JP2024084588A - プリント配線板 - Google Patents

Abstract

【課題】高い品質を有するプリント配線板の提供。
【解決手段】プリント配線板は、樹脂と無機粒子と繊維補強材とを含み、第一面と、前記第一面と反対側の第二面と、前記第一面と前記第二面とにそれぞれ開口する貫通孔とを有するベース基板と、前記第一面に形成されている第一導体層と、前記第二面に形成されている第二導体層と、前記貫通孔に形成されていて、前記第一導体層と前記第二導体層とを接続するスルーホール導体と、を有するプリント配線板であって、前記ベース基板の前記貫通孔の内壁面は、前記樹脂と前記無機粒子と前記繊維補強材とで形成され、前記無機粒子は、前記内壁面を形成する第一平滑面を有する第一無機粒子と、前記ベース基板内に埋まっている第二無機粒子とを含み、前記繊維補強材を構成する繊維は、前記内壁面を形成する第二平滑面を有する。
【選択図】図１

Description

本開示する技術は、プリント配線板に関する。

特許文献１には、基板と、第一の導体回路と、第二の導体回路と、スルーホール導体とからなるプリント配線板が開示されている。基板は、第一面と、第一面とは反対側の第二面と、貫通孔とを有する。第一の導体回路は、基板の第一面に形成されている。第二の導体回路は、基板の第二面に形成されている。スルーホール導体は、貫通孔に充填されていて、第一の導体回路と第二の導体回路とを接続している。また、基板は、補強材と樹脂とからなる。基板では、補強材の一部が貫通孔内に突出している。補強材の突出部分は、スルーホール導体に食い込んでいる。

国際公開第２０１０／０７６８７５号公報

特許文献１に開示された技術では、補強材の一部が貫通孔内に突出し、この突出部分がスルーホール導体に食い込んでいる。貫通孔の内壁面（内周面）に突出した部分がある場合、スルーホール導体を形成する電解めっき層の充填性が低下し、貫通孔の内壁面とスルーホール導体の外壁面（外周面）との間に隙間（所謂、ボイド）が生じやすくなると考えられる。熱の影響によりスルーホール導体と貫通孔との隙間が拡がる虞がある。

本開示のプリント配線板は、
樹脂と無機粒子と繊維補強材とを含み、第一面と、前記第一面と反対側の第二面と、前記第一面と前記第二面とにそれぞれ開口する貫通孔とを有するベース基板と、
前記第一面に形成されている第一導体層と、
前記第二面に形成されている第二導体層と、
前記貫通孔に形成されていて、前記第一導体層と前記第二導体層とを接続するスルーホール導体と、
を有するプリント配線板であって、
前記ベース基板の前記貫通孔の内壁面は、前記樹脂と前記無機粒子と前記繊維補強材とで形成され、
前記無機粒子は、前記内壁面を形成する第一平滑面を有する第一無機粒子と、前記ベース基板内に埋まっている第二無機粒子とを含み、
前記繊維補強材を構成する繊維は、前記内壁面を形成する第二平滑面を有する。

本開示の実施形態のプリント配線板は、ベース基板は無機粒子と繊維補強材と樹脂とを含む。ベース基板は貫通孔を有する。貫通孔の内壁面はスルーホール導体と接する。貫通孔の内壁面を樹脂と第一無機粒子の第一平滑面と繊維補強材を構成する繊維の第二平滑面とで形成する。貫通孔の内壁面を平滑とすることにより、スルーホール導体とベース基板との間の密着力を高くすることができる。

実施形態のプリント配線板を模式的に示す断面図。 実施形態のプリント配線板の一部を模式的に示す拡大断面図。 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す拡大断面図。 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す拡大断面図。 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。 実施形態のプリント配線板の製造方法を模式的に示す断面図。 実施形態の別例２のプリント配線板の製造方法を模式的に示す拡大断面図。

以下、図面を参照して本開示の実施形態の一例を詳細に説明する。
各図面において同一の符号を用いて示される構成要素は、同一又は同様の構成要素であることを意味する。なお、以下に説明する実施形態において重複する説明及び符号については、省略する場合がある。また、以下の説明において用いられる図面は、いずれも模式的なものであり、図面に示される、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は、現実のものとは必ずしも一致していない。また、複数の図面の相互間においても、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は必ずしも一致していない。

図１は実施形態のプリント配線板２を示す断面図である。図２は実施形態のプリント配線板２の一部を示す拡大断面図である。図１に示されるように、プリント配線板２は、ベース基板４と第一導体層１０と第一樹脂絶縁層２０と第二導体層３０とビア導体４０とスルーホール導体２４０と第三導体層１１０と第二樹脂絶縁層１２０と第四導体層１３０とビア導体１４０とを有する。

ベース基板４は樹脂を用いて形成される。ベース基板４は、第三面６（図中の上面）と第三面６と反対側の第四面８（図中の下面）を有する。ベース基板４は樹脂２８０と多数の無機粒子２９０と繊維補強材２１０とを含む。ベース基板４は厚み方向に貫通する貫通孔２２６を有している。貫通孔２２６の内壁面２２７は樹脂２８０と無機粒子２９０と繊維補強材２１０とで形成されている。内壁面２２７は平滑に形成されている。

多数の無機粒子２９０は樹脂２８０内に分散されている。無機粒子２９０は、例えば、シリカ、アルミナを用いてもよい。無機粒子２９０の粒子径は、例えば、平均粒子径０．５μｍ、粒子径範囲は、０．１μｍ以上５．０μｍ以下である。

図１と図２に示されるように、無機粒子２９０は第一無機粒子２９１と第二無機粒子２９２とを含む。第一無機粒子２９１は貫通孔２２６の内壁面２２７を形成する第一平滑面２９１ａを有する。第二無機粒子２９２は樹脂２８０内に埋まっている。第二無機粒子２９２の形状は一例として球形である。第一無機粒子２９１の形状は一例として球形を平面で切断した形状である。例えば、第一無機粒子２９１の形状は第二無機粒子２９２を平面で切断することで得られる。第一無機粒子２９１の形状と第二無機粒子２９２の形状は異なる。第一平滑面２９１ａは第一無機粒子２９１の切断面である。

繊維補強材２１０は樹脂２８０内に配置されている。繊維補強材２１０は、複数本の繊維２１２を有する。繊維補強材２１０を構成する繊維２１２は貫通孔２２６の内壁面２２７を形成する第二平滑面２１２ａを有する。第二平滑面２１２ａは繊維２１２の切断面である。繊維補強材２１０は例えば、ガラスクロス、ガラス不織布、アラミド不織布を用いてもよい。繊維補強材２１０は強度の観点からガラスクロスを含むシート上の補強材を用いることが好ましい。

図１に示されるように、貫通孔２２６は、軸方向の中央からベース基板４の第三面６に向けて径が拡がっている。また貫通孔２２６は、軸方向中央からベース基板４第四面８に向けて径が拡がっている。すなわち貫通孔２２６の内壁面２２７は、軸方向の中央から第三面６までの部分が第三面６に向けて次第に拡径するテーパー形状であり、軸方向の中央から第四面８までの部分が第四面８に向けて次第に拡径するテーパー形状である。

貫通孔２２６の内壁面２２７は、樹脂２８０の面２８０ａと第一無機粒子２９１の第一平滑面２９１ａと繊維補強材２１０の第二平滑面２１２ａとで形成されている。面２８０ａと第一平滑面２９１ａと第二平滑面２１２ａは、ほぼ共通な面を形成する。言い換えると、面２８０ａと第一平滑面２９１ａと第二平滑面２１２ａは、面一とされている。このため、内壁面２２７に凹凸が形成されない。すなわち、内壁面２２７は平滑である。内壁面２２７の算術平均粗さ（Ｒａ）は一例として１．０μｍ以下である。言い換えると、内壁面２２７を形成する面２８０ａと第一平滑面２９１ａと第二平滑面２１２ａの各々の算術平均粗さ（Ｒａ）は、一例として１．０μｍ以下である。

図２に示されるように、第一樹脂絶縁層２０の第一面（上面）２２と内壁面２２７の軸方向の中央から第三面６までの部分との間の角度（傾斜角度）θ１は、例えば９５°以上１１０°以下である。第二樹脂絶縁層１２０の第一面（下面）１２２と内壁面２２７の軸方向の中央から第四面８までの部分との間の角度（傾斜角度）θ２は、例えば９５°以上１１０°以下である。

第一導体層１０はベース基板４の第三面６上に形成されている。第一導体層１０は第一信号配線１２と第二信号配線１４とを含む。第一導体層１０は第一信号配線１２と第二信号配線１４とは別の導体回路１も含んでいてもよい。第一導体層１０は主に銅によって形成される。第一導体層１０は、ベース基板４上の金属箔１６と金属箔１６上のシード層１０ａとシード層１０ａ上の電解めっき層１０ｂで形成されている。シード層１０ａは金属箔１６上の第一層１１ａと第一層１１ａ上の第二層１１ｂで形成されている。第一層１１ａは銅とケイ素とアルミニウムを含む合金（銅合金）で形成されている。第二層１１ｂは銅で形成されている。電解めっき層１０ｂは銅で形成されている。第一層１１ａはベース基板４に接している。

第一樹脂絶縁層２０はベース基板４の第三面６と第一導体層１０上に形成されている。第一樹脂絶縁層２０は第一面２２（図中の上面）と第一面２２と反対側の第二面２４（図中の下面）を有する。第一樹脂絶縁層２０の第二面２４は第一導体層１０と対向する。第一樹脂絶縁層２０は樹脂８０と多数の無機粒子９０を含む。第一樹脂絶縁層２０は厚み方向に貫通するビア孔２６を有している。ビア孔２６の内壁面２７も貫通孔２２６の内壁面２２７と同様に、樹脂８０の面と無機粒子９０の第一平滑面とで形成されてもよい。また内壁面２７を形成する樹脂８０の面と無機粒子９０の第一平滑面は、ほぼ共通な面を形成してもよい。この場合、内壁面２７は内壁面２２７と同様に平滑である。

樹脂８０は、例えば、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂を用いてもよい。樹脂８０は、一例としてエポキシ系樹脂を用いてもよい。

多数の無機粒子９０は樹脂８０内に分散されている。無機粒子９０は、無機粒子２９０と同様の無機粒子を用いてもよい。

図１に示されるように、第一樹脂絶縁層２０の第一面２２は樹脂８０のみで形成されている。第一面２２から無機粒子９０は露出しない。第一面２２は無機粒子９０の表面を含まない。第一樹脂絶縁層２０の第一面２２には凹凸が形成されていない。第一面２２は荒らされていない。第一面２２は平滑に形成されている。第一面２２の算術平均粗さ（Ｒａ）は、例えば０．０２μｍ以上０．０６μｍ以下である。

図１に示されるように、第二導体層３０は第一樹脂絶縁層２０の第一面２２上に形成されている。第二導体層３０は第一信号配線３２と第二信号配線３４とランド３６とを含む。第二導体層３０は第一信号配線３２と第二信号配線３４とランド３６とは別の導体回路を含んでいてもよい。第一信号配線３２と第二信号配線３４はペア配線を形成している。第二導体層３０は主に銅によって形成される。第二導体層３０は、第一面２２上のシード層３０ａとシード層３０ａ上の電解めっき層３０ｂで形成されている。シード層３０ａは第一面２２上の第一層３１ａと第一層３１ａ上の第二層３１ｂで形成されている。第一層３１ａは銅とケイ素とアルミニウムを含む合金（銅合金）で形成されている。第二層３１ｂは銅で形成されている。電解めっき層３０ｂは銅で形成されている。第一層３１ａは第一面２２に接している。第二層３１ｂは電解めっき層３０ｂと接着している。第二導体層３０のうち第一樹脂絶縁層２０の第一面２２と対向する面は第一面２２の表面形状に沿って形成されている。第二導体層３０は第一樹脂絶縁層２０の第一面２２の内側に入り込まない。

ビア導体４０はビア孔２６内に形成されている。ビア導体４０は、第一導体層１０と第二導体層３０を接続する。図１ではビア導体４０は第二信号配線１４とランド３６を接続する。ビア導体４０はシード層３０ａとシード層３０ａ上の電解めっき層３０ｂで形成されている。第一層３１ａはビア孔２６の内壁面２７に接している。

第三導体層１１０はベース基板４の第四面８上に形成されている。第三導体層１１０は第一信号配線１１２と第二信号配線１１４を含む。第三導体層１１０は第一信号配線１１２と第二信号配線１１４とは別の導体回路も含んでいてもよい。第三導体層１１０は主に銅によって形成される。第三導体層１１０は、ベース基板４上の金属箔１１６と金属箔１１６上のシード層１１０ａとシード層１１０ａ上の電解めっき層１１０ｂで形成されている。シード層１１０ａは金属箔１１６上の第一層１１１ａと第一層１１１ａ上の第二層１１１ｂで形成されている。第一層１１１ａは銅とケイ素とアルミニウムを含む合金（銅合金）で形成されている。第二層１１１ｂは銅で形成されている。電解めっき層１１０ｂは銅で形成されている。第一層１１１ａはベース基板４に接している。

第二樹脂絶縁層１２０はベース基板４の第四面８と第三導体層１１０上に形成されている。第二樹脂絶縁層１２０は第一面１２２（図中の下面）と第一面１２２と反対側の第二面１２４（図中の上面）を有する。第二樹脂絶縁層１２０の第二面１２４は第三導体層１１０と対向する。第二樹脂絶縁層１２０は樹脂１８０と多数の無機粒子１９０を含む。樹脂１８０と無機粒子１９０は、第一樹脂絶縁層２０の樹脂８０と無機粒子９０と同様である。第二樹脂絶縁層１２０は厚み方向に貫通する貫通孔としてのビア孔１２６とを有している。ビア孔１２６の内壁面１２７も貫通孔２２６の内壁面２２７と同様に、樹脂１８０の面と無機粒子１９０の第一平滑面とで形成されてもよい。また内壁面１２７を形成する樹脂１８０の面と無機粒子１９０の第一平滑面は、ほぼ共通な面を形成してもよい。この場合、内壁面１２７は内壁面２２７と同様に平滑である。

図１に示されるように、第二樹脂絶縁層１２０の第一面１２２は樹脂１８０のみで形成されている。第一面１２２から無機粒子１９０は露出しない。第一面１２２は無機粒子１９０の表面を含まない。第二樹脂絶縁層１２０の第一面１２２には凹凸が形成されていない。第一面１２２は荒らされていない。第一面１２２は平滑に形成されている。第一面１２２の算術平均粗さ（Ｒａ）は、第一面２２の算術平均粗さと同様である。

図１に示されるように、第四導体層１３０は第二樹脂絶縁層１２０の第一面１２２上に形成されている。第四導体層１３０は第一信号配線１３２と第二信号配線１３４とランド１３６とを含む。第四導体層１３０は第一信号配線１３２と第二信号配線１３４とランド１３６とは別の導体回路を含んでいてもよい。第一信号配線１３２と第二信号配線１３４はペア配線を形成している。第四導体層１３０は主に銅によって形成される。第四導体層１３０は、第一面１２２上のシード層１３０ａとシード層１３０ａ上の電解めっき層１３０ｂで形成されている。シード層１３０ａ、電解めっき層１３０ｂは第二導体層３０のシード層３０ａ、電解めっき層３０ｂと同様である。シード層１３０ａは第一面１２２上の第一層１３１ａと第一層１３１ａ上の第二層１３１ｂで形成されている。第一層１３１ａは銅とケイ素とアルミニウムを含む合金（銅合金）で形成されている。第二層１３１ｂは銅で形成されている。電解めっき層１３０ｂは銅で形成されている。第一層１３１ａは第一面１２２に接している。第二層１３１ｂは電解めっき層１３０ｂと接着している。第四導体層１３０のうち第二樹脂絶縁層１２０の第一面１２２と対向する面は第一面１２２の表面形状に沿って形成されている。第四導体層１３０は第二樹脂絶縁層１２０の第一面１２２の内側に入り込まない。

ビア導体１４０はビア孔１２６内に形成されている。ビア導体１４０は、第三導体層１１０と第四導体層１３０を接続する。図１ではビア導体１４０は第二信号配線１３４とランド１３６を接続する。ビア導体１４０はシード層１３０ａとシード層１３０ａ上の電解めっき層１３０ｂで形成されている。第一層１３１ａはビア孔１２６の内壁面１２７に接している。

スルーホール導体２４０は貫通孔２２６内に形成されている。スルーホール導体２４０は、第一導体層１０と第三導体層１１０とを接続する。図１ではスルーホール導体２４０は第二信号配線１４と第二信号配線１１４とを接続する。スルーホール導体２４０はシード層１０ａとシード層１０ａ上の電解めっき層１０ｂと、シード層１１０ａとシード層１１０ａ上の電解めっき層１１０ｂで形成されている。なお、シード層１０ａとシード層１１０ａを構成する材料は同じである。また電解めっき層１０ｂと電解めっき層１１０ｂを構成する材料は同じである。シード層１０ａの第一層１１ａは、スルーホール導体２４０の内壁面２２７の軸方向の中央から第三面６までの部分に接している。シード層１１０ａの第一層１１１ａは、スルーホール導体２４０の内壁面２２７の軸方向の中央から第四面８までの部分に接している。

［実施形態のプリント配線板２の製造方法］
図３Ａ、図３Ｄ～図３Ｋは実施形態のプリント配線板２の製造方法を示す。図３Ａ、図３Ｄ～図３Ｋは断面図である。図３Ｂ及び図３Ｃは拡大断面図である。

図３Ａに示されるように、樹脂２８０と多数の無機粒子２９０と繊維補強材２１０とを含むベース基板４の第三面６上に金属箔１６が形成される。金属箔１６はベース基板４の第三面６を完全に覆っている。また、ベース基板４の第四面８上に金属箔１１６が形成される。金属箔１１６はベース基板４の第四面８を完全に覆っている。金属箔１１６は、金属箔１６と同様の材料で形成されている。

ベース基板４にスルーホール導体２４０を形成するための貫通孔２２６が形成される。 金属箔１６の上からレーザ光Ｌ１が照射される。レーザ光Ｌ１は金属箔１６とベース基板４に穴を開ける。また金属箔１１６の上からレーザ光Ｌ２が照射される。レーザ光Ｌ２は金属箔１１６とベース基板４に穴を開ける。レーザ光Ｌ２は、レーザ光Ｌ１と逆方向からベース基板４に照射される。レーザ光Ｌ１とレーザ光Ｌ２の照射によりベース基板４にスルーホール導体用の貫通孔２２６が形成される。なお、レーザ光Ｌ１とレーザ光Ｌ２の照射順序については適宜入れ替えてもよい。レーザ光Ｌ１、２は例えばＵＶレーザ光、ＣＯ２レーザ光である。

図３Ｂは、レーザ光照射後の貫通孔２２６の内壁面２２７ｂを示す。内壁面２２７ｂは樹脂２８０と樹脂２８０から突出している無機粒子２９０と繊維補強材２１０の繊維２１２とで形成されている。内壁面の形状を制御するため、レーザ光照射後の内壁面２２７ｂは処理される。樹脂２８０から突出している無機粒子２９０及び繊維２１２を選択的に除去することが好ましい。この除去により、無機粒子２９０から第一無機粒子２９１が形成される。例えば、レーザ光照射後の内壁面２２７ｂを薬品で処理することで、樹脂２８０から突出している無機粒子２９０及び繊維２１２を選択的に除去してもよい。あるいは、レーザ光照射後の内壁面２２７ｂをプラズマで処理することで、樹脂２８０から突出している無機粒子２９０及び繊維２１２を選択的に除去してもよい。無機粒子２９０を選択的に除去することは、無機粒子２９０のエッチング速度が樹脂２８０のエッチング速度より大きいことを含む。例えば、両者のエッチング速度差は１０倍以上である。あるいは、両者のエッチング速度差は５０倍以上である。あるいは、両者のエッチング速度差は１００倍以上である。レーザ光照射後の内壁面２２７ｂを処理することで、第一平滑面２９１ａ（図２参照）を有する第一無機粒子２９１及び第二平滑面２１２ａ（図２参照）を有する繊維補強材２１０の繊維２１２が得られる。また、レーザ光照射後の内壁面２２７ｂを処理するための条件を制御することで、内壁面２２７ｂの形状を制御することができる。条件の例は、温度、濃度、時間、ガスの種類や圧力である。無機粒子２９０のエッチング速度と樹脂のエッチング速度が制御される。

ベース基板４にレーザ光Ｌ１及びレーザ光Ｌ２を照射することで、樹脂２８０に埋まっている第二無機粒子２９２の一部がレーザ光照射後の内壁面２２７ｂを形成する。レーザ光照射後の内壁面２２７ｂを形成する第二無機粒子２９２は、樹脂２８０から突出している突出部分Ｐと樹脂２８０に埋まっている部分Ｅで形成される。

図３Ｃに示されるように、レーザ光照射後の内壁面２２７ｂが処理される。例えば、四フッ化メタンを含むガスのプラズマで内壁面２２７ｂが処理される。突出部分Ｐが選択的に除去され、実施形態の内壁面２２７（図１及び図２参照）が形成される。第二無機粒子２９２から第一無機粒子２９１が形成される。突出部分Ｐを選択的に除去することで、第一平滑面２９１ａを有する第一無機粒子２９１が形成される。球の形を持つ第二無機粒子２９２が平面で切断されると、第一無機粒子２９１の形状が得られる。内壁面２２７は樹脂２８０の面２８０ａと第一無機粒子２９１の第一平滑面２９１ａと繊維補強材２１０の第二平滑面２１２ａとで形成され、面２８０ａと第一平滑面２９１ａと第二平滑面２１２ａとはほぼ同一平面上に位置する。例えば、スパッタで内壁面２２７ｂ上にシード層１０ａ及びシード層１１０ａが形成されると、突出部分Ｐはスパッタ膜の成長を阻害する。例えば、内壁面２２７ｂ上に連続しているシード層１０ａ及びシード層１１０ａが形成されない。あるいは、シード層１０ａ及びシード層１１０ａの厚みを大きくしなければならない。微細な導体回路を形成することができない。実施形態では、突出部分Ｐが除去される。スパッタで形成されるシード層１０ａ及びシード層１１０ａの厚みを薄くできる。スパッタで形成されるシード層１０ａ及びシード層１１０ａの厚みが薄くても、連続しているシード層１０ａ及びシード層１１０ａが得られる。

内壁面２２７上に凹凸が形成されない。内壁面２２７は平滑に形成される。レーザ光照射後の内壁面２２７ｂを処理するための条件を制御することで、凹凸の大きさが制御される。

貫通孔２２６内が洗浄される。貫通孔２２６内を洗浄することにより貫通孔２２６の形成時に発生する樹脂残渣が除去される。貫通孔２２６内の洗浄はプラズマによって行われる。即ち洗浄はドライプロセスで行われる。ドライプロセスのガス種は、ハロゲン系ガス（フッ素系ガス、塩素系ガス等）とＯ_２ガスの混合ガス、あるいはハロゲン系ガス（フッ素系ガス、塩素系ガス等）、Ｏ_２ガスの単独のガスである。洗浄はデスミア処理を含む。

レーザ光照射後の内壁面２２７ｂを処理することが貫通孔２２６内を洗浄することを含む場合、貫通孔２２６内の洗浄を削除してもよい。

図３Ｄに示されるように、ベース基板４の金属箔１６上にシード層１０ａが形成される。シード層１０ａはスパッタによって形成される。シード層１０ａの形成はドライプロセスで行われる。第一層１１ａが金属箔１６上にスパッタで形成される。同時に、貫通孔２２６の内壁面２２７の軸方向中央部分まで第一層１１ａがスパッタで形成される。その後、第一層１１ａ上に第二層１１ｂがスパッタで形成される。第一層１１ａは銅とケイ素とアルミニウムを含む合金で形成される。第二層１１ｂは銅で形成される。

またベース基板４の金属箔１１６上にシード層１１０ａが形成される。シード層１１０ａはスパッタによって形成される。シード層１１０ａの形成はドライプロセスで行われる。第一層１１１ａが金属箔１１６上にスパッタで形成される。同時に、貫通孔２２６の内壁面２２７の軸方向中央部分まで第一層１１１ａがスパッタで形成される。その後、第一層１１１ａ上に第二層１１１ｂがスパッタで形成される。第一層１１１ａは、第一層１１ａと同様に銅とケイ素とアルミニウムを含む合金で形成される。第二層１１１ｂは、第二層１１ｂと同様に銅で形成される。

図３Ｅに示されるように、シード層１０ａ上にめっきレジスト６０が形成される。めっきレジスト６０は、第一信号配線１２と第二信号配線１４とを形成するための開口を有する。またシード層１１０ａ上にめっきレジスト６２が形成される。めっきレジスト６２は、第一信号配線１１２と第二信号配線１１４とを形成するための開口を有する。

めっきレジスト６０から露出するシード層１０ａ上に電解めっき層１０ｂが形成される。電解めっき層１０ｂは銅で形成される。まためっきレジスト６２から露出するシード層１１０ａ上に電解めっき層１１０ｂが形成される。電解めっき層１１０ｂは銅で形成される。電解めっき層１０ｂ及び電解めっき層１１０ｂは貫通孔２２６を充填する。第三面６上のシード層１０ａと電解めっき層１０ｂによって、第一信号配線１２と第二信号配線１４が形成される。第一導体層１０が形成される。第四面８上のシード層１１０ａと電解めっき層１１０ｂによって、第一信号配線１１２と第二信号配線１１４が形成される。第三導体層１１０が形成される。

貫通孔２２６内のシード層１０ａと電解めっき層１０ｂ並びにシード層１１０ａと電解めっき層１１０ｂによって、スルーホール導体２４０が形成される。スルーホール導体２４０は、第二信号配線１４と第二信号配線１１４を接続する。第一信号配線１２と第二信号配線１４はペア配線を形成する。同様に第一信号配線１１２と第二信号配線１１４もペア配線を形成する。

図３Ｆに示されるように、めっきレジスト６０及びめっきレジスト６２が除去される。電解めっき層１０ｂから露出するシード層１０ａがエッチングで除去される。また電解めっき層１１０ｂから露出するシード層１１０ａがエッチングで除去される。第一導体層１０と第三導体層１１０とスルーホール導体２４０が同時に形成される。

図３Ｇに示されるようにベース基板４と第一導体層１０上に第一樹脂絶縁層２０が形成される。第一樹脂絶縁層２０の第二面２４がベース基板４の第三面６と対向している。第一樹脂絶縁層２０は樹脂８０と無機粒子９０を有する。無機粒子９０は樹脂８０内に埋まっている。

ベース基板４と第三導体層１１０上に第二樹脂絶縁層１２０が形成される。第二樹脂絶縁層１２０の第二面１２４がベース基板４の第四面８と対向している。第二樹脂絶縁層１２０は樹脂１８０と無機粒子１９０を有する。無機粒子１９０は樹脂１８０内に埋まっている。

第一樹脂絶縁層２０の第一面２２上に保護膜５４が形成される。保護膜５４は、第一樹脂絶縁層２０の第一面２２を完全に覆っている。保護膜５４は、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）製のフィルムである。なお、保護膜５４と第一樹脂絶縁層２０との間に離型剤による層が形成されている。

第二樹脂絶縁層１２０の第一面１２２上に保護膜５６が形成される。保護膜５６は、保護膜５４と同様のフィルムであり、第二樹脂絶縁層１２０の第一面１２２を完全に覆っている。なお、保護膜５６と第二樹脂絶縁層１２０との間に離型剤による層が形成されている。

図３Ｈに示されるように、保護膜５４の上からレーザ光Ｌ３が照射される。レーザ光Ｌ３は保護膜５４と第一樹脂絶縁層２０を貫通する。第一導体層１０の第二信号配線１４に至るビア導体用のビア孔２６が形成される。レーザ光Ｌ３は、レーザ光Ｌ１及びレーザ光Ｌ２と同様のレーザ光である。ビア孔２６により第二信号配線１４が露出される。ビア孔２６が形成される時、第一面２２は保護膜５４で覆われている。そのため、ビア孔２６が形成される時、樹脂が飛散しても、第一面２２に樹脂が付着することが抑制される。

保護膜５６の上からレーザ光Ｌ４が照射される。レーザ光Ｌ４は保護膜５６と第二樹脂絶縁層１２０を貫通する。第三導体層１１０の第二信号配線１１４に至るビア導体用のビア孔１２６が形成される。レーザ光Ｌ４は、レーザ光Ｌ３と同様のレーザ光である。ビア孔１２６により第二信号配線１１４が露出される。ビア孔１２６が形成される時、第一面１２２は保護膜５６で覆われている。そのため、ビア孔１２６が形成される時、樹脂が飛散しても、第一面１２２に樹脂が付着することが抑制される。

レーザ光照射後のビア孔２６の内壁面２７ｂは、レーザ光照射後の貫通孔２２６の内壁面２２７ｂと同様に、樹脂８０と樹脂８０から突出している無機粒子９０で形成されている。なお、図３Ｉに示されるように、ビア孔２６の内壁面２７ｂはレーザ光照射後に貫通孔２２６の内壁面２７ｂと同様の処理が実施されてもよい。同様の処理が実施されることにより、内壁面２７は平滑に形成される。

図３Ｈに示されるように、レーザ光照射後のビア孔１２６の内壁面１２７ｂは、レーザ光照射後の貫通孔２２６の内壁面２２７ｂと同様に、樹脂１８０と樹脂１８０から突出している無機粒子１９０で形成されている。なお、図３Ｉに示されるように、ビア孔１２６の内壁面１２７ｂはレーザ光照射後に貫通孔２２６の内壁面２２７ｂと同様の処理が実施されてもよい。同様の処理が実施されることにより、内壁面１２７は平滑に形成される。

図３Ｉに示されるように、ビア孔２６内を洗浄後に、第一樹脂絶縁層２０から保護膜５４が除去される。また、ビア孔１２６内を洗浄後に、第二樹脂絶縁層１２０から保護膜５６が除去される。第一面２２及び第一面１２２はそれぞれ平滑に形成される。第一面２２及び第一面１２２の算術平均粗さ（Ｒａ）のそれぞれは、例えば、０．０２μｍ以上０．０６μｍ以下である。

図３Ｊに示されるように、第一樹脂絶縁層２０の第一面２２上にシード層３０ａが形成される。シード層３０ａはスパッタによって形成される。シード層３０ａの形成はドライプロセスで行われる。第一層３１ａが第一面２２上にスパッタで形成される。同時に、ビア孔２６から露出する内壁面２７と第二信号配線１４上に第一層３１ａがスパッタで形成される。その後、第一層３１ａ上に第二層３１ｂがスパッタで形成される。シード層３０ａはビア孔２６から露出する第二信号配線１４の上面とビア孔２６の内壁面２７にも形成される。第一層３１ａは銅とケイ素とアルミニウムを含む合金で形成される。第二層３１ｂは銅で形成される。

第二樹脂絶縁層１２０の第一面１２２上にシード層１３０ａが形成される。シード層１３０ａはスパッタによって形成される。シード層１３０ａの形成はドライプロセスで行われる。第一層１３１ａが第一面１２２上にスパッタで形成される。同時に、ビア孔１２６から露出する内壁面１２７と第二信号配線１１４上に第一層１３１ａがスパッタで形成される。その後、第一層１３１ａ上に第二層１３１ｂがスパッタで形成される。シード層１３０ａはビア孔１２６から露出する第二信号配線１１４の上面とビア孔１２６の内壁面１２７にも形成される。第一層１３１ａは銅とケイ素とアルミニウムを含む合金で形成される。第二層１３１ｂは銅で形成される。

図３Ｋに示されるように、シード層３０ａ上にめっきレジスト６４が形成される。めっきレジスト６４は、第一信号配線３２と第二信号配線３４とランド３６（図１参照）を形成するための開口を有する。シード層１３０ａ上にめっきレジスト６６が形成される。めっきレジスト６６は、第一信号配線１３２と第二信号配線１３４とランド１３６（図１参照）を形成するための開口を有する。

めっきレジスト６４から露出するシード層３０ａ上に電解めっき層３０ｂが形成される。電解めっき層３０ｂは銅で形成される。電解めっき層３０ｂはビア孔２６を充填する。第一面２２上のシード層３０ａと電解めっき層３０ｂによって、第一信号配線３２と第二信号配線３４とランド３６が形成される。第二導体層３０が形成される。ビア孔２６内のシード層３０ａと電解めっき層３０ｂによって、ビア導体４０が形成される。ビア導体４０は、第二信号配線１４とランド３６を接続する。第一信号配線３２と第二信号配線３４はペア配線を形成する。

めっきレジスト６６から露出するシード層１３０ａ上に電解めっき層１３０ｂが形成される。電解めっき層１３０ｂは銅で形成される。電解めっき層１３０ｂはビア孔１２６を充填する。第一面１２２上のシード層１３０ａと電解めっき層１３０ｂによって、第一信号配線１３２と第二信号配線１３４とランド１３６が形成される。第四導体層１３０が形成される。ビア孔１２６内のシード層１３０ａと電解めっき層１３０ｂによって、ビア導体１４０が形成される。ビア導体１４０は、第二信号配線１１４とランド１３６を接続する。第一信号配線１３２と第二信号配線１３４はペア配線を形成する。

めっきレジスト６４が除去される。電解めっき層３０ｂから露出するシード層３０ａがエッチングで除去される。第二導体層３０とビア導体４０が同時に形成される。また、めっきレジスト６６が除去される。電解めっき層１３０ｂから露出するシード層１３０ａがエッチングで除去される。第四導体層１３０とビア導体１４０が同時に形成される。これにより実施形態のプリント配線板２（図１参照）が得られる。

実施形態のプリント配線板２では、貫通孔２２６の内壁面２２７は樹脂２８０の面２８０ａと第一無機粒子２９１の第一平滑面２９１ａと繊維補強材２１０の第二平滑面２１２ａとによって形成される。面２８０ａと第一平滑面２９１ａと第二平滑面２１２ａとがほぼ共通な面を形成する。これにより内壁面２２７は平滑に形成される。これにより貫通孔２２６の内壁面２２７上に均一な厚みのシード層１０ａ及びシード層１１０ａが形成される。シード層１０ａ及びシード層１１０ａは薄く形成される。シード層１０ａ及びシード層１１０ａが除去される時、エッチング量が少ない。そのため電解めっき層１０ｂ及び電解めっき層１１０ｂのエッチング量が少ない。第一信号配線１２と第二信号配線１４を有する第一導体層１０が設計値通りの幅を有する。また、内壁面２２７が平滑に形成されるため、めっき充填性が向上する。これにより、スルーホール導体２４０の内層を構成する電解めっき層に応力集中部位（一例として凹凸部）が形成されるのが抑制される。これにより、スルーホール導体２４０の内層である電解めっき層に亀裂が生じるのを抑制できる。さらに内壁面２２７が平滑に形成されるため、内壁面２２７とスルーホール導体２４０との間にボイドが発生するのが抑制される。これによりプリント配線板２の信頼性が向上する。すなわち、高い品質を有するプリント配線板２が提供される。

ビア孔２６の内壁面２７は、樹脂８０の面８０ａと無機粒子９０の第一平滑面とによって平滑に形成されている場合、スルーホール導体２４０と同様に、ビア導体４０の内層である電解めっき層３０ｂに亀裂が生じるのを抑制できる。またビア孔１２６の内壁面１２７が樹脂１８０の面と無機粒子１９０の第一平滑面とによって平滑に形成されている場合、スルーホール導体２４０と同様に、ビア導体１４０の内層である電解めっき層１３０ｂに亀裂が生じるのを抑制できる。ビア導体４０とビア導体１４０に亀裂が生じるのを抑制することで、プリント配線板２の信頼性が更に向上する。

実施形態のプリント配線板２では第一樹脂絶縁層２０の第一面２２は樹脂８０のみで形成されている。第一面２２には無機粒子９０が露出しない。同様に第二樹脂絶縁層１２０の第一面１２２は樹脂１８０のみで形成されている。第一面１２２には無機粒子１９０が露出しない。第一面２２、第一面１２２にはそれぞれ凹凸が形成されない。第一樹脂絶縁層２０の第一面２２近傍部分の比誘電率の標準偏差が大きくなることが抑制される。第二樹脂絶縁層１２０の第一面１２２近傍部分の比誘電率の標準偏差が大きくなることが抑制される。第一面２２、第一面１２２のそれぞれの比誘電率は場所によって大きく変わらない。第一信号配線３２と第二信号配線３４が第一面２２に接していても、第一信号配線３２と第二信号配線３４間の電気信号の伝搬速度の差を小さくすることができる。同様に、第一信号配線１３２と第二信号配線１３４が第一面１２２に接していても、第一信号配線１３２と第二信号配線１３４間の電気信号の伝搬速度の差を小さくすることができる。そのため、実施形態のプリント配線板２ではノイズが抑制される。実施形態のプリント配線板２にロジックＩＣが実装されても、第一信号配線３２及び第一信号配線１３２で伝達されるデータと第二信号配線３４及び第二信号配線１３４で伝達されるデータがロジックＩＣにほぼ遅延なく到達する。ロジックＩＣの誤動作を抑制することができる。例えば、第一信号配線３２及び第一信号配線１３２の長さと第二信号配線３４及び第二信号配線１３４の長さがそれぞれ５ｍｍ以上であっても、両者の伝搬速度の差を小さくすることができる。第一信号配線３２及び第一信号配線１３２の長さと第二信号配線３４及び第二信号配線１３４の長さが１０ｍｍ以上、２０ｍｍ以下であっても、ロジックＩＣの誤動作を抑制することができる。高い品質を有するプリント配線板２が提供される。

［実施形態の別例１］
実施形態の別例１では、シード層１０ａ、３０ａ、１１０ａ、１３０ａの第一層１１ａ、３１ａ、１１１ａ、１３１ａは、銅と第２元素で形成されている。第２元素は、ケイ素、アルミニウム、チタン、ニッケル、クロム、炭素、酸素、スズ、カルシウム、マグネシウム、鉄、モリブデン、銀、の中から選ばれる。第一層１１ａ、３１ａ、１１１ａ、１３１ａは銅を含む合金で形成される。第二層１１ｂ、３１ｂ、１１１ｂ、１３１ｂは銅で形成される。第二層１１ｂ、３１ｂ、１１１ｂ、１３１ｂを形成している銅の量（原子量％）は９９．９％以上である。９９．９５％以上が好ましい。

なお、シード層１０ａ、３０ａ、１１０ａ、１３０ａの第一層１１ａ、３１ａ、１１１ａ、１３１ａは、ケイ素、アルミニウム、チタン、ニッケル、クロム、炭素、酸素、スズ、カルシウム、マグネシウム、鉄、モリブデン、銀、のうちのいずれか１つの金属で形成されてもよい。

［実施形態の別例２］
実施形態の別例２ではレーザ光照射後の内壁面２２７ｂを処理するための条件が制御される。そのため、図４に示されるように、内壁面２２７を形成する樹脂２８０の面２８０ａと第一無機粒子２９１の第一平滑面２９１ａと繊維補強材２１０の第二平滑面２１２ａとは実質的に同一平面を形成する。図４は処理後の内壁面２２７を示す拡大断面図である。第一平滑面２９１ａと樹脂２８０の面２８０ａとの間の距離及び第二平滑面２１２ａと面２８０ａとの距離はそれぞれ５μｍ以下である。そのため、第一無機粒子２９１と第一無機粒子２９１の周りに形成されている樹脂２８０間に隙間１００があっても、隙間１００内にシード層１０ａ及びシード層１１０ａを形成することができる。同様に繊維補強材２１０の繊維２１２と繊維２１２の周りに形成されている樹脂２８０間に隙間１０２があっても、隙間１０２内にシード層１０ａ及びシード層１１０ａを形成することができる。この場合、シード層１０ａ及びシード層１１０ａは内壁面２２７上と隙間１００及び隙間１０２の内部に形成される。第一平滑面２９１ａと隙間１００の底との間の距離及び第二平滑面２１２ａと隙間１０２の底との間の距離は各々５μｍ以下であると、スパッタで形成されるシード層１０ａ及びシード層１１０ａが内壁面２２７から剥がれ難い。第一平滑面２９１ａと隙間１００の底との間の距離及び第二平滑面２１２ａと隙間１０２の底との間の距離は各々３μｍ以下であることが好ましい。内壁面２２７上のシード層１０ａ及びシード層１１０ａの厚みのバラツキを小さくすることができる。

本開示の技術のプリント配線板２では、第一樹脂絶縁層２０は樹脂８０と無機粒子９０を含むが、繊維補強材を含んでいてもよい。第二樹脂絶縁層１２０は樹脂１８０と無機粒子１９０を含むが、繊維補強材を含んでいてもよい。繊維補強材としては、ベース基板４の繊維補強材２１０と同様に、例えば、ガラスクロス、ガラス不織布、アラミド不織布を用いてもよい。

本開示の技術のプリント配線板２では、ベース基板４の両側に樹脂絶縁層がそれぞれ積層されたが、ベース基板４の両側に、樹脂絶縁層と導体層を交互に積層した積層体をそれぞれ積層してもよい。

本開示の技術のプリント配線板は、各図面に例示される構造、並びに、本明細書において例示される構造、形状、及び材料を備えるものに限定されない。

本開示の技術のプリント配線板の製造方法は、各図面を参照して説明された方法に限定されない。例えば、各導体層はフルアディティブ法によって形成されてもよい。また、各絶縁層は、フィルム状の樹脂に限らず、任意の形態の樹脂を用いて形成され得る。実施形態のプリント配線板の製造方法には、前述された各工程以外に任意の工程が追加されてもよく、前述された工程のうちの一部が省略されてもよい。

２ ：プリント配線板
４ ：ベース基板
６ ：第三面（第一面）
８ ：第四面（第二面）
１０ ：第一導体層
１０ａ ：シード層
１０ｂ ：電解めっき層
１１ａ ：第一層
１１ｂ ：第二層
１１０ ：第二導体層
１１０ａ ：シード層
１１０ｂ ：電解めっき層
１１１ａ ：第一層
１１１ｂ ：第二層
２１０ ：繊維補強材
２１２ ：繊維
２１２ａ ：第二平滑面
２４０ ：第一ビア導体
２８０ ：樹脂
２９０ ：無機粒子
２９１ ：第一無機粒子
２９１ａ ：第一平滑面
２９２ ：第二無機粒子

Claims (8)

1. 樹脂と無機粒子と繊維補強材とを含み、第一面と、前記第一面と反対側の第二面と、前記第一面と前記第二面とにそれぞれ開口する貫通孔とを有するベース基板と、
   前記第一面に形成されている第一導体層と、
   前記第二面に形成されている第二導体層と、
   前記貫通孔に形成されていて、前記第一導体層と前記第二導体層とを接続するスルーホール導体と、
   を有するプリント配線板であって、
   前記ベース基板の前記貫通孔の内壁面は、前記樹脂と前記無機粒子と前記繊維補強材とで形成され、
   前記無機粒子は、前記内壁面を形成する第一平滑面を有する第一無機粒子と、前記ベース基板内に埋まっている第二無機粒子とを含み、
   前記繊維補強材を構成する繊維は、前記内壁面を形成する第二平滑面を有する。
2. 請求項１のプリント配線板であって、
   前記第一平滑面は、前記無機粒子の切断面である。
3. 請求項１のプリント配線板であって、
   前記第二平滑面は、前記繊維の切断面である。
4. 請求項１のプリント配線板であって、
   前記内壁面を形成する前記樹脂の面と前記第一平滑面とが面一である。
5. 請求項１のプリント配線板であって、
   前記内壁面を形成する前記樹脂の面と前記第二平滑面とが面一である。
6. 請求項１のプリント配線板であって、
   前記内壁面を形成する前記樹脂の面と前記第一平滑面と前記第二平滑面とによって、前記内壁面が平滑に形成されている。
7. 請求項１のプリント配線板であって、
   前記スルーホール導体は、シード層と前記シード層上の電解めっき層で形成されており、
   前記シード層がスパッタ膜である。
8. 請求項７のプリント配線板であって、
   前記スパッタ膜は、前記貫通孔の内壁面に接する第一層と前記第一層上の第二層で形成されており、
   前記第一層は、銅合金によって形成されていて、
   前記第二層は、銅によって形成されている。