JP2024053510A - 液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】接着剤を修復、交換することができると共に部品の一部を容易に交換でき、容易に再生することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】第１部品と第２部品とを含む液体噴射ヘッド２の製造方法であって、前記第１部品と前記第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤を加熱することによって前記接着剤を可塑化させる加熱工程と、前記加熱工程によって前記第１部品と前記第２部品との接着状態を解除する分解工程と、前記分解工程の後に前記第１部品及び前記第２部品の少なくとも一方を新品に交換する交換工程と、を有する。【選択図】図３

Description

本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッドの製造方法に関する。
従来から、圧電アクチュエーターや発熱素子等の圧力発生手段によって液体に圧力変化を生じさせることで、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッドが知られている。
液体噴射ヘッドとしては、液体を噴射するノズルが設けられたノズルプレートおよびノズルに連通する流路が形成された流路部材が積層されたヘッドチップと、ヘッドチップが固定されるとともにノズルを露出するための開口部が形成された固定板と、ノズルプレートと固定板の開口部の内周面との間を閉塞する充填剤と、を備えるものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２０１４－１８８８８７号公報
しかしながら、液体噴射ヘッドを構成する部品同士が接着剤で接合されているため、液体噴射ヘッドの一部の部品、例えば、固定板、ヘッドチップ、充填剤などが故障した場合に、一部の部品の交換または修復を行うことが困難で、液体噴射ヘッドを再生するのが難しいという問題がある。
上記課題を解決する本発明の態様は、第１部品と第２部品とを含む液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記第１部品と前記第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤を加熱することによって前記接着剤を可塑化させる加熱工程と、前記加熱工程によって前記第１部品と前記第２部品との接着状態を解除する分解工程と、前記分解工程の後に前記第１部品及び前記第２部品の少なくとも一方を新品に交換する交換工程と、を有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
また、本発明の他の態様は、第１部品と第２部品とを含む液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記第１部品と前記第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤を加熱することによって前記接着剤を可塑化させる加熱工程と、前記加熱工程によって可塑化した前記接着剤を除去する除去工程と、前記除去工程の後に、新しい接着剤を塗布することで前記第１部品と前記第２部品とを接着する接着工程と、を有する、ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
また、本発明の他の態様は、第１部品と第２部品とを含む液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記第１部品と前記第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤を加熱することによって、前記接着剤に形成されたひびが塞がるまで前記接着剤を溶融化させる加熱工程を有する、ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法にある。
実施形態１に係る液体噴射装置の概略構成図である。 実施形態１に係る液体噴射ヘッドの断面図である。 実施形態１に係る液体噴射ヘッドの要部断面図である。 実施形態１に係るヘッドチップの平面図である。 実施形態１に係る液体噴射ヘッドの要部断面図である。 実施形態１に係る液体噴射ヘッドの要部断面図である。 実施形態１に係るホルダーの平面図である。 実施形態１に係る中継基板の平面図である。 実施形態１に係る中継基板の平面図である。 実施形態１の液体噴射ヘッドの製造方法を説明する要部断面図である。 実施形態１の液体噴射ヘッドの製造方法を説明する要部断面図である。 液体噴射ヘッドの製造方法の変形例１を説明する要部断面図である。 液体噴射ヘッドの製造方法の変形例１を説明する要部断面図である。 液体噴射ヘッドの製造方法の変形例２を説明する要部断面図である。 液体噴射ヘッドの製造方法の変形例２を説明する要部断面図である。 液体噴射ヘッドの製造方法の変形例３を説明する要部断面図である。 液体噴射ヘッドの製造方法の変形例３を説明する要部断面図である。 液体噴射ヘッドの変形例１の要部断面図である。 液体噴射ヘッドの変形例２の要部断面図である。 液体噴射ヘッドの他の変形例の要部断面図である。 発熱体の他の変形例の平面図である。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様を示すものであって、本発明の範囲内で任意に変更可能である。各図において同じ符号を付したものは、同一の部材を示しており、適宜説明が省略されている。また、各図においてＸ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向とする。各図の矢印が向かう方向を正（＋）方向、矢印の反対方向を負（－）方向として説明する。また、Ｚ方向は、鉛直方向を示し、＋Ｚ方向は鉛直下向き、－Ｚ方向は鉛直上向きを示す。さらに、正方向及び負方向を限定しない３つの空間軸の方向については、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向として説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射装置１の概略構成を示す図である。図１に示すように、液体噴射装置１は、液体の一種であるインクを印刷用の媒体Ｓに噴射・着弾させて、当該媒体Ｓに形成されるドットの配列により画像等の印刷を行うインクジェット式記録装置である。なお、媒体Ｓとしては、記録用紙の他、樹脂フィルムや布等の任意の材質を用いることができる。
液体噴射装置１は、液体噴射ヘッド２と、液体貯留部３と、制御部４と、媒体Ｓを送り出す搬送機構５と、移動機構６と、を具備する。
液体噴射ヘッド２は、液体貯留部３から供給されるインクを複数のノズル２１から媒体Ｓに噴射する。液体噴射ヘッド２の詳細な構成は後述する。
液体貯留部３は、液体噴射ヘッド２から噴射される複数種類、例えば、複数色のインクを個別に貯留する。液体貯留部３としては、例えば、液体噴射装置１に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、インクを補充可能なインクタンクなどが挙げられる。
制御部４は、特に図示していないが、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の制御装置と、半導体メモリー等の記憶装置と、を備えている。制御部４は、記憶装置に記憶されたプログラムを制御装置が実行することで液体噴射装置１の各要素、すなわち、液体噴射ヘッド２、搬送機構５、移動機構６等を統括的に制御する。
搬送機構５は、媒体ＳをＸ方向に搬送するものであり、搬送ローラー５ａを有する。すなわち搬送機構５は、搬送ローラー５ａが回転することで媒体ＳをＸ方向に搬送する。なお媒体Ｓを搬送する搬送機構５は、搬送ローラー５ａを備えるものに限られず、例えば、ベルトやドラムによって媒体Ｓを搬送するものであってもよい。
移動機構６は、液体噴射ヘッド２をＹ方向に沿って往復させるための機構であり、搬送体７と搬送ベルト８とを具備する。搬送体７は、液体噴射ヘッド２を収容する略箱形の構造体、いわゆるキャリッジであり、搬送ベルト８に固定される。搬送ベルト８は、Ｙ方向に沿って架設された無端ベルトである。制御部４による制御のもとで搬送ベルト８が回転することで液体噴射ヘッド２が搬送体７と共にＹ軸方向に往復移動する。なお搬送体７は、液体噴射ヘッド２と共に液体貯留部３を搭載する構成であってもよい。
液体噴射ヘッド２は、制御部４による制御のもとで、液体貯留部３から供給されたインクを複数のノズル２１（図３参照）のそれぞれからインク滴として＋Ｚ方向に噴射する噴射動作を実行する。この液体噴射ヘッド２による噴射動作が、搬送機構５による媒体Ｓの搬送や移動機構６による液体噴射ヘッド２の往復移動と並行して行われることにより、媒体Ｓの表面にインクによる画像が形成される、いわゆる印刷が行われる。
（液体噴射ヘッド）
図２は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッド２の断面図である。図３は、液体噴射ヘッド２の要部を拡大した断面図である。図４は、ヘッドチップ９を－Ｚ方向に見た平面図である。図５は、図４のＡ－Ａ′線に準じた液体噴射ヘッド２の断面図である。図６は、図４のＢ－Ｂ′線に準じた液体噴射ヘッド２の断面図である。図７は、ホルダー１００を－Ｚ方向に見た平面図である。図８は、中継基板４００を＋Ｚ方向に見た平面図である。図９は、中継基板４００を－Ｚ方向に見た平面図である。
図２および図３に示すように、液体噴射ヘッド２は、ノズル２１からインクをインク滴として噴射する４つのヘッドチップ９と、４つのヘッドチップ９を保持するホルダー１００と、ヘッドチップ９に液体を供給する流路部材２００と、を具備する。また、液体噴射ヘッド２は、ホルダー１００と流路部材２００とを接続するシール部材３００と、ホルダー１００と流路部材２００との間に配置された中継基板４００と、中継基板４００とシール部材３００との間に配置された液体加熱部５００と、ヘッドチップ９の＋Ｚ方向に設けられた固定板６００と、を具備する。
流路部材２００は、本実施形態では、第１流路部材２０１と、第２流路部材２０２と、第３流路部材２０３と、を具備する。第１流路部材２０１、第２流路部材２０２および第３流路部材２０３は、液体を噴射する＋Ｚ方向にこの順番で積層されている。なお、流路部材２００は、特にこれに限定されるものではなく、単一の部材であってもよく、２つ以上の複数の部材で構成されていてもよい。また、流路部材２００を構成する複数の部材の積層方向も特に限定されず、例えば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向であってもよい。
流路部材２００は、液体貯留部３とヘッドチップ９との間で液体を流通させる流路２１０を有する。この流路２１０は、第１流路部材２０１に設けられた第１流路２１１と、第２流路部材２０２に設けられた第２流路２１２と、第３流路部材２０３に設けられた第３流路２１３と、を有する。
第１流路部材２０１は、－Ｚ方向を向く面に液体貯留部３に接続される接続部２０４を有する。本実施形態では、接続部２０４は、－Ｚ方向に向かって針状に突出したものである。なお、接続部２０４には、インクカートリッジなどの液体貯留部３が直接、接続されてもよく、また、インクパック、インクタンクなどの液体貯留部３がチューブ等の供給管などを介して接続されてもよい。第１流路部材２０１は、一端が接続部２０４の－Ｚ方向の端部に開口し、他端が第１流路部材２０１の＋Ｚ方向を向く面に開口する第１流路２１１を有する。この第１流路２１１に液体貯留部３からのインクが供給される。なお、第１流路２１１は、後述する第２流路２１２の位置に応じて、Ｚ軸方向に延びる流路や、Ｚ軸方向に直交する方向、すなわち、Ｘ軸方向およびＹ軸方向で規定されるＸＹ平面に沿って延設された流路等で構成されている。以降、Ｚ軸方向に延びる流路を垂直流路と称し、ＸＹ平面に沿って延設された流路を水平流路と称する。また、水平流路は、延設方向に、水平面に向かう成分（別称、ベクトル）が存在することを言う。つまり、水平流路は、ＸＹ平面に沿った流路だけでなく、Ｚ軸方向およびＸＹ平面に沿った方向の双方に対して傾斜した流路も含まれる。また、流路の延設方向とはインクが流れる方向を言う。
第２流路部材２０２は、第１流路部材２０１の＋Ｚ方向を向く面に固定される。第２流路部材２０２は、第１流路２１１に連通する第２流路２１２を有する。第２流路２１２は、一端が第２流路部材２０２の－Ｚ方向を向く面に開口し、他端が、第２流路部材２０２の＋Ｚ方向を向く面に開口して設けられている。また、第２流路２１２の他端側には、第１流路２１１よりも内径が広く拡幅された第１液体溜まり部２１２ａが設けられている。
第３流路部材２０３は、第２流路部材２０２の＋Ｚ方向を向く面に固定される。また、第３流路部材２０３は、第２流路２１２に連通する第３流路２１３を有する。第３流路２１３は、一端が第３流路部材２０３の－Ｚ方向を向く面に開口し、他端が、第３流路部材２０３の＋Ｚ方向を向く面に開口して設けられている。また、第３流路２１３の一端側は、第１液体溜まり部２１２ａに応じて拡幅された第２液体溜まり部２１３ａとなっている。そして、第１流路部材２０１と第２流路部材２０２との間、すなわち、第１液体溜まり部２１２ａと第２液体溜まり部２１３ａとの間には、インクに含まれるゴミや気泡などの異物を除去するためのフィルター２０６が設けられている。このため、第２流路２１２から供給されたインクは、フィルター２０６を介してゴミや気泡などの異物が除去された状態で第３流路２１３に供給される。
また、第３流路２１３は、第２液体溜まり部２１３ａよりもヘッドチップ９側、すなわち、第２流路２１２とは反対側で、２つに分岐されており、第３流路２１３は第３流路部材２０３のホルダー１００側の面に２つの排出口２１４として開口する。
すなわち、１つの接続部２０４に対応する流路２１０は、第１流路２１１、第２流路２１２及び第３流路２１３を有し、流路２１０は、ホルダー１００側で２つの排出口２１４として開口する。
また、第３流路部材２０３のホルダー１００側、すなわち、＋Ｚ方向を向く面には、ホルダー１００に向かって突出する第１突起部２０７が設けられている。第１突起部２０７は、分岐された第３流路２１３毎に設けられており、第１突起部２０７の＋Ｚ方向を向くそれぞれの先端面に排出口２１４が開口する。
このような流路２１０が設けられた第１流路部材２０１、第２流路部材２０２及び第３流路部材２０３は、例えば、接着剤や、溶着等によって一体的に接合されている。なお、第１流路部材２０１、第２流路部材２０２及び第３流路部材２０３をネジやクランプ等で固定することもできるが、接着剤や溶着等によって接合することで第１流路２１１から第３流路２１３に至るまでの接続部分からインクが漏出するのを抑制することができる。
このように本実施形態では、１つの流路部材２００は４つの接続部２０４を有し、１つの流路部材２００は４つの独立した流路２１０を有する。そして、各流路２１０がホルダー１００側で２つに分岐されて、合計８個の排出口２１４が設けられている。ちなみに、本実施形態では、流路２１０をフィルター２０６よりもヘッドチップ９側で２つに分岐した構成を例示したが、特にこれに限定されず、フィルター２０６よりもヘッドチップ９側で流路２１０が３つ以上に分岐されていてもよい。もちろん、１つの流路２１０がフィルター２０６よりも接続部２０４側で２つ以上に分岐されていてもよい。また、１つの流路２１０は分岐されていなくてもよい。
ホルダー１００は、＋Ｚ方向を向く面に開口する凹形状の保持部１０１を有する。このような保持部１０１内に複数のヘッドチップ９が接着剤である第３接着剤７０３によって接着されている。本実施形態では、ホルダー１００の保持部１０１内には、４個のヘッドチップ９が第３接着剤７０３によって固定されている。４個のヘッドチップ９は、それぞれ同じ構造を有する。
ホルダー１００に保持された４個のヘッドチップ９は、Ｘ軸方向に関して同じ位置で、Ｙ軸方向に並んで配置されている。つまり、保持部１０１は、４個のヘッドチップ９に共通して設けられている。もちろん、保持部１０１は、ヘッドチップ９毎に独立して設けられていてもよい。なお、４個のヘッドチップ９の配置は、特にこれに限定されず、例えば、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の両方向において異なる位置に配置されていてもよい。また、複数のヘッドチップ９は、Ｘ軸方向に沿って千鳥状に配置されていてもよい。ここで複数のヘッドチップ９が千鳥状に配置されているとは、Ｘ軸方向に並設されたヘッドチップ９を交互にＹ軸方向にずらして配置することである。つまり、Ｘ軸方向に並設されたヘッドチップ９の列が、Ｙ軸方向に２列並設され、２列のヘッドチップ９の一方の列をＸ軸方向に半ピッチずらして配置することである。このように複数のヘッドチップ９をＸ軸方向に沿って千鳥状に配置することで、２つヘッドチップ９のノズルをＸ軸方向で部分的に重複させて、Ｘ軸方向に亘って連続したノズルの列を形成することができる。また、ホルダー１００に固定するヘッドチップ９の数は、特にこれに限定されず、１つのホルダー１００に対してヘッドチップ９が１個であっても、また、２個以上の複数であってもよい。
なお、各ヘッドチップ９とホルダー１００とは、詳しくは後述するが、Ｚ軸方向で対向する面同士が接着剤である第３接着剤７０３によって接着されている。つまり、ヘッドチップ９の－Ｚ方向を向く面と、ホルダー１００の保持部１０１の＋Ｚ方向を向く底面と、が第３接着剤７０３によって接着されている。
また、ホルダー１００は、流路部材２００の流路２１０に接続される接続流路１１０を有する。ホルダー１００の－Ｚ方向を向く面には、－Ｚ方向に向かって突出する第２突起部１０２が設けられている。第２突起部１０２は、第１突起部２０７に対応して、流路２１０毎、すなわち、第１突起部２０７毎にそれぞれ設けられている。また、接続流路１１０の一端は第２突起部１０２の先端面に開口し、他端は保持部１０１の＋Ｚ方向を向く底面に開口している。このような接続流路１１０は、各流路２１０の排出口２１４に独立して設けられている。すなわち、１つの流路２１０は、２つの排出口２１４を有するため、２つの排出口２１４のそれぞれに連通する接続流路１１０が設けられている。
そして、１つのヘッドチップ９に対応する２つの接続流路１１０のうち、一方の接続流路１１０は、本実施形態では、Ｚ軸方向に沿って直線状に形成されている。また、他方の接続流路１１０は、途中にＸＹ平面に沿って延設された水平流路を有する。本実施形態では、ホルダー１００は、ホルダー本体１２０と、ホルダー本体１２０の－Ｚ方向を向く面に固定された流路形成部材１３０と、を具備し、他方の接続流路１１０の水平流路は、ホルダー本体１２０と流路形成部材１３０との積層界面に形成されている。もちろん、ホルダー１００は、単一の部材で構成されていてもよく、３個以上の複数の部材で構成されていてもよい。また、他方の接続流路１１０は、途中に水平流路を有するものとしたが、特にこれに限定されず、接続流路１１０は、垂直流路のみで構成されていてもよく、２以上の水平流路を有するものであってもよい。また、一方の接続流路１１０は、水平流路を有するものであってもよい。
また、１つのヘッドチップ９に対応する２つの接続流路１１０の間には、配線基板８０を挿通するために配線部材挿通孔１０４が設けられている。配線部材挿通孔１０４は、詳しくは後述するヘッドチップ９の接続口４３に連通して、配線基板８０をホルダー１００の中継基板４００側に挿通するためのものである。
このようなホルダー１００は、樹脂材料を成型により安価に形成することができる。もちろん、ホルダー１００は、金属材料等で形成されていてもよい。また、ホルダー本体１２０と流路形成部材１３０とを接着剤で固定する場合には、当該接着剤は熱硬化型接着剤であることが好ましい。これにより、詳しくは後述する第３発熱体７１３から伝わる熱によって、ホルダー本体１２０と流路形成部材１３０とを固定する接着剤が可塑化してしまうのを防止できる。
シール部材３００は、流路部材２００とホルダー１００との間に配置される。シール部材３００は、流路部材２００の流路２１０とホルダー１００の接続流路１１０とを接続する継手として機能する。
シール部材３００は、液体噴射ヘッド２に用いられるインクに対して耐液体性を有し、且つ弾性変形可能な材料を用いることができる。シール部材３００は、接続流路１１０毎に管状部分３０１を有する。管状部分３０１は、内部に連通流路３１０が設けられている。そして、管状部分３０１の連通流路３１０を介して流路部材２００の流路２１０とホルダー１００の接続流路１１０とが連通される。流路部材２００の第１突起部２０７の先端面と、ホルダー１００の第２突起部１０２の先端面と、の間で、管状部分３０１はＺ軸方向に所定の圧力が付与された状態で保持されている。このように流路２１０と連通流路３１０とはシール部材３００にＺ軸方向に圧力が付与された状態で接続され、連通流路３１０と接続流路１１０とはシール部材３００にＺ軸方向に圧力が付与された状態で接続される。したがって、流路２１０と接続流路１１０とは連通流路３１０を介して液密な状態で連通される。
なお、本実施形態の管状部分３０１は、１つの流路部材２００に対して複数個が一体的になるように、流路部材２００側で板状部分によって連結されている。また、本実施形態では、１つの流路部材２００に流路２１０の排出口２１４が８個設けられているため、８個の管状部分３０１が一体的に設けられたシール部材３００となっている。
また、中継基板４００は、シール部材３００とホルダー１００との間に配置される。中継基板４００には、配線基板８０が接続される。中継基板４００は、配線基板８０が挿通される第１挿通孔４０１と、シール部材３００の管状部分３０１が挿入される第２挿通孔４０２と、を有する。第１挿通孔４０１は、各ヘッドチップ９に対して１個、第２挿通孔４０２は、各ヘッドチップ９に対して２個、設けられている。第１挿通孔４０１および第２挿通孔４０２は、中継基板４００をＺ軸方向に貫通して設けられる。
本実施形態では、中継基板４００は、リジッド基板からなり、４個のヘッドチップ９に共通して１個設けられている。もちろん、中継基板４００は、ヘッドチップ９毎または複数のヘッドチップ９で構成される群毎に分割して設けてもよく、分割した中継基板４００同士をフレキシブル基板で接続した、所謂、リジットフレキシブル基板であってもよい。
また、中継基板４００は、図８に示すように、－Ｚ方向を向く面にヘッドチップ９の配線基板８０の図示しない配線が接続される印刷配線４１０と、詳しくは後述する発熱体が接続される基板上配線４２０と、液体加熱部５００に接続される液体加熱部用中継配線４３０とを有する。配線基板８０は、第１挿通孔４０１に中継基板４００の＋Ｚ方向を向く面側から挿通され、中継基板４００の－Ｚ方向を向く面で印刷配線４１０および基板上配線４２０と電気的に接続される。
また、中継基板４００は、図９に示すように、＋Ｚ方向を向く面に詳しくは後述する発熱体に接続される基板上配線４２０を有する。なお、中継基板４００の＋Ｚ方向を向く面および－Ｚ方向を向く面の何れか一方または両方には、図示しない電子部品が実装されている。
また、中継基板４００は、コネクター４４０を有する。コネクター４４０は、本実施形態では、中継基板４００のＹ軸方向の両端部およびＺ軸方向の両面のそれぞれに設けられている。印刷配線４１０、基板上配線４２０および液体加熱部用中継配線４３０は、コネクター４４０の内部の図示しない端子に接続される。本実施形態では、印刷配線４１０、基板上配線４２０の一部および液体加熱部用中継配線４３０は、同じコネクター４４０内の端子に接続される。図８及び図９に示すように、このコネクター４４０には、液体噴射装置１の一部であって液体噴射ヘッド２の外部に配置された外部配線４ａが接続される。この外部配線４ａによって、制御部４と、印刷配線４１０及び液体加熱部用中継配線４３０とが電気的に接続される。なお、外部配線４ａと基板上配線４２０とは、電気的に接続されない。つまり、外部配線４ａとコネクター４４０とを接続することで、液体噴射装置１が印刷を行うことが可能な通常の使用状態において、基板上配線４２０にはコネクター４４０を介して電力が供給されていない。外部配線４ａは、例えば、フレキシブルフラットケーブル等のフレキシブル基板である。もちろん、記録動作に用いる印刷配線４１０および液体加熱部用中継配線４３０と、詳しくは後述する発熱体用の基板上配線４２０とは、異なるコネクターの端子に接続されていてもよい。また、異なるコネクターを用いる場合には、コネクターの形状や大きさを変更することで、誤って外部配線４ａを発熱体用の基板上配線４２０に接続される端子を備えるコネクターに接続してしまうのを抑制することができる。
液体加熱部５００は、中継基板４００とシール部材３００との間に配置される。液体加熱部５００は、液体噴射ヘッド２の内部を流れるインクを加熱するためのものであり、例えば、発熱抵抗体を樹脂等のシートで挟み込んだ面状ヒーターが用いられる。
このような液体加熱部５００は、中継基板４００を介して外部と接続されている。図８に示すように、中継基板４００は、－Ｚ方向を向く面に、一端がコネクター４４０に接続された液体加熱部用中継配線４３０を有する。液体加熱部５００は、中継基板４００の液体加熱部用中継配線４３０の他端に不図示のフレキシブル基板を介して電気的に接続され、コネクター４４０および液体加熱部用中継配線４３０を介して外部配線４ａから電源が供給される。これにより、液体加熱部５００が発熱し、液体加熱部５００からシール部材３００を介して流路部材２００内のインクが加熱される。なお、液体加熱部５００からの熱を流路部材２００に効率的に伝えるために、シール部材３００は、熱伝導性を有する材料から構成されることが好ましい。
ここで液体噴射ヘッド２から噴射するインクに代表される液体には、液体の種類に応じて噴射に適した粘度がある。液体の粘度は、温度と相関関係にあるため、温度が低いほど粘度が高くなり、温度が高いほど粘度が低くなる特性がある。このため、通常使用する液体の粘度に適するように設計された液体噴射ヘッド２が、低温環境に置かれた場合や、粘度の高い液体を噴射する場合に、液体加熱部５００が液体噴射ヘッド２の内部を流れる液体を加熱する。これにより、液体噴射ヘッド２から噴射する液体の粘度を低下させて、液体噴射ヘッド２から噴射する液体の噴射特性を向上することができる。このため、中継基板４００に設けられた液体加熱部用中継配線４３０は、媒体Ｓに対して液体を噴射する記録動作に寄与する電気的な経路である「印刷用経路」に含まれる。
なお、液体加熱部５００は、本実施形態では、中継基板４００とシール部材３００との間に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、流路部材２００とシール部材３００との間に設けるようにしてもよく、ホルダー１００とシール部材３００との間に設けるようにしてもよい。また、液体加熱部５００は、流路部材２００の－Ｚ方向を向く面や側面などの外周面に設けるようにしてもよく、液体噴射ヘッド２の外部、つまり、液体噴射ヘッド２に接触せずに設けられていてもよい。また、液体噴射装置１は、液体加熱部５００を備えていなくてもよい。
固定板６００は、詳しくは後述するが、ホルダー１００の保持部１０１が開口する＋Ｚ方向を向く面と、複数のヘッドチップ９の＋Ｚ方向を向く面とに接着される。固定板６００とヘッドチップ９とは接着剤である第１接着剤７０１で接着される。また、固定板６００とホルダー１００とは接着剤である第２接着剤７０２で接着される。つまり、固定板６００は、本実施形態では、複数のヘッドチップ９を覆うと共に、保持部１０１の＋Ｚ方向の開口を覆う大きさを有する。固定板６００は、複数の板状部材がＺ軸方向に積層されることで構成されていてもよい。
本実施形態のヘッドチップ９の一例について説明する。なお、ヘッドチップ９の各方向について、液体噴射ヘッド２に搭載された際の方向、すなわち、Ｘ方向、Ｙ方向およびＺ方向に基づいて説明する。
図３および図４に示すように、ヘッドチップ９は、圧力室基板１０、保護基板３０、流路形成基板１５、ノズルプレート２０、ケース部材４０、コンプライアンス基板４５、振動板５０等の複数の積層部材がＺ軸方向に積層されている。これら複数の積層部材は、少なくとも１箇所が接着剤によって接着されている。本実施形態では、全ての積層部材は、接着剤によって接着されているが、図３では、振動板５０と保護基板３０とを接着する接着剤である第１積層用接着剤９１、および、ケース部材４０と流路形成基板１５とを接着する接着剤である第２積層用接着剤９２のみを図示している。もちろん、積層部材同士は、接着剤による接着に限定されず、熱溶着や直接接合等によって接合されていてもよい。また、積層部材を積層する接着剤は、例えば、加熱することで硬化する熱硬化型接着剤、有機溶剤が蒸発することで硬化する溶剤揮散型接着剤、空気中の水分と反応して接着する湿気硬化型接着剤、本剤と硬化剤とを混合することで化学反応により硬化する反応型接着剤などを用いることができる。積層部材として紫外線透過性を有する部材を用いた場合には、積層部材を接着する接着剤として紫外線硬化型接着剤を用いることもできる。また、積層部材を接着する接着剤として熱可塑性接着剤を用いることもできるが、積層部材を接着する熱可塑性接着剤としては、第１接着剤７０１、第２接着剤７０２および第３接着剤７０３が可塑化する温度よりも高い温度で可塑化するものを用いる必要がある。ただし、ヘッドチップ９を構成する複数の積層部材のうち少なくとも一部の積層部材同士を熱硬化型接着剤で接着することで、詳しくは後述する発熱体からの熱が熱硬化型接着剤に伝わったとしても熱硬化型接着剤が可塑化することがなく、積層部材の間からインクの漏出や、積層部材同士の位置ズレや分解などを抑制することができる。また、熱硬化型接着剤は、比較的耐インク性が高いため、熱硬化型接着剤のインクによる劣化を抑制することができる。
圧力室基板１０は、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板からなる。圧力室基板１０には、複数の圧力室１２がＸ軸方向に沿って並んで配置されている。複数の圧力室１２は、＋Ｙ方向の位置が同じ位置となるように、＋Ｘ方向に沿った直線上に配置されている。また、圧力室基板１０には、圧力室１２が＋Ｘ方向に並設された列が、複数列、本実施形態では、２列、＋Ｙ方向に並設されている。
圧力室基板１０の＋Ｚ方向を向く面には、流路形成基板１５とノズルプレート２０とが順次積層されている。
流路形成基板１５には、圧力室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。また、流路形成基板１５には、複数の圧力室１２が共通して連通する共通液室となるマニホールドＳＲの一部を構成する第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８とが設けられている。第１マニホールド部１７は、流路形成基板１５をＺ軸方向に貫通して設けられている。また、第２マニホールド部１８は、流路形成基板１５をＺ軸方向に貫通することなく、＋Ｚ方向を向く面に開口して設けられている。
さらに、流路形成基板１５には、圧力室１２のＹ軸方向の端部に連通する供給連通路１９が圧力室１２の各々に独立して設けられている。供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力室１２とを連通して、マニホールドＳＲ内のインクを圧力室１２に供給する。
このような流路形成基板１５としては、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板、ステンレス基板等の金属基板などを用いることができる。なお、流路形成基板１５は、圧力室基板１０の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましい。このように圧力室基板１０と流路形成基板１５とを熱膨張率が略同一の材料を用いることで、熱膨張率の違いによって熱により反りが発生するのを低減することができる。
ノズルプレート２０は、流路形成基板１５の圧力室基板１０とは反対側、すなわち、＋Ｚ方向を向く面に設けられている。
ノズルプレート２０には、各圧力室１２にノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。本実施形態では、複数のノズル２１は、＋Ｘ方向に沿って一列となるように並んで配置されたノズル列が＋Ｙ方向に離れて２列設けられている。すなわち、各列の複数のノズル２１は、＋Ｙ方向の位置が同じ位置となるように配置されている。もちろん、ノズル２１の配置は特にこれに限定されず、例えば、＋Ｘ方向に並んで配置されたノズル２１において、１つ置きに＋Ｙ方向にずれた位置に配置した、所謂、千鳥配置としてもよい。このようなノズルプレート２０としては、シリコン基板、ガラス基板、ＳＯＩ基板、各種セラミック基板、ステンレス基板等の金属基板、ポリイミド樹脂のような有機物などを用いることができる。なお、ノズルプレート２０は、流路形成基板１５の熱膨張率と略同一の材料を用いることが好ましい。このようにノズルプレート２０と流路形成基板１５とを熱膨張率が略同一の材料を用いることで、熱膨張率の違いによって熱により反りが発生するのを低減することができる。
圧力室基板１０の－Ｚ方向を向く面には、振動板５０と圧電アクチュエーター６０とが順次積層されている。すなわち、圧力室基板１０、振動板５０および圧電アクチュエーター６０とは、この順に－Ｚ方向に積層されている。なお、圧力室基板１０と振動板５０とは一体として形成してもよい。具体的には、シリコン基板で形成された圧力室基板１０の＋Ｚ方向側の面をエッチングすることにより、圧力室基板１０の＋Ｚ方向側の面に圧力室１２としての－Ｚ方向に凹む凹部を形成し、当該凹部の底面部分を振動板５０として機能させるようにしてもよい。
圧電アクチュエーター６０は、振動板５０側である＋Ｚ方向側から－Ｚ方向側に向かって順次積層された第１電極６１と圧電体層６２と第２電極６３とを具備する。圧電アクチュエーター６０が、圧力室１２内のインクに圧力変化を生じさせる圧力発生手段となっている。このような圧電アクチュエーター６０は、圧電素子とも言い、第１電極６１と圧電体層６２と第２電極６３とを含む部分を言う。また、第１電極６１と第２電極６３との間に電圧を印加した際に、圧電体層６２に圧電歪みが生じる部分を活性部６５と称する。これに対して、圧電体層６２に圧電歪みが生じない部分を非活性部と称する。本実施形態では、圧力室１２毎に活性部が形成されている。そして、一般的には、活性部６５の何れか一方の電極を活性部６５毎に独立する個別電極とし、他方の電極を複数の活性部６５に共通する共通電極として構成する。本実施形態では、第１電極６１が個別電極を構成し、第２電極６３が共通電極を構成している。もちろん、第１電極６１が共通電極を構成し、第２電極６３が個別電極を構成してもよい。このような圧電アクチュエーター６０の各電極からは、引き出し配線であるリード電極７０が引き出されている。リード電極７０の圧電アクチュエーター６０に接続された端部とは反対側の端部には、可撓性を有する配線基板８０が接続されている。配線基板８０は、圧電アクチュエーター６０を駆動するためのスイッチング素子を有する駆動回路８１が実装された、ＣＯＦ（Chip On Film）からなる。
振動板５０の－Ｚ方向を向く面には、振動板５０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。本実施形態では、振動板５０と保護基板３０とは、第１積層用接着剤９１によって接着されている。本実施形態の第１積層用接着剤９１は、熱硬化型接着剤からなる。保護基板３０は、圧電アクチュエーター６０を保護する空間である保持部３１を有する。保持部３１は、＋Ｘ方向に並んで配置される圧電アクチュエーター６０の列毎に独立して設けたものであり、＋Ｙ方向に２つ並設されている。また、保護基板３０には、＋Ｙ方向に並んで配置される２つの保持部３１の間に＋Ｚ方向に貫通する貫通孔３２が設けられている。圧電アクチュエーター６０の電極から引き出されたリード電極７０の端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、リード電極７０と配線基板８０の図示しない配線とは、貫通孔３２内で電気的に接続される。配線基板８０の他端部は、上述したように、中継基板４００の印刷配線４１０および基板上配線４２０と電気的に接続される。圧電アクチュエーター６０の各電極とリード電極７０を介して接続された配線基板８０の配線は、途中で駆動回路８１に接続される。また、駆動回路８１には、中継基板４００の印刷配線４１０を介して印刷信号等が入力される。つまり、印刷配線４１０、リード電極７０、圧電アクチュエーター６０、駆動回路８１、リード電極７０と印刷配線４１０とを電気的に接続する配線基板８０の図示しない配線、液体加熱部用中継配線４３０および液体加熱部５００は、媒体Ｓに対してインクを噴射する記録動作に寄与する電気的な経路である「印刷用経路」に含まれる。なお、特に図示していないが、例えば、液体噴射ヘッド２の内部の温度を検出するセンサーやこれに接続される配線が設けられている場合には、これらも「印刷用経路」に含まれる。
ケース部材４０は、＋Ｚ方向に見た平面視において上述した流路形成基板１５と略同一形状を有し、上述した流路形成基板１５にも接合されている。本実施形態では、ケース部材４０は、流路形成基板１５に第２積層用接着剤９２によって接着されている。本実施形態の第２積層用接着剤９２は、熱硬化型接着剤からなる。
このようなケース部材４０は、＋Ｚ方向を向く面に開口して、圧力室基板１０および保護基板３０が収容される深さの凹部４１を有する。そして、凹部４１に圧力室基板１０等が収容された状態で凹部４１の＋Ｚ方向を向く面が、流路形成基板１５によって封止されている。ケース部材４０には、凹部４１の＋Ｙ方向側および－Ｙ方向側のそれぞれに第３マニホールド部４２が設けられている。第３マニホールド部４２は、＋Ｚ方向に向かう面に開口して設けられている。そして、流路形成基板１５に設けられた第１マニホールド部１７および第２マニホールド部１８と、ケース部材４０に設けられた第３マニホールド部４２と、によってマニホールドＳＲが構成されている。マニホールドＳＲは、圧力室１２の列毎に１個ずつ、合計２個設けられている。各マニホールドＳＲは、圧力室１２が並んで配置される＋Ｘ方向に亘って連続して設けられており、各圧力室１２とマニホールドＳＲとを連通する供給連通路１９は、＋Ｘ方向に並んで配置されている。
また、ケース部材４０には、マニホールドＳＲに連通して各マニホールドＳＲにインクを供給するための導入口４４が設けられている。導入口４４は、本実施形態では、マニホールドＳＲ毎に設けられている。つまり、１つのヘッドチップ９には、２個の導入口４４が設けられている。
また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して配線基板８０が挿通される接続口４３が設けられている。接続口４３は、Ｙ軸方向において２つの第３マニホールド部４２の間に、Ｚ軸方向に亘って貫通して設けられている。
また、流路形成基板１５の第１マニホールド部１７および第２マニホールド部１８が開口する＋Ｚ方向を向く面には、コンプライアンス基板４５が設けられている。このコンプライアンス基板４５が、第１マニホールド部１７と第２マニホールド部１８の＋Ｚ方向側の開口を封止している。このようなコンプライアンス基板４５は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜４６と、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属などの硬質の材料からなる固定基板４７と、を具備する。固定基板４７のマニホールドＳＲに対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４８となっているため、マニホールドＳＲの一方面は可撓性を有する封止膜４６のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９となっている。
また、コンプライアンス基板４５は、ノズルプレート２０を外部に露出する開口部４５ａを有する。開口部４５ａは、－Ｚ方向に見てノズルプレート２０よりも若干大きな開口面積を有する。このため、第１露出開口部の開口縁部と、ノズルプレート２０の周縁部との間には、流路形成基板１５の＋Ｚ方向を向く面が露出されている。
このようなヘッドチップ９のコンプライアンス基板４５の＋Ｚ方向を向く面に、固定板６００が接着剤である第１接着剤７０１によって接着されている。固定板６００とコンプライアンス基板４５とを接着する第１接着剤７０１は、熱可塑性接着剤からなる。熱可塑性接着剤は、所定の温度に加熱されると樹脂が軟化または溶融し、温度が下がると固化する特性を有する。また、第１接着剤７０１は、絶縁性を有することが好ましい。これにより、第１発熱体７１１を流れる電流が、ノズルプレート２０や固定板６００に伝わるのを抑制することができる。なお、特に図示していないが、固定板６００とコンプライアンス部４９との間の空間は大気開放されているため、マニホールドＳＲ内の圧力変動に応じてコンプライアンス部４９は＋Ｚ方向および－Ｚ方向に変位可能である。
また、特に図示していないが、固定板６００の＋Ｚ方向を向く面には、インクに対して撥液性を有する撥液膜が形成されている。なお、ノズルプレート２０の＋Ｚ方向を向く面にも、同様に撥液膜が形成されている。
固定板６００は、コンプライアンス基板４５の開口部４５ａと連通してノズルプレート２０を外部に露出する開口部６０１を有する。開口部６０１は、本実施形態では、ノズルプレート２０全体を露出する大きさ、つまり、コンプライアンス基板４５の開口部４５ａと略同じ大きさを有する。また、開口部６０１は、ノズルプレート２０毎に独立して設けられている。１枚の固定板６００には、４個のヘッドチップ９が接着されるため、４個の開口部６０１が設けられている。
また、固定板６００とコンプライアンス基板４５を接着する第１接着剤７０１は、ノズルプレート２０と固定板６００の開口部６０１の内周面との間に設けられ、固定板６００とノズルプレート２０との間を閉塞する閉塞部７０１Ａを含む。本実施形態では、開口部６０１は、ノズルプレート２０よりも大きな開口を有するため、閉塞部７０１Ａは、開口部６０１の内周面とノズルプレート２０の側面との間に流路形成基板１５の表面が露出しないように設けられている。
また、第１接着剤７０１は、閉塞部７０１Ａよりも開口部６０１から離れて配置された主固定部７０１Ｂを含む。主固定部７０１Ｂは、固定板６００とコンプライアンス基板４５との間で両者を接着する。つまり、主固定部７０１Ｂは、Ｚ軸方向に見て、第１接着剤７０１のコンプライアンス基板４５と固定板６００とが重なる部分であり、閉塞部７０１Ａは、Ｚ軸方向に見て、第１接着剤７０１の開口部６０１の内周面とノズルプレート２０との間に重なる部分である。また、閉塞部７０１Ａは、固定板６００の－Ｚ方向を向く面において、コンプライアンス基板４５の開口部４５ａの内周面とノズルプレート２０の側面との間の部分も含む。本実施形態では、第１接着剤７０１の閉塞部７０１Ａと主固定部７０１Ｂとは、一体的に設けられているが、もちろん、閉塞部７０１Ａと主固定部７０１Ｂとは、分割されるように離れた位置に配置されていてもよい。
また、液体噴射ヘッド２の第１接着剤７０１が設けられた部分には、第１接着剤７０１を加熱して可塑化させるための発熱体である第１発熱体７１１を有する。本実施形態では、第１発熱体７１１は、閉塞部７０１Ａを加熱して可塑化させるための第１部分７１１Ａと、主固定部７０１Ｂを加熱して可塑化させるための第２部分７１１Ｂと、を含む。
第１部分７１１Ａは、流路形成基板１５の＋Ｚ方向を向く面であって、ノズルプレート２０とコンプライアンス基板４５の開口部４５ａとの間に露出された表面に設けられている。つまり、第１部分７１１Ａは、Ｚ軸方向において第１接着剤７０１の閉塞部７０１Ａに重なる位置に、閉塞部７０１Ａに直接、接触して配置されている。また、第１発熱体７１１と第１接着剤７０１とは、Ｚ軸方向に見て重なって配置されている。
第２部分７１１Ｂは、コンプライアンス基板４５の固定基板４７の＋Ｚ方向を向く表面に形成されている。つまり、第２部分７１１Ｂは、Ｚ軸方向において第１接着剤７０１の主固定部７０１Ｂに重なる位置に、主固定部７０１Ｂに直接、接触して配置されている。つまり、第１発熱体７１１および第１接着剤７０１は、固定板６００とヘッドチップ９との積層方向であるＺ軸方向に関して、固定板６００とヘッドチップ９との間に配置される。
このような第１発熱体７１１は、電熱線によって形成されている。第１発熱体７１１は、流路形成基板１５の表面および固定基板４７の表面に成膜することで形成してもよく、電熱線を貼り付けることで形成してもよい。また、第１発熱体７１１を設ける部材が樹脂材料や金属材料で形成される場合には、第１発熱体７１１はインサート成形によって一体的に設けることもできる。このような第１発熱体７１１としては、例えば、室温（２０℃）において電気抵抗率が１．００×１０－６Ω・ｍ以上であることが好ましい。このような電熱線は、例えば、ニクロム線やカンタル線などが挙げられる。室温（２０℃）において、ニクロム線の電気抵抗率は１．０６～１．１０×１０－６Ω・ｍ程度であり、カンタル線の電気抵抗率は１．４０×１０－６Ω・ｍ程度である。なお、第１発熱体７１１を設ける部材が導電性を有する材料で形成される場合には、第１発熱体７１１は、絶縁性を有する膜やシートを介して設けるようにすればよい。また、第１発熱体７１１が絶縁性を有する外装で被覆されている場合には、導電性を有する部材に直接、貼り付けることもできる。
第１発熱体７１１の第１部分７１１Ａには、図４および図５に示すように、第１部分用入力配線７２１Ａと第１部分用出力配線７２１Ｂとが接続されている。
第１部分用入力配線７２１Ａは、第１部分７１１Ａの＋Ｘ方向の端部に一端が接続され、他端が振動板５０上で配線基板８０の端部と接続されるように形成されている。この第１部分用入力配線７２１Ａは、流路形成基板１５とコンプライアンス基板４５との間、流路形成基板１５の＋Ｘ方向の端面、流路形成基板１５の－Ｚ方向を向く表面、圧力室基板１０の＋Ｘ方向の端面、振動板５０の＋Ｘ方向の端面、および、振動板５０を向く－Ｚ方向の表面に亘って延設されている。
第１部分用出力配線７２１Ｂは、第１部分７１１Ａの－Ｘ方向の端部に一端が接続され、他端が振動板５０上で配線基板８０の端部と接続されるように形成されている。この第１部分用出力配線７２１Ｂは、流路形成基板１５とコンプライアンス基板４５との間、流路形成基板１５の－Ｘ方向の端面、流路形成基板１５の－Ｚ方向を向く表面、圧力室基板１０の－Ｘ方向の端面、振動板５０の－Ｘ方向の端面、および、振動板５０を向く－Ｚ方向の表面に亘って延設されている。
このような第１部分用入力配線７２１Ａおよび第１部分用出力配線７２１Ｂは、第１部分７１１Ａよりも電気抵抗率が低い。例えば、第１部分用入力配線７２１Ａおよび第１部分用出力配線７２１Ｂの断面積を、第１部分７１１Ａの断面積よりも大きくすることで電気抵抗率を低くしてもよい。また、第１部分用入力配線７２１Ａおよび第１部分用出力配線７２１Ｂとして、第１部分７１１Ａよりも電気抵抗率の低い材料を用いるようにしてもよい。発熱体を構成する電熱線よりも電気抵抗率の低い、発熱体に接続された中継配線を構成する材料としては、例えば、銀（１．５９×１０－８Ω・ｍ）、銅（１．６８×１０－８Ω・ｍ）、金（２．４４×１０－８Ω・ｍ）、アルミニウム（２．６５×１０－８Ω・ｍ）、白金（１．０６×１０－７Ω・ｍ）、スズ（１．０９×１０－７Ω・ｍ）等が好適である。なお、これら電気抵抗率の大小に関する規定は、以降において同様である。
また、第１部分用入力配線７２１Ａおよび第１部分用出力配線７２１Ｂの他端部のそれぞれは、配線基板８０の図示しない配線と電気的に接続される。この配線基板８０の図示しない配線は、中継基板４００の基板上配線４２０である第１部分用中継配線４２１Ａを介して液体噴射ヘッド２の外部の電極、つまりは外部配線と電気的に接続される。なお、ここでの外部配線は、前述の外部配線４ａとは異なる。第１部分用中継配線４２１Ａは、１つのヘッドチップ９に対して２本設けられている。
中継基板４００のコネクター４４０の図示しない内部には、第１部分用入力配線７２１Ａおよび第１部分用出力配線７２１Ｂのそれぞれと第１部分用中継配線４２１Ａを介して電気的に接続された入力端子および出力端子を有する。このため、本実施形態の第１部分７１１Ａの「中継配線」は、第１部分用入力配線７２１Ａおよび第１部分用出力配線７２１Ｂと、第１部分用入力配線７２１Ａおよび第１部分用出力配線７２１Ｂのそれぞれと第１部分用中継配線４２１Ａとを接続する配線基板８０の図示しない配線と、中継基板４００の第１部分用中継配線４２１Ａと、コネクター４４０の第１部分用中継配線４２１Ａに電気的に接続された図示しない入力端子および出力端子と、を含む。また、本実施形態の第１部分７１１Ａに対応する「加熱経路」は、第１部分７１１Ａと前述の第１部分７１１Ａの「中継配線」とを含む。
第１発熱体７１１の第２部分７１１Ｂには、図４および図６に示すように、第２部分用入力配線７２１Ｃと第２部分用出力配線７２１Ｄとが接続されている。
第２部分用入力配線７２１Ｃは、第２部分７１１Ｂの＋Ｘ方向の端部に一端が接続され、他端が振動板５０上で配線基板８０の端部と接続されるように形成されている。この第２部分用入力配線７２１Ｃは、コンプライアンス基板４５の＋Ｘ方の端面、流路形成基板１５の＋Ｘ方向の端面、流路形成基板１５の－Ｚ方向を向く表面、圧力室基板１０の＋Ｘ方向の端面、振動板５０の＋Ｘ方向の端面、および、振動板５０の－Ｚ方向を向く表面に亘って延設されている。
第２部分用出力配線７２１Ｄは、第２部分７１１Ｂの－Ｘ方向の端部に一端が接続され、他端が振動板５０上で配線基板８０の端部と接続されるように形成されている。この第２部分用出力配線７２１Ｄは、コンプライアンス基板４５の－Ｘ方向の端面、流路形成基板１５の－Ｘ方向の端面、流路形成基板１５の－Ｚ方向を向く表面、圧力室基板１０の－Ｘ方向の端面、振動板５０の－Ｘ方向の端面、および、振動板５０の－Ｚ方向を向く表面に亘って延設されている。
このような第２部分用入力配線７２１Ｃおよび第２部分用出力配線７２１Ｄのそれぞれは、第２部分７１１Ｂよりも電気抵抗率が低い。
また、第２部分用入力配線７２１Ｃおよび第２部分用出力配線７２１Ｄの他端部のそれぞれは、配線基板８０の図示しない配線と電気的に接続される。この配線基板８０の図示しない配線は、中継基板４００に設けられた基板上配線４２０である第２部分用中継配線４２１Ｂを介して液体噴射ヘッド２の外部の電極、つまりは外部配線と電気的に接続される。前述した通り、ここでの外部配線は、外部配線４ａとは異なる。第２部分用中継配線４２１Ｂは、１つのヘッドチップ９に対して２本設けられている。
中継基板４００のコネクター４４０の図示しない内部には、第２部分用中継配線４２１Ｂを介して第２部分用入力配線７２１Ｃおよび第２部分用出力配線７２１Ｄのそれぞれと電気的に接続された入力端子および出力端子を有する。このため、本実施形態の第２部分の「中継配線」は、第２部分用入力配線７２１Ｃおよび第２部分用出力配線７２１Ｄと、第２部分用入力配線７２１Ｃおよび第２部分用出力配線７２１Ｄのそれぞれと第２部分用中継配線４２１Ｂとを接続する配線基板８０の図示しない配線と、中継基板４００の第２部分用中継配線４２１Ｂと、コネクター４４０の第２部分用中継配線４２１Ｂに電気的に接続された図示しない入力端子および出力端子とを含む。また、本実施形態の第２部分７１１Ｂに対応する「加熱経路」は、第２部分７１１Ｂと前述の「中継配線」とを含む。また、中継配線の電気抵抗率を、第１発熱体７１１の電気抵抗率よりも小さくすることで、中継配線での電力消費を低減して、第１発熱体７１１を効率よく発熱させることができる。
また、本実施形態の第１部分７１１Ａと第２部分７１１Ｂとは、電気的に独立している。ここで、第１部分７１１Ａと第２部分７１１Ｂとが電気的に独立しているとは、一方に通電した場合に、他方に通電されないものを言う。具体的には、直流電源の場合、第１発熱体７１１の第１部分７１１Ａと、これに接続される中継配線と、これに接続されるコネクター４４０の入力端子および出力端子とを含む電気的な第１経路と、第１発熱体７１１の第２部分７１１Ｂと、これに接続される中継配線と、これに接続されるコネクター４４０の入力端子および出力端子とを含む電気的な第２経路とが混線していないことを言う。また、第１部分７１１Ａと第２部分７１１Ｂとが電気的に独立しているとは、交流電源の場合、第１部分７１１Ａに接続されたコネクター４４０の出力端子と第２部分７１１Ｂに接続されたコネクター４４０の出力端子とが同じグランドに接続されていても良いが、グランドを除く区間において混線していないことを言う。なお、グランドを除く区間とは、第１部分７１１Ａに接続されたコネクター４４０の入力端子からグランドの直前までの区間、及び、第２部分７１１Ｂに接続されたコネクター４４０の入力端子からグランドの直前までの区間を指す。これら電気的に独立していることに対する規定は、以降において同様である。
もちろん、第１部分７１１Ａと第２部分７１１Ｂとは、電気的に接続されていてもよい。例えば、第１部分７１１Ａと第２部分７１１Ｂとは、連続して設けられていてもよく、一部で電気的に接続されていてもよい。また、第１部分７１１Ａの中継配線と第２部分７１１Ｂの中継配線とを途中で混線させることで、第１部分７１１Ａと第２部分７１１Ｂとを電気的に接続してもよい。中継配線を混線させるとは、第１部分用入力配線７２１Ａと第２部分用入力配線７２１Ｃとを導通させると共に、第１部分用出力配線７２１Ｂと第２部分用出力配線７２１Ｄとを導通させるものを含む。また、中継配線を混線させるとは、第１部分用中継配線４２１Ａと第２部分用中継配線４２１Ｂとを導通させることを含む。さらに、コネクター４４０内の入力端子同士および出力端子同士を導通させるようにしてもよい。このように第１部分７１１Ａと第２部分７１１Ｂとを電気的に接続することで、固定板６００とヘッドチップ９との接着状態を解除する際に、第１部分７１１Ａと第２部分７１１Ｂとの両方に電力を同時に供給することができ、解除作業を容易に行うことができる。
ただし、本実施形態のように第１部分７１１Ａと第２部分７１１Ｂとを電気的に独立させることで、第１接着剤７０１の閉塞部７０１Ａと主固定部７０１Ｂとを個別に加熱して可塑化することができる。したがって、閉塞部７０１Ａに生じたクラック（別称、ひび）を可塑化して修復する際などに、主固定部７０１Ｂが可塑化するのを抑制して、固定板６００とヘッドチップ９との接着が解除されるのを抑制することができる。
また、第１部分７１１Ａに対応する加熱経路は、印刷用経路とは電気的に独立して設けられている。つまり、印刷時に印刷経路に通電されたとしても、第１発熱体７１１の第１部分７１１Ａには、通電されない。
同様に、第２部分７１１Ｂに対応する加熱経路は、印刷用経路とは電気的に独立して設けられている。つまり、印刷時に印刷経路に通電されたとしても、第１発熱体７１１の第２部分７１１Ｂには、通電されない。
なお、本実施形態では、第１発熱体７１１は、ヘッドチップ９に設けるようにしたが、特にこれに限定されず、固定板６００に設けるようにしてもよい。ただし、液体噴射ヘッド２においては、固定板６００は外部に露出しているため故障し易く交換する頻度が高い。このため、第１発熱体７１１をヘッドチップ９に設けることで、固定板６００を交換する毎に第１発熱体７１１が交換されるのを抑制し、交換時のコストを低減することができる。また、固定板６００とヘッドチップ９を構成する積層部材との材料は特に限定されないが、固定板６００としては、剛性が高い金属等が好ましく、圧力室基板１０、保護基板３０および流路形成基板１５等は、高精度な加工が可能なシリコン基板を用いることが好ましい。このため、第１発熱体７１１の第１部分７１１Ａ、第１部分用入力配線７２１Ａ、第１部分用出力配線７２１Ｂ、第２部分用入力配線７２１Ｃ、第２部分用出力配線７２１Ｄは、シリコン基板側に形成し易い。
また、固定板６００とホルダー１００とは、接着剤である第２接着剤７０２で接着されている。つまり、ホルダー１００の保持部１０１が開口する＋Ｚ方向を向く面と、固定板６００の－Ｚ方向を向く面とが、第２接着剤７０２によって接着されている。このような第２接着剤７０２としては、第１接着剤７０１と同様に、熱可塑性接着剤からなる。第２接着剤７０２は、絶縁性を有することが好ましい。これにより、第２発熱体７１２を流れる電流が、固定板６００に伝わるのを抑制することができる。固定板６００とホルダー１００とは第２接着剤７０２によって接着されているため、ホルダー１００に対して固定板６００を位置決めしてから固定することができる。
また、液体噴射ヘッド２の第２接着剤７０２が設けられた部分には、第２接着剤７０２を加熱して可塑化する第２発熱体７１２を有する。本実施形態では、第２発熱体７１２は、ホルダー１００の＋Ｚ方向を向く面の第２接着剤７０２によって接着される領域に設けられている。もちろん、第２発熱体７１２は、固定板６００側に設けるようにしてもよい。ただし、上述のように、第２発熱体７１２をホルダー１００に設けることで、固定板６００を交換する毎に第２発熱体７１２が交換されるのを抑制し、交換時のコストを低減することができる。第２発熱体７１２および第２接着剤７０２は、固定板６００とホルダー１００との積層方向であるＺ軸方向に関して、固定板６００とホルダー１００との間に配置される。また、第２発熱体７１２と第２接着剤７０２とは、Ｚ軸方向に見て重なって配置されている。
このような第２発熱体７１２は、電熱線によって形成されている。第２発熱体７１２は、ホルダー１００の表面に成膜することで形成してもよく、電熱線を貼り付けることで形成してもよい。また、第２発熱体７１２を設ける部材が樹脂材料や金属材料で形成される場合には、第２発熱体７１２はインサート成形によって一体的に設けることもできる。このような第２発熱体７１２としては、例えば、電気抵抗率が１．００×１０－６Ω・ｍ以上であることが好ましい。なお、第２発熱体７１２を設ける部材が導電性を有する材料で形成される場合には、第２発熱体７１２は、絶縁性を有する膜やシートを介して設けるようにすればよい。また、第２発熱体７１２が絶縁性を有する外装で被覆されている場合には、導電性を有する部材に直接、貼り付けることもできる。
第２発熱体７１２には、図３および図７に示すように、第２発熱体用入力配線７２２Ａと第２発熱体用出力配線７２２Ｂとが接続されている。第２発熱体用入力配線７２２Ａは、一端が第２発熱体７１２に接続され、他端が、ホルダー１００の－Ｚ方向を向く面まで、保持部１０１の内面および配線部材挿通孔１０４の内面に亘って延設されている。第２発熱体用出力配線７２２Ｂも同様に、一端が第２発熱体７１２に接続され、他端がホルダー１００の－Ｚ方向を向く面まで、保持部１０１の内面および配線部材挿通孔１０４の内面に亘って延設されている。
このような第２発熱体用入力配線７２２Ａおよび第２発熱体用出力配線７２２Ｂのそれぞれの他端部は、中継基板４００の＋Ｚ方向を向く面に形成された基板上配線４２０である第２発熱体用中継配線４２２に接続されている（図９参照）。つまり、第２発熱体用中継配線４２２は、中継基板４００に２本設けられている。また、第２発熱体用中継配線４２２は、中継基板４００の＋Ｚ方向を向く面に固定されたコネクター４４０を介して外部配線と接続される。前述した通り、ここでの外部配線は、外部配線４ａとは異なる。
中継基板４００のコネクター４４０の図示しない内部には、第２発熱体用中継配線４２２を介して第２発熱体用入力配線７２２Ａおよび第２発熱体用出力配線７２２Ｂと電気的に接続された入力端子および出力端子を有する。このため、本実施形態の第２発熱体７１２の「中継配線」は、第２発熱体用入力配線７２２Ａおよび第２発熱体用出力配線７２２Ｂと、中継基板４００の第２発熱体用中継配線４２２と、コネクター４４０の第２発熱体用中継配線４２２に電気的に接続された図示しない入力端子および出力端子とを含む。また、本実施形態の第２発熱体７１２に対応する「加熱経路」は、第２発熱体７１２と前述の「中継配線」とを含む。第２発熱体７１２に対応する加熱経路は、印刷用経路とは電気的に独立して設けられている。つまり、印刷時に印刷経路に通電されたとしても、第２発熱体７１２には、通電されない。なお、第２発熱体７１２の中継配線の電気抵抗率を第２発熱体７１２の電気抵抗率よりも小さくすることで、中継配線での電力消費を低減して、第２発熱体７１２を効率よく発熱させることができる。
さらに、ホルダー１００とヘッドチップ９とは、上述のように第３接着剤７０３によって接着されている。このため、ホルダー１００とヘッドチップ９との間に働く応力を第３接着剤７０３が吸収することで、ヘッドチップ９のアライメント精度を向上させることができる。ヘッドチップ９は、ケース部材４０の－Ｚ方向を向く面と、ホルダー１００の保持部１０１の＋Ｚ方向を向く底面と、が第３接着剤７０３を介して接着されている。この第３接着剤７０３によってホルダー１００の接続流路１１０とヘッドチップ９の導入口４４とが液密に接続されている。つまり、第３接着剤７０３は、接続流路１１０の開口および導入口４４の開口の周囲に周方向に亘って連続して設けることで、接続流路１１０と導入口４４との連通部分をシールするシール部材としても機能する。このようなホルダー１００とヘッドチップ９とを接着する第３接着剤７０３は、熱可塑性接着剤からなる。第３接着剤７０３は、絶縁性を有することが好ましい。なお、第３接着剤７０３は、接続流路１１０と導入口４４との連通部分の周囲に設けるだけではなく、ケース部材４０の－Ｚ方向を向く面の全面に亘って設けるようにしてもよい。
液体噴射ヘッド２の第３接着剤７０３が設けられた部分には、第３接着剤７０３を加熱して可塑化させるための発熱体である第３発熱体７１３を有する。本実施形態では、第３発熱体７１３は、ホルダー１００の保持部１０１の＋Ｚ方向を向く底面の第３接着剤７０３によって接着される領域、すなわち、接続流路１１０の開口の周囲に亘って環状に設けられている。つまり、本実施形態では、導入口４４に対して１つの第３発熱体７１３が設けられており、ホルダー１００には合計８個の第３発熱体７１３が設けられている。もちろん、第３発熱体７１３は、複数のヘッドチップ９に対応して連続して１つ設けるようにしてもよい。また、第３発熱体７１３は、ヘッドチップ９のケース部材４０に設けるようにしてもよい。なお、第３接着剤７０３をケース部材４０の－Ｚ方向を向く面の全面に亘って設けた場合には、第３発熱体７１３は、ホルダー１００のケース部材４０の－Ｚ方向を向く面にＺ軸方向で対向する領域に亘って設けるようにすればよい。つまり、第３発熱体７１３および第３接着剤７０３は、ホルダー１００とヘッドチップ９との積層方向であるＺ軸方向に関して、固定板６００とヘッドチップ９との間に配置される。また、第３発熱体７１３と第３接着剤７０３とは、Ｚ軸方向に見て重なって配置されている。
このような第３発熱体７１３は、電熱線によって形成されている。第３発熱体７１３は、ホルダー１００の表面に成膜することで形成してもよく、電熱線を貼り付けることで形成してもよい。また、第３発熱体７１３を設ける部材が樹脂材料や金属材料で形成される場合には、第３発熱体７１３はインサート成形によって一体的に設けることもできる。このような第３発熱体７１３としては、例えば、電気抵抗率が１．００×１０－６Ω・ｍ以上であることが好ましい。なお、第３発熱体７１３を設ける部材が導電性を有する材料で形成される場合には、第３発熱体７１３は、絶縁性を有する膜やシートを介して設けるようにすればよい。また、第３発熱体７１３が絶縁性を有する外装で被覆されている場合には、導電性を有する部材に直接、貼り付けることもできる。
１つのヘッドチップ９の２つの導入口４４に対応する２つの第３発熱体７１３は、図７に示すように、接続配線７２３Ａによって互いに電気的に接続されている。接続配線７２３Ａは、保持部１０１の＋Ｚ方向を向く底面に形成されている。また、１つのヘッドチップ９に対応する２つの第３発熱体７１３には、第３発熱体用入力配線７２３Ｂと第３発熱体用出力配線７２３Ｃとが接続されている。第３発熱体用入力配線７２３Ｂは、一端が－Ｙ方向に位置する一方の第３発熱体７１３に接続され、他端がホルダー１００の－Ｚ方向を向く面まで、保持部１０１の内面および配線部材挿通孔１０４の内面に亘って延設されている。第３発熱体用出力配線７２３Ｃは、一端が＋Ｙ方向に位置する他方の第３発熱体７１３に接続され、他端がホルダー１００の－Ｚ方向を向く面まで、保持部１０１の内面および配線部材挿通孔１０４の内面に亘って延設されている。このような第３発熱体用入力配線７２３Ｂおよび第３発熱体用出力配線７２３Ｃは、ヘッドチップ９に対応して対をなす第３発熱体７１３のそれぞれに設けられている。
このような接続配線７２３Ａ、第３発熱体用入力配線７２３Ｂおよび第３発熱体用出力配線７２３Ｃは、第３発熱体７１３よりも電気抵抗率が低い。
このような第３発熱体用入力配線７２３Ｂおよび第３発熱体用出力配線７２３Ｃのそれぞれの他端部は、中継基板４００の＋Ｚ方向を向く面に形成された基板上配線４２０である第３発熱体用中継配線４２３に接続されている（図９参照）。つまり、中継基板４００は、ヘッドチップ９毎に２本の第３発熱体用中継配線４２３を有する。そして第３発熱体用中継配線４２３は、中継基板４００の＋Ｚ方向を向く面に固定されたコネクター４４０を介して外部配線と接続される。前述と同様に、ここでの外部配線は、外部配線４ａとは異なる。
すなわち、中継基板４００のコネクター４４０の図示しない内部には、第３発熱体用中継配線４２３を介して第３発熱体用入力配線７２３Ｂおよび第３発熱体用出力配線７２３Ｃと電気的に接続された入力端子および出力端子を有する。このため、本実施形態の第３発熱体７１３の「中継配線」は、第３発熱体用入力配線７２３Ｂおよび第３発熱体用出力配線７２３Ｃと、中継基板４００の第３発熱体用中継配線４２３と、コネクター４４０の第３発熱体用中継配線４２３に電気的に接続された図示しない入力端子および出力端子を含む。また、本実施形態の第３発熱体７１３に対応する「加熱経路」は、第３発熱体７１３と前述の「中継配線」とを含む。この第３発熱体７１３に対応する加熱経路は、印刷用経路とは電気的に独立して設けられている。つまり、印刷時に印刷経路に通電されたとしても、第３発熱体７１３には、通電されない。なお、第３発熱体７１３の中継配線の電気抵抗率を第３発熱体７１３の電気抵抗率よりも小さくすることで、中継配線での電力消費を低減して、第３発熱体７１３を効率よく発熱させることができる。
図示しない外部配線は、液体噴射装置１の一部ではない不図示の電源装置と、コネクター４４０の第１部分用中継配線４２１Ａに電気的に接続された入力端子および出力端子、コネクター４４０の第２部分用中継配線４２１Ｂに電気的に接続された入力端子および出力端子、コネクター４４０の第２発熱体用中継配線４２２に電気的に接続された入力端子および出力端子、および、コネクター４４０の第３発熱体用中継配線４２３に電気的に接続された図示しない入力端子および出力端子とを電気的に接続しており、この外部配線を介して電源装置から第１部分用中継配線４２１Ａ、第２部分用中継配線４２１Ｂ、第２発熱体用中継配線４２２および第３発熱体用中継配線４２３に電力を供給することで第１部分７１１Ａ、第２部分７１１Ｂ、第２発熱体７１２および第３発熱体７１３が発熱する。なお、この外部配線は、印刷用経路には電気的に接続されない。また、複数の発熱体の各加熱経路は、互いに電気的に独立しているため、第１部分７１１Ａ、第２部分７１１Ｂ、第２発熱体７１２および第３発熱体７１３のうち一部のみを選択的に発熱させることが可能である。
このような構成の液体噴射ヘッド２では、発熱体を発熱させて接着剤を加熱することで、接着剤を可塑化することができる。本実施形態では、発熱体として第１発熱体７１１、第２発熱体７１２および第３発熱体７１３を設けた。このため、第１発熱体７１１は、第１接着剤７０１を可塑化し、第２発熱体７１２は第２接着剤７０２を可塑化し、第３発熱体７１３は、第３接着剤７０３を可塑化することができる。また、本実施形態では、これら第１発熱体７１１、第２発熱体７１２および第３発熱体は、それぞれ電気的に独立するようにした。このため、第１発熱体７１１による第１接着剤７０１の可塑化、第２発熱体７１２による第２接着剤７０２の可塑化、第３発熱体による第３接着剤７０３の可塑化は、それぞれ独立して行うことができる。また、第１発熱体７１１および第３発熱体７１３は、ヘッドチップ９毎に電気的に独立して設けるようにした。このため、第１発熱体７１１による第１接着剤７０１の可塑化と、第２発熱体７１２による第２接着剤７０２の可塑化と、をヘッドチップ９毎に独立して行うことができる。さらに、１つのヘッドチップ９に対して設けられた第１発熱体７１１の第１部分７１１Ａと第２部分７１１Ｂとは、電気的に独立するようにした。このため、第１部分７１１Ａによる閉塞部７０１Ａの可塑化と、第２部分７１１Ｂによる主固定部７０１Ｂの可塑化と、を独立して行うことができる。
ここで、接着剤の可塑化とは、接着剤の軟化および溶融化を含む。接着剤の軟化とは、接着剤が加熱されることにより柔らかくなることである。また、接着剤の溶融化とは、接着剤が加熱されることにより液状化することである。例えば、第１接着剤７０１の閉塞部７０１Ａがインクの攻撃によってクラック等が発生した際に、第１発熱体７１１によって第１接着剤７０１の閉塞部７０１Ａを加熱して溶融化することで、閉塞部７０１Ａのクラックを修復することができる。もちろん、主固定部７０１Ｂについても同様である。また、第２発熱体７１２についても同様に、第２発熱体７１２によって第２接着剤７０２を溶融化することで、第２接着剤７０２のクラックを修復することができる。第３発熱体７１３についても同様に、第３発熱体７１３によって第３接着剤７０３を溶融化することで、第３接着剤７０３のクラックを修復することができる。
また、第１発熱体７１１によって第１接着剤７０１を可塑化し、第２発熱体７１２によって第２接着剤７０２を可塑化することで、固定板６００とホルダー１００およびヘッドチップ９との接着を解除することができる。
ここで、固定板６００は、例えば、以下の理由により故障する場合がある。
液体噴射装置１において、媒体Ｓを搬送中に媒体Ｓの詰まり、所謂、紙ジャムが発生し、媒体Ｓが固定板６００に接触することで固定板６００が変形する。
液体噴射装置１において、インクをノズル２１から吸引する図示しない吸引キャップを固定板６００に当接した際の荷重が、何らかの理由により想定以上の大きさとなることによって変形する。
液体噴射装置１において、ノズルプレート２０および固定板６００の＋Ｚ方向を向く面を図示しないワイパーブレード等の払拭部材で払拭することで、固定板６００の表面に形成された撥液膜が剥離する。
このような固定板６００に故障が発生した際に、第１発熱体７１１によって第１接着剤７０１を可塑化し、第２発熱体７１２によって第２接着剤７０２を可塑化することで、固定板６００とホルダー１００およびヘッドチップ９との接着状態を解除し、固定板６００を新品に交換することができる。すなわち、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２が第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を可塑化することで、故障した固定板６００をホルダー１００およびヘッドチップ９から取り外す。そして、新品の固定板６００を、第２接着剤７０２および第１接着剤７０１のそれぞれを介してホルダー１００およびヘッドチップ９のそれぞれに当接させた状態で、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２の発熱を停止する。これにより、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の温度を下げて硬化させて、ホルダー１００およびヘッドチップ９と新品の固定板６００とを接着することができる。なお、固定板６００を交換する場合には、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の可塑化は、軟化させることが好ましい。第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を軟化させることで、固定板６００を交換した際に、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を容易に除去して、新たな固定板６００を新たな第１接着剤７０１および第２接着剤７０２で接着することができる。つまり、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を軟化して固定板６００を取り外すと、固定板６００とヘッドチップ９およびホルダー１００との何れか一方に第１接着剤７０１および第２接着剤７０２が付着し、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２それぞれが塊となって除去し易い。これに対して、例えば、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を溶融化して固定板６００を取り外すと、固定板６００とヘッドチップ９およびホルダー１００との両方に第１接着剤７０１および第２接着剤７０２が付着し、両方に付着した第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を拭き取らなくてはならないと共に、綺麗に拭き取るのが煩雑になってしまう。
なお、上述した例では、固定板６００とホルダー１００およびヘッドチップ９との接着状態を解除して、固定板６００を新品に交換する構成を説明したが、特にこれに限定されない。例えば、固定板６００とホルダー１００およびヘッドチップ９との接着状態を解除して、ホルダー１００およびヘッドチップ９が接着されたユニットを新品に交換するようにしてもよい。また、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２は、固定板６００とホルダー１００およびヘッドチップ９との接着状態を解除した際に、新品に交換するようにしてもよい。
また、固定板６００とホルダー１００およびヘッドチップ９との接着状態を解除した後、第３発熱体７１３によって第３接着剤７０３を可塑化することで、ホルダー１００とヘッドチップ９との接着状態を解除することができる。
ここで、ヘッドチップ９は、例えば、以下の理由により故障する場合がある。
圧電アクチュエーター６０が寿命により正常に動作しなくなる。
液体噴射装置において、ノズルプレート２０を払拭部材によって払拭することで、ノズルプレート２０の表面の撥液膜が剥がれる。
このようなヘッドチップ９の故障が発生した際に、第３発熱体７１３によって第３接着剤７０３を可塑化することで、ヘッドチップ９とホルダー１００との接着状態を解除し、ヘッドチップ９を新品に交換することができる。つまり、第３発熱体７１３が第３接着剤７０３を可塑化することで、故障したヘッドチップ９をホルダー１００から取り外す。そして、新品のヘッドチップ９を、第３接着剤７０３を介してホルダー１００に当接させた状態で、第３発熱体７１３の発熱を停止する。これにより、第３接着剤７０３の温度を下げて硬化させて、ホルダー１００と新品のヘッドチップ９とを接着することができる。なお、ヘッドチップ９を交換する場合には、固定板６００の交換と同様に、第３接着剤７０３の可塑化は、軟化させることが好ましい。第３接着剤７０３を軟化させることで、ヘッドチップ９を交換した際に、第３接着剤７０３を容易に除去して、新たなヘッドチップ９を新たな第３接着剤７０３で接着することができる。
なお、上述した例では、ホルダー１００とヘッドチップ９との接着状態を解除して、ヘッドチップ９を新品に交換する構成を説明したが、特にこれに限定されない。例えば、ホルダー１００とヘッドチップ９との接着状態を解除して、ホルダー１００を新品に交換するようにしてもよい。また、第３接着剤７０３は、ホルダー１００とヘッドチップ９との接着状態を解除した際に、新品に交換するようにしてもよい。
また、本実施形態では、ヘッドチップ９毎に設けられた対となる第３発熱体７１３は、ヘッドチップ９毎に電気的に独立している。このため、故障したヘッドチップ９に対応する第３発熱体７１３に選択的に通電して第３接着剤７０３を選択的に可塑化することができる。したがって、故障したヘッドチップ９のみを交換することができ、正常なヘッドチップ９を含む全てのヘッドチップ９を同時に交換する必要がない。また、故障したヘッドチップ９を交換する際に、正常なヘッドチップ９がホルダー１００から取り外されるのを抑制することができるため、故障したヘッドチップ９の交換を容易に行うことができる。
なお、第１接着剤７０１、第２接着剤７０２、第３接着剤７０３は、インクの沸点よりも低い軟化点を有する材料を用いるのが好ましい。これは、第１発熱体７１１、第２発熱体７１２、および第３発熱体７１３のそれぞれによって、第１接着剤７０１、第２接着剤７０２、第３接着剤７０３を可塑化する際に、インクの沸点よりも低い温度で加熱することで、液体噴射ヘッド２内に残留するインクを異物化させないようにすることができる。したがって、インクの異物化によるインクの噴射不良等を抑制することができる。特に、インクの流路を構成する第３接着剤７０３は、インクの沸点よりも低い軟化点を有する材料を用いるのが好ましい。
また、ヘッドチップ９の第３接着剤７０３が塗布された部材であるケース部材４０、および、第３接着剤７０３が塗布されたホルダー１００の少なくとも一方が熱可塑性樹脂の場合、熱可塑性樹脂の融点は、第３接着剤７０３の軟化点よりも高いことが好ましい。このように熱可塑性樹脂の融点を、第３接着剤７０３の軟化点よりも高くすることで、第３発熱体７１３が第３接着剤７０３を可塑化した際に、熱可塑性樹脂が溶融されるのを抑制することができる。なお、熱可塑性樹脂の軟化点は、第３接着剤７０３の軟化点よりも高いことがより好ましい。また、熱可塑性樹脂の融点は、第３接着剤７０３の融点よりも高いことが好ましい。さらに好ましくは、熱可塑性樹脂の軟化点は、第３接着剤７０３の融点よりも高いことが好適である。
（液体噴射ヘッドの製造方法）
実施形態１の液体噴射ヘッド２の製造方法の一例として、固定板６００の交換方法を具体的に説明する。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。また、図１０および図１１は、液体噴射ヘッド２の製造方法を示す要部断面図である。
図１０に示すように、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２を発熱させて第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱し、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を可塑化させる加熱工程を行う。また、加熱工程によって第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を可塑化することで、ホルダー１００およびヘッドチップ９と固定板６００との接着状態を解除する分解工程を行う。つまり、加熱工程では、複数のヘッドチップ９とホルダー１００とを接着する第３接着剤７０３は可塑化しない。
ここで、加熱工程では、液体噴射ヘッド２が内蔵する第１発熱体７１１および第２発熱体７１２に電力を供給することによって第１発熱体７１１および第２発熱体７１２を発熱させる。また、加熱工程では、第１部分用中継配線４２１Ａ、第２部分用中継配線４２１Ｂ、第２発熱体用中継配線４２２のそれぞれのコネクター４４０の外部に露出される不図示の入力端子および出力端子を介して第１発熱体７１１および第２発熱体７１２に電力を供給して、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２を発熱させる。このコネクター４４０の外部に露出される不図示の入力端子および出力端子は、「液体噴射ヘッドの外部に露出されるとともに発熱体に接続された中継配線の端部」の一例である。液体噴射ヘッド２が内蔵する第１発熱体７１１および第２発熱体７１２によって第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を可塑化させるため、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２によって第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱している状態で分解工程を行うことができる。そのため、加熱工程と分解工程とを並行して行うことができ、分解工程を行っている最中に第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の温度が低下しないため、分解工程を容易に行うことができる。
また、加熱工程では、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２は可塑化するが、ヘッドチップ９および固定板６００が可塑化しない温度で、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱する。つまり、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２が可塑化する温度は、ヘッドチップ９を構成する積層部材および固定板６００が可塑化する温度よりも低い温度となるように、第１接着剤７０１、第２接着剤７０２、ヘッドチップ９および固定板６００の材料を選択する。なお、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２が可塑化する温度とは、溶融化する温度である融点または軟化する温度である軟化点のことである。また、ヘッドチップ９および固定板６００が可塑化する温度とは、軟化点のことである。つまり、加熱工程で、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を軟化させる場合には、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の軟化点は、ヘッドチップ９および固定板６００の軟化点よりも低くなるようにする。また、加熱工程で、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を溶融化させる場合には、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の融点は、ヘッドチップ９および固定板６００の軟化点よりも低くなるようにする。これにより、加熱工程で、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を可塑化した際に、ヘッドチップ９および固定板６００が可塑化するのを抑制して、ヘッドチップ９および固定板６００が可塑化によって変形や分解されるのを抑制することができる。
また、本実施形態では、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の可塑化する温度と、ヘッドチップ９および固定板６００の可塑化する温度とを規定したが、特にこれに限定されず、第３接着剤７０３とホルダー１００およびヘッドチップ９との組み合わせにおいても同様の規定を行うことができる。つまり、加熱工程では、第３接着剤７０３は可塑化するが、ヘッドチップ９およびホルダー１００は、可塑化しない温度で第３発熱体を加熱すれば良い。
また、ヘッドチップ９の積層部材同士を接着する接着剤、例えば、第１積層用接着剤９１および第２積層用接着剤９２が熱可塑性接着剤である場合、加熱工程では、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２は軟化するが、ヘッドチップ９の積層部材同士を接着する接着剤、例えば、第１積層用接着剤９１および第２積層用接着剤９２は溶融化しない温度で、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱する。つまり、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の軟化点は、積層部材同士を接着する接着剤の融点よりも低い。このように積層部材同士を接着する接着剤の融点よりも低い軟化点の第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を用いることで、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２によって第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱した際に、積層部材同士を接着する接着剤が溶融化することがなく、ヘッドチップ９が分解されることや積層部材の位置ズレ等が生じるのを抑制することができる。
また、ヘッドチップ９の積層部材同士を接着する接着剤、例えば、第１積層用接着剤９１および第２積層用接着剤９２が熱可塑性接着剤である場合、加熱工程では、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２は溶融化するが、ヘッドチップ９の積層部材同士を接着する接着剤、例えば、第１積層用接着剤９１および第２積層用接着剤９２は溶融化しない温度で、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱するようにしてもよい。つまり、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の融点は、積層部材同士を接着する接着剤の融点よりも低い。このように積層部材同士を接着する接着剤の融点よりも低い融点の第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を用いることで、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２によって第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱した際に、積層部材同士を接着する接着剤が溶融化することがなく、ヘッドチップ９が分解されることや積層部材の位置ズレ等が生じるのを抑制することができる。
また、ヘッドチップ９の積層部材同士を接着する接着剤、例えば、第１積層用接着剤９１および第２積層用接着剤９２が熱可塑性接着剤である場合、加熱工程では、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２は溶融化するが、ヘッドチップ９の積層部材同士を接着する接着剤、例えば、第１積層用接着剤および第２積層用接着剤は軟化しない温度で、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱するようにしてもよい。つまり、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の融点は、積層部材同士を接着する接着剤の軟化点よりも低い。このように積層部材同士を接着する接着剤の軟化点よりも低い融点の第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を用いることで、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２によって第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱した際に、積層部材同士を接着する接着剤が軟化することがなく、ヘッドチップ９が分解されることや積層部材の位置ズレ等が生じるのを抑制することができる。
また、ヘッドチップ９の積層部材同士を接着する接着剤、例えば、第１積層用接着剤９１および第２積層用接着剤９２が熱可塑性接着剤である場合、加熱工程では、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２は軟化するが、ヘッドチップ９の積層部材同士を接着する接着剤、例えば、第１積層用接着剤９１および第２積層用接着剤９２は軟化しない温度で、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱することが好ましい。つまり、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の軟化点は、積層部材同士を接着する接着剤の軟化点よりも低い。このように積層部材同士を接着する接着剤の軟化点よりも低い軟化点の第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を用いることで、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２によって第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱した際に、積層部材同士を接着する接着剤が軟化するのを抑制することができる。したがって、積層部材同士を接着する接着剤が軟化するのを抑制することで、積層部材同士を接着する接着剤が溶融化するのを抑制した場合に比べて、ヘッドチップ９が分解されるのをさらに抑制すると共に積層部材の位置ズレ等が生じるのをさらに抑制することができる。第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を溶融化ではなく軟化させることで、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を塊として除去しやすくなる。
なお、上述した第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の融点または軟化点と、ヘッドチップ９の積層部材を接着する接着剤の融点または軟化点と、の規定は、第３接着剤７０３についても同様の規定を行うことができる。また、第１接着剤７０１、第２接着剤７０２および第３接着剤７０３の融点または軟化点と、ヘッドチップ９の積層部材同士を接着する接着剤の融点または軟化点と、を規定したが、特にこれに限定されない。例えば、ホルダー１００および固定板６００の何れか一方または両方が、複数の積層部材を接着剤で積層して構成されている場合には、第１接着剤７０１、第２接着剤７０２および第３接着剤７０３の融点または軟化点は、ホルダー１００の積層部材同士を接着する接着剤又は固定板６００の積層部材同士を接着する接着剤の融点または軟化点と比較してもよい。
また、上述した例では、第１接着剤７０１、第２接着剤７０２および第３接着剤７０３の温度と、積層部材同士を接着する接着剤の温度とを比較したが、特にこれに限定されない。例えば、積層部材同士を接着する接着剤が可塑化する前に、分解工程を行うようにすればよい。すなわち、例えば、第１接着剤７０１、第２接着剤７０２および第３接着剤７０３が可塑化する温度と、積層部材同士を接着する接着剤が可塑化する温度と、が同じであっても、発熱体から遠い位置に配置された積層部材同士を接着する接着剤が可塑化するまでの時間は、第１接着剤７０１、第２接着剤７０２および第３接着剤７０３が可塑化するまでの時間に比べて長い。したがって、両者の可塑化する温度が同じであっても、積層部材同士を接着する接着剤が可塑化する前に、第１接着剤７０１、第２接着剤７０２および第３接着剤７０３を可塑化して分解工程を行うことができる。
次に、図１１に示すように、分解工程によって取り外した固定板６００を新品の固定板６００Ａに交換する交換工程を行う。交換工程では、新品の固定板６００Ａをホルダー１００およびヘッドチップ９に第１接着剤７０１および第２接着剤７０２によって接着する。つまり、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２によって第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱して可塑化した状態で、新品の固定板６００Ａをヘッドチップ９およびホルダー１００に当接させる。そして、固定板６００Ａをヘッドチップ９およびホルダー１００に当接させた状態で、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２による第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の加熱を停止することで、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の温度を低下させることで硬化させて、新品の固定板６００Ａとヘッドチップ９およびホルダー１００とを接着する。なお、加熱工程で第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱する温度は、交換工程で第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱する温度よりも低いことが好ましい。つまり、加熱工程では、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を軟化させて、分解し易くし、交換工程では、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を溶融化させることで、固定板６００Ａとヘッドチップ９およびホルダー１００との接着強度を向上することができる。
また、加熱工程で第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱する時間は、交換工程で第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱する時間よりも短いことが好ましい。つまり、加熱工程では、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を短い時間で加熱して軟化させて、分解し易くし、交換工程では、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を比較的長い時間で加熱して溶融化させることで、固定板６００Ａとヘッドチップ９およびホルダー１００との接着強度を向上することができる。
また、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２は、交換工程で新品に交換してもよい。新品の第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を用いる場合には、新品の第１接着剤７０１および第２接着剤７０２は、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２によって加熱することなく、外部のヒーター等の加熱手段によって加熱して可塑化することで塗布してもよい。第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を交換する場合にも、加熱工程で第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱する温度は、交換工程で第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱する温度よりも低いことが好ましい。または、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を交換する場合にも、加熱工程で第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱する時間は、交換工程で第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱する時間よりも短いことが好ましい。これによれば、加熱工程において、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を交換し易い。
このように液体噴射ヘッド２の一部品である固定板６００を新品に交換することで、液体噴射ヘッド２の再生が可能になる。したがって、液体噴射ヘッド２全体を交換する場合に比べて廃棄物を減少させることができると共にコストを低減することができる。実施形態１の液体噴射ヘッド２の製造方法では、ヘッドチップ９が「第１部品」に相当し、固定板６００が「第２部品」に相当し、ホルダー１００が「第３部品」に相当し、第１接着剤７０１が「第１部品と第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤」に相当し、第３接着剤７０３が「第１部品と第３部品とを接着する接着剤」に相当し、第２接着剤７０２が「第２部品と第３部品とを接着するとともに硬化している接着剤」に相当するが、特にこれに限定されない。例えば、ホルダー１００を「第１部品」とし、固定板６００を「第２部品」とし、ヘッドチップ９を「第３部品」としても同様の製造方法を適用できる。
なお、本実施形態では、固定板６００を新品の固定板６００Ａに交換するようにしたが、これに限定されない。例えば、ヘッドチップ９およびホルダー１００を新品に交換するようにしてもよい。交換工程は、ヘッドチップ９およびホルダー１００と、固定板６００との何れか一方を新品に交換すればよい。
また、上述した分解工程によって固定板６００と分解されたヘッドチップ９およびホルダー１００に対して、加熱工程、分解工程および交換工程を行うようにしてもよい。つまり、加熱工程では、固定板６００が取り外されたヘッドチップ９およびホルダー１００に対して、第３発熱体７１３に通電して発熱させることで、第３接着剤７０３を加熱して可塑化する。次に、分解工程では、加熱工程によって第３接着剤７０３を可塑化することで、ホルダー１００とヘッドチップ９との接着状態を解除する。その後、交換工程では、ヘッドチップ９およびホルダー１００の何れか一方を新品に交換する。なお、本実施形態では、ヘッドチップ９毎に第３発熱体７１３を設け、各ヘッドチップ９の第３発熱体７１３は、電気的に独立するようにした。このため、故障したヘッドチップ９のみを選択的にホルダー１００から取り外すことができ、故障していないヘッドチップ９とホルダー１００との接着状態が解除されるのを抑制することができる。したがって、第３発熱体７１３を発熱させた際に、故障していないヘッドチップ９がホルダー１００に対して位置ズレすることや取り外されることを抑制することができる。もちろん、全てのヘッドチップ９を交換する場合には、各ヘッドチップ９に対応して設けられた第３発熱体７１３は、電気的に導通していてもよい。なお、ホルダー１００に対してヘッドチップ９を取り外す際には、液体噴射ヘッド２の外部からヒーター等の加熱手段によって配線基板８０と中継基板４００とを接続している半田や導電性接着剤を加熱することで、配線基板８０と中継基板４００との接続を解除することが好ましい。また、ホルダー１００に対するヘッドチップ９の交換だけではなく、ヘッドチップ９に対してホルダー１００を交換するようにしてもよい。すなわち、「第１部品」及び「第２部品」が、ヘッドチップ９、固定板６００およびホルダー１００のうち何れか２つ相当していても構わない。
（変形例１）
図１２および図１３は、実施形態１の液体噴射ヘッド２の製造方法の変形例１を説明する要部断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図１２に示すように、第２発熱体７１２および第３発熱体を発熱させて第２接着剤７０２および第３接着剤７０３を加熱し、第２接着剤７０２および第３接着剤７０３を可塑化させる加熱工程を行う。また、加熱工程によって第２接着剤７０２および第３接着剤７０３を可塑化することで、複数のヘッドチップ９および固定板６００と、ホルダー１００との接着状態を解除する分解工程を行う。つまり、加熱工程では、複数のヘッドチップ９と固定板６００とを接着する第１接着剤７０１は可塑化しない。このため、分解工程では、複数のヘッドチップ９と固定板６００とが第１接着剤７０１によって一体化されたユニットとホルダー１００との接着状態を解除して分解する。
加熱工程における第２接着剤７０２および第３接着剤７０３の可塑化する温度と、ヘッドチップ９、固定板６００およびホルダー１００の可塑化する温度との関係は、上述した第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の可塑化する温度と、ヘッドチップ９および固定板６００との可塑化する温度との関係と同じである。つまり、第２接着剤７０２および第３接着剤７０３の可塑化する温度は、ヘッドチップ９、固定板６００およびホルダー１００の可塑化する温度よりも低い。これにより、加熱工程で、第２接着剤７０２および第３接着剤７０３を加熱した際に、ヘッドチップ９、固定板６００およびホルダー１００が可塑化するのを抑制することができる。
また、加熱工程における第２接着剤７０２および第３接着剤７０３が可塑化する融点および軟化点と、ヘッドチップ９の積層部材同士を接着する接着剤である第１積層用接着剤９１および第２積層用接着剤９２が可塑化する融点および軟化点との関係は、上述した第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を可塑化する融点および軟化点と、ヘッドチップ９の積層部材同士を接着する接着剤を可塑化する融点および軟化点との関係と同様である。
次に、図１３に示すように、分解工程によって取り外したヘッドチップ９および固定板６００を含むユニットを新品に交換する。交換工程では、新品のユニットをホルダー１００に第２接着剤７０２および第３接着剤７０３によって接着する。つまり、第２発熱体７１２および第３発熱体７１３によって第２接着剤７０２および第３接着剤７０３を加熱して可塑化した状態で、新品のユニット、すなわち、新品のヘッドチップ９Ａおよび新品の固定板６００Ａをホルダー１００に当接させる。そして、新品のヘッドチップ９Ａおよび新品の固定板６００Ａをホルダー１００に当接させた状態で、第２発熱体７１２および第３発熱体７１３による第２接着剤７０２および第３接着剤７０３の加熱を停止することで、第２接着剤７０２および第３接着剤７０３の温度を低下させて硬化させて、新品のヘッドチップ９Ａおよび新品の固定板６００Ａとホルダー１００とを接着する。なお、第２接着剤７０２および第３接着剤７０３は、交換工程で新品に交換してもよい。新品の第２接着剤７０２および第３接着剤７０３を用いる場合には、新品の第２接着剤７０２および第３接着剤７０３は、第２発熱体７１２および第３発熱体によって加熱することなく、外部のヒーター等の加熱手段によって加熱して可塑化することで塗布してもよい。
このように複数のヘッドチップ９および固定板６００を含むユニットを交換することで、各ヘッドチップ９を交換する場合に比べて、交換作業を簡略化することができる。
また、複数のヘッドチップ９および固定板６００を含むユニットでは、複数のヘッドチップ９が第１接着剤７０１によって固定板６００に接合されているため、固定板６００を介して複数のヘッドチップ９のノズル２１の位置が位置決めされている。このため、ユニットを新品に交換することで、ヘッドチップ９同士を高精度に位置決めした状態で、ホルダー１００に接着することができる。したがって、ノズル２１から噴射される液体の媒体Ｓへの着弾位置ズレを抑制して高精度な印刷を行うことができる。
前述の通り、本変形の液体噴射ヘッド２の製造方法では、ヘッドチップ９が「第１部品」に相当し、ホルダー１００が「第２部品」に相当し、固定板６００が「第３部品」に相当し、第３接着剤７０３が「第１部品と第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤」に相当し、第１接着剤７０１が「第１部品と第３部品とを接着する接着剤」に相当し、第２接着剤７０２が「第２部品と第３部品とを接着するとともに硬化している接着剤」に相当するが、特にこれに限定されない。例えば、固定板６００を「第１部品」とし、ホルダー１００を「第２部品」とし、ヘッドチップ９を「第３部品」としても同様の製造方法を適用できる。
（変形例２）
図１４および図１５は、実施形態１の液体噴射ヘッド２の製造方法の変形例２を説明する要部断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図１４に示すように、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２を発熱させて第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱することによって第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を可塑化させる加熱工程を行う。また、加熱工程によって可塑化した第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を除去する。具体的には、ホルダー１００およびヘッドチップ９と、固定板６００との接着状態を解除した後、可塑化した第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を除去する。このように第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を除去する場合には、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の可塑化は、軟化であることが好ましい。これにより、軟化した第１接着剤７０１および第２接着剤７０２は塊として除去し易いからである。
次に、図１５に示すように、新しい第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を塗布することでホルダー１００およびヘッドチップ９と固定板６００とを接着する接着工程を行う。新しい第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の塗布は、新しい第１接着剤７０１および第２接着剤７０２が可塑化した状態で行われる。塗布工程における第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の可塑化は、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２によって加熱することで行ってもよく、外部のヒーター等の加熱手段によって加熱することで行ってもよい。
つまり、本実施形態では、液体噴射ヘッド２のヘッドチップ９、ホルダー１００および固定板６００の交換は行わずに、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の交換を行う。
このように第１接着剤７０１および第２接着剤７０２として、熱可塑性接着剤を用いることで、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２が劣化した場合に、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を加熱して可塑化することで、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を新品に交換することができる。このため、ヘッドチップ９およびホルダー１００と固定板６００との接着不良や第１接着剤７０１および第２接着剤７０２から内部にインクが侵入することを抑制することができる。したがって、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の劣化によって液体噴射ヘッド２の寿命が尽きることなく、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を新品に交換して液体噴射ヘッド２の寿命を延ばすことができる。
なお、本実施形態では、加熱工程では、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を第１発熱体７１１および第２発熱体７１２で加熱するようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、外部のヒーター等の加熱手段によって液体噴射ヘッド２の全体、または、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２の含む部分を部分的に加熱することで、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を可塑化してもよい。
前述の通り、本変形の液体噴射ヘッド２の製造方法では、固定板６００を「第１部品」としたとき、ヘッドチップ９及びホルダー１００が「第２部品」に相当する。一方、固定板６００を「第２部品」としたとき、ヘッドチップ９及びホルダー１００が「第１部品」に相当する。
なお、変形例２では、第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を新品に交換したが、同様の加熱工程および塗布工程を行って第３接着剤７０３を新品に交換してもよい。この場合、ホルダー１００とヘッドチップ９のうち一方が「第１部品」であり、ホルダー１００とヘッドチップ９のうち他方が「第２部品」である。
（変形例３）
図１６および図１７は、実施形態１の液体噴射ヘッド２の製造方法の変形例３を説明する要部断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図１６に示すように、第１接着剤７０１の閉塞部７０１Ａにクラック７３０が生じた場合、図１７に示すように、液体噴射ヘッド２が内蔵する第１発熱体７１１の第１部分７１１Ａに電力を供給して発熱させることで閉塞部７０１Ａを可塑化し、クラック７３０を塞ぐ加熱工程を行う。この閉塞部７０１Ａのクラック７３０を塞ぐ加熱工程における閉塞部７０１Ａの可塑化は、溶融化するのが好ましい。このように閉塞部７０１Ａを溶融化することで、軟化させる場合に較べてクラック７３０を塞ぎ易い。
なお、加熱工程では、第１接着剤７０１のうち、液体噴射ヘッド２の外部に露出されている閉塞部７０１Ａを可塑化するが、液体噴射ヘッド２の外部に露出されていない主固定部７０１Ｂを可塑化しない温度で第１接着剤７０１を加熱する。ヘッドチップ９と固定板６００とを接着する主固定部７０１Ｂが可塑化しないよう閉塞部７０１Ａを加熱することで、固定板６００とヘッドチップ９との位置ズレ等が生じ難い。また、例えば、ホルダー１００と固定板６００とが接着されていない場合、ヘッドチップ９と固定板６００との接着状態が解除されるのを抑制することができる。つまり、固定板６００とヘッドチップ９とを分解することが不要な場合に、クラック７３０の生じた閉塞部７０１Ａのみを可塑化して修復することができる。
このように液体噴射ヘッド２の外部に露出する閉塞部７０１Ａのクラック７３０を塞ぐことで、液体噴射ヘッド２の外部からクラック７３０を介して内部にインクが侵入するのを抑制することができる。
前述の通り、本変形例では、ヘッドチップ９及び固定板６００の一方が「第１部品」に相当し、ヘッドチップ９及び固定板６００の他方が「第２部品」に相当し、閉塞部７０１Ａが「第１部品と第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤のうち、液体噴射ヘッドの外部の露出されている部分」に相当し、主固定部７０１Ｂが「第１部品と第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤のうち、液体噴射ヘッドの外部に露出されていない部分」に相当する。
なお、変形例３では、閉塞部７０１Ａを可塑化してクラック７３０を塞ぐようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、主固定部７０１Ｂを可塑化して主固定部７０１Ｂに形成されたクラックを塞いでもよく、第２接着剤７０２を可塑化して第２接着剤７０２に形成されたクラックを塞いでもよく、第３接着剤７０３を可塑化して第３接着剤７０３に形成されたクラックを塞いでもよい。
また、変形例３では、閉塞部７０１Ａを溶融化してクラック７３０を塞ぐようにしたが、変形例２のように、クラック７３０が生じた閉塞部７０１Ａを加熱工程で可塑化させることで閉塞部７０１Ａを除去する除去工程を行った後、新しい閉塞部７０１Ａを塗布することでノズルプレート２０と固定板６００とを接着する接着工程を行うことによって、液体噴射ヘッド２の外部からクラック７３０を介して内部にインクが侵入するのを抑制するようにしてもよい。なお、この際も、加熱工程では、第１接着剤７０１のうち、液体噴射ヘッド２の外部に露出されている閉塞部７０１Ａを可塑化するが、液体噴射ヘッド２の外部に露出されていない主固定部７０１Ｂを可塑化しない温度で第１接着剤７０１を加熱することが好ましい。この場合、ヘッドチップ９及び固定板６００の一方が「第１部品」に相当し、ヘッドチップ９及び固定板６００の他方が「第２部品」に相当し、閉塞部７０１Ａが「第１部品と第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤のうち、液体噴射ヘッドの外部の露出されている部分」に相当し、主固定部７０１Ｂが「第１部品と第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤のうち、液体噴射ヘッドの外部に露出されていない部分」に相当する。
（液体噴射ヘッドの変形例１）
図１８は、本発明の実施形態１の液体噴射ヘッド２の変形例１の要部を示す断面図である。
図１８に示すように、第１接着剤７０１の閉塞部７０１Ａと主固定部７０１Ｂとは、互いに隙間を空けて配置されている。
このような構成であっても上述した実施形態１と同様の効果を奏する。また、閉塞部７０１Ａと主固定部７０１Ｂとが、離れて配置されるため、第１部分７１１Ａを発熱させて閉塞部７０１Ａを可塑化する際に、主固定部７０１Ｂが加熱され難く可塑化し難い。このため、閉塞部７０１Ａを可塑化する際に、固定板６００とヘッドチップ９との接着状態が解除されるのを抑制することができると共に、固定板６００とヘッドチップ９との位置ズレを抑制することができる。
（液体噴射ヘッドの変形例２）
図１９は、実施形態１の液体噴射ヘッド２の変形例２の要部を示す断面図である。なお、上述した実施形態１と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図１９に示すように、固定板６００の開口部６０１は、Ｚ軸方向に見て、ノズルプレート２０の外周よりも小さな開口を有する。なお、固定板６００の－Ｚ方向を向く面と、ノズルプレート２０の＋Ｚ方向を向く面とは、接着されていてもよく、接着されることなく当接されていてもよい。
また、第１接着剤７０１は、閉塞部７０１Ａと主固定部７０１Ｂとを具備する。主固定部７０１Ｂは、固定板６００とコンプライアンス基板４５とを接着する。閉塞部７０１Ａは、開口部６０１の内周面とノズルプレート２０との間に配置され、固定板６００とノズルプレート２０との間を閉塞する。つまり、閉塞部７０１Ａは、開口部６０１の内周面とノズルプレート２０の開口部６０１によって露出された＋Ｚ方向を向く面との間の角部を閉塞する。なお、閉塞部７０１Ａは、固定板６００とノズルプレート２０との間に延設されて両者を接着してもよい。つまり、閉塞部７０１Ａと主固定部７０１Ｂとは、間に隙間が形成された別体として形成される。
第１発熱体７１１は、閉塞部７０１Ａを加熱して可塑化する第１部分７１１Ａと、主固定部７０１Ｂを加熱して可塑化する第２部分７１１Ｂと、を有する。第１部分７１１Ａは、固定板６００の開口部６０１によって露出されたノズルプレート２０の＋Ｚ方向を向く表面であって、閉塞部７０１ＡにＺ軸方向に見て重なる位置に配置される。
第２部分７１１Ｂは、上述した実施形態１と同様に、コンプライアンス基板４５に設けられる。つまり、第１部分７１１Ａと第２部分７１１Ｂとは、分割して設けられ、両者は電気的にも独立して設けられる。もちろん、第１部分７１１Ａと第２部分７１１Ｂとは、第１部分と第２部分とを分割して設け、第１部分と第２部分とを電気的に導通して設けてもよい。
このような構成であっても上述した実施形態１と同様の効果を奏する。また、閉塞部７０１Ａと主固定部７０１Ｂとが、離れて配置されるため、第１部分７１１Ａを発熱させて閉塞部７０１Ａを可塑化する際に、主固定部７０１Ｂが加熱され難く、可塑化し難い。このため、閉塞部７０１Ａを可塑化する際に固定板６００とヘッドチップ９との接着状態が解除されるのを抑制することができると共に、固定板６００とヘッドチップ９との位置ズレを抑制することができる。
（他の変形例）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
例えば、上述した実施形態及び変形例では、ヘッドチップ９とホルダー１００とが第３接着剤７０３によって接着された構成を例示したが、特にこれに限定されず、ヘッドチップ９とホルダー１００とが接着剤を用いない固定、例えば、ネジやばね等によって固定されていてもよい。このようにヘッドチップ９とホルダー１００とをネジやばね等によって固定した場合、第１発熱体７１１および第２発熱体７１２によって第１接着剤７０１および第２接着剤７０２を可塑化してヘッドチップ９およびホルダー１００から固定板６００を取り外すことで、ヘッドチップ９を新品に交換することが可能である。
また、上述した実施形態及び各変形例では、発熱体が接着剤に直接、接触する構成を例示したが、特にこれに限定されない。図２０は、第２発熱体７１２と第２接着剤７０２との変形例を説明する要部断面図である。図２０に示すように、第２発熱体７１２は、ホルダー１００の保持部１０１が開口する＋Ｚ方向を向く面に形成される。第２発熱体７１２と第２接着剤７０２との間には、伝熱部材８００が設けられている。
伝熱部材８００は、第２接着剤７０２が接着する部材、つまり、ホルダー１００および固定板６００のそれぞれよりも熱伝導率が高い材料で形成されている。熱伝導率が高い材料としては、アルミニウムや銅などの金属、窒化アルミニウムや炭化ケイ素などのセラミックスなどが好適である。
このように伝熱部材８００を設けることで、第２接着剤７０２に第２発熱体７１２の熱を広範囲に亘ってばらつきを低減して伝えることができる。したがって、第２発熱体７１２による第２接着剤７０２の可塑化を均等に行うことができる。
なお、伝熱部材８００は、第２発熱体７１２が固定されたホルダー１００と、熱硬化型接着剤７０４で固定されるのが好ましい。これにより、ホルダー１００と伝熱部材８００との固定が解除されるのを抑制できる。
また、上述した例では、第２接着剤７０２を設ける領域に伝熱部材８００を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、第１接着剤７０１を設ける領域や第３接着剤７０３を設ける領域に伝熱部材８００を設けるようにしてもよい。
第１接着剤７０１を設ける領域に伝熱部材８００を設ける場合には、伝熱部材８００は、第１接着剤７０１が接着する部材、すなわち、流路形成基板１５、ノズルプレート２０、コンプライアンス基板４５、固定板６００よりも熱伝導率が高い材料を用いればよい。また、第３接着剤７０３を設ける領域に伝熱部材８００を設ける場合には、伝熱部材８００は、第３接着剤７０３が接着する部材、すなわち、ホルダー１００およびケース部材４０よりも熱伝導率が高い材料を用いれば良い。
また、上述した実施形態及び各変形例では、液体噴射ヘッド２の内部に発熱体を設け、内部に設けられた発熱体によって接着剤を加熱して可塑化するようにしたが、特にこれに限定されず、液体噴射ヘッド２の外部からヒーター等の加熱手段の加熱によって接着剤を可塑化してもよい。ただし、上述した各実施形態のように、液体噴射ヘッド２の内部に発熱体を設けた方が、接着剤を効率よく加熱することができる。また、液体噴射ヘッド２の内部に発熱体を設けることで、外部から液体噴射ヘッド２の全体を加熱する場合に比べて、加熱する必要の無いヘッドチップ９やホルダー１００、固定板６００を加熱するのを抑制して、加熱による不具合が生じるのを抑制することができる。
また、上述した実施形態及び各変形例では、中継基板４００に発熱体と外部とをつなぐ基板上配線４２０を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、発熱体は、中継基板４００を介さずに外部と電気的に接続してもよい。また、第１部分用入力配線７２１Ａ、第１部分用出力配線７２１Ｂ、第２部分用入力配線７２１Ｃ、第２部分用出力配線７２１Ｄ、第２発熱体用入力配線７２２Ａ、第２発熱体用出力配線７２２Ｂ、第３発熱体用入力配線７２３Ｂ、第３発熱体用出力配線７２３Ｃを形成する位置についても、上述したものに限定されるものではない。
また、上述した実施形態１では、第１接着剤７０１によって固定基板４７、流路形成基板１５及びノズルプレート２０と固定板６００とを接着することでヘッドチップ９と固定板６００とが固定されていたが、特にこれに限定されず、第１接着剤７０１によって流路形成基板１５と固定板６００とを接着することだけでヘッドチップ９と固定板６００とを固定してもよいし、ノズルプレート２０と固定板６００とを接着することだけでヘッドチップ９と固定板６００とを固定してもよい。
また、発熱体として電熱線を用いた場合には、発熱体の単位面積当たりの配線密度を増やすために蛇行させることが好ましい。具体的には、図２１に示すように、第１接着剤７０１の閉塞部７０１Ａが設けられた領域において、第１発熱体７１１の第１部分７１１Ａは、蛇行して設けられている。なお、第１部分７１１Ａが蛇行して設けられているとは、第１部分７１１Ａが、第１部分用入力配線７２１Ａ都接続された端部と、第１部分用出力配線７２１Ｂとに接続された端部と、の間に直線状に設けられておらず、曲がりくねって設けられていることを言う。図２１に示す例では、第１部分７１１Ａは、第１部分用入力配線７２１Ａ都接続された端部と、第１部分用出力配線７２１Ｂとに接続された端部と、を結ぶ線の方向に対して交差する方向に往復して設けられている。このように第１部分７１１Ａを閉塞部７０１Ａが設けられる領域に蛇行して設けることで、第１部分７１１Ａの単位面積当たりの配線密度を増やすことができ、発熱量を増やすことができる。このような発熱体の蛇行は、閉塞部７０１Ａに対する第１部分７１１Ａに限定されず、主固定部７０１Ｂに対する第２部分７１１Ｂ、第２接着剤７０２に対する第２発熱体７１２、および、第３接着剤７０３に対する第３発熱体７１３においても同様に適用するのが好ましい。
また、上述した実施形態１では、圧力室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター６０を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力室１２内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル２１から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル２１から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
さらに、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
また、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、上述した他の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。
（付記）
以上に例示した形態から、例えば以下の構成が把握される。
好適な態様である態様１に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、第１部品と第２部品とを含む液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記第１部品と前記第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤を加熱することによって前記接着剤を可塑化させる加熱工程と、前記加熱工程によって前記第１部品と前記第２部品との接着状態を解除する分解工程と、前記分解工程の後に前記第１部品及び前記第２部品の少なくとも一方を新品に交換する交換工程と、を有する。これによれば、第１部品および第２部品の少なくとも何れかの部品を交換することができ、液体噴射ヘッドの再生を行うことができる。
態様１の具体例である態様２において、前記加熱工程は、前記液体噴射ヘッドが内蔵する発熱体に電力を供給することによる前記発熱体の発熱によって前記接着剤を可塑化させる。このように、液体噴射ヘッドが内蔵する発熱体によって接着剤を可塑化させるため、発熱体によって接着剤を加熱している状態で分解工程を行うことができる。そのため、加熱工程と分解工程とを並行して行うことができ、分解工程を行っている最中に接着剤の温度が低下しないため、分解工程を容易に行うことができる。
態様２の具体例である態様３において、前記加熱工程は、前記液体噴射ヘッドの外部に露出されるとともに前記発熱体に電気的に接続された中継配線の端部を介して前記発熱体に電力を供給することによる前記発熱体の発熱によって、前記液体噴射ヘッドの内部に配置された前記接着剤を可塑化させる。これによれば、液体噴射ヘッドの内部の発熱体によって接着剤を効率よく加熱することができる。また、液体噴射ヘッドの内部に発熱体を設けることで、外部から液体噴射ヘッド２の全体を加熱する場合に比べて、加熱する必要の無い第１部品、第２部品が加熱されるのを抑制して、加熱による第１部品、第２部品の破損などの不具合が生じるのを抑制することができる。
態様１の具体例である態様４において、前記加熱工程は、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤は可塑化するが前記第１部品及び前記第２部品を可塑化しない温度で、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤を加熱する。これによれば、発熱体によって接着剤を可塑化する際に、第１部品および第２部品の変形や破損を抑制することができる。
態様１の具体例である態様５において、前記加熱工程は、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤は軟化するが前記第１部品を構成する積層部材同士を接着する接着剤を溶融化しない温度で、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤を加熱する。これによれば、発熱体が接着剤を加熱して軟化する際に、第１部品が分解されることや第１部品を構成する積層部材同士の位置ズレが生じるのを抑制することができる。
態様１の具体例である態様６において、前記加熱工程は、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤は溶融化するが前記第１部品を構成する積層部材同士を接着する接着剤を溶融化しない温度で、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤を加熱する。これによれば、発熱体が接着剤を加熱して溶融化する際に、第１部品が分解されることや第１部品を構成する積層部材同士の位置ズレが生じるのを抑制することができる。
態様１の具体例である態様７において、前記加熱工程は、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤は軟化するが前記第１部品を構成する積層部材同士を接着する接着剤を軟化しない温度で、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤を加熱する。これによれば、発熱体が接着剤を加熱して軟化する際に、第１部品が分解されることや第１部品を構成する積層部材同士の位置ズレが生じるのを抑制することができる。
態様１の具体例である態様８において、前記加熱工程は、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤は溶融化するが前記第１部品を構成する積層部材同士を接着する接着剤を軟化しない温度で、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤を加熱する。これによれば、発熱体が接着剤を加熱して溶融化する際に、第１部品が分解されることや第１部品を構成する積層部材同士の位置ズレが生じるのを抑制することができる。
態様１の具体例である態様９において、第３部品を更に含む液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記加熱工程は、前記第１部品と前記第３部品とを接着する接着剤は可塑化しないで、前記第１部品と前記第２部品とを接着するとともに硬化している前記接着剤、及び、前記第２部品と前記第３部品とを接着するとともに硬化している接着剤を可塑化させ、前記分解工程は、前記加熱工程によって、前記第１部品及び前記第３部品と、前記第２部品との接着状態を解除し、前記交換工程は、前記第１部品及び前記第３部品を含むユニットを新品に交換する。これによれば、ユニット単位での交換を行うことができる。このため、第１部品と第３部品とを高精度に位置決めしたユニットの状態で第２部品に接着することができる。
態様１の具体例である態様１０において、第３部品を更に含む液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記加熱工程は、前記第１部品と前記第３部品とを接着する接着剤は可塑化しないで、前記第１部品と前記第２部品とを接着するとともに硬化している前記接着剤、及び、前記第２部品と前記第３部品とを接着するとともに硬化している接着剤を可塑化させ、前記分解工程は、前記加熱工程によって、前記第２部品と、前記第１部品及び前記第３部品との接着状態を解除し、前記交換工程は、前記第２部品を新品に交換する。複数の部品に接着された第２部品を容易に交換することができる。
好適な態様である態様１１に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、第１部品と第２部品とを含む液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記第１部品と前記第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤を加熱することによって前記接着剤を可塑化させる加熱工程と、前記加熱工程によって可塑化した前記接着剤を除去する除去工程と、前記除去工程の後に、新しい接着剤を塗布することで前記第１部品と前記第２部品とを接着する接着工程と、を有する。これによれば、液体噴射ヘッドの一部品である接着剤が劣化または破損した場合に、接着剤を交換することができ、液体噴射ヘッドを再生することができる。
態様１１の具体例である態様１２において、前記加熱工程は、前記液体噴射ヘッドが内蔵する発熱体に電力を供給することによる前記発熱体の発熱によって前記接着剤を可塑化させる。このように、液体噴射ヘッドが内蔵する発熱体によって接着剤を可塑化させるため、発熱体によって接着剤を加熱している状態で分解工程を行うことができる。そのため、加熱工程と分解工程とを並行して行うことができ、分解工程を行っている最中に接着剤の温度が低下しないため、分解工程を容易に行うことができる。
態様１１の具体例である態様１３において、前記加熱工程は、前記接着剤のうち前記液体噴射ヘッドの外部に露出されている部分を可塑化するが前記接着剤のうち前記液体噴射ヘッドの外部に露出されていない部分を可塑化しない温度で前記接着剤を加熱する。これによれば、第１部品と第２部品との分解が不要な場合に、接着剤の外部に露出されている部分を選択的に可塑化することができる。
好適な態様である態様１４に係る液体噴射ヘッドの製造方法は、第１部品と第２部品とを含む液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記第１部品と前記第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤を加熱することによって、前記接着剤に形成されたひびが塞がるまで前記接着剤を溶融化させる加熱工程を有する。これによれば、接着剤に形成されたひびを塞いで接着剤を修復して、液体噴射ヘッドを再生することができる。
態様１４の具体例である態様１５において、前記加熱工程は、前記液体噴射ヘッドが内蔵する発熱体に電力を供給することによる前記発熱体の発熱によって前記接着剤を溶融化させる。このように、液体噴射ヘッドが内蔵する発熱体によって接着剤を溶融化させるため、発熱体によって接着剤を加熱している状態で分解工程を行うことができる。そのため、加熱工程と分解工程とを並行して行うことができ、分解工程を行っている最中に接着剤の温度が低下しないため、分解工程を容易に行うことができる。
態様１４の具体例である態様１６において、前記加熱工程は、前記接着剤のうち前記液体噴射ヘッドの外部に露出されている部分を可塑化するが前記接着剤のうち前記液体噴射ヘッドの外部に露出されていない部分を可塑化しない温度で前記接着剤を加熱する。これによれば、第１部品と第２部品との分解が不要な場合に、接着剤の外部に露出されている部分を選択的に可塑化することができる。
態様１の具体例である態様１７において、前記分解工程は、前記加熱工程によって前記第１部品を構成する積層部材同士を接着する接着剤が可塑化する前に、前記第１部品と前記第２部品との接続状態を解除する。これによれば、第１部品の積層部材同士が位置ズレすることや分解されるのを抑制することができる。このような態様１７は、態様１１および１４にも適用可能である。
態様１の具体例である態様１８において、前記加熱工程は、前記交換工程で前記新品を接着するための接着剤を加熱する温度よりも低い温度で、前記接着剤を加熱する。これによれば、加熱工程で接着剤を比較的低い温度で加熱することで、接着剤を軟化させて、接着剤を除去し易くすることができる。また、交換工程で接着剤を比較的高い温度で加熱することで、接着剤を溶融化させて、接着強度を向上することができる。このような態様１８は、態様１１にも適用可能である。
態様１の具体例である態様１９において、前記加熱工程は、前記交換工程で前記新品を接着するための接着剤を加熱する時間よりも短い時間で、前記接着剤を加熱する。これによれば、加熱工程で接着剤を比較的短い時間で加熱することで、接着剤を軟化させて、接着剤を除去し易くすることができる。また、交換工程で接着剤を比較的長い時間で加熱することで、接着剤を溶融化させて、接着強度を向上することができる。このような態様１９は、態様１１にも適用可能である。
１…液体噴射装置、２…液体噴射ヘッド、３…液体貯留部、４…制御部、４ａ…外部配線、５…搬送機構、５ａ…搬送ローラー、６…移動機構、７…搬送体、８…搬送ベルト、９、９Ａ…ヘッドチップ、１０…圧力室基板、１２…圧力室、１５…流路形成基板、１６…ノズル連通路、１７…第１マニホールド部、１８…第２マニホールド部、１９…供給連通路、２０…ノズルプレート、２１…ノズル、３０…保護基板、３１…保持部、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４１…凹部、４２…第３マニホールド部、４３…接続口、４４…導入口、４５…コンプライアンス基板、４５ａ…開口部、４６…封止膜、４７…固定基板、４８…開口部、４９…コンプライアンス部、５０…振動板、６０…圧電アクチュエーター、６１…第１電極、６２…圧電体層、６３…第２電極、６５…活性部、７０…リード電極、８０…配線基板、８１…駆動回路、９１…第１積層用接着剤、９２…第２積層用接着剤、１００…ホルダー、１０１…保持部、１０２…第２突起部、１０４…配線部材挿通孔、１１０…接続流路、１２０…ホルダー本体、１３０…流路形成部材、２００…流路部材、２０１…第１流路部材、２０２…第２流路部材、２０３…第３流路部材、２０４…接続部、２０６…フィルター、２０７…第１突起部、２１０…流路、２１１…第１流路、２１２…第２流路、２１２ａ…第１液体溜まり部、２１３…第３流路、２１３ａ…第２液体溜まり部、２１４…排出口、３００…シール部材、３０１…管状部分、３１０…連通流路、４００…中継基板、４０１…第１挿通孔、４０２…第２挿通孔、４１０…印刷配線、４２０…基板上配線、４２１Ａ…第１部分用中継配線、４２１Ｂ…第２部分用中継配線、４２２…第２発熱体用中継配線、４２３…第３発熱体用中継配線、４３０…液体加熱部用中継配線、４４０…コネクター、５００…液体加熱部、６００、６００Ａ…固定板、６０１…開口部、７０１…第１接着剤、７０１Ａ…閉塞部、７０１Ｂ…主固定部、７０２…第２接着剤、７０３…第３接着剤、７０４…熱硬化型接着剤、７１１…第１発熱体、７１１Ａ…第１部分、７１１Ｂ…第２部分、７１２…第２発熱体、７１３…第３発熱体、７２１Ａ…第１部分用入力配線、７２１Ｂ…第１部分用出力配線、７２１Ｃ…第２部分用入力配線、７２１Ｄ…第２部分用出力配線、７２２Ａ…第２発熱体用入力配線、７２２Ｂ…第２発熱体用出力配線、７２３Ａ…接続配線、７２３Ｂ…第３発熱体用入力配線、７２３Ｃ…第３発熱体用出力配線、７３０…クラック、８００…伝熱部材、Ｓ…媒体、ＳＲ…マニホールド。

Claims (19)

  1. 第１部品と第２部品とを含む液体噴射ヘッドの製造方法であって、
    前記第１部品と前記第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤を加熱することによって前記接着剤を可塑化させる加熱工程と、
    前記加熱工程によって前記第１部品と前記第２部品との接着状態を解除する分解工程と、
    前記分解工程の後に前記第１部品及び前記第２部品の少なくとも一方を新品に交換する交換工程と、
    を有することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
  2. 前記加熱工程は、前記液体噴射ヘッドが内蔵する発熱体に電力を供給することによる前記発熱体の発熱によって前記接着剤を可塑化させる、
    ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  3. 前記加熱工程は、前記液体噴射ヘッドの外部に露出されるとともに前記発熱体に電気的に接続された中継配線の端部を介して前記発熱体に電力を供給することによる前記発熱体の発熱によって、前記液体噴射ヘッドの内部に配置された前記接着剤を可塑化させる、
    ことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  4. 前記加熱工程は、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤は可塑化するが前記第１部品及び前記第２部品を可塑化しない温度で、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤を加熱する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  5. 前記加熱工程は、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤は軟化するが前記第１部品を構成する積層部材同士を接着する接着剤を溶融化しない温度で、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤を加熱する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  6. 前記加熱工程は、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤は溶融化するが前記第１部品を構成する積層部材同士を接着する接着剤を溶融化しない温度で、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤を加熱する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  7. 前記加熱工程は、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤は軟化するが前記第１部品を構成する積層部材同士を接着する接着剤を軟化しない温度で、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤を加熱する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  8. 前記加熱工程は、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤は溶融化するが前記第１部品を構成する積層部材同士を接着する接着剤を軟化しない温度で、前記第１部品と前記第２部品とを接着する前記接着剤を加熱する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  9. 第３部品を更に含む液体噴射ヘッドの製造方法であって、
    前記加熱工程は、前記第１部品と前記第３部品とを接着する接着剤は可塑化しないで、前記第１部品と前記第２部品とを接着するとともに硬化している前記接着剤、及び、前記第２部品と前記第３部品とを接着するとともに硬化している接着剤を可塑化させ、
    前記分解工程は、前記加熱工程によって、前記第１部品及び前記第３部品と、前記第２部品との接着状態を解除し、
    前記交換工程は、前記第１部品及び前記第３部品を含むユニットを新品に交換する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  10. 第３部品を更に含む液体噴射ヘッドの製造方法であって、
    前記加熱工程は、前記第１部品と前記第３部品とを接着する接着剤は可塑化しないで、前記第１部品と前記第２部品とを接着するとともに硬化している前記接着剤、及び、前記第２部品と前記第３部品とを接着するとともに硬化している接着剤を可塑化させ、
    前記分解工程は、前記加熱工程によって、前記第２部品と、前記第１部品及び前記第３部品との接着状態を解除し、
    前記交換工程は、前記第２部品を新品に交換する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  11. 第１部品と第２部品とを含む液体噴射ヘッドの製造方法であって、
    前記第１部品と前記第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤を加熱することによって前記接着剤を可塑化させる加熱工程と、
    前記加熱工程によって可塑化した前記接着剤を除去する除去工程と、
    前記除去工程の後に、新しい接着剤を塗布することで前記第１部品と前記第２部品とを接着する接着工程と、
    を有する、
    ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
  12. 前記加熱工程は、前記液体噴射ヘッドが内蔵する発熱体に電力を供給することによる前記発熱体の発熱によって前記接着剤を可塑化させる、
    ことを特徴とする請求項１１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  13. 前記加熱工程は、前記接着剤のうち前記液体噴射ヘッドの外部に露出されている部分を可塑化するが前記接着剤のうち前記液体噴射ヘッドの外部に露出されていない部分を可塑化しない温度で前記接着剤を加熱する、
    ことを特徴とする請求項１１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  14. 第１部品と第２部品とを含む液体噴射ヘッドの製造方法であって、
    前記第１部品と前記第２部品とを接着するとともに硬化している接着剤を加熱することによって、前記接着剤に形成されたひびが塞がるまで前記接着剤を溶融化させる加熱工程を有する、
    ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
  15. 前記加熱工程は、前記液体噴射ヘッドが内蔵する発熱体に電力を供給することによる前記発熱体の発熱によって前記接着剤を溶融化させる、
    ことを特徴とする請求項１４に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  16. 前記加熱工程は、前記接着剤のうち前記液体噴射ヘッドの外部に露出されている部分を可塑化するが前記接着剤のうち前記液体噴射ヘッドの外部に露出されていない部分を可塑化しない温度で前記接着剤を加熱する、
    ことを特徴とする請求項１４に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  17. 前記分解工程は、前記加熱工程によって前記第１部品を構成する積層部材同士を接着する接着剤が可塑化する前に、前記第１部品と前記第２部品との接続状態を解除する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  18. 前記加熱工程は、前記交換工程で前記新品を接着するための接着剤を加熱する温度よりも低い温度で、前記接着剤を加熱する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
  19. 前記加熱工程は、前記交換工程で前記新品を接着するための接着剤を加熱する時間よりも短い時間で前記接着剤を加熱する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
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