JP2024063550A - 顕微ラマン装置 - Google Patents

Abstract

【課題】第１レーザ光源及び第２レーザ光源のうちの１つをオフ状態とすることなく第１レーザ光源及び第２レーザ光源のうちの１つからのレーザ光を遮光することが可能であるとともに装置を小型化しながらレーザ光の強度の細かい調整が可能な顕微ラマン装置を提供する。
【解決手段】顕微ラマン装置は、第１レーザ光源と、第２レーザ光源と、第１ホルダと、第２ホルダと、第１ＮＤフィルタと、第２ＮＤフィルタとを備える。第１レーザ光源及び第２レーザ光源は、それぞれ第１波長の第１レーザ光及び第２波長の第２レーザ光を発生させる。第２波長は、第１波長と異なる。第１レーザ光及び第２レーザ光は、第１方向において互いに離間された状態で第１方向に直交する第２方向に沿って進む。第１ホルダ及び第２ホルダは、第２方向において重ねて配置されている。
【選択図】図２

Description

本開示は、顕微ラマン装置に関する。

例えば、特開平１０－９００６４号公報（特許文献１）には、顕微ラマン装置が記載されている。特許文献１に記載の顕微ラマン装置は、励起用レーザと、分光器と、検出器とを有している。特許文献１に記載の顕微ラマン装置では、励起用レーザからのレーザ光がサンプルに照射されることにより、サンプルからラマン散乱光が発生する。このラマン散乱光は分光器において分散され、分散されたラマン散乱光の強度分布が検出器において検出される。

特開平１０－９００６４号公報

顕微ラマン装置は、励起用レーザとして、複数のレーザ光源（第１レーザ光源及び第２レーザ光源とする）を有していることがある。顕微ラマン装置が第１レーザ光源及び第２レーザ光源を有している場合、シャッタを用いて第１レーザ光源及び第２レーザ光源のうちの１つからのレーザ光をサンプルに照射されないように遮光する又は第１レーザ光源及び第２レーザ光源のうちの１つをオフ状態とする必要がある。

第１レーザ光源及び第２レーザ光源のうちの１つからのレーザ光を遮光するためにシャッタを用いる場合、顕微ラマン装置が大型化してしまう。第１レーザ光源及び第２レーザ光源のうちの１つをオフ状態とする場合、オフ状態とした第１レーザ光源及び第２レーザ光源のうちの１つを再びオン状態にする際に、出力が安定化するまでに時間を要する。

また、顕微ラマン装置では、サンプルに照射されるレーザ光の強度を細かく調整する必要がある。そのためには、多数枚のＮＤフィルタが必要になり、顕微ラマン装置が大型化してしまう。

本開示の顕微ラマン装置は、上記のような点に鑑みてなされたものである。より具体的には、第１レーザ光源及び第２レーザ光源のうちの１つをオフ状態とすることなく第１レーザ光源及び第２レーザ光源のうちの１つからのレーザ光を遮光することが可能であるとともに装置を小型化しながらレーザ光の強度の細かい調整が可能な顕微ラマン装置を提供するものである。

本開示の顕微ラマン装置は、第１レーザ光源と、第２レーザ光源と、第１ホルダと、第２ホルダと、第１ＮＤフィルタと、第２ＮＤフィルタとを備える。第１レーザ光源及び第２レーザ光源は、それぞれ第１波長の第１レーザ光及び第２波長の第２レーザ光を発生させる。第２波長は、第１波長と異なる。第１レーザ光及び第２レーザ光は、第１方向において互いに離間された状態で第１方向に直交する第２方向に沿って進む。第１ホルダ及び第２ホルダは、第２方向において重ねて配置されている。第１ホルダは、第２方向に平行な第１回転軸回りに回転可能である。第２ホルダは、第２方向に平行な第２回転軸回りに回転可能である。第１ホルダには、第１ホルダを第２方向に貫通している第１貫通穴、第２貫通穴、第３貫通穴及び第４貫通穴が形成されている。第１貫通穴及び第２貫通穴は、第２方向に沿って見た際に、第１回転軸を中心とし、半径が第１回転軸と第１レーザ光との間の距離に等しい円弧上にある。第３貫通穴及び第４貫通穴は、第２方向に沿って見た際に、第１回転軸を中心とし、半径が第１回転軸と第２レーザ光との間の距離に等しい円弧上にある。第２貫通穴と第４貫通穴との間の距離は、第２貫通穴と第３貫通穴の間の距離よりも小さい。第１貫通穴及び第２貫通穴のいずれかが第１レーザ光と重なるように第１ホルダが第１回転軸回りに回転される際、第３貫通穴及び第４貫通穴のいずれもが第２レーザ光からずれている。第３貫通穴及び第４貫通穴のいずれかが第２レーザ光と重なるように第１ホルダが第１回転軸回りに回転される際、第１貫通穴及び第２貫通穴のいずれもが第１レーザ光からずれている。第２ホルダには、第２ホルダを第２方向に貫通している第５貫通穴、第６貫通穴、第７貫通穴及び第８貫通穴が形成されている。第５貫通穴及び第６貫通穴は、第２方向に沿って見た際に、第２回転軸を中心とし、半径が第２回転軸と第１レーザ光との間の距離に等しい円弧上にある。第７貫通穴及び第８貫通穴は、第２方向に沿って見た際に、第２回転軸を中心とし、半径が第２回転軸と第２レーザ光との間の距離に等しい円弧上にある。第６貫通穴と第８貫通穴との間の距離は、第６貫通穴と第７貫通穴の間の距離よりも小さい。第５貫通穴及び第６貫通穴のいずれかが第１レーザ光と重なるように第２ホルダが第２回転軸回りに回転される際、第７貫通穴及び第８貫通穴のいずれもが第２レーザ光からずれている。第７貫通穴及び第８貫通穴のいずれかが第２レーザ光と重なるように第２ホルダが第２回転軸回りに回転される際、第５貫通穴及び第６貫通穴のいずれもが第１レーザ光からずれている。第１ＮＤフィルタは、第２貫通穴上及び第４貫通穴上に跨るように第１ホルダ上に配置されている。第２ＮＤフィルタは、第６貫通穴上及び第８貫通穴上に跨るように第２ホルダ上に配置されている。

本開示の顕微ラマン装置によると、第１レーザ光源及び第２レーザ光源のうちの１つをオフ状態とすることなく第１レーザ光源及び第２レーザ光源のうちの１つからのレーザ光を遮光することが可能であるとともに装置を小型化しながらレーザ光の強度の細かい調整が可能である。

顕微ラマン装置１００の模式図である。 顕微ラマン装置１００が有する光源調整部２０の模式的な側面図である。 第２方向ＤＲ２に沿って見た顕微ラマン装置１００が有する第１ホルダ２４の平面図である。 第２方向ＤＲ２に沿って見た顕微ラマン装置１００が有する第２ホルダ２５の平面図である。 第２方向に沿って見た変形例に係る顕微ラマン装置１００が有する第１ホルダ２４の平面図である。 第２方向に沿って見た変形例に係る顕微ラマン装置１００が有する第２ホルダ２５の平面図である。 顕微ラマン装置２００の模式図である。 第２方向ＤＲ２に沿って見た顕微ラマン装置２００が有する第１ホルダ２４の平面図である。 第２方向ＤＲ２に沿って見た顕微ラマン装置２００が有する第２ホルダ２５の平面図である。

本開示の実施形態の詳細を、図面を参照しながら説明する。以下の図面では、同一又は相当する部分に同一の参照符号を付し、重複する説明は繰り返さないものとする。

（第１実施形態）
第１実施形態に係る顕微ラマン装置を説明する。第１実施形態に係る顕微ラマン装置を顕微ラマン装置１００とする。

＜顕微ラマン装置１００の構成＞
以下に、顕微ラマン装置１００の構成を説明する。

図１は、顕微ラマン装置１００の模式図である。図１に示されるように、顕微ラマン装置１００は、第１レーザ光源１１と、第２レーザ光源１２と、光源調整部２０と、ロングパスフィルタ４１と、ロングパスフィルタ４２と、ダイクロイックミラー４３と、ダイクロイックミラー４４と、ミラー４５と、対物レンズ４６と、ラマン分光器５０とを有している。

第１レーザ光源１１は、第１レーザ光Ｌ１を発生させる。第２レーザ光源１２は、第２レーザ光Ｌ２を発生させる。光源調整部２０は、第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２のいずれかを通過させる。光源調整部２０を通過する際、第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２のいずれかは、その強度が調整されることがある。光源調整部２０の詳細は、後述するものとする。

光源調整部２０を通過した第１レーザ光Ｌ１は、ロングパスフィルタ４１で反射されるとともに、ダイクロイックミラー４３を通過する。ダイクロイックミラー４３を通過した第１レーザ光Ｌ１は、ミラー４５で反射されるとともに、対物レンズ４６を通過する。これにより、第１レーザ光Ｌ１は、サンプルＳに照射される。第１レーザ光が照射されることにより、サンプルＳからは、第１ラマン光Ｌ３が発生する。

サンプルＳで発生した第１ラマン光Ｌ３は、対物レンズ４６を通過するとともに、ミラー４５で反射される。ミラー４５で反射された第１ラマン光Ｌ３は、ダイクロイックミラー４３及びロングパスフィルタ４１を順次通過する。ロングパスフィルタ４１を通過した第１ラマン光Ｌ３は、ラマン分光器５０に入射する。これにより、第１レーザ光Ｌ１を用いたラマン測定が行われることになる。

光源調整部２０を通過した第２レーザ光Ｌ２は、ロングパスフィルタ４２で反射されるとともに、ダイクロイックミラー４４を通過する。ダイクロイックミラー４４を通過した第２レーザ光Ｌ２は、ミラー４５で反射されるとともに、対物レンズ４６を通過する。これにより、第２レーザ光Ｌ２は、サンプルＳに照射される。第２レーザ光が照射されることにより、サンプルＳからは、第２ラマン光Ｌ４が発生する。

サンプルＳで発生した第２ラマン光Ｌ４は、対物レンズ４６を通過するとともに、ミラー４５で反射される。ミラー４５で反射された第２ラマン光Ｌ４は、ダイクロイックミラー４４及びロングパスフィルタ４２を順次通過する。ロングパスフィルタ４２を通過した第２ラマン光Ｌ４は、ラマン分光器５０に入射する。これにより、第２レーザ光Ｌ２を用いたラマン測定が行われることになる。

図２は、顕微ラマン装置１００が有する光源調整部２０の模式的な側面図である。図２に示されるように、光源調整部２０は、台座２１と、第１軸部材２２と、第２軸部材２３と、第１ホルダ２４と、第２ホルダ２５と、ＮＤフィルタ２６と、ＮＤフィルタ２７とを有している。

第１レーザ光源１１及び第２レーザ光源１２は、第１方向ＤＲ１において間隔を空けて台座２１上に配置されている。第１レーザ光源１１で発生した第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光源１２で発生した第２レーザ光Ｌ２は、第１方向ＤＲ１に直交する第２方向ＤＲ２に沿って進む。すなわち、第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２は、第１方向ＤＲ１において離間している状態で、第２方向ＤＲ２に沿って進む。

第１軸部材２２は、台座２１に取り付けられている。第１軸部材２２は、第２方向ＤＲ２に沿って延在している。第２軸部材２３は、台座２１に取り付けられている。第２軸部材２３は、第２方向ＤＲ２に沿って延在している。

第１ホルダ２４は、第１回転軸Ａ１回りに回転可能に第１軸部材２２に取り付けられている。第１回転軸Ａ１は、第２方向ＤＲ２に平行である。第２ホルダ２５は、第２回転軸Ａ２回りに回転可能に第２軸部材２３に取り付けられている。第２回転軸Ａ２は、第２方向ＤＲ２に平行である。第１回転軸Ａ１と第１レーザ光Ｌ１との間の距離を、距離ＤＩＳ１とする。第１回転軸Ａ１と第２レーザ光Ｌ２との間の距離を、距離ＤＩＳ２とする。第２回転軸Ａ２と第１レーザ光Ｌ１との間の距離を、距離ＤＩＳ３とする。第２回転軸Ａ２と第２レーザ光Ｌ２との間の距離を、距離ＤＩＳ４とする。距離ＤＩＳ２は、距離ＤＩＳ１よりも大きい。距離ＤＩＳ３は、距離ＤＩＳ４よりも大きい。

第１ホルダ２４及び第２ホルダ２５は、第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２を通過させない材料で形成されている。例えば、第１ホルダ２４及び第２ホルダ２５は、金属材料で形成されている。

図３は、第２方向ＤＲ２に沿って見た顕微ラマン装置１００が有する第１ホルダ２４の平面図である。図３に示されるように、第１ホルダ２４の平面形状は、例えば、半円形である。但し、第１ホルダ２４の平面形状は、これに限られるものではない。第１ホルダ２４には、貫通穴２４ａと、貫通穴２４ｂと、貫通穴２４ｃと、貫通穴２４ｄとが形成されている。貫通穴２４ａ、貫通穴２４ｂ、貫通穴２４ｃ及び貫通穴２４ｄは、第１ホルダ２４を第２方向ＤＲ２に沿って貫通している。

第２方向ＤＲ２に沿って見た際に、貫通穴２４ａ及び貫通穴２４ｂは、第１円弧上に配置されている。第１円弧は、第１回転軸Ａ１を中心とし、半径が距離ＤＩＳ１に等しい円弧である。第２方向ＤＲ２に沿って見た際に、貫通穴２４ｃ及び貫通穴２４ｄは、第２円弧上に配置されている。第２円弧は、第１回転軸Ａ１を中心とし、半径が距離ＤＩＳ２に等しい円弧である。貫通穴２４ｂと貫通穴２４ｄとの間の距離は、貫通穴２４ｂと貫通穴２４ｃとの間の距離以下である。

貫通穴２４ｃ及び貫通穴２４ｄは、第１レーザ光Ｌ１が貫通穴２４ａ又は貫通穴２４ｂと重なるように第１ホルダ２４が第１回転軸Ａ１回りに回転される際、第２レーザ光Ｌ２からずれている。貫通穴２４ａ及び貫通穴２４ｂは、第２レーザ光Ｌ２が貫通穴２４ｃ又は貫通穴２４ｄと重なるように第１ホルダ２４が第１回転軸Ａ１回りに回転される際、第１レーザ光Ｌ１からずれている。すなわち、第２方向ＤＲ２に沿って見た際に、貫通穴２４ａ及び貫通穴２４ｂは、貫通穴２４ｃと第１回転軸Ａ１とを結んだ仮想直線上になく、貫通穴２４ｄと第１回転軸Ａ１とを結んだ仮想直線上にもない。

このことを別の観点から言えば、第１レーザ光Ｌ１が貫通穴２４ａ又は貫通穴２４ｂのいずれかと重なるように第１ホルダ２４が第１回転軸Ａ１回りに回転される際には第２レーザ光Ｌ２が第１ホルダ２４で遮られ、第２レーザ光Ｌ２が貫通穴２４ｃ又は貫通穴２４ｄのいずれかと重なるように第１ホルダ２４が第１回転軸Ａ１回りに回転される際には第１レーザ光Ｌ１が第１ホルダ２４で遮られる。

図４は、第２方向ＤＲ２に沿って見た顕微ラマン装置１００が有する第２ホルダ２５の平面図である。図４に示されるように、第２ホルダ２５の平面形状は、例えば、半円形である。但し、第２ホルダ２５の平面形状は、これに限られるものではない。第２ホルダ２５には、貫通穴２５ａと、貫通穴２５ｂと、貫通穴２５ｃと、貫通穴２５ｄとが形成されている。貫通穴２５ａ、貫通穴２５ｂ、貫通穴２５ｃ及び貫通穴２５ｄは、第２ホルダ２５を第２方向ＤＲ２に沿って貫通している。

第２方向ＤＲ２に沿って見た際に、貫通穴２５ａ及び貫通穴２５ｂは、第３円弧上に配置されている。第３円弧は、第２回転軸Ａ２を中心とし、半径が距離ＤＩＳ３に等しい円弧である。第２方向ＤＲ２に沿って見た際に、貫通穴２５ｃ及び貫通穴２５ｄは、第４円弧上に配置されている。第４円弧は、第２回転軸Ａ２を中心とし、半径が距離ＤＩＳ４に等しい円弧である。貫通穴２５ｂと貫通穴２５ｄとの間の距離は、貫通穴２５ｂと貫通穴２５ｃとの間の距離以下である。

貫通穴２５ｃ及び貫通穴２５ｄは、第１レーザ光Ｌ１が貫通穴２５ａ又は貫通穴２５ｂと重なるように第２ホルダ２５が第２回転軸Ａ２回りに回転される際、第２レーザ光Ｌ２からずれている。貫通穴２５ａ及び貫通穴２５ｂは、第２レーザ光Ｌ２が貫通穴２５ｃ又は貫通穴２５ｄと重なるように第２ホルダ２５が第２回転軸Ａ２回りに回転される際、第１レーザ光Ｌ１からずれている。すなわち、第２方向ＤＲ２に沿って見た際に、貫通穴２５ｃ及び貫通穴２５ｄは、貫通穴２５ａと第２回転軸Ａ２とを結んだ仮想直線上になく、貫通穴２５ｂと第２回転軸Ａ２とを結んだ仮想直線上にもない。

このことを別の観点から言えば、第１レーザ光Ｌ１が貫通穴２５ａ又は貫通穴２５ｂのいずれかと重なるように第２ホルダ２５が第２回転軸Ａ２回りに回転される際には第２レーザ光Ｌ２が第２ホルダ２５で遮られ、第２レーザ光Ｌ２が貫通穴２５ｃ又は貫通穴２５ｄのいずれかと重なるように第２ホルダ２５が第２回転軸Ａ２回りに回転される際には第１レーザ光Ｌ１が第２ホルダ２５で遮られる。

図３に示されるように、ＮＤフィルタ２６は、貫通穴２４ｂ上及び貫通穴２４ｄ上に跨るように第１ホルダ２４上に配置されている。図４に示されるように、ＮＤフィルタ２７は、貫通穴２５ｂ及び貫通穴２５ｄ上に跨るように第２ホルダ２５上に配置されている。ＮＤフィルタ２６のＯＤ値は、好ましくは、ＮＤフィルタ２７のＯＤ値と異なっている。なお、ＮＤ（Neutral Density）フィルタとは、通過する光の強度を低下させる光学フィルタである。ＯＤ（Optical Density）値とは、ＮＤフィルタに対する光の通過率を示す値である。ＯＤ値がＸである場合、ＮＤフィルタを通過した後の光の強度をＮＤフィルタを通過する前の光の強度で除した値は、１×１０^－Ｘとなる。

＜顕微ラマン装置１００の効果＞
顕微ラマン装置１００では、貫通穴２４ａ又は貫通穴２４ｂが第１レーザ光Ｌ１に重なるように第１ホルダ２４を第１回転軸Ａ１回りに回転させるとともに貫通穴２５ａ又は貫通穴２５ｂが第１レーザ光Ｌ１に重なるように第２ホルダ２５を第２回転軸Ａ２回りに回転させれば、貫通穴２４ｃ及び貫通穴２４ｄが第２レーザ光Ｌ２からずれるため、第２レーザ光Ｌ２が第１ホルダ２４で遮光される。

同様にして、顕微ラマン装置１００では、貫通穴２４ｃ又は貫通穴２４ｄが第２レーザ光Ｌ２に重なるように第１ホルダ２４を第１回転軸Ａ１回りに回転させるとともに貫通穴２５ｃ又は貫通穴２５ｄが第２レーザ光Ｌ２に重なるように第２ホルダ２５を第２回転軸Ａ２回りに回転させれば、貫通穴２４ａ及び貫通穴２４ｂが第１レーザ光Ｌ１からずれるため、第１レーザ光Ｌ１は、第１ホルダ２４で遮光される。このように、顕微ラマン装置１００では、第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２を選択的に光源調整部２０を通過させるために、第１レーザ光源１１及び第２レーザ光源１２の一方をオフ状態とすること及びシャッタを設けることが不要である。

第１レーザ光Ｌ１は、貫通穴２４ａ及び貫通穴２５ａを順次通過する第１パターンと、貫通穴２４ｂ及び貫通穴２５ａを通過する第２パターンと、貫通穴２４ｂ及び貫通穴２５ｂを通過する第３パターンと、貫通穴２４ｂ及び貫通穴２５ｂを通過する第４パターンとがある。第１パターンでは第１レーザ光Ｌ１が強度の調整を受けることなく光源調整部２０を通過し、第２パターンでは第１レーザ光Ｌ１がＮＤフィルタ２６のみによる強度調整を受けて光源調整部２０を通過する。第３パターンでは第１レーザ光Ｌ１がＮＤフィルタ２７のみによる強度調整を受けて光源調整部２０を通過し、第４パターンでは第１レーザ光Ｌ１がＮＤフィルタ２６及びＮＤフィルタ２７による強度調整を受けて光源調整部２０を通過する。すなわち、顕微ラマン装置１００では、光源調整部２０により第１レーザ光Ｌ１に対する４パターンの強度調整が可能である。

同様にして、顕微ラマン装置１００では、光源調整部２０により第２レーザ光Ｌ２に対する４パターンの強度調整が可能である。このように、顕微ラマン装置１００では、ＮＤフィルタの枚数（２枚）よりも多いパターン数の細かい強度調整を第１レーザ光Ｌ１及び第２レーザ光Ｌ２に対して行いつつ、顕微ラマン装置１００の小型化が可能である。

＜変形例＞
図５は、第２方向に沿って見た変形例に係る顕微ラマン装置１００が有する第１ホルダ２４の平面図である。図５に示されるように、第１ホルダ２４には、貫通穴２４ｅ及び貫通穴２４ｆがさらに形成されていてもよい。貫通穴２４ｅは第１円弧上にあり、貫通穴２４ｆは第２円弧上にある。貫通穴２４ｅが第１レーザ光Ｌ１と重なるように第１ホルダ２４が第１回転軸Ａ１回りに回転される際、貫通穴２４ｂ、貫通穴２４ｄ及び貫通穴２４ｆのいずれもが、第２レーザ光Ｌ２に重ならない。貫通穴２４ｆが第２レーザ光Ｌ２と重なるように第１ホルダ２４が第１回転軸Ａ１回りに回転される際、貫通穴２４ａ、貫通穴２４ｃ及び貫通穴２４ｅのいずれもが、第１レーザ光Ｌ１に重ならない。

なお、この例では、貫通穴２４ｂと貫通穴２４ｄとの間の距離が貫通穴２４ｂと貫通穴２４ｃとの間の距離及び貫通穴２４ｂと貫通穴２４ｆとの間の距離以下であり、貫通穴２４ｅと貫通穴２４ｆとの間の距離が貫通穴２４ｅと貫通穴２４ｃとの間の距離及び貫通穴２４ｅと貫通穴２４ｄとの間の距離以下である。

図６は、第２方向に沿って見た変形例に係る顕微ラマン装置１００が有する第２ホルダ２５の平面図である。図６に示されるように、第２ホルダ２５には、貫通穴２５ｅ及び貫通穴２５ｆがさらに形成されていてもよい。貫通穴２５ｅは第３円弧上にあり、貫通穴２５ｆは第４円弧上にある。貫通穴２５ｅが第１レーザ光Ｌ１と重なるように第２ホルダ２５が第２回転軸Ａ２回りに回転される際、貫通穴２５ｂ、貫通穴２５ｄ及び貫通穴２５ｆのいずれもが、第２レーザ光Ｌ２に重ならない。貫通穴２５ｆが第２レーザ光Ｌ２と重なるように第２ホルダ２５が第２回転軸Ａ２回りに回転される際、貫通穴２５ａ、貫通穴２５ｃ及び貫通穴２５ｅのいずれもが、第１レーザ光Ｌ１に重ならない。

なお、この例では、貫通穴２５ｂと貫通穴２５ｄとの間の距離が貫通穴２５ｂと貫通穴２５ｃとの間の距離及び貫通穴２５ｂと貫通穴２５ｆとの間の距離以下であり、貫通穴２５ｅと貫通穴２５ｆとの間の距離が貫通穴２５ｅと貫通穴２５ｃとの間の距離及び貫通穴２５ｅと貫通穴２５ｄとの間の距離以下である。

光源調整部２０は、ＮＤフィルタ２８と、ＮＤフィルタ２９とをさらに有していてもよい。ＮＤフィルタ２８は、貫通穴２４ｅ上及び貫通穴２４ｆ上に跨るように第１ホルダ２４上に配置されている。ＮＤフィルタ２９は、貫通穴２５ｅ上及び貫通穴２５ｆ上に跨るように第２ホルダ２５上に配置されている。ＮＤフィルタ２８のＯＤ値は、好ましくは、ＮＤフィルタ２６のＯＤ値と異なる。ＮＤフィルタ２９のＯＤ値は、好ましくは、ＮＤフィルタ２７のＯＤ値と異なるとともにＮＤフィルタ２８のＯＤ値と異なる。

ＮＤフィルタ２６のＯＤ値は、ＮＤフィルタ２７のＯＤ値とＮＤフィルタ２８のＯＤ値又はＮＤフィルタ２９のＯＤ値との和と異なっていることが好ましい。ＮＤフィルタ２７のＯＤ値は、ＮＤフィルタ２６のＯＤ値とＮＤフィルタ２８のＯＤ値又はＮＤフィルタ２９のＯＤ値との和と異なっていることが好ましい。ＮＤフィルタ２８のＯＤ値は、ＮＤフィルタ２６のＯＤ値又はＮＤフィルタ２７のＯＤ値とＮＤフィルタ２９のＯＤ値との和と異なっていることが好ましい。ＮＤフィルタ２９のＯＤ値は、ＮＤフィルタ２６のＯＤ値又はＮＤフィルタ２７のＯＤ値とＮＤフィルタ２８のＯＤ値との和と異なっていることが好ましい。

この例では、第１レーザ光Ｌ１の強度を９パターン（強度調整を受けないパターン、ＮＤフィルタ２６のみによる強度調整を受けるパターン、ＮＤフィルタ２７のみによる強度調整を受けるパターン、ＮＤフィルタ２８のみによる強度調整を受けるパターン、ＮＤフィルタ２９のみによる強度調整を受けるパターン、ＮＤフィルタ２６及びＮＤフィルタ２７による強度調整を受けるパターン、ＮＤフィルタ２６及びＮＤフィルタ２９による強度調整を受けるパターン、ＮＤフィルタ２８及びＮＤフィルタ２７による強度調整を受けるパターン、ＮＤフィルタ２８及びＮＤフィルタ２９による強度調整を受けるパターン）に調整可能であり、同様に第２レーザ光Ｌ２のパターンを９パターンに調整可能である。

以上のように、顕微ラマン装置１００では、第１円弧上にある貫通穴（第１貫通穴とする）の数、第２円弧上にある貫通穴（第２貫通穴とする）の数、第３円弧上にある貫通穴（第３貫通穴とする）の数及び第４円弧上にある貫通穴（第４貫通穴とする）の数は、特に限定されるものではない。第１貫通穴の数、第２貫通穴の数、第３貫通穴の数及び第４貫通穴の数をｋ個（ｋは２以上の自然数とする）とすると、第１ホルダ２４上に配置されるＮＤフィルタ（第１ＮＤフィルタとする）の数及び第２ホルダ２５上に配置されるＮＤフィルタ（第２ＮＤフィルタとする）の数は、（ｋ－１）枚とされる。

複数の第１貫通穴のいずれかが第１レーザ光Ｌ１と重なるように第１ホルダ２４を第１回転軸Ａ１回りに回転される際には複数の第２貫通穴のいずれもが第２レーザ光Ｌ２からずれており、複数の第２貫通穴のいずれかが第２レーザ光Ｌ２と重なるように第１ホルダ２４が第１回転軸Ａ１回りに回転される際には複数の第１貫通穴のいずれもが第１レーザ光Ｌ１からずれている。複数の第３貫通穴のいずれかが第１レーザ光Ｌ１と重なるように第２ホルダ２５が第２回転軸Ａ２回りに回転される際には複数の第４貫通穴のいずれもが第２レーザ光Ｌ２からずれており、複数の第４貫通穴のいずれかが第２レーザ光Ｌ２と重なるように第２ホルダ２５が第２回転軸Ａ２回りに回転される際には複数の第３貫通穴のいずれもが第１レーザ光Ｌ１からずれている。

複数の第１ＮＤフィルタの各々は１つの第１貫通穴上及び当該１つの第１貫通穴と最近接の位置にある第２貫通穴上に跨るように第１ホルダ２４上に配置され、複数の第２ＮＤフィルタの各々は１つの第３貫通穴上及び当該１つの第３貫通穴と最近接の位置にある第４貫通穴上に跨るように第２ホルダ２５上に配置される。

（第２実施形態）
第２実施形態に係る顕微ラマン装置を説明する。第２実施形態に係る顕微ラマン装置を顕微ラマン装置２００とする。ここでは顕微ラマン装置１００と異なる点を主に説明し、重複する説明は繰り返さないものとする。

＜顕微ラマン装置２００の構成＞
以下に、顕微ラマン装置２００の構成を説明する。

図７は、顕微ラマン装置２００の模式図である。図７に示されるように、顕微ラマン装置２００は、第１レーザ光源１１と、第２レーザ光源１２と、光源調整部２０と、ロングパスフィルタ４１と、ロングパスフィルタ４２と、ダイクロイックミラー４３と、ダイクロイックミラー４４と、ミラー４５と、対物レンズ４６と、ラマン分光器５０とを有している。この点に関して、顕微ラマン装置２００の構成は、顕微ラマン装置１００の構成と共通している。

図８は、第２方向ＤＲ２に沿って見た顕微ラマン装置２００が有する第１ホルダ２４の平面図である。図８に示されるように、顕微ラマン装置２００では、第１ホルダ２４に、貫通穴２４ｇと貫通穴２４ｈとがさらに形成されている。貫通穴２４ｇは第１円弧上にあり、貫通穴２４ｈは第２円弧上にある。貫通穴２４ｇ及び貫通穴２４ｈは、第２方向ＤＲ２に沿って第１ホルダ２４を貫通している。貫通穴２４ｇが第１レーザ光Ｌ１と重なるように第１ホルダ２４が第１回転軸Ａ１回りに回転された際、貫通穴２４ｈは、第２レーザ光Ｌ２に重なる。すなわち、第２方向ＤＲ２に沿って見た際に、貫通穴２４ｇ、貫通穴２４ｈ及び第１回転軸Ａ１は、同一の仮想直線上にある。

図９は、第２方向ＤＲ２に沿って見た顕微ラマン装置２００が有する第２ホルダ２５の平面図である。図９に示されるように、顕微ラマン装置２００では、第２ホルダ２５に、貫通穴２５ｇと貫通穴２５ｈとがさらに形成されている。貫通穴２５ｇは第３円弧上にあり、貫通穴２５ｈは第４円弧上にある。貫通穴２５ｇ及び貫通穴２５ｈは、第２方向ＤＲ２に沿って第２ホルダ２５を貫通している。貫通穴２５ｇが第１レーザ光Ｌ１と重なるように第２ホルダ２５が第２回転軸Ａ２回りに回転された際、貫通穴２５ｈは、第２レーザ光Ｌ２に重なる。すなわち、第２方向ＤＲ２に沿って見た際に、貫通穴２５ｇ、貫通穴２５ｈ及び第２回転軸Ａ２は、同一の仮想直線上にある。

顕微ラマン装置２００では、光源調整部２０が、ＮＤフィルタ３０と、ＮＤフィルタ３１とをさらに有している。ＮＤフィルタ３０は、貫通穴２４ｇ上及び貫通穴２４ｈ上に跨るように第１ホルダ２４上に配置されている。ＮＤフィルタ３１は、貫通穴２５ｇ及び貫通穴２５ｈ上に跨るように第２ホルダ２５上に配置されている。ＮＤフィルタ３０のＯＤ値は、好ましくは、ＮＤフィルタ２６のＯＤ値と異なる。ＮＤフィルタ３１のＯＤ値は、好ましくは、ＮＤフィルタ２７のＯＤ値と異なるとともにＮＤフィルタ３０のＯＤ値と異なる。

ＮＤフィルタ２６のＯＤ値は、ＮＤフィルタ２７のＯＤ値とＮＤフィルタ３０のＯＤ値又はＮＤフィルタ３１のＯＤ値との和と異なっていることが好ましい。ＮＤフィルタ２７のＯＤ値は、ＮＤフィルタ２６のＯＤ値とＮＤフィルタ３０のＯＤ値又はＮＤフィルタ３１のＯＤ値との和と異なっていることが好ましい。ＮＤフィルタ３０のＯＤ値は、ＮＤフィルタ２６のＯＤ値又はＮＤフィルタ２７のＯＤ値とＮＤフィルタ３１のＯＤ値との和と異なっていることが好ましい。ＮＤフィルタ３１のＯＤ値は、ＮＤフィルタ２６のＯＤ値又はＮＤフィルタ２７のＯＤ値とＮＤフィルタ３０のＯＤ値との和と異なっていることが好ましい。これらの点に関して、顕微ラマン装置２００の構成は、顕微ラマン装置１００の構成と異なっている。

＜顕微ラマン装置２００の効果＞
以下に、顕微ラマン装置２００の効果を説明する。

顕微ラマン装置２００では、第１レーザ光Ｌ１の強度を８パターン（強度調整を受けないパターン、ＮＤフィルタ２６のみによる強度調整を受けるパターン、ＮＤフィルタ２７のみによる強度調整を受けるパターン、ＮＤフィルタ３０のみによる強度調整を受けるパターン、ＮＤフィルタ３１のみによる強度調整を受けるパターン、ＮＤフィルタ２６及びＮＤフィルタ２７による強度調整を受けるパターン、ＮＤフィルタ２６及びＮＤフィルタ３０による強度調整を受けるパターン、ＮＤフィルタ３０及びＮＤフィルタ２７による強度調整を受けるパターン）に調整可能であり、同様に第２レーザ光Ｌ２のパターンを８パターンに調整可能である。

＜変形例＞
顕微ラマン装置２００でも、第１円弧上にある貫通穴（第１貫通穴とする）の数、第２円弧上にある貫通穴（第２貫通穴とする）の数、第３円弧上にある貫通穴（第３貫通穴とする）の数及び第４円弧上にある貫通穴（第４貫通穴とする）の数は、特に限定されるものではない。第１貫通穴の数、第２貫通穴の数、第３貫通穴の数及び第４貫通穴の数をｋ個（ｋは２以上の自然数とする）とすると、第１ホルダ２４上に配置されるＮＤフィルタ（第１ＮＤフィルタとする）の数及び第２ホルダ２５上に配置されるＮＤフィルタ（第２ＮＤフィルタとする）の数は、（ｋ－１）枚とされる。

複数の第１貫通穴の１つを、第５貫通穴とする。複数の第２貫通穴の１つを、第６貫通穴とする。複数の第３貫通穴の１つを、第７貫通穴とする。複数の第４貫通穴の１つを、第８貫通穴とする。第５貫通穴が第１レーザ光Ｌ１と重なるよう第１ホルダ２４が第１回転軸Ａ１回りに回転される際には第６貫通穴が第２レーザ光Ｌ２と重なり、第７貫通穴が第１レーザ光Ｌ１と重なるよう第２ホルダ２５が第２回転軸Ａ２回りに回転される際には第８貫通穴が第２レーザ光Ｌ２と重なる。

第５貫通穴以外の複数の第１貫通穴のいずれかが第１レーザ光Ｌ１と重なるように第１ホルダ２４が第１回転軸Ａ１回りに回転される際には複数の第２貫通穴のいずれもが第２レーザ光Ｌ２からずれており、第６貫通穴以外の複数の第２貫通穴のいずれかが第２レーザ光Ｌ２と重なるように第１ホルダ２４が第１回転軸Ａ１回りに回転される際には複数の第１貫通穴のいずれもが第２レーザ光Ｌ２からずれている。第７貫通穴以外の複数の第３貫通穴のいずれかが第１レーザ光Ｌ１と重なるように第２ホルダ２５が第２回転軸Ａ２回りに回転される際には複数の第４貫通穴のいずれもが第２レーザ光Ｌ２からずれており、第８貫通穴以外の複数の第４貫通穴のいずれかが第２レーザ光Ｌ２と重なるように第２ホルダ２５が第２回転軸Ａ２回りに回転される際には複数の第３貫通穴のいずれもが第１レーザ光Ｌ１からずれている。

複数の第１ＮＤフィルタの１つを、第３ＮＤフィルタとする。第３ＮＤフィルタは、第５貫通穴上及び第６貫通穴上を跨ぐように第１ホルダ２４上に配置される。複数の第２ＮＤフィルタの１つを、第４ＮＤフィルタとする。第４ＮＤフィルタは、第７貫通穴上及び第８貫通穴上を跨ぐように第２ホルダ２５上に配置される。第３ＮＤフィルタ以外の複数の第１ＮＤフィルタの各々は、第５貫通穴以外の１つの第１貫通穴上及び当該１つの第１貫通穴と最近接の位置にある第６貫通穴以外の第２貫通穴上に跨るように第１ホルダ２４上に配置される。第４ＮＤフィルタ以外の複数の第２ＮＤフィルタの各々は、第７貫通穴以外の１つの第３貫通穴上及び当該１つの第３貫通穴と最近接の位置にある第８貫通穴以外の第４貫通穴上に跨るように第２ホルダ２５上に配置される。

（付記）
上記の実施形態には、以下の構成が含まれている。

＜付記１＞
第１レーザ光源と、
第２レーザ光源と、
第１ホルダと、
第２ホルダと、
第１ＮＤフィルタと、
第２ＮＤフィルタとを備え、
前記第１レーザ光源及び前記第２レーザ光源は、それぞれ第１波長の第１レーザ光及び第２波長の第２レーザ光を発生させ、
前記第２波長は、前記第１波長と異なり、
前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光は、第１方向において互いに離間された状態で前記第１方向に直交する第２方向に沿って進み、
前記第１ホルダ及び前記第２ホルダは、前記第２方向において重ねて配置されており、
前記第１ホルダは、前記第２方向に平行な第１回転軸回りに回転可能であり、
前記第２ホルダは、前記第２方向に平行な第２回転軸回りに回転可能であり、
前記第１ホルダには、前記第１ホルダを前記第２方向に貫通している第１貫通穴、第２貫通穴、第３貫通穴及び第４貫通穴が形成されており、
前記第１貫通穴及び前記第２貫通穴は、前記第２方向に沿って見た際に、前記第１回転軸を中心とし、半径が前記第１回転軸と前記第１レーザ光との間の距離に等しい円弧上にあり、
前記第３貫通穴及び前記第４貫通穴は、前記第２方向に沿って見た際に、前記第１回転軸を中心とし、半径が前記第１回転軸と前記第２レーザ光との間の距離に等しい円弧上にあり、
前記第２貫通穴と前記第４貫通穴との間の距離は、前記第２貫通穴と前記第３貫通穴の間の距離よりも小さく、
前記第１貫通穴及び前記第２貫通穴のいずれかが前記第１レーザ光と重なるように前記第１ホルダが前記第１回転軸回りに回転される際、前記第３貫通穴及び前記第４貫通穴のいずれもが前記第２レーザ光からずれており、
前記第３貫通穴及び前記第４貫通穴のいずれかが前記第２レーザ光と重なるように前記第１ホルダが前記第１回転軸回りに回転される際、前記第１貫通穴及び前記第２貫通穴のいずれもが第１レーザ光からずれており、
前記第２ホルダには、前記第２ホルダを前記第２方向に貫通している第５貫通穴、第６貫通穴、第７貫通穴及び第８貫通穴が形成されており、
前記第５貫通穴及び前記第６貫通穴は、前記第２方向に沿って見た際に、前記第２回転軸を中心とし、半径が前記第２回転軸と前記第１レーザ光との間の距離に等しい円弧上にあり、
前記第７貫通穴及び前記第８貫通穴は、前記第２方向に沿って見た際に、前記第２回転軸を中心とし、半径が前記第２回転軸と前記第２レーザ光との間の距離に等しい円弧上にあり、
前記第６貫通穴と前記第８貫通穴との間の距離は、前記第６貫通穴と前記第７貫通穴の間の距離よりも小さく、
前記第５貫通穴及び前記第６貫通穴のいずれかが前記第１レーザ光と重なるように前記第２ホルダが前記第２回転軸回りに回転される際、前記第７貫通穴及び前記第８貫通穴のいずれもが前記第２レーザ光からずれており、
前記第７貫通穴及び前記第８貫通穴のいずれかが前記第２レーザ光と重なるように前記第２ホルダが前記第２回転軸回りに回転される際、前記第５貫通穴及び前記第６貫通穴のいずれもが前記第１レーザ光からずれており、
前記第１ＮＤフィルタは、前記第２貫通穴上及び前記第４貫通穴上に跨るように前記第１ホルダ上に配置されており、
前記第２ＮＤフィルタは、前記第６貫通穴上及び前記第８貫通穴上に跨るように前記第２ホルダ上に配置されている、顕微ラマン装置。

＜付記２＞
前記第２ＮＤフィルタのＯＤ値は、前記第１ＮＤフィルタのＯＤ値と異なる、付記１に記載の顕微ラマン装置。

＜付記３＞
第３ＮＤフィルタと、
第４ＮＤフィルタとをさらに備え、
前記第１ホルダには、前記第１ホルダを前記第２方向に貫通している第９貫通穴及び第１０貫通穴がさらに形成されており、
前記第９貫通穴が前記第１レーザ光と重なるように前記第１ホルダが前記第１回転軸回りに回転される際、前記第１０貫通穴は、前記第２レーザ光と重なっており、
前記第２ホルダには、前記第２ホルダを前記第２方向に貫通している第１１貫通穴及び第１２貫通穴がさらに形成されており、
前記第１１貫通穴が前記第１レーザ光と重なるように前記第２ホルダが前記第１回転軸回りに回転される際、前記第１２貫通穴は、前記第２レーザ光と重なっており、
前記第３ＮＤフィルタは、前記第９貫通穴上及び前記第１０貫通穴上に跨るように前記第１ホルダ上に配置されており、
前記第４ＮＤフィルタは、前記第１１貫通穴上及び前記第１２貫通穴上に跨るように前記第２ホルダ上に配置されている、付記１又は付記２に記載の顕微ラマン装置。

＜付記４＞
前記第３ＮＤフィルタのＯＤ値は、前記第１ＮＤフィルタのＯＤ値と異なり、
前記第４ＮＤフィルタのＯＤ値は、前記第２ＮＤフィルタのＯＤ値と異なるとともに前記第３ＮＤフィルタのＯＤ値と異なる、付記３に記載の顕微ラマン装置。

以上のように本開示の実施形態について説明を行ったが、上述の実施形態を様々に変形することも可能である。また、本発明の範囲は、上記の実施形態に限定されるものではない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更を含むことが意図される。

Ａ１ 第１回転軸、Ａ２ 第２回転軸、ＤＩＳ１，ＤＩＳ２，ＤＩＳ３，ＤＩＳ４ 距離、ＤＲ１ 第１方向、ＤＲ２ 第２方向、Ｌ１ 第１レーザ光、Ｌ２ 第２レーザ光、Ｌ３ 第１ラマン光、Ｌ４ 第２ラマン光、Ｓ サンプル、１００ 顕微ラマン装置、１１ 第１レーザ光源、１２ 第２レーザ光源、２０ 光源調整部、２１ 台座、２２ 第１軸部材、２３ 第２軸部材、２４ 第１ホルダ、２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ，２４ｅ，２４ｆ，２４ｇ，２４ｈ 貫通穴、２５ 第２ホルダ、２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ，２５ｅ，２５ｆ，２５ｇ，２５ｈ 貫通穴、２６，２７，２８，２９，３０，３１ ＮＤフィルタ、４１，４２ ロングパスフィルタ、４３，４４ ダイクロイックミラー、４５ ミラー、４６ 対物レンズ、５０ ラマン分光器、２００ 顕微ラマン装置。

Claims (4)

1. 第１レーザ光源と、
   第２レーザ光源と、
   第１ホルダと、
   第２ホルダと、
   第１ＮＤフィルタと、
   第２ＮＤフィルタとを備え、
   前記第１レーザ光源及び前記第２レーザ光源は、それぞれ第１波長の第１レーザ光及び第２波長の第２レーザ光を発生させ、
   前記第２波長は、前記第１波長と異なり、
   前記第１レーザ光及び前記第２レーザ光は、第１方向において互いに離間された状態で前記第１方向に直交する第２方向に沿って進み、
   前記第１ホルダ及び前記第２ホルダは、前記第２方向において重ねて配置されており、
   前記第１ホルダは、前記第２方向に平行な第１回転軸回りに回転可能であり、
   前記第２ホルダは、前記第２方向に平行な第２回転軸回りに回転可能であり、
   前記第１ホルダには、前記第１ホルダを前記第２方向に貫通している第１貫通穴、第２貫通穴、第３貫通穴及び第４貫通穴が形成されており、
   前記第１貫通穴及び前記第２貫通穴は、前記第２方向に沿って見た際に、前記第１回転軸を中心とし、半径が前記第１回転軸と前記第１レーザ光との間の距離に等しい円弧上にあり、
   前記第３貫通穴及び前記第４貫通穴は、前記第２方向に沿って見た際に、前記第１回転軸を中心とし、半径が前記第１回転軸と前記第２レーザ光との間の距離に等しい円弧上にあり、
   前記第２貫通穴と前記第４貫通穴との間の距離は、前記第２貫通穴と前記第３貫通穴の間の距離よりも小さく、
   前記第１貫通穴及び前記第２貫通穴のいずれかが前記第１レーザ光と重なるように前記第１ホルダが前記第１回転軸回りに回転される際、前記第３貫通穴及び前記第４貫通穴のいずれもが前記第２レーザ光からずれており、
   前記第３貫通穴及び前記第４貫通穴のいずれかが前記第２レーザ光と重なるように前記第１ホルダが前記第１回転軸回りに回転される際、前記第１貫通穴及び前記第２貫通穴のいずれもが前記第１レーザ光からずれており、
   前記第２ホルダには、前記第２ホルダを前記第２方向に貫通している第５貫通穴、第６貫通穴、第７貫通穴及び第８貫通穴が形成されており、
   前記第５貫通穴及び前記第６貫通穴は、前記第２方向に沿って見た際に、前記第２回転軸を中心とし、半径が前記第２回転軸と前記第１レーザ光との間の距離に等しい円弧上にあり、
   前記第７貫通穴及び前記第８貫通穴は、前記第２方向に沿って見た際に、前記第２回転軸を中心とし、半径が前記第２回転軸と前記第２レーザ光との間の距離に等しい円弧上にあり、
   前記第６貫通穴と前記第８貫通穴との間の距離は、前記第６貫通穴と前記第７貫通穴の間の距離よりも小さく、
   前記第５貫通穴及び前記第６貫通穴のいずれかが前記第１レーザ光と重なるように前記第２ホルダが前記第２回転軸回りに回転される際、前記第７貫通穴及び前記第８貫通穴のいずれもが前記第２レーザ光からずれており、
   前記第７貫通穴及び前記第８貫通穴のいずれかが前記第２レーザ光と重なるように前記第２ホルダが前記第２回転軸回りに回転される際、前記第５貫通穴及び前記第６貫通穴のいずれもが前記第１レーザ光からずれており、
   前記第１ＮＤフィルタは、前記第２貫通穴上及び前記第４貫通穴上に跨るように前記第１ホルダ上に配置されており、
   前記第２ＮＤフィルタは、前記第６貫通穴上及び前記第８貫通穴上に跨るように前記第２ホルダ上に配置されている、顕微ラマン装置。
2. 前記第２ＮＤフィルタのＯＤ値は、前記第１ＮＤフィルタのＯＤ値と異なる、請求項１に記載の顕微ラマン装置。
3. 第３ＮＤフィルタと、
   第４ＮＤフィルタとをさらに備え、
   前記第１ホルダには、前記第１ホルダを前記第２方向に貫通している第９貫通穴及び第１０貫通穴がさらに形成されており、
   前記第９貫通穴が前記第１レーザ光と重なるように前記第１ホルダが前記第１回転軸回りに回転される際、前記第１０貫通穴は、前記第２レーザ光と重なっており、
   前記第２ホルダには、前記第２ホルダを前記第２方向に貫通している第１１貫通穴及び第１２貫通穴がさらに形成されており、
   前記第１１貫通穴が前記第１レーザ光と重なるように前記第２ホルダが前記第１回転軸回りに回転される際、前記第１２貫通穴は、前記第２レーザ光と重なっており、
   前記第３ＮＤフィルタは、前記第９貫通穴上及び前記第１０貫通穴上に跨るように前記第１ホルダ上に配置されており、
   前記第４ＮＤフィルタは、前記第１１貫通穴上及び前記第１２貫通穴上に跨るように前記第２ホルダ上に配置されている、請求項１又は請求項２に記載の顕微ラマン装置。
4. 前記第３ＮＤフィルタのＯＤ値は、前記第１ＮＤフィルタのＯＤ値と異なり、
   前記第４ＮＤフィルタのＯＤ値は、前記第２ＮＤフィルタのＯＤ値と異なるとともに前記第３ＮＤフィルタのＯＤ値と異なる、請求項３に記載の顕微ラマン装置。
   

Images