JP2023517036A - 携帯型撮像デバイス - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、参照により本明細書に組み込まれている2020年3月6日に出願した米国仮特許出願第62/986,363号の優先権を主張するものである。
13、14、16 剛体プラットフォームセグメント
14 剛体セクション
16 外側剛体プラットフォームセグメント
17 プラットフォーム
19 感光表面
20 センサ回路基板
21 ペルチェ熱電冷却器
22 受光素子
24 ベースアセンブリ
26 モータ
27 試料
31 矩形画像センサ
32 撮像空間
33 ウェル空間
37 要素
39 試料空間
40 ヒートシンク
41 蓋表面
42 導電性リボンケーブル
43 蓋
44 回路コネクタ
46 マイクロコントローラ回路基板
47 本体部
48 モータマイクロコントローラ
50 コンポーネント
51、53 半円
54 周辺表面
56 細長境界
59 直線
60 細長境界
63 斜めの矩形表面
64 環状スリーブ
66 環状マウント
67、69 半円錐表面
68 フランジ
70 円筒形中心部分
71、73 画像センサの他の2つの、平行な側面
72、74 ポスト
75 フロア
83、85 マイクロコントローラ回路基板ポート
98 フランジ
100 剛体環状外壁
101 移動機構
102 フランジ
103 環状支持体
104 外向きに延在するフランジ
105 ベースフレーム
106 ラック
107 ピニオン
110、112 切欠
111 軸
113 底部隆起部
114、116 ピン
115 ソケット
118、122 ニップル
125 突出要素
133 対向する矩形の斜めの面
134 対向する丸い面
135 ウェル表面
136 ノッチ
142 突出要素
204 画像データ
204、206 信号およびデータ
208 ユーザ
212 デバイス
221 センサ駆動回路
229 ネジ
230 ハンドヘルドハウジング
232 ボトムシェル
233、235 縁
234 トップシェル
236、241、243、237 プレート
238、239 ブリッジセグメント
240 内蔵液晶タッチスクリーン
241 プレート
242 磁石
243 ボトムプレート
244 コンピュータハードウェア
245 ネジ
246 開口
247 ネジ
249 電源ボタン
251 受け領域
257 隆起し湾曲したアライメントセクション
300 照明器ユニット
301 矩形シェル
302 円形アーチ状内側セクション
304 中空円筒形部分
306 回路基板
307 ポスト
309 ネジ
310 レンズ
311 照明駆動回路
312 保持リング
314 照明器ユニットトップの一部
400 クラムシェル型撮像デバイス
401 X軸
402 照明器ユニット、第1のコンポーネント
403 Y軸
404 第2のクラムシェルコンポーネント
406 フレームアセンブリ
408 計算アセンブリ
410 リフトアセンブリ
412 軸
414 ヒンジ
416、418 ベアリング
420 ロータリダンパ
422 内側要素
424 フラップ
425 外側要素
426 ネジ
427 穴
428 レセプタクル
430 内側表面
432 パネル
443 蓋
450 成形プラスチックフレーム
452 センサヘッドボード
456 カプラ
460 エポキシダム
461 ネジ
462 ヘッドボードカバー
463 ワッシャ
464 ナット
470 フレーム
474 スリーブベアリング
476 スリーブベアリング
480 トッププレート
482 カップ
484 フロア部
486 開口
488 仮想軸
490 離れる方向
492 支持アーム
493 送りナット
494 送りネジ
495 ネジ
496 回転アクチュエータ
498 穴
502 リニアシャフト
504 シャフトカラー
508 薄膜
510 カップ
516 シャフト-磁石コネクタ
518 球形磁石
522 バネ
523 端部
524 端部
526 端部
527 穴
528 底部端部
532 Auvidea Jetsonキャリアボード
534 NVIDIA Jetson計算アセンブリ
536 高性能計算システム
538 ネジ
540 スタンドオフ
544 ファン
546 ファンブラケット
548 ネジ
550 ナット
562 内部光源
564 プリント回路基板
566 レンズ
568 上側レンズホルダ
570 下側レンズホルダ
572 フィンガ
574 ネジ
576 穴
578 ナット
600 アレイ
602 光軸
700 マーク
702a、702b、702c 光
703 画像センサ
704 ピクセル
706 高さ
708 柔軟ビーズ
710 原寸
712 有効サイズ
900 使い捨て試料カセット
902 カセットフレーム
904 突出窓
906 カセット開口
908 透明薄膜
910、912、914、916 側壁
918 底部表面
920、922 内側面
924 弾力的アーム
926 バネクリップ
928 縁
930 撮像空間
932 ウェル空間
934 距離
936 隙間
940 移動部分
942、944 係合点
[項1]
装置であって、
試料を受け入れるセンサ表面を有する画像センサを含むベースアセンブリと、
前記ベースアセンブリに接続され、(a)蓋の蓋表面を、前記センサ表面と前記蓋表面との間に撮像空間を画成する位置で受け入れるように構成されている開口と、(b)前記ベースアセンブリに向かう方向におよびそこから離れる方向に移動可能である移動部分とを備えるプラットフォームとを備え、
前記プラットフォームおよび前記ベースアセンブリは前記センサ表面以外での前記試料と前記ベースアセンブリとの接触を制限するように構成される装置。
[項2]
前記プラットフォームは、前記プラットフォームを前記ベースアセンブリに取り付けるように構成されている1つまたは複数の取り付け部分を備える項1に記載の装置。
[項3]
前記プラットフォームは、前記移動部分に結合されている曲げやすい部分を備える項1に記載の装置。
[項4]
前記曲げやすい部分は、少なくとも2つの不連続セクションを備える項3に記載の装置。
[項5]
前記2つの不連続セクションは、前記プラットフォームの剛体セクションによって結合される項4に記載の装置。
[項6]
前記移動部分に結合されている移動機構を備える項1に記載の装置。
[項7]
前記移動機構またはその両方に結合され、前記移動部分を前記ベースアセンブリに向かう方向におよび前記ベースアセンブリから離れる方向に移動するように構成されるアクチュエータを備える項6に記載の装置。
[項8]
前記プラットフォームは、前記周辺表面、前記センサ表面、および別の表面の間に置かれている試料空間に境界を付けるように構成されている周辺表面を備える項1に記載の装置。
[項9]
前記試料空間は、前記撮像空間を含む項8に記載の装置。
[項10]
前記プラットフォームおよび前記ベースアセンブリは、前記試料の一部が前記試料空間内にあるが前記撮像空間の外側にあるように構成される項8に記載の装置。
[項11]
前記プラットフォームの頂面は、1つまたは複数の突出または陥凹特徴部を含む項1に記載の装置。
[項12]
前記突出または陥凹特徴部は、蓋上の特徴部に対応する項11に記載の装置。
[項13]
前記突出または陥凹特徴部は、蓋が傾斜配向で前記移動部分上に載ることを引き起こす項11に記載の装置。
[項14]
蓋表面を有する蓋であって、前記センサ表面と前記蓋表面との間に撮像空間を画成するように構成されている蓋表面を有する蓋を備える項1に記載の装置。
[項15]
前記蓋表面は、前記プラットフォーム開口に嵌合するように構成されている突出要素を備える項14に記載の装置。
[項16]
前記突出要素は、台形プリズムを含む項15に記載の装置。
[項17]
突出要素は、円錐台を含む項15に記載の装置。
[項18]
前記蓋は、使い捨てである項14に記載の装置。
[項19]
前記蓋およびプラットフォームは、試料が前記撮像空間内にある間に前記蓋が前記ベースアセンブリの方へ移動されるときに、前記蓋が前記試料上に載り、前記プラットフォームの前記移動部分によって支持されなくなるように構成される項14に記載の装置。
[項20]
前記蓋およびプラットフォームは、前記蓋が前記ベースアセンブリの方へ移動されるときに、前記蓋表面が前記センサ表面と平行になるように構成される項14に記載の装置。
[項21]
前記蓋表面上に配設される1つまたは複数の薬剤を含む項14に記載の装置。
[項22]
前記ベースアセンブリまたは前記プラットフォームまたは両方は、少なくとも1つの洗浄剤または消毒剤に耐性を有する材料を含む項1に記載の装置。
[項23]
方法であって、
試料をベースアセンブリ上にある画像センサの表面上に置くステップと、
前記試料の少なくとも一部を前記画像センサの前記表面に隣接する撮像空間に閉じ込めるステップと、
前記試料の少なくとも一部を閉じ込めた結果さもなければ生じるであろう前記試料と前記ベースアセンブリとの間の接触を制限するか、または防止するステップとを含む方法。
[項24]
前記画像センサの前記表面で前記試料を混合するステップを含む項23に記載の方法。
[項25]
閉じ込める前記ステップは、前記画像センサの前記表面に向かう方向に蓋の表面を移動するステップを含む項23に記載の方法。
[項26]
蓋の表面をX軸およびY軸に沿って、回転可能に、前記画像センサの前記表面とアライメントするステップを含む項23に記載の方法。
[項27]
前記撮像空間内で前記試料の前記一部を撮像するステップを含む項23に記載の方法。
[項28]
前記試料内の要素を計数するステップを含む項27に記載の方法。
[項29]
前記撮像時に1つまたは複数の薬剤を前記試料中に混合するステップを含む項23に記載の方法。
[項30]
前記画像センサの前記表面で、前記試料を加熱するか、前記試料を冷却するか、または前記試料に対して加熱と冷却の両方を行うステップを含む項23に記載の方法。
[項31]
使い捨て試料カセットであって、
開口を画成するフレームと、
3ミクロン未満の厚さを有する、前記開口を覆う透明膜とを備える使い捨て試料カセット。
[項32]
前記フレームは突出窓を備え、前記突出窓は前記開口を画成する項31に記載のカセット。
[項33]
前記突出窓は、前記突出窓に挿入される蓋を受け入れるように構成されたサイズおよび形状を有する項32に記載のカセット。
[項34]
前記突出窓の前記サイズおよび前記形状は、前記蓋の表面のそれぞれのサイズおよびそれぞれの形状に対応する項33に記載のカセット。
[項35]
前記突出窓の側壁の内側表面は、前記蓋が前記突出窓内に挿入された後に前記側壁と前記蓋との間の隔たりを定めるように整形される項33に記載のカセット。
[項36]
前記カセットを蓋に取り付けるように構成されている1つまたは複数の係合構造を含む項31に記載のカセット。
[項37]
前記係合構造は、前記薄膜に向かう方向および薄膜から離れる方向の前記蓋の移動を可能にする項36に記載のカセット。
[項38]
前記透明膜上に配設される1つまたは複数の薬剤を含む項31に記載のカセット。
[項39]
前記透明膜は2つの対向する表面を備え、前記2つの対向する表面は少なくとも部分的に露出される項31に記載のカセット。
[項40]
前記透明膜は、熱可塑性ポリマーを含む項31に記載のカセット。
[項41]
方法であって、
顕微鏡試料を薄膜上に配設するステップであって、前記薄膜は試料カセット内に画成された開口を覆う、ステップと、
前記試料カセットを画像センサのセンサ表面と接触させるか、または接近させるステップであって、前記薄膜は前記試料と前記センサ表面との間にあり、前記試料の少なくとも一部は前記センサ表面の近視野距離内にある、ステップと、
前記画像センサを使用して前記試料を撮像するステップとを含む方法。
[項42]
前記試料を蓋の蓋表面と接触させるステップであって、前記試料は前記蓋表面と前記薄膜との間にある、ステップと、
前記蓋表面を前記薄膜に向かう方向に移動して前記蓋表面と前記薄膜との間に試料の薄層を形成するステップとを含む項41に記載の方法。
[項43]
試料の前記薄層は、前記試料の要素の単層を含む項42に記載の方法。
[項44]
前記顕微鏡試料の混合を引き起こすように前記蓋表面を前記薄膜に向かう方向におよび前記薄膜から離れる方向に繰り返し移動するステップを含む項42に記載の方法。
[項45]
前記カセットの係合構造を使用して前記蓋を前記カセットに取り付けるステップを含む項42に記載の方法。
[項46]
前記係合構造は、定められた範囲内で前記薄膜に向かう方向および薄膜から離れる方向の前記蓋の移動を可能にする項45に記載の方法。
[項47]
前記薄膜と前記センサ表面との間に液体を堆積するステップを含む項41に記載の方法。
[項48]
コンピュータ実装方法であって、
蓋表面および前記蓋表面と画像センサとの間に配設されている試料の1つまたは複数の画像を取得するステップであって、前記1つまたは複数の画像は前記画像センサによってキャプチャされる、ステップと、
前記1つまたは複数の画像に基づき、前記画像センサの表面に関する前記蓋表面の高さを決定するステップとを含むコンピュータ実装方法。
[項49]
前記蓋表面の前記高さを決定するステップは、
前記蓋表面上のマークを識別するステップと、
前記マークに基づき前記蓋表面の前記高さを決定するステップとを含む項48に記載のコンピュータ実装方法。
[項50]
前記マークの三角測量に基づき前記蓋表面の前記高さを決定するステップを含む項49に記載のコンピュータ実装方法。
[項51]
前記試料はビーズを含み、前記蓋表面の前記高さを決定するステップは、
前記ビーズの変形を決定するステップと、
前記ビーズの前記変形に基づき前記蓋表面の前記高さを決定するステップとを含む項48に記載のコンピュータ実装方法。
[項52]
装置であって、
第1のアセンブリと、第2のアセンブリと、前記第1のアセンブリと前記第2のアセンブリとの間のカップリングとを含むクラムシェルであって、前記カップリングは前記第1のアセンブリを前記第2のアセンブリに関して閉じて、前記第1のアセンブリと前記第2のアセンブリとの間の空間を囲むように構成され、前記カップリングは前記第1のアセンブリの部分と前記第2のアセンブリの部分とを分離して前記空間を露出するようにさらに構成される、クラムシェルと、
受光素子のアレイと、前記空間内に露出される第1の表面とを含むセンサと、
第2の表面を含むチャンバ蓋と、
前記チャンバ蓋を、
前記第2の表面が、前記第1のアセンブリが前記第2のアセンブリに関して閉じられたときに前記第1の表面に向かう方向に制御可能に移動し、
前記第2の表面が、前記第1のアセンブリが前記第2のアセンブリに関して閉じられたときに前記第1の表面から離れる方向に制御可能に移動するように、移動させるように構成される機構とを備える装置。
[項53]
装置であって、
受光素子のアレイおよび第1の表面を含むセンサと、
前記センサを支持する支持体と、
第2の表面を含むチャンバ蓋と、
前記支持体と前記チャンバ蓋との間のカップリングコンポーネントであって、前記第1の表面へのアクセスを提供するために前記支持体に関する前記チャンバ蓋の移動を可能にするように構成されているカップリングコンポーネントと、
前記第1の表面に向かう方向におよびそこから離れる方向に前記チャンバ蓋および前記カップリングコンポーネントを制御可能に移動し、前記カップリングコンポーネントが前記第1の表面に向かう方向に移動されると前記カップリングコンポーネントに関して前記チャンバ蓋が浮遊することを可能にするように構成されている持ち上げ機構とを備える装置。
Claims (53)
- 装置であって、
試料を受け入れるセンサ表面を有する画像センサを含むベースアセンブリと、
前記ベースアセンブリに接続され、(a)蓋の蓋表面を、前記センサ表面と前記蓋表面との間に撮像空間を画成する位置で受け入れるように構成されている開口と、(b)前記ベースアセンブリに向かう方向におよびそこから離れる方向に移動可能である移動部分とを備えるプラットフォームとを備え、
前記プラットフォームおよび前記ベースアセンブリは前記センサ表面以外での前記試料と前記ベースアセンブリとの接触を制限するように構成される装置。 - 前記プラットフォームは、前記プラットフォームを前記ベースアセンブリに取り付けるように構成されている1つまたは複数の取り付け部分を備える請求項1に記載の装置。
- 前記プラットフォームは、前記移動部分に結合されている曲げやすい部分を備える請求項1に記載の装置。
- 前記曲げやすい部分は、少なくとも2つの不連続セクションを備える請求項3に記載の装置。
- 前記2つの不連続セクションは、前記プラットフォームの剛体セクションによって結合される請求項4に記載の装置。
- 前記移動部分に結合されている移動機構を備える請求項1に記載の装置。
- 前記移動機構またはその両方に結合され、前記移動部分を前記ベースアセンブリに向かう方向におよび前記ベースアセンブリから離れる方向に移動するように構成されるアクチュエータを備える請求項6に記載の装置。
- 前記プラットフォームは、前記周辺表面、前記センサ表面、および別の表面の間に置かれている試料空間に境界を付けるように構成されている周辺表面を備える請求項1に記載の装置。
- 前記試料空間は、前記撮像空間を含む請求項8に記載の装置。
- 前記プラットフォームおよび前記ベースアセンブリは、前記試料の一部が前記試料空間内にあるが前記撮像空間の外側にあるように構成される請求項8に記載の装置。
- 前記プラットフォームの頂面は、1つまたは複数の突出または陥凹特徴部を含む請求項1に記載の装置。
- 前記突出または陥凹特徴部は、蓋上の特徴部に対応する請求項11に記載の装置。
- 前記突出または陥凹特徴部は、蓋が傾斜配向で前記移動部分上に載ることを引き起こす請求項11に記載の装置。
- 蓋表面を有する蓋であって、前記センサ表面と前記蓋表面との間に撮像空間を画成するように構成されている蓋表面を有する蓋を備える請求項1に記載の装置。
- 前記蓋表面は、前記プラットフォーム開口に嵌合するように構成されている突出要素を備える請求項14に記載の装置。
- 前記突出要素は、台形プリズムを含む請求項15に記載の装置。
- 突出要素は、円錐台を含む請求項15に記載の装置。
- 前記蓋は、使い捨てである請求項14に記載の装置。
- 前記蓋およびプラットフォームは、試料が前記撮像空間内にある間に前記蓋が前記ベースアセンブリの方へ移動されるときに、前記蓋が前記試料上に載り、前記プラットフォームの前記移動部分によって支持されなくなるように構成される請求項14に記載の装置。
- 前記蓋およびプラットフォームは、前記蓋が前記ベースアセンブリの方へ移動されるときに、前記蓋表面が前記センサ表面と平行になるように構成される請求項14に記載の装置。
- 前記蓋表面上に配設される1つまたは複数の薬剤を含む請求項14に記載の装置。
- 前記ベースアセンブリまたは前記プラットフォームまたは両方は、少なくとも1つの洗浄剤または消毒剤に耐性を有する材料を含む請求項1に記載の装置。
- 方法であって、
試料をベースアセンブリ上にある画像センサの表面上に置くステップと、
前記試料の少なくとも一部を前記画像センサの前記表面に隣接する撮像空間に閉じ込めるステップと、
前記試料の少なくとも一部を閉じ込めた結果さもなければ生じるであろう前記試料と前記ベースアセンブリとの間の接触を制限するか、または防止するステップとを含む方法。 - 前記画像センサの前記表面で前記試料を混合するステップを含む請求項23に記載の方法。
- 閉じ込める前記ステップは、前記画像センサの前記表面に向かう方向に蓋の表面を移動するステップを含む請求項23に記載の方法。
- 蓋の表面をX軸およびY軸に沿って、回転可能に、前記画像センサの前記表面とアライメントするステップを含む請求項23に記載の方法。
- 前記撮像空間内で前記試料の前記一部を撮像するステップを含む請求項23に記載の方法。
- 前記試料内の要素を計数するステップを含む請求項27に記載の方法。
- 前記撮像時に1つまたは複数の薬剤を前記試料中に混合するステップを含む請求項23に記載の方法。
- 前記画像センサの前記表面で、前記試料を加熱するか、前記試料を冷却するか、または前記試料に対して加熱と冷却の両方を行うステップを含む請求項23に記載の方法。
- 使い捨て試料カセットであって、
開口を画成するフレームと、
3ミクロン未満の厚さを有する、前記開口を覆う透明膜とを備える使い捨て試料カセット。 - 前記フレームは突出窓を備え、前記突出窓は前記開口を画成する請求項31に記載のカセット。
- 前記突出窓は、前記突出窓に挿入される蓋を受け入れるように構成されたサイズおよび形状を有する請求項32に記載のカセット。
- 前記突出窓の前記サイズおよび前記形状は、前記蓋の表面のそれぞれのサイズおよびそれぞれの形状に対応する請求項33に記載のカセット。
- 前記突出窓の側壁の内側表面は、前記蓋が前記突出窓内に挿入された後に前記側壁と前記蓋との間の隔たりを定めるように整形される請求項33に記載のカセット。
- 前記カセットを蓋に取り付けるように構成されている1つまたは複数の係合構造を含む請求項31に記載のカセット。
- 前記係合構造は、前記薄膜に向かう方向および薄膜から離れる方向の前記蓋の移動を可能にする請求項36に記載のカセット。
- 前記透明膜上に配設される1つまたは複数の薬剤を含む請求項31に記載のカセット。
- 前記透明膜は2つの対向する表面を備え、前記2つの対向する表面は少なくとも部分的に露出される請求項31に記載のカセット。
- 前記透明膜は、熱可塑性ポリマーを含む請求項31に記載のカセット。
- 方法であって、
顕微鏡試料を薄膜上に配設するステップであって、前記薄膜は試料カセット内に画成された開口を覆う、ステップと、
前記試料カセットを画像センサのセンサ表面と接触させるか、または接近させるステップであって、前記薄膜は前記試料と前記センサ表面との間にあり、前記試料の少なくとも一部は前記センサ表面の近視野距離内にある、ステップと、
前記画像センサを使用して前記試料を撮像するステップとを含む方法。 - 前記試料を蓋の蓋表面と接触させるステップであって、前記試料は前記蓋表面と前記薄膜との間にある、ステップと、
前記蓋表面を前記薄膜に向かう方向に移動して前記蓋表面と前記薄膜との間に試料の薄層を形成するステップとを含む請求項41に記載の方法。 - 試料の前記薄層は、前記試料の要素の単層を含む請求項42に記載の方法。
- 前記顕微鏡試料の混合を引き起こすように前記蓋表面を前記薄膜に向かう方向におよび前記薄膜から離れる方向に繰り返し移動するステップを含む請求項42に記載の方法。
- 前記カセットの係合構造を使用して前記蓋を前記カセットに取り付けるステップを含む請求項42に記載の方法。
- 前記係合構造は、定められた範囲内で前記薄膜に向かう方向および薄膜から離れる方向の前記蓋の移動を可能にする請求項45に記載の方法。
- 前記薄膜と前記センサ表面との間に液体を堆積するステップを含む請求項41に記載の方法。
- コンピュータ実装方法であって、
蓋表面および前記蓋表面と画像センサとの間に配設されている試料の1つまたは複数の画像を取得するステップであって、前記1つまたは複数の画像は前記画像センサによってキャプチャされる、ステップと、
前記1つまたは複数の画像に基づき、前記画像センサの表面に関する前記蓋表面の高さを決定するステップとを含むコンピュータ実装方法。 - 前記蓋表面の前記高さを決定するステップは、
前記蓋表面上のマークを識別するステップと、
前記マークに基づき前記蓋表面の前記高さを決定するステップとを含む請求項48に記載のコンピュータ実装方法。 - 前記マークの三角測量に基づき前記蓋表面の前記高さを決定するステップを含む請求項49に記載のコンピュータ実装方法。
- 前記試料はビーズを含み、前記蓋表面の前記高さを決定するステップは、
前記ビーズの変形を決定するステップと、
前記ビーズの前記変形に基づき前記蓋表面の前記高さを決定するステップとを含む請求項48に記載のコンピュータ実装方法。 - 装置であって、
第1のアセンブリと、第2のアセンブリと、前記第1のアセンブリと前記第2のアセンブリとの間のカップリングとを含むクラムシェルであって、前記カップリングは前記第1のアセンブリを前記第2のアセンブリに関して閉じて、前記第1のアセンブリと前記第2のアセンブリとの間の空間を囲むように構成され、前記カップリングは前記第1のアセンブリの部分と前記第2のアセンブリの部分とを分離して前記空間を露出するようにさらに構成される、クラムシェルと、
受光素子のアレイと、前記空間内に露出される第1の表面とを含むセンサと、
第2の表面を含むチャンバ蓋と、
前記チャンバ蓋を、
前記第2の表面が、前記第1のアセンブリが前記第2のアセンブリに関して閉じられたときに前記第1の表面に向かう方向に制御可能に移動し、
前記第2の表面が、前記第1のアセンブリが前記第2のアセンブリに関して閉じられたときに前記第1の表面から離れる方向に制御可能に移動するように、移動させるように構成される機構とを備える装置。 - 装置であって、
受光素子のアレイおよび第1の表面を含むセンサと、
前記センサを支持する支持体と、
第2の表面を含むチャンバ蓋と、
前記支持体と前記チャンバ蓋との間のカップリングコンポーネントであって、前記第1の表面へのアクセスを提供するために前記支持体に関する前記チャンバ蓋の移動を可能にするように構成されているカップリングコンポーネントと、
前記第1の表面に向かう方向におよびそこから離れる方向に前記チャンバ蓋および前記カップリングコンポーネントを制御可能に移動し、前記カップリングコンポーネントが前記第1の表面に向かう方向に移動されると前記カップリングコンポーネントに関して前記チャンバ蓋が浮遊することを可能にするように構成されている持ち上げ機構とを備える装置。
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