JP2023517860A - 基板容器のためのマニホールド - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、全ての目的のために参照によりその全体が本明細書に組み込まれた、2020年3月6日に出願された米国仮特許出願第62/986142号の利益および優先権を主張する。
態様1~15のいずれも態様16および17のいずれかと組み合わせることができる。
Claims (20)
- 基板容器であって、
内部空間を画定するシェルであって、前記シェルは、前側開口部と、第1の側壁と、第2の側壁と、後壁と、底壁と、前記シェルの前記前側開口部に沿って相対する壁部の間に延びる前側エッジと、を含む、シェルと、
前記後壁よりも前記シェルの前記前側開口部のより近くで、前記底壁、前記上壁、前記第1の側壁および/または前記第2の側壁に取り付けられたマニホールドとを備えており、前記マニホールドは、
パージガスの気流を受け取るように構成された入口と、
前記パージガスの気流を前記内部空間内へ分配するように構成されたガス分配面を含むガス分配部分とを備えており、前記ガス分配部分は、前記シェルの前側エッジに沿って相対する壁部の間の方向に延びる前記ガス分配面を含む、基板容器。 - 前記マニホールドの前記入口が、前記シェルの前記底壁における入口ポートに取り付けられている、請求項1に記載の基板容器。
- 前記ガス分配部分が、前記第1の側壁と前記第2の側壁との間の距離の大部分に沿って延びる長さを有する、請求項1に記載の基板容器。
- 前記ガス分配面が、前記パージガスの少なくとも一部を前記シェルの前記前側開口部に向かう方向に分配するように構成されている、請求項1に記載の基板容器。
- 前記ガス分配面が、多孔質材料を含む、請求項1に記載の基板容器。
- 前記ガス分配面が、前記ガス分配面の長さに沿って前記第1の側壁と前記第2の側壁との間に配置された複数の開口部を含む、請求項1に記載の基板容器。
- 前記マニホールドが、前記基板容器の前記内部空間からの前記パージガスの排気を容易にするように構成された出口を含む、請求項1に記載の基板容器。
- 前記底壁、前記上壁、前記第1の側壁または前記第2の側壁のそれぞれが、前記内部空間に面した内面を有し、前記マニホールドが、前記パージガスを前記ガス分配面から、前記マニホールドが取り付けられたそれぞれの前記底壁、前記上壁、前記第1の側壁または前記第2の側壁の前記内面に対して所定の角度で分配するように構成されている、請求項1に記載の基板容器。
- 前記マニホールドが、少なくとも、前記第1の側壁の前記前側エッジに沿って延びるガス分配面を有する第1のガス分配部分と、前記シェルの前記第2の側壁の前側エッジのうちの1つに沿って延びるガス分配面を有する第2のガス分配部分とを含み、前記第1の側壁が、前記シェルの前記第2の側壁とは反対側にある、請求項1に記載の基板容器。
- 前記マニホールドが、前記ガス分配面を含む前記ガス分配部分を支持するフレームを含む、請求項1に記載の基板容器。
- 前記内部空間からガスを排出するための出口ポートをさらに含み、前記ガス分配部分が、前記入口と前記出口ポートとの間に延びている、請求項1に記載の基板容器。
- 前記マニホールドが、前記出口ポートに取り付けられた追加的な入口を含む、請求項11に記載の基板容器。
- 前記ガス分配面を含む前記ガス分配部分が、前記容器の前記内部空間内の正圧下のパージガスを、前記ガス分配面を通じて拡散させ、前記出口ポートを介して前記容器から排気させるように構成されている、請求項12に記載の基板容器。
- 前記マニホールドが、前記内部空間からガスを排出するための出口ポートに接続されたガス拡散部分をさらに含む、請求項1に記載の基板容器。
- 前記容器の前記上壁に取り付けられた追加的なマニホールドをさらに含む、請求項1に記載の基板容器。
- 前記シェルが、前記前側開口部とは反対側の後壁を含み、
前記底壁が、パージガスの追加的な気流を前記内部空間に導入するための後側入口ポートを含み、前記後側入口ポートが、前記前側開口部よりも前記後壁の近くに配置されている、請求項1に記載の基板容器。 - 前記内部空間を包囲するように前記シェルによって画定された前記前側開口部内に収容されるように構成されたドアをさらに含む、請求項1に記載の基板容器。
- 基板容器であって、
内部空間を画定するシェルであって、前記シェルは、前側開口部と、第1の側壁と、第2の側壁と、後壁と、上壁と、底壁とを含みかつ前記シェルの前記前側開口部に沿って相対する壁部の間に延びる前側エッジと、前記シェルの前記底壁および/または前記上壁におけるポートとを含む、シェルと、
前記前側開口部の近くで前記シェルに取り付けられたマニホールドとを備えており、前記マニホールドが、
前記内部空間から前記マニホールド内へのパージガスの気流の拡散を可能にするように構成されたガス拡散面を含むガス拡散部分であって、前記ガス拡散部分は、前記シェルの前記第1の側壁と前記第2の側壁との間の方向に延びる前記ガス拡散面を含む、ガス拡散部分と、
前記シェルにおける少なくとも1つの前記ポートに結合された出口とを含んでおり、前記出口は、前記パージガスを前記マニホールドから前記シェルにおける前記少なくとも1つのポートを介して前記基板容器の外部へ排気するように構成されている、基板容器。 - 前記マニホールドが、前記シェルの前記底壁または前記上壁における前記ポートに取り付けられている、請求項18に記載の基板容器。
- 開放している前側開口部を有するときに基板容器をパージする方法であって、
前記基板容器の壁部に配置された前側入口ポートを介して、前記基板容器内に配置されたマニホールドの入口にパージガスの第1の気流を供給することを含み、前記マニホールドは、前記基板容器の後壁よりも前記前側開口部により近く配置されており、
前記マニホールドを介して、前記第1の気流の前記パージガスを前記基板容器の前記内部空間内で分配することを含み、
前記基板容器の壁部における第2の入口ポートを介して、パージガスの第2の気流を前記基板容器の前記内部空間に供給することを含み、前記第2の入口ポートは、前記基板容器の前記前側開口部よりも前記基板容器の前記後壁により近く配置されている、開放している前側開口部を有するときに基板容器をパージする方法。
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