JP2023533892A - スペクトル分割装置 - Google Patents

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Abstract

Figure 2023533892000001
開示されるのは、光源(F)から来る少なくとも1本の初めの光ビーム(R0)を3本以上の光ビームに変換するか、その逆に変換するための、スペクトル分割装置である。このスペクトル分割装置は:初めの光ビーム(R0)を2本の直交した偏光ビーム(R1及びR2)に分割する、第1の偏光ビーム分割器(P1);2本の直交した偏光ビーム(R1及びR2)がそれぞれ貫通する、2つの光学素子(O1及びO2);及び、2つの直交した偏光ビーム(R1及びR2)を、4つのそれぞれの出力ビーム(R11及びR12)ならびに(R21及びR22)に分割する、第2の偏光ビーム分割器(P21)及び第3の偏光ビーム分割器(P22)、を備える。本発明によると、2つの光学要素(O1及びO2)の各々は、複屈折であり、それらの複屈折性は波長に依拠する。
【選択図】図1

Description

本明細書という表現で表わされる本発明は、スペクトル分割装置に言及する。このスペクトル分割器は、以下で詳細に説明する利点及び特徴を提供する。それらは、適用分野内における当技術の現況の改善を表わす。
より詳細には、本発明の目標は、スペクトル分割装置が中心に位置付けられる。それはリオフィルタの原理に基づいて、直交した偏光によって結合された2対のビームを線形に重ね合わせることから、例えば制御された方法で波長を変更するために必要な厚さを伴う、カルサイト結晶などの、複屈折及び/または分散光学素子の使用を介して、両方のビームが同じ偏光を有するようにすることで、それらを線形に重ね合わせるのを可能にし、例えばレーザなどの光源ビームのパワー密度を増加させるのを可能にする。それは次に、プロセスの縦繋ぎの繰り返しを可能にし、線形に重ね合わされたビームを、同じ影響を受けた他のビームと再び結合する。設備は、各々の要求に依拠して、得られた出力ビームにおいてより大きい空洞及び特定の共振条件を提供する、外部共振器などの追加の要素を含むことによって上記の効果を実現できる、光学アセンブリプレートを備える。
本発明の適用分野は、例えばレーザ、LED、または他の技術など、発光設備のための装置及び構成要素を製造することに特化した産業の領域内に区分けられる。
公知のように、光が複屈折媒体を通過するとき、ビームは、媒体の光軸に対して2つの偏光要素に分かれる場合があり、その各々は異なる屈折率の影響を受け、2つの間で相対的な位相のずれが生じることで、光の偏光状態に変化を誘発する場合がある。全ての媒体は分散的であるため、したがって異なる波長について異なる屈折率を有するために、複屈折もまた一般的に分散的である。そのため、偏光状態の変化は波長に依拠する。したがって、複屈折材料及び偏光ビーム分割器の好適な構成によって、光の異なるスペクトル要素を、区別、濾過、分離、または結合することが可能である。最も簡単な事例において、複屈折結晶が、2つの偏光子の間に設置される。このフィルタは、リオフィルタとして知られている。光の偏光状態間における位相遅延は、πの倍数で周期的であり、波長に対するフィルタの周期的な透過も同様である。
この効果は、特定の設備におけるパワー増大のために、非常に実用的となる場合がある。
例えばレーザ技術は、一般的に工業用レーザ処理のため、主に切断または溶接に使用するために、産業界で広く使用される。大部分は、光ファイバレーザまたはディスクレーザを伴って成される。
いずれの場合も、これらのタイプの適用に重要なことは、非常に小さいスポットに集中させることができるエネルギー密度を有することである。エネルギー密度は、パワーを調整するか、またはレーザスポットのサイズを減少させることによって、実現される。
しかし、ダイオードを用いる適用において、全ての密度増加はパワーの増加に基づく。なぜなら、遅軸における低いビーム品質のために、そのスポットはさらに小さくすることができないためである。しかし現在まで、当技術分野のレーザのパワー/容量を増加させることは、偏光または波長ごとのいくつかによって、2つのダイオードビームを加えることを可能にするのみである。したがって、単純な方法で2倍または4倍のエネルギー密度を可能にする、新しい技術を開発するという本発明の目的を用いて、上記の2つの単一のダイオードよりも多く追加することによって上記のパワーの増加を可能にする、新しい技術を開発することが望まれている。
当技術分野の現在の状況において、2つのダイオードの、2本のレーザビームを結合するために、同一で、垂直に設置され、かつ合焦された2つのダイオードは、異なる光偏光(垂直偏波、及びこの目的で挿置された波リターダによって水平に回転された別の偏光)を伴い結合されて、偏光ビーム分割器に面する。それによってそれらは偏光ビーム分割器に達し、同じ方向に統合されて残る。それは、一方が偏光ビーム分割器を通過し、他方は反射されるが、それらの異なる偏光を維持するからである。これは、両方のビームの結合が、出力レーザのパワーを増加させるための、望ましいであろう再結合ができないことを意味する。
各レーザは、利得領域とも呼ばれるレーザ活性領域から構成される。そこにおいて、供給されたエネルギーは、誘発発光によって干渉性放射に変換される。この目的のため、発生する放射の一部が利得領域に戻ることを保証するために、レーザ共振器が必要とされる。したがってそれは、一般には半透明ミラーである、少なくとも1つのフィードバック素子を含む。この共振器は、その外形及び物理特性によって、レーザ光のフィードバックの特徴を、詳細には空間プロファイル、波長、帯域幅、及び偏光を判断する。
推定される実現可能な特徴は、材料利得及び共振器に依拠し、一般的には互いに逆相関し、実現可能な出力パワーを有する。したがって、1つの選ばれたパラメータの改善は、他のパラメータを劣化させる傾向がある。
特に実際に重要なのは、半導体レーザである。なぜならそれらは微細で、電気エネルギーから直接光に変換され、非常に効率的で、かつ確立されている半導体生成技術技法を使用して製造することができ、したがって大量生産において安価だからである。共振器は、端面に適用された反射層、及び/またはエピタキシャルに組み込まれた屈折率格子によって、縦一列で統合される。現在、出力パワーまたは実現可能なパワー密度は、多くの興味深い用途のためには、まだ低すぎる。これは、光が1mmよりも大幅に小さいボリュームで生成されるためであり、それによってパワー密度がさらに増加したときに、構成要素を破壊しかねないパワー密度をもたらす。
ボリュームを増加させることは、解決策にならない。なぜなら形態上の選択度が減少し、その結果ビームの品質は劣化し、パワー密度を概ね一定に保つからである。
少なくとも2倍の出力パワーに対する実際の長い取り組みは、上述のように偏光ビーム分割器を使用して、2つの直交したレーザ偏光を重ね合わせることから成り、それによって得られた光は、交差偏光を含み、このような2倍のパワーまでしか増加させることができない。
したがって本発明の目的は、パワー、したがって複数の工業用途で光ビームを使用する効率を増加させるための、スペクトル分割装置を開発することであり、例えばレーザビームの対を結合することによってパワーを大幅に増加させるためのレーザ装置において、結合される対の数に依拠して、パワーを指数関数的に増加させることを可能にする。
さらに、当技術分野における現在の状況の参照として、この分野におけるコンセプトを開示する文献及び資料が、少なくとも出願者によって公知であっても、それらのいずれもが、別個または組み合わされて、本明細書で説明するような装置、または本明細書で請求される装置によって提示されるものと同一もしくは類似の、構造的かつ構成的特徴を伴う装置を開示していないと考慮することに留意されたい。
関連して、(例えば国際公開第03/055018号からの)非常に小型の外部共振器が、高い平均パワーで、高パワーダイオードレーザのビーム品質を大幅に改善できることが公知であることを、言及する価値がある。しかし、いくつかのこのようなレーザは、さらに大きいビームパワーのために同時に作動されなければならない。これは一般的に、ビーム品質及び小さい焦点を生成する可能性を、大幅に減少させる。実現可能なパワー密度は、実質上一定に保たれる。
この課題を克服するために、Daneuらによる「Opt.Lett.,Vol.25,No.6,pp.405-407」、及びSanchez-Rubioによる米国特許第6,192,062号明細書は、スペクトル多重化を提案した。これは、各々が異なる波長で作動される複数のレーザ源を使用する取り組みであり、それによって複数のレーザ源を、一般に回析格子である、好適に選ばれた素子によって、空間的に重ね合わせることができる。他の特許出願(例えば国際公開第03/036766号、国際公開第20/02091077号)は、これに基づいている。
全てのこれらの特許は、共振器を2つに分ける中央分散素子(プリズムまたは格子)を有する。素子の一方の側において、様々なレーザ発光は同一線上にある。すなわちレーザ断面及び発光方向は、ほとんど同一である。素子の第2の側において、異なるビームは、媒体の分散及び回析によって空間的に分散され、それによって適切な波長の独立したレーザを、各方向に作動させることができる。一般的に、これは共通経路におけるフィードバックミラーを有するレーザを備える。なぜならこれは、各利得領域が、分散によって決定された適切な波長において、正確に動作することを保証するからである。
これらの特許に共通するのは、多重化されることになる波長のスペクトル距離が、共振器の分散及び外形によって画定されることである。「角度ごとの波長」に関する分散は、角度「分散素子までの距離によって分割されたエミッタ間隔」によって、多重化されなければならない。高密度のスペクトル多重化のために、大きい構成が得られるか、または所与の共振器の実装面積及び分散のために、通常は1nmよりも大きいスペクトルのステップサイズは、隣接したエミッタをもたらす。さらに、最も高次の分散格子は、低い回析効率及び/もしくはスペクトル許容性、ならびに/または低い損傷の閾値しか有さず、実際上の実現化を極めて困難にすることが公知である。
国際公開第03/055018号 米国特許第6,192,062号明細書 国際公開第03/036766号 国際公開第20/02091077号
Daneuらによる「Opt.Lett.,Vol.25,No.6,pp.405-407」
本発明によって提案されるスペクトル分割装置は、本明細書の最後に添付された特許請求の範囲で説明して認められる、特徴付けられた詳細を伴い、上述の目的を実現するための最適な解決策として構成される。
詳細には、上述のように本発明の目標は、スペクトル分割装置に関する。それはリオフィルタの原理に基づいて、直交した偏光によって結合された各対のビームを線形に重ね合わせることから、例えば制御された方法で波長を変更するために必要な厚さを伴う、カルサイト結晶などの、複屈折及び/または分散光学素子の使用を介して、両方のビームが同じ偏光を有するようにすることで、それらを線形に重ね合わせるのを可能にし、(例えばレーザなどの)光源ビームのパワー密度を増加させるのを可能にする。それは次に、プロセスの縦繋ぎの繰り返しを可能にし、線形に重ね合わされたビームを、同じプロセスを受けた他のビームと再び結合する。スペクトル分割装置は、各要求に依拠して、得られた出力ビームにおけるより大きい空洞及び特定の共振条件を提供する、外部共振器などの、追加の要素を含むことによって上記の結果を実現できる、光学アセンブリプレートを備える。
この目標のため、より詳細には、本発明が提案する装置は、初めの光ビームを3本以上の光ビームに分割するための、スペクトル分割器であり、基本的に:
-光を2つの直交した偏光ビームに分ける、第1の偏光ビーム分割器;
-上述の2つの偏光ビームがそれぞれ通過する、2つの光学素子;及び
-同様に2つの偏光ビームを4つのそれぞれの出力ビームに分ける、第2及び第3の偏光ビーム分割器、
を備え、
各光学素子は複屈折であり、両素子の複屈折性は波長に依拠する。
さらに、好ましい実施形態において、得られた出力光ビームの光は共通して、直交した偏光状態または異なる波長のうち、少なくとも一方を有する。
同様に、本発明の装置の好ましい実施形態において、初めの光ビームは、第1の偏光ビーム分割器に入る前に、手前の複屈折性分散光学素子を通過し、任意選択で、第1の偏光ビーム分割器に入る前に、手前の偏光ビーム分割器も通過する。
さらに、好ましい実施形態において、初めの光ビームは、手前の偏光ビーム分割器または手前の複屈折性光学素子にそれぞれ入る前に、一部を反射するミラーを通過する。
任意選択で、4本の出力ビームのうち少なくとも1本も、複屈折性及び/または分散性である第3の光学素子を通過する。
他方で、任意選択で、スペクトル分割装置は、逆ビーム経路を伴って上述したように使用されるとき、ビーム結合器として作用することができることに、留意されたい。
このような場合、装置は、好ましくはレーザまたはレーザ利得手段である2つ以上の光源を、結合される光ビームとして備え、これら個々の光源は、一部を反射するミラーからのフィードバックを得ることができる。
いずれの場合も、本発明のスペクトル分割装置は、第1及び第2の光学素子、ならびに適用可能な場合は手前の光学素子の、光学遅延及び/または分散における個々の共通制御手段を備えたプレートとして、構成される。
好ましい実施形態において、各個々の光学素子は、基本的厚さの整数倍の複屈折性分散結晶と:
-単一もしくは複数のリターダプレートの組み合わせ、
-遅延調整のための光学素子における、個々の傾斜のための支持部、
-バビネソレイユの楔部、
-製造プロセスもしくは電界によって制御された遅延を伴う、液晶素子、
のうち任意の1つ、または組み合わせを含んだ、追加の位相遅延と、
を備える。
より詳細には、好ましい実施形態において、各個々の光学素子は、僅かな楔部を伴う少なくとも2つの部品を備え、それによって効果的な厚さを、これら2つの部品を互いに対して動かすことによって調整することができる。さらに、好ましくは相対的な光学遅延は、概念上必要なものよりも少ない物理的要素を使用して実行され、少なくとも1つは、1回よりも多く通過される。最後に、好ましい実施形態において、光源は、レーザ、低反射性または低反射性ではない半導体レーザ、LED、レーザバー、バースタック、とし得ることに留意されたい。
いずれの場合も、光源はマトリクスであり、偏光子のいくつかはディスプレーサである。
成された説明を補完するため、及び本発明の特性をより良好に理解するのを補助するために、本明細書には、以下で、例示及び非限定の目的のために示される図面が、本明細書の一体部分として添付される。
備えた主要部品及び素子、ならびにその配置を示す、スペクトル分割装置の実施例の概略図である。 ビーム結合器として実施された場合における部品の配置を示した、スペクトル分割装置の概略図である。 備えた主要部品及び素子、ならびにそれらの配置を示し、様々な光ビームが点線で表わされた、光学プレートにおけるビーム結合器としての装置の実施形態例を示す、上面図である。 一般的な構成を示す、本発明の対象であるスペクトル分割装置を備えた光源の例として、受動的冷却を伴うレーザダイオードのアセンブリの、2つの実施形態例のうち一方の斜視図である。 一般的な構成を示す、本発明の対象であるスペクトル分割装置を備えた光源の例として、能動的冷却を伴うレーザダイオードのアセンブリの、2つの実施形態例のうち他方の斜視図である。 図1及び図2に示され、ここでは水を冷却媒体として使用した基部上に表わされた、受動的冷却を伴うレーザダイオードの斜視図である。 図1及び図2に示され、ここでは水を冷却媒体として使用した基部上に表わされた、能動的冷却を伴うレーザダイオードの斜視図である。 水を冷却媒体として使用し、前の図面に示された基部上に取り付けられて、ここではそれぞれの円形レンズ調整器具を含んだ、受動的冷却を伴うレーザダイオードの斜視図である。 水を冷却媒体として使用し、前の図面に示された基部上に取り付けられて、ここではそれぞれの円形レンズ調整器具を含んだ、能動的冷却を伴うレーザダイオードの斜視図である。 光学素子を傾斜した支持部に取り付けた例を示す斜視図である。
上記の図面を考慮して、かつ採用した番号に従って、本発明のスペクトル分割装置における非限定の実施形態例、より詳細には以下で詳細が示され、かつ説明されるものを備えた、レーザ光学装置としての例を、理解することができる。
このように図1から判るように、光源(F)から来る初めの光ビーム(R0)を、3本以上の光ビームに変換するための、本発明のスペクトル分割装置(1)は:
-初めの光ビーム(R0)を2本の直交した偏光ビーム(R1及びR2)に分割する、第1の偏光ビーム分割器(P1);
-上述の2本の直交した偏光ビーム(R1及びR2)がそれぞれ通過する、2つの光学素子(O1及びO2);及び
-次に、2本の直交した偏光ビーム(R1及びR2)を、4つのそれぞれの出力ビーム(R11及びR12)ならびに(R21及びR22)に分割する、第2及び第3の偏光ビーム分割器(P21及びP22)、
を基本的に備え、
これら光学素子(O1及びO2)の各々は複屈折であり、両素子の複屈折性は波長に依拠する。
好ましくは、相互に得られた4本の出力光ビーム(R11及びR12)ならびに(R21及びR22)からの光は、直交した偏光状態、または異なる波長のうち少なくとも一方を有する。
好ましくは、初めの光ビーム(R0)は、第1の偏光ビーム分割器(P1)に入る前に、手前の複屈折性分散光学素子(O0)を通過する。
代替として、初めの光ビーム(R0)は、第1の偏光ビーム分割器(P1)に入る前に、手前の偏光ビーム分割器(P0)を通過する。
任意選択で、初めの光ビーム(R0)は、上述の手前の偏光ビーム分割器(P0)または手前の複屈折性光学素子(O0)にそれぞれ入る前に、一部を反射するミラー(M)を通過する。
いずれの場合も、好ましくは4本の出力ビーム(R11及びR12)ならびに(R21及びR22)のうち少なくとも1本は、複屈折性及び/または分散性である第3の光学素子(O3)を通過する。
任意選択で、1つの実施形態において、説明したスペクトル分割装置は、上述のように逆ビーム経路を用いて使用されたときに、ビーム結合器として適用できること、すなわち2つ以上の個々の光源(F)によって生成された、2対のビーム(R11及びR12)ならびに(R21及びR22)の総体を得て、それらを単一のビーム(R0)に結合すること、に留意されたい。
このような場合、ビーム(R)を得るために、装置は、好ましくはレーザまたはレーザ利得手段である、2つ以上の個々の光源(F)を備え、それらは結合された光ビームを生成する。上記の個々の光源は、一部を反射するミラー(M)からのフィードバックを得ることができる。
好ましい実施形態において、本発明のスペクトル分割装置(1)は、光学遅延における個々の共通制御のための、少なくとも1つの位相遅延プレート、及び/または第1及び第2の光学素子(O1、O2)の分散、ならびに適用可能な場合は手前の光学素子(O0)の分散、を伴って実施される。
好ましくは、上記のプレートは、1/4波長プレートと呼ばれる、特別なタイプの位相プレートである。
好ましい実施形態において、各個々の光学素子(O1、O2、O0)は、基本的厚さの整数倍の複屈折性分散結晶と:
-単一のリターダプレートもしくは複数のリターダプレートの組み合わせ、
-遅延調整のための、光学素子における個々の傾斜のための支持部、
-バビネソレイユの楔部、
-製造プロセスもしくは電界によって制御された遅延を伴う、液晶素子、
のうち任意の1つ、または組み合わせを含んだ、追加の位相遅延と、
を備える。
より詳細には、好ましい実施形態において、各個々の光学素子は、僅かな楔部を伴う少なくとも2つの部品を備え、それによって効果的な厚さを、これら2つの部品を互いに対して動かすことによって調整することができる。
さらに、好ましくは相対的な光学遅延は、概念上必要なものよりも少ない物理的要素を使用して実行され、少なくとも1つは、1回よりも多く通過される。
光源(F)は、レーザ、低反射性または低反射性ではない半導体レーザ、LED、レーザバー、バースタック、とし得ることに留意されたい。
追加として、光源(F)は、ポイントまたはマトリクスの両方とすることができ、偏光子のいくつかはディスプレーサである。
図3を参照すると、プレート(3)上における、本発明の装置の実施例、詳細には、4本のビームが出力レンズ(L)に結合された例が確認でき、そこでは、いかにして追加で熱シンク(D)が含まれるかを確認できる。
図3~図9を参照すると、特に半導体レーザダイオードである光源(F)が確認できる。それは、冷却システムを有する基部(2)において、アセンブリの内側に水を伴わず受動的に冷却されるか(図4)、またはダイオードを冷却する2つの水チャネルを伴い能動的に冷却されるか(図5)、のいずれかである。
図6及び図7は、水を冷却媒体として使用する基部(2)に取り付けられた、受動的冷却及び能動的冷却それぞれ2つのバージョンにおける、光源(F)としてのダイオードの両選択肢を示す。
基部(2)は、ダイオードまたは光源(F)をエンドプレート(3)に組立てるために使用され、管を適合させてシステムを冷却するために、水接続部(4)に嵌合される。図7に示される、能動的に冷却される取付部は、より堅牢な接続部を有し、より高い電流を可能にするが、両選択肢の高さは同じである。
図8及び図9は、円形レンズ(5)が連結され、それが同一であるためその調整部は変わらない、受動的及び能動的冷却システムそれぞれを伴う、光源(F)の両選択肢のアセンブリを示す。
最後に、図10において、好ましくは、カルサイトなどの複屈折及び/または分散結晶である光学素子(O)が、いかにして45°に傾斜した支持部(6)に取り付けられるかが確認できる。
本発明、同様にその実施の性質を詳細に説明したので、これらの説明を続けることは必要ではないと考慮され、当業者は、その範囲及びそこから導出される利点を理解し得る。

Claims (13)

  1. 光源(F)から来る少なくとも初めの光ビーム(R0)を、3本以上の光ビームに変換し、及びその逆に変換するための、スペクトル分割装置であって、
    前記初めの光ビーム(R0)を2本の直交した偏光ビーム(R1及びR2)に分割する、第1の偏光ビーム分割器(P1)、
    2つの前記偏光ビーム(R1及びR2)がそれぞれ通過する、2つの光学素子(O1及びO2)、及び、
    次に、2本の直交した前記偏光ビーム(R1及びR2)を、4つのそれぞれの出力ビーム(R11及びR12)ならびに(R21及びR22)に分割する、第2及び第3の偏光ビーム分割器(P21及びP22)、
    を備えることと、
    前記光学素子(O1及びO2)の各々は複屈折であり、両素子の複屈折性は波長に依拠することと、を特徴とする、スペクトル分割装置。
  2. 相互に得られた4本の前記出力光ビーム(R11及びR12)ならびに(R21及びR22)からの光は、直交した偏光状態、または異なる波長のうち少なくとも一方を有することを特徴とする、請求項1に記載のスペクトル分割装置。
  3. 前記初めの光ビーム(R0)は、前記第1の偏光ビーム分割器(P1)に入る前に、複屈折性分散光学素子(O0)を通過することを特徴とする、請求項2に記載のスペクトル分割装置。
  4. 前記初めの光ビーム(R0)は、前記第1の偏光ビーム分割器(P1)に入る前に、手前の偏光ビーム分割器(P0)を通過することを特徴とする、請求項2に記載のスペクトル分割装置。
  5. 前記初めの光ビーム(R0)は、手前の前記偏光ビーム分割器(P0)または手前の前記複屈折性光学素子(O0)にそれぞれ入る前に、一部を反射するミラー(M)を通過することを特徴とする、請求項2または3に記載のスペクトル分割装置。
  6. 4本の前記出力ビーム(R11及びR12)ならびに(R21及びR22)のうち少なくとも1本は、複屈折性及び/または分散性である第3の光学素子(O3)を通過することを特徴とする、請求項1~5のうちいずれか一項に記載のスペクトル分割装置。
  7. ビーム(R11及びR12)ならびに(R21及びR22)を生成する2つ以上の個々の光源(F)を備え、前記ビームに逆経路が適用されたときに、単一のビーム(R0)に結合することを特徴とする、請求項1~6のうちいずれか一項に記載のスペクトル分割装置。
  8. 個々の前記光源は、前記一部を反射するミラー(M)からフィードバックを得ることを特徴とする、請求項7に記載のスペクトル分割装置。
  9. 光学遅延の個々の共通制御手段、及び/または前記第1及び第2の光学素子(O1、O2)の分散、ならびに適用可能な場合は手前の前記光学素子(O0)の分散、を含むことを特徴とする、請求項1~8のうちいずれか一項に記載のスペクトル分割装置。
  10. 各個々の光学素子(O1、O2、O0)は、基本的厚さの整数倍の複屈折性分散結晶と、
    単一のリターダプレートもしくは複数のリターダプレートの組み合わせ、
    遅延調整のための前記光学素子における、個々の傾斜のための支持部、
    バビネソレイユの楔部、
    製造プロセスもしくは電界によって制御された遅延を伴う、液晶素子、
    のうち任意の1つ、または組み合わせを含んだ、追加の位相遅延と、を備えることを特徴とする、請求項9に記載のスペクトル分割装置。
  11. 各個々の光学素子(O1、O2、O0)は、僅かな楔部を伴う少なくとも2つの部品を備え、それによって効果的な厚さを、前記2つの部品を互いに対して動かすことによって調整することができることを特徴とする、請求項9に記載のスペクトル分割装置。
  12. 前記光源は、レーザダイオード、低反射性もしくは低反射性ではない半導体レーザ、LED、レーザバー、またはバースタックであることを特徴とする、請求項1~11のうちいずれか一項に記載のスペクトル分割装置。
  13. 前記光源はマトリクスであり、偏光子のいくつかはディスプレーサであることを特徴とする、請求項9に記載のスペクトル分割装置。
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