JP2023553488A - 静電チャック用螺旋状多相電極 - Google Patents

Abstract

静電チャックは、複数の電極を含み、電極の各々は、多相の静電チャックを実現するために静電チャックの表面の中心を取り囲む螺旋形状を有する。各電極は、異なる位相の電力に接続することができる。螺旋形状はそれぞれ、互いに回避することができ、ならびに静電チャックの表面の孔または開口部を回避することもできる。螺旋形状は、プロセッサを使用してアルゴリズム的に決定することができる。これらの静電チャックは、３つ以上の電極を含むことができる。静電チャックの製造方法は、各電極の形状を決定することと、各電極を設けることとを含む。【選択図】図１

Description

本開示は、静電チャックに使用するための電極を対象とし、詳細には多相の静電チャックを実現するための複数の電極の螺旋パターンを対象とする。

半導体プロセスにおいてウエハを保持するために、静電チャックを使用することができる。静電チャックは、ＡＣ電圧を使用してチャックを動作させるときに、交流（ＡＣ）電圧の異なる位相を使用して、周期的に発生する力の喪失を管理するのに役立てることができる。２つの位相は、分離領域またはくし形設計により実現することができる。３つ以上の位相は、分離領域で実現することができる。各位相に分離領域を使用することで、異なる領域によって加えられる力が使用される交流によって経時的に変化するため、ウエハの不均衡を引き起こす可能性がある。これは、ピンなどのウエハ用の他の支持体があり、静電チャックの力によりそのピンに対してウエハが保持される場合、静電チャックの異なる領域によって印加される力に基づいて支持体の周りにウエハが傾くことがあるため、特に顕著となり得る。

本開示は、静電チャックに使用するための電極を対象とし、詳細には多相の静電チャックを実現するための複数の電極の螺旋パターンを対象とする。

交互嵌合螺旋パターンにより、チャックを位相ごとに分離領域に分割する必要なく、複数の電極の各々が静電チャックの中心を取り囲むことが可能になる。これにより、チャックに固定されたウエハをより安定して保持することが可能になり、電力の変化および交流の性質による特定の位相の損失に起因する位置の変動が抑制される。さらに位置の変動が抑制されることにより、距離が一定のままであることが確保され、静電チャック上の任意の点での静電容量測定、例えばウエハがクランプされているかどうかの判定、または静電チャックの他の制御ために使用される静電容量測定、を正確かつ安定して行うことが可能となる。

一実施形態では、静電チャックは、表面に螺旋パターンで形成された複数の電極を含む。複数の電極の各々は互いに噛み合っており、複数の電極の各々は表面の中心を取り囲んでいる。

一実施形態では、表面はセラミック表面である。一実施形態では、螺旋パターンは、表面に形成された１つまたは複数の孔を回避するように構成されている。一実施形態では、表面の形状はほぼ円形である。

一実施形態では、複数の電極の各々は、異なる位相の電力を供給するように構成された異なる回路に接続されている。一実施形態では、複数の電極の各々は、表面の周囲に始点を有する。一実施形態では、複数の電極は少なくとも３つの電極を含む。一実施形態では、複数の電極は少なくとも６つの電極を含む。

一実施形態では、ウエハをクランプする方法は、静電チャック上にウエハを配置することと、複数の電極の各々に電力を供給することとを含む。

一実施形態では、静電チャックを製造する方法は、各電極が始点から終了点まで延在し表面の中心を取り囲むように、互いに噛み合った複数の電極を表面上に設けることができるパターンを決定することと、パターンに従って表面上に複数の電極を設けることとを含む。

一実施形態では、パターンを決定することは、表面の寸法および当該表面に設けられた任意の開口部に基づいてパターンを決定するアルゴリズムを使用することを含む。

一実施形態では、表面はセラミック表面である。一実施形態では、パターンは表面に形成された１つまたは複数の開口部を回避するように構成されている。

一実施形態では、表面上に複数の電極を設けることは、フォトリソグラフィーを使用して電極の各々を画定することを含む。一実施形態では、表面上に複数の電極を設けることは、箔焼結することを含む。一実施形態では、表面上に複数の電極を設けることは、導電性インクで各電極を印刷することを含む。

一実施形態では、方法は、複数の電極の各々を異なる回路に接続することをさらに含み、当該回路の各々は、その他の当該回路とは異なる位相を有する電力を供給するように構成されている。

一実施形態では、複数の電極は少なくとも３つの電極を含む。一実施形態では、複数の電極は少なくとも６つの電極を含む。

一実施形態による静電チャックの平面図を示す。 一実施形態による静電チャックの斜視図を示す。 一実施形態による静電チャックを製造する方法のフローチャートを示す。

本開示は、静電チャックに使用するための電極を対象とし、詳細には多相の静電チャックを実現するための複数の電極の螺旋パターンを対象とする。

図１は、一実施形態による静電チャックの平面図を示す。図１の静電チャック１００の平面図では、開口部１０４および電極１０６ａ～ｆと共に表面１０２を見ることができる。

表面１０２は、ウエハに面する、および／またはウエハと接触するように構成された静電チャック１００の表面である。表面１０２は、例えば誘電材料などの任意の適切な材料を含むことができる。表面１０２上または表面として使用するのに適した誘電材料の非限定的な例には、ポリマー材料、ガラス材料、および／またはセラミック材料が含まれる。誘電材料は、バルク材料または表面１０２をコーティングする薄膜でもよい。表面１０２は、例えば、平面視で略円形、正方形、または長方形などの静電チャックに適した任意の形状を有することができる。一実施形態では、表面１０２の周囲は、図１に示すように表面１０２のほぼ円形の周りに示される凹部などの静電チャックの全体的な形状からはずれる、凹部、突出部、または任意の他の特徴を含むことができる。

開口部１０４は、表面１０２に形成された開口部である。開口部１０４は、例えば、ガス冷却のための流路、静電容量センサまたは他の適切なセンサなどのセンサを収容する場所としてよい。

電極１０６ａ～ｆは、それぞれが螺旋形状を有する表面１０２上に設けられた複数の電極であり、その螺旋形状は、電極１０６ａ～ｆが互いに噛み合うように配置されている。一実施形態では、図１に示す６つの電極１０６ａ～ｆとは異なる数の電極があってもよい。一実施形態では、２つ以上の電極１０６が存在する。別の実施形態では、３つ以上の電極１０６が存在する。電極１０６ａ～ｆはそれぞれ、各電極が表面１０２の中心を取り囲むような螺旋形状を有することができる。電極１０６ａ～ｆは、各電極が互いに噛み合うようなパターンで配置される。電極１０６ａ～ｆは、電極１０６ａ～ｆの各々が互いに接触または交差しないように配置される。一実施形態では、電極１０６ａ～ｆの各々は螺旋形状を有し、各電極のそれぞれの螺旋形状は、そのそれぞれの始点および終点が表面１０２の周りに分布している。一実施形態では、電極１０６ａ～ｆのそれぞれの始点は、表面１０２の中心の周りに均等に放射状に分布することができ、例えば、電極１０６が３つある場合は互いに１２０度離れており、または図１に示すように、６つの電極１０６ａ～ｆがある場合は互いに６０度離れている。電極１０６ａ～ｆのパターンは、アルゴリズム的に決定することができる。一実施形態では、電極のパターンは、電極１０６ａ～ｆの各々をその開始点から終了点まで途切れないままにし、電極１０６ａ～ｆの各々を互いに分離したままにしながら、電極１０６ａ～ｆが開口部１０４に接触または交差しないように開口部１０４を回避するように構成されている。

図２は、一実施形態による静電チャックの分解断面図を示す。静電チャック２００は、基部２０２および表面２０４を含む。任意に、表面２０４に１つ以上の開口部２０６を設けることができる。複数の電極２０８ａ～ｆが設けられている。各電極２０８ａ～ｆは、接続ピン２１０ａ～ｆによって対応する電源２１２ａ～ｆに接続されてもよい。静電チャック２００を使用してウエハ２１４を保持することができる。一実施形態では、電極２０８ａ～ｆとウエハ２１２との間に第２の表面２１６を設けることができる。

静電チャック２００は、ウエハ２１４などのウエハを、静電チャック２００にウエハをクランプする静電気力を供給することによって保持する。静電チャック２００は、半導体ウエハまたは絶縁ウエハなどの任意の適切なタイプのウエハに使用することができる。

基部２０２は、表面２０４を支持する静電チャック２００の本体でもよい。実施形態では、基部２０２は、チャック２００および任意のクランプされたウエハ２１４を冷却するための水および／またはガス冷却システムを任意に含むことができる。ガス冷却システムは、例えば、基部２０２の表面に向かい、またその中に形成されたチャネル２１８を含むことができる。水冷システムは、例えば、基部２００内に形成された流路２２０を含むことができる。実施形態では、図２に概略的に示す配線２１０ａ～ｆおよび／または電源２１２ａ～ｆを、基部２０２内に配置することができる。

表面２０４は、ウエハ２１４に面する、および／またはウエハと接触するように構成された静電チャック２００の表面である。表面２０４は、例えば誘電材料などの任意の適切な材料を含むことができる。表面２０４上にまたは表面として使用するのに適した誘電材料の非限定的な例には、ポリマー材料、ガラス材料、および／またはセラミック材料が含まれる。誘電材料は、表面２０４の一部または全部を構成するバルク誘電材料、または表面２０４を覆う薄膜でもよい。

開口部２０６は、表面２０４に形成された開口部である。開口部２０６は、例えば、ガス冷却のための流路、任意の適切なセンサまたは静電容量センサの接地ピンなどのセンサの一部を収容する場所、リフトピンなどのアクチュエータを収容する場所、または静電チャック内の任意の他の適切な機能として使用することができる。開口部２０６の一部またはすべては、異なるサイズを有することができる。開口部２０６の各々のサイズおよび位置は、その特定の開口部の目的に適したものでよい。

電極２０８ａ～ｆはそれぞれ静電チャック２００の別々の電極である。電極２０８ａ～ｆは、例えば、表面２０４の一方または両方上、および表面２０４に面する第２の表面２１６の１つの側に設けることができる。一実施形態では、図１に示す６つの電極２０８ａ～ｆとは異なる数の電極があってもよい。一実施形態では、２つ以上の電極２０８が存在する。一実施形態では、３つ以上の電極２０８が存在する。電極２０８ａ～ｆはそれぞれ、各電極が表面２０４の中心を取り囲むような螺旋形状を有することができる。電極２０８ａ～ｆは、各電極が互いに噛み合うようなパターンで配置される。電極２０８ａ～ｆは、電極２０８ａ～ｆの各々が互いに接触または交差しないように配置される。一実施形態では、電極２０８ａ～ｆの各々はほぼ螺旋形状を有し、各電極のそれぞれの螺旋形状は、始点および終点が表面２０４の周りに分布している。一実施形態では、電極２０８ａ～ｆのそれぞれの始点は、表面２０４の中心の周りに均等に放射状に分布することができ、例えば、電極２０８が３つある場合は互いに１２０度離れており、または図２に示すように、６つの電極２０８ａ～ｆがある場合は互いに６０度離れている。電極２０８ａ～ｆのパターンは、アルゴリズム的に決定することができる。一実施形態では、電極のパターンは、電極２０８ａ～ｆの各々をその開始点から終了点まで途切れないままにし、電極２０８ａ～ｆの各々を互いに分離したままにしながら、電極２０８ａ～ｆが開口部２０６に接触または交差しないように開口部２０６を回避するように構成されている。電極２０８ａ～ｆは、それぞれの開口部２０６の周りを湾曲することによって開口部２０６を回避することができ、他の電極２０８ａ～ｆは、電極がそうした開口部２０６を回避するために逸れた場所で他の電極との接触を回避するために同様の湾曲を含むことができる。

接続ピン２１０ａ～ｆにより、それぞれの電極２０８ａ～ｆの各々を対応する電源２１２ａ～ｆに接続することができる。電源２１２ａ～ｆはそれぞれ、電極２０８ａ～ｆの中からそれぞれの接続された電極に電力を供給する。異なる数の電極２０８を有する実施形態では、その実施形態の電極の各々に対して接続ピン２１０および電源２１２が存在してもよい。電源２１２ａ～ｆの各々は、それぞれの電極２０８ａ～ｆに異なる位相を有する交流（ＡＣ）電力を供給するか、または異なる極性の直流（ＤＣ）電力を供給することができ、その結果電極２０８ａ～ｆの各々における電力の変動に起因する力の喪失は、互いに時間的に分離される。一実施形態では、電源２１２ａ～ｆの各々は、異なる位相を有するＡＣ電力を供給する。一実施形態では、電源２１２ａ～ｆのうちの１つまたは複数は、各極性のＤＣ電力を供給する。したがって、電源２１２ａ～ｆを使用して特定の位相または極性を有する電力をそれぞれの電極２０８ａ～ｆに供給することにより、クランプする力を経時的に維持することができる。

ウエハ２１４は、静電チャック２００に保持可能なウエハである。一実施形態では、ウエハ２１４は半導体ウエハである。一実施形態では、ウエハ２１４は絶縁ウエハである。絶縁ウエハの非限定的な例は、ガラスウエハである。本明細書に記載の交互嵌合電極構造は、ガラスウエハを適切にクランプするために必要とされてよい。さらに、本明細書に記載の交互嵌合電極の螺旋状パターンを使用して、ウエハ２１４をより均一に保持することができる。一実施形態では、ウエハ２１４は、表面２０４の形状にほぼ合う形状を有し、例えば、ウエハ２１４と表面２０４とはそれぞれほぼ円形の形状である。実施形態では、ウエハ２１４と表面２０４とはそれぞれ、ほぼ長方形の形状、ほぼ正方形の形状などを有してもよい。電極２０８ａ～ｆが電力を受け取っているとき、ウエハ２１４を、電力供給された電極２０８ａ～ｆによって供給される力により静電チャック２００にクランプすることができる。一実施形態では、ウエハ２１４が静電チャック２００にクランプされると、ウエハ２１４は、静電チャック２００上またはその近くに設けられた１つまたは複数の突出部（図示せず）と接触する。一実施形態では、ウエハ２１４に接触する突出部は、表面２０４から延びる２つ以上のピンを含む。一実施形態では、ウエハ２１４の存在は、開口部２０６のうちの１つまたは複数に含まれるような静電容量センサにより、または静電容量センサとして機能する電極２０８ａ～ｆ自体のうちの少なくともいくつかにより検出することができる。

実施形態では、第２の表面２１６は、電極２０８ａ～ｆの上に設けることができる。第２の表面２１６は、電極２０８ａ～ｆによって露出されたままの表面２０４の部分をさらに覆うことができる。第２の表面２１６は、例えば、１つまたは複数の誘電材料でもよい。表面２０４上にまたは表面として使用するのに適した誘電材料の非限定的な例には、ポリマー材料、ガラス材料、および／またはセラミック材料が含まれる。誘電材料は、表面２０４の一部または全部を構成するバルク誘電材料、または表面２０４を覆う薄膜でもよい。

一実施形態では、ウエハ２１４を静電チャック２００にクランプすることは、電源２１２ａ～ｆを起動させてそれぞれの電極２０８ａ～ｆにそれぞれの電力を供給することによって実行することができる。こうして、電極２０８ａ～ｆの各々は、そのそれぞれの電源２１２ａ～ｆによって電力供給されると静電気力を供給することができ、それによってウエハ２１４を静電チャック２００にクランプする。例えば、電源２１２ａ～ｆの少なくともいくつかを互いに位相をずれさせることによって、電極２０８ａ～ｆの少なくとも１つが常に非ゼロの電力量を受け取っていることを確保にすることにより、電極２０８ａ～ｆがクランプする力を連続的に供給するように、異なる電力の位相を選択することができる。例えば、電源２１２ａ～ｆからそれぞれの電極２０８ａ～ｆへの電力の供給を絶つことにより、静電チャック２００からウエハ２１４をクランプ解除することができる。クランプおよびクランプ解除は、電源２１２ａ～ｆの制御、またはそれぞれの電極２０８ａ～ｆへの電力の供給を通じて、要求に応じて実行することができる。

図３は、一実施形態による静電チャックを製造する方法のフローチャートを示す。方法３００は、３０２で複数の交互嵌合電極を設けるためのパターンを決定することと、３０４で電極を設けることとを含む。

３０２において、複数の交互嵌合電極を設けるためのパターンが決定される。パターンは、複数の電極の各々が始点から終点まで延び、各電極が表面の中心を囲むパターンとすることができる。パターンは、複数の電極のいずれも互いに接触または交差しないようなパターンである。パターンは、複数の電極に含まれる各電極に対して螺旋状にしてよい。パターンは、円形、正方形、または長方形などの静電チャックの表面の形状に基づくことができる。実施形態では、パターンは、複数の電極が設けられる表面の開口部を回避するように構成された１つまたは複数の電極を含むことができる。複数の電極は、ウエハを保持するための多相の静電チャック用の任意の適切な数の電極を含むことができる。一実施形態では、複数の電極は少なくとも３つの電極を含む。一実施形態では、複数の電極は偶数個の電極を含む。一実施形態では、複数の電極は６つの電極を含む。

一実施形態では、３０２で決定されたパターンの各電極は、静電チャックの表面の周囲またはその近くで始点と、始点と比較した場合に静電チャックの表面の中心により近い終点とを含むことができる。パターン内の各電極のそれぞれの始点および／または終点は、静電チャックの表面の中心に対して互いに放射状に間隔が開けられてもよい。一実施形態では、各電極の始点および／または終点は、静電チャックの表面の中心の周りに放射状に均等に分布することができ、例えば、３つの電極がある場合は互いに１２０度にオフセットされ、４つの電極がある場合は互いに９０度にオフセットされ、６つの電極がある場合は互いに６０度にオフセットされるなどである。

一実施形態では、パターンは、設けられる電極の数、電極が設けられる表面のサイズおよび形状、電極によって回避される表面の開口部などの入力に基づいて、プロセッサを使用して３０２でアルゴリズム的に決定することができる。

電極は、３０４で表面に設けられる。表面は、誘電材料などの静電チャックに適した任意の表面でよい。誘電材料としては、セラミック、ガラス、ポリマーなどが挙げられるが、これらに限定されない。表面は、円形、正方形、または長方形などの、静電チャックに適した任意の形状を有することができる。電極は、３０２で決定されたパターンに従って３０４で表面上に設けられる。電極を形成するための任意の適切な手段によって、電極を表面に設けることができる。３０４で電極を設けるための方法の非限定的な例には、フォトリソグラフィー法、箔焼結法、または導電性インク印刷が含まれる。フォトリソグラフィー法には、非限定的な例として、導電層を表面に堆積させ、フォトリソグラフィーを使用して電極を画定すること、導電層をフォトレジスト上に堆積させ、フォトレジストと共に除去するリフトオフ法が含まれてもよい。箔焼結法には、例えば、セラミック表面の間に成形されたバルク導電性箔を挟んで電極を形成することが含まれてもよい。電極は、静電チャックが動作しているときに形成された電極の各々が電源によって電力供給され得るように、電源に接続されるように構成されたコンタクトをそれぞれ有するようにさらに形成されてもよい。導電性インクを使用する印刷には、例えば、３０２で決定されたパターンに従って３０４で金属インクを使用して電極を設けるシルクスクリーン印刷が含まれてもよい。

態様：

態様１～９のいずれかを態様１０～１８のいずれかと組み合わせることができることが理解される。

態様１．表面に螺旋パターンで形成された複数の電極を備え、複数の電極の各々が互いに噛み合っており、複数の電極の各々が表面の中心を取り囲む、静電チャック。

態様２．表面がセラミック表面である、態様１に記載の静電チャック。

態様３．螺旋パターンが、表面に形成された１つまたは複数の孔を回避するように構成されている、態様１～２のいずれかに記載の静電チャック。

態様４．表面の形状がほぼ円形である、態様１～３のいずれかに記載の静電チャック。

態様５．複数の電極の各々が、異なる位相の電力を供給するように構成された異なる回路に接続されている、態様１～４のいずれかに記載の静電チャック。

態様６．複数の電極の各々が、表面の周囲に始点を有する、態様１～５のいずれかに記載の静電チャック。

態様７．複数の電極が、少なくとも３つの電極を含む、態様１～６のいずれかに記載の静電チャック。

態様８．複数の電極が、少なくとも６つの電極を含む、態様１～７のいずれかに記載の静電チャック。

態様９．ウエハをクランプする方法であって、態様１～８のいずれかに記載の静電チャック上にウエハを配置することと、
複数の電極の各々に電力を供給することとを含む方法。

態様１０．静電チャックを製造する方法であって、
各電極が始点から終了点まで延在し表面の中心を取り囲むように、互いに噛み合った複数の電極を表面上に設けることができるパターンを決定することと、
パターンに従って表面上に複数の電極を設けることとを含む方法。

態様１１：パターンを決定することが、表面の寸法および当該表面に設けられた任意の開口部に基づいてパターンを決定するアルゴリズムを使用することを含む、態様１０に記載の方法。

態様１２．表面がセラミック表面である、態様１０～１１のいずれかに記載の方法。

態様１３．パターンが、表面に形成された１つまたは複数の開口部を回避するように構成されている、態様１０～１３のいずれかに記載の方法。

態様１４：表面上に複数の電極を設けることが、フォトリソグラフィーを使用して電極の各々を画定することを含む、態様１０～１４のいずれかに記載の方法。

態様１５：表面上に複数の電極を設けることが箔焼結することを含む、態様１０～１４のいずれかに記載の方法。

態様１６：表面上に複数の電極を設けることが、導電性インクで各電極を印刷することを含む、態様１０～１４のいずれかに記載の方法。

態様１７：複数の電極の各々を異なる回路に接続することをさらに含み、当該回路の各々が、その他の当該回路とは異なる位相を有する電力を供給するように構成されている、態様１０～１６のいずれかに記載の方法。

態様１８：複数の電極が少なくとも３つの電極を含む、態様１０～１７のいずれかに記載の方法。

態様１９：複数の電極が少なくとも６つの電極を含む、態様１０～１８のいずれかに記載の方法。

本出願で開示される実施例は、すべての点で例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。本発明の範囲は、前述の説明ではなく添付の特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と同等の意味および範囲内にあるすべての変更は、特許請求の範囲に包含されるものとする。

Claims (19)

1. 表面に螺旋パターンで形成された複数の電極を備え、前記複数の電極の各々が互いに噛み合っており、前記複数の電極の各々が前記表面の中心を取り囲む、静電チャック。
2. 前記表面がセラミック表面である、請求項１に記載の静電チャック。
3. 前記螺旋パターンが、前記表面に形成された１つまたは複数の孔を回避するように構成されている、請求項１または２に記載の静電チャック。
4. 前記表面の形状がほぼ円形である、請求項１から３のいずれか一項に記載の静電チャック。
5. 前記複数の電極の各々が、異なる位相の電力を供給するように構成された異なる回路に接続されている、請求項１から４のいずれか一項に記載の静電チャック。
6. 前記複数の電極の各々が、前記表面の周囲に始点を有する、請求項１から５のいずれか一項に記載の静電チャック。
7. 前記複数の電極が、少なくとも３つの電極を含む、請求項１から６のいずれか一項に記載の静電チャック。
8. 前記複数の電極が、少なくとも６つの電極を含む、請求項１から７のいずれか一項に記載の静電チャック。
9. 請求項１から８のいずれか一項に記載の静電チャックにウエハをクランプする方法であって、
   前記静電チャック上に前記ウエハを配置することと、
   前記複数の電極の各々に電力を供給することと
   を含む方法。
10. 静電チャックを製造する方法であって、
    各電極が始点から終了点まで延在し表面の中心を取り囲むように、互いに噛み合った複数の電極を前記表面上に設けることができるパターンを決定することと、
    前記パターンに従って前記表面上に前記複数の電極を設けることと
    を含む方法。
11. 前記パターンを決定することが、前記表面の寸法および前記表面に設けられた任意の開口部に基づいて前記パターンを決定するアルゴリズムを使用することを含む、請求項１０に記載の方法。
12. 前記表面がセラミック表面である、請求項１０または１１に記載の方法。
13. 前記パターンが、前記表面に形成された１つまたは複数の開口部を回避するように構成されている、請求項１０から１２のいずれか一項に記載の方法。
14. 前記表面上に前記複数の電極を設けることが、フォトリソグラフィーを使用して前記電極の各々を画定することを含む、請求項１０から１３のいずれか一項に記載の方法。
15. 前記表面上に前記複数の電極を設けることが箔焼結することを含む、請求項１０から１３のいずれか一項に記載の方法。
16. 前記表面上に前記複数の電極を設けることが、導電性インクで各電極を印刷することを含む、請求項１０から１３のいずれか一項に記載の方法。
17. 前記複数の電極の各々を異なる回路に接続することをさらに含み、前記回路の各々が、その他の前記回路とは異なる位相を有する電力を供給するように構成されている、請求項１０から１６のいずれか一項に記載の方法。
18. 前記複数の電極が少なくとも３つの電極を含む、請求項１０から１７のいずれか一項に記載の方法。
19. 前記複数の電極が少なくとも６つの電極を含む、請求項１０から１７のいずれか一項に記載の方法。

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