JP2024523992A - レンズ貫通高さ測定 - Google Patents
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Abstract
光学検査装置(10、140、180)は、照明アセンブリ(16、316)を含む検査光学系(14、314)を含み、照明アセンブリは、所定のパターンを含むレチクルと、レチクルを照明する光放射を放射するように構成された放射源とを含む。集光光学系(18、318)は、照射されたレチクル(34、120)のパターン(105)を含む放出された光学放射線をワークピース(12、312)上に投影する。偏向要素(144、146、350、352)は、集光光学系の瞳に配置される。撮像アセンブリ(20、319)は、瞳領域の第1の部分を通して投影されるパターンの第1の複製(108)と、瞳領域の第2の部分を通して投影されるパターンの第2の複製(110)とを含む、加工物の画像を捕捉する。プロセッサ(24、324)は、検査光学系とワークピースとの間の距離を評価するために、取り込まれた画像を処理する。
Description
本発明は、概して光学デバイスに関し、特に検査及び計測システム及び方法に関する。
プリント回路基板、半導体ウェハ、表示パネル及び集積回路などのワークピースの製造プロセスにおいて、ワークピースは、通常、回路基板の特徴を画像化するように構成された検査システムによって検査される。フィーチャの正確な撮像のために、ワークピースは、検査システムの光学系の焦点面に運ばれる。
以下で説明する本発明の実施形態は、検査システム内の光学系と検査中のワークピースとの間の距離の正確な評価を可能にする装置及び方法を提供する。
本発明の実施形態によれば、所定のパターンを含むレチクルと、レチクルを照明する光放射を放射するように構成された放射源とを含む照明アセンブリを含む、検査光学系を含む光学検査装置が提供される。所与の瞳領域を有する瞳を有する集光光学系は、照射されたレチクルのパターンを含む放出された光学放射線をワークピース上に投影するように構成される。偏向要素は、集光光学系の瞳内に配置され、瞳領域の第1の部分にわたって延在するが、瞳領域の第2の部分にわたっては延在しない。撮像アセンブリは、瞳領域の第1の部分を通して投影されるパターンの第1の複製と、瞳領域の第2の部分を通して投影されるパターンの第2の複製とを含む、加工物の画像を捕捉するように構成される。プロセッサは、パターンの第1の複製と第2の複製との間の相違を測定し、測定された相違に応答して検査光学系とワークピースとの間の距離を評価するように、取り込まれた画像を処理するように構成される。
いくつかの実施形態では、偏向要素は、透明ウェッジを含む。開示される実施形態では、瞳領域の第1の部分にわたって延在するウェッジは、第1のウェッジ方向を有する、第1のウェッジであり、検査光学系は、瞳領域の第2の部分にわたって延在し、第1のウェッジ方向と反対の第2のウェッジ方向を有する、第2のウェッジを含む。
あるいは、偏向素子は回折光学素子を含む。一実施形態では、瞳領域の第1の部分にわたって延在する回折光学素子は、第1の偏向方向を有する第1の回折光学素子であり、検査光学系は、瞳領域の第2の部分にわたって延在し、第1の偏向方向と反対の第2の偏向方向を有する第2の回折光学素子を含む。
さらに代替的に、偏向要素はミラーを含む。開示される実施形態では、瞳領域の第1の部分にわたって延在するミラーは、軸の周囲の第1の傾斜角を有する、第1のミラーであり、検査光学は、瞳領域の第2の部分にわたって延在し、第1の傾斜角と反対の軸の周囲の第2の傾斜角を有する、第2のミラーを含む。
開示される実施形態では、装置は、検査光学系とワークピースとの間の距離を調整するように構成された運動アセンブリを含み、プロセッサは、測定された相違に応答して運動アセンブリを駆動するように構成される。
いくつかの実施形態では、所定のパターンは、レチクル上の異なる位置に配置された複数のサブパターンを含む。一実施形態では、複数のサブパターンは、レチクル上に周期的配列で配置され、第1および第2の複製のそれぞれのサブパターンは、ワークピースの画像内でインターレースされる。代替的に又は追加的に、複数のサブパターンは、異なる第1及び第2のパターン特性を有する少なくとも第1及び第2のサブパターンを含む。
開示される実施形態では、パターンの第2の複製は、パターンの第1の複製から第1の方向にオフセットされ、複製のうちの少なくとも1つは、測定された相違に応答して、第1の方向に直交する第2の方向にシフトする。
本発明の実施形態によれば、所定のパターンを含むレチクルと、レチクルを照明する光放射を放射するように構成された放射源とを含む照明アセンブリを含む、検査光学系を含む光学検査装置も提供される。集光光学系は、照射されたレチクルのパターンを含む放射された光学放射線をワークピース上に投影するように構成される。画像センサと、所与の瞳領域を有する瞳を有する対物光学系とを含む撮像アセンブリは、ワークピースを画像センサ上に撮像するように構成される。偏向要素は、対物光学系の瞳内に配置され、瞳領域の第1の部分にわたって延在するが、瞳領域の第2の部分にわたっては延在しない。プロセッサは、画像センサによって捕捉された画像を処理して、瞳領域の第1の部分を通して結像されるパターンの第1の複製と、瞳領域の第2の部分を通して結像されるパターンの第2の複製とを検出し、パターンの第1の複製と第2の複製との間の相違を測定するように構成される。そして、測定された相違に応じて検査光学系とワークピースとの間の距離を評価する。加えて、本発明のある実施形態によると、光学検査のための方法が提供され、これは、所定のパターンを含有するレチクルと、レチクルを照明する、光学放射線を放出するように構成される放射線源とを含む、照明アセンブリを含む、検査光学を提供するステップを含む。照明されたレチクルのパターンを含む放射された光学放射線をワークピース上に投影するように構成された、所与の瞳領域を有する瞳を有する集光光学系と、撮像アセンブリとも提供される。偏向要素は、集光光学系の瞳内に配置され、瞳領域の第1の部分にわたって延在するが、瞳領域の第2の部分にわたっては延在しない。撮像アセンブリを使用して、瞳領域の第1の部分を通して投影されるパターンの第1の複製と、瞳領域の第2の部分を通して投影されるパターンの第2の複製とを含む、ワークピースの画像が捕捉される。捕捉された画像は、パターンの第1の複製と第2の複製との間の相違を測定するように処理される。検査光学系とワークピースとの間の距離は、測定された相違に応じて評価される。
本発明のある実施形態によると、照明アセンブリを含み、所定のパターンを含有するレチクルと、レチクルを照明する、光学放射線を放出するように構成される放射線源とを含む、検査光学を提供するステップを含む、光学検査のための方法がさらに提供される。集光光学系は、照射されたレチクルのパターンを含む放射された光学放射線をワークピース上に投影するように構成される。画像センサ及び対物光学系を含む撮像アセンブリは、所与の瞳領域を有する瞳を有する。偏向要素は、対物光学系の瞳内に配置され、瞳領域の第1の部分にわたって延在するが、瞳領域の第2の部分にわたっては延在しない。撮像アセンブリを使用して、瞳領域の第1の部分を通して撮像されるパターンの第1の複製と、瞳領域の第2の部分を通して撮像されるパターンの第2の複製とを含む、ワークピースの画像が捕捉される。捕捉された画像は、パターンの第1の複製と第2の複製との間の相違を測定するように処理される。検査光学系とワークピースとの間の距離は、測定された相違に応じて評価される。
本発明は、図面と共に、その実施形態の以下の詳細な説明からより完全に理解されるであろう。
概略
例えば製造プロセス中のワークピースの光学検査のための光学撮像システムの用途では、照明器が、ワークピース上の視野を光学放射で照明するために使用される。(本明細書および特許請求の範囲で使用される「光放射」、「放射」、および「光」という用語は、概して、可視、赤外、および紫外放射のいずれかを指す。)ワークピースの照明視野は、撮像光学系によって撮像され、画像センサによって検出される。
例えば製造プロセス中のワークピースの光学検査のための光学撮像システムの用途では、照明器が、ワークピース上の視野を光学放射で照明するために使用される。(本明細書および特許請求の範囲で使用される「光放射」、「放射」、および「光」という用語は、概して、可視、赤外、および紫外放射のいずれかを指す。)ワークピースの照明視野は、撮像光学系によって撮像され、画像センサによって検出される。
フラットパネルディスプレイ、半導体ウェハおよびプリント回路基板の検査などのいくつかの用途では、高品質検査は、画像センサ上に結像されるワークピースの視野を撮像光学系の正確な焦点にすることを必要とする。
本明細書に記載される本発明の実施形態は、撮像光学系の焦点からのワークピースの偏差を正確に感知する焦点センサを提供する。焦点センサは、例えば、運動アセンブリに信号を送信するために使用することができ、運動アセンブリは、ワークピースと撮像光学系との間の距離を調整して、ワークピースを光学系に対して焦点合わせする。焦点センサは、撮像光学系を通して伝送される光学放射線を利用し、したがって、ワークピースの焦点位置が、画像センサ上に結像されるのと同じ視野位置で測定されることを確実にする。このタスクを達成するために、焦点センサは、パターン化されたレチクルを照明し、集光光学系を通してパターンを投影する。検査光学系の瞳は集光光学系に中継される。いくつかの実施形態では、集光光学系の瞳領域は、瞳領域の異なる部分にわたって延在する2つの開口に分割され、したがって、レチクルから投影されるビームを2つの別個のビームに分割する。開口の横方向オフセットに起因して、これらの2つのビームは、異なる角度でワークピースに衝突し、各ビームは、ワークピース上にレチクルパターンの複製を生成する。少なくとも1つの開口に配置された偏向要素は、2つの複製をワークピース上で横方向に分離させる。ワークピースが撮像アセンブリに対して正確な焦点にあるとき、2つの複製は、相互整合しているが、デフォーカスされたワークピースに対して、複製は、相互に対して側方に偏移させられる。偏向要素は、2つの複製の横方向分離がデフォーカスによる複製シフトに直交するように配向される。いくつかの実施形態では、より大きな横方向の分離のために、対向する偏向方向を有する2つの偏向要素が、2つの開口内にそれぞれ配置される。
ワークピース上のレチクルパターンの2つの複製は、撮像光学系によって画像センサ上に結像される。プロセッサは、画像センサによって捕捉された複製の2つの並列画像を比較し、ワークピースのデフォーカスを検出し、ワークピースを正しい焦点位置に移動させるように運動システムに命令する。2つの瞳開口を集光光学系の光軸に対して対称に配置することによって、レチクルパターンの2つの複製は、デフォーカスに応答して等量であるが反対方向にシフトし、したがって、デフォーカスの高感度差動検出を可能にする。
これらの実施形態では、光学検査装置は、照明アセンブリと、集光光学系と、偏向要素と、撮像アセンブリとを備える検査光学系を含む。照明アセンブリは、所定のパターンを含むレチクルと、光学放射線を放出し、したがってレチクルを照明する放射線源とを備える。集光光学系は、照射されたレチクルのパターンを含む放射された光放射をワークピース上に投影する。偏向要素は、集光光学系の瞳内に配置され、瞳領域の第1の部分にわたって延在するが、瞳領域の第2の部分にわたっては延在しない。撮像アセンブリは、瞳領域の第1の部分を通して投影されるパターンの第1の複製と、瞳領域の第2の部分を通して投影されるパターンの第2の複製とを含む、加工物の画像を捕捉する。プロセッサは、パターンの第1の複製と第2の複製との間の相違を測定し、測定された相違に応答して検査光学系とワークピースとの間の距離を評価するように捕捉画像を処理する。代替実施形態では、分割瞳領域および偏向要素は、照明アセンブリ内ではなく、撮像アセンブリの対物光学系内に配置される。これらの実施形態では、集光光学系は、単一のレチクルパターンをワークピース上に投影し、偏向要素は、撮像アセンブリ内の画像センサ上にレチクルパターンの2つの異なる複製を作成する。デフォーカスは、上述の方法と同様の方法で測定され、補償される。
いくつかの実施形態では、偏向要素は、透明光学ウェッジを備える。代替として、回折光学要素または傾斜鏡等の他の種類の偏向要素が使用されてもよい。そのような偏向要素の好適な組み合わせ、ならびに他の偏向モードは、当業者に明白であり、本発明の範囲内であると見なされる。
集光光学系による複製分離
図1は、本発明の一実施形態によるワークピース12を検査するための光学検査装置10の概略側面図である。装置10は、照明アセンブリ16と、集光光学系18と、撮像アセンブリ20とを備える検査光学系14を備える。装置10は、運動アセンブリ22およびプロセッサ24をさらに備える。この図において、ならびに図2a~2b、3a~3b、4a~4b、および5において、描かれたアイテムの向きを定義するために、デカルト座標26が使用される。
図1は、本発明の一実施形態によるワークピース12を検査するための光学検査装置10の概略側面図である。装置10は、照明アセンブリ16と、集光光学系18と、撮像アセンブリ20とを備える検査光学系14を備える。装置10は、運動アセンブリ22およびプロセッサ24をさらに備える。この図において、ならびに図2a~2b、3a~3b、4a~4b、および5において、描かれたアイテムの向きを定義するために、デカルト座標26が使用される。
運動アセンブリ22は、例えば、プロセッサ24の制御下で、デカルト座標26のx方向、y方向、およびz方向にワークピース12を移動させることができる線形機械ステージ、ならびにz軸の周囲でワークピースを回転させることができる回転ステージを備える。図示の実施形態では、運動アセンブリ22は、静止検査光学系14に対してワークピース12を移動させる。代替として、運動アセンブリ22は、静止ワークピース12に対して検査光学14を(他の光学アセンブリとともに)移動させてもよい。z方向におけるワークピース12と検査光学系14の分離の調整は、高さ測定および焦点調整の目的で適用され、一方、x方向およびy方向の移動およびz軸の周りの回転は、ワークピース12の所望の領域を検査光学系14の視野に入れるために使用される。
照明アセンブリ16は、レチクル放射源28と、視野放射源30と、レチクルコリメータレンズ32と、レチクル放射源28によって照明される所定のパターンを含むレチクル34と、視野照明レンズ35と、ビームスプリッタ36とを備える。あるいは、2つの別個の放射源の代わりに、レチクル34からの寄与の有無にかかわらずワークピース12を照射するために、適切な可動光学系と組み合わされた単一の放射源が使用されてもよい。図示の実施形態では、ビームスプリッタ36(視野放射源30及び視野照明レンズ35と共に)は、開口アセンブリ48のすぐ右に位置する。代替として、ビームスプリッタ36は、例えば、ワークピース12と検査光学部品14との間に、またはいくつかの他の好適な場所に位置してもよい。
集光光学系18は、集光レンズ38と、瞳リレー40と、ビームスプリッタ42と、焦点面45を有する対物レンズ44とを備える。集光光学系18は、開口アセンブリ48と、平面46内の集光光学系18の瞳の領域の各部分に配置された第1および第2の透明光学ウェッジ50および52とをさらに備える。平面46は、瞳リレー40によって対物レンズ44の瞳平面47に中継され、したがって平面46及び47は互いに共役である。集光光学系18は、照明されたレチクル34のパターンを含むレチクル放射源28によって放射された光学放射をワークピース12上に投影する。集光光学系18のサブセットは、視野放射源30によって放射された光学放射をワークピース12上に投影する。開口アセンブリ48ならびに光学ウェッジ50および52は、以下で図2a~2bにおいてさらに詳細に説明される。
撮像アセンブリ20は、集光光学18と共有される要素として、ビームスプリッタ42および対物レンズ44を備える。撮像アセンブリ20はさらに、チューブレンズ54と、画像センサ56とを備える。画像センサ56は、2次元画素化画像センサ、例えばCMOS(相補型金属酸化膜半導体)画像センサを含む。したがって、撮像アセンブリ20は、ウェッジ50および52を通して投影されるレチクルパターンのそれぞれの複製を含む、ワークピース12の画像を捕捉する。
プロセッサ24は、運動アセンブリ22、放射線源28および30、ならびに画像センサ56に連結される。プロセッサ24は、典型的には、装置10の他の構成要素への好適なインターフェースを伴う汎用プログラマブルコンピュータプロセッサを備え、本明細書で説明される機能を行うようにソフトウェアおよび/またはファームウェアでプログラムされる。プロセッサ24は、単純化のために、単一のモノリシック機能ブロックとして図に示されているが、実際には、プロセッサは、単一のチップまたは2つ以上のチップのセットを備えてもよく、図に示され、本文で説明される信号を受信および出力するための好適なインターフェースを伴う。
以下、検査装置10の2つの機能について説明する。すなわち、ワークピースを対物レンズ44に対して正確な焦点にし、ワークピース12を画像センサ56上に結像する。
ワークピース12を正確な焦点にするために、プロセッサ24は、視野放射源30がオフにされていることを確認しながら、レチクル放射源28をオンにする。以下で図2a~図2bおよび図3a~図3bを参照してさらに詳細に説明するように、レチクル34のパターン105は、レチクル上の点59がワークピース12上の検査中の視野58内の点60および62に結像されるように、ワークピース12上に2つの隣り合った複製を生成するように投影される。これらの2つの複製は、撮像アセンブリ20によって、それぞれ点60および62の画像64および66の周囲の画像センサ56上に撮像され、プロセッサ24によって捕捉される。プロセッサ24は、2つの捕捉された画像から対物レンズ44の焦点からのワークピース12の偏差を計算し、偏差を補正するようにデカルト座標26のz方向にワークピースを移動させるように運動アセンブリ22を駆動する。
検査の目的でワークピース12の画像を取り込むために、プロセッサ24は、レチクル放射源28がオフにされていることを確認しながら視野放射源30をオンにし、したがって、検査機能と集束機能とを時間的に多重化する。放射線源30によって放出された光学放射線は、視野照明レンズ35によって投影され、ビームスプリッタ36によって反射され、集光光学系18のサブセットを通して投影され、ワークピース12上の視野58を照明する。視野照明レンズ35と集光光学系18のサブセットとの組み合わせは、均一な照明を視野58上に投影するように構成される。次に、視野58は、対物レンズ44、ビームスプリッタ42、及びチューブレンズ54によって画像センサ56上に結像される。明確にするために、視野放射源30によって放射される光線は省略されている。
図2a~2bは、本発明の一実施形態による光学検査装置10の部分概略側面図である。図2bの図は、図2aに対して光軸68を中心に90°回転されている。これらの図の目的は、検査装置10の焦点合わせ機能を説明することにあるので、焦点合わせに必須ではない構成要素は、明確にするために省略されている。残りの成分は、図1のように標識されている。
第1の光学ウェッジ50および第2の光学ウェッジ52の位置および配向は、図2aおよび図2bの(それぞれ配向されたデカルト座標26によって示されるような)2つの直交方向から、ならびにインサート74の断面図において見られる。ウェッジ方向70および72はそれぞれ、ウェッジ50および52について、それぞれのウェッジの基部からその縁部に向けられたベクトルとして定義される。さらなる明確化のために、第1のウェッジ50のウェッジ方向70は、インサート76内の第1のウェッジの斜視図に示される。ウェッジ方向70は、第1のウェッジ50の基部78に対して垂直であり、第1のウェッジの縁部80の方を向いている。第1および第2の光学ウェッジ50および52は、開口アセンブリ48のそれぞれの第1および第2の開口90および92を覆って配置され、集光光学18の瞳領域の異なるそれぞれの部分を覆って延在する。
集束機能のために、光線はレチクル放射源28によってレチクルコリメータレンズ32に向かって放射される。レチクルコリメータレンズ32は、光学放射線をレチクル34上に投影し、そこからビームスプリッタ36、コレクタレンズ38、及び光学ウェッジ50及び52に投影する。図2aを参照すると、第1のウェッジ50および第1の開口90に衝突する点59からのこれらの光線は、第1のウェッジによってyz平面内で正のy軸に向かって光線94として屈折され、瞳リレー40および対物レンズ44によって点60に結像される。第2のウェッジ52及び第2の開口92に衝突する点59からの光線は、第2のウェッジによって同様にyz平面内で屈折されるが、ここでは負のy軸に向かって光線96として屈折され、点62に結像される。
第1および第2のウェッジ50および52のこれらの反対の動作は、ワークピース12上のレチクル34のパターン105の複製を2つの複製(以下、図3bにおいて、それぞれの第1及び第2の複製108及び110としてラベル付けされる)に分割する。xz平面(図2b)では、ウェッジ50および52は、同じ屈折特性を有するガラスの平行平面板として振る舞う。しかし、光軸68からの開口90および92の対向する横方向のオフセットは、それぞれの開口を通る光線束を、それぞれの光線98および100ならびに角度αおよびβによって示されるように、等しいが反対の斜角でワークピース12に衝突させる。したがって、点60で形成されたパターン105の複製は、角度αでワークピース12に衝突する斜めの光線によって形成され、点62で形成された複製は、角度βの符号と反対の符号を有する角度βでワークピースに衝突する斜めの光線によって形成される。角度αおよびβの反対の符号は、ワークピース12がz方向(対物レンズ44の焦点面45の内外)に移動されるとき、点60および62における2つの複製をそれぞれ反対のx方向にシフトさせる。平面102に対して距離Δzだけ移動するワークピース12の像シフトの例を、以下の図3bに示す。
図3aおよび3bは、本発明の実施形態による、それぞれウェッジ50および52を通してワークピース12上に形成されるレチクル34のパターン105ならびにその複製108および110の概略正面図(z方向に見た)である。レチクル34は、透明基板106上に不透明線104のパターン105を含む。(あるいは、不透明な基板上の透明な線が使用されてもよい。)
図3bでは、複製108および110は、y方向に互いに分離されている。複製108は、図2aを参照すると、点60の周囲に形成され、複製110は、点62の周囲に形成される。対物レンズ44の焦点面45におけるワークピース12に関して、線104は、第1の複製108内の線112および第2の複製110内の線114に結像し、線112および114は、x方向に相互に整列される。ワークピース12が平面102に対してΔzだけデフォーカスされると(図2a~2bを参照すると)、線112は、点線112'として示される正のx方向にシフトし、線114は、点線114'として示される負のx方向にシフトし、それぞれの線112'と114'との間の相対シフトΔxは、Δzに比例する。したがって、2つの複製108および110の相対的シフトは、それらの分離の方向に直交する方向に起こる。説明される実施形態は、ワークピース12が焦点面45にあるとき、線112および114が互いに位置合わせされるという意味で完全に位置合わせされるシステムを指す。しかしながら、ワークピース12が焦点面45にあるときに線112及び114が互いに整列していない誤整列システムであっても、デフォーカスΔzは線の相対シフトから推測することができる。
図1に示されるように、複製108および110は、画像センサ56上に撮像され、プロセッサ24によって処理され、検査光学14とワークピース12との間の距離を評価する。この目的のために、プロセッサ24は、捕捉された画像から複製108と110との間の相対的相違Δxを測定し、Δxから対物レンズ44の焦点からのワークピース12の偏差Δzを計算し、偏差を補正するようにデカルト座標26のz方向にワークピースを移動させるように運動アセンブリ22を駆動する。
図示の実施形態では、開口90及び92並びに関連するウェッジ50及び52は、光軸68に対して対称的に横方向にオフセットされる。あるいは、これらは非対称的に配置されてもよい。例えば、第1の開口90及び第1のウェッジ50は、光軸68を中心とし得るが、第2の開口92及び第2のウェッジ52は、軸から横方向にオフセットされる。そのような配列では、第1の複製108は、デフォーカスに対して静止しているが、第2の複製110は、デフォーカスとともにシフトする。別の代替案として、瞳領域の一部にウェッジを使用して、レチクルの複製の1つをシフトさせ、瞳領域の他の部分に平坦な透明な光学要素を伴う(または光学要素を伴わない)ことができる。描写される実施形態では、パターン105は、複数の平行線104を備えるものとして描写される。あるいは、パターンは、以下でさらに詳述されるように、固定されたまたは変化する空間周期および変化する配向を有する平行線のセット、ならびに異なるパターン特性を有するパターンを含んでもよい。
図4a及び図4bは、本発明の代替的な実施形態による、ワークピース12上の複数のサブパターン122を含むレチクル120及びサブパターン122の複製の概略正面図である。各サブパターン122は、図3aのパターン105と同様である。
レチクル120は、光学検査装置10において、図1及び図2a~図2bのレチクル34と同じ位置に配置される。サブパターン122は、上述の図3bと同様に、ワークピース12上に第1及び第2の複製124及び126を形成するように投影される。サブパターン122を同じ幅Wに設計し、同じ幅Wだけ分離することにより、また第1のウェッジ50及び第2のウェッジ52の光学特性の適切な選択により、複製124及び126がワークピース12上にインターレースされる。図3bと同様に、複製124と126との間の相対シフトΔxは、対物レンズ44の焦点からのワークピース12の偏差Δzに比例する。
加えて、または代替として、複製124と126との間の相対的シフトは、領域128内のシフトΔx'によって示されるように、プロセッサ24によって局所的に感知されてもよい。プロセッサ24は、複数の領域における相対画像シフトを比較することによってワークピースの局所トポグラフィを測定することができる。図4cは、本発明の別の代替的な実施形態による、複数のサブパターン131,132,133,134,135,および136を含むレチクル130の概略正面図である。
ワークピース12を検査するために全視野画像(装置10の検査光学系14の全視野(FOV)を含む画像)が取り込まれるが、対物レンズ44の焦点からのワークピースの偏差Dzを評価する目的で、関心領域(ROI)の画像、すなわち部分FOVが取り込まれ得る。したがって、ROIをサブパターン131,132,133,134,135,または136の1つの近くに限定することによって、そのサブパターンの特定の品質を、別々に、または他のサブパターンと組み合わせて有益に利用することができる。例えば、サブパターン132の周期が大きいと、粗い測定精度のΔzの測定範囲を「サーチ・アンド・コンバージ」モードで使用することができ、サブパターン131の周期が小さいと、トポグラフィの追跡のための測定精度の細かい測定範囲を可能にし、周期の大小の組み合わせで両機能を可能にする。さらに、サブパターン133,134,および135などのレチクルフィーチャの様々な向きまたは形状を使用して、レチクルパターンをワークピースの同様のパターン上に投影することを回避し、したがってパターンエイリアシングを防止することができる。1つの走査方向に対してサブパターン131が利用され、反対の走査方向に対してサブパターン136が利用されるように、ワークピース12を前後に走査しながら、131および136などの2つのサブパターンの組み合わせを利用することができる。
レチクル130内のサブパターン131,132,133,134,135,及び136と同様に、様々な特性を有する他のサブパターンが代替的に使用されてもよい。これらの特性は、パターンフィーチャの異なる解像度、異なる形状、及び異なる向きを含むことができる。加えて、または代替として、パターン特徴は、規則的、ランダム、および擬似ランダムパターン、ならびにそれらの組み合わせを含んでもよい。一般に、それぞれのレチクル内の異なるパターンは、検査光学系14のFOVの異なる領域に配置できる。これは、走査方向及び速度、測定結果、及びワークピースの材料特性などの動作基準に基づいて、プロセッサ24に視野内のROIを動的に変更させることによって、異なるパターンでワークピース12のデフォーカスを測定及び補正することを可能にする。
図5および図6は、それぞれ、本発明の代替的な実施形態による光学検査装置140および180の概略側面図である。装置140および180は、レチクル像の分割のための異なるそれぞれの実装を除いて、装置10(図1)と同様である。装置140および180では、装置10の対応する部分とは異なる部分のみが、図1とは異なってラベル付けされている。図5を参照すると、装置140において、装置10のウェッジ50及び52は回折光学素子(DOE)142に置き換えられており、装置140の他の全ての構成要素は装置10と同じである。DOE142は、2つの別個のサブ格子を備える。サブ格子144およびサブ格子146は、矢印145および147によって示される偏向方向をそれぞれ有する。DOE142は、開口アセンブリ48に対して正のz軸から見た断面図でインサート148内に示されている。サブ格子144および146は、それらの特定の回折特性により偏向要素として機能し、矢印145および147によって示される偏向方向でそれぞれの点60および62に向かって光線を偏向させる。
図6を参照すると、装置180において、装置10のウェッジ50および52は、集光光学系18の瞳領域またはその近くの平面46に配置されたミラー182および184に置き換えられている。ミラー182および184は、矢印183および185によって示されるそれぞれの偏向方向を有するように、x軸の周囲で反対方向に傾斜されている。さらに、装置10とは異なり、ミラー182および184は第1および第2の開口90および92のそれぞれの機能も果たすので、装置180は開口アセンブリ48を備えない。ミラー182および184は、平面46から正のz軸から見たときのインサート188の断面図に示されている。ミラー182および184は、それらのそれぞれの傾斜角に基づいて偏向要素として機能し、矢印183および185によって示されるように、それぞれの点60および62に向かって光線を偏向させる。
図7は、本発明の代替的な実施形態による、ワークピース12を検査する光学検査装置200の概略側面図である。
光学検査装置200は、図1の装置10と同様であり、同様の構成要素には同じラベルが付されている。2つの装置の違いは、装置200内の集光アセンブリ218が、瞳リレー40を取り除くことによって、集光アセンブリ18と比較して変更されていることである。この場合、開口アセンブリ48ならびにウェッジ50および52は、対物レンズ44の瞳面47にまたはその近くに直接配置される。
第1および第2の光学ウェッジ50および52、ならびに開口アセンブリ48は、装置10のものと同様である。その結果、装置200は、装置10と同様に、レチクル34の点59をワークピース12上の点260および262上に結像し、これらの点はさらに、画像センサ56上のそれぞれの点264および266上に結像される。図3bのように、領域258内の第1及び第2の複製108及び110は、互いに横方向にオフセットされ、ワークピース12の焦点シフトに起因してシフトされる。
イメージングアセンブリによる複製分離
図8および9a~9bは、本発明のさらなる実施形態による、ワークピース312の検査のための光学検査装置310の概略側面図である。装置310は、照明アセンブリ316と、集光光学系318と、撮像アセンブリ319とを備える検査光学系314を備える。撮像アセンブリ319は、レチクル撮像サブアセンブリ320と、視野撮像サブアセンブリ321とを備える。装置310は、運動アセンブリ322およびプロセッサ324をさらに備える。この図および図9a~図9bでは、描かれたアイテムの向きを定義するために、デカルト座標326が使用される。運動アセンブリ322は、図1の運動アセンブリ22と同様に、例えば、プロセッサ324の制御下で、デカルト座標326のx、y、およびz方向にワークピース312を移動させることができる線形機械ステージ、ならびにz軸の周囲でワークピースを回転させることができる回転ステージを備える。
図8および9a~9bは、本発明のさらなる実施形態による、ワークピース312の検査のための光学検査装置310の概略側面図である。装置310は、照明アセンブリ316と、集光光学系318と、撮像アセンブリ319とを備える検査光学系314を備える。撮像アセンブリ319は、レチクル撮像サブアセンブリ320と、視野撮像サブアセンブリ321とを備える。装置310は、運動アセンブリ322およびプロセッサ324をさらに備える。この図および図9a~図9bでは、描かれたアイテムの向きを定義するために、デカルト座標326が使用される。運動アセンブリ322は、図1の運動アセンブリ22と同様に、例えば、プロセッサ324の制御下で、デカルト座標326のx、y、およびz方向にワークピース312を移動させることができる線形機械ステージ、ならびにz軸の周囲でワークピースを回転させることができる回転ステージを備える。
照明アセンブリ316は、図1の照明アセンブリ16と同様に、レチクル放射源328と、視野放射源330と、レチクルコリメータレンズ332と、レチクル334と、視野照明レンズ335と、ビームスプリッタ336とを備える。レチクル334は、レチクル34及び120と同様に、レチクル放射源328によって照明される単一のパターン又は複数のサブパターン(例えば図4aに示すような)のいずれかを含む。前述の実施形態のように、レチクルパターンは、周期的、準周期的、またはランダムであってもよい。
集光光学系318は、コリメータレンズ338と、ビームスプリッタ341および342と、焦点面343を有する対物レンズ344とを備える。集光光学系318は、照明されたレチクル334のパターンを含むレチクル放射源328によって放射された光学放射をワークピース312上に投影する。
レチクル撮像サブアセンブリ320は、対物レンズ344と、集光光学系318と共有される要素としてのビームスプリッタ341および342とを備える。さらに、レチクル撮像サブアセンブリ320は、瞳リレー340と、レチクル撮像レンズ345と、レチクルイメージセンサ347とを備える。さらに、レチクル撮像サブアセンブリ320は、開口アセンブリ348と、対物レンズ344の瞳平面(明確にするために瞳平面は示されていない)に共役な平面346に位置する第1および第2の光学ウェッジ350および352とを備える。したがって、ウェッジ350および352は、対物レンズ344の中継瞳内に位置付けられ、瞳領域の別個のそれぞれの部分にわたって延在する。開口アセンブリ348ならびに光学ウェッジ350および352のさらなる詳細は、図9a-9bに示される。
視野撮像サブアセンブリ321は、集光光学系318およびレチクル撮像アセンブリ320と共有される要素として、対物レンズ344およびビームスプリッタ342を備える。加えて、視野撮像アセンブリ321は、チューブレンズ354と、視野画像センサ356とを備える。
画像センサ356及び347は、2次元画素化画像センサ、例えばCMOS(相補型金属酸化膜半導体)画像センサを含む。プロセッサ324は、上記のプロセッサ24と同様に、運動アセンブリ322、光源328および330、ならびに画像センサ356および347に結合される。
ワークピース312を正確な焦点にするために、プロセッサ324は、レチクル放射源328をオンにする(視野放射源330がオフにされていることを確認する)。レチクル334のパターンは、集光光学系318によって投影され、レチクル上の点359がワークピース上の点361上に投影された状態で、ワークピース312上の視野358上に単一の複製を形成する。ワークピース312上のレチクル334のパターンのこの単一の複製は、レチクル撮像光学系321によってウェッジ350および352を通して第1の光軸368に沿って結像され、レチクルイメージセンサ347上のレチクルパターンの2つの並列複製を形成し、その結果、ワークピース上の点361が点360および362に結像される。プロセッサ324は、画像センサ347によって捕捉された画像を処理し、パターンの2つの複製間の相違を測定し、したがって、検査光学部品と加工物312との間の距離を評価する。これに基づいて、プロセッサ324は、移動アセンブリ322を駆動して、ワークピースをデカルト座標326のz方向に移動させて、偏差を補正する。
検査の目的でワークピース312上の構造の画像を捕捉するために、プロセッサ324は視野放射源330をオンにする(そしてレチクル放射源328がオフにされていることを確認する)。光源330によって放射された光放射は、視野照明レンズ335によって投影され、ビームスプリッタ336によって反射され、集光光学系318を通して投影されてワークピース312上の視野358を照明する。視野照明レンズ335と集光光学系318との組み合わせは、均一な照明を視野358に投影するように構成される。視野358は、その後、対物レンズ344、ビームスプリッタ342、及びチューブレンズ354によって第2の光軸369に沿って視野画像センサ356に結像される。明確にするために、視野放射源330によって放射される光線は省略されている。
光学検査装置10(図1)における集束および結像の時間多重化と同様に、レチクル放射源328および視野放射源330を交互にオンにすることは、装置310のためのワークピース312の集束および結像を時間多重化する。代替として、レチクル放射源328および視野放射源330は、それぞれ、2つの放射源に別個の波長で放射させることによって、ならびに適切に構成されたダイクロイックビームスプリッタおよび/またはミラーを使用することによって、スペクトル多重化されてもよい。
図9a~9bは、光学検査装置310の部分概略側面図である。図9bの図は、図9aに対して第1の光軸368を中心に90°回転されている。これらの図の目的は、検査装置310の焦点合わせ機能を説明することであるので、焦点合わせに必須ではない構成要素は、明確にするために省略されている。残りの成分は、図8のように標識されている。
開口アセンブリ348は、対物光学系344の瞳領域の異なるそれぞれの部分にわたって延在する、第1および第2の開口390および392を備える。第1および第2のウェッジ350および352は、インサート374の断面図に示されるように、それぞれ、開口390および392を覆って位置付けられる。ウェッジ350および352は、対向するそれぞれのウェッジ方向351および353に配向される。図9aを参照すると、第1のウェッジ350を通過する点361からの光線は、負のy方向に屈折して点360に投影されるのに対し、第2のウェッジ352を通過する光線は、正のy方向に屈折して点362に投影され、したがって、視野358上のレチクル334のパターンの複製を、それぞれ2つの隣り合った複製408および410に分割する。挿入物420で示される。
図9bを参照すると、第1の開口390を通過する点361からの光線は、角度α'でレチクル画像センサ347に衝突し、第2の開口392を通過する光線は、角度α'と同じ大きさであるが、角度α'とは反対の符号を有する角度β'でレチクル画像センサに衝突する。前述の実施形態のように、角度α'およびβ'の反対の符号は、対物レンズ344の焦点面343から平面402へのワークピース312のΔzによる偏差に応答して、複製408および410を反対のx方向にシフトさせる。
プロセッサ324は、複製間の相違Δxを測定するために複製408および410の画像を処理し、Δxから偏差Δzを計算し、偏差を補正するようにデカルト座標326のz方向にワークピースを移動させるように運動アセンブリ322を駆動する。
撮像アセンブリ319(図1のような集光光学系18内ではなく、)内で分割されたパターンの複製を有することの1つの利点は、複製408および410がワークピース312上の単一の複製から導出されることである。これは次に、ワークピース上に並んで位置する2つの複製を比較するよりもむしろ、単一のより小さい領域からデフォーカス情報をもたらす。
図8および図9a~9bに示される実施形態では、ウェッジ350および352は、図5および図6に示され、上で説明されたものと同様に、DOEまたはミラーなどの他の種類の偏向要素によって置き換えられ得る。
当然のことながら、上述の実施形態は例として挙げたものであり、本発明は、上記に具体的に示し説明したものに限定されない。むしろ、本発明の範囲は、上述の様々な特徴の組み合わせおよび部分的組み合わせの両方、ならびに前述の説明を読めば当業者に思い浮かぶであろう、先行技術に開示されていないその変形および修正を含む。
Claims (50)
- 光学検査装置であって、
検査光学系であって、
所定のパターンを含むレチクルと、前記レチクルを照明する光放射を放射するように構成される放射源とを備える照明アセンブリと、
所与の瞳領域を有する瞳を有し、照射されたレチクルのパターンを含む放出された光学放射線をワークピース上に投影するように構成される集光光学系と、
前記集光光学系の瞳内に配置され、前記瞳領域の第1の部分にわたって延在するが、前記瞳領域の第2の部分にわたって延在しない偏向要素と、
前記瞳領域の第1の部分を通して投影されるパターンの第1の複製と、前記瞳領域の第2の部分を通して投影されるパターンの第2の複製とを含むワークピースの画像を捕捉するように構成される撮像アセンブリと、
を備える検査光学系と、
捕捉された前記画像を処理して、前記パターンの前記第1の複製と前記第2の複製との間の相違を測定し、測定された相違に応答して前記検査光学系と前記ワークピースとの間の距離を評価するように構成されるプロセッサと、
を備える光学検査装置。 - 前記偏向要素は透明ウェッジを含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記瞳領域の第1の部分にわたって延在するウェッジは、第1のウェッジ方向を有する第1のウェッジであり、前記検査光学系は、前記瞳領域の第2の部分にわたって延在し、前記第1のウェッジ方向と反対の第2のウェッジ方向を有する第2のウェッジを備えることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記偏向要素は回折光学要素を含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記瞳領域の第1の部分にわたって延在する前記回折光学素子は、第1の偏向方向を有する第1の回折光学素子であり、前記検査光学系は、前記瞳領域の第2の部分にわたって延在し、前記第1の偏向方向と反対の第2の偏向方向を有する第2の回折光学素子を備えることを特徴とする請求項4に記載の装置。
- 前記偏向要素はミラーを含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記瞳領域の第1の部分にわたって延在する前記ミラーは、軸の周りに第1の傾斜角を有する第1のミラーであり、前記検査光学系は、前記瞳領域の第2の部分にわたって延在し、前記第1の傾斜角と反対の軸の周りに第2の傾斜角を有する第2のミラーを備えることを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 前記検査光学系と前記ワークピースとの間の距離を調整するように構成された運動アセンブリ
を備え、前記プロセッサは、測定された相違に応答して前記運動アセンブリを駆動するように構成されることを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記所定のパターンは、レチクル上の異なる位置に配置された複数のサブパターンを含むことを特徴とする請求項1~8のいずれかに記載の装置。
- 前記複数のサブパターンは、前記レチクル上に周期的な配置で配置され、前記第1および第2の複製のそれぞれのサブパターンは、前記ワークピースの画像内でインターレースされることを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 前記複数のサブパターンは、異なる第1及び第2のパターン特性を有する少なくとも第1及び第2のサブパターンを含むことを特徴とする請求項9に記載の装置。
- 前記パターンの第2の複製は、前記パターンの第1の複製から第1の方向にオフセットされ、複製のうちの少なくとも1つは、測定された相違に応じて、前記第1の方向に直交する第2の方向にシフトすることを特徴とする請求項1~8のいずれかに記載の装置。
- 光学検査装置であって、
検査光学系であって、
所定のパターンを含むレチクルと、前記レチクルを照明する光放射を放射するように構成された放射源とを備える照明アセンブリと、
照明された前記レチクルのパターンを含む放射された光学放射線をワークピース上に投影するように構成された集光光学系と、
画像センサと、所与の瞳領域を有する瞳を有し、前記ワークピースを前記画像センサ上に撮像するように構成される対物光学系とを備える撮像アセンブリと、
前記対物光学系の瞳内に配置され、前記瞳領域の第1の部分にわたって延在するが、前記瞳領域の第2の部分にわたっては延在しない偏向要素と、
を備える検査光学系と、
前記画像センサによって捕捉された画像を処理して、前記瞳領域の前記第1の部分を通して結像されるパターンの第1の複製と、前記瞳領域の前記第2の部分を通して結像されるパターンの第2の複製とを検出し、パターンの前記第1の複製と前記第2の複製との間の相違を測定するように構成され、測定された相違に応じて前記検査光学系と前記ワークピースとの間の距離を評価するプロセッサと、
を備える光学検査装置。 - 前記対物光学系の瞳に配置された前記偏向要素を有する前記撮像アセンブリは、第1の光軸を有する第1の撮像アセンブリであり、
前記検査光学系は、第2の光軸に沿って前記ワークピース上の構造の画像を捕捉するように構成された第2の撮像アセンブリと、前記ワークピースから反射された光放射を前記第1の光軸と前記第2の光軸との間で分割するように構成されたビームスプリッタとを備えることを特徴とする請求項13に記載の装置。 - 前記偏向要素は透明ウェッジを含むことを特徴とする請求項13に記載の装置。
- 前記瞳領域の前記第1の部分にわたって延在するウェッジは、第1のウェッジ方向を有する第1のウェッジであり、前記検査光学系は、前記瞳領域の前記第2の部分にわたって延在し、前記第1のウェッジ方向と反対の第2のウェッジ方向を有する第2のウェッジを備えることを特徴とする請求項15に記載の装置。
- 前記偏向要素は回折光学要素を含むことを特徴とする請求項13に記載の装置。
- 前記瞳領域の前記第1の部分にわたって延在する前記回折光学素子は、第1の偏向方向を有する第1の回折光学素子であり、前記検査光学系は、前記瞳領域の前記第2の部分にわたって延在し、前記第1の偏向方向と反対の第2の偏向方向を有する第2の回折光学素子を備えることを特徴とする請求項17に記載の装置。
- 前記偏向要素はミラーを含むことを特徴とする請求項13に記載の装置。
- 瞳領域の第1の部分にわたって延在するミラーは、軸の周りに第1の傾斜角を有する第1のミラーであり、検査光学系は、瞳領域の第2の部分にわたって延在し、第1の傾斜角と反対の軸の周りに第2の傾斜角を有する第2のミラーを備えることを特徴とする請求項19に記載の装置。
- 前記検査光学系と前記ワークピースとの間の距離を調整するように構成された運動アセンブリ
を備え、前記プロセッサは、測定された前記相違に応答して前記運動アセンブリを駆動するように構成されることを含む請求項13に記載の装置。 - 前記所定のパターンは、前記レチクル上の異なる位置に配置された複数のサブパターンを含むことを特徴とする請求項13~21のいずれかに記載の装置。
- 前記複数のサブパターンは、前記レチクル上に周期的な配置で配置され、前記第1および第2の複製のそれぞれのサブパターンは、前記ワークピースの画像内でインターレースされることを特徴とする請求項22に記載の装置。
- 前記複数のサブパターンは、異なる第1及び第2のパターン特性を有する少なくとも第1及び第2のサブパターンを含むことを特徴とする請求項22に記載の装置。
- 前記パターンの前記第2の複製は、前記パターンの前記第1の複製から第1の方向にオフセットされ、複製のうちの少なくとも1つは、測定された前記相違に応じて、前記第1の方向に直交する第2の方向にシフトすることを特徴とする請求項13~21のいずれかに記載の装置。
- 光学検査のための方法であって、
検査光学系を提供するステップであって、前記検査光学系は、
所定のパターンを含むレチクルと、前記レチクルを照明する光放射を放射するように構成された放射源とを備える照明アセンブリと、
所与の瞳領域を有する瞳を有し、照射されたレチクルのパターンを含む放出された光学放射線をワークピース上に投影するように構成される集光光学系と、
撮像アセンブリと、
を備え、
集光光学系の瞳内に偏向要素を配置するステップであって、前記瞳領域の第1の部分にわたって延在するが、前記瞳領域の第2の部分にわたって延在しない、ステップと、
撮像アセンブリを使用して、前記瞳領域の第1の部分を通して投影されるパターンの第1の複製と、前記瞳領域の第2の部分を通して投影されるパターンの第2の複製とを含む、ワークピースの画像を捕捉するステップと、
捕捉された画像を処理して、前記パターンの前記第1の複製と前記第2の複製との間の相違を測定するステップと、
測定された相違に応じて、前記検査光学系と前記ワークピースとの間の距離を評価するステップと、
を備える方法。 - 前記偏向要素を配置するステップは、前記瞳内に透明ウェッジを配置するステップを含むことを特徴とする請求項26に記載の方法。
- 前記透明ウェッジを配置することは、前記瞳領域の前記第1の部分にわたって第1のウェッジ方向を有する第1のウェッジを配置することと、前記瞳領域の前記第2の部分にわたって前記第1のウェッジ方向と反対の第2のウェッジ方向を有する第2のウェッジを配置することとを含むことを特徴とする請求項27に記載の方法。
- 前記偏向要素を配置することは、回折光学要素を前記瞳内に配置することを含むことを特徴とする請求項26に記載の方法。
- 前記回折光学要素を配置するステップは、前記瞳領域の第1の部分にわたって延在するように第1の偏向方向を有する第1の回折光学要素を配置するステップと、前記瞳領域の第2の部分にわたって前記第1の偏向方向と反対の第2の偏向方向を有する第2の回折光学要素を配置するステップとを含むことを特徴とする請求項29に記載の方法。
- 前記偏向要素を配置するステップは、前記瞳内にミラーを配置するステップを含むことを特徴とする請求項26に記載の方法。
- 前記ミラーを配置するステップは、前記瞳領域の第1の部分にわたって延在するように、軸の周りに第1の傾斜角を有する第1のミラーを配置するステップと、前記瞳領域の第2の部分にわたって前記第1の傾斜角と反対の、軸の周りに第2の傾斜角を有する第2のミラーを配置するステップを含むことを特徴とする請求項31に記載の方法。
- 測定された前記相違に応じて、前記検査光学系と前記ワークピースとの間の距離を調整するステップ
を備えることを特徴とする請求項26に記載の方法。 - 前記所定のパターンは、前記レチクル上の異なる位置に配置された複数のサブパターンを含むことを特徴とする請求項26~33のいずれかに記載の方法。
- 前記複数のサブパターンを前記レチクル上に周期的な配置で配置するステップ
を備え、前記偏向要素を配置することにより、前記第1および第2の複製のそれぞれのサブパターンが前記ワークピースの画像内でインターレースされる請求項34に記載の方法。 - 前記複数のサブパターンは、異なる第1及び第2のパターン特性を有する少なくとも第1及び第2のサブパターンを含むことを特徴とする請求項34に記載の方法。
- 前記パターンの前記第2の複製は、前記パターンの前記第1の複製から第1の方向にオフセットされ、複製のうちの少なくとも1つは、測定された前記相違に応じて、前記第1の方向に直交する第2の方向にシフトすることを特徴とする請求項26~33のいずれかに記載の方法。
- 光学検査のための方法であって、
検査光学系を提供するステップであって、前記検査光学系は、
所定のパターンを含むレチクルと、前記レチクルを照明する光放射を放射するように構成された放射源とを備える照明アセンブリと、
照明された前記レチクルのパターンを含む放射された光学放射線をワークピース上に投影するように構成された集光光学系と、
所与の瞳領域を有する瞳を有する、画像センサおよび対物光学系を備える撮像アセンブリと、
を備え、
前記対物光学系の瞳内に偏向要素を配置するステップであって、前記瞳領域の第1の部分にわたって延在するが、前記瞳領域の第2の部分にわたっては延在しない、ステップと、
前記撮像アセンブリを使用して、前記瞳領域の前記第1の部分を通して撮像されるパターンの第1の複製と、前記瞳領域の前記第2の部分を通して撮像されるパターンの第2の複製とを含む、ワークピースの画像を捕捉するステップと、
捕捉された画像を処理して、前記パターンの前記第1の複製と前記第2の複製との間の相違を測定するステップと、
測定された前記相違に応じて、前記検査光学系と前記ワークピースとの間の距離を評価するステップと、
を備える方法。 - 前記対物光学系の前記瞳に配置された前記偏向要素を有する前記撮像アセンブリは、第1の光軸を有する第1の撮像アセンブリであり、
前記検査光学を提供するステップは、第2の光軸に沿って前記ワークピース上の構造の画像を捕捉するように構成される第2の撮像アセンブリと、前記ワークピースから反射される光学放射線を前記第1および第2の光軸の間で分割するように位置付けられるビームスプリッタとを提供するステップを含むことを特徴とする請求項38に記載の方法。 - 前記偏向要素を配置するステップは、前記瞳内に透明ウェッジを配置するステップを含むことを特徴とする請求項38に記載の方法。
- 前記透明ウェッジを配置するステップは、前記瞳領域の前記第1の部分にわたって第1のウェッジ方向を有する第1のウェッジを配置するステップと、前記瞳領域の前記第2の部分にわたって前記第1のウェッジ方向と反対の第2のウェッジ方向を有する第2のウェッジを配置するステップを含むことを特徴とする請求項40に記載の方法。
- 前記偏向要素を配置するステップは、回折光学要素を前記瞳内に配置するステップを含むことを特徴とする請求項38に記載の方法。
- 前記回折光学要素を配置するステップは、前記瞳領域の第1の部分にわたって延在するように、第1の偏向方向を有する第1の回折光学要素を配置するステップと、前記瞳領域の第2の部分にわたって、前記第1の偏向方向と反対の第2の偏向方向を有する第2の回折光学要素を配置するステップを含むことを特徴とする請求項42に記載の方法。
- 前記偏向要素を配置するステップは、前記瞳内にミラーを配置するステップを含むことを特徴とする請求項38に記載の方法。
- 前記ミラーを配置するステップは、前記瞳領域の前記第1の部分にわたって延在するように、軸の周りに第1の傾斜角を有する第1のミラーを配置するステップと、前記瞳領域の前記第2の部分にわたって、前記第1の傾斜角と反対の、軸の周りに第2の傾斜角を有する第2のミラーを配置するステップを含むことを特徴とする請求項44に記載の方法。
- 測定された前記相違に応じて、前記検査光学系と前記ワークピースとの間の距離を調整するステップ、
を備えることを特徴とする請求項38に記載の方法。 - 前記所定のパターンは、前記レチクル上の異なる位置に配置された複数のサブパターンを含むことを特徴とする請求項38~46のいずれかに記載の方法。
- 前記複数のサブパターンを前記レチクル上に周期的な配置で配置するステップ
を備え、前記偏向要素を配置することにより、前記第1および第2の複製のそれぞれのサブパターンが前記ワークピースの画像内でインターレースされる請求項47に記載の方法。 - 前記複数のサブパターンは、異なる第1及び第2のパターン特性を有する少なくとも第1及び第2のサブパターンを含むことを特徴とする請求項47に記載の方法。
- 前記パターンの前記第2の複製は、前記パターンの前記第1の複製から第1の方向にオフセットされ、複製のうちの少なくとも1つは、測定された前記相違に応じて、前記第1の方向に直交する第2の方向にシフトすることを特徴とする請求項38~46のいずれかに記載の方法。
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