JP2024052236A - アクチュエータ、アクチュエータの振れ測定機構、並びにアクチュエータの振れ測定方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ナット回転式において、ボールネジ軸の振れ回りを精度よく測定すること。【解決手段】ハウジング２Ａと、ハウジングに対して中心軸ＣＬの周りに回転可能に設けられるロータ２Ｂａと、ロータの中空部２Ｂａａに固定されるボールナット２Ｃと、Ｚ方向（軸方向）に延びてボールナットに挿通係合されてボールナットの回転に伴いＺ方向に移動可能に設けられるボールネジ軸２Ｄと、ハウジングに設けられてＺ方向に沿う移動を案内され、かつボールネジ軸の先端が取り付けられるガイド部３と、ガイド部に設けられてボールネジ軸の軸方向の移動と同期してボールネジ軸の先端のラジアル方向の振れ量を検出する振れ検出器８が固定される第一固定部３Ａｃと、ガイド部に設けられて、ボールネジ軸のガイド部に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸のガイド部３に対するボールネジ軸まわりの相対回転のみを拘束する拘束具９が固定される第二固定部３Ａｄと、を含む。【選択図】図４

Description

本発明は、アクチュエータ、アクチュエータの振れ測定機構、並びにアクチュエータの振れ測定方法に関するものである。

例えば、特許文献１には、モータによって回転運動するボールネジ軸と、ボールネジ軸の回転によって直線運動するボールネジナットと、ボールネジナットが固定されるスライド部と、直線運動方向に沿う溝部と、溝部を転動してスライド部を移動可能に支持する転動体と、スライド部に固定される作業軸と、を有するアクチュエータが示されている。

また、例えば、特許文献２には、ネジ軸と、ネジ軸に第一転動体を介して捩じ込まれるナット部材と、ナット部材と共に移動可能な可動体と、可動体をネジ軸が延びる軸方向に移動可能に支持する案内手段と、ネジ軸の周方向に第二転動体を配置する溝を有してナット部材と可動体とを軸方向において連結する連結手段と、を有するボールネジ式のアクチュエータが示されている。

また、例えば、特許文献３には、パラレルリンクを直列につないだロボットが示されている。

また、例えば、特許文献４には、ボールネジ機構における検査について示されている。

特開２０２０－０４１７０６号公報 特開２０１７－０５３４３１号公報 独国実用新案第２１２０１３０００２５０号公報 特開２０１８－１７９７１３号公報

特許文献１，２に示されるアクチュエータは、ネジ軸が回転することでネジ軸に沿ってナットが移動し、このナットの移動に伴って移動する作動軸や可動体を移動させる。

この特許文献１，２に示されるアクチュエータとは別の構成として、ナット側を回転させ、ネジ軸を移動させるアクチュエータが考えられる。ナット回転式のアクチュエータは、ナットの回転をネジ軸の軸方向推力に変換することで、高い精度での位置決めが可能であり、比較的小型のアクチュエータを実現できるが、ボールネジ軸の振れ回りを抑えることが望まれている。

例えば、特許文献３に示されるようなロボットの場合、駆動するアクチュエータから離れた位置の作業点での高い精度が要求される。そのとき、１軸アクチュエータがまっすぐ走ることが精度を高くするために非常に重要になり、１軸アクチュエータの振れ回りを抑制する必要がある。

また、アクチュエータの精度を要求するにあたり、例えば、特許文献４に示すように検査を行う必要がある。ナット回転式のアクチュエータにおいても、精度要求に応じ、ボールネジ軸の振れ回りについて高い精度の測定が望まれている。

本開示は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、ナット回転式において、ボールネジ軸の振れ回りを精度よく測定することのできるアクチュエータ、アクチュエータの振れ測定機構、並びにアクチュエータの振れ測定方法を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するため、本開示の一態様のアクチュエータは、ハウジングと、前記ハウジングに対して中心軸の周りに回転可能に設けられるロータと、前記ロータの中空部に固定されるボールナットと、軸方向に延びて前記ボールナットに挿通係合されて前記ボールナットの回転に伴い前記軸方向に移動可能に設けられるボールネジ軸と、前記ハウジングに設けられて前記軸方向に沿う移動を案内され、かつ前記ボールネジ軸の先端が取り付けられる案内部と、前記案内部に設けられて前記ボールネジ軸の前記軸方向の移動と同期して前記ボールネジ軸の先端のラジアル方向の振れ量を検出する振れ検出器が固定される第一固定部と、前記案内部に設けられて、前記ボールネジ軸の前記案内部に対する前記軸方向の相対移動および前記ボールネジ軸の前記案内部に対する前記ボールネジ軸まわりの相対回転のみを拘束する拘束具が固定される第二固定部と、を含む。

上記アクチュエータの望ましい態様として、前記第一固定部は、少なくとも２個所に配置される第一固定孔からなる。

上記アクチュエータの望ましい態様として、前記第二固定部は、前記ボールネジ軸の先端を間にして少なくとも２個所に配置される第二固定孔からなる。

上記アクチュエータの望ましい態様として、前記ボールネジ軸に設けられて前記ボールネジ軸と同軸に形成された円周状の測定面を有する測定部をさらに含む。

上記アクチュエータの望ましい態様として、前記案内部に設けられて前記ボールネジ軸が遊挿される貫通孔をさらに含む。

上記の目的を達成するため、本開示の一態様のアクチュエータの振れ測定機構は、ハウジングと、前記ハウジングに対して中心軸の周りに回転可能に設けられるロータと、前記ロータの中空部に固定されるボールナットと、軸方向に延びて前記ボールナットに挿通係合されて前記ボールナットの回転に伴い前記軸方向に移動可能に設けられるボールネジ軸と、前記ハウジングに設けられて前記軸方向に沿う移動を案内され、かつ前記ボールネジ軸の先端が取り付けられる案内部と、を備えるアクチュエータの振れ測定機構であって、前記案内部に固定されて前記ボールネジ軸の前記軸方向の移動と同期して前記ボールネジ軸の先端のラジアル方向の振れ量を検出する振れ検出器と、前記ロータに設けられて前記ロータの回転角度を検出する回転検出器と、前記案内部に取り付けられて、前記ボールネジ軸の前記案内部に対する前記軸方向の相対移動および前記ボールネジ軸の前記案内部に対する前記ボールネジ軸まわりの相対回転のみを拘束する拘束具と、を含む。

上記アクチュエータの振れ測定機構の望ましい態様として、前記拘束具は、前記案内部を囲むように折り返し状に形成された延長部を有し、前記延長部の一端部が前記案内部に対して前記軸方向にのみ移動可能に取り付けられ、前記延長部の他端部が前記案内部から離隔するように設けられて前記ボールネジ軸の先端に固定される。

上記アクチュエータの振れ測定機構の望ましい態様として、前記拘束具は、筒状の主延長部と、前記主延長部の内部に遊挿される棒状の副延長部と、を有し、前記主延長部の一端部と当該主延長部の内部に挿入された前記副延長部の一端部とが相互に固定され、前記主延長部の他端部が前記案内部に固定され、前記副延長部の他端部が前記ボールネジ軸の先端に固定され、前記案内部は、前記主延長部の他端部が遊挿される貫通孔を有する。

上記の目的を達成するため、本開示の一態様のアクチュエータの振れ測定方法は、ハウジングと、前記ハウジングに対して中心軸の周りに回転可能に設けられるロータと、前記ロータの中空部に固定されるボールナットと、軸方向に延びて前記ボールナットに挿通係合されて前記ボールナットの回転に伴い前記軸方向に移動可能に設けられるボールネジ軸と、前記ハウジングに設けられて前記軸方向に沿う移動を案内され、かつ前記ボールネジ軸の先端が取り付けられる案内部と、を備えるアクチュエータの振れ測定方法であって、拘束具によって前記ボールネジ軸の前記案内部に対する前記軸方向の相対移動および前記ボールネジ軸の前記案内部に対する前記ボールネジ軸まわりの相対回転のみを拘束して前記案内部に連結する工程と、前記案内部に固定した振れ検出器によって前記ボールネジ軸の前記軸方向の移動と同期して前記ボールネジ軸の先端のラジアル方向の振れ量を検出する工程と、前記ロータに設けられた回転検出器によって前記ロータの回転角度を検出する工程と、検出した振れ量および回転角度に基づき前記ボールネジ軸の振れを取得する工程と、を含む。

本開示によれば、ナット回転式において、ボールネジ軸の振れ回りを精度よく測定できる。

図１は、実施形態のアクチュエータの構成例を表す斜視図である。 図２は、実施形態のアクチュエータの構成例を表す断面図である。 図３は、実施形態のアクチュエータの振れ測定機構の第一構成例を表す斜視図である。 図４は、実施形態のアクチュエータの振れ測定機構の第一構成例を表す側面図である。 図５は、実施形態のアクチュエータの振れ測定機構の第二構成例を表す斜視図である。 図６は、実施形態のアクチュエータの振れ測定機構の第二構成例を表す側面図である。 図７は、実施形態のアクチュエータの振れ測定機構の第二構成例を表す分解斜視図である。 図８は、実施形態のアクチュエータの振れ測定機構の第二構成例を表す部分断面図である。 図９は、実施形態のアクチュエータの振れ測定方法を表すフローチャートである。 図１０は、実施形態のアクチュエータの振れ測定の結果を表す概略図である。 図１１は、実施形態のアクチュエータの振れ測定の結果を表す概略図である。

以下、発明を実施するための形態につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の形態により本発明が限定されるものではない。また、下記形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記形態で開示した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。

実施形態のアクチュエータは、例えば、医療機器や産業機器など精密な位置決め精度が求められるロボットに適用される。

図１および図２に示すように、アクチュエータ１は、ナット回転式として構成され、アクチュエータ本体２と、ガイド部３と、を含む。

アクチュエータ本体２は、ハウジング２Ａと、駆動源であるモータ２Ｂと、ボールナット２Ｃと、ボールネジ軸２Ｄと、エンコーダ（回転検出器）２Ｅと、を含む。

ハウジング２Ａは、矩形状で箱型に形成される。ハウジング２Ａは、一方向に長く形成され、当該方向をＺ方向とする。また、ハウジング２Ａは、Ｚ方向に対して直交（交差）する二つの方向をそれぞれＸ方向とＹ方向とし、これらＸ方向およびＹ方向において略正方形に形成される。なお、ハウジング２Ａは、箱型に限らず、モータ２Ｂ、ボールナット２Ｃ、およびエンコーダ２Ｅを支持する構成であればよい。

モータ２Ｂは、図２に示すように、ハウジング２Ａの内部に収容される。モータ２Ｂは、ロータ（回転子）２Ｂａと、ステータ（固定子）２Ｂｂと、を有する。ロータ２Ｂａは、ハウジング２Ａに対して軸受２Ｆを介して取り付けられ、Ｚ方向に延びる中心軸ＣＬの周りに回転可能に設けられている。中心軸ＣＬが延びるＺ方向を軸方向ともいう。ロータ２Ｂａは、中心軸ＣＬ上でＺ方向に貫通する円形の貫通孔からなる中空部２Ｂａａが形成されている。ロータ２Ｂａは、その外周面に永久磁石２Ｂａｂが固定されている。永久磁石２Ｂａｂは、中心軸ＣＬの周りの周方向に間隔をおいて複数配置される。ステータ２Ｂｂは、ロータ２Ｂａの周りを囲むように中心軸ＣＬを中心とした筒状に形成されている。ステータ２Ｂｂは、中心軸ＣＬの周りの周方向に間隔をおいて複数設けられた芯部に、電磁コイルが絶縁材を介して巻き付けられている。従って、モータ２Ｂは、ステータ２Ｂｂの電磁コイルへの通電によってロータ２Ｂａが中心軸ＣＬの周りに回転駆動される。

ロータ２Ｂａをハウジング２Ａに取り付ける軸受２Ｆは、Ｚ方向の一方側（ボールナット２Ｃが配置される側）と、Ｚ方向の他方側（エンコーダ２Ｅが配置される側）とに設けられる。そのうち、Ｚ方向の一方側の軸受２Ｆは、ハウジング２Ａに対するＺ方向への移動を、ハウジング２Ａの内周面に形成された段部２Ａａと突起２Ａｂとの間に挟まれて規制される。Ｚ方向の一方側の軸受２Ｆは、ロータ２Ｂａに対するＺ方向の移動を、ロータ２Ｂａの外周面に突出した突起２Ｂａｃと、ロータ２Ｂａの外周面に設けられる固定リング４との間に挟まれて規制される。固定リング４は、円環状に形成された内周面に雌ネジが形成され、ロータ２Ｂａの外周面に形成された雌ネジ部に螺合してＺ方向に締め付けられる。これにより、ロータ２Ｂａとハウジング２Ａとは、軸受２Ｆを介してＺ方向への相対移動を規制される。

ボールナット２Ｃは、図２に示すように、モータ２Ｂのロータ２Ｂａと一体に接続される。ボールナット２Ｃは、Ｚ方向の一方側において、ロータ２Ｂａの中空部２Ｂａａに遊嵌される円柱形状の本体部２Ｃａと、ロータ２ＢａのＺ方向の一方の端に当接する円環形状のフランジ部２Ｃｂと、を一体に有する。即ち、ボールナット２Ｃの本体部２Ｃａは、ロータ２Ｂａの中空部２Ｂａａに対し、相互間に動くことのできる隙間がある遊びをもった状態で嵌る。ボールナット２Ｃは、固定リング４に締結される固定ネジ５を介してフランジ部２Ｃｂがロータ２Ｂａに接続される。従って、ボールナット２Ｃは、モータ２Ｂの駆動によって中心軸ＣＬの周りに回転駆動される。ボールナット２Ｃは、Ｚ方向に沿って中心軸ＣＬの周りに螺旋状の溝２Ｃｃが形成され、当該溝２Ｃｃにボールが配置されており、回転駆動によってボールが溝を転動して循環するように設けられる。なお、アクチュエータ１は、図２に示すように、ボールナット２Ｃとロータ２ＢａとのＺ方向の間に隙間６が形成され、この隙間６にスペーサ７を介在し、固定ネジ５によってボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとをスペーサ７を介在してＺ方向で締め付け固定する構成であってもよい。

ボールネジ軸２Ｄは、図２に示すように、ハウジング２Ａの内部に収容され、一部がハウジング２Ａの外部に延びて設けられる。ボールネジ軸２Ｄは、ハウジング２Ａの内部において、ボールナット２Ｃに挿通係合し、モータ２Ｂのロータ２Ｂａの中空部２Ｂａａに一部が挿通して設けられる。ボールネジ軸２Ｄは、その外周面に中心軸ＣＬの周りに沿う螺旋状の溝２Ｄａが形成され、当該溝２Ｄａにボールナット２Ｃのボールが転動可能に係合する。従って、ボールネジ軸２Ｄは、ボールナット２Ｃの回転駆動によって中心軸ＣＬに沿ってＺ方向に移動可能に設けられる。

エンコーダ２Ｅは、ハウジング２Ａの外部に設けられる。エンコーダ２Ｅは、ハウジング２Ａの内部から外部に延びるロータ２Ｂａに接続される。エンコーダ２Ｅは、モータ２Ｂの駆動によって中心軸ＣＬの周りに回転するロータ２Ｂａの回転数を検出し出力する。即ち、エンコーダ２Ｅは、ロータ２Ｂａおよびボールナット２Ｃの回転数を検出し出力する。上記エンコーダ２Ｅは、ロータリエンコーダとして構成されるが、その他のエンコーダとして、図には明示しないが、リニアエンコーダを用い、後述の連結部材３Ａの移動量を検出して、その移動量とボールネジ軸２Ｄのリードから回転角度を算出するようにしてもよい。

ガイド部（案内部）３は、図１に示すように、アクチュエータ本体２に取り付けられ、連結部材３Ａと、ガイドレール３Ｂと、第一リニアガイド３Ｃと、第二リニアガイド３Ｄと、を含む。

連結部材３Ａは、連結部３Ａａと、支持部３Ａｂと、を有する。連結部３Ａａは、ボールネジ軸２Ｄにおいてボールナット２Ｃ（ハウジング２Ａ）から突出した先端側の一端部に連結される。連結部３Ａａは、ボールネジ軸２Ｄの端部からＸ方向の一方に延びて形成される。支持部３Ａｂは、連結部３Ａａに対して一体に接続され、連結部３ＡａのＸ方向に延びた端部から折れ曲がるようにＺ方向に延びてハウジング２Ａの外部に沿って配置される。従って、連結部材３Ａは、ボールネジ軸２Ｄと共に中心軸ＣＬに沿ってＺ方向に移動可能に設けられる。連結部材３Ａは、ガイドレール３Ｂ、第一リニアガイド３Ｃ、第二リニアガイド３Ｄを介してハウジング２Ａに支持される。

ガイドレール３Ｂは、支持部３Ａｂに固定される。ガイドレール３Ｂは、支持部３Ａｂ共にＺ方向に延びて形成される。ガイドレール３Ｂは、Ｚ方向に平行して２本設けられ、支持部３Ａｂを間にしてＹ方向で相反する方向に向けて設けられる。従って、ガイドレール３Ｂは、連結部材３Ａを介してボールネジ軸２Ｄと共に中心軸ＣＬに沿ってＺ方向に移動可能に設けられる。

第一リニアガイド３Ｃは、固定部材３Ｅを介してハウジング２Ａに固定される。固定部材３Ｅは、ハウジング２ＡのＸ方向の一方側に固定され、Ｘ方向に立ち上がる２つの固定片３ＥａがＹ方向で対向して配置される。従って、固定部材３Ｅは、Ｚ方向から視てＬ字形状の部材と板部材とによってＸ方向の一方側に開放するように全体としてコ字形状に形成される。また、固定部材３Ｅは、開放部が塞がれるカバー３Ｅｂ（図３から図７参照）が設けられる。第一リニアガイド３Ｃは、この固定部材３Ｅの各固定片３Ｅａの対向面においてＹ方向で対向して２つ設けられる。各第一リニアガイド３Ｃは、Ｘ方向から視た際に、ボールネジ軸２Ｄ（中心軸ＣＬ）を基にＹ方向で対称の位置にある。各第一リニアガイド３Ｃは、各ガイドレール３Ｂにそれぞれ係合し、ガイドレール３ＢをＺ方向に移動可能に支持する。従って、第一リニアガイド３Ｃは、ガイドレール３ＢのＺ方向への移動を案内する。即ち、第一リニアガイド３Ｃは、ガイドレール３Ｂおよび連結部材３Ａを介してボールネジ軸２ＤのＺ方向への移動を案内する。

第二リニアガイド３Ｄは、固定部材３Ｅを介してハウジング２Ａに固定される。第二リニアガイド３Ｄは、第一リニアガイド３Ｃと同様に構成され、ガイドレール３Ｂおよび連結部材３Ａを介してボールネジ軸２ＤのＺ方向への移動を案内する。

第一リニアガイド３Ｃおよび第二リニアガイド３Ｄは、Ｚ方向で並んで固定部材３Ｅに固定される。第一リニアガイド３Ｃは、Ｚ方向において、ボールネジ軸２Ｄがボールナット２Ｃ（ハウジング２Ａ）から突出移動する側に配置され、第二リニアガイド３Ｄは、Ｚ方向において、ボールネジ軸２Ｄがボールナット２Ｃに引込移動する側に配置されている。言い換えると、第一リニアガイド３Ｃは、ハウジング２ＡのＺ方向の一方側に配置され、第二リニアガイド３Ｄは、ハウジング２ＡのＺ方向の他方側に配置されている。

アクチュエータ１は、上述した構成例について、図３から図７に示すように、振れ測定機構１０１，１０２が取り付けられるように構成されている。振れ測定機構１０１，１０２は、アクチュエータ１においてボールネジ軸２Ｄの振れ回りを測定するためのものである。具体的に、振れ測定機構１０１，１０２は、ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとの相対位置について中心軸ＣＬの傾きを測定する。また、振れ測定機構１０１，１０２は、ボールナット２Ｃとハウジング２Ａとの相対位置について中心軸ＣＬの平行位置を測定する。ボールナット２Ｃとロータ２Ｂａとの相対位置での中心軸ＣＬの傾きや、ボールナット２Ｃとハウジング２Ａとの相対位置での中心軸ＣＬの平行位置は、個々のアクチュエータ１において求められる。以下、振れ測定機構１０１，１０２の詳細について説明する。

図３は、実施形態のアクチュエータの振れ測定機構の第一構成例を表す斜視図である。図４は、実施形態のアクチュエータの振れ測定機構の第一構成例を表す側面図である。

第一構成例の振れ測定機構１０１は、上述したアクチュエータ１と、振れ検出器８と、拘束具９と、を含む。

アクチュエータ１は、上述した構成例であり、ロータ２Ｂａの回転角度を検出する回転検出器であるエンコーダ２Ｅを含む。回転検出器は、実施形態での振れ測定に必要なもので、エンコーダ２Ｅの他、モータ２Ｂをステッピングモータなどのパルスモータとすることで振れ測定機構１０１の構成に含まれる。

振れ検出器８は、ボールネジ軸２Ｄの軸方向の移動と同期してボールネジ軸２Ｄの先端のラジアル方向（軸方向の直交方向）の振れ量を検出するものである。振れ検出器８は、第一振れ検出器８Ａと、第二振れ検出器８Ｂと、を含む。

第一振れ検出器８Ａは、ボールナット２Ｃを介してロータ２Ｂａに設けられるボールネジ軸２Ｄの一端部における振れ量を検出する。具体的に、第一振れ検出器８Ａは、電気マイクロメータからなり、差動変圧器が収容された検出器本体８Ａａの外側に測定子８Ａｂが延びて設けられる。第一振れ検出器８Ａは、測定子８Ａｂがボールネジ軸２Ｄの一端部に接触され、ボールネジ軸２Ｄの振れ量を検出する。ボールネジ軸２Ｄの一端部には、測定部２Ｄｂが形成される。測定部２Ｄｂは、ボールネジ軸２Ｄと同軸で中心軸ＣＬの廻りの円周状に研磨された測定面２Ｄｂａを有する。第一振れ検出器８Ａは、この測定部２Ｄｂの測定面２Ｄｂａに測定子８Ａｂが接触する。

実施形態のアクチュエータ１は、検出対象のボールネジ軸２Ｄがロータ２Ｂａ（ボールナット２Ｃ）に対してＺ方向に移動する。そのため、第一振れ検出器８Ａは、測定子８Ａｂがボールネジ軸２Ｄの一端部における所定位置（測定面２Ｄｂａ）に留まって配置されるように、ボールネジ軸２Ｄと共にＺ方向に移動する必要がある。そこで、第一振れ検出器８Ａは、検出器本体８Ａａがガイド部３における連結部材３Ａに固定される。実施形態では、第一振れ検出器８Ａは、検出器本体８Ａａが固定アーム１０Ａを介して連結部材３Ａに固定される。固定アーム１０Ａは、一端部が連結部材３Ａに固定され、他端部に検出器本体８Ａａが固定される。連結部材３Ａは、固定アーム１０Ａの一端部が固定できるように、ネジが挿入または締め込まれる第一固定孔（第一固定部）３Ａｃが形成される。第一固定孔３Ａｃは、連結部材３Ａにおいて連結部３Ａａが設けられる支持部３ＡｂのＺ方向の一方に延びた端部に、Ｙ方向に貫通して形成される。第一固定孔３Ａｃは、実施形態では、Ｘ方向およびＺ方向に２個並ぶ計４個形成される。このように、第一振れ検出器８Ａは、連結部材３Ａの第一固定孔３Ａｃに対して固定アーム１０Ａを介して検出器本体８Ａａが固定されることで、ボールネジ軸２Ｄと共にＺ方向に移動可能に取り付けられ、測定子８Ａｂがボールネジ軸２Ｄの一端部における所定位置（測定面２Ｄｂａ）に留まって配置される。なお、図には明示しないが、固定アーム１０Ａは、途中に継手が設けられて自在に屈曲できるように構成され、継手によって、測定子８Ａｂの配置を適宜調整できる。

第二振れ検出器８Ｂは、第一振れ検出器８Ａが検出するボールネジ軸２Ｄの位置に対してボールナット２Ｃを置いたＺ方向の反対側となる他端部の振れ量を検出する。具体的に、第二振れ検出器８Ｂは、電気マイクロメータからなり、差動変圧器が収容された検出器本体８Ｂａの外側に測定子８Ｂｂが延びて設けられる。第二振れ検出器８Ｂは、測定子８Ｂｂがボールネジ軸２Ｄの他端部に接触され、ボールネジ軸２Ｄの振れ量を検出する。ボールネジ軸２Ｄの他端部には、測定部２Ｄｃが取り付けられる。測定部２Ｄｃは、ボールネジ軸２Ｄと同軸で中心軸ＣＬの廻りの円周状に研磨された測定面２Ｄｃａを有する。第二振れ検出器８Ｂは、この測定部２Ｄｃの測定面２Ｄｃａに測定子８Ｂｂが接触する。測定部２Ｄｃは、ボールネジ軸２Ｄに対して着脱が可能に設けられ、アクチュエータ１の使用時には取り外される。

実施形態のアクチュエータ１は、検出対象のボールネジ軸２Ｄがロータ２Ｂａ（ボールナット２Ｃ）に対してＺ方向に移動する。そのため、第二振れ検出器８Ｂも、第一振れ検出器８Ａと同様にボールネジ軸２Ｄと共にＺ方向に移動する必要がある。そこで、第二振れ検出器８Ｂも、検出器本体８Ｂａがガイド部３における連結部材３Ａに固定される。実施形態では、第二振れ検出器８Ｂは、検出器本体８Ｂａが固定アーム１０Ｂを介して連結部材３Ａに固定される。固定アーム１０Ｂは、一端部が連結部材３Ａに固定され、他端部に検出器本体８Ｂａが固定される。第二振れ検出器８Ｂは、第一振れ検出器８Ａと同様に、連結部材３Ａの第一固定孔３Ａｃに対して固定アーム１０Ｂを介して検出器本体８Ｂａが固定されることで、ボールネジ軸２Ｄと共にＺ方向に移動可能に取り付けられ、測定子８Ｂｂがボールネジ軸２Ｄの他端部における所定位置（測定面２Ｄｃａ）に留まって配置される。なお、図には明示しないが、固定アーム１０Ｂは、途中に継手が設けられて自在に屈曲できるように構成され、継手によって、測定子８Ｂｂの配置を適宜調整できる。

このように、実施形態のアクチュエータ１は、ガイド部（案内部）３の連結部材３Ａに対し、振れ検出器８が固定される第一固定孔（第一固定部）３Ａｃが設けられる。

拘束具９は、ボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向（軸方向）の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転のみを拘束するものである。拘束具９は、ガイド部３に設けられて、ガイド部３とボールネジ軸２Ｄとの間に介在される。第一構成例において、拘束具９は、Ｘ方向から視てＹ方向の一方に延びつつＺ方向に折れ曲がってＹ方向の他方に折り返し状に延びるコ字形状の延長部９Ａを構成する。即ち、延長部９Ａは、ガイド部３における連結部材３Ａの連結部３Ａａを囲むように折り返し状に形成される。拘束具９は、延長部９Ａの一端部９Ａａがガイド部３における連結部材３Ａの連結部３Ａａに取り付けられる。連結部３Ａａは、延長部９Ａの一端部９Ａａが取り付けできるように、ネジ１１が締め込まれる第二固定孔（第二固定部）３Ａｄが形成される。第二固定孔３Ａｄは、連結部３ＡａにおいてＺ方向に貫通して形成される。第二固定孔３Ａｄは、実施形態では、図４に示すように、ボールネジ軸２Ｄの先端を間にして中心軸ＣＬを挟んだ対称位置でＸ方向に２個並んで形成される。第二固定孔３Ａｄは、ネジ１１のネジ径４ｍｍに対して例えば＋０．２ｍｍ程度の孔として形成される。従って、ネジ１１は、第二固定孔３Ａｄへの締め込みの途中であっても第二固定孔３Ａｄに固定することができる。このように、拘束具９は、連結部材３Ａの連結部３Ａａを囲むように折り返し状に形成されるため、連結部材３Ａの連結部３Ａａに対して一端部９Ａａがネジ１１によってＺ方向（軸方向）に限定的で微小に移動可能に取り付けられる。拘束具９は、延長部９Ａの一端部９Ａａと他端部９ＡｂとのＺ方向の間隔βが、連結部３ＡａのＺ方向の厚さ寸法αよりも大きく形成される。このため、拘束具９は、例えば、連結部３Ａａに一端部９Ａａが突き当てられると、連結部３Ａａと他端部９Ａｂとの間に隙間Ｓが生じる。そして、拘束具９は、延長部９Ａの他端部９Ａｂがボールネジ軸２Ｄの先端に固定される。即ち、拘束具９は、ネジ１１が締め込みの途中で第二固定孔３Ａｄに固定されるため、Ｚ方向への限定的で微小な移動は許容されつつ、２本のネジ１１によってガイド部３に対するＺ方向（軸方向）の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄ（Ｚ方向（軸方向））まわりの相対回転のみに対する移動が規制される。従って、アクチュエータ１は、拘束具９によってボールネジ軸２ＤのＺ方向（軸方向）およびＺ方向（軸方向）の回転成分のみが拘束されることとなる。

図５は、実施形態のアクチュエータの振れ測定機構の第二構成例を表す斜視図である。図６は、実施形態のアクチュエータの振れ測定機構の第二構成例を表す側面図である。図７は、実施形態のアクチュエータの振れ測定機構の第二構成例を表す分解斜視図である。図８は、実施形態のアクチュエータの振れ測定機構の第二構成例を表す部分断面図である。

第二構成例の振れ測定機構１０２は、上述したアクチュエータ１と、振れ検出器８と、拘束具１２と、を含む。

アクチュエータ１は、上述した構成例であり、ロータ２Ｂａの回転角度を検出する回転検出器であるエンコーダ２Ｅを含む。回転検出器は、実施形態での振れ測定に必要なもので、エンコーダ２Ｅの他、モータ２Ｂをステッピングモータなどのパルスモータとすることで振れ測定機構１０２の構成に含まれる。

振れ検出器８は、ボールネジ軸２Ｄの軸方向の移動と同期してボールネジ軸２Ｄの先端のラジアル方向（軸方向の直交方向）の振れ量を検出するものである。振れ検出器８は、第一振れ検出器８Ａと、第二振れ検出器８Ｂと、を含む。第一振れ検出器８Ａ、および第二振れ検出器８Ｂに係る構成、および振れ検出器８が固定される第一固定孔（第一固定部）３Ａｃの構成は、第一構成例と同様であり、同一の符号を付して説明を省略する。

拘束具１２は、ボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向（軸方向）の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転のみを拘束するものである。拘束具１２は、ガイド部３に設けられて、ガイド部３とボールネジ軸２Ｄとの間に介在される。第二構成例において、拘束具１２は、主延長部１２Ａと、副延長部１２Ｂと、を有する。主延長部１２Ａは、Ｚ方向に延びる筒状に形成される。副延長部１２Ｂは、主延長部１２Ａの筒の内部に遊挿される棒状に形成される。即ち、副延長部１２Ｂは、主延長部１２Ａに対して空間的に余裕のある状態で挿入される。主延長部１２Ａと副延長部１２Ｂは、主延長部１２Ａに副延長部１２Ｂが挿入された状態で、Ｚ方向の互いの一端部１２Ａａ，１２Ｂａが、一端部１２Ｂａの雄ネジへのナット１３の締め込みによって相互に固定されて接合される。また、主延長部１２Ａは、Ｚ方向の他端部１２Ａｂが、ガイド部３における連結部材３Ａの連結部３Ａａに固定される。主延長部１２Ａは、他端部１２Ａｂが第二固定孔（第二固定部）３Ａｄにネジ１１が締め込まれて固定される。また、副延長部１２Ｂは、Ｚ方向の他端部１２Ｂｂが、主延長部１２Ａと副延長部１２Ｂとの接合によって主延長部１２Ａおよび副延長部１２Ｂが連なる端部を構成する。副延長部１２Ｂは、他端部１２Ｂｂに形成された雌ネジ穴によってボールネジ軸２Ｄの先端に固定される。即ち、拘束具１２は、ガイド部３に対して主延長部１２Ａの他端部１２Ａｂが固定され、副延長部１２Ｂの他端部１２Ｂｂがボールネジ軸２Ｄの先端に固定される。副延長部１２Ｂの他端部１２Ｂｂは、ボールネジ軸２Ｄの先端側である一端部に形成された測定部２Ｄｂとの間にスペーサ１４を介してボールネジ軸２Ｄの先端に固定される。なお、ガイド部３は、連結部材３Ａの連結部３Ａａにおいて、Ｚ方向に貫通孔３Ａｅが形成される。貫通孔３Ａｅは、拘束具１２の副延長部１２Ｂの他端部１２Ｂｂが遊挿される。即ち、副延長部１２Ｂの他端部１２Ｂｂは、貫通孔３Ａｅに対して空間的に余裕のある状態で挿入され、ボールネジ軸２Ｄの先端に固定される。貫通孔３Ａｅは、ボールネジ軸２Ｄの先端側である一端部に形成された測定部２Ｄｂの円周状の径よりも大きい孔径に形成される。

Ｚ方向に移動するボールネジ軸２Ｄにおいて、ボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向（軸方向）の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄ（Ｚ方向（軸方向））まわりの相対回転は、副延長部１２Ｂの他端部１２Ｂｂに伝わるが、拘束具１２は、副延長部１２Ｂが、主延長部１２Ａに遊挿され、一端部１２Ｂａが固定されているため、ボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転が吸収されて、主延長部１２Ａの他端部１２Ａｂが固定されるガイド部３に伝わることが抑えられる。従って、アクチュエータ１は、拘束具１２によってボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対する前記相対移動および前記相対回転のみが拘束され、その他のＸ方向、Ｙ方向の相対移動およびＸ方向、Ｙ方向のまわりの相対回転は拘束されないこととなる。

このように構成された振れ測定機構１０１，１０２は、図４および図６に示すように、振れ検出器８Ａ，８Ｂおよびエンコーダ（回転検出器）２Ｅが計測器２１に電気的に接続され、当該計測器２１を含む振れ測定装置として構成される。計測器２１は、例えば、コンピュータであり、図には明示しないが、ＣＰＵ（Central Processing Unit）のようなマイクロプロセッサを含む演算処理装置などにより実現される。計測器２１は、振れ検出器８Ａ，８Ｂによって検出されたボールネジ軸２Ｄのラジアル方向の振れ量と、エンコーダ２Ｅによって検出されたボールネジ軸２Ｄの回転角度から、ボールネジ軸２Ｄの振れを計測する。以下、振れ測定機構１０１，１０２を含む振れ測定装置によるアクチュエータの振れ測定方法の詳細について説明する。

図９は、実施形態のアクチュエータの振れ測定方法を表すフローチャートである。図１０は、実施形態のアクチュエータの振れ測定の結果を表す概略図である。図１１は、実施形態のアクチュエータの振れ測定の結果を表す概略図である。

振れ測定方法は、図９に示すように、ステップＳ１において、拘束具９，１２によってボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転のみを拘束してガイド部３に連結する。そして、振れ測定方法は、ステップＳ２において、ガイド部３に固定した振れ検出器８によってボールネジ軸２ＤのＺ方向に対する振れ量（即ち、ボールネジ軸２Ｄの軸方向の移動と同期してボールネジ軸２Ｄの先端のラジアル方向の振れ量）を検出する。また、振れ測定方法は、ステップＳ３において、ロータ２Ｂａに設けられたエンコーダ２Ｅによってロータ２Ｂａの回転角度を検出する。そして、振れ測定方法は、ステップＳ４において、検出された振れ量および回転角度に基づきボールネジ軸２Ｄの振れを計測器２１によって測定し取得する。

図１０および図１１に示すように、ボールネジ軸２Ｄが移動する基準となる中心軸ＣＬは、ガイド部３において連結部材３Ａがガイドレール３Ｂおよびリニアガイド３Ｃ，３Ｄを介して移動する基準軸ＳＬと平行になることが、ボールネジ軸２Ｄの振れ回りがなく好ましい。そして、振れ測定方法において、例えば、図１０に示すように、振れ検出器８Ａ，８Ｂによるボールネジ軸２Ｄの振れ量の検出結果と、エンコーダ２Ｅによるロータ２Ｂａの回転角度の検出結果から、中心軸ＣＬに対して、異なる回転角度でボールネジ軸２Ｄの振れ量が大きくなる場合、計測器２１は、ボールナット２Ｃを含みボールネジ軸２Ｄがロータ２Ｂａに対してどの回転角度の位置でどのくらい傾いて振れているかを測定し、取得する。また、振れ測定方法において、例えば、図１１に示すように、振れ検出器８Ａ，８Ｂによるボールネジ軸２Ｄの振れ量の検出結果と、エンコーダ２Ｅによるロータ２Ｂａの回転角度の検出結果から、中心軸ＣＬに対して、同じ回転角度でボールネジ軸２Ｄの振れ量が大きくなる場合、計測器２１は、ボールナット２Ｃを含みボールネジ軸２Ｄがロータ２Ｂａに対してどの回転角度の位置でどのくらい偏心して振れているかを測定し、取得する。このように、実施形態の振れ測定装置は、ボールネジ軸２Ｄの傾きおよび偏心の振れを計測する。

実施形態のアクチュエータ１は、上述したように、ハウジング２Ａと、ハウジング２Ａに対して中心軸ＣＬの周りに回転可能に設けられるロータ２Ｂａと、ロータ２Ｂａの中空部２Ｂａａに固定されるボールナット２Ｃと、Ｚ方向（軸方向）に延びてボールナット２Ｃに挿通係合されてボールナット２Ｃの回転に伴いＺ方向に移動可能に設けられるボールネジ軸２Ｄと、ハウジング２Ａに設けられてＺ方向に沿う移動を案内され、かつボールネジ軸２Ｄの先端が取り付けられるガイド部（案内部）３と、ガイド部３に設けられてボールネジ軸２Ｄの軸方向の移動と同期してボールネジ軸２Ｄの先端のラジアル方向の振れ量を検出する振れ検出器８が固定される第一固定部３Ａｃと、ガイド部３に設けられて、ボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転のみを拘束する拘束具９，１２が固定される第二固定部３Ａｄと、を含む。

ここで、ロータ２Ｂａの中空部２Ｂａａにボールナット２Ｃが固定される中空モータを有してボールナット２Ｃにボールネジ軸２Ｄが挿通係合されるナット回転式のアクチュエータ１において、ボールネジ軸２Ｄが中空モータ内に収納されるため、ボールネジ軸２Ｄの振れ測定が難しい。しかも、ボールナット２Ｃを回転させる構成の場合、ボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転のみを固定する必要があり、ボールネジ軸２Ｄが動作し得る６自由度のうち前記相対移動および前記相対回転の２自由度のみを拘束するのは非常に困難である。

従って、実施形態のアクチュエータ１によれば、ガイド部３に対し、ボールネジ軸２Ｄの軸方向の移動と同期してボールネジ軸２Ｄの先端のラジアル方向の振れ量を検出する振れ検出器８が固定される第一固定部３Ａｃを設け、ボールネジ軸２Ｄと共に振れ検出器８を移動可能に固定できるように構成される。この構成により、実施形態のアクチュエータ１は、第一固定部３Ａｃによって、ハウジング２Ａに対してＺ方向に沿う移動を案内するようにボールネジ軸２Ｄの先端が取り付けられるガイド部３を基準にしてボールネジ軸２Ｄと共に振れ検出器８を移動可能に固定できるため、ボールネジ軸２Ｄの平行移動の基準を持つことができ、かつボールネジ軸２Ｄが移動している座標上で振れを検出できる。しかも、実施形態のアクチュエータ１によれば、ガイド部３に対し、ボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転のみを拘束する拘束具９，１２が固定される第二固定部３Ａｄを設け、ボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対する前記相対移動および前記相対回転がガイド部３に伝わらないように構成される。この構成により、実施形態のアクチュエータ１は、第二固定部３Ａｄによって、ボールネジ軸２Ｄの先端からガイド部３に伝わる前記相対移動および前記相対回転のみを拘束するように拘束具９，１２を固定できる機能を持つことができる。この結果、実施形態のアクチュエータ１は、ナット回転式において、ボールネジ軸２Ｄの振れ回りを精度よく測定することができる。

また、実施形態のアクチュエータ１では、第一固定部３Ａｃは、少なくとも２個所に配置される第一固定孔からなる。

１箇所の固定孔の場合、振れ測定器８が当該固定孔を中心に動いてしまい精度よく測定できないおそれがある。従って、実施形態のアクチュエータ１によれば、振れ測定器８を固定するための少なくとも２個所の第一固定孔により、振れ測定器８を確実に固定でき、精度よく測定できる。

また、実施形態のアクチュエータ１では、第二固定部３Ａｄは、ボールネジ軸２Ｄの先端を間にして少なくとも２個所に配置される第二固定孔からなる。

１箇所の固定孔の場合、拘束具９，１２が当該固定孔を中心に振れ回ることによってボールネジ軸２Ｄにトルクがかかってしまい精度良く測定ができないおそれがある。従って、実施形態のアクチュエータ１によれば、拘束具９，１２が取り付けられるように、ボールネジ軸２Ｄの先端を間にした少なくとも２個所の第二固定孔により、拘束具９，１２を確実に固定でき、精度よく測定できる。

また、実施形態のアクチュエータ１では、ボールネジ軸２Ｄに設けられてボールネジ軸２Ｄと同軸に形成された円周状の測定面２Ｄｂａ，２Ｄｃａを有する測定部２Ｄｂ，２Ｄｃをさらに含む。

従って、実施形態のアクチュエータ１によれば、測定部２Ｄｂ，２Ｄｃによって振れ検出器８をボールネジ軸２Ｄに接触させる基準を持つことができる。

また、実施形態のアクチュエータ１では、ガイド部３に設けられてボールネジ軸２Ｄが遊挿される貫通孔３Ａｅをさらに含む。

従って、実施形態のアクチュエータ１によれば、貫通孔３Ａｅによって、ガイド部３に固定した拘束具１２とボールネジ軸２Ｄとの接合において、ボールネジ軸２Ｄとガイド部３との干渉を防ぎ、ボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転のみがガイド部３に伝わらない機能を持つことができる。

実施形態のアクチュエータ１の振れ測定機構１０１，１０２は、ハウジング２Ａと、ガイド部３に固定されてボールネジ軸２Ｄの軸方向の移動と同期してボールネジ軸２Ｄの先端のラジアル方向の振れ量を検出する振れ検出器８と、ロータ２Ｂａに設けられてロータ２Ｂａの回転角度を検出するエンコーダ（回転検出器）２Ｅと、ガイド部３に取り付けられて、ボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転のみを拘束する拘束具９，１２と、を含む。

実施形態のアクチュエータ１の振れ測定機構１０１，１０２によれば、ハウジング２Ａに対してＺ方向に沿う移動を案内するようにボールネジ軸２Ｄの先端が取り付けられるガイド部３を基準にしてボールネジ軸２Ｄと共に振れ検出器８を移動可能に構成したことにより、ボールネジ軸２Ｄの平行移動の基準を持ち、かつボールネジ軸２Ｄが移動している座標上で振れ量を検出できる。しかも、実施形態のアクチュエータ１の振れ測定機構１０１，１０２によれば、振れ検出器８によるボールネジ軸２Ｄの振れ量の検出と共に、エンコーダ２Ｅによって、ロータ２Ｂａの回転角度を検出することで、ロータ２Ｂａの回転角度とボールネジ軸２Ｄの振れ量とを紐付けて計測できる。しかも、実施形態のアクチュエータ１の振れ測定機構１０１，１０２によれば、拘束具９，１２によってボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転のみを拘束することで、正確なボールネジ軸２Ｄの振れを計測できる。この結果、実施形態のアクチュエータ１の振れ測定機構１０１，１０２は、ナット回転式のアクチュエータ１において、ボールネジ軸２Ｄの振れ回りを精度よく測定することができる。

また、実施形態のアクチュエータ１の振れ測定機構１０１では、拘束具９は、ガイド部３の連結部３Ａａを囲むように折り返し状に形成された延長部９Ａを有し、延長部９Ａの一端部９Ａａとしてガイド部３の連結部３Ａａに対してＺ方向（軸方向）にのみ移動可能に取り付けられ、延長部９Ａの他端部９Ａｂがガイド部３の連結部３Ａａから離隔するように設けられてボールネジ軸２Ｄの先端に固定される。

ここで、ボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転のみの拘束の際、振れの測定箇所に近い位置で拘束してしまうと、測定しようとしている振れも少なからず拘束してしまうため、測定値が本来の振れの値より小さくなって正確な値を計測できない。

従って、実施形態のアクチュエータ１の振れ測定機構１０１によれば、拘束具９によって、ボールネジ軸２ＤがＺ方向（軸方向）への移動のみ許容されるため、ボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転のみを拘束でき、正確な値を計測できる。

また、実施形態のアクチュエータ１の振れ測定機構１０２では、拘束具１２は、筒状の主延長部１２Ａと、主延長部１２Ａの内部に遊挿される棒状の副延長部１２Ｂと、を有し、主延長部１２Ａの一端部１２Ａａと主延長部１２Ａの内部に挿入された副延長部１２Ｂの一端部１２Ｂａとが相互に固定され、主延長部１２Ａの他端部１２Ａｂがガイド部３の連結部３Ａａに固定され、副延長部１２Ｂの他端部１２Ｂｂがボールネジ軸２Ｄの先端に固定され、ガイド部３は、副延長部１２Ｂの他端部１２Ｂｂが遊挿される貫通孔３Ａｅを有する。

従って、実施形態のアクチュエータ１の振れ測定機構１０２によれば、拘束具１２によって、ボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転は、副延長部１２Ｂの他端部１２Ｂｂに伝わるが、副延長部１２Ｂが、主延長部１２Ａに遊挿され、一端部１２Ｂａが固定されているため、ボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対する前記相対移動および前記相対回転のみが吸収されて、拘束される。この結果、実施形態のアクチュエータ１の振れ測定機構１０２は、正確な値を計測できる。しかも、実施形態のアクチュエータ１の振れ測定機構１０２によれば、ガイド部３に副延長部１２Ｂの他端部１２Ｂｂが遊挿される貫通孔３Ａｅを設けることで、ボールネジ軸２Ｄの振れの測定箇所からより遠い位置でボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転のみを拘束し、その他のＸ方向、Ｙ方向の相対移動およびＸ方向、Ｙ方向のまわりの相対回転は拘束されない構成を実現できる。

実施形態のアクチュエータ１の振れ測定方法は、ハウジング２Ａと、ハウジング２Ａに対して中心軸ＣＬの周りに回転可能に設けられるロータ２Ｂａと、ロータ２Ｂａの中空部２Ｂａａに固定されるボールナット２Ｃと、Ｚ方向（軸方向）に延びてボールナット２Ｃに挿通係合されてボールナット２Ｃの回転に伴いＺ方向に移動可能に設けられるボールネジ軸２Ｄと、ハウジング２Ａに設けられてＺ方向に沿う移動を案内され、かつボールネジ軸２Ｄの先端が取り付けられるガイド部（案内部）３と、を備えるアクチュエータ１に適用され、拘束具９，１２によってボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転のみを拘束してガイド部３に連結する工程と、ガイド部３に固定した振れ検出器８によってボールネジ軸２Ｄの軸方向の移動と同期してボールネジ軸２Ｄの先端のラジアル方向の振れ量を検出する工程と、ロータ２Ｂａに設けられたエンコーダ（回転検出器）２Ｅによってロータ２Ｂａの回転角度を検出する工程と、検出した振れ量および回転角度に基づきボールネジ軸２Ｄの振れを取得する工程と、を含む。

従って、実施形態のアクチュエータ１の振れ測定方法によれば、拘束具９，１２によってボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するＺ方向の相対移動およびボールネジ軸２Ｄのガイド部３に対するボールネジ軸２Ｄまわりの相対回転のみを拘束してガイド部３に伝わらないようにし、そのうえで、ガイド部３に固定した振れ検出器８によるボールネジ軸２Ｄの先端のラジアル方向の振れ量の検出と、ロータ２Ｂａに設けられたエンコーダ２Ｅによるロータ２Ｂａの回転角度の検出とを行い、これら振れ量および回転角度に基づきボールネジ軸２Ｄの振れを取得している。この結果、実施形態のアクチュエータ１の振れ測定方法は、ナット回転式のアクチュエータ１において、ボールネジ軸２Ｄの振れ回りを精度よく測定することができる。

１ アクチュエータ
２Ａ ハウジング
２Ｂａ ロータ
２Ｂａａ 中空部
２Ｅ エンコーダ（回転検出器）
２Ｃ ボールナット
２Ｄ ボールネジ軸
２Ｄｂ 測定部
２Ｄｂａ 測定面
３ ガイド部（案内部）
３Ａｃ 第一固定部（第一固定孔）
３Ａｄ 第二固定部（第二固定孔）
３Ａｅ 貫通孔
８（８Ａ，８Ｂ） 振れ検出器
９ 拘束具
９Ａ 延長部
９Ａａ 一端部
９Ａｂ 他端部
１２ 拘束具
１２Ａ 主延長部
１２Ａａ 一端部
１２Ａｂ 他端部
１２Ｂ 副延長部
１２Ｂａ 一端部
１２Ｂｂ 他端部
２１ 計測器
１０１，１０２ 振れ測定機構

Claims (9)

1. ハウジングと、
   前記ハウジングに対して中心軸の周りに回転可能に設けられるロータと、
   前記ロータの中空部に固定されるボールナットと、
   軸方向に延びて前記ボールナットに挿通係合されて前記ボールナットの回転に伴い前記軸方向に移動可能に設けられるボールネジ軸と、
   前記ハウジングに設けられて前記軸方向に沿う移動を案内され、かつ前記ボールネジ軸の先端が取り付けられる案内部と、
   前記案内部に設けられて前記ボールネジ軸の前記軸方向の移動と同期して前記ボールネジ軸の先端のラジアル方向の振れ量を検出する振れ検出器が固定される第一固定部と、
   前記案内部に設けられて、前記ボールネジ軸の前記案内部に対する前記軸方向の相対移動および前記ボールネジ軸の前記案内部に対する前記ボールネジ軸まわりの相対回転のみを拘束する拘束具が固定される第二固定部と、
   を含む、アクチュエータ。
2. 前記第一固定部は、少なくとも２個所に配置される第一固定孔からなる、請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記第二固定部は、前記ボールネジ軸の先端を間にして少なくとも２個所に配置される第二固定孔からなる、請求項１に記載のアクチュエータ。
4. 前記ボールネジ軸に設けられて前記ボールネジ軸と同軸に形成された円周状の測定面を有する測定部をさらに含む、請求項１に記載のアクチュエータ。
5. 前記案内部に設けられて前記ボールネジ軸が遊挿される貫通孔をさらに含む、請求項１に記載のアクチュエータ。
6. ハウジングと、
   前記ハウジングに対して中心軸の周りに回転可能に設けられるロータと、
   前記ロータの中空部に固定されるボールナットと、
   軸方向に延びて前記ボールナットに挿通係合されて前記ボールナットの回転に伴い前記軸方向に移動可能に設けられるボールネジ軸と、
   前記ハウジングに設けられて前記軸方向に沿う移動を案内され、かつ前記ボールネジ軸の先端が取り付けられる案内部と、
   を備えるアクチュエータの振れ測定機構であって、
   前記案内部に固定されて前記ボールネジ軸の前記軸方向の移動と同期して前記ボールネジ軸の先端のラジアル方向の振れ量を検出する振れ検出器と、
   前記ロータに設けられて前記ロータの回転角度を検出する回転検出器と、
   前記案内部に取り付けられて、前記ボールネジ軸の前記案内部に対する前記軸方向の相対移動および前記ボールネジ軸の前記案内部に対する前記ボールネジ軸まわりの相対回転のみを拘束する拘束具と、
   を含む、アクチュエータの振れ測定機構。
7. 前記拘束具は、
   前記案内部を囲むように折り返し状に形成された延長部を有し、
   前記延長部の一端部が前記案内部に対して前記軸方向にのみ移動可能に取り付けられ、前記延長部の他端部が前記案内部から離隔するように設けられて前記ボールネジ軸の先端に固定される、
   請求項６に記載のアクチュエータの振れ測定機構。
8. 前記拘束具は、
   筒状の主延長部と、
   前記主延長部の内部に遊挿される棒状の副延長部と、
   を有し、
   前記主延長部の一端部と当該主延長部の内部に挿入された前記副延長部の一端部とが相互に固定され、前記主延長部の他端部が前記案内部に固定され、前記副延長部の他端部が前記ボールネジ軸の先端に固定され、
   前記案内部は、
   前記副延長部の他端部が遊挿される貫通孔を有する、
   請求項６に記載のアクチュエータの振れ測定機構。
9. ハウジングと、
   前記ハウジングに対して中心軸の周りに回転可能に設けられるロータと、
   前記ロータの中空部に固定されるボールナットと、
   軸方向に延びて前記ボールナットに挿通係合されて前記ボールナットの回転に伴い前記軸方向に移動可能に設けられるボールネジ軸と、
   前記ハウジングに設けられて前記軸方向に沿う移動を案内され、かつ前記ボールネジ軸の先端が取り付けられる案内部と、
   を備えるアクチュエータの振れ測定方法であって、
   拘束具によって前記ボールネジ軸の前記案内部に対する前記軸方向の相対移動および前記ボールネジ軸の前記案内部に対する前記ボールネジ軸まわりの相対回転のみを拘束して前記案内部に連結する工程と、
   前記案内部に固定した振れ検出器によって前記ボールネジ軸の前記軸方向の移動と同期して前記ボールネジ軸の先端のラジアル方向の振れ量を検出する工程と、
   前記ロータに設けられた回転検出器によって前記ロータの回転角度を検出する工程と、
   検出した振れ量および回転角度に基づき前記ボールネジ軸の振れを取得する工程と、
   を含む、アクチュエータの振れ測定方法。

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