end shaft portion of the ball screw (4) so that the ball screw (4) is integrally rotated. The brake disc (27) is fixed to the upper stepped inner end of the boss member (26) by press-fitting and crimping the center hole.
このブレーキディスク(27)は、直径33mm×厚さ0.2m
m程度のステンレス製の円板状のもので、第2図(b)
に想像線で示す如くスラスト方向に弾性変形可能にバネ
性を持たせるべく、第2図(a)に示す如く幅2mm×長
さ5mm程度の打抜き穴(27a)が多数放射状に形成されて
いる。This brake disc (27) has a diameter of 33 mm and a thickness of 0.2 m.
It is a circular disc made of stainless steel with a size of about m.
As shown by the imaginary line, in order to have elasticity so that it can be elastically deformed in the thrust direction, as shown in FIG. 2 (a), a large number of punched holes (27a) with a width of 2 mm and a length of 5 mm are radially formed. .
この打抜き穴(27a)付き円板状ブレーキディスク(2
7)の周縁両側面部に摩擦体としてのシュー(28a),
(28b)が固着されている。このシュー(28a),(28
b)は、エポキシ系のアラルタイト(日本スイスチバガ
イギ社製造)で、外径33mm×内径25mm×厚さ1mm程度の
大きさの円環状とされている。Disc-shaped brake disc (2 with this punched hole (27a)
Shoe (28a) as a friction body on both sides of the periphery of 7),
(28b) is stuck. This shoe (28a), (28
b) is an epoxy-based araltite (manufactured by Japan Swiss Ciba-Geigy Co., Ltd.), and has an annular shape with an outer diameter of 33 mm, an inner diameter of 25 mm, and a thickness of about 1 mm.
このシュー(28a),(28b)個々の摩擦による最大制
動荷重を6kgとすれば、ブレーキデイスク(27)の両面
に摩擦体が設けられているので6kg×2=12kgである。
この時の支持台(3)の荷重をとすれば、 が成り立つ。これからW=17kgが導びかれ、支持台
(3)の荷重が17kgであればパルスモータ(6)に通電
されなくともボールスクリュ(4)を制動させることが
できる。すなわち、ボールスクリュ(4)を駆動させて
いる。パルスモータ(6)の通電が遮断されると、フィ
ールド(29)に内設されたコイルバネ(30)によってア
ーマチュア(14)がブレーキデスク(27)の面を押込む
方向に移動することになる。If the maximum braking load due to the friction of each of the shoes (28a) and (28b) is set to 6 kg, 6 kg × 2 = 12 kg because the friction bodies are provided on both sides of the brake disc (27).
If the load of the support base (3) at this time is Holds. From this, W = 17 kg is guided, and if the load of the support base (3) is 17 kg, the ball screw (4) can be braked without energizing the pulse motor (6). That is, the ball screw (4) is driven. When the pulse motor (6) is de-energized, the coil spring (30) provided in the field (29) causes the armature (14) to move in the direction of pushing the surface of the brake desk (27).
上記アーマチュア(14)がブレーキデスク(27)のシ
ユー(28a)を押込むのでこのブレーキデスク(27)は
弾性変形しながらブレーキデスク(27)の裏面に固着さ
れているシュ(28b)がサイドプレート(24)と接触さ
れるようになる。Since the armature (14) pushes the shoe (28a) of the brake desk (27), the brake desk (27) elastically deforms and the shoe (28b) fixed to the back surface of the brake desk (27) is the side plate. Be in contact with (24).
また、サイドプレート(24)の裏面のシュ(28b)と
が押込む圧力によって圧接されると同時にブレーキデス
ク(27)の表面に固着されているシュ(28a)もアーマ
チュア(14)と圧接されるようなる。そして、ボールス
クリュ(4)の自走による回転力を制動させることがで
きる。Further, the shoe (28b) on the back surface of the side plate (24) is pressed by the pushing pressure, and at the same time, the shoe (28a) fixed to the surface of the brake desk (27) is also pressed against the armature (14). It will be. Then, the rotational force due to the self-propelled ball screw (4) can be braked.
以上でブレーキデスク部材(25)の構成及び作用につ
いて説明を終了する。This is the end of the description of the structure and operation of the brake desk member (25).
次に作用について説明する。 Next, the operation will be described.
ローダ部(16)でLCDカセット(18)より一枚のLCDを
取出し、そのLCDは水平方向に対して45゜角傾斜し、こ
の状態で支持台(3)の支持面(3a)にLCDを載置する
位置までX軸方向に搬送し載置する。また、検査部(1
7)ではこの載置されたLCDを支持面(3a)上に例えば真
空吸着によって支持され、XYテーブル機構及びθ方向回
転機構によってLCDのアライメントを実行し、ヘッドプ
レート(21)に設けられたプローブ端子電極(21a)をL
CDの電極に接触させてLCDを検査することになる。Take out one LCD from the LCD cassette (18) by the loader section (16), and the LCD is tilted at an angle of 45 ° with respect to the horizontal direction. In this state, place the LCD on the support surface (3a) of the support base (3). It is conveyed in the X-axis direction to the position where it is placed and placed. In addition, the inspection department (1
In 7), the mounted LCD is supported on the supporting surface (3a) by, for example, vacuum suction, and the alignment of the LCD is executed by the XY table mechanism and the θ direction rotating mechanism, and the probe provided on the head plate (21). Terminal electrode (21a) is L
The LCD will be inspected by touching the electrodes of the CD.
上記動作時における傾斜方向に沿って移動させている
駆動シャフトのボールスクリュ(4)はパルスモータ
(6)の駆動で回転している。しかし上記ボールスクリ
ュ(4)の端部に固着されたブレーキディスク(27)は
一体化されているのでボールスクリュ(4)が回転して
も雑音の発生することもなく、スムーズに支持台(3)
が傾斜方向に移動することになる。また、停電により、
駆動中の目視検査装置が通電を遮断されても、フィール
ド(29)に内設されている励磁コイル(31)がアーマチ
ュア(14)の吸着ができなくなり、コイルバネ(30)が
アーマチュア(14)を介して、ブレーキデスク(27)が
押込まれるように作用する。そして、押込まれたブレー
キデスク(27)は弾性体であるので、スラスト方向に弾
性変形される。The ball screw (4) of the drive shaft, which is moved along the inclination direction during the above operation, is rotated by the drive of the pulse motor (6). However, since the brake disc (27) fixed to the end of the ball screw (4) is integrated, noise does not occur even when the ball screw (4) rotates, and the support base (3) can be smoothly moved. )
Will move in the tilt direction. Also, due to a power outage
Even if the visual inspection device during driving is de-energized, the exciting coil (31) installed in the field (29) cannot adsorb the armature (14), and the coil spring (30) keeps the armature (14) in place. The brake desk (27) is pushed in through. Since the pushed brake desk (27) is an elastic body, it is elastically deformed in the thrust direction.
さらに、弾性変形さたブルーキデスク(27)は裏面側
のシュ(28b)と、表面側のシュ(28a)がアーマチュア
(14)の押圧によりサイドプレート(24)とを介して挟
持して、摩擦力が発生しボールスクリュ(4)の回転力
を制動することができる。従って、ブレーキデスク(2
7)がスラスト方向に弾性変形するように弾性体部材を
用いたので、アーマチュア(14)でブレーキデスク(2
7)を押込むように作用しても、この作用した時のみブ
レーキデスク(27)がスラスト方向に弾性変形して、ボ
ールスクリュ(4)の回転力を吸収することができる。Further, the elastically deformed Bruky desk (27) is sandwiched between the back side shoe (28b) and the front side shoe (28a) via the side plate (24) by pressing of the armature (14), A frictional force is generated and the rotational force of the ball screw (4) can be braked. Therefore, the brake desk (2
Since an elastic member is used so that 7) elastically deforms in the thrust direction, the brake desk (2
Even if it acts to push in 7), the brake desk (27) is elastically deformed in the thrust direction only when this action is exerted, and the rotational force of the ball screw (4) can be absorbed.
実施例の作用効果は、電源が遮断された場合にはボー
ルスクリュ(4)に設けたブレーキデスク(27)が弾性
変形されて制動し、通電されている場合にはボールスク
リュ(4)とブレーキデスク(27)の一体化されている
ので、従来のようにギア形状部とギア穴の間隔から生じ
る駄雑音がなくなる。The effect of the embodiment is that the brake desk (27) provided on the ball screw (4) is elastically deformed to brake when the power is cut off, and when the power is on, the ball screw (4) and the brake are braked. Since the desk (27) is integrated, the noise caused by the gap between the gear shape portion and the gear hole as in the conventional case is eliminated.
検査装置の稼働中に停電が生じても、また、検査装置
の稼働中に誤って通電状態から遮断状態にしても検査装
置の支持台の自重により落下して検査装置を破損させる
ことのない安全でかつ安定した検査が可能となる。Safety so that even if a power failure occurs during operation of the inspection device, or even if the power is accidentally turned off during operation of the inspection device, it will not drop due to the weight of the inspection device support table and damage the inspection device. And stable inspection is possible.
第1図本発明検査装置の一実施例の構成を説明するため
の説明図、第2図(a)(b)は第1図のブレーキデス
クの構成を説明するための上面図及び断面図、第3図は
本発明を適用した目視検査装置の実施例の外観を説明す
るための外観説明図、第4図は従来のブレーキデスクと
インナドライバとの構成を説明するための説明斜視図、
第5図は従来の目視検査装置の概略を説明するための説
明図である。 3……支持台、4……ボールスクリュ 5……支持体、6……パルスモータ 7……CPU、8……駆動回路 9……回転ロック手段、10……電磁ブレーキ 11……D/Aコンバータ、12……インナドライバ 13……ブレーキデスク、13a……ギア穴部 14……アーマチュア、15……目視検査装置 16……ローダ部、17……検査部 18……LCDカセツト、19……取出アーム 20……X軸搬送部、20a……移動体 21……ヘツドプレート、21a……プローブ端子電極 22……顕微鏡、23……基台 24……サイドプレート、25……ブレーキデスク部材 26……ボス部材、27……ブレーキデスク 27a……ギア形状部、28……摩擦体(シュ) 28a……表面シュ、28b……裏面シュ 29……フィールド、30……コイルバネ 31……励磁コイルFIG. 1 is an explanatory view for explaining the configuration of an embodiment of the inspection device of the present invention, FIGS. 2 (a) and 2 (b) are a top view and a sectional view for explaining the configuration of the brake desk of FIG. FIG. 3 is an external view for explaining the external appearance of an embodiment of a visual inspection device to which the present invention is applied, and FIG. 4 is an explanatory perspective view for explaining the configuration of a conventional brake desk and an inner driver,
FIG. 5 is an explanatory view for explaining the outline of a conventional visual inspection device. 3 ... Support base, 4 ... Ball screw 5 ... Support, 6 ... Pulse motor 7 ... CPU, 8 ... Drive circuit 9 ... Rotation lock means, 10 ... Electromagnetic brake 11 ... D / A Converter, 12 …… Inner driver 13 …… Brake desk, 13a …… Gear hole 14 …… Armature, 15 …… Visual inspection device 16 …… Loader section, 17 …… Inspection section 18 …… LCD cassette, 19 …… Take-out arm 20 …… X-axis transport part, 20a …… moving body 21 …… head plate, 21a …… probe terminal electrode 22 …… microscope, 23 …… base 24 …… side plate, 25 …… brake desk member 26 …… Boss member, 27 …… Brake desk 27a …… Gear shape part, 28 …… Frictional body (shu) 28a …… Front shoe, 28b …… Back shoe 29 …… Field, 30 …… Coil spring 31 …… Excitation coil
Claims (1)
台を傾斜した基台面上にて該傾斜に沿って昇降移動させ
るボールスクリュ及びこの駆動モータと、そのボールス
クリュの回転を制止する電磁ブレーキとにより、該支持
台と共に被検査基板を所定位置に斜めに位置決め保持
し、この被検査基板に対向配置するプローブ端子を電気
的に接触させて該被検査基板を目視検査可能な構成とし
た検査装置において、 前記電磁ブレーキのブレーキディスク部を、ボールスク
リュに固定したボス部材と、これに一体的に固定されス
ラスト方向に弾性変形可能なブレーキディスクと、この
ブレーキディスクの周縁部に固着された摩擦体とで構成
したことを特徴とする検査装置。1. A support base for supporting a substrate to be inspected, a ball screw for moving the support base up and down along the inclined base surface, the drive motor, and rotation of the ball screw. An electromagnetic brake holds the board to be inspected together with the support at a predetermined position obliquely, and a probe terminal facing the board to be inspected is brought into electrical contact with the board to be inspected visually. In the inspection device described above, the brake disc portion of the electromagnetic brake is fixed to a boss member fixed to a ball screw, a brake disc integrally fixed to the boss member and elastically deformable in a thrust direction, and fixed to a peripheral portion of the brake disc. And a friction body.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP63014194A JP2502335B2 (en) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | Inspection equipment |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP63014194A JP2502335B2 (en) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | Inspection equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JPH01188728A JPH01188728A (en) | 1989-07-28 |
JP2502335B2 true JP2502335B2 (en) | 1996-05-29 |
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ID=11854312
Family Applications (1)
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JP63014194A Expired - Lifetime JP2502335B2 (en) | 1988-01-25 | 1988-01-25 | Inspection equipment |
Country Status (1)
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-
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- 1988-01-25 JP JP63014194A patent/JP2502335B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPH01188728A (en) | 1989-07-28 |
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