JP2023545368A - 高ヨーサスペンション設計のためのジンバルストラット構成 - Google Patents

Abstract

複数の外側ストラットと中間ストラットとを備えるトレースジンバルが記載されている。複数の外側ストラットは、トレースジンバルの先端側端部における前側アウトリガーと、トレースジンバルの基端側端部における後側アウトリガーとを含んでおり、前側アウトリガーは、前側アウトリガー先端および前側アウトリガー基端を含んでおり、後側アウトリガーは、後側アウトリガー先端および後側アウトリガー基端を含んでおり、中間ストラットは、後側アウトリガー先端から延びているとともに、前側アウトリガー基端を後側アウトリガーに接続しており、中間ストラットは、スライダータングから延びているとともに、複数の外側ジンバルストラットをスライダータングに接続している。

Description

本開示は、ハードディスクドライブのためのサスペンションの分野に関する。より具体的には、本開示は、アクチュエートされるサスペンションにおけるジンバルストラットの分野に関する。

ダイナミックディスクストレージデバイスでは、情報を記憶するために回転ディスクが使用される。ディスク記憶装置は、典型的には、他の構成要素の取り付け点を提供するとともに配向を可能とするフレームと、ディスクを回転させるためにフレームに載置されたスピンドルモータとを含む。ディスク表面にデータを書き込んだりディスク表面からデータを読み出したりするための読み出し／書き込みヘッドがヘッドスライダーに形成される。ヘッドスライダーは、適切なヘッドスライダーの動作に必要な力とコンプライアンスの両方を提供するサスペンションによって支持されているとともに、ディスクに対して適切に配向させられている。ストレージデバイスにおけるディスクがヘッドスライダーとヘッドサスペンションの下で回転すると、ディスクよりも上の空気も回転する。これにより、ヘッドスライダーの空気力学的設計に作用してヘッドスライダーに揚力を生成するエアベアリングが生成される。サスペンションのバネ力が揚力と反対に作用する。これにより、ディスクよりも上において、ヘッドスライダーを所望の高さ配置に位置決めする。これは、浮上量（ｆｌｙ ｈｅｉｇｈｔ）と称されている。

ディスクドライブのためのサスペンションは、ロードビームとフレキシャとを含んでいる。ロードビームは通常、サスペンションをディスクドライブのアクチュエータに載置するための載置領域、剛性領域、および載置領域と剛性領域との間のばね領域を含む。ばね領域は、上述した駆動動作中にヘッドスライダーに発生する空力揚力に対して反対に作用するばね力を提供する。フレキシャは通常、ヘッドスライダーが載置されるスライダー載置面を有するジンバル領域を含む。ジンバル領域は、エアベアリングが発生する空力に応じて、フレキシャの残りの部分に対して弾性的に移動可能である。ジンバル領域により、ヘッドスライダーがピッチおよびロール方向に移動できるとともに、ディスク表面変動に追従できる。

ディスクドライブメーカーは、より小型でありながらより大きなストレージ容量のドライブを開発し続けている。ストレージ容量の増加は、ディスク上の情報トラックの密度を高めることによって部分的に達成される（すなわち、より狭いおよび／またはより狭い間隔のトラックを使用することによって）。しかしながら、トラック密度が増加するにつれて、モータおよびサーボ制御システムが読み出し／書き込みヘッドを所望のトラック上に迅速かつ正確に位置決めすることがますます困難になる。この状況を改善する試みには、ヘッドサスペンション自体に載置する高性能トラッキングモータ、圧電アクチュエータ、静電アクチュエータ、電磁アクチュエータといった、別のアクチュエータまたは二次アクチュエータまたは複数のアクチュエータを設けることが含まれている。これらのタイプのアクチュエータは、デュアル・ステージ・マイクロ・アクチュエーション・デバイスとしても知られており、ベースプレート、ロードビーム、またはフレキシャに配置してもよい。

トラッキングとヘッドスライダーの位置決め制御を改善するためのこれらの試みのいくつかでは、アクチュエータをベースプレートとフレキシャータングの両方に同時に配置することが含まれている。通常、このタイプのサスペンションでは、読み出し／書き込みヘッドを大きく動かすためにベースプレート領域に配置されたボイスコイルとアクチュエータが使用される。その一方で、このタイプのサスペンションでは、ディスクドライブのトラックよりも上において読み出し／書き込みヘッドを位置決めするために所望の高精度で動かすために、フレキシャータングに配置されたアクチュエータが使用される。

本開示は、ハードディスクドライブのためのサスペンションの分野に関する。より具体的には、本開示は、アクチュエートされるサスペンションにおけるジンバルストラットの分野に関する。

複数の外側ストラットと中間ストラットとを備えるトレースジンバルが記載されている。複数の外側ストラットは、トレースジンバルの先端側端部における前側アウトリガーと、トレースジンバルの基端側端部における後側アウトリガーとを含んでおり、前側アウトリガーは、前側アウトリガー先端および前側アウトリガー基端を含んでおり、後側アウトリガーは、後側アウトリガー先端および後側アウトリガー基端を含んでおり、中間ストラットは、後側アウトリガー先端から延びているとともに、前側アウトリガー基端を後側アウトリガーに接続しており、中間ストラットは、スライダータングから延びているとともに、複数の外側ジンバルストラットをスライダータングに接続している。

トレースジンバルの一部の例では、少なくとも１つのマイクロアクチュエータが、スライダータングに載置されている。中間ストラットは、読み出し／書き込みヘッドが組み立てられるスライダータングを支持可能である。前側アウトリガー基端は、第１接合部において後側アウトリガー先端に接続されていてもよい。トレースジンバルの一部の例では、前側アウトリガー基端は、第１断面寸法と、第１接合部における第２断面寸法とを有しており、第２断面寸法は、前側アウトリガー基端の第１断面寸法と略同一の大きさであってもよい。

トレースジンバルの一部の例では、後側アウトリガー先端は、断面寸法を有しており、また、中間ストラットは、後側アウトリガー先端の断面寸法と略同一の大きさである断面寸法を有していてもよい。中間ストラットは、第２接合部においてスライダータングに接続されていてもよい。トレースジンバルの一部の例では、第２接合部は、中間ストラットにおいて断面寸法を有しており、第２接合部の断面寸法は、中間ストラットの断面寸法と略同一の大きさである。

一部の例では、前側アウトリガーと後側アウトリガーと中間ストラットとは、中間ストラットジョイントにおいて互いに接続している。中間ストラットジョイントは、０．３０ミリメートルから０．４０ミリメートルの中間ストラット長さを有している。前側アウトリガーの第１断面寸法および第２断面寸法は、０．０５ミリメートルから０．１０ミリメートルであってよい。

トレースジンバルの一部の例では、後側アウトリガー先端の断面寸法は０．１０ミリメートルから０．２０ミリメートルである。前側アウトリガーと後側アウトリガーとは、中間ストラットの基端側端部において互いに接続していてもよい。

複数の外側ストラットと中間ストラットとを含むとともにトレースジンバルを備えるサスペンションも記載されている。複数の外側ストラットは、トレースジンバルの先端側端部における前側アウトリガーと、トレースジンバルの基端側端部における後側アウトリガーとを含んでおり、前側アウトリガーは、前側アウトリガー先端および前側アウトリガー基端を含んでおり、後側アウトリガーは、後側アウトリガー先端および後側アウトリガー基端を含んでおり、中間ストラットは、後側アウトリガー先端から延びているとともに、前側アウトリガー基端を後側アウトリガーに接続しており、中間ストラットは、スライダータングから延びているとともに、複数の外側ジンバルストラットをスライダータングに接続している。

サスペンションの一部の例では、少なくとも１つのマイクロアクチュエータが、スライダータングに載置されている。中間ストラットは、読み出し／書き込みヘッドが組み立てられるスライダータングを支持可能である。前側アウトリガー基端は、第１接合部において後側アウトリガー先端に接続されていてもよい。サスペンションの一部の例では、前側アウトリガー基端は、第１断面寸法と、第１接合部における第２断面寸法とを有しており、第２断面寸法は、前側アウトリガー基端の第１断面寸法と略同一の大きさであってもよい。

サスペンションの一部の例では、後側アウトリガー先端は、断面寸法を有しており、また、中間ストラットは、後側アウトリガー先端の断面寸法と略同一の大きさである断面寸法を有していてもよい。中間ストラットは、第２接合部においてスライダータングに接続されていてもよい。サスペンションの一部の例では、第２接合部は、中間ストラットにおいて断面寸法を有しており、第２接合部の断面寸法は、中間ストラットの断面寸法と略同一の大きさである。

一部の例では、前側アウトリガーと後側アウトリガーと中間ストラットとは、中間ストラットジョイントにおいて互いに接続している。中間ストラットジョイントは、０．２５ミリメートルから０．４０ミリメートルの中間ストラット長さを有している。前側アウトリガーの第１断面寸法および第２断面寸法は、０．０５ミリメートルから０．１０ミリメートルであってよい。

サスペンションの一部の例では、後側アウトリガー先端の断面寸法は０．１０ミリメートルから０．２０ミリメートルである。前側アウトリガーと後側アウトリガーとは、中間ストラットの基端側端部において互いに接続していてもよい。

複数の例が開示されているが、本開示の例示的な例を示して説明する以下の詳細な説明から、当業者には本開示のさらに他の例が明らかになるであろう。したがって、図面および詳細な説明は、本質的に例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。

本開示の上記および他の利点および特徴が得られる方法を説明するために、添付の図面に示される特定の例を参照して、上記の原理のより具体的な説明を行う。これらの図面は、本開示の例示的な態様のみを示しており、したがって、その範囲を限定するものと見なされるべきではない。原理は、以下の図を使用して、さらに具体的かつ詳細に記述および説明されている。

本開示の一例による、マイクロアクチュエータ・デュアル・ステージ・アクチュエーション（ＤＳＡ）サスペンションを含む磁気ディスクドライブユニットの上側斜視図。 本開示の一例によるＤＳＡサスペンションの平面図。 本開示の一例によるトライステージアクチュエーション（ＴＳＡ）サスペンションの平面図。 一例による、図２のサスペンションのトレースジンバルのジンバル組立体を示す図。 本開示の一例による、図３のトレースジンバルの中間ストラットジョイントを示す図。 シミュレーションによる、図４の中間ストラットジョイントを組み入れたサスペンションのＰＺＴ周波数応答関数のグラフ。 本開示の代替例による、サスペンションのトレースジンバルを示す図。 本開示の一例による、図６のトレースジンバルの中間ストラットジョイントを示す図。 シミュレーションによる図６の中間ストラットジョイントを組み入れたサスペンションのＰＺＴ周波数応答関数のグラフ。

図１は、磁気ディスクドライブユニット１００の上側斜視図である。ディスクドライブユニット１００は、スピン磁気ディスク１０１を含んでいる。スピン磁気ディスク１０１は、ディスクドライブ上に記憶されるデータを構成する磁気による０と１のパターンを含んでいる。磁気ディスク１０１は、駆動モータによって駆動される。一部の例によると、ディスクドライブユニット１００は、ロードビーム１０７とベースプレート１０３とトレースジンバルとを有したサスペンション１０５を含んでいる。該トレースジンバルには、トレースジンバルの先端側端部に近接して磁気ヘッドスライダーが載置される。ロードビームまたはサスペンションの基端側端部は、支持される端部、すなわち、加締めまたは他の態様でアクチュエータアームに載置されるベースプレート１０３に最も近い端部である。ロードビームまたはサスペンションの先端側端部は、基端側端部とは反対の端部である。すなわち、先端側端部は、カンチレバー端部である。

トレースジンバルは、ベースプレート１０３に連結されている。そして、ベースプレート１０３は、ボイスコイルモータ１０に連結されている。ボイスコイルモータ１０は、磁気ディスク１０１上の正しいデータトラックの上にヘッドスライダーを位置決めするために、アーチ状でサスペンションを動かすように構成されている。ヘッドスライダーは、ジンバル（図示せず）で運ばれる。これは、スライダーのピッチおよびロールを可能とする。これにより、スライダーは、スピン磁気ディスク１０１上における適切なデータトラックに追従する。これにより、性能を低下させることなく、変動を許容する。変動には、通常、ディスクの変動、衝突等の慣性イベント、ディスク表面における通常とは異なることが含まれる。

図２Ａは、本開示の一例によるデュアル・ステージ・アクチュエーション・サスペンション１０５の平面図である。ＤＳＡサスペンション１０５は、ベースプレート１２とロードビーム１０７とを含み得る。ロードビーム１０７は、トレースジンバル１５２を含んでいる。トレースジンバル１５２は、載置されたアクチュエータと、ジンバル組立体を含み得る。アクチュエータは、読み出し／書き込みヘッドを含むように構成されたＤＳＡサスペンション１０５のジンバル組立体に対して直接的に作用するよう動作可能である。

トレースジンバル１５２は、アクチュエータ１４を受容するように構成された少なくとも１つのアクチュエータジョイント１７を含み得る。ベースプレート１２は、トレースジンバル１５２の対向する側に配置された、２つのアクチュエータジョイント１７を示している。各アクチュエータジョイント１７は、アクチュエータ載置シェルフ１８を含んでいる。

各アクチュエータ１４は、アクチュエータジョイント１７における対応するギャップに架かる。複数のアクチュエータ１４は、接着剤によりスライダータング１８に固定される。接着剤は、複数のアクチュエータの各端部に戦略的に塗布される導電性または非導電性のエポキシを含んでいてもよい。正および負の電気的接続が、複数のアクチュエータ１４からトレースジンバル１５２に対し、さまざまな技術によってなされ得る。アクチュエータ１４が作動時において拡張または収縮することにより、サスペンション１０５の先端側端部に載置されている読み出し／書き込みヘッドを動かす。これにより、載置端部間のギャップの長さを変化させる。

サスペンション１０５は、シングルステージアクチュエーションサスペンション、デュアルステージアクチュエーションデバイス、トライステージアクチュエーションデバイス、または他の構成として構成され得る。トライステージアクチュエーションサスペンションの一例が図２Ｂに示されている。ここでアクチュエータ１４および２４はそれぞれ載置プレート領域およびフレキシャータング上に同時に配置される。本明細書に開示される例の目的のために、任意の変形例のアクチュエータをサスペンション１０５に組み込むことが考えられる。換言すれば、サスペンション１０５は、本開示の範囲から逸脱することなく、示されているものより多いまたは少ない構成要素を含むことができる。しかしながら、示されている構成要素は、開示された原理の実施の例示的な例を開示するのに十分である。

図３は、一例による、トレースジンバル１５２のジンバル組立体を示す。トレースジンバル１５２は、スライダータング１３０に載置された少なくとも１つのマイクロアクチュエータ１５０を含んでいる。トレースジンバル１５２は、複数の外側ジンバルストラットを含んでいる。複数の外側ストラットは、トレースジンバル１５２の先端側端部において前側アウトリガー１１０を含んでいる。複数の外側ストラットは、また、トレースジンバル１５２の基端側端部において後側アウトリガー１４０を含んでいる。トレースジンバル１５２は、また、後側アウトリガー１４０から延びるとともに前側アウトリガー１１０を後側アウトリガー１４０に接続する中間ストラット１２０を含んでいる。換言すると、前側アウトリガー１１０と後側アウトリガー１４０とは、中間ストラット１２０の基端側端部において互いに接続している。トレースジンバル１５２は、また、スライダータング１３０から延びるとともに中間ストラット１２０をスライダータング１３０に接続する内側ストラット１６０を含んでいる。内側ストラット１６０は、読み出し／書き込みヘッドが組み立てられるスライダータング１３０を支持している。

前側アウトリガー１１０、後側アウトリガー１４０、中間ストラット１２０、および内側ストラット１６０（「複数のストラット」と総称する）は、マイクロアクチュエータ１５０の上面にアクチュエーション電圧が印加されることによりマイクロアクチュエータ１５０をアクチュエートするときに、曲がるように構成されている。複数のストラットは、マイクロアクチュエーションヒンジとして作用する。マイクロアクチュエータ１５０のアクチュエート時において、マイクロアクチュエーションヒンジが屈曲することにより、トレースジンバル１５２の先端側端部、よってスライダーが水平方向に動くことが可能となる。複数のストラットは、高スウェイ周波数を実現するために高ラテラル剛性を有しているが、トレースジンバル１５２の先端側端部がマイクロアクチュエータ１５０の動作によりディンプル１７０の周りで回転可能な程度に柔軟性を有している。これを達成するべく、一部の例では、複数のストラットは、さまざまな断面寸法サイズを有している。例えば、複数のストラットは、図３の例に示すように、屈められ、および／または曲げられていることで、マイクロアクチュエータの動作のための柔軟性を実現している。中間ストラット１２０と内側ストラット１６０とは、中間ストラットジョイントにおいて互いに接続している。

図４は、一例による、トレースジンバル１５２の中間ストラットジョイント１１を示している。中間ストラットジョイント１１は、第１接合部１１６において後側アウトリガー先端１４２に接続された前側アウトリガー基端１１４を含んでいる。前側アウトリガー基端１１４は、第１断面寸法１１５と、第１接合部１１６における第２断面寸法１１７とを有し得る。第２断面寸法１１７は、前側アウトリガー基端１１４の第１断面寸法１１５よりも大きいか同じ大きさである。後側アウトリガー先端１４２は、第１断面寸法１４３を有し得る一方、後側アウトリガー基端１４４は、第１断面寸法１４３よりも大きな第２断面寸法１４５（図３）を有している。また、中間ストラット１２０は、後側アウトリガー基端１４４の第２断面寸法１４５（図３）よりも小さな断面寸法１２１を有している。

中間ストラット１２０は、第２接合部１７０において内側ストラット１６０に接続している。第２接合部１７０は、中間ストラット１２０において第１断面寸法１７１を有している。第２接合部１７０は、内側ストラット１６０において第２断面寸法１７３も有している。ここで、第２断面寸法１７３は、第１断面寸法１７１よりも大きい。内側ストラット１６０は、断面寸法１６１を有している。内側ストラット１６０は、第３接合部１９０においてスライダータング１３０に接続している。第３接合部１９０は、断面寸法１９１を有している。スライダータング１３０は、第３接合部１９０の断面寸法１９１よりも大きい断面寸法１３１を有している。第３接合部１９０の断面寸法１９１は、内側ストラット１６０の断面寸法１６１よりも大きい。

後側アウトリガー先端１４２、後側アウトリガー基端１４４、および前側アウトリガー基端１１４のさまざまな断面寸法は、このようなトレースジンバル１５２を有したサスペンションデバイスの性能に影響がある。

図５は、シミュレーションによる、トレースジンバル１５２を組み入れたサスペンションのマイクロアクチュエータＰＺＴ周波数応答関数のグラフ３００である。サスペンションは、５０ｋＨｚよりも小さいヨー周波数を示した。ヨーモードゲインが、周波数応答関数の周波数バンドにわたる最高のピークであるので、ゲインの減衰のためにヨーモードにおいてディープノッチフィルタを設ける必要がある。これは、サーボバンド幅に制限を課している。

図６は、本開示の一例による、サスペンションのトレースジンバル２００を示している。トレースジンバル２００は、スライダータング２３０に載置された少なくとも１つのマイクロアクチュエータ２５０を含んでいる。トレースジンバル２００は、複数の外側ジンバルストラットを含んでいる。複数の外側ストラットは、トレースジンバル２００の先端側端部において前側アウトリガー２１０を含んでいる。前側アウトリガー２１０は、前側アウトリガー先端２１２と前側アウトリガー基端２１４とを含んでいる。一部の例では、前側アウトリガー先端２１２と前側アウトリガー基端２１４とは、前側アウトリガー２１０の曲げまたは非直線状フィーチャによって規定されている。別の例では、前側アウトリガー先端２１２と前側アウトリガー基端２１４とは、区別不可能であり、かつ、物理的に２つのフィーチャを分離しない直線状のフィーチャにおいて接続していてもよい。

複数の外側ストラットは、トレースジンバル２００の基端側端部において後側アウトリガー２４０も含んでいる。後側アウトリガー２４０は、後側アウトリガー先端２４２と後側アウトリガー基端２４４とを含んでいる。一部の例では、後側アウトリガー先端２４２と後側アウトリガー基端２４４とは、後側アウトリガー２４０の曲げまたは非直線状フィーチャによって規定されている。別の例では、後側アウトリガー先端２４２と後側アウトリガー基端２４４とは、区別不可能であり、かつ、物理的に２つのフィーチャを分離しない直線状のフィーチャにおいて接続していてもよい。

トレースジンバル２００は、後側アウトリガー先端２４２から延びるとともに前側アウトリガー基端２１４を後側アウトリガー２４０に接続する中間ストラット２２０も含んでいる。換言すると、前側アウトリガー２１０と後側アウトリガー２４０とは、中間ストラット２２０の基端側端部において互いに接続している。また、中間ストラット２２０は、スライダータング２３０から延びるとともに、複数の外側ジンバルストラットをスライダータング２３０に接続している。中間ストラット２２０は、読み出し／書き込みヘッドが組み立てられるスライダータング２３０を支持している。トレースジンバル２００では、屈められたおよび／または曲げられた内側ストラットの要素を設けていないので、トレースジンバル２００の剛性が改善されている。

図７は、本開示の一例による、トレースジンバル２００の中間ストラットジョイント２０１を示している。中間ストラットジョイント２０１は、第１接合部２１６において後側アウトリガー先端２４２に接続している前側アウトリガー基端２１４を含んでいる。前側アウトリガー基端２１４は、第１断面寸法２１５と、第１接合部２１６における第２断面寸法２１７とを有し得る。第２断面寸法２１７は、前側アウトリガー基端２１４の第１断面寸法２１５と略同一の大きさである。当業者であれば、２つの機械加工された構成要素が同一の大きさを有していることは滅多にないと理解する。したがって、本明細書において示した例に係る大きさは、製造公差を考慮に入れており実際上厳密とは考えられない。後側アウトリガー先端２４２は、断面寸法２４３を有し得る。中間ストラット２２０は、後側アウトリガー先端２４２の断面寸法２４３と略同一の大きさである断面寸法２６１を有している。

中間ストラット２２０は、第２接合部２７０においてスライダータング２３０に接続している。第２接合部２７０は、中間ストラット２２０において断面寸法２７１を有している。第２接合部２７０の断面寸法２７１は、中間ストラット２２０の断面寸法２６１と略同一の大きさである。スライダータング２３０は、第２接合部２７０の断面寸法２７１よりも大きい中間ストラットジョイント長さＬ２２１を有している。

具体的には、中間ストラットジョイント２０１は、０．２０ミリメートルから０．４０ミリメートルの中間ストラット長さＬ２２１を有し得る。一部の例では、中間ストラット長さＬ２２１は、０．２５ミリメートルである。前側アウトリガー２１０の第１断面寸法２１３および第２断面寸法２１５は、０．０５ミリメートルから０．１０ミリメートルである。一部の例では、両断面寸法の幅は、０．０９ミリメートルである。後側アウトリガー先端２４２の断面寸法２４３は、０．１０ミリメートルから０．２０ミリメートルである。一部の例では、断面寸法２４３の幅は、０．１２ミリメートルである。中間ストラット２２０は、図３のトレースジンバルと比べて中間ストラットジョイント長さを実質的に増大する位置で、スライダータング２３０に接続している。一部の例では、中間ストラットジョイント長さ２２１は、図３のトレースジンバルの中間ストラットジョイント長さの２倍よりも大きい。

図８は、シミュレーションによる、図７の中間ストラットジョイントを組み入れたサスペンションのマイクロアクチュエータ（ＰＺＴ）周波数応答関数のグラフ４００である。増大した中間ストラットジョイント長さにより、ヨー周波数が増大している。例えば、中間ストラットジョイント長さにおける０．１ミリメートルの増大は、８ｋＨｚから６５．０ｋＨｚ分、ヨー周波数の増大につながる。さらに、中間ストラットジョイント長さの増大により、位相遅れを増大してゲインを小さくするので、２４ｋＨｚモード（ねじれモード）も改善する。

複数の例が開示されているが、本開示の範囲内のさらに他の例は、例示的な例を示し説明する本明細書に提供される詳細な説明から当業者に明らかになるであろう。したがって、図面および詳細な説明は、本質的に例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。さまざまな例の特徴および変形例が、本明細書で説明され、図面に示されている。複数の例が開示されているが、本開示の例示的な例を示して説明する以下の詳細な説明から、当業者には本開示のさらに他の例が明らかになるであろう。したがって、図面および詳細な説明は、本質的に例示的であり、限定的ではないと見なされるべきである。

Claims (20)

1. 複数の外側ストラットと中間ストラットとを備えるトレースジンバルであって、
   前記複数の外側ストラットは、前記トレースジンバルの先端側端部における前側アウトリガーと、前記トレースジンバルの基端側端部における後側アウトリガーとを含んでおり、前記前側アウトリガーは、前側アウトリガー先端および前側アウトリガー基端を含んでおり、前記後側アウトリガーは、後側アウトリガー先端および後側アウトリガー基端を含んでおり、
   前記中間ストラットは、前記後側アウトリガー先端から延びているとともに、前記前側アウトリガー基端を前記後側アウトリガーに接続しており、前記中間ストラットは、スライダータングから延びているとともに、前記複数の外側ジンバルストラットを前記スライダータングに接続している、トレースジンバル。
2. 前記スライダータングに載置された少なくとも１つのマイクロアクチュエータをさらに備え、前記中間ストラットは、前記スライダータングを支持する、
   請求項１に記載のトレースジンバル。
3. 前記前側アウトリガー基端は、第１接合部において後側アウトリガー先端に接続されている、
   請求項１に記載のトレースジンバル。
4. 前記前側アウトリガー基端は、第１断面寸法と、前記第１接合部における第２断面寸法とを有しており、前記第２断面寸法は、前記前側アウトリガー基端の前記第１断面寸法と略同一の大きさである、
   請求項３に記載のトレースジンバル。
5. 前記前側アウトリガーの前記第１断面寸法および前記第２断面寸法は、０．０５ミリメートルから０．１０ミリメートルである、
   請求項４に記載のトレースジンバル。
6. 前記後側アウトリガー先端は、断面寸法を有しており、前記中間ストラットは、前記後側アウトリガー先端の前記断面寸法と略同一の大きさである断面寸法を有している、
   請求項１に記載のトレースジンバル。
7. 前記後側アウトリガー先端の前記断面寸法は、０．１０ミリメートルから０．２０ミリメートルである、
   請求項６に記載のトレースジンバル。
8. 前記中間ストラットは、第２接合部において前記スライダータングに接続されており、前記第２接合部は、前記中間ストラットにおいて断面寸法を有しており、前記第２接合部の前記断面寸法は、前記中間ストラットの断面寸法と略同一の大きさである、
   請求項１に記載のトレースジンバル。
9. 前記前側アウトリガーと前記後側アウトリガーと前記中間ストラットとは、中間ストラットジョイントにおいて互いに接続しており、前記中間ストラットジョイントは、０．０．２５ミリメートルから０．４０ミリメートルの中間ストラット長さを有しており、該中間ストラット長さは、前記前側アウトリガーの断面寸法と前記後側アウトリガーの断面寸法と前記中間ストラットの断面寸法の２倍よりも大きい、
   請求項１に記載のトレースジンバル。
10. 前記前側アウトリガーと前記後側アウトリガーとは、前記中間ストラットの基端側端部において互いに接続している、
    請求項１に記載のトレースジンバル。
11. 複数の外側ストラットと中間ストラットとを含むトレースジンバルを備えるサスペンションであって、
    前記複数の外側ストラットは、前記トレースジンバルの先端側端部における前側アウトリガーと、前記トレースジンバルの基端側端部における後側アウトリガーとを含んでおり、前記前側アウトリガーは、前側アウトリガー先端および前側アウトリガー基端を含んでおり、前記後側アウトリガーは、後側アウトリガー先端および後側アウトリガー基端を含んでおり、
    前記中間ストラットは、前記後側アウトリガー先端から延びているとともに、前記前側アウトリガー基端を前記後側アウトリガーに接続しており、前記中間ストラットは、スライダータングから延びているとともに、前記複数の外側ジンバルストラットを前記スライダータングに接続している、サスペンション。
12. 前記スライダータングに載置された少なくとも１つのマイクロアクチュエータをさらに備え、前記中間ストラットは、前記スライダータングを支持する、
    請求項１１に記載のサスペンション。
13. 前記前側アウトリガー基端は、第１接合部において後側アウトリガー先端に接続されている、
    請求項１１に記載のサスペンション。
14. 前記前側アウトリガー基端は、第１断面寸法と、前記第１接合部における第２断面寸法とを有しており、前記第２断面寸法は、前記前側アウトリガー基端の前記第１断面寸法と同一の大きさである、
    請求項１３に記載のサスペンション。
15. 前記前側アウトリガーの前記第１断面寸法および前記第２断面寸法は、０．０５ミリメートルから０．１０ミリメートルである、
    請求項１４に記載のサスペンション。
16. 前記後側アウトリガー先端は、断面寸法を有しており、前記中間ストラットは、前記後側アウトリガー先端の前記断面寸法と同一の大きさである断面寸法を有している、
    請求項１１に記載のサスペンション。
17. 前記後側アウトリガー先端の前記断面寸法は、０．１０ミリメートルから０．２０ミリメートルである、
    請求項１６に記載のサスペンション。
18. 前記中間ストラットは、第２接合部において前記スライダータングに接続されており、前記第２接合部は、前記中間ストラットにおいて断面寸法を有しており、前記第２接合部の前記断面寸法は、前記中間ストラットの断面寸法と略同一の大きさである、
    請求項１１に記載のサスペンション。
19. 前記前側アウトリガーと前記後側アウトリガーと前記中間ストラットとは、中間ストラットジョイントにおいて互いに接続しており、前記中間ストラットジョイントは、０．２５ミリメートルから０．４０ミリメートルの中間ストラット長さを有している、
    請求項１１に記載のサスペンション。
20. 前記前側アウトリガーと前記後側アウトリガーとは、前記中間ストラットの基端側端部において互いに接続している、
    請求項１１に記載のサスペンション。

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