JP2024504166A - 極低温において電極を絶縁するためのシステム - Google Patents
極低温において電極を絶縁するためのシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2024504166A JP2024504166A JP2023544492A JP2023544492A JP2024504166A JP 2024504166 A JP2024504166 A JP 2024504166A JP 2023544492 A JP2023544492 A JP 2023544492A JP 2023544492 A JP2023544492 A JP 2023544492A JP 2024504166 A JP2024504166 A JP 2024504166A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston
- bore
- disposed
- insulation system
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims abstract description 89
- 239000004606 Fillers/Extenders Substances 0.000 claims abstract description 38
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 17
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims description 6
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 18
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 8
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 6
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 6
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 6
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 5
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6831—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using electrostatic chucks
- H01L21/6833—Details of electrostatic chucks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67103—Apparatus for thermal treatment mainly by conduction
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N13/00—Clutches or holding devices using electrostatic attraction, e.g. using Johnson-Rahbek effect
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Nitrogen And Oxygen Or Sulfur-Condensed Heterocyclic Ring Systems (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
チャンバ内の圧力が変化している間、アーク放電の可能性を低減させる又は排除する絶縁システムが開示されている。本システムは極低温で動作可能であり、絶縁システムは熱収縮による寸法変化に対応できる。1又は複数のボアを有するハウジングを含む絶縁システムは、電気的に接続される2つの構成要素間に配置される。ばね付勢され得る電気接点はボアを貫通し、2つの構成要素を電気的に接続するために使用される。電気接点の端部は、ハウジングから延在する絶縁エクステンダによって取り囲まれる。一実施形態では、ばね付勢されたピストンが絶縁エクステンダとして使用される。この絶縁エクステンダは、熱収縮による寸法の変化を補正し、電気接点のうちハウジングの外面を越えて延在する部分を覆う。【選択図】図4
Description
本出願は、2021年1月27日出願の米国特許出願第17/159,638号の優先権を主張するものであり、その開示内容は参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
本開示の実施形態は、電極を絶縁するためのシステム、より詳細には、熱収縮が起こる温度において電極を絶縁するためのシステムを対象とする。
各々がその外面に電気接点又は電極を有する2つの構成要素が互いに接続されて、電気的接続を形成する様々な状況がある。
例えば、幾つかの半導体処理システムにおいて、静電チャックは、ベース上の対応する接続部と嵌合するように意図された複数の電極をその底面に含み得る。これらの電極は、プラテンの底面上に平坦な導電性領域として形成され得る。ベースは、静電チャック内に異なる構成要素を収容するために、複数の電極を含んでいてよい。特定の実施形態では、「ポゴピン」とも呼ばれる可変長の金属ピンがベースから延在し、静電チャック上の電極に電気的に接続するために使用され得る。
この接続機構は、多くの実施形態において有効である。しかし、特定の実施形態では、ベースと静電チャックは極低温に維持されることがある。このような極低温は熱収縮を引き起こし、静電チャックとベースとの間の間隙の幅が変化する。
更に、チャンバ内の圧力が変化すると、アーク放電が発生する確率も変化する。パッシェンの法則で説明されるように、アーク放電が発生する電圧、又は絶縁破壊電圧は、ガス、間隙距離、圧力の非線形関数である。真空に近い条件では、電流を流す分子が少ないため、絶縁破壊電圧は非常に高くなる。更に、大気圧等の高い圧力では、絶縁破壊電圧は高くなる。しかし、純真空と大気圧との間には、絶縁破壊電圧が最小となる圧力が存在する。例えば、間隙が1cmのアルゴン環境では、大気圧及び真空において絶縁破壊電圧は10,000Vを超える。しかし、1torrの圧力では、絶縁破壊電圧は約200Vであり得る。
従って、チャンバの圧力が変化し、絶縁破壊電圧が印加電圧より小さくなる圧力に達すると、アーク放電が発生する可能性がある。そのため、チャンバが大気に排気される、又は真空条件までポンプダウンされると、アーク放電の可能性が出てくる。
従って、圧力が変化したときにアーク放電が発生する可能性を最小限に抑える又は排除するシステムがあれば有利である。更に、万一アークが発生した場合に、そのエネルギーを低減させるシステムがあれば有益である。このシステムが極低温又は熱収縮が起こりうる広い温度範囲にわたって動作可能であれば有益である。
チャンバ内の圧力が変化している間、アーク放電の可能性を低減させる又は排除する絶縁システムが開示されている。本システムは極低温で動作可能であり、絶縁システムは熱収縮による寸法変化に対応できる。1又は複数のボアを有するハウジングを含む絶縁システムは、電気的に接続される2つの構成要素間に配置される。ばね付勢され得る電気接点はボアを貫通し、2つの構成要素を電気的に接続するために使用される。電気接点の端部は、ハウジングから延在する絶縁エクステンダによって取り囲まれる。一実施形態では、ばね付勢されたピストンが絶縁エクステンダとして使用される。この絶縁エクステンダは、熱収縮による寸法の変化を補正し、電気接点のうちハウジングの外面を越えて延在する部分を覆う。絶縁エクステンダは、アーク経路を拡大し、アーク放電の可能性を低減させ、万一アーク放電が発生した場合のアークエネルギーを低減させるために使用される。
一実施形態によれば、絶縁システムが開示される。絶縁システムは、第1の面と第2の面とを有するハウジングと、第1の面における開放端部と、第2の面に近接する閉鎖端部とを含むように、第1の面から第2の面に向かって延在するボアと、閉鎖端部に配置された開口部であって、電気接点が開口部及びボアを貫通し、第2の面から第1の面を通り越して延在できるように構成された開口部と、第1の面から外向きに延在し、電気接点の端部を取り囲む絶縁エクステンダとを備える。特定の実施形態では、ハウジングは、セラミック材料又はプラスチックを含む。幾つかの実施形態では、絶縁エクステンダは、ボア内に配置され、第1の面に近接するピストンを含み、ピストンは、電気接点が貫通する中空シリンダを含み、ピストンは絶縁材料を含み、ボアのピストンと閉鎖端部との間に配置され且つ第1の面を越えて延在するようにピストンにバイアスをかけるばねを更に含む。特定の実施形態では、絶縁システムは、ピストンの外面に配置されたOリングを備える。幾つかの実施形態では、ピストンの直径は、ピストンの全体がボア内に収まるような直径である。幾つかの実施形態では、ピストンは、ボア内に収まる円筒部と、ピストンの一部が常にハウジングの外側に配置されるようにボアの直径よりも大きい直径を有する外向き突出部とを含む。幾つかの実施形態では、ボア内に配置されたピストンの外面は溝を含み、ねじ又はピンがハウジングを貫通して溝に入り、ピストンの可動範囲が溝の長さに制限されるようにピストンを捕捉保持する。
別の実施形態によれば、半導体処理システムが開示される。半導体処理システムは、1又は複数の電気接点を含むベースと、1又は複数のチャック電極を有する静電チャックと、ベースと静電チャックとの間に配置された絶縁システムであって、第1の面と、ベースに近接して配置された第2の面とを有するハウジングと、第1の面における開放端部と、第2の面に近接する閉鎖端部とを含むように、第1の面から第2の面に向かって延在するボアと、閉鎖端部に配置された開口部であって、ベースからの1又は複数の電気接点のうちの1つが開口部及びボアを貫通し、第2の面から第1の面を通り越して延在して1又は複数のチャック電極のうちの1つに接触するように構成された開口部と、第1の面から外向きに延在し、1又は複数の電気接点のうちの1つの端部を取り囲む絶縁エクステンダとを含む絶縁システムとを備える。特定の実施形態では、ハウジングの第2の面は、ベースに近接して配置される。幾つかの実施形態では、第2の面は、エポキシを用いてベースに接着される。幾つかの実施形態では、ベースと第2の面との間に、高誘電率を有する材料のシートが配置される。幾つかの実施形態では、ベースと第2の面との間にOリングが配置される。
別の実施形態によれば、絶縁システムが開示される。絶縁システムは、第1の面と第2の面とを有するハウジングであって、第1の面から第2の面までこれらを貫通して延在するボアを有し、電気接点がボアを貫通するように構成されたハウジングと、第1の面及び第2の面に近接して配置され、電気接点の2つの端部を取り囲む絶縁エクステンダであって、第1の面及び第2の面のうちの少なくとも一方から外向きに延在する、絶縁エクステンダとを備える。特定の実施形態では、ハウジングは、セラミック材料又はプラスチックを含む。幾つかの実施形態では、絶縁エクステンダは、ボアの長さを通して配置され、電気接点を取り囲むベローズを含む。幾つかの実施形態では、絶縁エクステンダは、ボア内に配置された2つのピストンを含み、第1のピストンは第1の面に近接し、第2のピストンは第2の面に近接し、各ピストンは、電気接点が貫通する中空シリンダを含み、各ピストンは絶縁材料を含み、ばねはボアに配置され、第1のピストンに外向きに第1の面を越えてバイアスをかけ、第2のピストンに外向きに第2の面を越えてバイアスをかける。特定の実施形態では、絶縁システムは、第1のピストンの外面に配置されたOリングと、第2のピストンの外面に配置されたOリングとを含む。幾つかの実施形態では、ピストンの直径は、ピストンの全体がボア内に収まるような直径である。特定の実施形態では、ピストンは各々、ボア内に収まる円筒部と、ピストンの一部が常にハウジングの外側に配置されるように、ボアの直径よりも大きい直径を有する外向き突出部とを含む。
別の実施形態によれば、半導体処理システムが開示される。半導体処理システムは、1又は複数の電気接点を含むベースと、1又は複数のチャック電極を有する静電チャックと、ベースと静電チャックとの間に配置された絶縁システムであって、第1の面と、ベースに近接して配置された第2の面とを有するハウジングと、第1の面から第2の面まで延在するボアであって、1又は複数の電気接点のうちの1つはボアを貫通し、1又は複数のチャック電極のうちの1つに接触するように構成されたボアと、第1の面及び第2の面に近接して配置され、1又は複数の電気接点のうちいずれかの2つの端部を取り囲む絶縁エクステンダであって、第1の面及び第2の面のうちの少なくとも一方から外向きに延在する、絶縁エクステンダとを含む絶縁システムとを備える。特定の実施形態では、絶縁エクステンダは、ボア内に配置された2つのピストンを含み、第1のピストンは第1の面に近接し、第2のピストンは第2の面に近接し、各ピストンは、1又は複数の電気接点のうちの1つが貫通する中空シリンダを含み、各ピストンは絶縁材料を含み、ボアに配置され且つ第1のピストン及び第2のピストンに外向きのバイアスをかけるばねを更に含む。
本開示をより良く理解するために、参照により本明細書に組み込まれる添付図面を参照する。
本開示は、熱膨張又は熱収縮が起こり得る構成要素上の電極が互いにアーク放電しないように絶縁するシステムについて説明するものである。
図1Aは2つの構成要素を示しており、第1の構成要素はその外面に1又は複数の電極を含む。第2の構成要素は、第2の構成要素から第1の構成要素上の電極まで延在する電気接点151を含む。一実施形態では、第1の構成要素は、1又は複数のチャック電極101を有する静電チャック100であってよい。チャック電極101は、静電チャック100の底面に配置された導電性領域であってよい。
第2の構成要素は、半導体処理システムのベース150であってよい。より具体的には、第2の構成要素はアダプタプレートであってよい。ベース150は、ベース150の表面から延在する1又は複数の電気接点151を含む。各電気接点151は、静電チャック100上の対応するチャック電極101に電圧を供給するために使用され得る。電気接点151は可変の長さを有していてよく、「ポゴピン」とも称され得る。静電チャック100に供給される電圧は様々なものであってよく、本開示によって限定されない。電気接点151間の間隔は様々であってよく、3/8インチほどの小ささであってよいが、他の離間距離も可能である。上述したように、圧力、離間距離、及び電圧の組み合わせによって、アーク放電が発生する可能性が決まる。従って、離間距離が小さい場合、比較的低い電圧でアーク放電が発生する可能性がある。
静電チャック100とベース150との間に、絶縁システム200が配置されている。絶縁システム200はハウジング210を含み、ハウジング210は絶縁材料でできている。1又は複数のボア211がハウジング210の一部又は全体を貫通しており、各ボア211には1つの電気接点151しか配置されていない。室温では、絶縁システム200のハウジング210は、絶縁システム200とベース150との間、及び絶縁システム200と静電チャック100との間に間隙がないような寸法であり得る。これらの間隙をなくすことにより、アーク放電155が2つのチャック電極101間の静電チャック100の表面に沿って、又は2つの電気接点151間のベース150の表面に沿って移動することができなくなる。
第1及び第2の構成要素を静電チャック100及びベース150として説明したが、本開示はこの実施形態に限定されない。絶縁システム200は、電気的に接続される任意の2つの構成要素間に使用することができ、2つの構成要素間の距離は変化し得る。更に、図1A~図1Bは、電気接点151がベース150からチャック電極101まで延在していることを開示しているが、電気接点151がチャック電極からベース電極まで延在するように構成を変更することができることを理解されたい。あるいは、電気接点151は、ベース150及び静電チャック100から分離していてよい。
図1Bは、-100℃以下等の極低温における図1Aの2つの構成要素、及び絶縁システム200を示している。極端な温度のために熱収縮が生じ、絶縁システム200のハウジング210の寸法が、ベース150と静電チャック100との間の間隙よりも小さくなっている。特定の実施形態では、この間隙は1/4インチ以上であり得る。修正を加えなければ、アーク放電155が隣接する電気接点151間を移動することができる経路が存在し得る。アーク放電155は、ベース150の表面に沿って、又はその近傍を移動し得る。あるいは、アーク155放電は静電チャック100の表面に沿って、又はその近傍を移動し得る。
この潜在的な不具合に対処するために、絶縁システム200は、絶縁システム200のハウジング210から外向きに延在して電気接点151の露出端部を覆う絶縁エクステンダ280も有利に含む。これらの絶縁エクステンダ280は、電気接点151がハウジング210及び/又は絶縁エクステンダ280によってその長さ全体が取り囲まれるように、ボア211から延在していてよい。
絶縁システム200は、様々な方法で形成することができる。
図2~図5は、一実施形態に係る絶縁システム200を示す図である。図2は絶縁システム200の外観を示す図であり、図3は絶縁システム200の断面図である。図4は、絶縁システム200が静電チャック100とベース150との間に配置された断面を示す図である。図5は、ピストン230を所定の位置に保持するための保持機構を示す図である。
図4に最もよく示すように、絶縁システム200は、静電チャック100とベース150との間等の、2つの構成要素間に配置されている。絶縁システム200は、0.25から6インチ等の任意の所望の高さであってよい。特定の実施形態では、高さは1インチ未満であってよい。
絶縁システム200はハウジング210を備える。ハウジング210は、高絶縁耐力材料で構成される。更に、ハウジング210の熱膨張係数は、2つの構成要素の熱膨張係数以下である。このように、温度にかかわらず、ハウジング210は、2つの構成要素間の離間距離よりも大きい高さまで膨張しない。特定の実施形態では、ハウジング210は、Al2O3又はサファイア等のセラミック材料で構築されていてよい。他の実施形態では、ハウジング210は、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)等のプラスチックで構築されていてよい。ハウジング210は、第1の面215及び第2の面216を含む。
1又は複数のボア211が、第1の面215から延在し第2の面216に達しない高さ方向にハウジング210を貫通して形成される。従って、ボア211は、開放端部212と閉鎖端部213とを有する。ボア211は、ベース150と静電チャック100の電極を接続し、絶縁する役割を果たす要素を保持するキャビティを形成するために使用される。ボア211の直径は、隣接する電気接点151間の離間距離よりも小さい。このように、ハウジング210に使用される材料は、隣接するキャビティも分離させる。ボア211の閉鎖端部213は、図3から最もよくわかるように、電気接点151が貫通し得る開口部217を有する。
各ボア211内には複数の要素が配置されている。例えば、上述したように、電気接点151がボア211内に配置されている。電気接点151を使用して、ベース150上の信号、電力又はグラウンドが、対応するチャック電極101に電気的に接続される。上述したように、電気接点151は、ばね付勢されていてよく、「ポゴピン」とも称され得る。本実施形態では、電気接点151は、導電性の複数の同心チューブを含む。ばねは同心チューブ内に配置され、ポゴピンの端部に外向きにバイアスをかける役割を果たす。これにより、電気接点151は、チャック電極101との物理的及び電気的接触を維持しながら、ベース150及び静電チャック100の温度が変化したときに膨張及び収縮することが可能になる。電気接点151は、静電チャック100であってよい第1の構成要素上の電極に接触する第1の端部と、半導体処理システムのベース150であってよい第2の構成要素から外向きに延在する第2の端部とを有する。
ピストン230が、ボア211の開放端部212に、第1の面215に近接して配置され得る。ピストン230は、PEEK又は他の適切な材料等の絶縁材料で構築されていてよい。
図3から最もよくわかるように、ピストン230は、高さ、及び直径を有する円筒部231を有する。円筒部231の外径は、ボア211の直径よりもわずかに小さくてよい。従って、この実施形態では、円筒部231はボア211内に収まる。円筒部231とボア211との間の間隙は、気密である必要はない。円筒部231の上方には、外向き突出部232が設けられている。外向き突出部232の外径は、ボア211の直径よりも大きく、外向き突出部232が常にボア211の外側に配置されるようになっている。外向き突出部232は、第1の面215の方を向いた第1の面と、静電チャック100の方を向いた第2の面とを有する。完全に圧縮されると、外向き突出部232の第1の面は第1の面215に当接し得る。外向き突出部の上方には、捕捉部233がある。捕捉部233はピストン230の一部であり、外向き突出部232の第2の面と鋭角に接する内向き傾斜壁235を有する。内向き傾斜壁235と外向き突出部232の第2の面との組み合わせは、Oリング250を捕捉保持するために使用され得る構造を形成する。
中空シリンダ234がピストン230の高さいっぱいに配置されることにより、電気接点151がピストン230を貫通し得る。
ばね240がボア211に配置され、ボア211の閉鎖端部213とピストン230とを押圧する。つまり、ばね240は閉鎖端部213とピストン230との間に配置される。ばね240はピストン230に外向きにバイアスをかける役割を果たす。ばね240は導電性であってよい又は非導電性であってよい。特定の実施形態では、ばね240はニッケル合金であってよい。ばね240は、ピストン230に何オンスかの外向きの力を及ぼすように予圧されていてよい。特定の実施形態では、ばね240は、1ポンド未満の力、例えば約0.5ポンドの力を及ぼすことができる。このようにして、ピストン230を第1の面215を越えて延在させることができる。
特定の実施形態では、図5に示すように、ピストン230はハウジング210内に捕捉されている。つまり、ピストン230はハウジング210の第1の面215を越えて延在することができるが、ピストン230はハウジング210によって保持され、ボア211から脱落することはできない。これは、円筒部231の外面等に沿ってピストン230の外面に溝238を配置することによって達成することができる。ねじ又はピン239は、ハウジング210の穴を通って溝238内に挿入され得る。ねじ又はピン239の挿入により、ピストン230の可動範囲が溝238の長さに制限され、ピストン230が捕捉保持される。
上述のように、Oリング250がピストン230の外面に配置され得る。Oリング250は、シリコーン又は他の絶縁材料でできていてよい。この実施形態では、Oリング250は常にボア211の外側にあるため、Oリング250の外径はボア211の直径よりも大きくてもよい。Oリング250は、電気接点151の端部の周囲に、静電チャック100に対してシールを形成し、構成要素の表面に沿って又はその近傍でアーク放電が発生するのを防止することができる。ピストン230とOリング250は、電気接点151がハウジング210の外側に露出しないように、電気接点151を取り囲んでいる。特定の実施形態では、Oリング250は、上述のようにピストン230の外面に捕捉されている。
更に、特定の実施形態では、ボア211の内部がハウジング210の外部と連結されるように、ハウジング210を貫通してボア211内に穴が形成され得る。これにより、ボア211内の圧力がチャンバの外部環境と同じになるように、空気又は他のガスがボア211から排気される。特定の実施形態では、穴に角度を付けてその長さを増加させ、アーク放電の確率とエネルギーを更に最小限に抑えることができる。他の実施形態では、穴は利用されない。
図4に示すように、絶縁システム200が静電チャック100とベース150との間に配置されている。Oリング250は静電チャック100に接触している。絶縁システム200の反対側では、電気接点151の絶縁を得るために様々な技法が使用され得る。
一実施形態では、Oリング(図示せず)はハウジング210の第2の面216に配置されていてよく、電気接点151がOリングを貫通している。Oリングは、ベース150の表面に沿って隣接する電気接点151間でアーク放電が発生するのを防止することができる。
別の実施形態では、シリコーンのような誘電体材料のシートがベース150の上面に配置され得る。このシートは、電気接点151がシートを自由に貫通し得るように、電気接点151にアライメントされた穴を有していてよい。次に、絶縁システム200をこのシートに配置することができる。このシートは、ベース150の表面に沿って隣接する電気接点151間でアーク放電が発生するのを防止することができる。
別の実施形態では、絶縁システム200をベース150に付着させることができる。例えば、高誘電率を有するエポキシを使用して絶縁システム200をベース150に付着させることができる。エポキシは、ベース150の表面に沿って隣接する電気接点151間でアーク放電が発生するのを防止することができる。
当然ながら、絶縁システム200は、第1の面がベース150に近接するように、静電チャック100とベース150との間に配置され得る。この実施形態では、Oリング、エポキシ、又は誘電体材料は、静電チャックに近接して配置され得る。
従って、この実施形態では、絶縁システム200は、第1の面215から高さ方向を通り、第2の面216に達しない1又は複数のボア211を有し、これにより開放端部212及び閉鎖端部213が形成されるハウジング210を備える。閉鎖端部213には開口部217が形成されていてよく、これにより、電気接点151がボア211内を貫通し得る。ピストン230であってよい絶縁エクステンダが、開放端部212内に挿入され、ばね240によって外向きにバイアスがかけられていてよい。Oリング250がピストン230の端部に配置されていてよい。電気接点151がピストン230を貫通できるように、ピストン230を貫通する中空シリンダ234が形成される。
こうすることで、アーク放電が移動する経路が大幅に長くなる。ある電気接点151から隣接する電気接点への経路は、次のように説明できる。Oリング250によってアーク放電がハウジング210の外側でベース150の表面に沿って移動することが防止されるため、電圧はまず電気接点151を上昇する。更に、ボア211内では、ピストン230が電圧のアーク放電を防止する。従って、アーク放電はピストン230の円筒部231を越えて形成されなければならない。従って、円筒部231の高さが高くなると、アーク放電の経路長が更に長くなる。次にアーク放電は、ハウジング210の外面に達するまで、ピストン230とボア211との間の空間を下降する。その後、アーク放電はハウジング210の外面に沿って隣接するボア211まで移動する。その後、アーク放電はピストン230と隣接するボア211との間の空間を、隣接するピストン230の円筒部231を通り越して上昇する。その後、アーク放電は電気接点151まで移動する。このように、経路の長さが既存のものよりも大幅に長くなり、アーク放電発生の可能性が最小限に抑えられる、又は排除される。
図6は、別の実施形態に係る絶縁システム600を示す図である。上述したように、絶縁システム600は、静電チャック100とベース150との間等の、2つの構成要素間に配置されている。絶縁システム200は、1から6インチ等の任意の所望の高さであってよい。
先の実施形態と同様に、絶縁システム600はハウジング610を備える。ハウジング610は、高絶縁耐力材料で構成されている。更に、ハウジング610の熱膨張係数は、2つの構成要素の熱膨張係数以下である。このようにして、温度にかかわらず、ハウジング610は、2つの構成要素間の離間距離よりも大きい高さまで膨張しない。特定の実施形態では、ハウジング610は、Al2O3又はサファイア等のセラミック材料で構築され得る。他の実施形態では、ハウジング610は、ポリエーテルエーテルケトン(PEEK)等のプラスチックで構築され得る。ハウジング610は、第1の面615及び第2の面616を含む。
1又は複数のボア611が、第1の面615から第2の面616まで延在する高さ方向にハウジング610を貫通して形成され、これにより、ボア611はハウジング610を完全に貫通する。ボア611を使用して、ベース150と静電チャック100の電極を接続し絶縁するための要素を保持するキャビティが形成される。ボア611の直径は、隣接する電気接点151間の離間距離よりも小さい。このようにして、ハウジング610に使用される材料は、隣接するキャビティをも分離する。
各ボア611内には複数の要素が配置される。例えば、電気接点151がボア211内に配置される。電気接点151を使用して、ベース150の信号、電力又はグラウンドが対応するチャック電極101に電気的に接続される。上述したように、電気接点151は、ばね付勢されていてよく、「ポゴピン」とも称され得る。これにより、電気接点151は、チャック電極101との物理的及び電気的接触を維持しながら、静電チャック及びベース150の温度の変化に応じて膨張及び収縮し得る。電気接点151は、静電チャック100であってよい第1の構成要素上の電極に接触する第1の端部と、半導体処理システムのベース150であってよい第2の構成要素に接触する第2の端部とを有する。特定の実施形態では、電気接点151はベース150の構成要素であり、ベース150の表面から外向きに延在していてよい。
2つのピストン630が、ボア611の対向する端部に、それぞれ第1の面615及び第2の面616に近接して配置されていてよい。具体的には、第1のピストンが第1の面615に近接して配置され、第2のピストンが第2の面616に近接して配置される。特定の実施形態では、第1のピストンと第2のピストンは同一である。ピストン630は、PEEK又は他の適切な材料等の絶縁材料で構築され得る。ピストン630は、高さ、及び直径を有する円筒形であってよい。ピストン630の外径は、ボア611の直径よりわずかに小さくてよい。従って、この実施形態では、ピストン630全体がボア611内に収まる。ピストン630とボア611との間の間隙は気密である必要はない。中空シリンダ633が各ピストン630の高さいっぱいに配置され、これにより、電気接点151がピストン630を貫通し得る。更に、特定の実施形態では、ばね640の端部を保持する空間が形成されるように、ピストン630の内部端部にカウンタボア632が形成され得る。カウンタボア632の外側でピストン630の内部端部に残る部分は、スカート631と称され得る。スカート631の高さは、以下により詳細に説明するように、変更可能である。
ばね640が2つのピストン630のカウンタボア632に配置され、ピストン630に外向きにバイアスをかける役割を果たす。ばね640は導電性であってよい又は非導電性であってよい。特定の実施形態では、ばね640はニッケル合金であってよい。ばね640は、ピストン630に何オンスかの外向きの力を及ぼすようにバイアスがかけられていてよい。特定の実施形態では、ばねは1ポンド未満の力、例えば約0.5ポンドの力を及ぼすことができる。このようにして、ピストン630は、第1の面615及び/又は第2の面616を越えて延在することが可能である。
特定の実施形態では、ピストン630はハウジング610内に捕捉されている。換言すれば、ピストン630はハウジング610の外面を越えて延在し得るが、ピストン630はハウジング210によって保持され、ボア611から脱落することはできない。これは、図5に関して上述した機構を用いて達成することができる。
図6に示すように、Oリング650が各ピストン630の外面に配置され得る。Oリング650は、シリコーン又は他の絶縁材料でできていてよい。Oリング650は、電気接点151の端部の周囲で構成要素に対してシールを形成し、構成要素の表面に沿った、又は表面近傍でのアーク放電を防止することができる。ピストン630及びOリング650は、電気接点151がハウジング210の外側に露出しないように、電気接点151を取り囲んでいる。特定の実施形態では、Oリング650はピストン630の外面に捕捉されている。例えば、ピストン230の外面には凹部領域634が形成され、Oリング650がこの凹部領域634に配置され保持されるようになっていてよい。あるいは、図3に記載されているような捕捉部が使用され得る。
こうすることで、アーク放電が移動する経路が大幅に長くなる。ある電気接点151から隣接する電気接点への経路は、以下のように説明できる。Oリング650によってアーク放電がハウジング610の外側でベース150の表面に沿って移動することが防止されるため、電圧はまず電気接点151を上昇する。更に、ボア611内では、スカート631が電圧のアーク放電を防止する。従って、アーク放電はスカート631を越えて形成されなければならない。従って、スカート631が高くなると、アーク放電の経路長が更に長くなる。次にアーク放電は、ハウジング610の外面に達するまで、ピストン630とボア611との間の空間を下降する。その後、アーク放電はハウジング610の外面に沿って隣接するボア611まで移動する。その後、アーク放電はピストン630と隣接するボア611との間の空間を、スカート631を通り越して上昇する。その後、アーク放電は電気接点151まで移動する。従って、経路の長さが既存のものよりも大幅に長くなり、アーク放電の可能性が最小限に抑えられる、又は排除される。
更に、特定の実施形態では、穴612が、ハウジング610を貫通してボア611に形成され、これにより、ボア611の内部がハウジング610の外部と連結し得る。従って、ボア611内の圧力がチャンバの外部環境と同じになるように、空気又は他のガスをボア611から排気することが可能になる。
従って、この実施形態では、絶縁システム200は、その全高を貫通するボアを有するハウジング610を備える。ばね付勢されていてよい電気接点151が、各ボア611に配置され、絶縁システム600の外部の構成要素上の電極に接触するように適合されている。電気接点151の端部は、ハウジング610の外面のうちの少なくとも1つよりも更に延在していてよい。従って、アーク放電を防止するために、絶縁エクステンダもハウジング610の外面から延在して、電気接点151の第1の端部及び/又は第2の端部を覆っている。絶縁エクステンダは又、ハウジング610から外向きに押されるようにバイアスがかけられている。このようにして、電気接点151はハウジング610の外側に露出しない。この実施形態では、絶縁エクステンダは、ハウジング610の各端部に配置された2つのピストン230と、Oリング650とを含む。絶縁エクステンダがハウジング610の外面を越えて延在することを可能にするために、ピストン630に外向きのバイアスをかけるためのばね640がボアに配置され得る。
ハウジング610の配置により、第1のピストンが第1の面215を越えて延在するか、第2のピストンが第2の面216を越えて延在するか、又は両方のピストンがそれぞれの面を越えて延在するかが決定され得る。
もちろん、他の実施形態も可能である。例えば、図6は、ボア611の両端に配置されたピストン630を有する対称的な構成を示し、ピストン630は、ボア611内に完全に収まる。別の実施形態では、図6の実施形態は、図2~図5に示す実施形態と同様に、第1の面近傍に配置された1つのピストン630のみを含むように変更が可能である。
更に、ピストンの一部のみがボア211内に収まるようにピストン230が外向き突出部232を含む図2~図5に示す実施形態を、図6に示すものと同様に、2つのピストンを含むように変更することが可能である。
図7は、絶縁システム700の第3の実施形態を示す図である。この実施形態では、図6の絶縁エクステンダがベローズ760に置き換えられている。ベローズ760は、シリコーン又は他の適切な絶縁材料を含み得る。ベローズ760は、シリコーンの一体片であってよい。ベローズ760は、ハウジング710内に収容されたときに圧縮下にあるように構成される。このようにして、ベローズ760は、ハウジング710を越えて延在するようにバイアスがかけられる。ベローズは柔軟であるため、電気接点151の端部の周囲で構成要素に対してシールを形成し、構成要素の表面に沿ったアーク放電を防止する。
従って、この実施形態では、絶縁エクステンダはベローズ760である。更に、この実施形態では、ベローズ760は、その長さ全体にわたって電気接点151を取り囲んでいる。
上記の開示では、隣接する構成要素がベース150と静電チャック100であると説明したが、本明細書に記載の絶縁システムは、任意の2つの構成要素を電気的に接続するために使用可能であることを理解されたい。従って、本絶縁システムは、圧力が変化し、電極が高電圧を供給するために使用され、システムが熱収縮又は熱膨張を引き起こす温度範囲にわたって動作するあらゆる構成において有益である。
本明細書に記載のシステムには多くの利点がある。特定の実施形態では、半導体処理システムは、静電チャックと嵌合するベース又はアダプタプレートを含み得る。大気圧ではアーク放電は発生しない。しかし、極低温では、ベースとチャックが収縮し、これらの構成要素間に大きな間隙が生じる。更に、チャンバがポンプダウンされるにつれて圧力が低下し、絶縁破壊電圧が印加電圧未満になる圧力が存在する可能性がある。この圧力において、現在、構成要素の1つの隣接する電極間にアーク放電が発生する場合がある。これは構成要素を損傷し、場合によっては破壊する可能性がある。本明細書に記載の絶縁システムを組み込むことにより、アーク放電の可能性は、不利な結果をもたらすことなく大幅に減少する。更に、絶縁エクステンダが電気接点を常に取り囲むように移動できるため、熱収縮は絶縁システムの動作を阻害せず、アーク放電の可能性が最小限に抑えられる。更に、本絶縁システムは、それらの構成要素に変更を加えることなく、既存のシステムに簡単に組み込むことができる。
本開示は、本明細書に記載の特定の実施形態によって範囲が限定されるものではない。実際に、本明細書に記載されたものに加えて、本開示の他の様々な実施形態及び変更が、前述の説明及び添付の図面から当業者に明らかになるであろう。したがって、そのような他の実施形態及び変更は、本開示の範囲内に含まれるものとする。更に、本開示を、特定の目的のための特定の環境における特定の実装態様の文脈で本明細書で説明してきたが、当業者であれば、その有用性がそれらに限定されないこと、また本開示の実施形態が、任意の数の目的のための任意の数の環境で有益に実装され得ることを認識するであろう。したがって、以下に示す特許請求の範囲は、本明細書に記載の本開示の全域と主旨を考慮して解釈されるべきである。
Claims (20)
- 絶縁システムであって、
第1の面と第2の面とを有するハウジングと、
前記第1の面における開放端部と、前記第2の面に近接する閉鎖端部とを含むように、前記第1の面から前記第2の面に向かって延在するボアと、
前記閉鎖端部に配置された開口部であって、電気接点が前記開口部及び前記ボアを貫通し、前記第2の面から前記第1の面を通り越して延在し得るように構成された開口部と、
前記第1の面から外向きに延在し、前記電気接点の端部を取り囲む絶縁エクステンダと
を備える絶縁システム。 - 前記ハウジングは、セラミック材料又はプラスチックを含む、請求項1に記載の絶縁システム。
- 前記絶縁エクステンダは、前記ボア内に配置され、前記第1の面に近接するピストンを含み、
前記ピストンは、前記電気接点が貫通する中空シリンダを含み、
前記ピストンは絶縁材料を含み、前記ボアにて前記ピストンと前記閉鎖端部との間に配置され且つ前記第1の面を越えて延在するように前記ピストンにバイアスをかけるばねを更に含む、請求項1に記載の絶縁システム。 - 前記ピストンの外面に配置されたOリングを更に備える、請求項3に記載の絶縁システム。
- 前記ピストンの直径は、前記ピストンの全体が前記ボア内に収まるような直径である、請求項3に記載の絶縁システム。
- 前記ピストンは、前記ボア内に収まる円筒部と、前記ピストンの一部が常にハウジングの外側に配置されるように前記ボアの直径よりも大きい直径を有する外向き突出部とを含む、請求項3に記載の絶縁システム。
- 前記ボア内に配置された前記ピストンの外面は溝を含み、ねじ又はピンがハウジングを貫通して前記溝に入り、前記ピストンの可動範囲が前記溝の長さに制限されるように前記ピストンを捕捉保持する、請求項3に記載の絶縁システム。
- 半導体処理システムであって、
1又は複数の電気接点を含むベースと、
1又は複数のチャック電極を有する静電チャックと、
前記ベースと前記静電チャックとの間に配置された絶縁システムであって、
第1の面と、前記ベースに近接して配置された第2の面とを有するハウジングと、
前記第1の面における開放端部と、前記第2の面に近接する閉鎖端部とを含むように、前記第1の面から前記第2の面に向かって延在するボアと、
前記閉鎖端部に配置された開口部であって、前記ベースからの前記1又は複数の電気接点のうちの1つが前記開口部及び前記ボアを貫通し、前記第2の面から前記第1の面を通り越して延在して前記1又は複数のチャック電極のうちの1つに接触するように構成された開口部と、
前記第1の面から外向きに延在し、前記1又は複数の電気接点のうちの1つの端部を取り囲む絶縁エクステンダと
を含む、絶縁システムと
を備える半導体処理システム。 - 前記第2の面は、エポキシを用いて前記ベースに接着される、請求項8に記載の半導体処理システム。
- 前記ベースと前記第2の面との間に、高誘電率を有する材料のシートが配置される、請求項8に記載の半導体処理システム。
- 前記ベースと前記第2の面との間にOリングが配置される、請求項8に記載の半導体処理システム。
- 絶縁システムであって、
第1の面と第2の面とを有するハウジングであって、前記第1の面から前記第2の面までこれらを貫通して延在するボアを有し、電気接点が前記ボアを貫通し得るように構成されたハウジングと、
前記第1の面及び前記第2の面に近接して配置され、前記電気接点の2つの端部を取り囲む絶縁エクステンダであって、前記第1の面及び前記第2の面のうちの少なくとも一方から外向きに延在する、絶縁エクステンダと
を備える絶縁システム。 - 前記ハウジングは、セラミック材料又はプラスチックを含む、請求項12に記載の絶縁システム。
- 前記絶縁エクステンダは、前記ボアの長さを通して配置され、前記電気接点を取り囲むベローズを含む、請求項12に記載の絶縁システム。
- 前記絶縁エクステンダは、前記ボア内に配置された2つのピストンを含み、
第1のピストンは前記第1の面に近接し、第2のピストンは前記第2の面に近接し、
各ピストンは、電気接点が貫通する中空シリンダを含み、
各ピストンは絶縁材料を含み、前記ボアに配置され且つ前記第1のピストン及び前記第2のピストンに外向きにバイアスをかけるばねを更に含む、
請求項12に記載の絶縁システム。 - 前記第1のピストンの外面に配置されたOリングと、前記第2のピストンの外面に配置されたOリングとを更に含む、請求項15に記載の絶縁システム。
- 前記ピストンの直径は、前記ピストンの全体が前記ボア内に収まるような直径である、請求項15に記載の絶縁システム。
- 前記ピストンは各々、前記ボア内に収まる円筒部と、前記ピストンの一部が常に前記ハウジングの外側に配置されるように、前記ボアの直径よりも大きい直径を有する外向き突出部とを含む、請求項15に記載の絶縁システム。
- 半導体処理システムであって
1又は複数の電気接点を含むベースと、
1又は複数のチャック電極を有する静電チャックと、
前記ベースと前記静電チャックとの間に配置された絶縁システムであって、
第1の面と、前記ベースに近接して配置された第2の面とを有するハウジングと、
前記第1の面から前記第2の面まで延在するボアであって、前記1又は複数の電気接点のうちの1つは前記ボアを貫通し、前記1又は複数のチャック電極のうちの1つに接触するように構成されたボアと、
前記第1の面及び前記第2の面に近接して配置され、前記1又は複数の電気接点のうちいずれかの2つの端部を取り囲む絶縁エクステンダであって、前記第1の面及び前記第2の面のうちの少なくとも一方から外向きに延在する、絶縁エクステンダと
を含む絶縁システムと
を備える半導体処理システム。 - 前記絶縁エクステンダは、前記ボア内に配置された2つのピストンを含み、
第1のピストンは前記第1の面に近接し、第2のピストンは前記第2の面に近接し、
各ピストンは、前記1又は複数の電気接点のうちの前記1つが貫通する中空シリンダを含み、
各ピストンは絶縁材料を含み、前記ボアに配置され且つ前記第1のピストン及び前記第2のピストンに外向きにバイアスをかけるばねを更に含む、請求項19に記載の半導体処理システム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US17/159,638 | 2021-01-27 | ||
US17/159,638 US11651986B2 (en) | 2021-01-27 | 2021-01-27 | System for isolating electrodes at cryogenic temperatures |
PCT/US2021/063810 WO2022164529A1 (en) | 2021-01-27 | 2021-12-16 | System for isolating electrodes at cryogenic temperatures |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2024504166A true JP2024504166A (ja) | 2024-01-30 |
Family
ID=82494900
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023544492A Pending JP2024504166A (ja) | 2021-01-27 | 2021-12-16 | 極低温において電極を絶縁するためのシステム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11651986B2 (ja) |
JP (1) | JP2024504166A (ja) |
KR (1) | KR20230121905A (ja) |
CN (1) | CN116569318A (ja) |
TW (1) | TWI777883B (ja) |
WO (1) | WO2022164529A1 (ja) |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5196789A (en) * | 1991-01-28 | 1993-03-23 | Golden Joseph R | Coaxial spring contact probe |
FR2683395A1 (fr) | 1991-11-06 | 1993-05-07 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'amende de tension sur une piece conductrice. |
US5197904A (en) * | 1992-09-04 | 1993-03-30 | Michael Gold | Connector for coaxially shielded cables |
US5822171A (en) | 1994-02-22 | 1998-10-13 | Applied Materials, Inc. | Electrostatic chuck with improved erosion resistance |
US6638088B1 (en) * | 1997-04-23 | 2003-10-28 | Anthony, Inc. | Lighting circuit, lighting system method and apparatus, socket assembly, lamp insulator assembly and components thereof |
US6967497B1 (en) | 1998-08-21 | 2005-11-22 | Micron Technology, Inc. | Wafer processing apparatuses and electronic device workpiece processing apparatuses |
US7061101B2 (en) * | 2004-03-11 | 2006-06-13 | Mirae Corporation | Carrier module |
US7206203B2 (en) * | 2004-06-22 | 2007-04-17 | International Business Machines Corporation | Electronic device cooling assembly and method employing elastic support material holding a plurality of thermally conductive pins |
JP6369054B2 (ja) * | 2014-03-03 | 2018-08-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板載置装置及び基板処理装置 |
JP6219229B2 (ja) | 2014-05-19 | 2017-10-25 | 東京エレクトロン株式会社 | ヒータ給電機構 |
JP6292977B2 (ja) * | 2014-05-22 | 2018-03-14 | 新光電気工業株式会社 | 静電チャック及び半導体・液晶製造装置 |
DE102017009065A1 (de) * | 2017-09-28 | 2019-03-28 | Rosenberger Hochfrequenztechnik Gmbh & Co. Kg | Federbelastetes innenleiter-kontaktelement |
KR101974811B1 (ko) | 2018-06-07 | 2019-05-03 | 박상량 | 일체형 하우징이 가능한 일체형 포고 핀 |
-
2021
- 2021-01-27 US US17/159,638 patent/US11651986B2/en active Active
- 2021-12-16 JP JP2023544492A patent/JP2024504166A/ja active Pending
- 2021-12-16 KR KR1020237024904A patent/KR20230121905A/ko unknown
- 2021-12-16 WO PCT/US2021/063810 patent/WO2022164529A1/en active Application Filing
- 2021-12-16 CN CN202180080862.8A patent/CN116569318A/zh active Pending
- 2021-12-29 TW TW110149411A patent/TWI777883B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202232629A (zh) | 2022-08-16 |
US20220238365A1 (en) | 2022-07-28 |
US11651986B2 (en) | 2023-05-16 |
CN116569318A (zh) | 2023-08-08 |
WO2022164529A1 (en) | 2022-08-04 |
TWI777883B (zh) | 2022-09-11 |
KR20230121905A (ko) | 2023-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111226309A (zh) | 静电卡盘组件、静电卡盘及聚焦环 | |
US8677590B2 (en) | Plasma confinement structures in plasma processing systems and methods thereof | |
US5348497A (en) | High voltage vaccum feed-through electrical connector | |
KR20040015814A (ko) | 유전체 코팅을 갖는 정전식 척 | |
KR20010053620A (ko) | 분리 가능한 정전척을 위한 rf 전극 접촉 어셈블리 | |
JP2010511875A (ja) | 真空圧力測定装置のための電子源 | |
CN109716475B (zh) | 真空开关 | |
CN111213221A (zh) | 分开的狭缝衬垫门 | |
JP2024504166A (ja) | 極低温において電極を絶縁するためのシステム | |
JP4839123B2 (ja) | 背面電子衝撃加熱装置 | |
JPH1079350A (ja) | プラズマ処理装置 | |
TWI765294B (zh) | 預加載壓電致動器及使用該致動器的氣閥 | |
GB2032695A (en) | Low voltage vacuum switches | |
KR20230028219A (ko) | 정전 척 장치 | |
JP3504985B2 (ja) | X線管の高電圧ブッシング | |
US2903614A (en) | Envelope structures for electron tubes | |
JP2003060016A (ja) | 電流導入端子及び半導体製造装置 | |
US10774805B2 (en) | Igniter assembly with improved insulation and method of insulating the igniter assembly | |
RU2349983C1 (ru) | Излучатель свч-энергии (варианты) | |
JP4861549B2 (ja) | 電流導入端子及び基板支持装置 | |
US5864208A (en) | Spark gap device and method of manufacturing same | |
CN215955090U (zh) | 一种真空电容组件 | |
TWI795246B (zh) | 帶有觸發陰極的真空滅弧室和真空斷路器裝置 | |
US20070057611A1 (en) | Electron gun providing improved thermal isolation | |
CN116246992B (zh) | 静电吸盘 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230919 |