JP2024064354A - 拡大観察装置、拡大観察方法、拡大観察プログラムおよび記録媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】複数の観察位置の各々において合焦させつつ観察設定に応じた観察画像の取得を簡便かつ速やかに実行可能とする。【解決手段】一括リプレイに際しては複数の観察位置Ｐｏが特定されて、複数の観察位置Ｐｏのそれぞれに対してリプレイが実行される。特に、対象位置の指定（ステップＳ２０７、Ｓ２０９）あるいは観察画像Ｉの指定（ステップＳ２０３、Ｓ２０８）といった簡便なユーザー操作の受け付けに伴って、一括リプレイでの観察対象となる複数の観察位置Ｐｏが特定される。また、記憶部９５に保存された観察画像Ｉのうちから所望の観察画像Ｉを指定するといった簡便なユーザー操作の受け付けに伴って、複数の観察位置Ｐｏの各々において観察画像Ｉを取得する際の観察設定Ｃｏが指定される（ステップＳ２０３）。【選択図】図６

Description

この発明は、観察対象物を拡大して観察する拡大観察技術に関する。

デジタルマイクロスコープ等の拡大観察装置は、載置台に載置された観察対象物をレンズによって結像することで生成した像を撮像素子によって撮像する。こうして観察対象物を撮像することで観察画像が取得される。また、観察対象物を撮像するにあたっては、レンズの倍率、レンズの種類あるいは観察対象物に照射する照明といった各種条件が設定される。これに対して、特許文献１では、各種条件の設定を簡便化する技術が提案されている。具体的には、顕微鏡による観察像を撮像して撮像画像を取得した際の各種条件が状態情報として記録され、撮像画像の再生時に状態情報を読み出して、状態情報に示される条件が再現される。

特開２００２－２６７９４３号公報

ところで、観察対象物に対して観察位置を変更しつつ複数の観察位置で観察画像を取得するといった使い方を拡大観察装置に対して行うことができる。ただし、このような使い方においては、複数の観察位置の各々での観察画像の取得を所望の観察設定で実行するために要するユーザーの操作が複雑になっていた。さらに、適切な観察画像の取得のためには、観察位置において観察対象物に対して合焦させる必要がある。この際、複数の観察位置の各々でレンズの合焦に時間を要することで、複数の観察位置での観察画像の取得に時間を要していた。そこで、複数の観察位置の各々において合焦させつつ観察設定に応じた観察画像の取得を簡便かつ速やかに実行できることが求められていた。

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、複数の観察位置の各々において合焦させつつ観察設定に応じた観察画像の取得を簡便かつ速やかに実行可能とすることを目的とする。

本発明に係る拡大観察装置は、載置台と、載置台に載置された観察対象物を結像するレンズと、レンズによって結像された観察対象物を撮像する撮像素子と、観察位置を変更させるために、載置台とレンズとの相対位置を変更する第１移動部と、観察高さを変更させるために、載置台に対するレンズの相対距離を変更する第２移動部と、撮像素子が撮像する観察対象物に対して合焦する合焦状態における載置台に対するレンズの観察高さを合焦高さとして測定する測定手段と、観察設定に基づいて撮像素子により撮像された観察対象物の観察画像を取得する画像取得部と、画像取得部により取得された観察画像と、当該観察画像に対応する観察設定と、当該観察画像に対応する観察位置とを紐づけて保存する記憶部と、対象位置の指定または記憶部に保存された観察画像から対象画像の指定を受け付けて、当該対象位置または当該対象画像に紐づけて保存された観察位置に基づいて複数の観察位置を特定する特定部と、特定部により特定した複数の観察位置の各々に撮像素子の視野を相対移動させるよう第１移動部を制御するとともに、測定手段で測定された合焦高さと観察対象物の形状情報とに基づいて当該複数の観察位置の各々において相対距離を調整するように第２移動部を制御して、当該複数の観察位置の各々において、記憶部に保存された観察画像のうち指定された観察画像に紐づけて保存された観察設定に基づいて、撮像素子により撮像された観察対象物の観察画像を取得するように画像取得部を制御する再現制御部と、を備える。

本発明に係る拡大観察方法は、観察画像と、当該観察画像に対応する観察設定と、当該観察画像に対応する観察位置とを紐づけて保存された観察画像の中から指定された対象画像または指定された対象位置に基づいて複数の観察位置を特定する工程と、特定された複数の観察位置の各々に、載置台に載置された観察対象物を結像するレンズを相対移動させるとともに、レンズによって結像された観察対象物を撮像する撮像素子が撮像する観察対象物に対して合焦する合焦状態における載置台に対するレンズの観察高さを合焦高さとして測定した結果と観察対象物の形状情報とに基づいて当該複数の観察位置の各々においてレンズの載置台に対する相対距離を調整して、当該複数の観察位置の各々において、記憶部に保存された観察画像のうち指定された観察画像に紐づけて保存された観察設定に基づいて撮像素子により撮像された観察対象物の観察画像を取得する工程と、を備える。

本発明に係る拡大観察プログラムは、観察画像と、当該観察画像に対応する観察設定と、当該観察画像に対応する観察位置とを紐づけて保存された観察画像の中から指定された対象画像または指定された対象位置に基づいて複数の観察位置を特定する工程と、特定された複数の観察位置の各々に、載置台に載置された観察対象物を結像するレンズを相対移動させるとともに、レンズによって結像された観察対象物を撮像する撮像素子が撮像する観察対象物に対して合焦する合焦状態における載置台に対するレンズの観察高さを合焦高さとして測定した結果と観察対象物の形状情報とに基づいて当該複数の観察位置の各々においてレンズの載置台に対する相対距離を調整して、当該複数の観察位置の各々において、記憶部に保存された観察画像のうち指定された観察画像に紐づけて保存された観察設定に基づいて撮像素子により撮像された観察対象物の観察画像を取得する工程と、をコンピューターに実行させる。

本発明に係る記録媒体は、上記の拡大観察プログラムをコンピューターにより読み出し可能に記憶する。

このように構成された本発明（拡大観察装置、拡大観察方法、拡大観察プログラムおよび記録媒体）では、観察画像と、当該観察画像に対応する観察設定と、当該観察画像に対応する観察位置とが紐づけて記憶部に予め保存される。そして、対象位置の指定あるいは記憶部に保存された観察画像からの対象画像の指定を受け付けて、当該対象位置あるいは当該対象画像に紐づけて保存された観察位置に基づいて複数の観察位置が特定される。つまり、対象位置あるいは観察画像の指定といった簡便なユーザー操作の受け付けに伴って、観察対象となる複数の観察位置が特定される。続いて、特定された複数の観察位置の各々にレンズを相対移動させつつ、当該複数の観察位置の各々において、記憶部に保存された観察画像のうち指定された観察画像に紐づけて保存された観察設定に基づいて撮像素子により撮像された観察対象物の観察画像が取得される。つまり、記憶部に保存された観察画像のうちから所望の観察画像を指定するといった簡便なユーザー操作の受け付けに伴って、複数の観察位置の各々において観察画像を取得する際の観察設定が指定される。しかも、観察対象物に対して合焦する合焦状態における載置台に対するレンズの観察高さを合焦高さとして測定した結果と観察対象物の形状情報とに基づいて当該複数の観察位置の各々においてレンズの載置台に対する相対距離が調整される。その結果、複数の観察位置の各々において合焦させつつ観察設定に応じた観察画像の取得を簡便かつ速やかに実行することが可能となっている。

以上のように、本発明によれば、複数の観察位置の各々において合焦させつつ観察設定に応じた観察画像の取得を簡便かつ速やかに実行することが可能となる。

本発明に係る拡大観察装置の構成を模式的に示す図。 図１の拡大観察装置が具備する電気的構成を示すブロック図。 リング照明の構成を模式的に示す底面図。 拡大観察装置によって実行される通常観察の一例を示すフローチャート。 図４の通常観察により実行されるデータの保存態様の一例を模式的に示す図。 リプレイ制御の第１例を示すフローチャート。 リプレイ制御の対象となるサンプルの一例を模式的に示す図。 リプレイ制御の対象となるサンプルの別の例を模式的に示す図。 リプレイ制御の対象となるサンプルの別の例を模式的に示す図。 リプレイ制御のためにディスプレイに表示される画面を模式的に示す図。 リプレイ制御のためにディスプレイに表示される画面を模式的に示す図。 リプレイ制御のためにディスプレイに表示される画面を模式的に示す図。 リプレイ制御のためにディスプレイに表示される画面を模式的に示す図。 リプレイ制御のためにディスプレイに表示される画面を模式的に示す図。 リプレイ制御のためにディスプレイに表示される画面を模式的に示す図。 リプレイ制御のためにディスプレイに表示される画面を模式的に示す図。 リプレイ制御の第２例を示すフローチャート。 リプレイ制御のためにディスプレイに表示される画面を模式的に示す図。 リプレイ制御のためにディスプレイに表示される画面を模式的に示す図。 オフセットを調整するための画面の一例を模式的に示す図。 ワークの三次元形状をワーク形状情報が示す場合の制御を模式的に示す図。 観察位置の特定方法の変形例を模式的に示す図。

図１は本発明に係る拡大観察装置の構成を模式的に示す図であり、図２は図１の拡大観察装置が具備する電気的構成を示すブロック図である。なお、図１および以下の図では、水平方向であるＸ方向、Ｘ方向に直交する水平方向であるＹ方向および鉛直方向であるＺ方向を適宜示す。図１に示す拡大観察装置１は、観察対象物であるワーク１１を拡大した観察画像をユーザーに表示する。この拡大観察装置１は、ワーク１１を拡大した観察画像を取得するマイクロスコープ２と、マイクロスコープ２を制御する制御システム９とを備える。

図２に示すように、制御システム９はコントローラ９１を備え、コントローラ９１は演算部９３および記憶部９５を有する。演算部９３はＣＰＵ(Central Processing Unit)等のプロセッサーであり、記憶部９５はＨＤＤ(Hard Disk Drive)あるいはＳＳＤ(Solid State Drive)等の記憶装置である。記憶部９５には、マイクロスコープ２で取得された観察画像Ｉや当該観察画像Ｉに紐づけられたメタデータ（設定データ）を含む観察画像関連データＤｉを保存する。さらに、記憶部９５は拡大観察プログラム１２を保存し、演算部９３は、記憶部９５から読み出した拡大観察プログラム１２を実行することで、ステージ駆動制御部９３１、ヘッド駆動制御部９３２、照明制御部９３３、画像取得部９３４、合焦高さ測定部９３５、画像処理部９３６、再現制御部９３７、観察位置特定部９３８、画像検索部９３９、表示制御部９４１、操作受付部９４２、設定部９４３、出力部９４４および読込部９４５を構築する。これらの機能部９３１～９３８、９４１～９４５の詳細は後述する。なお、拡大観察プログラム１２は、例えば外部のサーバーコンピューター（記録媒体）からダウンロードされて記憶部９５に保存される。さらに、記憶部９５には、ワーク１１の形状を示すワーク形状情報１３が保存される。本実施形態では、ワーク形状情報１３は、ワーク１１の形状が平面であることを示す情報を含む。なお、ワーク形状情報１３は、ワーク１１の形状が平面であることを示す情報に限らず、三次元形状を示す情報や、円筒などの幾何形状を示す情報を含んでいてもよい。

さらに、制御システム９は、ワーク１１の観察画像をユーザーに表示するディスプレイ９７と、拡大観察装置１に対するユーザーの操作が実行される操作部９９とを備える。ディスプレイ９７は、表示制御部９４１の制御に応じた表示を行う。操作部９９は、キーボード９９１、マウス９９２あるいはジョイスティック９９３といった入力機器を有し、ユーザーは、これらを操作することで、拡大観察装置１に指令を入力することができる。これに対して、操作受付部９４２は、操作部９９に対するユーザーの操作に応じた操作部９９から受信することで、当該操作が示す指令を受け付ける。

図１に示すように、マイクロスコープ２は、当該マイクロスコープ２の設置面に載置される基台２１と、基台２１の上に配置されたステージ駆動機構２２と、ステージ駆動機構２２によって支持されるステージ２３とを備える。ステージ２３は、水平なサンプル支持平面２３１を有し、サンプル支持平面２３１の上にワーク１１が載置される。ステージ駆動機構２２は、図２に示すＸ軸ステージ駆動部２２ｘ、Ｙ軸ステージ駆動部２２ｙおよびＺ軸ステージ駆動部２２ｚを有する。Ｘ軸ステージ駆動部２２ｘは、ステージ駆動制御部９３１の指令に応じてステージ２３をＸ方向に駆動するモーターを有し、Ｙ軸ステージ駆動部２２ｙは、ステージ駆動制御部９３１の指令に応じてステージ２３をＹ方向に駆動するモーターを有し、Ｚ軸ステージ駆動部２２ｚは、ステージ駆動制御部９３１の指令に応じてステージ２３をＺ方向に駆動するモーターを有する。これらのモーターとしては、例えばステッピングモーターを用いることができる。

そして、ステージ駆動制御部９３１は、Ｘ軸ステージ駆動部２２ｘ、Ｙ軸ステージ駆動部２２ｙおよびＺ軸ステージ駆動部２２ｚを制御することで、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向にステージ２３を移動させる。例えば、操作受付部９４２がジョイスティック９９３に対する操作に応じた指令を受け付けると、ステージ駆動制御部９３１は、当該指令に応じてＸ軸ステージ駆動部２２ｘおよびＹ軸ステージ駆動部２２ｙを制御することで、ステージ２３をＸ方向およびＹ方向に移動させる。

また、マイクロスコープ２は、ステージ２３のサンプル支持平面２３１に上側から対向する観察ヘッド３を備える。観察ヘッド３は観察視野Ｖを有し、サンプル支持平面２３１上のワーク１１のうち、観察視野Ｖに重なる部分の観察画像Ｉを撮像する。この観察ヘッド３は、Ｚ方向に延設された筒状のハウジング３１と、ハウジング３１の下端に設けられたレンズホルダー３２と、レンズホルダー３２に取り付けられた対物レンズ３３とを有する。さらに、観察ヘッド３は、ハウジング３１内に配置されたハーフミラー３４および固体撮像素子３５を有し、ハーフミラー３４は、ハウジング３１と固体撮像素子３５との間に位置する。対物レンズ３３は、サンプル支持平面２３１上のワーク１１に上側から対向し、ワーク１１から射出されて対物レンズ３３に入射する光Ｌｓは、ハーフミラー３４を通過した後に、固体撮像素子３５に結像される。なお、光Ｌｓの結像は、対物レンズ３３の他に設けられた図示を省略するレンズあるいはミラーと対物レンズ３３とで構成される結像光学系によって実行される。固体撮像素子３５は、ＣＣＤイメージセンサーあるいはＣＭＯＳイメージセンサー等であり、当該固体撮像素子３５に結像された光Ｌｓを検出することで、ワーク１１の観察画像Ｉを撮像する。固体撮像素子３５によって撮像された観察画像Ｉは、固体撮像素子３５から画像取得部９３４に送信される。こうして画像取得部９３４は、観察視野Ｖ内におけるワーク１１の観察画像Ｉを取得する。

なお、レンズホルダー３２としては、互いに異なる倍率を有する複数の対物レンズ３３が取り付けられたリボルバー式のレンズホルダー３２を用いてもよい。この場合、レンズホルダー３２を回転させることで、複数の対物レンズ３３のうちからワーク１１に対向する一の対物レンズ３３を切り換えることができる。すなわち、観察画像Ｉを取得する際の倍率を切り換えることができる。

マイクロスコープ２は、観察ヘッド３のハウジング３１に取り付けられた落射照明４１を備える。落射照明４１は、ハウジング３１内のハーフミラー３４に側方から対向するようにハウジング３１の側面に取り付けられる。落射照明４１から射出された光Ｌｆは、ハーフミラー３４によって対物レンズ３３に向けて反射されて、対物レンズ３３を介してワーク１１に照射される。この光Ｌｆは、ワーク１１に対してＺ方向に平行に照射される。こうしてワーク１１に照射された光Ｌｆは、当該ワーク１１によって反射されて、上記の光Ｌｓとして対物レンズ３３に入射する。

また、マイクロスコープ２は、観察ヘッド３のハウジング３１に取り付けられたリング照明４３（図３）を備える。ここで、図３はリング照明の構成を模式的に示す底面図である。リング照明４３は、底面視において対物レンズ３３を囲むようにハウジング３１の外側に取り付けられる。リング照明４３から射出された光Ｌｒは、Ｚ方向に対して傾きつつワーク１１に照射される。また、図３に示すように、円周状に配列された複数の光射出部４３１を有し、複数の光射出部４３１は互いに独立して点灯および消灯する。したがって、複数の光射出部４３１のうち、点灯する光射出部４３１を変更することで、ワーク１１に光Ｌｒを照射する方向を切り換えることができる。こうしてワーク１１に照射された光Ｌｒは、当該ワーク１１によって反射されて、上記の光Ｌｓとして対物レンズ３３に入射する。

さらに、マイクロスコープ２は、ワーク１１の下側から対物レンズ３３に向けて光Ｌｔを射出する透過照明４５を備える。透過照明４５は、例えばサンプル支持平面２３１の内部に配置され、生物組織等の光Ｌｔを透過するワーク１１を観察するために使用される。透過照明４５から射出された光Ｌｔは、ワーク１１を透過して、上記の光Ｌｓとして対物レンズ３３に入射する。

落射照明４１、リング照明４３および透過照明４５によってワーク１１に光Ｌｆ、光Ｌｒおよび光Ｌｔをワーク１１に照射する際の設定、すなわち照明設定は、照明制御部９３３によって制御される。ここで、照明設定は、
・落射照明４１による光Ｌｆの射出の有無および光Ｌｆの強さ
・リング照明４３に含まれる複数の光射出部４３１それぞれによる光Ｌｒの射出の有無および光Ｌｒの強さ
・透過照明４５による光Ｌｔの射出の有無および光Ｌｔの強さ
・対物レンズ３３の絞り値
の少なくとも１つを含む。

固体撮像素子３５は、撮影設定に従って、画像取得部９３４によって制御される。ここで、撮影設定としては、固体撮像素子３５のホワイトバランスやゲイン露光時間が含まれてもよい。このような設定が記憶部９５に保存され、保存された設定を再現時に利用することで、観察の再現性を高めることができる。

さらに、マイクロスコープ２は、観察ヘッド３をＺ方向に移動可能に支持するヘッド支持部２４を備える。ヘッド支持部２４は、Ｚ方向に平行に基台２１から立設されたＺ軸ガイド２４１と、Ｚ軸ガイド２４１によってＺ方向に案内されるＺ軸可動部材２４２とを有し、Ｚ軸可動部材２４２に観察ヘッド３のハウジング３１が取り付けられている。また、ヘッド支持部２４は、図２に示すＺ軸ヘッド駆動部２４ｚを有する。Ｚ軸ヘッド駆動部２４ｚは、ヘッド駆動制御部９３２の指令に応じてＺ軸可動部材２４２をＺ方向に駆動することで、観察ヘッド３をＺ方向に移動させるモーター（例えば、ステッピングモーター）を有する。また、観察ヘッド３のＺ方向への移動に伴って、落射照明４１およびリング照明４３もＺ方向に移動する。

図４は拡大観察装置によって実行される通常観察の一例を示すフローチャートであり、図５は図４の通常観察により実行されるデータの保存態様の一例を模式的に示す図である。図４の通常観察は、コントローラ９１の制御によって実行され、ワーク１１の観察画像Ｉを撮像し、当該観察画像Ｉに画像処理（解析処理）を実行するとともに当該観察画像Ｉを記憶部９５に保存する。

この通常観察においては、ユーザーによるジョイスティック９９３の操作に応じたＸ方向あるいはＹ方向への移動を示す指令を操作受付部９４２が受け付けたのに応じて、ステージ２３上のワーク１１がＸ方向あるいはＹ方向に移動される。これに伴って、観察視野Ｖがワーク１１に対して相対移動して、ワーク１１のうち観察対象となる部分に観察視野Ｖを位置決めすることができる。

そして、操作受付部９４２が観察視野Ｖの撮像を指令する撮像指令を受け付けると（ステップＳ１０１で「ＹＥＳ」）、設定部９４３が操作受付部９４２から受け取った撮像指令に応じた各設定を画像取得部９３４、合焦高さ測定部９３５および画像処理部９３６に実行する。つまり、この撮像指令は、ユーザーによるジョイスティック９９３等の操作部９９の操作によって位置決めされた観察視野Ｖの位置、ワーク１１の画像を撮像する際の設定（照明設定等）および後述する解析処理（ステップＳ１０５）の内容等を含む。これに対して、設定部９４３は、操作部９９への操作に基づく撮像指令を操作受付部９４２から受け付けると、かかる撮像指令に応じた各設定を画像取得部９３４、合焦高さ測定部９３５および画像処理部９３６に実行する。ステップＳ１０２では、設定部９４３による設定に応じて、合焦高さ測定部９３５が合焦高さを測定する。具体的には、合焦高さ測定部９３５からの指令に応じて、ステージ駆動制御部９３１がＺ軸ヘッド駆動部２４ｚによって観察ヘッド３をＺ方向に移動（上昇あるいは下降）させつつ、画像取得部９３４が固体撮像素子３５によって観察画像Ｉを複数回撮像する。これによって、互いに異なる高さで対物レンズ３３によって結像されたワーク１１を示す複数の観察画像Ｉが取得される。そして、合焦高さ測定部９３５は、複数の観察画像Ｉそれぞれのコントラストに基づき、観察視野Ｖの代表点（例えば、中心点）においてワーク１１に合焦する対物レンズ３３の高さを合焦高さとして求める。こうして測定された合焦高さは、合焦高さ測定部９３５からヘッド駆動制御部９３２に出力される。

ステップ１０３では、ヘッド駆動制御部９３２は、合焦高さ測定部９３５から受け取った合焦高さに基づきＺ軸ヘッド駆動部２４ｚを制御して、ステップＳ１０２で求めた合焦高さに対物レンズ３３を位置させる。ステップＳ１０４では、設定部９４３による設定に応じて画像取得部９３４が固体撮像素子３５に観察視野Ｖを撮像させて、観察視野Ｖにおけるワーク１１の観察画像Ｉを取得する。

ステップＳ１０５では、ステップＳ１０４で取得された観察画像Ｉに対して画像処理部９３６が設定部９４３による設定に応じた解析処理（画像処理）を実行する。具体的には、ワーク１１は金属組織を含み、画像取得部９３４は、ワーク１１に含まれる金属組織の観察画像Ｉが示す粒度を結晶粒度標準図の粒度番号１～８のいずれかに、分類する（金属組織解析）。この分類は、学習済みの機械学習モデルにより分類する解析処理を行ってもよい。また、金属組織解析としては、結晶粒度の分類以外にも、ワーク１１に含まれる酸化物化合物や硫化物化合物などの非金属介在物を抽出し、計測・分類を行う解析処理を行ってもよい。さらに、金属に含まれる黒鉛の球状化率を算出する解析処理を金属組織解析として行ってもよい。ステップＳ１０６では、画像処理部９３６によって取得された観察画像Ｉと、当該観察画像Ｉを撮像した際の設定データＤｃ（メタデータ）とが出力部９４４によって紐づけられて、観察画像関連データＤｉとして出力部９４４から記憶部９５に保存される。

その結果、図５に示すように、観察画像Ｉを示す画像データＩｍｇ（１）、Ｉｍｇ（２）、…と、画像データＩｍｇ（１）、Ｉｍｇ（２）、…に紐づけられた設定データＤｃとを示す観察画像関連データＤｉ（１）、Ｄｉ（２）、…が、記憶部９５に蓄積される。図５に示すように、設定データＤｃは、観察画像Ｉを撮像した際の対物レンズ３３の座標である観察座標を含む。対物レンズ３３の観察座標は、対物レンズ３３の位置である観察位置（Ｘ座標、Ｙ座標）と、対物レンズ３３の高さである観察高さ（Ｚ座標）とで構成される。さらに、設定データＤｃは、観察画像Ｉを撮像した際の照明設定や、観察画像Iを取得する際の撮影設定、観察画像Ｉに対する解析処理（画像処理）を実行する際の解析設定を含む。また、次に説明するリプレイ制御では、設定データＤｃに含まれる観察設定Ｃｏが記憶部９５から読み出されて使用される。本実施形態において、観察設定Ｃｏは、設定データＤｃのうち、観察位置（Ｘ，Ｙ）および観察高さ（Ｚ）以外の項目を含む。

つまり、本実施形態では、記憶部９５に保存された観察画像関連データＤｉが示す観察設定Ｃｏに基づく観察をリプレイするリプレイ制御を実行することができる。図６はリプレイ制御の第１例を示すフローチャートであり、図７はリプレイ制御の対象となるサンプルの一例を模式的に示す図であり、図８Ａおよび図８Ｂはリプレイ制御の対象となるサンプルの別の例を模式的に示す図であり、図９Ａ～図９Ｇはリプレイ制御のためにディスプレイに表示される画面を模式的に示す図である。図６のリプレイ制御は、再現制御部９３７の制御に基づき実行される。なお、図６における「１：Ｎ」は、リプレイ対象として選択された１個の観察画像Ｉに紐づけられた観察設定Ｃｏに基づく観察を、Ｎ個（Ｎは複数）の観察位置（Ｘ，Ｙ）に対して実行（リプレイ）することを示す。

ステップＳ２０１では、読込部９４５が記憶部９５から読み込んだ複数の観察画像Ｉを、表示制御部９４１がディスプレイ９７に表示する。具体的には、図９Ａに示す画面Ｓａ１が表示制御部９４１によってディスプレイ９７に表示される。画面Ｓａ１は、観察視野Ｖの画像をリアルタイムに表示するナビゲーション部６０を有する。また、画面Ｓａ１は、記憶部９５に保存される観察画像Ｉのディレクトリに関する情報を示すディレクトリ情報表示部６１を有する。ディレクトリ情報表示部６１は、サイドアルバムタブおよび検索タブを有し、サイドアルバムタブが選択されると、観察画像Ｉが保存されるディレクトリがディレクトリ情報表示部６１に表示され、検索タブが選択されると観察画像Ｉを検索するための画面がディレクトリ情報表示部６１に表示される。さらに、画面Ｓａ１は、ディレクトリ情報表示部６１において選択されたディレクトリに保存される複数の観察画像Ｉの一覧を表示する画像一覧表示部６２を有する。また、画面Ｓａ１は、リプレイで実行する内容を示す実行内容表示部６４を有する。実行内容表示部６４では、リプレイで実行される各項目（撮影設定、撮影、解析）を示す項目表示部６４１と、ワーク１１のうち当該各項目の実行対象となる観察位置での画像（プレビュー）を示すプレビュー表示部６４２とを有する。また、画面Ｓａ１は、ユーザーによる操作を受け付けるボタンが設けられたボタン操作部６５を有する。

ステップＳ２０１では、かかる画面Ｓａ１の画像一覧表示部６２に、記憶部９５に保存された複数の観察画像Ｉの一覧が表示される。また、ステップＳ２０２では、検索タブが選択された状態において、ディレクトリ情報表示部６１が操作されたことに応じて、画像検索部９３９がディレクトリ情報表示部６１で指定された検索条件に応じた観察画像Ｉを、記憶部９５から検索する（検索処理）。画像検索部９３９は、観察画像Ｉを撮像した時刻、観察画像Ｉを撮像した際の照明設定、観察画像Ｉに対して実行した画像処理の内容や結果等を検索条件として受け付ける。検索処理の実行によって、画像一覧表示部６２では、検索条件に該当する観察画像Ｉが表示される。

ステップＳ２０３では、再現制御部９３７は、画像一覧表示部６２に表示された検索条件に該当する観察画像Ｉのうちから一の観察画像Ｉをリプレイ対象として選択する選択操作を操作受付部９４２が受け付けたかを判定する。操作受付部９４２が選択操作を受け付けていない場合（ステップＳ２０３で「ＮＯ」の場合）には、ステップＳ２０２の検索処理に戻る。一方、操作受付部９４２が選択操作を受け付けた場合（ステップＳ２０３で「ＹＥＳ」の場合）には、再現制御部９３７は、リプレイ対象として選択された一の観察画像Ｉに紐づけられた設定データＤｃを、読込部９４５が記憶部９５から読み出す（ステップＳ２０４）。

ステップ２０５では、当該一の観察画像Ｉに紐づけられた設定データＤｃを、各種の項目に応じて分類する。項目としては、例えば観察画像Ｉの撮像設定、あるいは解析設定等が挙げられる。また、観察画像Ｉの撮像設定としては、上述の照明設定件、観察画像Ｉを撮像する倍率、露光時間、ホワイトバランス、ゲイン、ハレーション除去、High Dynamic Range、リング状の反射光の除去、Optical
Shadow Effect Modeあるいは照明設定を自動的に最適化するマルチライティング等が例えば挙げられる。画像合成の設定としては、深度合成、３Ｄ合成あるいは画像連結等が挙げられる。解析設定としては、２Ｄ測定あるいは３Ｄ測定、または、金属組織解析などが挙げられる。また、解析設定として、金属組織解析の種類に応じたレポートフォーマットが含まれ、観察画像Ｉに紐づけられていてもよい。そして、ステップＳ２０６では、再現制御部９３７は、ステップＳ２０５での分類結果に基づき、設定データＤｃに含まれる項目（撮影設定、撮影、解析）を画面Ｓａ１の項目表示部６４１に表示する（ステップＳ２０６）。

ステップＳ２０７では、再現制御部９３７は、リプレイをスキャン撮像によって実行するか否かを判定する。つまり、リプレイの実行態様としては、スキャン撮像および離散撮像が設けられている。スキャン撮像は、ワーク１１に対して観察視野Ｖより広いスキャン範囲Ｒｓを設定して、スキャン範囲Ｒｓ内で観察視野Ｖの位置（すなわち、観察位置Ｐｏ）を変更しつつ観察視野Ｖの撮像を行うことでスキャン範囲Ｒｓの全体を撮像する。離散撮像は、ワーク１１に対して離散的に設定された複数の観察位置Ｐｏのそれぞれに観察視野Ｖを移動させつつ観察視野Ｖの撮像を行うことでワーク１１を部分的に撮像する。これに対して、操作受付部９４２は、操作部９９に入力されたユーザーの操作に応じて、スキャン撮像の実行指令および離散撮像の実行指令の一方を受け付ける。

例えば、ワーク１１が図７に示すように、金属組織で構成された複数の金属サンプル１１１であるとする。この場合、複数の金属サンプル１１１の高さをそろえるために、複数の金属サンプル１１１が粘土等の柔らかい材料の上に保持し、平面板で複数の金属サンプル１１１の上面を押さえられたワーク１１が用いられてもよい複数の金属サンプル１１１が離散的に配列されている場合には、離散撮像の実行指令が入力されて、操作受付部９４２によって受け付けられる（ステップＳ２０７で「ＮＯ」）。ちなみに、ここでは離散撮像の実行対象の例として図７のワーク１１を示した。ただし、例えば、ＩＣ(Integrated Circuit)が有する複数の電極（ピン）を順番に撮像する場合等に離散撮像を用いることもできる。

これに伴って、図９Ｂに示すように、画面Ｓａ１では、観察位置Ｐｏを登録するための観察位置登録部６６１と、登録された観察位置Ｐｏを一覧で表示する観察位置一覧部６６２とが設けられる。観察位置登録部６６１では、登録ボタン６６１Ａおよび移動ボタン６６１Ｂが設けられている。また、ボタン操作部６５では、一括リプレイボタン６５１が設けられる。操作受付部９４２が観察位置登録部６６１の登録ボタン６６１Ａの操作を受け付けると、再現制御部９３７は、現在のステージ２３の位置（Ｘ座標、Ｙ座標）を観察位置Ｐｏとして登録して、当該観察位置Ｐｏを観察位置一覧部６６２の一覧に追加する。なお、観察位置一覧部６６２では、観察位置Ｐｏ（Ｘ、Ｙ）および観察高さ（Ｚ）の他に、倍率や画像処理といった観察設定Ｃｏが示されている。この観察設定Ｃｏは、ステップＳ２０３でリプレイ対象として受け付けられた観察画像Ｉに紐づけられた設定データＤｃに含まれる観察設定Ｃｏである。

ステップＳ２０８では、観察位置特定部９３８は、ステップＳ２０４で読み出された設定データＤｃに含まれる観察位置Ｐｏを、リプレイにおける観察位置Ｐｏに登録するか否かを判定する。つまり、当該設定データＤｃが紐づけられた観察画像Ｉを撮像した際の過去の観察位置Ｐｏを、今回のリプレイでの観察位置Ｐｏに登録するか否かが判定される。操作受付部９４２が受け付けたユーザーの指令に基づき、観察位置特定部９３８が設定データＤｃの観察位置Ｐｏを登録すると判定した場合（ステップＳ２０８で「ＹＥＳ」の場合）には、当該観察位置Ｐｏが観察位置一覧部６６２の一覧に追加されて、ステップＳ２１０に進む。

一方、設定データＤｃの観察位置Ｐｏを登録しない判定した場合（ステップＳ２０８で「ＮＯ」の場合）には、観察位置特定部９３８は、操作受付部９４２が観察位置Ｐｏの登録を受け付けたか否かを判定する（ステップＳ２０９）。上述の通り、観察位置登録部６６１には、登録ボタン６６１Ａが設けられ、登録ボタン６６１Ａの操作を操作受付部９４２が受け付けると、観察位置特定部９３８は、現在のステージ２３の位置（Ｘ座標、Ｙ座標）を観察位置Ｐｏに登録して（ステップＳ２０９で「ＹＥＳ」）、ステップＳ２１０に進む。こうして登録された観察位置Ｐｏは、観察位置一覧部６６２の一覧に追加される。

あるいは、ステップＳ２０９では、図９Ｃに示す画面Ｓａ２によって、ユーザーによって予め設定された複数の設定位置（Ｘ，Ｙ）を観察位置Ｐｏとして登録してもよい。図９Ｃの画面Ｓａ２は、ユーザーによって設定された複数の設定位置（Ｘ，Ｙ）の組み合わせをそれぞれ示す複数のユーザー設定（ユーザー１、ユーザー２、…）を一覧で表示するユーザー設定一覧部７１と、ユーザー設定一覧部７１のうちから選択された一のユーザー設定を示す選択設定表示部７２と、選択された一のユーザー設定に示される複数の設定位置（観察位置）と、当該設定位置に対して過去にリプレイを行った際の観察設定Ｃｏ（撮影設定および解析設定）を示す観察設定表示部７３とを有する。画面Ｓａ２では、呼び出しボタン７４が設けられており、呼び出しボタン７４の操作を操作受付部９４２が受け付けると、表示制御部９４１は、選択中のユーザー設定に対応する観察位置および観察設定Ｃｏを観察設定表示部７３に表示する。また、画面Ｓａ２には、起動時に毎回呼び出すためのチェックボックス７６と、当該チェックボックス７６に対応して設けられたプルダウンメニュー７７とが設けられている。このチェックボックス７６をチェックする操作を操作受付部９４２が受け付けると、画面Ｓａ２の起動の際に、次のようにして観察位置および観察設定Ｃｏが読み出される。つまり、表示制御部９４１は、プルダウンメニュー７７で選択中の番号のユーザー設定に対応する観察位置および観察設定Ｃｏを記憶部９５から読み出して、観察設定表示部７３に表示する。また、画面Ｓａ２では、登録ボタン７８が設けられている。この登録ボタン７８の操作を操作受付部９４２が受け付けると、観察位置特定部９３８は、ユーザー設定一覧部７１のうちから選択中のユーザー設定が示す複数の設定位置（観察位置）のそれぞれを、観察位置Ｐｏに登録して（ステップＳ２０９で「ＹＥＳ」）、ステップＳ２１０に進む。これに伴って、図９Ｂの画面Ｓａ１における観察位置一覧部６６２に、これらの観察位置Ｐｏが追加される。

ちなみに、画面Ｓａ１の観察位置登録部６６１には、ナビゲーション上に位置を表示するためのチェックボックス６６１Ｃが設けられている。このチェックボックス６６１Ｃをチェックする操作を操作受付部９４２が受け付けると、表示制御部９４１は、登録された観察位置Ｐｏ（つまり、観察位置一覧部６６２の一覧に表示される観察位置Ｐｏ）をナビゲーション部６０に表示する。また、移動ボタン６６１Ｂの操作を操作受付部９４２が受け付けると、ステージ駆動制御部９３１は、ステージ２３をＸ方向あるいはＹ方向に所定距離だけ移動させる。もちろん、上述の通り、ジョイスティック９９３の操作に応じて、ステージ２３を移動させることもできる。

また、観察位置一覧部６６２では、削除ボタン６６２Ａおよびクリアボタン６６２Ｂが設けられている。削除ボタン６６２Ａの操作を操作受付部９４２が受け付けると、観察位置特定部９３８は、観察位置一覧部６６２の一覧から選択中の一の観察位置Ｐｏを当該一覧から削除する。また、クリアボタン６６２Ｂの操作を操作受付部９４２が受け付けると、観察位置特定部９３８は、観察位置一覧部６６２の一覧に含まれるすべての観察位置Ｐｏを当該一覧から削除する。

さらに、図９Ｂの画面Ｓａ１では、レンズ退避設定ボタン６６３が設けられている。レンズ退避設定ボタン６６３の操作を操作受付部９４２が受け付けると、ヘッド駆動制御部９３が観察位置Ｐｏのそれぞれの座標間を移動させる際に、Ｚ軸ヘッド駆動部２４ｚによって対物レンズ３３を上方向へ退避させてから観察位置Ｐｏを移動させる。これによって、移動するステージ２３上のワーク１１と対物レンズ３３との干渉を回避することができる。

上記は、図７に示すワーク１１の構成に応じて、ステップＳ２０７で「ＮＯ」と判定された場合のフローである。これに対して、例えばワーク１１が図８Ａに示すように、金属組織で構成された１枚の平板状の金属サンプル１１１である場合には、次のフローが実行されてもよい。つまり、操作受付部９４２がスキャン撮像の実行指令を受け付けると（ステップＳ２０７で「ＹＥＳ」）、観察位置特定部９３８は、図８Ｂに示すように、観察視野Ｖより広いスキャン範囲Ｒｓをワーク１１に対して設定する。このスキャン範囲Ｒｓは、スキャン撮像の実行指令とともに操作受付部９４２によって受け付けられる。さらに、観察位置特定部９３８は、それぞれ観察視野Ｖと同一の外形を有する複数の分割範囲Ｒｄにスキャン範囲Ｒｓを区分し、各分割範囲Ｒｄに対して設定した観察位置Ｐｏを登録して、ステップＳ２１０に進む。これに伴って、図９Ｂの画面Ｓａ１における観察位置一覧部６６２に、これらの観察位置Ｐｏが追加される。

ステップＳ２１０では、観察位置特定部９３８は、全ての観察位置Ｐｏの登録が完了したかを判定する。具体的には、離散撮像が選択された場合（ステップＳ２０７で「ＮＯ」の場合）には、観察位置特定部９３８は、全ての観察位置Ｐｏの登録完了を示す入力を、操作受付部９４２が受け付けたか否かを判定する。当該入力が確認できない場合（ステップＳ２１０で「ＮＯ」の場合）には、ステップＳ２０９に戻り、当該入力が確認できた場合（ステップＳ２１０で「ＹＥＳ」の場合）には、ステップＳ２１１に進む。一方、スキャン撮像が選択された場合（ステップＳ２０７で「ＹＥＳ」の場合）には、各分割範囲Ｒに対する観察位置Ｐｏの登録に伴って全ての観察位置Ｐｏの登録が完了することから（ステップＳ２１０で「ＹＥＳ」）、ステップＳ２１１に進む。

ステップＳ２１１では、再現制御部９３７は一括リプレイを開始するか否かを判定する。具体的には、図９Ｂに示す一括リプレイボタン６５１の操作を操作受付部９４２が受け付けると、再現制御部９３７は一括リプレイを開始すると判定する（ステップＳ２１１で「ＹＥＳ」）。

一括リプレイを開始するとの判定に応じて、表示制御部９４１は、図９Ｄに示す測定点入力部６７（ダイアログ）をディスプレイ９７に表示する。そして、ステップ２１２では、ステージ２３のサンプル支持平面２３１に載置されているワーク１１の形状が測定される。具体的には、図９Ｄに示すように、測定点入力部６７は、互いに異なる３個以上の測定点（ここの例では３個の測定点）をユーザーに入力させる入力欄６７１と、オートフォーカス実行ボタン６７２とを有する。３個の測定点の位置を示すＸ座標およびＹ座標を入力欄６７１に入力する操作と、オートフォーカス実行ボタン６７２を選択する操作とを、操作受付部９４２が受け付けると、再現制御部９３７は、合焦高さ測定部９３５を用いて、これら３個の測定点においてワーク１１の高さを測定する。具体的には、再現制御部９３７は、合焦高さ測定部９３５によって測定した結果に基づき、各測定点におけるワーク１１に対する合焦高さを求める。ステップＳ２１３では、再現制御部９３７は、記憶部９５から読み出したワーク形状情報１３が示す形状、すなわち平面を、ステップＳ２１２で求めた各測定点でのワーク１１の高さにフィッティングすることで、ワーク１１の平面の高さおよび傾きを特定する。具体的には、各測定点の座標（Ｘ，Ｙ，Ｚ）に基づいて回帰平面を特定することで、平面の高さおよび傾きが特定される。なお、ワーク形状情報１３には、ワーク１１の形状が平面であることを示す情報が含まれる。換言すれば、ワーク形状情報１３は、回帰分析で用いるモデルが平面であることを示す情報である。ここで、形状情報１３は、ステップＳ２０４で読み出された一の観察画像Iに紐づけられた設定データＤｃに含まれていてもよい。また、形状情報１３は、予め定められた複数の幾何形状の中からユーザーにより選択されたものや、ユーザーにより選択された三次元形状を示す情報であってもよい。

ステップＳ２１３が完了すると、表示制御部９４１は、図９Ｅに示す一括リプレイ設定画面６８（ダイアログ）を表示する。一括リプレイ設定画面６８は、リプレイの実行結果の保存先を入力するための保存先入力部６８１と、リプレイの実行結果を保存するフォルダ名を入力するフォルダ名入力部６８２と、リプレイの実行結果に含まれる観察画像Ｉのファイル形式を選択するファイル形式選択部６８３とを有する。また、一括リプレイ設定画面６８は、レポート出力の有無を選択するチェックボックス６８４と、レポートのテンプレートファイルが存在するディレクトリを入力するテンプレート入力部６８５と、複数ファイルをまとめたシートのみを出力するか否かを選択するチェックボックス６８６とを有する。さらに、一括リプレイ設定画面６８は、リプレイ開始ボタン６８７を有し、再現制御部９３７は、リプレイ開始ボタン６８７の操作を操作受付部９４２が受け付けると、ステップＳ２１４に進む。なお、レポートのテンプレートファイルとしては、ディレクトリ入力に代えて、ステップＳ２０４で読み出された一の観察画像Ｉに紐づけられたテンプレートファイルが用いられてもよい。

ステップＳ２１４では、再現制御部９３７は、ステージ駆動制御部９３１にＸ軸ステージ駆動部２２ｘおよびＹ軸ステージ駆動部２２ｙを制御させることで、登録された複数の観察位置Ｐｏのうちの一の観察位置Ｐｏに、対物レンズ３３を対向させる。これによって、当該一の観察位置Ｐｏが観察視野Ｖに収まる。また、ステップＳ２１５では、再現制御部９３７は、ヘッド駆動制御部９３２にＺ軸ヘッド駆動部２４ｚを制御させることで、ワーク１１を示す回帰平面の一の観察位置Ｐｏにおける高さに応じた観察高さに、対物レンズ３３を位置させる。これによって、ワーク１１を示す回帰平面に対して合焦する。そして、再現制御部９３７は、観察設定Ｃｏに従ってリプレイを実行する（ステップＳ２１６）。つまり、再現制御部９３７は、ステップＳ２０３においてリプレイ対象として選択された一の観察画像Ｉに紐づけられた観察設定Ｃｏを再現する設定を行って（撮影設定）、観察画像Ｉの撮像を実行し（撮影）、観察画像Ｉに対する金属組織解析を実行する（解析）。この際、表示制御部９４１は、図９Ｆに示す進捗表示部６９を画面Ｓａ１に表示する。この進捗表示部６９は、撮影設定、撮影および解析の各分類項目のうち、実行中の分類項目を他の分類項目と異なる態様（例えば、点滅表示等）によって表示する（ステップＳ２１７）。なお、ヘッド駆動制御部９３２は、ワーク１１を示す回帰平面の一の観察位置Ｐｏにおける高さに応じた観察高さに、対物レンズ３３を位置させた後に観察高さを上下方向に移動させ、オートフォーカスを実行してもよい。回帰平面の情報に基づいて観察高さを移動させるため、オートフォーカスの範囲を絞ることができるため、処理時間を短縮しつつ、合焦位置の精度を向上させることができる。また、ここでは、「解析処理」として金属組織解析の場合を説明したが、これに限られず、２点間の距離や面積、３Ｄ高さ測定などの解析処理であってもよい。

ステップＳ２１８では、再現制御部９３７は、登録された複数の観察位置Ｐｏの全てに対してリプレイを完了したか否かを判定する。そして、リプレイが未実行の観察位置Ｐｏが存在する場合（ステップＳ２１８で「ＮＯ」の場合）には、ステップＳ２１４に戻る。つまり、登録された複数の観察位置Ｐｏの間で一の観察位置Ｐｏを変更しつつ、当該一の観察位置Ｐｏに対するリプレイを実行する。こうして、複数の観察位置Ｐｏに対して一括してリプレイが実行される。

複数の観察位置Ｐｏに対するリプレイ、すなわち一括リプレイが完了すると（ステップＳ２１８で「ＹＥＳ」）、一括リプレイの実行結果であるレポート８０（図９Ｇ）を、保存先入力部６８１およびフォルダ名入力部６８２への入力内容に応じた保存先に出力する（ステップＳ２１９）。このレポート８０は、観察位置Ｐｏでの観察画像Ｉを示す画像データ８１と、当該観察画像Ｉに対するテキストコメント８２とを対応付けて、一括リプレイの対象となった複数の観察位置Ｐｏのそれぞれについて示す。

以上に説明する実施形態では、観察画像Ｉと、当該観察画像Ｉに対応する観察設定Ｃｏと、当該観察画像Ｉに対応する観察位置Ｐｏとが紐づけられて、一括リプレイの開始前に予め記憶部９５に保存されている（図５）。また、一括リプレイの開始前に、当該一括リプレイを実行する対象位置（すなわち、一括リプレイの実行対象となる観察位置Ｐｏ）がステップＳ２０７あるいはＳ２０９において指定される。具体的には、スキャン撮像が選択されると（ステップＳ２０７で「ＹＥＳ」）、スキャン撮像の対象となるワーク１１に対して複数の対象位置が指定される。また、離散撮像が選択されると、ワーク１１に対して複数の対象位置が指定される（ステップＳ２０９）。あるいは、一括リプレイの開始前に、記憶部９５に保存された観察画像Ｉから一の観察画像Ｉの指定が受け付けられると（ステップＳ２０３、Ｓ２０８）、当該一の観察画像Ｉに紐づけて保存された観察位置Ｐｏが指定される。こうして指定された対象位置や観察位置Ｐｏが、すなわち一括リプレイを実行する観察位置Ｐｏとして特定される（ステップＳ２０７～Ｓ２０９）。特に一括リプレイでは、複数の観察位置Ｐｏが特定されて、複数の観察位置Ｐｏのそれぞれに対してリプレイが実行される。このように、対象位置の指定（ステップＳ２０７、Ｓ２０９）あるいは観察画像Ｉの指定（ステップＳ２０３、Ｓ２０８）といった簡便なユーザー操作の受け付けに伴って、一括リプレイでの観察対象となる複数の観察位置Ｐｏが特定される。

続いて、特定された複数の観察位置Ｐｏの各々に対物レンズ３３が相対移動される（ステップＳ２１４）。そして、当該複数の観察位置Ｐｏの各々において、記憶部９５に保存された観察画像Ｉのうちから指定された一の観察画像Ｉに紐づけて保存された観察設定Ｃｏに基づいて固体撮像素子３５により撮像されたワーク１１の観察画像Ｉが取得される（ステップＳ２０３、Ｓ２１６）。つまり、記憶部９５に保存された観察画像Ｉのうちから所望の観察画像Ｉを指定するといった簡便なユーザー操作の受け付けに伴って、複数の観察位置Ｐｏの各々において観察画像Ｉを取得する際の観察設定Ｃｏが指定される（ステップＳ２０３）。しかも、ワーク１１（観察対象物）に対して合焦する合焦状態におけるステージ２３（載置台）に対する対物レンズ３３の観察高さを合焦高さとして測定した結果（ステップＳ２１２の測定結果）とワーク１１の形状情報とに基づいて当該複数の観察位置Ｐｏの各々において対物レンズ３３のステージ２３に対する相対距離（すなわち、観察高さ）が調整される（ステップＳ２１２、Ｓ２１５）。その結果、複数の観察位置Ｐｏの各々においてワーク１１に合焦させつつ観察設定Ｃｏに応じた観察画像Ｉの取得を簡便かつ速やかに実行することが可能となっている。

また、観察位置特定部９３８は、指定された複数の対象位置に基づいて複数の観察位置Ｐｏを特定する（ステップＳ２０７、Ｓ２０９）。これに対して、再現制御部９３７は、観察位置特定部９３８により特定した複数の観察位置Ｐｏの各々において、記憶部９５に保存された観察画像Ｉのうち指定された一の観察画像Ｉに紐づけて保存された観察設定Ｃｏに基づいて固体撮像素子３５により撮像されたワーク１１の観察画像Ｉを取得する（ステップＳ２０３、Ｓ２１４～Ｓ２１６）。かかる構成では、複数の観察位置Ｐｏにおける観察画像Ｉの取得を、共通の観察設定Ｃｏ（ステップＳ２０３でリプレイ対象として受け付けられた一の観察画像Ｉに紐づけられた観察設定Ｃｏ）によって一律に実行することができる。

また、観察位置特定部９３８は、対象位置または対象画像（一の観察画像Ｉ）に紐づけて保存された観察位置Ｐｏを、一括リプレイの対象となる複数の観察位置Ｐｏのうちの一の観察位置Ｐｏとして特定する。この特定を、当該複数の観察位置Ｐｏの各々について実行することで、一括リプレイの対象となる複数の観察位置Ｐｏを特定する（ステップＳ２０７～Ｓ２０９）。かかる構成では、複数の観察位置Ｐｏを特定するにあたって、対象位置または対象画像に紐づけて保存された観察位置Ｐｏがそのまま特定される。したがって、複数の観察位置Ｐｏの特定に要する演算量を抑えることができる。

また、ワーク形状情報１３は、ワーク１１の形状が平面であることを示す情報を含むことができる。再現制御部９３７は、合焦高さ測定部９３５で測定された合焦高さに基づいて算出された高さおよび傾きと形状情報とに基づいて、複数の観察位置Ｐｏの各々でステージ２３と対物レンズ３３の相対距離（観察高さ）を調整するようにＺ軸ヘッド駆動部２４ｚを制御する（ステップＳ２１１、Ｓ２１２、Ｓ２１５）。かかる構成では、複数の観察位置Ｐｏの各々においてワーク１１に対して速やかに合焦させることができる。

また、観察画像Ｉに対して金属組織解析（画像処理）を実行する画像処理部９３６が設けられている。これに対して、観察設定Ｃｏは金属組織解析を含む。そして、再現制御部９３７は、複数の観察位置Ｐｏの各々において取得した観察画像Ｉに対して、記憶部９５に保存された観察画像Ｉのうち指定された観察画像Ｉに紐づけて保存された観察設定Ｃｏに含まれる金属組織解析を画像処理部９３６に実行させる（ステップＳ２１６）。かかる構成では、観察位置Ｐｏでの観察画像Ｉの取得および当該観察画像Ｉへの画像処理の実行を、複数の観察位置Ｐｏに対して一括して実行することができる。

また、ワーク１１は金属組織を含み、画像処理は、観察画像Ｉが示す金属組織の粒度を分類する金属組織解析であってもよい。かかる構成では、観察位置Ｐｏにおける金属組織の粒度の分類を、複数の観察位置Ｐｏに対して一括して実行することができる。なお、金属組織解析としては、酸化物化合物や硫化物化合物などの非金属介在物を抽出し、計測・分類を行うものや、黒鉛の球状化率を算出する解析ものであってもよい。

図１０はリプレイ制御の第２例を示すフローチャートであり、図１１Ａ～図１１Ｂはリプレイ制御のためにディスプレイに表示される画面を模式的に示す図である。図１０のリプレイ制御は、再現制御部９３７の制御に基づき実行される。なお、図１０における「Ｎ：Ｎ」は、リプレイ対象として選択されたＮ個の観察画像Ｉに紐づけられた観察設定Ｃｏに基づく観察を、Ｎ個（Ｎは複数）の観察位置（Ｘ，Ｙ）に対して実行（リプレイ）することを示す。ここでは、図６の第１例との異なる部分を中心に説明することとし、図６の第１例と共通する部分については相当符号を付して説明を省略する。

図１０の第２例では、ステップＳ２０１において、表示制御部９４１は、図１１Ａの画面Ｓａ１をディスプレイ９７に表示する。この画面Ｓａ１では、リプレイ対象受付画面６２１が設けられている。このリプレイ対象受付画面６２１は、画像一覧表示部６２に表示される観察画像Ｉのうちからリプレイ対象に選択された観察画像Ｉを表示する。具体的には、図１０のステップＳ２０３では、再現制御部９３７は、画像一覧表示部６２からリプレイ対象受付画面６２１に観察画像Ｉをドラッグ・アンド・ドロップする操作を操作受付部９４２が受け付けたかを判定する。そして、ドラッグ・アンド・ドロップの操作が確認されると（ステップＳ２０３で「ＹＥＳ」）、再現制御部９３７は、当該操作の対象となった観察画像Ｉがリプレイ対象に選択されたと判定して、リプレイ対象として選択された一の観察画像Ｉに紐づけられた設定データＤｃを、読込部９４５が記憶部９５から読み出す（ステップＳ２０４）。

特に図１０の第２例では。リプレイ対象の選択が複数（Ｎ個）の観察画像Ｉに対して実行される。つまり、リプレイ対象として選択済みの観察画像Ｉでリプレイすることを示す操作を操作受付部９４２が受け付けるまで（ステップＳ３０１で「ＹＥＳ」）、再現制御部９３７は、ステップＳ２０２～Ｓ２０６、Ｓ３０１を繰り返す。

ステップＳ３０１で「ＹＥＳ」となると、再現制御部９３７は、選択された複数の観察画像Ｉの各々について、当該観察画像Ｉに紐づけられた観察位置Ｐｏ（Ｘ，Ｙ）で、当該観察画像Ｉに紐づけられた観察設定Ｃｏに従ったリプレイを実行すると判定する。これに対応して、観察位置特定部９３８は、選択された複数の観察画像Ｉにそれぞれ対応する複数の観察位置Ｐｏが指定されたと判定する。また、表示制御部９４１は、図１１Ｂの画面Ｓａ１に示すように、選択された複数の観察画像Ｉそれぞれの観察位置Ｐｏと観察設定Ｃｏとを観察位置一覧部６６２に一覧で表示する。この観察位置一覧部６６２では、編集ボタン６６２Ｃおよび移動ボタン６６２Ｄが設けられている。編集ボタン６６２Ｃの操作を操作受付部９４２が受け付けると、観察位置特定部９３８は、観察位置一覧部６６２に表示される観察位置Ｐｏの編集を受け付ける（ステップＳ３０２で「ＹＥＳ」）。つまり、ステップＳ３０３において、観察位置特定部９３８は、操作受付部９４２が受け付ける操作に応じて、観察位置一覧部６６２に表示された観察位置ＰｏのＸ座標およびＹ座標を編集する。そして、ステップＳ２１１に進む。一方、観察位置Ｐｏの編集を行はない場合（ステップＳ３０２で「ＮＯ」の場合）には、ステップＳ２１１に進む。

こうして、観察位置一覧部６６２における観察画像Ｉの指定および座標の編集に基づき、観察位置特定部９３８は一括リプレイの対象となる複数の観察位置Ｐｏを特定する。そして、ステップＳ２１１で一括リプレイを開始すると判定されると、当該観察位置Ｐｏに対して一括リプレイが実行される。ただし、ステップＳ２１６では、リプレイの実行対象となる観察位置Ｐｏに紐づけられた観察画像Ｉに紐づけられた観察設定Ｃｏに従って、リプレイが実行される。換言すれば、複数の観察位置Ｐｏのそれぞれに対して個別に観察設定Ｃｏが設定されて、当該観察設定Ｃｏに従ってリプレイが実行される点で、図６の第１例と異なる。

このように、観察位置特定部９３８は、ステップＳ２０３、Ｓ３０１によって指定された複数の観察画像Ｉに基づいて、一括リプレイの対象となる複数の観察位置Ｐｏを特定する。また、再現制御部９３７は、観察位置特定部９３８により特定された複数の観察位置Ｐｏの各々において、記憶部９５に保存された観察画像Ｉのうち当該観察位置Ｐｏに対応する指定された一の観察画像Ｉに紐づけて保存された観察設定Ｃｏに基づいて固体撮像素子３５により撮像されたワーク１１の観察画像Ｉを取得するように画像取得部９３４を制御する（ステップＳ２１６）。かかる構成では、複数の観察位置Ｐｏにおける観察画像Ｉの取得を、各観察位置Ｐｏに応じた観察設定Ｃｏによって実行することができる。

以上に説明するように本実施形態では、ステージ２３が本発明の「載置台」の一例に相当し、ワーク１１が本発明の「ワーク１１」の一例に相当し、対物レンズ３３が本発明の「レンズ」の一例に相当し、固体撮像素子３５が本発明の「撮像素子」の一例に相当し、観察位置Ｐｏが本発明の「観察位置」の一例に相当し、Ｘ軸ステージ駆動部２２ｘおよびＹ軸ステージ駆動部２２ｙが本発明の「第１移動部」の一例に相当し、Ｚ軸ヘッド駆動部２４ｚが本発明の「第２移動部」の一例に相当し、合焦高さ測定部９３５が本発明の「測定手段」の一例に相当し、画像取得部９３４が本発明の「画像取得部」の一例に相当し、観察画像Ｉが本発明の「観察画像」の一例に相当し、観察設定Ｃｏが本発明の「観察設定」の一例に相当し、記憶部９５が本発明の「記憶部」の一例に相当し、観察位置特定部９３８が本発明の「特定部」の一例に相当し、再現制御部９３７が本発明の「再現制御部」の一例に相当し、拡大観察装置１が本発明の「拡大観察装置」の一例に相当し、ワーク形状情報１３が本発明の「形状情報」の一例に相当し、画像処理部９３６が本発明の「画像処理部」の一例に相当し、演算部９３が本発明の「コンピューター」の一例に相当し、拡大観察プログラム１２が本発明の「拡大観察プログラム」の一例に相当する。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、記憶部９５に保存される観察画像Ｉが取得された際のワーク１１の位置と、一括リプレイの対象となるワーク１１の位置とが、Ｘ方向、Ｙ方向あるいはθ方向（回転方向）にずれる場合がある。このような場合に対応するために、観察位置特定部９３８にオフセット調整機能を持たせてもよい。

図１２はオフセットを調整するための画面の一例を模式的に示す図である。つまり、表示制御部９４１は、図１２のオフセット調整画面８３をディスプレイ９７に表示する。オフセット調整画面８３は、現在のＸ座標を表示するＸ座標表示部８４１と、現在のＹ座標を表示するＹ座標表示部８４２と、１点目指定部８５と、２点目指定部８６と、ボタン操作部８７とを有する。

Ｘ座標表示部８４１では、現在のステージ２３のＸ座標が示され、Ｙ座標表示部８４２では、現在のステージ２３のＹ座標が示される。したがって、操作受付部９４２が受け付けたジョイスティック９９３の操作に応じて、ステージ２３がＸ方向およびＹ方向に移動されると、Ｘ座標表示部８４１およびＹ座標表示部８４２の表示内容が変更される。

１点目指定部８５は、更新ボタン８５１と、Ｘ座標設定部８５２と、Ｙ座標設定部８５３と、画像表示部８５４とを有する。操作受付部９４２が更新ボタン８５１の操作を受け付けると、観察位置特定部９３８は、現在のステージ２３のＸ座標およびＹ座標が１点目のＸ座標およびＹ座標に指定されたと判定して、これらをＸ座標設定部８５２およびＹ座標設定部８５３に設定する。また、画像表示部８５４では、Ｘ座標設定部８５２およびＹ座標設定部８５３に設定された位置（Ｘ，Ｙ）を固体撮像素子３５により撮像した画像が表示される。

２点目指定部８６は、更新ボタン８６１と、Ｘ座標設定部８６２と、Ｙ座標設定部８６３と、画像表示部８６４とを有する。操作受付部９４２が更新ボタン８６１の操作を受け付けると、観察位置特定部９３８は、現在のステージ２３のＸ座標およびＹ座標が２点目のＸ座標およびＹ座標に指定されたと判定して、これらをＸ座標設定部８６２およびＹ座標設定部８６３に設定する。また、画像表示部８６４では、Ｘ座標設定部８６２およびＹ座標設定部８６３に設定された位置（Ｘ，Ｙ）を固体撮像素子３５により撮像した画像が表示される。

そして、ボタン操作部８７のＯＫボタン８７１の操作を操作受付部９４２が受け付けると、観察位置特定部９３８は、更新前の１点目および２点目の座標が、更新後の１点目および２点目の座標に合致するように座標を補正する。具体的には、更新前後の１点目または２点目の座標に基づくＸＹ方向のオフセット、１点目または２点目を起点とした回転補正、１点目と２点目の間の距離の拡縮とを行う。

また、ワーク形状情報１３が示すワーク１１の形状は、平面に限られず、例えばワーク１１の三次元形状でもよい。図１３はワークの三次元形状をワーク形状情報が示す場合の制御を模式的に示す図である。図１３の「ワーク形状情報１３」の欄に示されるように、ワーク形状情報１３は、ワーク１１に対して設定された基準平面１３１と、基準平面１３１から突出した構造物１３２（例えば、ＩＣ等の電子部品）の高さとを示す。かかるワーク形状情報１３は、モデルとなるワーク１１の三次元形状を実際に測定した結果であってもよいし、ワーク１１の三次元形状を示すＣＡＤ(Computer-Aided Design)データであってもよい。

そして、図６あるいは図１０のリプレイ制御では、ステップＳ２１１において、３個以上の測定点Ｍにおけるワーク１１の高さが計測される。また、ステップＳ２１２では、３個の測定点Ｍに対して、ワーク形状情報１３が示す基準平面１３１がフィッティングされる。これによって、ワーク１１の高さおよび傾きが特定される。

また、上記の例では、観察位置特定部９３８は、指定された観察位置Ｐｏ（対象位置）あるいは指定された観察画像Ｉ（対象画像）に紐づけられた観察位置Ｐｏをそのまま、一括リプレイの実行対象となる観察位置Ｐｏとして特定していた。しかしながら、ステップＳ２１２で特定されたワーク１１の高さおよび傾きに応じて、観察位置Ｐｏを補正した位置を、一括リプレイの実行対象となる観察位置Ｐｏとして特定することもできる。

図１４は観察位置の特定方法の変形例を模式的に示す図である。この変形例では、記憶部９５は、観察画像Ｉを撮像した際のワーク１１を示す平面の高さおよび傾きを示す平面特定情報を、観察画像Ｉに紐づけて保存している。図６あるいは図１０のリプレイ制御においては、ステップＳ２０３でリプレイ対象として観察画像Ｉが選択されると、観察位置特定部９３８は、当該観察画像Ｉに紐づけられた平面特定情報を記憶部９５から読み出す。さらに、上述と同様にステップＳ２１１、Ｓ２１２が実行されて、一括リプレイの実行対象となるワーク１１を示す平面ＰＬ２の高さおよび傾きが特定される。

そして、この平面ＰＬ２と、平面特定情報が示す平面ＰＬ１とが対比される。具体的には、観察位置特定部９３８は、平面ＰＬ１および平面ＰＬ２それぞれの基準位置Ｐｒを一致させる。かかる基準位置としては、例えばワーク１１の端を選択できる。あるいは、ワーク１１が半導体ウェハである場合には、オリフラやノッチの位置を基準位置に選択してもよい。なお、基準位置Ｐｒを定めることが難しいような場合には、基準位置Ｐｒの一致を省略しても構わない。続いて、観察位置特定部９３８は、平面特定情報ＰＬ１上の観察位置Ｐｏ（Ｘｓ，Ｙｓ，Ｚｓ）に対応する平面ＰＬ２上の位置を、一括リプレイを実行する観察位置Ｐｏ（Ｘｉ，Ｙｉ，Ｚｉ）として特定する。

かかる変形例では、観察位置特定部９３８は、対象位置または対象画像に紐づけて保存された観察位置Ｐｏを、合焦高さ測定部９３５で測定された合焦高さ（ステップＳ１１１）とワーク１１のワーク形状情報１３とに基づいて補正した位置を、一括リプレイの実行対象となる複数の観察位置Ｐｏのうちの一の観察位置Ｐｏとする特定を複数の観察位置Ｐｏの各々について実行することで、複数の観察位置Ｐｏを特定する。かかる構成では、ワーク１１の高さおよび傾きに応じて、観察位置Ｐｏを高精度に特定することができる。

また、一括リプレイにおいて観察位置Ｐｏに対して実行する撮像や画像処理を適宜変更できる。例えば、観察位置Ｐｏにおいて対物レンズ３３の高さを変更しつつ複数の観察画像Ｉを撮像して、当該複数の観察画像Ｉそれぞれの合焦した部分を合成する深度合成（画像処理）を実行してもよい。

また、観察設定Ｃｏに含まれる内容の具体例は種々想定される。具体的には、
・深度合成を実行する際の設定（Ｚ方向に高さを変更する対物レンズ３３の下限および上限等）
・対物レンズ３３の倍率（倍率の変更は、上記のリボルバー式あるいはズーム式いずれでもよい）
・測定内容（金属組織解析・深度合成・基準平面からの構造物の高さ測定、傷検出等）
・複数の観察位置Ｐｏを順番に観察する順序（経路順序）
・レンズの種類（倒立レンズ・正立レンズ）
等が想定できる。

また、ステップＳ２１２では、３個の測定点がユーザーの操作部９９への操作を操作受付部９４２が受け付けた結果に基づき設定されている。しかしながら、再現制御部９３７が次のような演算によって３個の測定点を算出してもよい。具体的には、ステップＳ２０７～Ｓ２１０によって指定された複数の位置座標を包含する凸多角形が求められる。そして、凸多角形の頂点から面積が最大の三角形を形成する３点が、３個の測定点に選択される。

さらに、リプレイの実行対象となるワーク１１の種類も種々想定できる。例えば、半導体ウェハを対象として、当該半導体ウェハに形成されたパターンの検査をリプレイするように構成することができる。例えば深度合成によって得られた画像の断面をディスプレイ９７に表示して、パターンの倒壊等の有無を検査できるようにすることができる。かかるリプレイは、スキャン撮像によって行ってもよいし、パターン検査の対象位置を離散的に複数指定して離散撮像によって行ってもよい。さらに、半導体ウェハのパターン検査の具体的内容についても種々の変更が可能であり、パターンの平面度が適正であるかを測定してもよい。

あるいは、基板に複数のベアチップを実装したワーク１１に対して、各ベアチップの検査をリプレイするように構成することができる。かかるワークに対しても、スキャン撮像および離散撮像のいずれによってもリプレイを実行できる。また、離散撮像を行う場合には、各ベアチップに対して対象位置を指定して、複数のベアチップに対応する複数の観察位置Ｐｏに対してリプレイを実行することができる。

この発明は、観察対象物を拡大して観察する拡大観察技術の全般に適用可能である。

２３…ステージ
１１…ワーク
３３…対物レンズ（レンズ）
３５…固体撮像素子（撮像素子）
Ｐｏ…観察位置
２２ｘ…Ｘ軸ステージ駆動部（第１移動部）
２２ｙ…Ｙ軸ステージ駆動部（第１移動部）
２４ｚ…Ｚ軸ヘッド駆動部（第２移動部）
９３５…合焦高さ測定部（測定手段）
９３４…画像取得部
Ｉ…観察画像
Ｃｏ…観察設定
９５…記憶部
９３８…観察位置特定部（特定部）
９３７…再現制御部
１…拡大観察装置
１３…ワーク形状情報（形状情報）
９３６…画像処理部
９３…演算部（コンピューター）
１２…拡大観察プログラム

Claims (11)

1. 載置台と、
   前記載置台に載置された観察対象物を結像するレンズと、
   前記レンズによって結像された観察対象物を撮像する撮像素子と、
   観察位置を変更させるために、前記載置台と前記レンズとの相対位置を変更する第１移動部と、
   観察高さを変更させるために、前記載置台に対する前記レンズの相対距離を変更する第２移動部と、
   前記撮像素子が撮像する観察対象物に対して合焦する合焦状態における前記載置台に対する前記レンズの観察高さを合焦高さとして測定する測定手段と、
   観察設定に基づいて前記撮像素子により撮像された観察対象物の観察画像を取得する画像取得部と、
   前記画像取得部により取得された観察画像と、当該観察画像に対応する観察設定と、当該観察画像に対応する観察位置とを紐づけて保存する記憶部と、
   対象位置の指定または前記記憶部に保存された観察画像から対象画像の指定を受け付けて、当該対象位置または当該対象画像に紐づけて保存された観察位置に基づいて複数の観察位置を特定する特定部と、
   前記特定部により特定した複数の観察位置の各々に前記撮像素子の視野を相対移動させるよう前記第１移動部を制御するとともに、前記測定手段で測定された合焦高さと観察対象物の形状情報とに基づいて当該複数の観察位置の各々において相対距離を調整するように前記第２移動部を制御して、当該複数の観察位置の各々において、前記記憶部に保存された観察画像のうち指定された観察画像に紐づけて保存された観察設定に基づいて、前記撮像素子により撮像された観察対象物の観察画像を取得するように前記画像取得部を制御する再現制御部と、
   を備える拡大観察装置。
2. 前記特定部は、指定された複数の対象位置に基づいて複数の観察位置を特定し、
   前記再現制御部は、前記特定部により特定した複数の観察位置の各々において、前記記憶部に保存された観察画像のうち指定された一の観察画像に紐づけて保存された観察設定に基づいて、前記撮像素子により撮像された観察対象物の観察画像を取得するように前記画像取得部を制御する請求項１に記載の拡大観察装置。
3. 前記特定部は、指定された複数の対象画像に基づいて複数の観察位置を特定し、
   前記再現制御部は、前記特定部により特定した複数の観察位置の各々において、前記記憶部に保存された観察画像のうち当該観察位置に対応する指定された一の観察画像に紐づけて保存された観察設定に基づいて、前記撮像素子により撮像された観察対象物の観察画像を取得するように前記画像取得部を制御する請求項１に記載の拡大観察装置。
4. 前記特定部は、前記対象位置または前記対象画像に紐づけて保存された観察位置を、複数の観察位置のうちの一の観察位置とする特定を、当該複数の観察位置の各々について実行することで、複数の観察位置を特定する請求項１に記載の拡大観察装置。
5. 前記特定部は、前記対象位置または前記対象画像に紐づけて保存された観察位置を、前記測定手段で測定された合焦高さと観察対象物の形状情報とに基づいて補正した位置を、複数の観察位置のうちの一の観察位置とする特定を複数の観察位置の各々について実行することで、複数の観察位置を特定する請求項１に記載の拡大観察装置。
6. 前記形状情報は、前記観察対象物の形状が平面であることを示す情報を含み、
   前記再現制御部は、前記測定手段で測定された合焦高さに基づき高さおよび傾きが算出された平面における、複数の観察位置の各々での高さに応じて前記相対距離を調整するように前記第２移動部を制御する請求項１ないし５のいずれか一項に記載の拡大観察装置。
7. 観察画像に対して解析処理を実行する解析処理部をさらに備え、
   観察設定には、解析設定が含まれ、
   前記再現制御部は、複数の観察位置の各々において取得した観察画像に対して、前記記憶部に保存された観察画像のうち指定された観察画像に紐づけて保存された観察設定に含まれる解析設定に基づいて前記解析処理部に解析処理を実行させる請求項１に記載の拡大観察装置。
8. 前記解析設定として、金属組織解析を実行するための設定が含まれ、
   前記解析処理部は、前記解析設定に含まれる設定に基づいて、金属組織解析を実行する請求項７に記載の拡大観察装置。
9. 観察画像と、当該観察画像に対応する観察設定と、当該観察画像に対応する観察位置とを紐づけて保存された観察画像の中から指定された対象画像または指定された対象位置に基づいて複数の観察位置を特定する工程と、
   特定された複数の観察位置の各々に、載置台に載置された観察対象物を結像するレンズを相対移動させるとともに、前記レンズによって結像された観察対象物を撮像する撮像素子が撮像する観察対象物に対して合焦する合焦状態における前記載置台に対する前記レンズの観察高さを合焦高さとして測定した結果と観察対象物の形状情報とに基づいて当該複数の観察位置の各々において前記レンズの前記載置台に対する相対距離を調整して、当該複数の観察位置の各々において、記憶部に保存された観察画像のうち指定された観察画像に紐づけて保存された観察設定に基づいて前記撮像素子により撮像された観察対象物の観察画像を取得する工程と、
   を備える拡大観察方法。
10. 観察画像と、当該観察画像に対応する観察設定と、当該観察画像に対応する観察位置とを紐づけて保存された観察画像の中から指定された対象画像または指定された対象位置に基づいて複数の観察位置を特定する工程と、
    特定された複数の観察位置の各々に、載置台に載置された観察対象物を結像するレンズを相対移動させるとともに、前記レンズによって結像された観察対象物を撮像する撮像素子が撮像する観察対象物に対して合焦する合焦状態における前記載置台に対する前記レンズの観察高さを合焦高さとして測定した結果と観察対象物の形状情報とに基づいて当該複数の観察位置の各々において前記レンズの前記載置台に対する相対距離を調整して、当該複数の観察位置の各々において、記憶部に保存された観察画像のうち指定された観察画像に紐づけて保存された観察設定に基づいて前記撮像素子により撮像された観察対象物の観察画像を取得する工程と、
    をコンピューターに実行させる拡大観察プログラム。
11. 請求項１０に記載の拡大観察プログラムをコンピューターにより読み出し可能に記憶する記録媒体。
    
    

Images