JP2023551329A - スロットルバルブのドリフトを抑えるアクティブ冷却式フォアライントラップ - Google Patents
スロットルバルブのドリフトを抑えるアクティブ冷却式フォアライントラップ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023551329A JP2023551329A JP2023532818A JP2023532818A JP2023551329A JP 2023551329 A JP2023551329 A JP 2023551329A JP 2023532818 A JP2023532818 A JP 2023532818A JP 2023532818 A JP2023532818 A JP 2023532818A JP 2023551329 A JP2023551329 A JP 2023551329A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- foreline
- insert
- removable insert
- trap
- processing system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 117
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 42
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 52
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 36
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 32
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 30
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 claims description 13
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 12
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 7
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 47
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 30
- 230000008569 process Effects 0.000 description 27
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 10
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 9
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 8
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 7
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 6
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 6
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 3
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 3
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013529 heat transfer fluid Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4411—Cooling of the reaction chamber walls
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/4412—Details relating to the exhausts, e.g. pumps, filters, scrubbers, particle traps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67109—Apparatus for thermal treatment mainly by convection
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/505—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
- H01J37/32816—Pressure
- H01J37/32834—Exhausting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
- H01J37/32816—Pressure
- H01J37/32834—Exhausting
- H01J37/32844—Treating effluent gases
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/6719—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the processing chambers, e.g. modular processing chambers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
Abstract
例示的な半導体処理システムは、処理領域を画定する処理チャンバを含む。半導体処理システムは、処理チャンバに連結されたフォアラインを含むことができる。フォアラインは流体導管を画定することができる。半導体処理システムは、フォアラインの遠位端に連結されたフォアライントラップを含むことができる。半導体処理システムは、フォアライントラップの内部内に設けられた取り外し可能なインサートを含むことができる。半導体処理システムは、取り外し可能なインサートの下流でフォアライントラップに連結されたスロットルバルブを含むことができる。【選択図】図3
Description
関連出願との相互参照
[0001]本出願は、2020年12月01日に出願された「ACTIVELY COOLED FORELINE TRAP TO REDUCE THROTTLE VALVE DRIFT」と題する米国特許出願第17/108,583号の利益及び優先権を主張し、その全体を本明細書に参照により援用するものとする。
[0001]本出願は、2020年12月01日に出願された「ACTIVELY COOLED FORELINE TRAP TO REDUCE THROTTLE VALVE DRIFT」と題する米国特許出願第17/108,583号の利益及び優先権を主張し、その全体を本明細書に参照により援用するものとする。
技術分野
[0002]本技術は、半導体製造用の部品及び装置に関する。より詳細には、本技術は、処理チャンバ部品及びその他の半導体処理装置に関する。
[0002]本技術は、半導体製造用の部品及び装置に関する。より詳細には、本技術は、処理チャンバ部品及びその他の半導体処理装置に関する。
背景
[0003]集積回路は、基板表面上に複雑なパターンの材料層を生成する処理によって可能になる。基板上にパターン化された材料を製造するには、材料を形成及び除去するための制御された方法が必要である。前駆体は多くの場合、処理領域に供給され、基板上に材料を均一に堆積又はエッチングするために分配される。処理チャンバの多くの態様は、チャンバ内の処理条件の均一性、構成要素を通過する流れの均一性、その他の処理及び構成要素のパラメータなどの、処理の均一性に影響を与える可能性がある。基板全体にわたる小さな不一致であっても、形成又は除去処理に影響を与える可能性がある。
[0003]集積回路は、基板表面上に複雑なパターンの材料層を生成する処理によって可能になる。基板上にパターン化された材料を製造するには、材料を形成及び除去するための制御された方法が必要である。前駆体は多くの場合、処理領域に供給され、基板上に材料を均一に堆積又はエッチングするために分配される。処理チャンバの多くの態様は、チャンバ内の処理条件の均一性、構成要素を通過する流れの均一性、その他の処理及び構成要素のパラメータなどの、処理の均一性に影響を与える可能性がある。基板全体にわたる小さな不一致であっても、形成又は除去処理に影響を与える可能性がある。
[0004]したがって、高品質のデバイス及び構造を製造するために使用できる、改良されたシステム及び方法が必要とされている。このようなニーズ並びにその他のニーズは、現在の技術によって解決される。
[0005]例示的な半導体処理システムは、処理領域を画定する処理チャンバを含む。半導体処理システムは、処理チャンバに連結されたフォアラインを含むことができる。フォアラインは流体導管を画定することができる。半導体処理システムは、フォアラインの遠位端に連結されたフォアライントラップを含むことができる。半導体処理システムは、フォアライントラップの内部内に設けられた取り外し可能なインサートを含むことができる。半導体処理システムは、取り外し可能なインサートの下流でフォアライントラップに連結されたスロットルバルブを含むことができる。
[0006]いくつかの実施形態では、半導体処理システムは、冷却流体源を含むことができる。半導体処理システムは、冷却流体源を取り外し可能なインサートに連結する流体ラインを含むことができる。取り外し可能なインサートは、開放された内部を画定する1つ又は複数の側壁によって特徴づけることができる。1つ又は複数の側壁のうちの少なくとも1つの側壁は、少なくとも1つの側壁の厚さを通って延びる複数の開孔を画定することができる。複数の開孔の各々は、約3mmと25mmとの間の直径を有することができる。複数の開孔の各々は、円形の形状を有することができる。複数の開孔の各々は同じ直径を有することができる。取り外し可能なインサートは、1つ又は複数の側壁に連結された中実の基部を含むことができる。1つ又は複数の側壁の各々は、約0.5インチ以下の厚さ有することができる。半導体処理システムは、処理チャンバに連結された追加のフォアラインを含むことができる。フォアライントラップは、フォアラインと流体的に連結された第1の入口を含むことができる。フォアライントラップは、追加のフォアラインと流体的に連結された第2の入口を含むことができる。フォアライントラップは、スロットルバルブと流体的に連結された出口を含むことができる。取り外し可能なインサートは、第1の入口及び第2の入口の下流で、出口の上流に配置されることができる。半導体処理システムは、取り外し可能なインサートをフォアライントラップに取り外し可能に連結するカラーを含むことができる。
[0007]本技術のいくつかの実施形態は、半導体処理システムを包含し得る。システムは、処理領域を画定する処理チャンバを含むことができる。システムは、処理チャンバに連結されたフォアラインであることができる。フォアラインは流体導管を画定することができる。システムは、流体導管の内部内に設けられた取り外し可能なインサートを含むことができる。システムは冷却流体源を含むことができる。システムは、冷却流体源を取り外し可能なインサートに連結する流体ラインを含むことができる。システムは、取り外し可能なインサートの下流でフォアラインに連結されたスロットルバルブを含むことができる。
[0008]いくつかの実施形態では、フォアラインは、スロットルバルブに連結されたフォアライントラップを含むことができる。取り外し可能なインサートは、フォアライントラップ内に配置することができる。フォアライントラップは、第1のフランジを含むことができる。取り外し可能なインサートは、第2のフランジを含むことができる。システムは、第1のフランジと第2のフランジを一緒に固定する取り外し可能なカラーを含むことができる。取り外し可能なインサートは、十字型の断面を有するインサート本体を含むことができる。取外し可能なインサートは、開放された内部を画定する1つ又複数の側壁に連結されている中実の基部を含むことができる。システムは、流体ラインと中実の基部を連結する冷却ブロックを含むことができる。冷却ブロックは、中実の基部と取り外し可能に連結させることができる。1つ又は複数の側壁のうちの少なくとも1つの側壁は、少なくとも1つの側壁の厚さを通って延びる複数の開孔を画定することができる。
[0009]本技術のいくつかの実施形態は、半導体処理の方法を包含し得る。本方法は、前駆体を処理チャンバに流すことを含むことができる。本方法は、処理チャンバの処理領域内に前駆体のプラズマを発生させることを含むことができる。本方法は、処理領域内に配置された基板上に材料を堆積させることを含むことができる。本方法は、少なくとも1つのフォアライン、フォアライントラップ、及びスロットルバルブを介して処理チャンバから前駆体を排出させることを含むことができる。取り外し可能なインサートは、フォアライントラップ内に配置することができる。
[0010]いくつかの実施形態において、本方法は、前駆体が通気される際に取り外し可能なインサートを積極的に冷却することを含むことができる。取外し可能なインサートを積極的に冷却することは、取外し可能なインサートに連結された冷却ブロックを通して冷却流体を循環させることを含むことができる。
[0011]このような技術は、従来のシステム及び技術に比べて多くの利点を提供する可能性がある。例えば、本技術の実施形態は、ガスがスロットルバルブに到達する前に処理ガスから残留物を収集するために、フォアライントラップ内の能動的に冷却されるインサートを利用することができる。さらに、構成要素は、任意の数のチャンバ又は処理に対応するような変更を可能にすることできる。これら及び他の実施形態は、それらの利点及び特徴の多くと共に、以下の説明及び添付の図と併せてより詳細に説明される。
[0012]開示された技術の性質及び利点は、明細書の残りの部分及び図面を参照することによってさらに理解できるであろう。
[0020]いくつかの図は概略図として含まれている。図面は例示を目的としており、特に縮尺が示されていない限り、縮尺は考慮されるべきではないことを理解されたい。さらに、概略図として、図は理解を助けるために提供されており、現実的な表現と比較してすべての態様又は情報を含むとは限らず、説明のために誇張された資料を含む場合がある。
[0021]添付の図では、同様の構成要素及び/又は特徴部には同じ参照ラベルが付いている場合がある。さらに、同じ種類の様々な構成要素は、参照ラベルの後に類似の構成要素間を区別する文字を付けることによって区別することができる。本明細書で第1の参照符号のみが使用される場合、説明は、文字に関係なく、同じ第1の参照符号を有する類似の構成要素の任意の1つに適用可能である。
[0022]プラズマ強化堆積プロセスは、基板上での膜形成を容易にするために、1つ又は複数の構成前駆体にエネルギーを与えることができる。導電性及び誘電性フィルム、並びに材料の移送及び除去を容易にするフィルムを含む、半導体構造を開発するための、任意の数の材料フィルムを製造することができる。例えば、ハードマスク膜は、基板のパターニングを容易にすると同時に、下にある材料を保護して維持するために形成することができる。多くの処理チャンバでは、いくつかの前駆体がガスパネル内で混合され、基板が配置され得るチャンバの処理領域に供給され得る。蓋スタックの構成要素は処理チャンバへの流れの分布に影響を与える可能性があるが、他の多くの処理変数も同様に堆積の均一性に影響を与える可能性がある。
[0023]前駆体及び/又は他の処理ガスは、多くの場合、多数のフォアラインを通ってチャンバから排出される。通気されたガスの圧力と流体コンダクタンスは、フォアラインに連結された1つ又は複数のスロットルバルブによって制御される。前駆体がフォアラインとスロットルバルブを通過すると、前駆体からのラジカルがフォアラインとスロットルバルブの内部に衝突し、残留物をフォアラインとスロットルバルブ上に堆積させる。これらの残留物がスロットルバルブ内に蓄積すると、残留物によってスロットルバルブの流路の断面積が減少し、スロットルバルブを通る流れのコンダクタンスが効果的に変化し、スロットルバルブのドリフトが発生する。例えば、時間の経過と共に残留物が蓄積すると、流路の断面積が減少するため、所望のコンダクタンスを維持するためにスロットルバルブをより大きく開く(ドリフトさせる)必要がある。このスロットルドリフトは、スロットルバルブの各角度に関連する流路の断面積を変化させ、時間の経過と共に、スロットルバルブを通って流れる気体のコンダクタンスの低下と圧力の変化を考慮するために、スロットルバルブをより大きな角度まで開く必要がある。角度が大きくなると、正確なコンダクタンスと液圧を供給するためのスロットルバルブの制御がより困難になる。
[0024]従来、スロットルバルブのドリフトの影響に対抗するためには、残留物を除去してスロットルバルブの表面を清浄にするNF3などの高温パージガスで、フォアラインとスロットルバルブを洗浄する必要があった。しかし、これらの高温パージガスは、チャンバ構成要素に有害な場合がある。したがって、従来のシステムでは、スロットルバルブのドリフトを逆転させたい、あるいは減らすという所望と、チャンバ構成部品がこのような高温のパージガスに曝されるのを最小限に抑えたいという所望とのバランスを注意深くとらなければならない。
[0025]本技術は、スロットルバルブの上流で残留物を回収する、取り外し可能なインサートを受けるフォアライントラップを利用することにより、これらの課題を克服する。インサートをフォアライントラップから取り外して洗浄や交換を行うことができ、フォアラインやスロットルバルブを洗浄したり交換したりする必要はない。実施形態では、インサートを積極的に冷却してもよく、これによりインサートが前駆体から残渣を回収する能力をさらに高めることができる。したがって、本技術は、スロットルバルブのドリフトの発生を低減し、高温のスロットルバルブのパージの必要性を低減(又は排除)することができる。
[0026]残りの開示は、開示された技術を利用する特定の堆積処理をルーティン的に特定するが、システム及び方法は、他の堆積及び洗浄チャンバ、並びに記載されたチャンバで起こり得る処理に等しく適用可能であることは容易に理解されるであろう。したがって、この技術は、これらの特定の堆積処理又はチャンバのみでの使用に限定されるものと考えるべきではない。本開示は、本技術の実施形態によるこのシステムへの追加の変形及び調整が説明される前に、本技術の実施形態による蓋スタック部品を含み得る1つの可能なシステム及びチャンバについて論じる。
[0027]図1は、実施形態による堆積、エッチング、焼成、及び硬化チャンバの処理システム100の一実施形態の平面図を示す。図では、一対の前部開口統合ポッド102は、ロボットアーム104によって受け取られ、基板処理チャンバ108a~fの1つに置かれ、タンデムセクション109a~cに位置決めされる前に低圧の保持領域106に置かれる様々なサイズの基板を供給する。第2のロボットアーム110を使用して、保持領域106から基板処理チャンバ108a~fへ基板ウエハを搬送し、戻すことができる。各基板処理チャンバ108a~fは、プラズマ強化化学気相堆積、原子層堆積、物理的気相堆積、エッチング、前洗浄、脱ガス、配向、及びアニーリング、アッシングなどを含むその他の基板処理に加えて、多数の基板処理操作を実行するよう装備することができる。
[0028]基板処理チャンバ108a~fは、基板上の誘電体又は他の膜を堆積、アニーリング、硬化及び/又はエッチングするための1つ又は複数のシステム構成要素を含むことができる。一構成では、2対の処理チャンバ、例えば、108c~d及び108e~fは、基板上に誘電体材料を堆積させるために使用することができ、第3の対の処理チャンバ、例えば、108a~bは、堆積した誘電体をエッチングするために使用することができる。別の構成では、3対のチャンバ、例えば108a~fはすべて、基板上に交互に誘電体膜のスタックを堆積させるように構成することができる。記載された処理の任意の1つ又は複数は、異なる実施形態に示される製造システムから分離されたチャンバ内で実行され得る。誘電体膜の堆積、エッチング、アニーリング、及び硬化チャンバの追加の構成がシステム100によって企図されることが理解されるであろう。
[0029]図2は、本技術のいくつかの実施形態による例示的なプラズマシステム200の概略断面図を示す。プラズマシステム200は、上述のタンデムセクション109の1つ又は複数に適合することができ、本技術の実施形態による面板又は他の部品又はアセンブリを含むことができる一対の処理チャンバ108を示すことができる。プラズマシステム200は、概して、側壁212、底壁216、及び一対の処理領域220A及び220Bを画定する内部側壁201を有するチャンバ本体202を含むことができる。処理領域220A~220Bのそれぞれは、同様に構成することができ、同一の構成要素を含むことができる。
[0030]例えば、処理領域220Bは、その構成要素が処理領域220Aに含まれてもよく、プラズマシステム200の底壁216に形成された通路222を通って処理領域に配置されたペデスタル228を含んでもよい。ペデスタル228は、本体部分などのペデスタルの露出表面上で基板229を支持するように適合されたヒータを提供することができる。ペデスタル228は、所望の処理温度で基板温度を加熱及び制御することができる、例えば抵抗加熱要素などの加熱要素232を含むことができる。ペデスタル228は、ランプアセンブリなどの遠隔加熱要素、又は任意の他の加熱装置によって加熱することもできる。
[0031]ペデスタル228の本体は、フランジ233によってステム226に結合することができる。ステム226は、ペデスタル228を電力アウトレット又は電力ボックス203と電気的に結合することができる。電力ボックス203は、処理領域220B内のペデスタル228の上昇及び移動を制御する駆動システムを含むことができる。ステム226はまた、ペデスタル228に電力を供給するための電力インターフェースを含むことができる。電力ボックス203は、熱電対インターフェースなどの電力及び温度インジケータのためのインターフェースを含むこともできる。ステム226は、電源ボックス203と取り外し可能に連結するように適合された基部アセンブリ238を含み得る。電力ボックス203の上に円周リング235が示されている。いくつかの実施形態では、円周リング235は、基部アセンブリ238と電力ボックス203の上面との間の機械的インターフェースを提供するように構成された機械的ストップ又はランドとして適合されたショルダーであってもよい。
[0032]ロッド230は、処理領域220Bの底壁216に形成された通路224を通って含まれてもよく、ペデスタル228の本体を通って配置された基板リフトピン261を位置決めするのに利用することもできる。基板リフトピン261は、基板移送ポート260を通じて処理領域220Bに基板229を移送するために利用されるロボットとの基板229の交換を容易にするために、ペデスタルから基板229を選択的に離間させることができる。
[0033]チャンバ蓋204は、チャンバ本体202の頂部に連結され得る。蓋204は、それに連結された1つ又は複数の前駆体分配システム208を収容することができる。前駆体分配システム208は、ガス供給アセンブリ218を通って処理領域220B内に反応物及び洗浄前駆体を送達することができる前駆体入口通路240を含むことができる。ガス供給アセンブリ218は、面板246の中間に配置されたブロッカプレート244を有するガスボックス248を含むことができる。無線周波数(「RF」)源265は、ガス供給アセンブリ218に連結させることができ、これは、ガス供給アセンブリ218に電力を供給して、ガス供給アセンブリ218の面板246とペデスタル228との間にプラズマ領域の生成を促進することができ、これはチャンバの処理領域であってもよい。いくつかの実施形態では、RF源は、プラズマの生成を促進するために、ペデスタル228などのチャンバ本体202の他の部分に連結されてもよい。蓋204へのRF電力の伝導を防ぐために、誘電体アイソレータ258を蓋204とガス供給アセンブリ218との間に配置することができる。シャドーリング206は、ペデスタル228と係合するペデスタル228の周囲に配置することができる。
[0034]操作中にガスボックス248を冷却するために、ガス分配システム208のガスボックス248内に任意選択の冷却チャネル247を形成することができる。ガスボックス248を所定の温度に維持できるように、水、エチレングリコール、ガスなどの熱伝達流体を冷却チャネル247を通して循環させることができる。ライナーアセンブリ227は、処理領域220B内の処理環境への側壁201、212の露出を防止するために、チャンバ本体202の側壁201、212に近接して処理領域220B内に配置することができる。ライナーアセンブリ227は、処理領域220Bからガス及び副生成物を排出し、処理領域220B内の圧力を制御するように構成されたポンピングシステム264に連結され得る円周ポンピングキャビティ225を含み得る。複数の排気ポート231をライナーアセンブリ227上に形成することができる。排気ポート231は、システム200内での処理を促進する方法で、処理領域220Bから円周ポンピングキャビティ225へのガスの流れを可能にするように構成することができる。
[0035]図3は、本技術のいくつかの実施形態による、例示的な処理システム300の概略部分断面図を示している。図3は、システム200内の構成要素に関するさらなる詳細を示すことができる。システム300は、いくつかの実施形態で前述したシステム200の任意のフィーチャ又は態様を含むと理解される。システム300は、前述のようなハードマスク材料の堆積、並びに他の堆積、除去、及び洗浄操作を含む半導体処理操作を実行するために使用することができる。システム300は、議論されている、半導体処理システムに組み込まれ得るチャンバ構成要素の部分図を示すことができ、面板の中心を横切る図を示すことができ、面板は、他の場合には任意のサイズであり、任意の数の開孔を含むことができる。当業者には容易に理解されるように、システム300の任意の態様は、他の処理チャンバ又はシステムと組み込むこともできる。
[0036]システム300は、面板305を含む処理チャンバを含むことができ、面板305を通して前駆体を処理のために供給することができ、チャンバの処理領域内にプラズマを生成するための電源に連結することができる。チャンバはまた、チャンバ本体310を含んでもよく、図示のように、側壁及び基部を含んでもよい。ペデスタル又は基板支持体315は、前述したようにチャンバの基部を貫通して延在することができる。基板支持体315は、半導体基板を支持することができる支持プレート320を含むことができる。支持プレート320は、チャンバの基部を貫通して延在するシャフト325に連結することができる。
[0037]面板305は、チャンバ本体310によって直接的又は間接的に支持され得る。ほんの一例として、面板305は、ポンピングライナー330及び/又はアイソレータ若しくは他のライナー335の上に支持することができる。例えば、ポンプライナー330は、チャンバ本体310の頂部によって形成された棚上に据え置かれ、追加のライナー335及び/又は面板305がポンピングライナー330の上に据え置くことができる。ポンピングライナー330は、処理領域から処理チャンバに連結された1つ又は複数のフォアライン350へのガスの流れを可能にする1つ又は複数の排気ポート340を画定することができる。例えば、各排気ポート340は、チャンバ本体310の側壁及び/又は基部内に形成される1つ又は複数の排気ルーメン345の頂部端と流体的に連結することができる。排気ルーメン345の底部は、フォアライン350のそれぞれに連結することができる。各フォアライン350は、処理ガスを処理チャンバから流し、スロットルバルブ355を通して処理ガスを導くための流体導管を画定することができ、これにより、フォアライン350を通る流体コンダクタンスを制御することができる。フォアライン350は、フォアライントラップ360に連結させることができ、フォアライントラップ360は、各フォアライン350の遠位端とスロットルバルブ355の近位端との間で連結させることができる。フォアライントラップ360は、フォアライン350のそれぞれに連結される入口365を含むことができる。例えば、図示の実施形態では、フォアライントラップ360は、2つのフォアライン350のそれぞれにそれぞれ連結された2つの入口365を含む。フォアライントラップ355はまた、スロットルバルブと流体的に連結された出口370を含むことができる。フォアライントラップ360はまた、入口365と出口370との間に配置されるトラップ部375を含んでもよく、入口365はトラップ部375の上流にあり、出口370はトラップ部375の下流にある。ほんの一例として、入口365は互いに同軸であってもよく、トラップ部分375は、T字接合が形成されるようにほぼ直交する角度で入口365に連結される。出口370は、概して直交する角度などの角度でトラップ部375から分岐してもよい。
[0038]図3Aに最もよく示されているように、取り外し可能なインサート380をフォアライントラップ360の内部内に設けることができる。例えば、インサート380は、トラップ部375内に配置され得る。インサート380は、ガスがスロットルバルブ355に到達する前にフォアライン350を通って流れる処理ガスからのラジカルによって引き起こされる残留物及び/又は他の堆積物の収集点として機能することができる。例えば、インサート380は、処理ガスがスロットルバルブ355に到達する前に残留物が堆積する可能性がある大きな表面積を提供することができる。インサート380は、スロットルバルブ355へのガスの流れを促進しながら、フォアライントラップ375内に適合する任意のサイズ及び/又は形状であってよい。例えば、図示されているように、インサート380は、開放された内部を画定する1つ又は複数の側壁を有する管状要素である。管状要素は、円形、楕円形、矩形、三角形などを含む任意の断面形状を有してよい。管状要素の1つ又は複数の側壁は、それぞれの側壁の厚さを通って延びる多数の開孔384を画定することができる。開孔384は、フォアライントラップ360、インサート380、及びスロットルバルブ355を通る十分な流体流の導電性を維持することができ、これによってスロットルバルブ355がフォアライン350を通る流れを十分な精度で調整することもできる。開孔384のサイズ、数、及び/又は配置は、適切な流体のコンダクタンスを維持するために十分に大きくなるように選択され、一方で、処理ガスからの残留物の収集点として機能するのに十分な表面積をインサート380に残すことができる。例えば、開孔384は、約3mmと約25mmの間、約6mmと20mmの間、約9mmと18mmの間、約12mmと15mmの間、約12mmと15mmの間の直径、又は、残留物トラップとして機能するのに十分な表面積を提供しながら、十分なコンダクタンスを提供する他の範囲の直径を有することができる。
[0039]円形の開孔を有するように図示されているが、長方形、三角形、星形、楕円及び/又は他の閉じた形状のような他の開孔形状が可能であることは理解されるであろう。いくつかの実施形態では、各開孔384の断面積は、約500mm2以下、約450mm2以下、約400mm2以下、約350mm2以下、約300mm2以下、約250mm2以下、約200mm2以下、約150mm2以下、約100mm2以下、約50mm2以下、約25mm2以下、又はそれを下回ってよい。さらに、開孔384は、均一又は不均一な方法でインサートの表面に配置することができる。例えば、開孔384は、インサート380の表面の全部又は一部にわたって、行及び/又は列のような繰り返しパターンで配置することもできるが、他の実施形態では、1つ又は複数の開孔384の不規則な配置を利用することができる。図示されているように、開孔384は多数の列に配置され、隣接する列の開孔384は互いにオフセットされている。例えば、隣接する列の開孔384の中心は、インサート380の長手方向軸に沿って互いに整列していない。いくつかの実施形態では、開孔384の列の一部又は全部は、長手方向軸に沿って整列させることができる。いくつかの実施形態では、側壁の1つ又は複数(又はその一部)には開孔384がなくてもよい。例えば、出口376から最も遠いインサート380の1つ又は複数の表面には開孔384がなく、残留物がその上に捕捉される、より大きい表面積を提供することができる一方、出口376に最も近い表面は、フォアライン350、フォアライントラップ360、及びスロットルバルブ355を通る十分なコンダクタンスを維持するのに役立つ開孔を含むことができる。
[0040]いくつかの実施形態では、インサート380は、概して中実の基部386を含むことができる。例えば、図示されているように、中実の基部386は側壁の下に設けられている。基部386は、全体が中実であってもよく、及び/又は、インサート380をフォアライントラップ360内に固定するための強固な基礎を提供するものであってもよい。例えば、基部386及び/又はフォアライントラップ360は、インサート380をフォアライントラップ360内の所定位置に取り外し可能に固定することを可能にする1つ又は複数の連結機構を含むことができる。ほんの一例として、トラップ部375は、トラップ部375の下端部などにフランジ377を含むことができる。いくつかの実施形態では、インサート380は、インサート380の一部として形成され、及び/又はインサート380に連結され得るKFフランジなどのフランジ382を含み得る。図示されているように、フランジ382は、インサート380の基部386に取り外し可能に固定され得る別個の構成要素である。例えば、フランジ382は、フランジ382をインサート380の基部386に連結するために基部386の対応するコネクタと係合することができるねじ付きコネクタ又は他の固定要素を含むことができる。これにより、インサート380をフランジ382から切り離して洗浄、修理、交換することができる一方、フランジ382を再利用することができる。インサート380をトラップ部375内に固定するために、2つのフランジ377、382を互いに連結することができる。例えば、インサート380をトラップ部375内に固定するために、フランジ377、382を受け入れて互いに固定するカラー395を設けることができる。いくつかの実施形態では、Oリング、ガスケット、または他の密封要素397をカラー395内に設けて、フォアライントラップ360のフランジ377とインサート380のフランジ382との間の界面を密封するのを助けることができる。密封要素397は、処理ガスがカラー395から漏れるのを防ぐのに役立つ。カラー395は、カラー395がフランジ377、382から解放されることを可能にするクランプカラーであってもよく、これにより、洗浄又は交換のためにインサート380に容易にアクセスし、トラップから取り外すことができる。例えば、カラー395は、ねじ付き締結機構及び/又はクイックディスコネクト機構などの締め付け機構を含んでもよい。
[0041]いくつかの実施形態では、処理ガスから残留物を収集するインサート380の能力をさらに強化するために、インサート380を能動的に冷却することができる。例えば、インサート380は、冷却源に連結された冷却ブロック385に連結することができる。いくつかの実施形態では、インサート380の基部及び/又はフランジ382の底部は、カラー395を越えて突出し、冷却ブロック385に連結する突起394を含んでもよい。突起394は、ファスナ又は他の連結機構を使用するなどして、冷却ブロック385と取り外し可能に連結させることができる。冷却ブロック385は、1つ又は複数の流体ライン392を介して冷却ブロック385に循環流体を供給し得る処理冷水源などの冷却流体源390に連結することができる。このようにして、冷却ブロック385は、フォアライントラップ360及びそこを流れるガスに対してインサート380の温度を低下させることができる熱伝達経路を確立することができる。例えば、フォアライン350、フォアライントラップ360、及び/又はスロットルバルブ355を通って流れる処理ガスは、しばしば140℃以上を超えることがある。冷却流体は、水、エチレングリコール、及び/又は他の冷却剤であることができ、約100℃以下、約90℃以下、約80℃以下、約70℃以下、約60℃以下、約60℃以下、約50℃以下、約40℃以下、約30℃以下、約25℃以下、約20℃以下、約15℃以下、約10℃以下、約5℃以下、約0℃以下、又はそれを下回る温度で提供することができる。このような冷却液の温度により、インサート380の温度は、結果として、約80℃以下、約70℃以下、約60℃以下、約50℃以下、約40℃以下、約30℃以下、約25℃以下、約20℃以下、約15℃以下、約10℃以下、約5℃以下、約0℃以下、又はそれを下回る温度となり得る。これらの温度は、処理ガス、フォアライン350、フォアライントラップ360、及び/又はスロットルバルブ355の温度よりも著しく低いため、インサート380上の残留物の収集を促進するのに役立つ。インサート380は、アルミニウムなどの熱伝導性材料から形成することができ、インサート380が冷却ブロックによってより効果的に冷却され、残留物の堆積をさらに促進することができる。インサート380は不均一な方法で冷却され得ることが理解されるであろう。例えば、基部386により近いインサート380の部分は、インサート380の上方部分よりも大幅に冷却することができる。さらに、開孔384のサイズおよび分布は、インサート380の冷却特性に影響を与える可能性がある。
[0042]インサート380の温度が低いと、処理ガスからの残留物が、フォアライントラップ360のより暖かい壁上及び/又はスロットルバルブ355内ではなく、インサート380上に蓄積する可能性がある。スロットルバルブ355内の残留物の堆積を減少させることにより、スロットルバルブのドリフト量を減少させることができる。これは、スロットルバルブ355の性能の向上につながり、フォアライン350及びスロットルバルブ355を通る流体のコンダクタンスを一貫して制御することが容易になる可能性がある。さらに、スロットルバルブ355内の堆積物の残留物が減少すると、スロットルバルブ355の高温パージガス洗浄の頻度が減少する可能性があり、ヒータなどのチャンバ構成要素をそのようなパージガスの流れから保護するのに役立つ。
[0043]インサート380は、十分な流体のコンダクタンスを維持するだけでなく、より良好な冷却を促進するように設計されてもよく、これにより、ガスがスロットルバルブ355に到達する前に処理ガスから残留物を捕捉または収集するインサート380の能力が強化される。例えば、インサート380の側壁及び/又は本体の厚さ及び/又は断面積が大きすぎる場合、フォアライントラップ360の開いた内部の多くが埋まりすぎることになり、その結果、フォアライントラップ360及びスロットルバルブ355のコンダクタンスが減少し、フォアライントラップ360及びスロットルバルブ355内の圧力が所望の動作条件から変化する。側壁の厚さは、約0.50インチ以下、約0.40インチ以下、約0.35インチ以下、約0.35インチ、約0.30インチ以下、約0.25インチ以下、約0.20インチ以下、約0.15インチ以下、約0.10インチ以下、約0.05インチ以下であるか、又はそれを下回ることができる。いくつかの実施形態では、インサート380の側壁の厚さは、インサート380の長さに沿って変化してもよい。例えば、側壁の厚さは、基部386の近くでより厚く、基部386と反対の方向に線形又は非線形で減少することができる。インサート380の断面積は、約1.6平方インチ以下、約1.5平方インチ以下、約1.4平方インチ以下、約1.3平方インチ以下、約1.2平方インチ以下、約1.1平方インチ以下、約1.0平方インチ以下、約0.9平方インチ以下、約0.8平方インチ以下、約0.7平方インチ以下、約0.6平方インチ以下、約0.5平方インチ以下、約0.45平方インチ以下、約0.40平方インチ以下、約0.35平方インチ以下、約0.30平方インチ以下であるか、又は約0.25平方インチ以下であるか、又はそれを下回ることができる。いくつかの実施形態では、インサート380の断面積は、インサート380の長さに沿って変化し得る。例えば、断面積は、基部386の近くで大きくすることができ、基部386とは反対の方向に線形又は非線形で減少させることができる。
[0044]図4は、本技術のいくつかの実施形態による例示的なインサート400の概略等角図を示す。インサート400は、前述した任意のチャンバ又はシステム、並びにインサートから利益を得ることができる任意の他のチャンバ又はシステムに含めることができる。例えば、インサート400は、図3及び3Aに関連して上述したフォアライントラップ360のトラップ部分375内に配置することができる。インサート400は、インサート380と同様であってもよく、インサート380に関して説明した特徴のいずれかを含んでもよい。例えば、インサート400は中実の基部405を含むことができる。基部405は、インサート400を冷却ブロック(冷却ブロック385など)および/またはフランジ(フランジ382など)に結合できるようにする結合機構を含むことができ、これは、インサート400をフォアライントラップ360などのフォアライントラップ内に固定するために使用することができる。例えば、基部405は、フランジ及び/又は冷却ブロックのねじ付き雄型コネクタを受け入れることができるねじ付きレセプタクル410を画定することができる。いくつかの実施形態では、ねじ付きレセプタクルを画定するのではなく、基部405は、フランジ及び/又は冷却ブロックの対応する雌型コネクタと係合可能な雄型ねじ付きコネクタを含むことができる。さらに、いくつかの実施形態では、インサート400をフランジ及び/又は冷却ブロックに固定するために非ねじ連結機構を使用できることが理解されるであろう。いくつかの実施形態では、基部405は、フランジを含むように形成され、フランジの基部が、インサート400を冷却ブロックに結合するための連結機構を含むようにしてもよい。円形の側壁415が基部405から延び、開放された内部420を画定している。側壁415はさらに、多数の開孔425を画定することができる。図示されているように、開孔425は多数の行と列に配列され、各行の開孔425はインサート400の長手方向軸に沿って隣接する行の開孔425と整列されている。上述のように、開孔425のサイズ、配列、及び/又は数は、処理ガスからの残留物の収集点として機能する十分な表面積をインサート400に残しつつ、適切な流体のコンダクタンスを維持するように選択することができる。
[0045]図5は、本技術のいくつかの実施形態による例示的なインサート500の概略等角図を示す。インサート500は、前述した任意のチャンバ又はシステム、並びにインサートから利益を得ることができる任意の他のチャンバ又はシステムに含めることができる。例えば、インサート500は、図3及び3Aに関連して上述したフォアライントラップ360のトラップ部分375内に配置することができる。インサート500は、フォアライントラップを通過する処理ガスからの残留物の収集点として機能する本体505を含むことができる。図示のように、インサート500の本体505は、残留物を収集するための大きな表面積を提供する多数の翼510を含む十字形の断面を有する。各翼510は、フォアライントラップ及びスロットルバルブを通る十分なコンダクタンスを可能にするように選択される厚さを有することができる。例えば、各翼510は、約0.50インチ以下、約0.40インチ以下、約0.30インチ以下、又は約0.30インチ以下、約0.25インチ以下、約0.20インチ以下、約0.15インチ以下、約0.10インチ以下、約0.05インチ以下であるか、又はそれを下回る厚さを有することができる。いくつかの実施形態では、インサート500の翼510の厚さは、インサート500の長さに沿って変化させることができる。例えば、翼510の厚さは、インサート500の底部付近でより大きく、インサート500の頂部に向かって直線的又は非直線的に減少させることができる。十字型の断面で示されているが、インサートは他の断面形状を有していてもよいことが理解されよう。
[0046]インサート500はまた、フォアライントラップ内の所望の位置でインサート500を支持する基部又はステム515を含んでもよい。例えば、ステム515は、フォアライントラップの上部及び/又はフランジ(フランジ382など)の頂部に位置し、且つ/若しくはその基部に連結され得る。例えば、ステム515の遠位端は、フランジのねじ付きレセプタクル内に挿入できるようにねじ切りすることができる。フランジは、図3及び図3Aに関連して説明したのと同様の方法でフォアライントラップに連結することができる。例えば、フォアライントラップのフランジ及びインサート500のフランジは、カラー及び/又は他の固定機構を介して互いに固定することができる。単一のシャフトとして図示されているが、基部又はステム515は任意の形状を有することができる。例えば、インサート500は、翼510の幅の全部又は一部に沿って半径方向外側に延びる基部を含むことができる。いくつかの実施形態では、インサート500の基部は、図4に関連して上述した基部405と同様の構造を有し得る。
[0047]いくつかの実施形態では、インサート500の本体505は、多数の開孔を画定することができる。例えば、翼510の一部又はすべては、インサート500の流体のコンダクタンスを増加させることができる1つ又は複数の開孔を画定することができる。いくつかの実施形態では、開孔のそれぞれは、単一の翼510を通って延びることができるが、他の実施形態では、1つ又は複数の開孔は、複数の翼510の一部を通って延びることができる。
[0048]図6は、本技術のいくつかの実施形態による半導体処理の例示的な方法600の操作を示す。本方法は、上述の処理システム200及び/又は300を含む、フォアライントラップ360及び/又はインサート380、400、及び/又は500など、本技術の実施形態によるフォアライントラップ及び/又はインサートを含み得る、様々な処理チャンバ内で実行することができる。方法600は、本技術による方法のいくつかの実施形態に特に関連付けられる場合も関連付けられない場合もある、多数の任意選択の操作を含むことができる。
[0049]方法600は、ハードマスク膜を形成するための操作又は他の堆積操作を含み得る処理方法を含み得る。本方法は、方法600の開始前に任意選択の操作を含んでもよく、又は追加の操作を含んでもよい。例えば、方法600は、図示されたものとは異なる順序で実行される操作を含むことができる。いくつかの実施形態では、方法600は、操作605において、1つ又は複数の前駆体又は他の処理ガスを処理チャンバに流入させることを含むことができる。例えば、前駆体は、システム200又は300に含まれるようなチャンバに流入させることができ、前駆体をチャンバの処理領域に供給する前に、ガスボックス、ブロッカプレート、又は面板のうちの1つ又は複数を通して前駆体を流すことができる。
[0050]操作610では、面板にRF電力を供給してプラズマを生成することなどにより、処理領域内で前駆体からプラズマを生成することができる。プラズマ内で形成された材料は、操作615で基板上に堆積され得る。操作620では、前駆体を処理チャンバから排出させることができる。例えば、前駆体を少なくとも1つのフォアライン、フォアライントラップ、及びスロットルバルブを通して流し、前駆体を処理チャンバから除去することができる。フォアライントラップは、スロットルバルブ内での残留物の堆積を防止又は低減することができる、前駆体他の処理ガスからの残留物の収集点として機能するインサート380、400、又は500などのインサートを含むことができる。これは、スロットルバルブを通る適切なコンダクタンスを維持し、スロットルバルブのドリフト量を減らすのに役立ち、その結果、洗浄操作の頻度を減らすことができる。
[0051]いくつかの実施形態では、インサート上の残留物の収集をさらに促進するために、前駆体又は他の処理ガスが排出されるときにインサートを積極的に冷却することができる。例えば、水又はエチレングリコールなどの冷却流体は、インサートに連結された冷却ブロックを通して循環又はそれ以外の方法で流すことができる。冷却液はインサートの温度を下げ、残留物の収集を促進する。
[0052]インサートは、洗浄やメンテナンスの目的などでフォアライントラップから取り外すことができる。例えば、いき値量の残留物がインサート上に収集された場合、インサートを取り外して洗浄し、及び/又は汚れたインサートよりも残留物をよりよく収集できるきれいなインサートと交換することができる。いくつかの実施形態では、インサートを取り外すために、フォアライントラップのフランジとインサートを一緒に結合するカラーを取り外すことができる。同様に、インサート及び/又はインサートのフランジを冷却ブロックから切り離して、インサートを自由にすることができる。新しいインサート及び/又はきれいなインサートを冷却ブロックに連結し、フォアライントラップ内に再挿入することができる。このようにして、チャンバ構成要素に損傷を与える可能性がある高温のパージガスを使用してフォアライン及び/又はスロットルバルブを洗浄する必要なしに、インサートを洗浄及び/又は交換することができる。
[0053]前述の説明では、本技術の様々な実施形態の理解を提供するために、説明の目的で多くの詳細を述べた。しかしながら、特定の実施形態は、これらの詳細の一部を省略して、又は追加の詳細を加えて実施できることは、当業者には明らかであろう。
[0054]いくつかの実施形態を開示したが、実施形態の精神から逸脱することなく、様々な修正、代替構造、及び等価物を使用できることは当業者には理解されよう。さらに、本発明の技術を不必要に不明瞭にすることを避けるために、多くの周知の処理及び要素については説明していない。したがって、上記の説明は、本技術の範囲を限定するものとして解釈されるべきではない。
[0055]値の範囲が提供される場合、文脈上明らかに別段の指示がない限り、その範囲の上限と下限との間の介在する各値も、下限の単位の最小部分まで具体的に開示されることが理解される。記載された値又は記載された範囲内の記載されていない介在値と、記載された範囲内の他の記載された値又は介在する値との間の任意の狭い範囲が包含される。それらの小さな範囲の上限と下限は、独立して範囲に含めたり除外したりすることができ、より小さい範囲に制限のいずれかが含まれない、どちらも含まれない、又は両方の制限が含まれる各範囲も、記載された範囲内で特に除外される制限の影響を受けて、技術内に包含される。記載された範囲に制限の一方又は両方が含まれる場合、含まれる制限のいずれか又は両方を除く範囲も含まれる。
[0056]本明細書及び添付の特許請求の範囲において使用される場合、単数形「a」、「an」及び「the」は、文脈上明らかにそうでないことが指示されない限り、複数形の参照を含む。したがって、例えば、「開孔」への言及は、複数のそのような開孔を含み、「プレート」への言及は、当業者に知られている1つ又は複数のプレート及びその等価物への言及などを含む。
[0057]また、「含む(comprise(s))」、「含んでいる(comprising)」、「含有する(contain(s))」、「含有している(containing)」、「含む(include(s))」、及び「含んでいる(including)」という用語は、本明細書及び特許請求の範囲で使用された場合、記載された特徴、整数、構成要素、又はステップの存在を特定することを意図しているが、一又は複数のその他の特徴、整数、構成要素、工程、動作、又はグループの存在又は追加を除外するものではない。
Claims (20)
- 処理領域を画定する処理チャンバと、
前記処理チャンバに連結されている、流体導管を画定するフォアラインと、
前記フォアラインの遠位端に連結されているフォアライントラップと、
前記フォアライントラップの内部内に設けられている取り外し可能なインサートと、
前記取り外し可能なインサートの下流で前記フォアライントラップに連結されているスロットルバルブと
を含む、半導体処理システム。 - 冷却流体源、及び
前記冷却流体源を、前記取り外し可能なインサートに連結する流体ライン
をさらに含む、請求項1に記載の半導体処理システム。 - 前記取り外し可能なインサートが、開放された内部を画定する1つ又は複数の側壁によって特徴付けられており、
前記1つ又は複数の側壁のうちの少なくとも1つの側壁が、前記少なくとも1つの側壁の厚さを通って延びる複数の開孔を画定する
請求項1に記載の半導体処理システム。 - 前記複数の開孔の各々が、約3mmと25mmの間の直径を有する、請求項3に記載の半導体処理システム。
- 前記複数の開孔の各々が円形である、請求項3に記載の半導体処理システム。
- 前記複数の開孔の各々が同じ直径を有する、請求項3に記載の半導体処理システム。
- 前記取り外し可能なインサートが、前記1つ又は複数の側壁に連結されている中実の基部を含む、請求項3に記載の半導体処理システム。
- 前記1つ又は複数の側壁の各々が約0.5インチ以下の厚さを有する、請求項3に記載の半導体処理システム。
- 前記処理チャンバに連結された追加のフォアラインであって、
前記フォアライントラップは、
前記フォアラインと流体的に連結されている第1の入口、
前記追加のフォアラインと流体的に連結されている第2の入口、及び
前記スロットルバルブと流体的に連結されている出口を含み、
前記取り外し可能なインサートは、前記第1の入口及び前記第2の入口の下流で、前記出口の上流に配置されている、請求項1に記載の半導体処理システム。 - 前記取り外し可能なインサートを前記フォアライントラップに取り外し可能に連結するカラーをさらに含む、請求項1に記載の半導体処理システム。
- 処理領域を画定する処理チャンバと、
前記処理チャンバに連結されている、流体導管を画定するフォアラインと、
前記流体導管の内部内に設けられている取り外し可能なインサートと、
冷却流体源と、
前記冷却流体源を前記取り外し可能なインサートに連結する流体ラインと、
前記取り外し可能なインサートの下流で前記フォアラインに連結されているスロットルバルブと
を含む、半導体処理システム。 - 前記フォアラインが、前記スロットルバルブに連結されているフォアライントラップを含み、
前記取り外し可能なインサートが、前記フォアライントラップ内に配置されている、請求項11に記載の半導体処理システム。 - 前記フォアライントラップが第1のフランジを含み、
前記取外し可能なインサートは第2のフランジを含み、
前記半導体処理システムは、前記第1のフランジと前記第2のフランジとを一緒に固定する取り外し可能なカラーをさらに含む、請求項12に記載の半導体処理システム。 - 前記取外し可能なインサートが、十字型の断面を有するインサート本体を含む、請求項11に記載の半導体処理システム。
- 前記取外し可能なインサートが、開放された内部を画定する1つ又複数の側壁に連結されている中実の基部を含む、請求項11に記載の半導体処理システム。
- 前記流体ラインを前記中実の基部に連結する冷却ブロックをさらに含む、請求項15に記載の半導体処理システム。
- 前記1つ又は複数の側壁のうちの少なくとも1つの側壁が、前記少なくとも1つの側壁の厚さを通って延びる複数の開孔を画定する
請求項14に記載の半導体処理システム。 - 前駆体を処理チャンバに流入させることと、
前記処理チャンバの処理領域内に前記前駆体のプラズマを発生させることと、
前記処理領域内に配置された基板上に材料を堆積させることと、
前記前駆体を、少なくとも1つのフォアライン、フォアライントラップ、及びスロットルバルブを介して前記処理チャンバから排出させることであって、取り外し可能なインサートが前記フォアライントラップ内に配置される、前記排出させることと
を含む、半導体基板を処理する方法。 - 前記前駆体が排出されるときに、前記取り外し可能なインサートを積極的に冷却することをさらに含む、請求項18に記載の半導体基板を処理する方法。
- 前記取外し可能なインサートを積極的に冷却することが、前記取外し可能なインサートに連結された冷却ブロックを通して冷却流体を循環させることを含む、請求項19に記載の半導体基板を処理する方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US17/108,583 | 2020-12-01 | ||
US17/108,583 US20220170151A1 (en) | 2020-12-01 | 2020-12-01 | Actively cooled foreline trap to reduce throttle valve drift |
PCT/US2021/060915 WO2022119755A1 (en) | 2020-12-01 | 2021-11-29 | Actively cooled foreline trap to reduce throttle valve drift |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023551329A true JP2023551329A (ja) | 2023-12-07 |
Family
ID=81752221
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023532818A Pending JP2023551329A (ja) | 2020-12-01 | 2021-11-29 | スロットルバルブのドリフトを抑えるアクティブ冷却式フォアライントラップ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220170151A1 (ja) |
JP (1) | JP2023551329A (ja) |
KR (1) | KR20230114281A (ja) |
CN (1) | CN116670323A (ja) |
TW (1) | TWI803080B (ja) |
WO (1) | WO2022119755A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20230390811A1 (en) * | 2022-06-06 | 2023-12-07 | Applied Materials, Inc. | Throttle valve and foreline cleaning using a microwave source |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0757297B2 (ja) * | 1987-04-22 | 1995-06-21 | 日本真空技術株式会社 | 真空排気系用微粒子トラツプ |
US5188672A (en) * | 1990-06-28 | 1993-02-23 | Applied Materials, Inc. | Reduction of particulate contaminants in chemical-vapor-deposition apparatus |
US6194628B1 (en) * | 1995-09-25 | 2001-02-27 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for cleaning a vacuum line in a CVD system |
US5827370A (en) * | 1997-01-13 | 1998-10-27 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for reducing build-up of material on inner surface of tube downstream from a reaction furnace |
US6015463A (en) * | 1997-02-14 | 2000-01-18 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and system for trapping contaminants formed during chemical vapor deposition processing of semiconductor wafers |
US5871813A (en) * | 1997-03-05 | 1999-02-16 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for controlling process chamber pressure |
US6759018B1 (en) * | 1997-05-16 | 2004-07-06 | Advanced Technology Materials, Inc. | Method for point-of-use treatment of effluent gas streams |
US5860805A (en) * | 1997-12-29 | 1999-01-19 | Lansense, Llc | Effluent-gas-scavenger system for process tube, minimizing back diffusion and atmospheric contamination |
US6368567B2 (en) * | 1998-10-07 | 2002-04-09 | Applied Materials, Inc. | Point-of-use exhaust by-product reactor |
US6206971B1 (en) * | 1999-03-29 | 2001-03-27 | Applied Materials, Inc. | Integrated temperature controlled exhaust and cold trap assembly |
US6255222B1 (en) * | 1999-08-24 | 2001-07-03 | Applied Materials, Inc. | Method for removing residue from substrate processing chamber exhaust line for silicon-oxygen-carbon deposition process |
US6689699B2 (en) * | 2000-09-21 | 2004-02-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for manufacturing a semiconductor device using recirculation of a process gas |
US7060234B2 (en) * | 2001-07-18 | 2006-06-13 | Applied Materials | Process and apparatus for abatement of by products generated from deposition processes and cleaning of deposition chambers |
US20070012402A1 (en) * | 2003-07-08 | 2007-01-18 | Sundew Technologies, Llc | Apparatus and method for downstream pressure control and sub-atmospheric reactive gas abatement |
US7021903B2 (en) * | 2003-12-31 | 2006-04-04 | The Boc Group, Inc. | Fore-line preconditioning for vacuum pumps |
US7455720B2 (en) * | 2005-02-16 | 2008-11-25 | Mks Instruments, Inc. | Method and apparatus for preventing products of TiCL4 and NH3 or other feed gas reactions from damaging vacuum pumps in TiN or other deposition systems |
GB0504312D0 (en) * | 2005-03-02 | 2005-04-06 | Boc Group Plc | Trap device |
US7964040B2 (en) * | 2007-11-08 | 2011-06-21 | Applied Materials, Inc. | Multi-port pumping system for substrate processing chambers |
US20090317547A1 (en) * | 2008-06-18 | 2009-12-24 | Honeywell International Inc. | Chemical vapor deposition systems and methods for coating a substrate |
GB2481144B (en) * | 2008-12-23 | 2014-06-18 | Mks Instr Inc | Reactive chemical containment system |
JP6034311B2 (ja) * | 2011-03-01 | 2016-11-30 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 共有ポンプを備えた真空チャンバ |
US20120304930A1 (en) * | 2011-06-03 | 2012-12-06 | Gregory Scott Verdict | Chamber exhaust in-situ cleaning for processing apparatuses |
US20160010207A1 (en) * | 2013-04-03 | 2016-01-14 | Dongjun Wang | Plasma-Enhanced Atomic-Layer Deposition System and Method |
JP6289859B2 (ja) * | 2013-10-21 | 2018-03-07 | 東京エレクトロン株式会社 | トラップ装置及び基板処理装置 |
KR102605618B1 (ko) * | 2016-11-14 | 2023-11-23 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 패키지 |
JP7017306B2 (ja) * | 2016-11-29 | 2022-02-08 | 株式会社日立ハイテク | 真空処理装置 |
KR20200099203A (ko) * | 2018-01-08 | 2020-08-21 | 램 리써치 코포레이션 | 플라즈마 프로세스 부산물 재료들을 관리하기 위한 컴포넌트들 및 프로세스들 |
JP2022530206A (ja) * | 2019-04-19 | 2022-06-28 | ラム リサーチ コーポレーション | クアッドステーションプロセスモジュール用のフォアラインアセンブリ |
-
2020
- 2020-12-01 US US17/108,583 patent/US20220170151A1/en active Pending
-
2021
- 2021-11-29 CN CN202180088856.7A patent/CN116670323A/zh active Pending
- 2021-11-29 JP JP2023532818A patent/JP2023551329A/ja active Pending
- 2021-11-29 WO PCT/US2021/060915 patent/WO2022119755A1/en active Application Filing
- 2021-11-29 KR KR1020237021970A patent/KR20230114281A/ko unknown
- 2021-12-01 TW TW110144797A patent/TWI803080B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20230114281A (ko) | 2023-08-01 |
US20220170151A1 (en) | 2022-06-02 |
TW202235671A (zh) | 2022-09-16 |
TWI803080B (zh) | 2023-05-21 |
WO2022119755A1 (en) | 2022-06-09 |
CN116670323A (zh) | 2023-08-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7393501B2 (ja) | 前駆体の流れを改善する半導体処理チャンバ | |
KR102600385B1 (ko) | 처리 챔버 혼합 시스템들 | |
KR102561044B1 (ko) | 다중 구역 반도체 기판 지지체 | |
JP2023510152A (ja) | 目標を定めた熱制御システム | |
JP2023551329A (ja) | スロットルバルブのドリフトを抑えるアクティブ冷却式フォアライントラップ | |
KR20230086772A (ko) | 반도체 프로세싱 챔버를 위한 가스박스 | |
CN115867691A (zh) | 用于半导体处理腔室的非对称排气泵送板设计 | |
US20220130650A1 (en) | Processing chamber deposition confinement | |
US20220199373A1 (en) | Methods to eliminate of deposition on wafer bevel and backside | |
US20230120710A1 (en) | Downstream residue management hardware | |
US20230390811A1 (en) | Throttle valve and foreline cleaning using a microwave source | |
US11430641B1 (en) | Processing systems and methods to control process drift | |
CN111799143B (zh) | 半导体处理腔室多阶段混合设备 | |
US20220108872A1 (en) | Bevel backside deposition elimination | |
US20220122819A1 (en) | Semiconductor chamber components for back diffusion control | |
US20220020612A1 (en) | Systems and methods for faceplate temperature control | |
US11682544B2 (en) | Cover wafer for semiconductor processing chamber | |
KR20230159579A (ko) | 균일한 인-시튜 세정 및 증착 | |
TWI728337B (zh) | 半導體處理系統與將前驅物輸送通過半導體處理系統的方法 |