JP2023524978A - ガラスリボンを製造する方法及びそのための装置 - Google Patents

Abstract

ガラス製造装置は、進行方向に延びる進行経路を定める形成装置を含む。形成装置は、ガラス形成材料のリボンを進行方向に進行経路に沿って搬送する。ガラス製造装置は、第１の端部と第２の端部とを含む冷却チューブを含む。冷却チューブは、第１のチャネルを取り囲む閉鎖第１側壁を含む第１のチューブを含む。第１のチューブは、第１の冷却流体を第１のチャネル内に受け入れる。冷却チューブは、第２のチャネルを取り囲む閉鎖第２側壁を含む第２のチューブを含む。第１のチューブは、第２のチューブ内に位置決めされる。第２のチューブは、第２の冷却流体を第２のチャネル内に受け入れる。冷却チューブは、ノズルを含む。ノズルは、第１の冷却流体を受け入れて第１の冷却流体を進行経路に向けて誘導する。方法は、ガラス製造装置を用いてガラスリボンを製造する段階を含む。【選択図】 図５

Description

〔関連出願への相互参照〕
この出願は、その内容が信頼されて引用により全体的に本明細書に組み込まれている２０２０年５月４日出願の米国仮特許出願第６３／０１９，５４０号の「３５ Ｕ．Ｓ．Ｃ．§１１９」の下での優先権の利益を主張するものである。

本発明の開示は、一般的にガラスリボンを製造する方法に関連し、より具体的には冷却チューブを備えるガラス製造装置を用いてガラスリボンを製造する方法に関する。

ガラスリボンは、例えば、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、電気泳動ディスプレイ（ＥＰＤ）、有機発光ダイオードディスプレイ（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、タッチセンサ、又は光電池などのようなディスプレイ用途に一般的に使用されている。そのようなディスプレイは、例えば、携帯電話、タブレット、ラップトップ、腕時計、ウエアラブル及び／又はタッチ機能可能モニタ又はディスプレイの中に組み込むことができる。ガラスリボンは、一般的に、形成本体に対して溶融ガラスを流すことによって製作され、それによってガラス繊維は、様々なリボン形成工程、例えば、スロット延伸、フロート、下方延伸、溶融下方延伸、圧延、チューブ延伸、又は上方延伸によって形成することができる。ガラスリボンは、定期的に個々のガラスリボンに分離することができる。ガラス形成材料のリボンの厚みは、ガラス形成材料のリボンが冷却されてガラスリボンになる前に制御することができる。しかし、ガラス形成材料のリボンをより有効かつ急速に冷却することができるガラスリボンを製造する方法に対する必要性が存在する。

以下は、詳細説明に説明する一部の実施形態の基本的な理解を提供するために本発明の開示の簡単な要約を提示するものである。

一部の実施形態では、ガラス製造装置は、第２のチューブ内に位置決めされた第１のチューブを備える冷却チューブを備えることができる。第１の冷却流体は、第１のチューブを通って流れることができ、かつガラス形成材料のリボンに向けて第１のチューブを出ることができる。一部の実施形態では、第１の冷却流体の一部分は、第１のチューブ内で固体又は液体から気体への相変化を受ける場合がある。これに加えて又はこれに代えて、一部の実施形態では、第１のチューブを出る時に、第１の冷却流体の別の部分が、固体又は液体から気体への相変化を受ける場合がある。相変化は、ガラス形成材料のリボンの温度の低下を引き起こすことができる。冷却チューブがそれに露出される高温（例えば、約４００°セ氏（「Ｃ」）から約１０００℃の範囲内）に起因して及び第１のチューブ内で相変化が発生することを制限するためにかつ第１の冷却流体が高温の結果として第１のチューブから出る前に、第２の冷却流体は、第２のチューブを通って流れることができる。第２の冷却流体は、第１のチューブに衝突することができる。第２の冷却流体は、周囲環境の温度よりも低い温度に維持することができる。従って、第２の冷却流体は、第１のチューブを周囲環境から熱的に遮断し、すなわち、第１の冷却流体が相変化を受ける場所を制御することができる。

一部の実施形態により、ガラス製造装置は、進行方向に延びる進行経路を定める形成装置を備えることができる。形成装置は、ガラス形成材料のリボンを進行方向に進行経路に沿って搬送することができる。ガラス製造装置は、第１の端部と第１の端部の反対の第２の端部とを備える冷却チューブを備えることができる。第２の端部は、進行経路に隣接して位置決めすることができる。冷却チューブは、第１のチャネルを取り囲む閉鎖第１側壁を備える第１のチューブを備えることができる。第１のチューブは、第１の冷却流体を第１のチャネル内に受け入れることができる。冷却チューブは、第２のチャネルを取り囲む閉鎖第２側壁を備える第２のチューブを備えることができる。第１のチューブは、第２のチャネルが閉鎖第１側壁と閉鎖第２側壁の間にあることができるように第２のチューブ内に位置決めすることができる。第２のチューブは、第２の冷却流体を第２のチャネル内に受け入れることができる。冷却チューブは、第１のチューブに取り付けられたノズルを備えることができる。ノズルは、第１のチャネルと流体連通することができるノズルキャビティを備えることができる。ノズルは、第１の冷却流体を受け入れて第１の冷却流体を進行経路に向けて誘導することができる。

一部の実施形態では、第１のチューブは、第１及び第２の端部間の第１の場所で第１の断面サイズ及び第２の端部に隣接する第２の場所で第２の断面サイズを備えることができる。第１の断面サイズは、第２の断面サイズとは異なることができる。

一部の実施形態では、第１の断面サイズは、第２の断面サイズよりも大きいとすることができる。

一部の実施形態では、第１のチューブと第２のチューブは、同軸であり、かつ長手軸線に沿って延びることができる。

一部の実施形態では、長手軸線に直交することができる軸線は、閉鎖第１側壁及び閉鎖第２側壁と交差することができる。

一部の実施形態では、閉鎖第１側壁は、第１のチャネルを第２のチャネルから隔離することができる。

一部の実施形態により、ガラスリボンを製造する方法は、ガラス形成材料のリボンを形成する段階を備えることができる。本方法は、ガラス形成材料のリボンを進行方向に進行経路に沿って移動する段階を備えることができる。本方法は、第１の冷却流体を第１のチューブを通してノズルに向けて送出する段階を備えることができる。本方法は、第２の冷却流体が第１のチューブと対流接触するように第１のチューブを取り囲む第２のチューブを通して第２の冷却流体を送出することによって第１のチューブを冷却する段階を備えることができる。本方法は、第１の冷却流体を第１のチューブの端部からノズルを通してガラス形成材料のリボンの区域に向けて誘導することにより、ガラス形成材料のリボンのこの区域を冷却する段階を備えることができる。

一部の実施形態では、本方法は、第２の冷却流体が第２のチューブを通して送出される時及び第１の冷却流体が第１のチューブの端部から誘導される時に第１の冷却流体を第２の冷却流体から隔離する段階を備えることができる。

一部の実施形態では、第１のチューブを冷却する段階は、周囲環境からの熱を第２の冷却流体を用いて吸収することにより、第１のチューブを周囲環境から熱的に遮断する段階を備えることができる。

一部の実施形態では、本方法は、第１のチューブの第１の部分内の第１の冷却流体の流れを第１のチューブの端部に到達する前に加速することにより、第１のチューブ内の第１の冷却流体の相変化を制御する段階を備えることができる。

一部の実施形態では、加速する段階は、第１の冷却流体の流れ方向に対する第１のチューブの第１の部分の断面サイズを低減する段階を備えることができる。

一部の実施形態では、加速する段階は、液相又は固相のうちの１又は２以上から気相への第１の部分内の第１の冷却流体の一部分の相変化を可能にする段階を備えることができる。

一部の実施形態では、区域を冷却する段階は、第１の冷却流体がガラス形成材料のリボンの区域に向けて流れている間に第１の冷却流体の相を変化させる段階を備えることができる。

一部の実施形態では、第１の冷却流体は、二酸化炭素を備える。

一部の実施形態により、ガラスリボンを製造する方法は、ガラス形成材料のリボンを形成する段階を備えることができる。本方法は、ガラス形成材料のリボンを進行方向に進行経路に沿って移動する段階を備えることができる。本方法は、第１の冷却流体を第１のチューブを通してノズルに向けて送出する段階を備えることができる。本方法は、第１のチューブの第１の部分内の第１の冷却流体の流れをノズルに到達する前に加速することにより、第１のチューブ内の第１の冷却流体の相変化を制御する段階を備えることができる。本方法は、第１の冷却流体を第１のチューブの端部からノズルを通してガラス形成材料のリボンの区域に向けて誘導することにより、ガラス形成材料のリボンのこの区域を冷却する段階を備えることができる。

一部の実施形態では、加速する段階は、第１の冷却流体の流れ方向に対する第１のチューブの第１の部分の断面サイズを低減する段階を備えることができる。

一部の実施形態では、加速する段階は、液相又は固相のうちの１又は２以上から気相への第１の部分内の第１の冷却流体の一部分の相変化を可能にする段階を備えることができる。

一部の実施形態では、区域を冷却する段階は、第１の冷却流体が区域に向けて流れている間に第１の冷却流体の相を変化させる段階を備えることができる。

一部の実施形態では、第１の冷却流体は、二酸化炭素を備えることができる。

一部の実施形態では、本方法は、第１の冷却流体が第１のチューブの端部からノズルを通して誘導された後に吸引によって第１の冷却流体を抽出する段階を備えることができる。

この出願に開示する実施形態の追加の特徴及び利点を以下の詳細説明に示すが、部分的に当業者にはこれらの特徴及び利点がこの説明から明らかであり、又は以下の詳細説明、特許請求の範囲、並びに添付図面を含むこの出願で説明する実施形態を実施することによって明確になるであろう。上述の概要と以下の詳細説明の両方は、この出願に開示する実施形態の性質及び特質を理解するための概観又はフレームワークを提供するように意図した実施形態を提供することは理解されるものとする。添付図面は、更に別の理解を提示するために含めたものであり、かつ本明細書の中に組み込まれてその一部を構成する。これらの図面は、本発明の開示の様々な実施形態を示し、本説明と共にそれらの原理及びその作動を説明するものである。

上記及び他の特徴、実施形態、及び利点は、添付図面を参照して以下の詳細説明を読解した時により良く理解される。

本発明の開示の実施形態によるガラス製造装置の例示的実施形態を概略で例示する図である。 本発明の開示の実施形態による図１の線２－２に沿うガラス製造装置の斜視断面図である。 本発明の開示の実施形態によるガラス形成材料のリボンを冷却するための１又は２以上の冷却装置を備えるガラス製造装置の図２と類似の断面図である。 本発明の開示の実施形態による第１の冷却装置の図３の線４－４に沿った断面図である。 本発明の開示の実施形態による第１のチューブと第２のチューブを備える第１の冷却装置の図４の線５－５に沿った断面図である。 本発明の開示の実施形態による１又は２以上の冷却剤粒子が第１のチューブからガラス形成材料のリボンに向けて放出されている図５と類似の第１の冷却装置の断面図である。 本発明の開示の実施形態による非一定断面サイズを有する第１のチューブを備える第１の冷却装置の追加の実施形態の図４の線５－５に沿った断面図である。 本発明の開示の実施形態による１又は２以上の冷却剤粒子が第１のチューブからガラス形成材料のリボンに向けて放出されている図７と類似の第１の冷却装置の断面図である。 本発明の開示の実施形態による第１のチューブを冷却する第１の冷却流体を備える第１の冷却装置の追加の実施形態の図４の線５－５に沿った断面図である。

ここで例示的実施形態を示す添付図面を参照して実施形態をより完全に以下に説明する。図面を通して可能な場合は必ず同じ又は類似の部分を示すのに同じ参照番号を使用する。しかし、本発明の開示は、多くの異なる形態に具現化することができ、この出願に示す実施形態に限定されるものと解釈すべきではない。

本発明の開示は、ガラスリボンを生成するためのガラス製造装置及び方法に関する。ここで、例示的実施形態を用いてガラス形成材料のリボンからガラスリボンを生成する方法及び装置を以下に説明する。図１に示すように、一部の実施形態では、例示的ガラス製造装置１００は、ガラス溶融及び送出装置１０２と、ある量の溶融材料１２１からガラス形成材料のリボン１０３を生成するように設計された形成容器１４０を備える形成装置１０１とを備えることができる。一部の実施形態では、ガラス形成材料のリボン１０３は、その第１の外縁１５３及び第２の外縁１５５に沿って形成された両側の縁部分（例えば、縁部ビード）の間に位置決めされた中心部分１５２を備えることができ、縁部分の厚みは、中心部分の厚みよりも大きいとすることができる。更に、一部の実施形態では、個々のガラスリボン１０４は、ガラス形成材料のリボン１０３から分離経路１５１に沿ってガラス分離器１４９（例えば、けがき針、切り込みホイール、ダイヤモンド先端、レーザなど）によって分離することができる。

一部の実施形態では、ガラス溶融及び送出装置１０２は、貯留ビン１０９からバッチ材料１０７を受け入れるように向けられた溶融容器１０５を備えることができる。バッチ材料１０７は、モータ１１３による動力供給を受けるバッチ送出デバイス１１１によって導入することができる。一部の実施形態では、矢印１１７に示すように所望量のバッチ材料１０７を溶融容器１０５の中に導入するようにモータ１１３を起動するために任意的なコントローラ１１５を作動させることができる。溶融容器１０５は、溶融材料１２１を供給するためにバッチ材料１０７を加熱することができる。一部の実施形態では、スタンドパイプ１２３内の溶融材料１２１のレベルを測定するために溶融量プローブ１１９を使用することができ、溶融量プローブ１１９は、通信ライン１２５を通して測定情報をコントローラ１１５に通信することができる。

これに加えて、一部の実施形態では、ガラス溶融及び送出装置１０２は、溶融容器１０５から下流に位置付けられて第１の接続導管１２９を通して溶融容器１０５に結合された清澄容器１２７を備える第１の調整ステーションを備えることができる。一部の実施形態では、溶融材料１２１は、溶融容器１０５から第１の接続導管１２９を通して清澄容器１２７に重力給送することができる。例えば、一部の実施形態では、重力は、溶融材料１２１を溶融容器１０５から第１の接続導管１２９の内部通路を通して清澄容器１２７まで駆動することができる。更に、一部の実施形態では、清澄容器１２７内で様々な技術によって溶融材料１２１から気泡を除去することができる。

一部の実施形態では、ガラス溶融及び送出装置１０２は、清澄容器１２７から下流に位置付けることができる混合チャンバ１３１を備える第２の調整ステーションを更に備えることができる。混合チャンバ１３１は、溶融材料１２１の均一な組成を与え、それによって清澄容器１２７を出る溶融材料１２１の中に他に存在する可能性がある不均一性を低減するか又は排除するのに使用することができる。図示のように、清澄容器１２７は、第２の接続導管１３５を通して混合チャンバ１３１に結合することができる。一部の実施形態では、溶融材料１２１は、清澄容器１２７から第２の接続導管１３５を通して混合チャンバ１３１に重力給送することができる。例えば、一部の実施形態では、重力は、溶融材料１２１を清澄容器１２７から第２の接続導管１３５の内部通路を通して混合チャンバ１３１まで駆動することができる。

これに加えて、ガラス溶融及び送出装置１０２は、混合チャンバ１３１から下流に位置付けることができる送出チャンバ１３３を備える第３の調整ステーションを備えることができる。一部の実施形態では、送出チャンバ１３３は、入口導管１４１の中に供給される溶融材料１２１を調整することができる。例えば、送出チャンバ１３３は、溶融材料１２１を調節し、その一貫した流量を入口導管１４１に供給するためのアキュムレータ及び／又は流量コントローラとして機能することができる。図示のように、混合チャンバ１３１は、第３の接続導管１３７を通して送出チャンバ１３３に結合することができる。一部の実施形態では、溶融材料１２１は、混合チャンバ１３１から第３の接続導管１３７を通して送出チャンバ１３３に重力給送することができる。例えば、一部の実施形態では、重力は、溶融材料１２１を混合チャンバ１３１から第３の接続導管１３７の内部通路を通して送出チャンバ１３３まで駆動することができる。更に、図示のように、一部の実施形態では、溶融材料１２１を形成装置１０１に、例えば、形成容器１４０の入口導管１４１に送出するための送出パイプ１３９を配置することができる。

形成装置１０１は、本発明の開示の特徴による形成容器の様々な実施形態、例えば、ガラスリボンを溶融延伸するための楔を有する形成容器、ガラスリボンをスロット延伸するためのスロットを有する形成容器、又はガラスリボンを形成容器から圧延するための圧延ロールが設けられた形成容器を備えることができる。一部の実施形態では、形成装置１０１は、例えば、それがリドロー形成工程の一部である場合にシートリドロー形成機を備えることができる。例えば、第１の厚みを備えることができるガラスリボン１０４を加熱してリドロー形成し、より小さい第２の厚みを備える薄めのガラスリボン１０４を達成することができる。実施形態として以下に示して開示する形成容器１４０は、形成楔２０９の基底１４５として定められた底縁から溶融材料１２１を溶融延伸してガラス形成材料のリボン１０３を生成するために提供することができる。例えば、一部の実施形態では、溶融材料１２１は、入口導管１４１から形成容器１４０に送出することができる。次に、形成容器１４０の構造に部分的に基づいて溶融材料１２１をガラス形成材料のリボン１０３に形成することができる。例えば、図示のように、溶融材料１２１は、形成容器１４０の底縁（例えば、基底１４５）からガラス製造装置１００の進行方向１５４に延びる延伸経路に沿って延伸させることができる。一部の実施形態では、縁部誘導器１６３、１６４が、溶融材料１２１を形成容器１４０から誘導し、ガラス形成材料のリボン１０３の幅「Ｗ」を部分的に定めることができる。一部の実施形態では、ガラス形成材料のリボン１０３の幅「Ｗ」は、ガラス形成材料のリボン１０３の第１の外縁１５３とガラス形成材料のリボン１０３の第２の外縁１５５との間を延びる。

一部の実施形態では、ガラス形成材料のリボン１０３の第１の外縁１５３とガラス形成材料のリボン１０３の第２の外縁１５５との間を延びるガラス形成材料のリボン１０３の幅「Ｗ」は、約２０ミリメートル（ｍｍ）よりも大きいか又はそれに等しく、例えば、約５０ｍｍよりも大きいか又はそれに等しく、例えば、約１００ｍｍよりも大きいか又はそれに等しく、例えば、約５００ｍｍよりも大きいか又はそれに等しく、例えば、約１０００ｍｍよりも大きいか又はそれに等しく、例えば、約２０００ｍｍよりも大きいか又はそれに等しく、例えば、約３０００ｍｍよりも大きいか又はそれに等しく、例えば、約４０００ｍｍよりも大きいか又はそれに等しくすることができるが、更に別の実施形態では、上述の幅よりも小さいか又は大きい他の幅を設けることができる。例えば、一部の実施形態では、ガラス形成材料のリボン１０３の幅「Ｗ」は、約２０ｍｍから約４０００ｍｍの範囲にあり、例えば、約５０ｍｍから約４０００ｍｍの範囲、例えば、約１００ｍｍから約４０００ｍｍの範囲、例えば、約５００ｍｍから約４０００ｍｍの範囲、例えば、約１０００ｍｍから約４０００ｍｍの範囲、例えば、約２０００ｍｍから約４０００ｍｍの範囲、例えば、約３０００ｍｍから約４０００ｍｍの範囲、例えば、約２０ｍｍから約３０００ｍｍの範囲、例えば、約５０ｍｍから約３０００ｍｍの範囲、例えば、約１００ｍｍから約３０００ｍｍの範囲、例えば、約５００ｍｍから約３０００ｍｍの範囲、例えば、約１０００ｍｍから約３０００ｍｍの範囲、例えば、約２０００ｍｍから約３０００ｍｍの範囲、例えば、約２０００ｍｍから約２５００ｍｍの範囲、及びこれらの値の間の全ての範囲及び部分範囲にあるとすることができる。

図２は、図１の線２－２に沿う形成装置１０１（例えば、形成容器１４０）の断面斜視図を例示している。一部の実施形態では、形成容器１４０は、入口導管１４１から溶融材料１２１を受け入れるように向けられたトラフ２０１を備えることができる。例示目的で、溶融材料１２１のクロスハッチングを明瞭化のために図２から消去した。形成容器１４０は、形成楔２０９を更に備えることができ、形成楔２０９は、その対向する端部２１０、２１１（図１を参照されたい）の間を延びる１対の下方傾斜収束面部分２０７、２０８を備える。形成楔２０９の１対の下方傾斜収束面部分２０７、２０８は、形成容器１４０の基底１４５に沿って交差するように進行方向１５４に沿って収束する。ガラス製造装置１００の延伸平面２１３は、進行方向１５４に沿って基底１４５を通って延びることができる。一部の実施形態では、ガラス形成材料のリボン１０３は、延伸平面２１３に沿って進行方向１５４に延伸することができる。図示のように、延伸平面２１３は、基底１４５を通って形成楔２０９を二分することができるが、一部の実施形態では基底１４５に対する他の向きに延びることができる。一部の実施形態では、ガラス形成材料のリボン１０３は、進行方向１５４に延伸平面２１３と共面とすることができる進行経路２２１に沿って移動することができる。

これに加えて、一部の実施形態では、溶融材料１２１は、方向１５６に形成容器１４０のトラフ２０１の中に流れ込み、更にそれに沿って流れることができる。次に、溶融材料１２１は、対応する堰２０３、２０４を超えてこれらの堰の外面２０５、２０６の上に下方に流れることによってトラフ２０１から溢流することができる。次に、溶融材料１２１の各々の流れは、形成楔２０９の下方傾斜収束面部分２０７、２０８に沿って流れて形成容器１４０の基底１４５から延伸することができ、基底１４５では、これらの流れは収束してガラス形成材料のリボン１０３に融合する。次に、ガラス形成材料のリボン１０３を進行方向１５４に沿って延伸させることができる。一部の実施形態では、ガラス形成材料のリボン１０３は、その垂直の場所に基づいて１又は２以上の状態の材料を備える。例えば、ガラス形成材料のリボン１０３は、第１の場所で粘性溶融材料１２１を備える場合があり、第２の場所でガラス質状態にあるアモルファス固体（例えば、ガラスリボン）を備える場合がある。

ガラス形成材料のリボン１０３は、反対方向に向いてガラス形成材料のリボン１０３の厚み「Ｔ」（例えば、平均厚）を間に定める第１の主面２１５と第２の主面２１６とを備える。一部の実施形態では、ガラス形成材料のリボン１０３の厚み「Ｔ」は、約２ミリメートル（ｍｍ）よりも小さいか又はそれに等しく、約１ミリメートルよりも小さいか又はそれに等しく、約０．５ミリメートルよりも小さいか又はそれに等しく、例えば、約３００マイクロメートル（μｍ）よりも小さいか又はそれに等しく、約２００マイクロメートルよりも小さいか又はそれに等しく、又は約１００マイクロメートルよりも小さいか又はそれに等しくすることができるが、更に別の実施形態では他の厚みを設けることができる。例えば、一部の実施形態では、ガラス形成材料のリボン１０３の厚み「Ｔ」は、約２０マイクロメートルから約２００マイクロメートルの範囲、約５０マイクロメートルから約７５０マイクロメートルの範囲、約１００マイクロメートルから約７００マイクロメートルの範囲、約２００マイクロメートルから約６００マイクロメートルの範囲、約３００マイクロメートルから約５００マイクロメートルの範囲、約５０マイクロメートルから約５００マイクロメートルの範囲、約５０マイクロメートルから約７００マイクロメートルの範囲、約５０マイクロメートルから約６００マイクロメートルの範囲、約５０マイクロメートルから約５００マイクロメートルの範囲、約５０マイクロメートルから約４００マイクロメートルの範囲、約５０マイクロメートルから約３００マイクロメートルの範囲、約５０マイクロメートルから約２００マイクロメートルの範囲、約５０マイクロメートルから約１００マイクロメートルの範囲、約２５マイクロメートルから約１２５マイクロメートルの範囲にあり、これらの値の間の厚みの全ての範囲及び部分範囲を備える範囲にあるとすることができる。更に、ガラス形成材料のリボン１０３は、様々な組成物、例えば、ホウケイ酸ガラス、アルミノホウケイ酸ガラス、アルカリ含有ガラス又はアルカリ非含有ガラス、アルカリアルミノケイ酸ガラス、アルカリ土類アルミノケイ酸ガラス、ソーダ石灰ガラスなどを備えることができる。

一部の実施形態では、ガラス分離器１４９（図１を参照されたい）は、分離経路１５１に沿ってガラス形成材料のリボン１０３からガラスリボン１０４を分離距離を置いて複数の個々のガラスリボン１０４（複数のガラスシート）を提供することができる。他の実施形態により、ガラスリボン１０４の長手部分を保存ロール上に巻くことができる。次に、個々のガラスリボンを望ましい用途、例えば、ディスプレイ用途に製作することができる。例えば、個々のガラスリボンは、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）、電気泳動ディスプレイ（ＥＰＤ）、有機発光ダイオードディスプレイ（ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）、タッチセンサ、光電池、及び他の電子ディスプレイを備える多岐にわたるディスプレイ用途に使用することができる。

図３は、図２と類似のガラス製造装置１００の断面斜視図を示している。一部の実施形態では、ガラス製造装置１００は、形成楔２０９を備えることに限定されない。むしろ、一部の実施形態では、図示していないが、形成容器１４０は、入口導管１４１（例えば、図１に示す入口導管１４１）から溶融材料１２１を受け入れるように向けられたパイプを備えることができる。一部の実施形態では、パイプは、溶融材料１２１が貫流することができるスロットを備えることができる。例えば、スロットは、パイプの上部でパイプの軸線に沿って延びる細長スロットを備えることができる。一部の実施形態では、パイプに第１の周囲場所で第１の壁を取り付けることができ、第２の周囲場所で第２の壁を取り付けることができる。第１の壁及び第２の壁は、１対の下方傾斜収束面部分を備えることができる。第１の壁及び第２の壁は、形成容器の中に中空領域を少なくとも部分的に定めることができる。一部の実施形態では、パイプを備えるパイプ壁、第１の壁、及び／又は第２の壁は、約０．５ｍｍから約１０ｍｍ、約０．５ｍｍから約７ｍｍ、約０．５ｍｍから約３ｍｍ、約１ｍｍから約１０ｍｍ、約１ｍｍから約７ｍｍ、約３ｍｍから約１０ｍｍ、約３ｍｍから約７ｍｍの範囲、又はこれら値の間のいずれかの範囲又は部分範囲にある厚みを備えることができる。上述の範囲にある厚みは、厚めの壁を備える実施形態と比較して低い全材料コストをもたらすことができる。

図３に示すように、ガラス製造装置１００は、ガラス形成材料のリボン１０３の区域を冷却するための１又は２以上の冷却装置３０１を備えることができる。例えば、一部の実施形態では、１又は２以上の冷却装置３０１は、第１の冷却装置３０３、第２の冷却装置３０５などを備えることができる。第１の冷却装置３０３は、延伸平面２１３の第１の側に配置することができ、第２の冷却装置３０５は、延伸平面２１３の第２の側に配置することができる。従って、延伸平面２１３は（従って、例えば、ガラス形成材料のリボン１０３は）、第１の冷却装置３０３と第２の冷却装置３０５との間を延びることができる。２つの冷却装置を示すが、１又は２以上の冷却装置３０１は、例えば、進行方向１５４に関して第１の冷却装置３０３及び／又は第２の冷却装置３０５の上流又は下流に位置付けられた追加の冷却装置を備えることができる。一部の実施形態では、第１の冷却装置３０３と第２の冷却装置３０５は、実質的に同一とすることができる。従って、本出願での第１の冷却装置３０３の構造及び機能の説明は、第２の冷却装置３０５及び他の冷却装置に当て嵌めることができる。

第１の冷却装置３０３を参照すると、第１の冷却装置３０３は、第１の端部３１９とその反対とすることができる第２の端部３２１とを備えることができる冷却チューブ３０７を備えることができる。一部の実施形態では、第２の端部３２１は、進行経路２２１に隣接して位置決めすることができる。例えば、進行経路２２１に隣接するように位置決めされることにより、第２の端部３２１の方が第１の端部３１９よりも進行経路２２１に近く、従って、第１の冷却装置３０３は、冷却流体（例えば、相変化を受けて気体３２２になる冷却剤粒子３１５）をガラス形成材料のリボン１０３に向けて放出してガラス形成材料のリボン１０３の区域３２５の冷却をもたらすことができる。例えば、第２の端部３２１が進行経路２２１に隣接した状態で、冷却剤粒子３１５は、第２の端部３２１から放出することができ、その後に、冷却剤粒子３１５は、進行経路２２１の近くで高い温度の結果として相変化（例えば、固体又は液体からの）を受けて気体３２２になることができる。相変化は、区域３２５を冷却することができる。一部の実施形態では、冷却チューブ３０７は、冷却剤供給源３０９から冷却流体を受け入れることができるように冷却剤供給源３０９と流体連通することができる。例えば、冷却剤供給源３０９は、ポンプ、二酸化炭素吸収装置、カートリッジ、蒸気発生器、圧縮器、及び／又は圧力容器を備えることができる。一部の実施形態では、冷却剤供給源３０９は、気相、液相、又は固相のうちの１又は２以上の冷却流体を貯留することができる。

一部の実施形態では、冷却チューブ３０７は、ノズル３１１を備えることができる。ノズル３１１は、第２の端部３２１に取り付けること及び／又はそれと流体連通することができる。ノズル３１１は、冷却流体を第２の端部３２１から受け入れることができ、その後に、冷却流体は、ノズル３１１の出口３１３を出ることができる。一部の実施形態では、冷却流体は、出口３１３を出ることができ、中心軸線３１７に沿って延伸平面２１３に向う（従って、例えば、ガラス形成材料のリボン１０３に向う）流れ方向３２３に流れることができる。中心軸線３１７は、ノズル３１１及び進行経路２２１と交差することができる。例えば、一部の実施形態では、中心軸線３１７は、進行経路２２１に対して実質的に垂直とすることができる。しかし、一部の実施形態では、中心軸線３１７は、進行経路２２１に対して垂直ではない場合があり、進行経路２２１に対して９０度よりも大きいか又は小さい角度を成すことができる。一部の実施形態では、冷却流体は、出口３１３から流出する時に１又は２以上の冷却剤粒子３１５を備えることができる。一部の実施形態では、１又は２以上の冷却剤粒子３１５は、液体及び／又は固体の粒子を備えることができる。１又は２以上の冷却剤粒子３１５は、冷却流体が出口３１３から流出した後に１又は２以上の冷却剤粒子３１５が中心軸線３１７に沿う流れ方向３２３に進行する時に気体３２２等への相変化を受ける場合がある。一部の実施形態では、第１の冷却装置３０３は、区域３２５でのガラス形成材料のリボン１０３の温度を低減することができ、第２の冷却装置３０５は、区域３２７でのガラス形成材料のリボン１０３の温度を低減することができる。

一部の実施形態では、ガラスリボンを製造する方法は、ガラス形成材料のリボン１０３を形成する段階と、ガラス形成材料のリボン１０３を進行方向１５４に進行経路２２１に沿って移動する段階とを備えることができる。例えば、ガラス形成材料のリボン１０３は、溶融材料１２１（例えば、図１に示す）を堰２０３、２０４を超えて外面２０５、２０６の上に下方に流すことによってトラフ２０１から溢流させることによって形成することができる。一部の実施形態では、ガラス形成材料のリボン１０３は、進行経路２２１に沿う下方の進行方向１５４に移動することができる。ガラス形成材料のリボン１０３は、進行経路２２１に沿って移動する時に第１の冷却装置３０３及び第２の冷却装置３０５のそばを通過することができる。ガラス形成材料のリボン１０３が進行方向１５４に移動する時に、ガラス形成材料のリボン１０３の１又は２以上の部分を第１の冷却装置３０３及び／又は第２の冷却装置３０５によって冷却することができるように、第１の冷却装置３０３及び第２の冷却装置３０５をガラス形成材料のリボン１０３に隣接させることができる。

図４は、図３の線４－４に沿う第１の冷却装置３０３の冷却チューブ３０７の断面図を示している。図５は、図４の線５－５に沿う第１の冷却装置３０３の冷却チューブ３０７の断面図を示している。図４～図５を参照すると、冷却チューブ３０７は第１のチューブ４０１を備えることができる。第１のチューブ４０１は、第１のチャネル４０５を取り囲む閉鎖第１側壁４０３を備えることができる。一部の実施形態では、第１のチューブ４０１は、第１のチャネル４０５の中に第１の冷却流体４０７を受け入れることができる（例えば、図３に示す冷却剤供給源３０９から）。閉鎖されることにより、閉鎖第１側壁４０３は、開口部、オリフィス、空隙、又は通気口などが不在とすることができ、これは、第１の冷却流体４０７が閉鎖第１側壁４０３を通過することによって第１のチャネル４０５を出ることを防止することができる。一部の実施形態では、閉鎖第１側壁４０３は、第１のチャネル４０５を形成することができる中空内部を定めることができる。

第１のチューブ４０１は、第１の端部４１１と第２の端部４１３の間を延びることができる。第１の端部４１１は、図３の冷却剤供給源３０９と取り付け状態及び／又は流体連通状態にすることができる。第１の端部４１１とは反対の第１のチューブ４０１の端部に位置付けることができる第２の端部４１３は、ガラス形成材料のリボン１０３に隣接及び対面するように配置することができる。従って、第１のチューブ４０１は、第１の端部４１１に位置付けられた入口４１７と第２の端部４１３に位置付けられた出口４１９とを備えることができる。第１のチューブ４０１は、第１の冷却流体４０７を第１の端部４１１にある入口４１７を通して第１のチャネル４０５の中に受け入れることができる。第１の冷却流体４０７は、第１のチャネル４０５から第２の端部４１３にある出口４１９を通ることで第１のチューブ４０１を出ることができる。一部の実施形態では、第１のチューブ４０１は、ステンレス鋼、ニッケル合金、チタン合金、モリブデン合金、タングステン合金、又はコバルト合金のうちの１又は２以上のような熱伝導性材料を備えることができる。例えば、ステンレス鋼の熱伝導度は、約１６．３ワット／（メートル×ケルビン）とすることができ、ニッケル合金の熱伝導度は、約９１ワット／（メートル×ケルビン）とすることができ、チタン合金の熱伝導度は、約６ワット／（メートル×ケルビン）から約２２ワット／（メートル×ケルビン）の範囲にあるとすることができ、モリブデン合金の熱伝導度は、約１３８ワット／（メートル×ケルビン）とすることができ、タングステン合金の熱伝導度は、約１７４ワット／（メートル×ケルビン）とすることができ、コバルト合金の熱伝導度は、約１００ワット／（メートル×ケルビン）とすることができる。一部の実施形態では、金属材料を備える第１のチューブ４０１に起因して、第１のチューブ４０１は熱伝導性を有することができ、従って、熱を効率的に伝導することができる。一部の実施形態では、第１のチューブ４０１は、第１の端部４１１と第２の端部４１３の間で実質的に一定の断面サイズを備えることができる。第１のチューブ４０１の断面サイズは、第１のチューブ４０１がそれに沿って延びる長手軸線４１５に対して垂直な軸線に沿って閉鎖第１側壁４０３の内面間で測定することができる。例えば、第１のチューブ４０１は、第１の端部４１１と第２の端部４１３の間で実質的に一定の直径を備えることができるような円形断面形状を備えることができる。一部の実施形態では、第１のチューブ４０１の内面を横断する断面サイズ（例えば、直径）は、約０．０５ｍｍから約２ｍｍの範囲又は約０．２５ｍｍから約０．７５ｍｍの範囲にあるとすることができる。第１のチューブ４０１の断面サイズは、第１のチューブ４０１内の第１の冷却流体４０７の相（例えば、液相又は固相）を維持することを助けることができる圧力降下を第１の端部４１１と第２の端部４１３の間で達成することができるように選択することができる。しかし、第１のチューブ４０１は、一定断面サイズに限定されず、図７～図８に例示し、それに関して説明するように、一部の実施形態では非一定断面サイズを備えることができる。

一部の実施形態では、冷却チューブ３０７は、第２のチューブ４３１を備えることができる。第２のチューブ４３１は、第２のチャネル４３５を取り囲む閉鎖第２側壁４３３を備えることができる。第１のチューブ４０１は、第２のチャネル４３５を閉鎖第１側壁４０３と閉鎖第２側壁４３３の間に置くことができるように第２のチューブ４３１内に位置決めすることができる。例えば、内部に位置決めされることにより、第１のチューブ４０１を第２のチューブ４３１内に受け入れることができ、従って、第２のチューブ４３１は、第１のチューブ４０１の断面サイズ（例えば、直径）よりも大きい断面サイズ（例えば、直径）を備えることができる。一部の実施形態では、第１のチューブ４０１と第２のチューブ４３１は同軸とすることができ、長手軸線４１５に沿って延びることができる。一部の実施形態では、長手軸線４１５に直交する軸線４３７は、閉鎖第１側壁４０３及び閉鎖第２側壁４３３と交差することができる。例えば、長手軸線４１５から進んで軸線４３７は、最初に第１のチャネル４０５を通過し、次に、閉鎖第１側壁４０３、第２のチャネル４３５（例えば、閉鎖第１側壁４０３と閉鎖第２側壁４３３の間に位置付けられた）、閉鎖第２側壁４３３を通過することができる。

一部の実施形態では、第２のチューブ４３１は、第２の冷却流体４４１を第２のチャネル４３５の中に受け入れることができ、その後に、第２の冷却流体４４１は、閉鎖第１側壁４０３と閉鎖第２側壁４３３の間の第２のチャネル４３５内で流れることができる。例えば、第１のチューブ４０１と第２のチューブ４３１の間に空間（例えば、第２のチャネル４３５）を位置付けることができるように、第２のチャネル４３５を中空とし、他の構造がないとすることができる。閉鎖されていることにより、閉鎖第２側壁４３３は、開口部、オリフィス、空隙、又は通気口などが不在とすることができ、これは、第２の冷却流体４４１が閉鎖第２側壁４３３を通過することによって第２のチャネル４３５を出ることを防止することができる。閉鎖第１側壁４０３も開口部が不在であることにより、第２の冷却流体４４１は第２のチャネル４３５の中に留まることができ、閉鎖第１側壁４０３を通過することができない。第２のチューブ４３１は、第１の端部４４５と第２の端部４４７の間を延びることができる。一部の実施形態では、第１の端部４４５とは反対の第２のチューブ４３１の端部に位置付けることができる第２の端部４４７は、ガラス形成材料のリボン１０３に隣接して位置決めすることができる。一部の実施形態では、第２のチューブ４３１は、入口４５１と出口４５５とを備えることができる。入口４５１は、第２の冷却流体４４１の進入４５７に対する開口部を備えることができ、それによって第２の冷却流体４４１は、入口４５１を貫流することによって第２のチャネル４３５に流入することができる。出口４５５は、第２の冷却流体４４１の退出４５９に対する開口部を備えることができ、それによって第２の冷却流体４４１は、出口４５５を貫流することによって第２のチャネル４３５を出ることができる。一部の実施形態では、入口４５１は、第２のチューブ４３１の第２の端部４４７に隣接して位置決めすることができ、出口４５５は、第２のチューブ４３１の第１の端部４４５に隣接して位置決めすることができる。例えば、一部の実施形態では、第２のチューブ４３１は、それを取り囲むことができるような耐火材料４６１内に位置決めすることができる。一部の実施形態では、耐火材料４６１は、ノズル３１１（例えば、図４に示す）を取り囲まない場合があるが、一部の実施形態ではノズル３１１を取り囲むことができる。耐火材料４６１がノズル３１１を取り囲む場合に、進入４５７は、第２の冷却流体４４１がノズル３１１の壁を冷却することを可能にすることができる。一部の実施形態では、入口４５１は、耐火材料４６１内の開口部と流体連通することができ、それによって第２の冷却流体４４１の進入４５７は、耐火材料４６１内の開口部及び入口４５１を貫流することができる。第２のチャネル４３５を貫流した後に、第２の冷却流体４４１は、出口４５５を通って出ることによって第２のチャネル４３５を出ることができる。一部の実施形態では、出口４５５と流体連通することができる第２の開口部を耐火材料４６１内に形成することができる。従って、第２の冷却流体４４１の退出４５９は、出口４５５及び耐火材料４６１内の第２の開口部を貫流することができる。一部の実施形態では、第２の冷却流体４４１は、第１の冷却流体４０７と同じ方向又は反対の方向（例えば、図５に示すように）に流れることができる。

一部の実施形態では、第２のチューブ４３１は、第１の端部４４５と第２の端部４４７の間に実質的に一定の断面サイズを備えることができる。第２のチューブ４３１の断面サイズは、長手軸線４１５に対して垂直な軸線４３７に沿って閉鎖第２側壁４３３の内面間で測定することができる。例えば、第２のチューブ４３１は、第１の端部４４５と第２の端部４４７の間で実質的に一定の直径を備えることができるような円形断面形状を備えることができる。しかし、第２のチューブ４３１はそのように限定されず、一部の実施形態では非一定断面サイズを備えることができる。第２のチューブ４３１は、第１のチューブ４０１を第２のチューブ４３１の中に受け入れることができるように第１のチューブ４０１の断面サイズよりも大きい断面サイズを備えることができる。

一部の実施形態では、冷却チューブ３０７は、第１のチューブ４０１に取り付けられたノズル３１１を備えることができる。例えば、一部の実施形態では、ノズル３１１は、閉鎖第１側壁４０３の第２の端部４１３に取り付けることができる。一部の実施形態では、第１のチューブ４０１に取り付けられることにより、ノズル３１１を閉鎖第１側壁４０３と一体形成することができる。一部の実施形態では、ノズル３１１は、一体形成されずに閉鎖第１側壁４０３に取り付けることができる。例えば、１又は２以上の機械ファスナは、ノズル３１１と閉鎖第１側壁４０３とを取り付けることができる。機械ファスナは、例えば、作動中にノズル３１１が閉鎖第１側壁４０３から不用意に離脱することが制限されるように接着剤、ロッキング構造（例えば、雄－雌螺合係合）、溶接取り付けなどを備えることができる。耐火材料４６１は、ノズル３１１のうちのいずれも取り囲まない、一部を取り囲む、又は全てを取り囲むことができる。例えば、一部の実施形態では、耐火材料４６１は、ノズル３１１の一部又は全てを取り囲むことができ、それに対して他の実施形態ではノズル３１１を取り囲まない場合がある。

ノズル３１１は、第１のチャネル４０５と流体連通することができるノズルキャビティ４６７を備えることができる。例えば、流体連通していることにより、ノズル３１１は、第１の冷却流体４０７を受け入れ（例えば、ノズルキャビティ４６７の中に）、第１の冷却流体４０７を進行経路２２１に向けて誘導することができる。一部の実施形態では、ノズルキャビティ４６７は実質的に中空とすることができ、第１の冷却流体４０７が閉鎖第１側壁４０３の第２の端部４１３から流出した後に流入するチャンバを形成することができる。ノズル３１１は、いくつかの異なる形状、例えば、円錐形状、高さ（例えば、図１に示す進行方向１５４に沿う）よりも大きい幅（例えば、図１に示す幅Ｗの方向に沿う）を備える細長円錐形状などを備えることができる。

一部の実施形態では、ノズル３１１は拡散器を備えることができる。一部の実施形態では、拡散器は、流体が通過することができる開口部を定める壁を備えることができる。壁開口部は、流体の速度が拡散器内で低下することができるように流体の流れ方向に対する拡大する断面サイズを備えることができる。理論によって束縛されることは望まないが、拡散器は、ノズル３１１内の第１の冷却流体４０７の速度を低下（例えば、低減）させることができ、これは、第１の冷却流体４０７がガラス形成材料のリボン１０３の面に接触する可能性を抑制する（例えば、低減する、低下させる、排除する）ことができる。更に、理論によって束縛されることは望まないが、拡散器は、第１の冷却流体４０７が負のジュール－トムソン係数を備える時に拡散器を貫流する第１の冷却流体４０７の温度を低減することができる。一部の実施形態では、冷却剤供給源３０９とノズル３１１の間に粒子（例えば、液滴、固体粒子）を提供するための霧化器を配置することができる。

一部の実施形態では、ノズル３１１は、沸騰ノズルを備えることができる。一部の実施形態では、沸騰ノズルは、流体の流れ方向に対して収束する（例えば、断面サイズを縮小させる）入口セクション、それに続く流体の流れ方向に対して拡大する（例えば、断面サイズを拡大させる）出口セクションを備えることができる。理論によって束縛されることは望まないが、沸騰ノズルは、第１の冷却流体４０７を粒子に分離するために第１の冷却流体４０７の運動エネルギ（例えば、加速）を用いて粒子（例えば、液滴、固体粒子）を発生させることができる。一部の実施形態では、沸騰ノズルによって加速された時に、第１の冷却流体４０７の一部分が気体への相転移（例えば、「沸騰」）を受ける場合がある。一部の実施形態では、第１の冷却流体４０７の複数の部分は、第１の冷却流体４０７がノズル３１１での加速中に希薄される時に第１の冷却流体４０７の表面張力に基づいて互いに分離する場合がある。

一部の実施形態では、ノズル３１１はせん断ノズルを備えることができる。一部の実施形態では、流体を粒子に分離することができるように流体が衝突することができる渦巻きを形成する面を備えることができる。理論によって束縛されることは望まないが、せん断ノズルは、第１の冷却流体４０７から粒子（例えば、液滴、固体粒子）を発生させることができる。一部の実施形態では、せん断ノズルは、その中に導入されるせん断力に基づいて第１の冷却流体４０７を粒子に分離させる流体回転運動を誘導することができる。追加の実施形態では、せん断ノズルは、第１の冷却流体４０７と別の流体（例えば、気体）とを混合することによって粒子（例えば、液滴、固体粒子）を形成することができる。更に別の実施形態では、せん断ノズル内で第１の冷却流体４０７を別の流体が取り囲むことができる。理論によって束縛されることは望まないが、第１の冷却流体４０７と他の流体の間のせん断は、冷却剤粒子を生成することができる。

図６を参照すると、一部の実施形態では、ガラスリボンを製造する方法は、第１のチューブ４０１を通して第１の冷却流体４０７をノズル３１１に向けて送出する段階を備えることができる。例えば、第１の冷却流体４０７は、冷却剤供給源３０９（例えば、図３に示す）によって供給することができる。冷却剤供給源３０９は、第１の冷却流体４０７を第１の端部４１１にある入口４１７を通して第１のチャネル４０５の中に送出することができる。第１の冷却流体４０７は、第１の端部４１１から第２の端部４１３に向う流れ方向６０１に流れることができる。第２の端部４１３に達した後に、第１の冷却流体４０７は、出口４１９を通って第１のチャネル４０５を出ることができ、ノズルキャビティ４６７の中に受け入れられることによってノズル３１１に流入することができる。一部の実施形態では、第１の冷却流体４０７は、第１のチューブ４０１内で相変化を受ける場合がある。例えば、第１の冷却流体４０７は、冷却剤供給源３０９から第１のチューブ４０１の中に注入することができる液体を備えることができる。第１の冷却流体４０７は、第１のチューブ４０１内で圧力降下に遭遇し、第１のチューブ４０１内のある領域が液体粒子と気体との混合物を備えることができるように第１の冷却流体４０７に液体から気体への相変化を受けさせることができる。圧力が第１のチューブ４０１に沿って低下し続けると、液体は、固体への相変化を受けることができる。

一部の実施形態では、ガラスリボンを製造する方法は、第１のチューブ４０１を取り囲む第２のチューブ４３１を通して第２の冷却流体４４１をそれが第１のチューブ４０１との対流接触状態になるように送出することによって第１のチューブ４０１を冷却する段階を備えることができる。例えば、第２の冷却流体４４１は、入口４５１を通して第２のチューブ４３１に送出することができる。第２の冷却流体４４１は、第２のチャネル４３５を通って出口４５５まで進行することができ、その後に、第２のチャネル４３５を出ることができる。一部の実施形態では、第２の冷却流体４４１は、第１の冷却流体４０７が第１のチューブ４０１を通って進行するのと同じ方向に流れ方向６０１に沿って進行することができる。一部の実施形態では、第２の冷却流体４４１は、第１の冷却流体４０７が第１のチューブ４０１を通って進行するのと反対の方向に流れ方向６０１と反対に進行することができる。一部の実施形態では、第２の冷却流体４４１は、気体、例えば、酸素、窒素など、及び／又は液体、例えば、液体二酸化炭素、液体窒素などを備えることができる。第２のチャネル４３５が第１のチューブ４０１を取り囲むことに起因して、第２の冷却流体４４１は、閉鎖第１側壁４０３を取り囲むことができる。

一部の実施形態では、第２のチューブ４３１を通して第２の冷却流体４４１を送出することによって第１のチューブ４０１を冷却する段階は、第２の冷却流体４４１を用いて周囲環境６０３から熱を吸収することによって周囲環境６０３から第１のチューブ４０１を熱的に遮断する段階を備えることができる。第１のチューブ４０１を周囲環境６０３から熱的に遮断することにより、第２の冷却流体４４１は、周囲環境６０３から熱を吸収することができ、それによって第２の冷却流体４４１の第１の温度増大と第１の冷却流体４０７の第２の温度増大とをもたらすことができる。しかし、第２の冷却流体４４１が第１のチューブ４０１を取り囲むことに起因して、第１の温度増大を第２の温度増大よりも大きくすることができ、従って、第１の冷却流体４０７に対する周囲環境６０３の高温の効果を軽減することができる。例えば、第２のチャネル４３５を通過する周囲環境６０３と第１のチューブ４０１の間の経路に起因して、第１のチューブ４０１を周囲環境６０３から熱的に遮断することができる。一部の実施形態では、周囲環境６０３は、第１の冷却流体４０７と比較して高い温度にある場合がある。第１の冷却流体４０７を高温に露出させると、第１のチャネル４０５内で固体又は液体粒子から気体への第１の冷却流体４０７の相変化をもたらす場合がある。この相変化の結果として少なめの量の第１の冷却流体４０７（例えば、気体形態にある）のみが第１のチューブ４０１の第１の端部４１１に到達し、従って、第１の冷却流体４０７の冷却機能を制限する場合がある。従って、第２の冷却流体４４１は、第１のチューブ４０１を周囲環境６０３の高温から熱的に遮断し、それによって第１の冷却流体４０７を熱的に遮断することができる。例えば、第２の冷却流体４４１は、第２のチャネル４３５を貫流する時に周囲環境６０３から熱の一部分を吸収することができる。

一部の実施形態では、閉鎖第１側壁４０３は、第２のチャネル４３５から第１のチャネル４０５を遮断することができる。例えば、閉鎖第１側壁４０３は、開口部、オリフィス、空隙、又は通気口などが不在とすることができ、これは、第１の冷却流体４０７が第１のチャネル４０５から第２のチャネル４３５に閉鎖第１側壁４０３を通過することを防止することができる。同様に、第２の冷却流体４４１が第２のチャネル４３５から第１のチャネル４０５に閉鎖第１側壁４０３を通過することを防止することができる。従って、本方法は、第２の冷却流体４４１が第２のチューブ４３１を通して送出され、かつ第１の冷却流体４０７が第１のチューブ４０１の端部（例えば、第２の端部４１３）から誘導される時に第１の冷却流体４０７を第２の冷却流体４４１から遮断することができる（例えば、第１の冷却流体４０７を第１のチャネル４０５の中に維持し、例えば、第２の冷却流体４４１を第２のチャネル４３５の中に維持することにより）。

一部の実施形態では、本方法は、第１の冷却流体４０７を第１のチューブ４０１の第２の端部４１３からノズル３１１を通してガラス形成材料のリボン１０３の区域３２５に向けて誘導することによって区域３２５（例えば、ガラス形成材料のリボン１０３の）を冷却する段階を備えることができる。例えば、液相、固相、又は気相のうちの１又は２以上の１又は２以上の冷却剤粒子３１５を備えることができる第１の冷却流体４０７は、第２の端部４１３にある第１のチューブ４０１の出口４１９を出ることができ、ノズル３１１のノズルキャビティ４６７を通過することができる。一部の実施形態では、区域３２５を冷却する段階は、第１の冷却流体４０７がガラス形成材料のリボン１０３の区域３２５に向けて流れている間に第１の冷却流体４０７の相を変化させる段階を備えることができる。例えば、ノズル３１１を出る１又は２以上の冷却剤粒子３１５は、進行経路２２１に向う流れ方向６０１に沿って進行することができる。一部の実施形態では、第１の冷却流体４０７が流れ方向６０１に沿って進行する時に、第１の冷却流体４０７の一部分は相変化を受ける場合があり、蒸発する場合がある。例えば、ノズル３１１とガラス形成材料のリボン１０３の区域３２５との間の周囲温度は、１又は２以上の冷却剤粒子３１５の少なくとも一部を気体３２２に変換することができるようにこれらの１又は２以上の冷却剤粒子３１５に液相又は固相から気相への相変化を受けさせることによって蒸発させるほど十分に高く（例えば、約４００℃から約１０００℃の範囲にある）、冷却剤粒子３１５の沸点よりも高くすることができる。一部の実施形態では、相変化は（例えば、１又は２以上の冷却剤粒子３１５を蒸発させて気体３２２を形成するための）、第１の冷却流体４０７がノズル３１１から吐出された後であるが、１又は２以上の冷却剤粒子３１５がガラス形成材料のリボン１０３に到達する前に発生することが可能である。しかし、一部の実施形態では、周囲温度は、第１の冷却流体４０７の沸点よりも高い場合があり、従って、第１の冷却流体４０７は、第１のチューブ４０１内でノズル３１１から吐出される前に相変化を受けるリスクにある場合がある。例えば、一部の実施形態では、第１の冷却流体４０７は、二酸化炭素、水、液体窒素などを備えることができる。

一部の実施形態では、ガラス形成材料のリボン１０３に到達する前に相変化を受けて蒸発する第１の冷却流体４０７の部分は、１又は２以上の冷却剤粒子３１５のいずれも進行経路２２１に到達してガラス形成材料のリボン１０３に接触することのないように第１の冷却流体４０７の全てを備えることができる。一部の実施形態では、ガラス形成材料のリボン１０３に到達する前に相変化を受けて蒸発する第１の冷却流体４０７の部分は、第１の冷却流体４０７の一部（全てではない）しか備えず、従って、１又は２以上の冷却剤粒子３１５のうちの一部は、進行経路２２１に到達してガラス形成材料のリボン１０３に接触する場合がある。しかし、ガラス形成材料のリボン１０３に接触する（例えば、気体３２２に変換されない）１又は２以上の冷却剤粒子３１５の量は、ガラス形成材料のリボン１０３の品質に影響を及ぼさないように十分に小さくすることができる。気体３２２への１又は２以上の冷却剤粒子３１５の蒸発は、いくつかの利益をもたらすことができる。例えば、１又は２以上の冷却剤粒子３１５が相変化を受けて蒸発し、気体３２２を形成する時は、気温の低減を達成することができる。例えば、ガラス形成材料のリボン１０３に隣接する気温を低減することができ、それによってノズル３１１に隣接するガラス形成材料のリボン１０３を冷却することができる。更に、気体３２２を形成することにより、冷却剤粒子３１５のうちの一部しか又はいずれもガラス形成材料のリボン１０３に接触せず、従って、ガラス形成材料のリボン１０３の面上への材料の堆積の可能性を低減することができる。

一部の実施形態では、本方法は、第１の冷却流体４０７の流れを第２の端部４１３に到達する前（例えば、ノズル３１１に到達する前）に第１のチューブ４０１の第１の部分６１９内で加速することによって第１のチューブ４０１内の第１の冷却流体４０７の相変化を制御する段階を備えることができる。例えば、一部の実施形態では、第１の部分６１９内で第１の冷却流体４０７の流れを加速することにより、第１の冷却流体４０７が第１の部分６１９内で費やす時間量を第１の部分６１９内で第１の冷却流体４０７の流れを加速しない実施形態と比較して低減することができる。一部の実施形態では、第１のチューブ４０１は、第１の部分６１９と第２の部分６２１とを備えることができる。第２の部分６２１は、第１のチューブ４０１の第１の端部４１１と第１の部分６１９との間に位置付けることができる。第１の部分６１９は、第２の端部４１３と第２の部分６２１の間に位置付けることができる。従って、第２の端部４１３を第１の部分６１９から分離する距離は、第２の端部４１３を第２の部分６２１から分離する距離よりも小さくすることができる。第１の冷却流体４０７は、第１のチャネル４０５内で流れる１又は２以上の冷却剤粒子６２３を備えることができる。１又は２以上の冷却剤粒子６２３は、液体粒子、固体粒子、及び／又は気体粒子を備えることができる。一部の実施形態では、１又は２以上の冷却剤粒子６２３が液体粒子から気体粒子への又は固体粒子から気体粒子への相変化を受ける時に、密度の変化が発生することができ、この密度変化は、１又は２以上の冷却剤粒子６２３の加速をもたらすことができる。

一部の実施形態では、第１のチューブ４０１の第１の部分６１９内で第１の冷却流体４０７の流れを加速する段階は、第１の部分６１９内で液相又は固相の一方又は両方から気相への第１の冷却流体４０７の一部分の相変化を可能にする段階を備えることができる。例えば、一部の実施形態では、第１のチューブ４０１の第１の部分６１９の温度は、第２の部分６２１の温度よりも高くすることができる。この温度変化は、ガラス形成材料のリボン１０３の近くの温度が第１のチューブ４０１の第１の端部４１１の近くの温度よりも高いことに部分的に起因する場合がある。ガラス形成材料のリボン１０３の近く（従って、例えば、第２の端部４１３の近く）のより高い温度に起因して、第１の部分６１９の中にあって第１の端部４１１よりも第２の端部４１３に向けて近い１又は２以上の冷却剤粒子６２３の一部分が相変化（例えば、固相又は液相から気相への）を受け、それによって第１の部分６１９内で加速をもたらすことができる。第１の冷却流体４０７の一部分の相変化を可能にする段階は、いくつかの手法でもたらすことができる。例えば、一部の実施形態では、入口４５１に流入する第２の冷却流体４４１の温度は、第１の部分６１９内の第１の冷却流体４０７の一部分が相変化を受けることができ、それによって第１の部分６１９内で第１の冷却流体４０７の流れを加速することができるように選択することができる。一部の実施形態では、より多くの量の第１の冷却流体４０７が第１の部分６１９内で相変化を受けることができるように、閉鎖第１側壁４０３の厚みは、相変化を可能にするために第１の部分６１９で第２の部分６２１と異なることが可能である。更に別の実施形態では、第１のチューブ４０１の異なる冷却性能に関して、第１の冷却流体４０７の一部分が相変化を受けることを可能にすることができるように、第２のチューブ４３１は、相変化を可能にするために第１の部分６１９で第２の部分６２１でとは異なる厚みを備えることができる。

一部の実施形態では、本方法は、第１の冷却流体４０７が第１のチューブ４０１の端部からノズル３１１を通して誘導された後に吸引によって第１の冷却流体４０７を抽出する段階を備えることができる。例えば、一部の実施形態では、第１の冷却装置３０３は、ノズル３１１に隣接するように位置決めされた吸引ノズル６５１を備えることができる。吸引ノズル６５１は、流体を吸引ノズル６５１の中に吸い込む（例えば、矢印６５３で示す）ことができる開口部を定めることができる。一部の実施形態では、吸引ノズル６５１は、区域３２５の近くのかつノズル３１１の近くの環境６０３から空気を除去することができる。空気を除去することにより、吸引ノズル６５１は、ノズル３１１の近くの環境６０３内の圧力を低減することができ、それによって気体３２２及び１又は２以上の冷却剤粒子３１５を吸引ノズル６５１内への経路（例えば、矢印６５３で示す）に沿って吸引することができる。図６には１つの吸引ノズル６５１を示すが、一部の実施形態では、複数の吸引ノズル６５１をノズル３１１に近くに設けることができる。吸引ノズル６５１は、いくつかの利益をもたらすことができる。例えば、ノズル３１１から流出した後の第１の冷却流体４０７の相変化に起因して環境６０３の密度が変化する場合がある。この密度変化は、環境６０３内の圧力に影響を及ぼす場合があり、この影響は、ガラス形成材料のリボン１０３に対して望ましくない効果を有する場合がある。いずれの望ましくない効果も低減するために、吸引ノズル６５１は、気体３２２及び１又は２以上の冷却剤粒子３１５を吸引することができる。

図７～図８を参照すると、第１の冷却装置７０１の追加の実施形態が例示されている。図７～図８に示す第１の冷却装置７０１は、図３～図６に示す第１の冷却装置３０３と同様とすることができる。例えば、図７を参照すると、第１の冷却装置７０１は、第１のチューブ４０１と耐火材料４６１によって囲まれた第２のチューブ４３１とを備える冷却チューブ３０７を備えることができる。一部の実施形態では、第１のチューブ４０１は、その内面間で測定される非一定断面サイズを第１の端部４１１と第２の端部４１３の間に備えることができる。例えば、第１のチューブ４０１は、第１の端部４１１と第２の端部４１３の間の第１の場所７０５で第１の断面サイズ７０３を備え、第２の端部４１３に隣接する第２の場所７０９で第２の断面サイズ７０７を備えることができる。一部の実施形態では、断面サイズは、長手軸線４１５に対して垂直な方向に沿って第１のチューブ４０１の内面を分離する最大距離を備えることができる。例えば、第１のチューブ４０１が円形の断面形状を備える時に、第１の断面サイズ７０３及び第２の断面サイズ７０７は、第１のチューブ４０１の直径（例えば、直線距離）を備えることができる。一部の実施形態では、断面サイズは、長手軸線４１５に対して垂直な平面に沿う第１のチューブ４０１の面積を備えることができる。

第１の場所７０５は、第１のチューブ４０１の第２の部分６２１内で第１の端部４１１と第１の部分６１９との間の場所に位置付けることができる。第２の場所７０９は、第１のチューブ４０１の第１の部分６１９内で第２の端部４１３と第２の部分６２１との間の場所に位置付けることができる。一部の実施形態では、第１の断面サイズ７０３（例えば、第１の場所７０５での）は、第２の断面サイズ７０７（例えば、第２の場所７０９での）とは異なることができ、例えば、第１の断面サイズ７０３は、第２の断面サイズ７０７よりも大きいとすることができる。例えば、第１のチューブ４０１は、縮小する断面サイズを備えることができ、第１の端部４１１での第１のチューブ４０１の断面サイズは、第２の端部４１３での第１のチューブ４０１の断面サイズよりも大きいとすることができる。非一定断面サイズは、いくつかの手法で達成することができる。例えば、一部の実施形態では、第１のチューブ４０１が第１の部分６１９で小さい第２の断面サイズ７０７を備えることができるように、閉鎖第２側壁４３３は、第１の部分６１９で第２の部分６２１よりも大きい厚みを備えることができる。

図８を参照すると、一部の実施形態では、ガラスリボンを製造する方法は、第１の冷却流体４０７の流れを第２の端部４１３に到達する前に第１のチューブ４０１の第１の部分６１９内で加速することによって第１のチューブ４０１内の第１の冷却流体４０７の相変化を制御する段階を備えることができる。例えば、第１の冷却流体４０７の流れを加速する段階は、第１の冷却流体４０７の流れ方向６０１に関して第１のチューブ４０１の第１の部分６１９の断面サイズを低減する段階を備えることができる。断面サイズの低減は、例えば、第１のチューブ４０１の一部分の断面サイズを一時的に低減するために第１のチューブ４０１の外面に力を印加する段階を備えることができる能動的低減ではなく、第１のチューブ４０１の寸法の静的低減を備えることができる。能動的低減の代わりに、断面サイズの低減は、第１の端部４１１から第２の端部４１３への流れ方向６０１に関して低減する第１のチューブ４０１の寸法を備えることができる。一部の実施形態では、第１のチューブ４０１は、非一定厚みの閉鎖第１側壁４０３を備えることができ、１つの場所（例えば、第２の部分６２１）では、閉鎖第１側壁４０３は、別の場所（例えば、第１の部分６１９）でのものよりも小さい厚みを備えることができる。閉鎖第１側壁４０３の異なる厚みは、第２の部分６２１から第１の部分６１９への第１のチューブ４０１の狭窄化に起因して断面サイズの低減を達成することができる。

これに加えて又はこれに代えて、一部の実施形態では、断面サイズの低減を達成するための補助構造を第１のチューブ４０１内の第１の部分６１９の場所に配置することができる。一部の実施形態では、断面サイズの低減に起因して第１のチューブ４０１を貫流する１又は２以上の冷却剤粒子３１５の流速が、第１の部分６１９を貫流する時に第２の断面サイズ７０７が第１の断面サイズ７０３よりも大きいことに起因して増大することが可能である。第１の部分６１９内で第１の冷却流体４０７の流れを加速することにより、第１の冷却流体４０７が第１の部分６１９内で費やす時間量を第１の部分６１９内の第１の冷却流体４０７の流れが加速されない実施形態と比較して低減することができる。一部の実施形態では、第１のチューブ４０１の第１の部分６１９の温度を第２の部分６２１の温度よりも高くすることができる。第１の冷却流体４０７が第１の部分６１９内で相変化を受ける可能性を低減するために、第１の部分６１９の小さい断面サイズは、第１の冷却流体４０７が第１の部分６１９内で費やす時間量の低減を容易にすることができる。その結果、第１の部分６１９内の第１の冷却流体４０７の相変化を制限し、それによってより多くの量の冷却剤粒子３１５が気体３２２に変換される前にノズル３１１を通過することを可能にすることができる。

図９を参照すると、第１の冷却装置の追加の実施形態９０１が例示されている。第１の冷却装置９０１は、いくつかの点で図３～図８に示す第１の冷却装置３０１、７０１と同様とすることができる。しかし、一部の実施形態では、第１の冷却装置９０１は、第１の冷却流体４０７に対する流路９０３を定める開口部９０５を第１のチューブ４０１内に備えることができる。例えば、第１のチューブ４０１の第２の端部４１３に隣接するように、１又は２以上の開口部（例えば、開口部９０５）を閉鎖第１側壁４０３内に形成することができる。従って、第１の冷却流体４０７の一部分は、第２の端部４１３から流出してノズル３１１を通過し、一方で第１の冷却流体４０７の別の部分は、流路９０３に沿って進んで開口部９０５を通過することができる。開口部９０５は、第２のチャネル４３５と流体連通することができる。第１の冷却流体４０７は、開口部９０５を通過することができ、その後に、第１のチューブ４０１を冷却することによって第２の冷却流体４４１として機能し、出口４５５に向けて流れることができる。一部の実施形態では、第１の冷却装置９０１の利益は、入口４５１（例えば、図８～図８に示す）を設けない場合があることであり、従って、第２の独立した冷却流体を第２のチャネル４３５に供給しない場合があることである。代わりに第１の冷却流体４０７が、第１のチューブ４０１を冷却することによって図５～図８の第２の冷却流体４４１として機能することができる。

この出願で例示して説明する冷却チューブ３０７は、いくつかの利益を提供することができる。例えば、第１のチューブ４０１を第２のチューブ４３１内に位置決めすることにより、第１のチューブ４０１の第１のチャネル４０５を第２のチャネル４３５とは別個の雰囲気として維持することができる。例えば、第１のチューブ４０１は、開口部のない閉鎖第１側壁４０３を備えることができ、同時に第２のチューブ４３１は、開口部のない閉鎖第２側壁４３３を備えることができる。従って、第１のチューブ４０１は、第１の冷却流体４０７を受け入れて伝達することができ、同時に第２のチューブ４３１は、第２の冷却流体４４１を受け入れて伝達することができる。第１の冷却流体４０７と第２の冷却流体４４１とは混合し合わない又は混合しない場合があり、そのために第１の冷却流体４０７は、区域３２５を冷却するために第１のチューブ４０１からガラス形成材料のリボン１０３に向けて放出することができ、第２の冷却流体４４１は、第１のチューブ４０１を冷却するために閉鎖第１側壁４０３に接触することができる。従って、第２の冷却流体４４１は、第１のチューブ４０１を冷却し、第１の冷却流体４０７を周囲環境の高温から熱的に遮断することができる。第１のチューブ４０１を冷却することにより、第１のチャネル４０５内にある間の第１の冷却流体４０７の意図しない相変化の可能性を回避することができる。第１の冷却流体４０７の意図しない相変化を制限することにより、第１の冷却流体４０７は、ガラス形成材料のリボン１０３に隣接する場所で固体又は液体から気体３２２への相変化を受け、それによって区域３２５を冷却することができる１又は２以上の冷却剤粒子３１５の形態で第１のチューブ４０１から放出することができる。

これに加えて、一部の実施形態では、冷却チューブ３０７は、第２の端部４１３の近くの例えば第１のチューブ４０１の第１の部分６１９内の場所での第１の冷却流体４０７の流れの加速を容易にすることができる。例えば、ガラス形成材料のリボン１０３に近い場所では、周囲環境６０３の温度は、第１の端部４１１の近くの温度と比較して高い場合がある。第１の冷却流体４０７が第１の部分６１９内で費やす時間量を低減するために、第１のチューブ４０１は、第２の部分６２１（例えば、第１の場所７０５での第１の断面サイズ７０３）と比較して小さい断面サイズ（例えば、第２の場所７０９での第２の断面サイズ７０７）を備えることができる。一部の実施形態では、第１の冷却流体４０７が第１の部分６１９内で費やす時間量を低減するために、第１の部分６１９内の第１の冷却流体４０７の一部分の相変化を可能にすることができる。この相変化は、密度変化をもたらすことができ、それによって第１の冷却流体４０７を加速することができる。更に、第１のチューブ４０１は、第１の端部４１１と第２の端部４１３の間の圧力降下を容易にすることができる断面サイズ、例えば、直径を備えることができる。例えば、一部の実施形態では、第１のチューブ４０１内の直径は、約０．２５ｍｍから約０．７５ｍｍの範囲にあるとすることができる。圧力降下が過度に大きい時に、第１のチューブ４０１内の第１の冷却流体４０７の流速は、第２の端部４１３で過度に低い場合がある。より小さい圧力降下では、第１のチューブ４０１内で予め決められた温度での相変化（例えば、液相又は固相から気相への）を制限しながら、第１の冷却流体４０７の望ましい流速を維持することができる。

様々な実施形態をそのある一定の例示的かつ具体的な例に関して詳細に説明したが、以下の特許請求の範囲から逸脱することなく本発明の開示の特徴の多くの修正及び組合せが可能であるので、本発明の開示は、そのような実施形態に限定されるように見なすべきではないことを理解しなければならない。

１０３ ガラス形成材料のリボン
３０３ 第１の冷却装置
３０７ 冷却チューブ
４０３ 閉鎖第１側壁
４６７ ノズルキャビティ

Claims (20)

1. 進行方向に延びる進行経路を定める形成装置であって、ガラス形成材料のリボンを該進行方向に該進行経路に沿って搬送するように構成された前記形成装置と、
   第１の端部と、該第１の端部の反対側で前記進行経路に隣接するように位置決めされた第２の端部とを備える冷却チューブであって、
   第１のチャネルを取り囲む閉鎖第１側壁を備える第１のチューブであって、第１の冷却流体を該第１のチャネル内に受け入れるように構成された前記第１のチューブ、
   第２のチャネルを取り囲む閉鎖第２側壁を備える第２のチューブであって、前記第１のチューブが、該第２のチャネルが前記閉鎖第１側壁と該閉鎖第２側壁の間にあるように該第２のチューブ内に位置決めされ、該第２のチューブが、第２の冷却流体を該第２のチャネル内に受け入れるように構成される前記第２のチューブ、及び
   前記第１のチューブに取り付けられたノズルであって、該ノズルが、前記第１のチャネルと流体連通しているノズルキャビティを備え、該ノズルが、前記第１の冷却流体を受け入れて該第１の冷却流体を前記進行経路に向けて誘導するように構成される前記ノズル、
   を備える前記冷却チューブと、
   を備えることを特徴とするガラス製造装置。
2. 前記第１のチューブは、前記第１の端部と前記第２の端部の間の第１の場所で第１の断面サイズ、及び該第２の端部に隣接する第２の場所で第２の断面サイズを備え、
   前記第１の断面サイズは、前記第２の断面サイズとは異なっている、
   ことを特徴とする請求項１に記載のガラス製造装置。
3. 前記第１の断面サイズは、前記第２の断面サイズよりも小さいことを特徴とする請求項２に記載のガラス製造装置。
4. 前記第１のチューブ及び前記第２のチューブは、同軸であり、かつ長手軸線に沿って延びることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のガラス製造装置。
5. 前記長手軸線と直交する軸線が、前記閉鎖第１側壁及び前記閉鎖第２側壁と交差することを特徴とする請求項４に記載のガラス製造装置。
6. 前記閉鎖第１側壁は、前記第１のチャネルを前記第２のチャネルから隔離することを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のガラス製造装置。
7. ガラス形成材料のリボンを形成する段階と、
   前記ガラス形成材料のリボンを進行方向に進行経路に沿って移動する段階と、
   第１の冷却流体を第１のチューブを通してノズルに向けて送出する段階と、
   前記第１のチューブを該第１のチューブ内の前記第１の冷却流体の相を維持するために前記第２の冷却流体が該第１のチューブと対流接触するように第２の冷却流体を該第１のチューブを取り囲む第２のチューブを通して送出することによって冷却する段階と、
   前記ガラス形成材料のリボンの区域を前記第１のチューブの端部から前記ノズルを通して該ガラス形成材料のリボンの該区域に向けて前記第１の冷却流体を誘導することによって冷却する段階と、
   を備えることを特徴とするガラスリボンを製造する方法。
8. 前記第２の冷却流体が前記第２のチューブを通して送出される時及び前記第１の冷却流体が前記第１のチューブの前記端部から誘導される時に該第１の冷却流体を該第２の冷却流体から隔離する段階を更に備えることを特徴とする請求項７に記載の方法。
9. 前記第１のチューブを前記冷却する段階は、該第１のチューブを周囲環境から前記第２の冷却流体を用いて該周囲環境から熱を吸収することによって熱的に遮断する段階を備えることを特徴とする請求項８に記載の方法。
10. 前記第１のチューブの第１の部分内の前記第１の冷却流体の流れを該第１のチューブの前記端部に到達する前に加速することによって該第１のチューブ内の該第１の冷却流体の相変化を制御する段階を更に備えることを特徴とする請求項７から９のいずれか一項に記載の方法。
11. 前記加速する段階は、前記第１の冷却流体の流れ方向に対する前記第１のチューブの前記第１の部分の断面サイズを低減する段階を備えることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
12. 前記加速する段階は、前記第１の部分内の前記第１の冷却流体の一部分の液相又は固相のうちの１又は２以上から気相への相変化を可能にする段階を備えることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
13. 前記区域を前記冷却する段階は、前記第１の冷却流体の前記相を該第１の冷却流体が前記ガラス形成材料のリボンの前記区域に向けて流れている間に変化させる段階を備えることを特徴とする請求項７から１２のいずれか一項に記載の方法。
14. 前記第１の冷却流体は、二酸化炭素を備えることを特徴とする請求項７から１３のいずれか一項に記載の方法。
15. ガラス形成材料のリボンを形成する段階と、
    前記ガラス形成材料のリボンを進行方向に進行経路に沿って移動する段階と、
    第１の冷却流体を第１のチューブを通してノズルに向けて送出する段階と、
    前記第１のチューブ内の前記第１の冷却流体の相変化を該第１のチューブの第１の部分内の該第１の冷却流体の流れを前記ノズルに到達する前に加速することによって制御する段階と、
    前記ガラス形成材料のリボンの区域を前記第１のチューブの端部から前記ノズルを通して前記第１の冷却流体を該ガラス形成材料のリボンの該区域に向けて誘導することによって冷却する段階と、
    を備えることを特徴とするガラスリボンを製造する方法。
16. 前記加速する段階は、前記第１の冷却流体の流れ方向に対する前記第１のチューブの前記第１の部分の断面サイズを低減する段階を備えることを特徴とする請求項１５に記載の方法。
17. 前記加速する段階は、前記第１の部分内の前記第１の冷却流体の一部分の液相又は固相のうちの１又は２以上から気相への相変化を可能にする段階を備えることを特徴とする請求項１５に記載の方法。
18. 前記区域を前記冷却する段階は、前記第１の冷却流体の相を該第１の冷却流体が該区域に向けて流れている間に変化させる段階を備えることを特徴とする請求項１５から１７のいずれか一項に記載の方法。
19. 前記第１の冷却流体は、二酸化炭素を備えることを特徴とする請求項１５から１８のいずれか一項に記載の方法。
20. 前記第１の冷却流体を該第１の冷却流体が前記第１のチューブの前記端部から前記ノズルを通して誘導された後に吸引によって抽出する段階を更に備えることを特徴とする請求項１５から１９のいずれか一項に記載の方法。

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