JP2024023147A - フレキシブルスマートウィンドウ及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】構造的安定性が改善されたフレキシブルスマートウィンドウ及びその製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の一実施形態は、フレキシブルスマートウィンドウを提供する。フレキシブルスマートウィンドウは、変色層を含むエレクトロクロミック構造体と、エレクトロクロミック構造体の上に配置された第1ポリイミドフィルムと、エレクトロクロミック構造体の下に配置された第2ポリイミドフィルムと、第1ポリイミドフィルム上に配置され、金属酸化物、半金属酸化物および有機シラン化合物からなる群より選択される少なくとも1つを含む第1接着増進層とを含む。高温工程におけるポリイミドフィルムとエレクトロクロミック構造体との接着性が向上し、フレキシブルスマートウィンドウの構造的安定性を改善することができる。【選択図】図1

Description

本出願の開示は、フレキシブルスマートウィンドウ及びその製造方法に関する。
フレキシブルスマートウィンドウの製造方法のうち、液晶を用いる工程およびSPD(suspended particle device)を用いる工程は、エレクトロクロミック(electrochromic、EC)工程に比べて低い工程温度を適用するので、PETのような光学用フィルムを適用してフレキシブルスマートウィンドウを製造する方法として広く知られている。しかし、従来の液晶およびSPD技術に適用されるPETや光学用フィルムは、耐熱性が不足しているので、変色層とイオン貯蔵層を400℃以上の高温で処理するエレクトロクロミック技術には適用しにくい問題がある。
耐熱性の観点から、エレクトロクロミック技術によって製造されたフレキシブルスマートウィンドウには、ポリイミドフィルムを適用することが考えられるが、フレキシブルスマートウィンドウの基材層剥離工程または高温処理中にポリイミドフィルムが損傷することがある。
本開示の1つの課題は、向上した構造的安定性および耐衝撃性を有するフレキシブルスマートウィンドウを提供することである。
本開示の1つの課題は、向上した構造的安定性および耐衝撃性を有するフレキシブルスマートウィンドウの製造方法を提供することである。
例示的な実施形態によるフレキシブルスマートウィンドウは、変色層を含むエレクトロクロミック構造体と、前記エレクトロクロミック構造体上に配置された第1ポリイミドフィルムと、前記エレクトロクロミック構造体の下に配置された第2ポリイミドフィルムと、前記第1ポリイミドフィルム上に配置され、金属酸化物、半金属酸化物および有機シラン化合物からなる群より選択される少なくとも1つを含む第1接着増進層とを含む。
いくつかの実施形態では、前記金属酸化物はAlおよびTiからなる群より選択される少なくとも1つの酸化物を含み、前記半金属酸化物はSiの酸化物を含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記エレクトロクロミック構造体と前記第1ポリイミドフィルムとの間に配置され、前記金属酸化物または前記半金属酸化物を含む第2接着増進層をさらに含むことができる。
いくつかの実施形態では、第2ポリイミドフィルムの下に配置され、前記金属酸化物、前記半金属酸化物および前記有機シラン化合物からなる群より選択される少なくとも1つを含む第3接着増進層をさらに含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記エレクトロクロミック構造体と前記第2ポリイミドフィルムとの間に配置され、前記金属酸化物または前記半金属酸化物を含む第4接着増進層をさらに含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記第1接着増進層の厚さは30nm~70nmであってもよい。
いくつかの実施形態では、前記エレクトロクロミック構造体は、前記第2ポリイミドフィルムの上に順次配置される第2伝導層、イオン貯蔵層、電解質層、前記変色層および第1伝導層を含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記第1伝導層および前記第2伝導層のそれぞれは、ITO(Indium Tin Oxide)、In(Indium Oxide)、IGO(Indium Galium Oxide)、FTO(Fluor doped Tin Oxide)、AZO(Aluminium doped Zinc Oxide)、GZO(Galium doped Zinc Oxide)、ATO(Antimony doped Tin Oxide)、IZO(Indium doped Zinc Oxide)、NTO(Niobium doped Titanium Oxide)、ZnO(Zink Oxide)またはCTO(Cesium Tungsten Oxide)からなる群より選択される少なくとも1つの導電性酸化物を含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記イオン貯蔵層は、Ni、CoおよびMnからなる群より選択される少なくとも1つの酸化物または水酸化物を含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記電解質層は、H、Li、Na、K、RbおよびCsからなる群より選択される少なくとも1つの金属塩を含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記変色層は、Ti、Nb、Mo、Ta、W、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、RhおよびIrからなる群より選択される少なくとも1つの酸化物;Cr、Mn、Fe、Co、Ni、RhおよびIrからなる群より選択される少なくとも1つの水酸化物;および、プルシアンブルーからなる群より選択される少なくとも1つを含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記第1ポリイミドフィルムおよび前記第2ポリイミドフィルムのそれぞれのガラス転移温度は450℃以上であってもよい。
いくつかの実施形態では、前記第1接着増進層上に配置された第1保護フィルムをさらに含み、前記第1接着増進層は、前記第1ポリイミドフィルムと前記第1保護フィルムとの間に配置することができる。
例示的な実施形態によるフレキシブルスマートウィンドウの製造方法は、以下の通りである。第1キャリア基材上に、第1犠牲層、第1接着増進層、第1ポリイミドフィルム、第1伝導層および変色層を順次形成することにより、第1多層構造体を製造する。第2キャリア基材上に、第2犠牲層、第2ポリイミドフィルム、第2伝導層およびイオン貯蔵層を順次形成することにより、第2多層構造体を製造する。前記第1多層構造体と前記第2多層構造体との間に電解質層を形成し、前記変色層と前記イオン貯蔵層が互いに向かい合うように結合する。前記第1キャリア基材および前記第2キャリア基材を分離する。
いくつかの実施形態では、前記第1キャリア基材および前記第2キャリア基材を分離するステップは、前記第1キャリア基材を介して前記第1犠牲層にレーザ光を照射した後、前記第1キャリア基材を分離し、前記第2キャリア基材を介して前記第2犠牲層にレーザ光を照射した後、前記第2キャリア基材を分離することを含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記第1キャリア基材上に前記第1犠牲層を形成するステップ、および前記第2キャリア基材上に前記第2犠牲層を形成するステップは、前記第1キャリア基材および前記第2キャリア基材上に、それぞれ窒化ケイ素(SiNx)および非晶質シリコンを蒸着するステップ、または前記第1キャリア基材および前記第2キャリア基材上に、それぞれ窒化ガリウム(GaN)を蒸着するステップを含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記第1多層構造体を形成するステップは、前記第1接着増進層上にポリアミック酸組成物を塗布し、450℃~500℃で熱処理して前記第1ポリイミドフィルムを形成することを含み、前記第2多層構造体を形成するステップは、前記第2犠牲層上にポリアミック酸組成物を塗布し、450℃~500℃で熱処理して前記第2ポリイミドフィルムを形成することを含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記第1多層構造体を形成するステップは、前記第1ポリイミドフィルムと前記第1伝導層との間に第2接着増進層を形成するステップをさらに含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記第2多層構造体を形成するステップは、前記第2犠牲層と前記第2ポリイミドフィルムとの間に第3接着増進層を形成するステップをさらに含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記第2多層構造体を形成するステップは、前記第2ポリイミドフィルムと前記第2伝導層との間に第4接着増進層を形成するステップをさらに含むことができる。
例示的な実施形態によると、エレクトロクロミック構造体の上面および下面上には、ポリイミドフィルムを配置することができる。これにより、450℃以上の高温工程を伴うフレキシブルスマートウィンドウを安定的に形成することができる。
例示的な実施形態では、フレキシブルスマートウィンドウは、金属酸化物または半金属酸化物を含む接着増進層を含むことができる。これにより、高温工程後のポリイミドフィルムおよびエレクトロクロミック構造体の浮きおよび離隔現象を防止することができる。したがって、ポリイミドフィルムの損傷またはクラックを防止することができる。
図1は、例示的な実施形態によるフレキシブルスマートウィンドウを示す概略断面図である。 図2は、例示的な実施形態によるフレキシブルスマートウィンドウを示す概略断面図である。 図3は、例示的な実施形態によるフレキシブルスマートウィンドウを示す概略断面図である。 図4は、例示的な実施形態によるフレキシブルスマートウィンドウを示す概略断面図である。 図5は、例示的な実施形態によるフレキシブルスマートウィンドウの製造方法を示す概略断面図である。 図6は、例示的な実施形態によるフレキシブルスマートウィンドウの製造方法を示す概略断面図である。 図7は、例示的な実施形態によるフレキシブルスマートウィンドウの製造方法を示す概略断面図である。 図8は、実施例及び比較例により形成されたポリイミドフィルムの膜浮きの評価結果を示す画像である。 図9は、実施例及び比較例により形成されたポリイミドフィルムの膜浮きの評価結果を示す画像である。 図10は、実施例及び比較例により形成されたポリイミドフィルムの膜浮きの評価結果を示す画像である。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態をより具体的に説明する。ただし、本明細書に添付される図面は、本発明の好適な実施形態を例示するものであって、発明の詳細な説明とともに本発明の技術思想をさらに理解する一助となる役割を果たすものであるため、本発明は図面に記載された事項のみに限定されて解釈されるものではない。
また、本明細書の記載「上」及び「下」は、各構成の相対的な位置関係を説明するためのものであり、絶対的な位置を意味するものではない。さらに、本明細書の記載「第1」、「第2」、「第3」及び「第4」は、複数の層を区分及び説明するためのものであり、製造工程の先後などを限定するものではない。
本明細書で特に定義がない限り、層、膜、薄膜、領域、板などの部分が他の部分の「上に」あるというのは、他の部分の「直上に」ある場合だけでなく、その途中に別の部分がある場合も含む。また、層、膜、薄膜、領域、板などの部分が他の部分の「下に」あるというのは、他の部分「真下に」ある場合だけでなく、その途中に別の部分がある場合も含む。
本明細書で特に定義がない限り、「重合体」は、オリゴマー(oligomer)と重合体(polymer)を含むものであってもよく、単独重合体と共重合体を含むものであってもよい。前記共重合体は、ランダム共重合体(random copolymer)、ブロック共重合体(block copolymer)、グラフト共重合体(graft copolymer)、交互共重合体(alternating copolymer)、またはグラジエント共重合体(gradient copolymer)、或いはこれらをすべて含むものであってもよい。
本明細書で特に定義がない限り、「A及び/又はB」とは、AとBを同時に含む態様を意味するものであってもよく、A及びBの中で選択された態様を意味するものであってもよい。
本明細書で特に定義がない限り、「ポリアミック酸」は、アミック酸(amic acid)部分(moiety)を有する構造単位を含む重合体を意味し、「ポリイミド」は、イミド部分を有する構造単位を含む重合体を意味し得る。
本開示の一実施形態は、接着増進層を含むフレキシブルスマートウィンドウ(flexible smart window)を提供する。また、本開示の一実施形態は、前記フレキシブルスマートウィンドウの製造方法を提供する。
図1及び図2は、例示的な実施形態によるフレキシブルスマートウィンドウを示す概略断面図である。
図1及び図2に示すように、例示的な実施形態によるフレキシブルスマートウィンドウは、変色層130を含むエレクトロクロミック(electrochromic)構造体100を含むことができる。
前記エレクトロクロミック構造体100は、電流を供給または遮断することによって色が変化する電気変色素子を意味し得る。
第1及び第2ポリイミドフィルム200,300のガラス転移温度は、約450℃以上であってもよい。フレキシブルスマートウィンドウの基材フィルムとして、ガラス転移温度(Tg)が150℃以下のポリエチレンテレフタレート(PET)を用いる場合、エレクトロクロミック構造体100は、400℃以上の高温で変色層およびイオン貯蔵層を処理するので、PETフィルムの変形および損傷が発生してしまうことがある。これに対して、第1及び第2ポリイミドフィルム200,300は、450℃~500℃の高温工程を伴うエレクトロクロミック構造体100に安定して適用できる。また、高温工程で製造されたエレクトロクロミック構造体100は、電流通過時の可変応答速度に優れており、向上した電気変色性能を実現することができる。
いくつかの実施形態では、第1及び第2ポリイミドフィルム200,300の厚さは、それぞれ1μm~50μmであってもよく、具体的には3μm~20μm、より具体的には5μm~10μmであってもよい。第1及び第2ポリイミドフィルム200,300の厚さが前記範囲にあることにより、エレクトロクロミック構造体100を外部衝撃および汚染から十分に保護しながらも、向上した透明性およびフレキシブル特性を実現することができる。
例えば、前述のポリイミドフィルム200,300およびエレクトロクロミック構造体100は、前記高温工程で離隔または浮き現象が発生することがある。例えば、高温で保護フィルム210,310とポリイミドフィルム200,300との間、またはポリイミドフィルム200,300とエレクトロクロミック構造体100との接着力が低下し、フレキシブルスマートウィンドウの構造的安定性が低下することがある。
例示的な実施形態によると、フレキシブルスマートウィンドウは、第1ポリイミドフィルム200上に配置される第1接着増進層160を含むことができる。
例示的な実施形態では、前記第1接着増進層160は、金属酸化物、半金属酸化物および有機シラン化合物(Organic silane compound)からなる群より選択される少なくとも1つを含むことができる。例えば、第1接着増進層160は、金属酸化物若しくは半金属酸化物を含む無機膜、または有機シラン化合物を含む有機膜であってもよい。第1接着増進層160を採用することにより、第1ポリイミドフィルム200と後述する第1保護フィルム210との接着力を改善し、高温による損傷を防止することができる。
いくつかの実施形態によると、前記金属酸化物は、AlおよびTiからなる群より選択される少なくとも1つの酸化物を含むことができ、前記半金属酸化物は、Siの酸化物を含むことができる。
前記有機シラン化合物は、例えば、下記化学式1で表される化合物であってもよい。
Figure 2024023147000002
前記化学式1中、OY及びRは、それぞれ独立して水素、C~Cのアルキル基(alkyl group)、C~C12のアリール基(aryl group)、C~C12のシクロアルキル基(cycloalkyl group)、C~C12のシクロアルケニル基(cycloalkenyl group)、5~7員のヘテロシクロアルキル基(heterocycloalkyl group)、または5~7員のヘテロシクロアルケニル基(heterocycloalkenyl group)を含む炭化水素であってもよい。
いくつかの実施形態では、前記化学式1のOY及びRは、それぞれ置換または非置換であってもよい。例えば、前記化学式1のOY及びRからなる群より選択される少なくとも1つは、置換基を含むことができる。
例えば、前記化学式1のOY及びRに含まれる置換基は、ハロゲン、C~Cのアルキル基、C~Cのシクロアルキル基、C~Cのアルコキシ基、3~7員のヘテロシクロアルキル基、C~C12のアリール基、5~7員のヘテロアリール基、ヒドロキシ基(-OH)、-NR(R及びRはそれぞれ独立して、水素またはC~Cのアルキル基である。)、ニトロ基(-NO)およびシアノ基(-CN)からなる群より選択される少なくとも1つを含むことができる。
前記化学式1中、Xは、エポキシ基(epoxy group)、アミノ基(amino group)、ビニル基(vinyl group)、イソシアネート基(isocyanate group)、およびメルカプト基(mercapto group)からなる群より選択される少なくとも1つを含むことができる。
いくつかの実施形態によると、有機シラン化合物は、トリメトキシシラン、トリエトキシシランなどを含むことができる。これらは単独でまたは組み合わせて使用することができる。
いくつかの実施形態では、図2に示すように、エレクトロクロミック構造体100と第1ポリイミドフィルム200との間に第2接着増進層170を配置することができる。例えば、第2接着増進層170は、金属酸化物または半金属酸化物を含む無機膜であってもよい。これにより、第2接着増進層170が追加の耐熱性を提供し、高温工程後も第1ポリイミドフィルム200とエレクトロクロミック構造体100との接着力を維持することができる。
図3及び図4は、例示的な実施形態によるフレキシブルスマートウィンドウを示す概略断面図である。
図3及び図4を参照すると、いくつかの実施形態では、第2ポリイミドフィルム300の下に第3接着増進層180を配置することができる。第3接着増進層180の配置により、高温における第2ポリイミドフィルム300と後述する第2保護フィルム310との接着力を改善することができる。
例えば、第3接着増進層180は、第1接着増進層160と実質的に同一の種類の材料を含むことができる。
いくつかの実施形態によると、図4に示すように、第2ポリイミドフィルム300とエレクトロクロミック構造体100との間に、さらに第4接着増進層190を含むことができる。これにより、さらなる耐熱性および安定性を確保することができる。
例えば、第4接着増進層190は、第2接着増進層170と同一の種類の金属酸化物または半金属酸化物を含むことができる。
前述した接着増進層の配置により、高温工程後のポリイミドフィルム200,300とエレクトロクロミック構造体100との間の浮きおよび離隔現象を防止することができる。これにより、ポリイミドフィルム200,300の損傷またはクラックを防止することができる。
いくつかの実施形態では、第1接着増進層160の厚さは、30nm~70nmであってもよく、具体的には35nm~50nmであってもよい。前記厚さの範囲では、ポリイミドフィルム200,300とエレクトロクロミック構造体100との接着力が向上しながらも、フレキシブルスマートウィンドウの透過度低下を防止することができる。前記厚さの範囲では、高温工程における接着増進層160,170,180,190の損傷またはクラック(crack)の発生を防止することができる。
いくつかの実施形態によると、エレクトロクロミック構造体100は、第2ポリイミドフィルム300の上に第2伝導層110、イオン貯蔵層120、電解質層150、変色層130および第1伝導層140を順次配置して形成することができる。
いくつかの実施形態では、第1伝導層140および第2伝導層110は、それぞれ導電性酸化物を含むことができる。前記導電性酸化物は、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)、In(Indium Oxide)、IGO(Indium Galium Oxide)、FTO(Fluor doped Tin Oxide)、AZO(Aluminium doped Zinc Oxide)、GZO(Galium doped Zinc Oxide)、ATO(Antimony doped Tin Oxide)、IZO(Indium doped Zinc Oxide)、NTO(Niobium doped Titanium Oxide)、ZnO(Zink Oxide)またはCTO(Cesium Tungsten Oxide)からなる群より選択される少なくとも1つであってもよい。これにより、透明性および電気伝導度が向上した伝導層140,110を提供することができる。
一実施形態によると、第1伝導層140および第2伝導層110は、それぞれITOを含むことができる。
例えば、第1伝導層140および第2伝導層110のそれぞれの厚さは、20nm~400nmであってもよく、具体的には50nm~350nm、より具体的には100nm~300nmであってもよい。前記厚さの範囲では、向上した伝導性および透過度を有するフレキシブルスマートウィンドウを実現しながらも、フレキシブルスマートウィンドウの厚さが過度に増加することを抑制することができる。
いくつかの実施形態では、イオン貯蔵層120は、電気変色反応に使用される電解質イオンを貯蔵および提供することができる。例えば、イオン貯蔵層120は、Ni、CoおよびMnからなる群より選択される少なくとも1つの酸化物または水酸化物を含むことができる。
例えば、イオン貯蔵層120の厚さは50nm~500nmであってもよく、具体的には80nm~450nm、より具体的には100nm~250nmであってもよい。前記厚さの範囲では、十分な量の電解質イオンを含有しながらも変色層130との電荷バランスを維持することができる。
いくつかの実施形態では、変色層130は、電流が供給されると、変色物質によって変色する層であってもよい。
前記変色物質は、例えば、還元性変色物質および酸化性変色物質からなる群より選択される少なくとも1つを含むことができる。
例えば、還元性変色物質は、Ti、Nb、Mo、TaまたはWからなる群より選択される少なくとも1つの酸化物であってもよい。
前記酸化性変色物質は、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、RhまたはIrからなる群より選択される少なくとも1つの酸化物、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、RhおよびIrからなる群より選択される少なくとも1つの水酸化物、およびプルシアンブルーから選択される少なくとも1つであってもよい。
例えば、変色層130の厚さは、20nm~400nmであってもよく、具体的には30nm~350nm、より具体的には50nm~100nmであってもよい。前記厚さの範囲では、十分な量の変色物質を含みながらも、フレキシブルスマートウィンドウの厚さが過度に増加することを抑制することができる。
いくつかの実施形態では、電解質層150は、電気変色反応に関与する電解質イオンを変色層130に提供することができる。例えば、電解質層150は、イオン貯蔵層120の電解質イオンを変色層130に伝達する通路で提供することができる。例えば、電解質層150は、液体電解質、ゲルポリマー電解質または無機固体電解質からなる群より選択される少なくとも1つを含むことができる。
例えば、電解質層150は、金属塩および溶媒を含むことができる。
前記金属塩は、例えば、H、Li、Na、K、RbおよびCsからなる群より選択される少なくとも1つであってもよい。例えば、電解質層150は、LiClO、LiBF、LiAsFまたはLiPFなどのリチウム塩化合物や、NaClOなどのナトリウム塩化合物を含むことができる。
電解質層150は、前記溶媒として高誘電率を有するカーボネート化合物を含むことができる。これにより、電解質層150のイオン伝導度を向上させることができる。例えば、前記カーボネート化合物は、線状カーボネート化合物、環状カーボネート化合物、またはこれらの組み合わせを含むことができ、より具体的には、PC(propylene carbonate)、EC(ethylene carbonate)、DMC(dimethyl carbonate)、DEC(diethyl carbonate)およびEMC(ethylmethyl carbonate)からなる群より選択される少なくとも1つを含むことができる。
いくつかの実施形態では、第1ポリイミドフィルム200の上、および第2ポリイミドフィルム300の下に、それぞれ粘着層(図示せず)を形成することができる。
前記の第1粘着層および第2粘着層のそれぞれにおいて、波長10nm~395nmにおける透過率は、10%以下であってもよい。前記透過率の範囲では、粘着層によって紫外線が十分に吸収され、長時間太陽光にさらされても電気変色性能の劣化を抑制することができる。
一実施形態によると、粘着層の可視光線透過度は90%以上であってもよい。これにより、フレキシブルスマートウィンドウの全透過度を改善し、透明性を向上できる。
例えば、粘着層は、それぞれ光学透明粘着剤(Optically clear Adhesive:OCA)、光学透明樹脂(Optically Clear Resin:OCR)などを含むことができる。
いくつかの実施形態では、前記粘着層により、第1接着増進層160と第1保護フィルム210を結合することができ、第2接着増進層180と第2保護フィルム310を結合することができる。これにより、フレキシブルスマートウィンドウを外部衝撃から保護しながら、粘着層によって耐光性を改善することができる。
例えば、保護フィルム210,310は、ガラス(glass)を含むことができる。
いくつかの実施形態では、第1接着増進層160は、第1ポリイミドフィルム200と第1保護フィルム210との間に配置することができる。これにより、第1ポリイミドフィルム200および第1保護フィルム210の高温での損傷を防止することができる。
一実施形態によると、第3接着増進層180は、第2ポリイミドフィルム300と第2保護フィルム310との間に配置することができる。これにより、第2ポリイミドフィルム300および第2保護フィルム310の高温での損傷を防止することができる。
いくつかの実施形態では、第2接着増進層170は、第1ポリイミドフィルム200と第1伝導層140との間に配置することができる。これにより、第1ポリイミドフィルム200と第1伝導層140との接着力を改善することができる。したがって、高温工程で第1ポリイミドフィルム200および第1伝導層140が離隔または損傷することをさらに防止することができる。
一実施形態によると、第4接着増進層190は、第2ポリイミドフィルム300と第2伝導層110との間に配置することができる。これにより、高温工程で第2ポリイミドフィルム300および第2伝導層110が離隔または損傷することをさらに防止することができる。
図5~図7は、例示的な実施形態によるフレキシブルスマートウィンドウの製造方法を示す概略断面図である。
以下では、図5~図7を参照して前述したフレキシブルスマートウィンドウの製造方法について説明する。
図5を参照すると、第1キャリア基材400上に第1接着増進層160、第1ポリイミドフィルム200、第1伝導層140および変色層130を順次形成することにより、第1多層構造体10を形成することができる。
例えば、第1キャリア基材400と第1接着増進層160との間には、第1犠牲層450を形成することができる。前記第1犠牲層450は、第1キャリア基材400上に窒化ケイ素(SiNx)、非晶質シリコン(a-Si)および窒化ガリウム(GaN)からなる群より選択される少なくとも1つを蒸着して形成することができる。
例えば、第1犠牲層450は、第1キャリア基材400上に窒化ケイ素および非晶質シリコンを蒸着するか、または第1キャリア基材400上に窒化ガリウムを蒸着して形成することができる。
例示的な実施形態では、第1キャリア基材400または第1犠牲層450上に前記金属酸化物、半金属酸化物および有機シラン化合物からなる群より選択される少なくとも1つを蒸着することにより、第1接着増進層160を形成することができる。
例えば、第1キャリア基材400または第1犠牲層450上に前記金属酸化物、半金属酸化物および有機シラン化合物からなる群より選択される少なくとも1つを、化学気相蒸着法(CVD)、プラズマ化学気相蒸着法(PECVD)、物理気相蒸着法(PVD)、スパッタリング(sputtering)などの方法を用いて蒸着することができる。
いくつかの実施形態では、第1接着増進層160上にポリアミック酸(polyamic acid)組成物を塗布し、450℃~500℃で熱処理して第1ポリイミドフィルム200を形成することができる。前記温度の範囲では、第1ポリイミドフィルム200の透過度および耐熱性を向上させることができる。
例えば、第1ポリイミドフィルム200上に前述の伝導性酸化物を蒸着することにより、第1伝導層140を形成することができる。
いくつかの実施形態によると、第1ポリイミドフィルム200と第1伝導層140との間に、さらに第2接着増進層170を形成することができる。例えば、第1ポリイミドフィルム200上に前記金属酸化物または半金属酸化物を蒸着することにより、第2接着増進層170を形成することができる。
例えば、第1伝導層140上に前述の変色物質、溶媒およびシラン系化合物を含むコーティング組成物を塗布し、450℃~500℃で焼成して変色層130を形成することができる。例えば、450℃以上の温度でアルコール等の溶媒が除去され、シラン系化合物の凝縮および加水分解反応により固体相の変色層130を形成することができる。例えば、前記焼成は1分~200分間行うことができる。
例示的な実施形態では、第2キャリア基材500上に第2ポリイミドフィルム300、第2伝導層110、およびイオン貯蔵層120を順次形成して、第2多層構造体20を形成することができる。
例示的な実施形態では、第1多層構造体10および第2多層構造体20の少なくとも1つは、接着増進層160,170を含むことができる。
いくつかの実施形態によると、第1多層構造体10および第2多層構造体20のうち、460℃以上の高温工程によって製造される多層構造体は、接着増進層を含むことができる。
一実施形態によると、前記460℃以上の高温工程によって製造される多層構造体は、第1多層構造体10であってもよい。この場合、第1多層構造体10は、第1接着増進層160を含むことができる。
例えば、第2キャリア基材500と第2ポリイミドフィルム300との間には、第2犠牲層550を形成することができる。前記第2犠牲層550は、第2キャリア基材500上に窒化ケイ素(SiNx)、非晶質シリコン(a-Si)および窒化ガリウム(GaN)からなる群より選択される少なくとも1つを蒸着して形成することができる。
例えば、第2犠牲層550は、第2キャリア基材500上に窒化ケイ素および非晶質シリコンを蒸着するか、または第2キャリア基材500上に窒化ガリウムを蒸着して形成することができる。
いくつかの実施形態によると、第2犠牲層550と第2ポリイミドフィルム300との間には、第3接着増進層180を形成することができる。例えば、第2キャリア基材500または第2犠牲層550上に、第1接着増進層160と同様の方法で第3接着増進層180を形成することができる。
いくつかの実施形態では、第2犠牲層550または第3接着増進層180上にポリアミック酸(polyamic acid)組成物を塗布し、450℃~500℃で熱処理して第2ポリイミドフィルム300を形成することができる。前記温度の範囲では、第2ポリイミドフィルム300の透過度および耐熱性を向上させることができる。
一実施形態によると、第1ポリイミドフィルム200を形成するための熱処理温度と、第2ポリイミドフィルム300を形成するための熱処理温度は同じであってもよい。
一実施形態によると、第1ポリイミドフィルム200を形成するための熱処理温度と、第2ポリイミドフィルム300を形成するための熱処理温度は異なっていてもよい。
例えば、第2ポリイミドフィルム300上に、前述の伝導性酸化物を蒸着して第2伝導層110を形成することができる。
いくつかの実施形態によると、第2ポリイミドフィルム300と第2伝導層110との間には、さらに第4接着増進層190を形成することができる。例えば、第2ポリイミドフィルム300上に、前述の金属酸化物または半金属酸化物を蒸着して第4接着増進層190を形成することができる。
例えば、第2伝導層110上に、Ni、Co及びMnから選択される1つ以上の酸化物または水酸化物、溶媒およびシラン系化合物を含むコーティング組成物を塗布し、450℃~500℃で焼成してイオン貯蔵層120を形成することができる。例えば、450℃以上の温度でアルコール等の溶媒が除去され、シラン系化合物の凝縮および加水分解反応により固体相のイオン貯蔵層120を形成することができる。例えば、前記焼成は1分~200分間行うことができる。
一実施形態によると、変色層130を形成するための焼成温度と、イオン貯蔵層120を形成するための焼成温度は同じであってもよい。これにより、工程利便性を改善し、コストを削減することができる。
一実施形態によると、変色層130を形成するための焼成温度と、イオン貯蔵層120を形成するための焼成温度は異なっていてもよい。例えば、変色層を形成するための焼成温度は、イオン貯蔵層を形成するための焼成温度よりも高くてもよい。この場合には、エレクトロクロミック構造体の繰り返し変色時の駆動信頼性および耐久性を向上させることができる。
前述のように、イオン貯蔵層120および変色層130の形成は、450℃以上で行うことができる。これにより、ガラス転移温度が450℃以上で耐熱性の高いポリイミドフィルム200,300を従来のガラス素材またはPETの代わりに採用することにより、電気変色性能が向上したフレキシブルスマートウィンドウを製造することができる。
例えば、前記第1多層構造体10は、エレクトロクロミック構造体100のアノード(anode)として提供し、前記第2多層構造体20は、エレクトロクロミック構造体100のカソード(cathode)として提供することができる。これにより、第1伝導層140および第2伝導層110への電源の印加または非印加によって、電解質イオン(例えば、Li)がイオン貯蔵層120から変色層130に移動することができる。したがって、フレキシブルスマートウィンドウの着色および脱色を実現することができる。
図6を参照すると、前述の第1多層構造体10および第2多層構造体20は、イオン貯蔵層120および変色層130が互いに向かい合うように結合できる。
いくつかの実施形態では、イオン貯蔵層120と変色層130との間に電解質層150を形成することができる。
図7を参照すると、第1キャリア基材400および第1犠牲層450は、レーザリフトオフ(Laser Lift-Off)工程により、第1ポリイミドフィルム200から分離することができる。第2キャリア基材500および第2犠牲層550は、レーザリフトオフ工程により、第2ポリイミドフィルム300から分離することができる。
本明細書で使用する用語「レーザリフトオフ工程」とは、レーザ光を照射してキャリア基材を分離する工程を意味し得る。
例えば、第1キャリア基材400を介して第1犠牲層450にレーザ光を照射し、第1キャリア基材400および第1犠牲層450を第1ポリイミドフィルム200から分離することができる。
例えば、第2キャリア基材500を介して第2犠牲層550にレーザ光を照射し、第2キャリア基材500および第2犠牲層550を第2ポリイミドフィルム300から分離することができる。
前記レーザ光は、波長領域190~343nmの光であってもよい。
例えば、前記レーザ光は、キャリア基材400,500を透過して犠牲層450,550に吸収され得る。これにより、犠牲層450,550が炭化してポリイミドフィルム200,300との接着力が低下し、キャリア基材400,500および犠牲層450,550をポリイミドフィルム200,300から分離することができる。例えば、犠牲層450,550は、レーザリフトオフ工程中にポリイミドフィルム200,300に加わる引力および張力を緩衝することができる。
以下、本発明の理解を助けるために好適な実施例を提示するが、これらの実施例は本発明を例示するものに過ぎず、添付の特許請求の範囲を制限するものではない。これらの実施例に対し、本発明の範疇および技術思想の範囲内で種々の変更および修正を加えることが可能であることは当業者にとって明らかであり、これらの変形および修正が添付の特許請求の範囲に属することも当然のことである。
実施例1
第1キャリア基材および第2キャリア基材として、0.5mm厚の非アルカリ性ガラス(non-alkali glass)を用意した。
第1キャリア基材および第2キャリア基材上に、それぞれPECVD方式を用いて350℃の温度でSiHの15sccm、NHの300sccm、PNの800sccmのガスを流し、1TorrでSiN層を5μmの厚さに蒸着した。蒸着したSiN層の上部に同様の方式を適用して同一の温度条件でSiH及びHのガスを流し、1Torrで非晶質シリコン層を5μmの厚さに蒸着して、第1犠牲層および第2犠牲層を形成した。
第1犠牲層上にSiOを40nmの厚さに蒸着して第1接着増進層を形成した。
具体的には、HDP-CVD(Atech system Co., EL-PECVD Lab-100)装置を用いて、SiO酸化膜を製造した。使用された装置の高密度プラズマ形成のために、3kWレベルのTCP(Transformer coupled plasma)ソースを用いた。SiHとNOガスを用いて、PECVD方式でSiO薄膜を蒸着した。
第1犠牲層上にSiOを蒸着した。SiHガスおよびNOガスの流量は、それぞれ5sccmおよび90sccmであった。
プラズマを形成するために、チャンバーの上部に13.56MHzのRF電圧を350W印加し、工程圧力は350mTorr、蒸着温度は300℃に固定した。
フラスコ中でTFMB(2,2’-bis(trifluoromethyl)benzidine)の1.623molとDMAc(Dimethylacetamide)の8,324gを混合した溶液に、BPAF(9,9’-bis(3,4-dicaroxyphenyl)fluorene dianhydride)の0.218molおよびPMDA(pyromellitic dianhydride)の1.397molを投入し、常温(25℃)で3日間重合してポリアミック酸溶液を得た。
得られたポリアミック酸溶液を、窒素雰囲気下で前記の第1接着増進層および第2犠牲層上にそれぞれ塗布した。次いで、塗布された前記混合溶液を100LPM以下の酸素濃度で5℃/minの速度で加熱した後、80℃で30分間および460℃で40分間熱処理することにより、第1ポリイミドフィルムおよび第2ポリイミドフィルムをそれぞれ4μmの厚さに形成した。
第1ポリイミドフィルムおよび第2ポリイミドフィルム上にそれぞれITOを350℃で230nmの厚さに蒸着して、第1伝導層および第2伝導層を形成した。
第1伝導層上に前述の変色層コーティング組成物を塗布し、550℃で熱処理することにより、変色層が形成された第1多層構造体を形成した。
第2伝導層上に前述のイオン貯蔵層コーティング組成物を塗布し、480℃で熱処理することにより、イオン貯蔵層が形成された第2多層構造体を形成した。
前記第1多層構造体および第2多層構造体を変色層およびイオン貯蔵層が互いに向かい合うように接合し、変色層とイオン貯蔵層との間に電解液を注入してシーラントで封印した。
このとき、電解液として、LiPFをEC/EMC/DEC(25/45/30;体積比)の混合溶媒に1Mの濃度を有するように溶解した後、ビニレンカーボネート(VC)を添加した物質を用いた。
その後、レーザ光を第1犠牲層に照射して第1キャリア基材および第1犠牲層を第1接着増進層から剥離し、第1接着増進層上に粘着層および第1保護フィルムを形成した。
また、第2キャリア基材および第2犠牲層も第2ポリイミドフィルムから同様の方法で剥離した後、第2ポリイミドフィルム上に粘着層および第2保護フィルムを形成することにより、フレキシブルスマートウィンドウを製造した。
ここで、粘着層はOCAフィルムであり、第1保護フィルムおよび第2保護フィルムはガラスである。
実施例2
第1接着増進層の厚さを50nmとした以外は、実施例1と同様の方法でフレキシブルスマートウィンドウを製造した。
実施例3
SiOの代わりにAlを50nmの厚さにそれぞれ形成して第1接着増進層を形成した以外は、実施例1と同様の方法でフレキシブルスマートウィンドウを製造した。
実施例4
SiOの代わりにTiOを40nmの厚さにそれぞれ形成して第1接着増進層を形成した以外は、実施例1と同様の方法でフレキシブルスマートウィンドウを製造した。
実施例5
第1接着増進層の厚さを35nmとした以外は、実施例1と同様の方法でフレキシブルスマートウィンドウを製造した。
実施例6
第1接着増進層の厚さを25nmとした以外は、実施例1と同様の方法でフレキシブルスマートウィンドウを製造した。
実施例7
第1接着増進層の厚さを65nmとした以外は、実施例1と同様の方法でフレキシブルスマートウィンドウを製造した。
実施例8
第1接着増進層の厚さを73nmとした以外は、実施例1と同様の方法でフレキシブルスマートウィンドウを製造した。
実施例9
第1ポリイミドフィルムと第1伝導層との間に、第1接着増進層の形成と同様の方法で第2接着増進層を形成した以外は、実施例1と同様の方法でフレキシブルスマートウィンドウを製造した。
実施例10
第2犠牲層と第2ポリイミドフィルムとの間に、第1接着増進層の形成と同様の方法で第3接着増進層を形成した以外は、実施例1と同様の方法でフレキシブルスマートウィンドウを製造した。
実施例11
第2犠牲層と第2ポリイミドフィルムとの間に、第1接着増進層の形成と同様の方法で第3接着増進層を形成した以外は、実施例9と同様の方法でフレキシブルスマートウィンドウを製造した。
実施例12
第2ポリイミドフィルムと第2伝導層との間に、第1接着増進層の形成と同様の方法で第4接着増進層を形成した以外は、実施例11と同様の方法でフレキシブルスマートウィンドウを製造した。
比較例1
接着増進層を形成しなかった以外は、実施例1と同様の方法でフレキシブルスマートウィンドウを製造した。
比較例2
SiOの代わりにSiNを40nmの厚さにそれぞれ形成して第1接着増進層を形成した以外は、実施例1と同様の方法でフレキシブルスマートウィンドウを製造した。
実験例
1)接着力の評価
前述の実施例及び比較例によるフレキシブルスマートウィンドウを恒温恒湿室(60℃、相対湿度80%)内で24時間放置した。その後、前記フレキシブルスマートウィンドウ全体を平面方向で100個の領域に均等に分割し、剥離または浮きが発生する領域の数(x)を数えてx/100で表した。
2)第1伝導層および第2伝導層形成後の膜浮きの評価
前述の実施例及び比較例により第1伝導層および第2伝導層形成工程まで行った後、キャリア基材におけるポリイミドフィルムの膜浮きの有無を目視で観察し、以下のように評価した。
Ο:浮きなしに均一なコーティング状態を維持
Χ:浮きの発生により後続工程不可
3)ITO無機膜の損傷度の評価
前述の実施例及び比較例により第1伝導層及び第2伝導層形成工程まで行った後、ITO無機膜の損傷/クラックの程度を目視で観察し、以下のように評価した。
Ο:損傷/クラックが観察されない
△:損傷/クラックが局所的に観察される
Χ:損傷/クラックが部分または全体として観察されて製品化不可
前記接着増進層の材料、接着増進層の厚さ、接着力の評価、LLO工程の適用可否および損傷度の評価結果を下記表1に示す。
表1を参照すると、金属酸化物または半金属酸化物を含む接着増進層を適用した実施例では、比較例に比べて高温工程(例えば、LLO工程)でのポリイミドフィルムの剥離および損傷が抑制された。これにより、耐熱性および工程効率が向上したフレキシブルスマートウィンドウが実現された。
実施例6では、他の実施例に比べて接着増進層の厚さが相対的に薄く、高温工程でポリイミドフィルムが部分的に損傷した。
実施例8では、他の実施例に比べて接着増進層の厚さが相対的に厚く、フレキシブルスマートウィンドウの透過度が低下し、高温工程で接着増進層およびポリイミドフィルムが部分的に損傷した。
比較例2では、高耐熱性を有する無機酸化物を使用せずに窒化物を用いており、実施例に比べて接着力が非常に低下し、ポリイミドフィルムの損傷度が増加した。
図8~図10は、実施例及び比較例により形成されたポリイミドフィルムの膜浮きの評価結果を示す画像である。
図8は、実施例1のポリイミドフィルムの膜浮きの評価結果を示す画像であり、図9及び図10は、比較例1及び2のポリイミドフィルムの膜浮きの評価結果を示す画像である。
図8~図10を参照すると、実施例1のポリイミドフィルムは、高温工程後も膜浮きなしに安定してキャリア基材上に貼り付けられているが、比較例1及び2のポリイミドフィルムは、浮き及び損傷が発生した。

Claims (20)

  1. 変色層を含むエレクトロクロミック構造体と、
    前記エレクトロクロミック構造体の上に配置された第1ポリイミドフィルムと、
    前記エレクトロクロミック構造体の下に配置された第2ポリイミドフィルムと、
    前記第1ポリイミドフィルム上に配置され、金属酸化物、半金属酸化物および有機シラン化合物からなる群より選択される少なくとも1つを含む第1接着増進層とを含む、フレキシブルスマートウィンドウ。
  2. 前記金属酸化物は、AlおよびTiからなる群より選択される少なくとも1つの酸化物を含み、前記半金属酸化物はSiの酸化物を含む、請求項1に記載のフレキシブルスマートウィンドウ。
  3. 前記エレクトロクロミック構造体と前記第1ポリイミドフィルムとの間に配置され、前記金属酸化物または前記半金属酸化物を含む第2接着増進層をさらに含む、請求項1に記載のフレキシブルスマートウィンドウ。
  4. 前記第2ポリイミドフィルムの下に配置され、前記金属酸化物、前記半金属酸化物および前記有機シラン化合物からなる群より選択される少なくとも1つを含む第3接着増進層をさらに含む、請求項1に記載のフレキシブルスマートウィンドウ。
  5. 前記エレクトロクロミック構造体と前記第2ポリイミドフィルムとの間に配置され、前記金属酸化物または前記半金属酸化物を含む第4接着増進層をさらに含む、請求項4に記載のフレキシブルスマートウィンドウ。
  6. 前記第1接着増進層の厚さは30nm~70nmである、請求項1に記載のフレキシブルスマートウィンドウ。
  7. 前記エレクトロクロミック構造体は、前記第2ポリイミドフィルムの上に順次配置される第2伝導層、イオン貯蔵層、電解質層、前記変色層および第1伝導層を含む、請求項1に記載のフレキシブルスマートウィンドウ。
  8. 前記第1伝導層および前記第2伝導層は、それぞれITO(Indium Tin Oxide)、In(Indium Oxide)、IGO(Indium Galium Oxide)、FTO(Fluor doped Tin Oxide)、AZO(Aluminium doped Zinc Oxide)、GZO(Galium doped Zinc Oxide)、ATO(Antimony doped Tin Oxide)、IZO(Indium doped Zinc Oxide)、NTO(Niobium doped Titanium Oxide)、ZnO(Zink Oxide)またはCTO(Cesium Tungsten Oxide)からなる群より選択される少なくとも1つの導電性酸化物を含む、請求項7に記載のフレキシブルスマートウィンドウ。
  9. 前記イオン貯蔵層は、Ni、CoおよびMnの少なくとも1つの酸化物または水酸化物を含む、請求項7に記載のフレキシブルスマートウィンドウ。
  10. 前記電解質層は、H、Li、Na、K、RbおよびCsからなる群より選択される少なくとも1つの金属塩を含む、請求項7に記載のフレキシブルスマートウィンドウ。
  11. 前記変色層は、
    Ti、Nb、Mo、Ta、W、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、RhおよびIrからなる群より選択される少なくとも1つの酸化物;Cr、Mn、Fe、Co、Ni、RhおよびIrからなる群より選択される少なくとも1つの水酸化物;および、プルシアンブルーからなる群より選択される少なくとも1つを含む、請求項7に記載のフレキシブルスマートウィンドウ。
  12. 前記第1ポリイミドフィルムおよび前記第2ポリイミドフィルムのそれぞれのガラス転移温度は450℃以上である、請求項1に記載のフレキシブルスマートウィンドウ。
  13. 前記第1接着増進層上に配置された第1保護フィルムをさらに含み、前記第1接着増進層は、前記第1ポリイミドフィルムと前記第1保護フィルムとの間に配置される、請求項1に記載のフレキシブルスマートウィンドウ。
  14. 第1キャリア基材上に第1犠牲層、第1接着増進層、第1ポリイミドフィルム、第1伝導層および変色層を順次形成して第1多層構造体を製造するステップと、
    第2キャリア基材上に第2犠牲層、第2ポリイミドフィルム、第2伝導層およびイオン貯蔵層を順次形成して第2多層構造体を製造するステップと、
    前記第1多層構造体と前記第2多層構造体との間に電解質層を形成し、前記変色層と前記イオン貯蔵層が互いに向かい合うように結合するステップと、
    前記第1キャリア基材および前記第2キャリア基材を分離するステップとを含む、フレキシブルスマートウィンドウの製造方法。
  15. 前記第1キャリア基材および前記第2キャリア基材を分離するステップは、
    前記第1キャリア基材を介して前記第1犠牲層にレーザ光を照射した後、前記第1キャリア基材を分離し、
    前記第2キャリア基材を介して前記第2犠牲層にレーザ光を照射した後、前記第2キャリア基材を分離することを含む、請求項14に記載のフレキシブルスマートウィンドウの製造方法。
  16. 前記第1キャリア基材上に前記第1犠牲層を形成するステップ、および前記第2キャリア基材上に前記第2犠牲層を形成するステップは、
    前記第1キャリア基材および前記第2キャリア基材上に、それぞれ窒化ケイ素(SiNx)および非晶質シリコンを蒸着するステップ、または
    前記第1キャリア基材および前記第2キャリア基材上に、それぞれ窒化ガリウム(GaN)を蒸着するステップを含む、請求項14に記載のフレキシブルスマートウィンドウの製造方法。
  17. 前記第1多層構造体を形成するステップは、前記第1接着増進層上にポリアミック酸組成物を塗布し、450℃~500℃で熱処理して前記第1ポリイミドフィルムを形成することを含み、
    前記第2多層構造体を形成するステップは、前記第2犠牲層上にポリアミック酸組成物を塗布し、450℃~500℃で熱処理して前記第2ポリイミドフィルムを形成することを含む、請求項14に記載のフレキシブルスマートウィンドウの製造方法。
  18. 前記第1多層構造体を形成するステップは、前記第1ポリイミドフィルムと前記第1伝導層との間に第2接着増進層を形成するステップをさらに含む、請求項14に記載のフレキシブルスマートウィンドウの製造方法。
  19. 前記第2多層構造体を形成するステップは、前記第2犠牲層と前記第2ポリイミドフィルムとの間に第3接着増進層を形成するステップをさらに含む、請求項14に記載のフレキシブルスマートウィンドウの製造方法。
  20. 前記第2多層構造体を形成するステップは、前記第2ポリイミドフィルムと前記第2伝導層との間に第4接着増進層を形成するステップをさらに含む、請求項19に記載のフレキシブルスマートウィンドウの製造方法。
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