JP2023516260A - 研磨ヘッド保持リングの傾動モーメント制御 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (20)
- 基板の表面を研磨するための基板キャリアであって、
研磨プロセス中に基板を囲むように構成された保持リングであって、
前記研磨プロセス中に研磨パッドの表面に接触するように構成された第1の面と、
前記保持リングの前記第1の面の反対側にある第2の面と、
前記第2の面に形成された凹部のアレイと
を含む保持リングと、
複数の荷重ベアリングピンであって、
前記複数の荷重ベアリングピンの各荷重ベアリングピンは、接触面と、長さを有する本体とを含み、
前記複数の荷重ベアリングピンの各荷重ベアリングピンの前記長さの少なくとも一部は、前記凹部のアレイの各凹部内に配置され、
前記複数の荷重ベアリングピンの各荷重ベアリングピンの前記接触面は、前記研磨プロセス中に、それが配置された前記凹部の表面に対して位置決め可能である、
複数の荷重ベアリングピンと
を備える、基板キャリア。 - 前記複数の荷重ベアリングピンの1又は複数に結合されたアクチュエータアセンブリを更に備え、前記アクチュエータアセンブリは、前記複数の荷重ベアリングピンの1又は複数の前記接触面の位置を、それが配置された前記凹部の表面に対して調整するように構成される、請求項1に記載の基板キャリア。
- 支持面を含むキャリア部材
を更に備え、
前記アクチュエータアセンブリは更に、
前記支持面と、前記複数の荷重ベアリングピンの各荷重ベアリングピンの一部との間に配置された戻しバネと、
前記キャリア部材に結合され、前記接触面の位置が前記凹部の表面に対して調整されるときに前記戻しバネを圧縮又は減圧するように構成された荷重力アクチュエータと
を含む、請求項2に記載の基板キャリア。 - 前記複数の荷重ベアリングピンの1又は複数に結合された1又は複数のアクチュエータアセンブリを更に備え、前記1又は複数のアクチュエータアセンブリは、前記複数の荷重ベアリングピンの1又は複数の前記接触面の位置を、それが配置された前記凹部の表面に対して調整するように構成され、アクチュエータアセンブリの数対荷重ベアリングピンの数の比は約1:3から約1:1である、請求項1に記載の基板キャリア。
- キャリア部材と、
前記保持リングと前記キャリア部材との間に配置された荷重印加要素であって、荷重印加部材の内部領域内に正の圧力が印加されたときに、前記保持リングの前記第1の面を研磨パッドに対して押し付けるように構成された荷重印加要素と
を更に備える、請求項1に記載の基板キャリア。 - 前記複数の荷重ベアリングピンの各々は、前記キャリア部材に対して固定される、請求項5に記載の基板キャリア。
- 前記荷重ベアリングピンの各々の前記本体の長さが垂直方向に配向されたときに、前記複数の荷重ベアリングピンの各々は、前記荷重ベアリングピンの前記本体の長さの端部において、前記凹部内に配置された前記荷重ベアリングピンの前記長さの少なくとも一部の残り部分の水平幅よりも大きい水平幅を有する、請求項1に記載の基板キャリア。
- 基板の表面を研磨するための基板キャリアであって、
研磨プロセス中に基板を囲むように構成された保持リングであって、
前記研磨プロセス中に研磨パッドの表面に接触するように構成された第1の面と、
前記保持リングの前記第1の面の反対側にある第2の面と、
前記第2の面に形成された凹部のアレイと
を含む保持リングと、
複数の荷重ベアリングピンであって、前記複数の荷重ベアリングピンの各荷重ベアリングピンは、前記研磨プロセス中に、それが配置された前記凹部の表面に対して位置決め可能な接触面を有する、複数の荷重ベアリングピンと、
前記複数の荷重ベアリングピンの1又は複数に結合された1又は複数のアクチュエータアセンブリであって、前記複数の荷重ベアリングピンの1又は複数の前記接触面の位置を、それが配置された前記凹部の表面に対して調整するように構成された1又は複数のアクチュエータアセンブリと
を備える、基板キャリア。 - 前記複数の荷重ベアリングピンの各荷重ベアリングピンは、長さを有する本体を更に含み、前記複数の荷重ベアリングピンの各荷重ベアリングピンの前記長さの少なくとも一部は、前記凹部のアレイの各凹部内に配置される、請求項8に記載の基板キャリア。
- 前記荷重ベアリングピンの各々の前記本体の長さが垂直方向に配向されたときに、前記複数の荷重ベアリングピンの各々は、前記荷重ベアリングピンの前記本体の長さの端部において、前記凹部内に配置された前記荷重ベアリングピンの前記長さの少なくとも一部の残り部分の水平幅よりも大きい水平幅を有する、請求項9に記載の基板キャリア。
- 支持面を含むキャリア部材
を更に備え、
前記1又は複数のアクチュエータアセンブリは更に、
前記支持面と、前記複数の荷重ベアリングピンの各荷重ベアリングピンの一部との間に配置された戻しバネと、
前記キャリア部材に結合され、前記接触面の位置が前記凹部の表面に対して調整されるときに前記戻しバネを圧縮又は減圧するように構成された荷重力アクチュエータと
を含む、請求項8に記載の基板キャリア。 - アクチュエータアセンブリの数対荷重ベアリングピンの数の比が約1:3から約1:1である、請求項8に記載の基板キャリア。
- 基板を研磨する方法であって、
保持リングの第1の面に形成された凹部のアレイの各凹部に、荷重ベアリングピンの一部を位置決めすることであって、
前記保持リングは、前記保持リングの前記第1の面が配置された側とは反対側に位置決めされた研磨パッド接触面を含み、研磨プロセス中に基板を囲むように構成され、
前記凹部に位置決めされた前記荷重ベアリングピンの部分は接触面を含む、
保持リングの第1の面に形成された凹部のアレイの各凹部に、荷重ベアリングピンの一部を位置決めすることと、
基板キャリアアセンブリを中心キャリア軸の周りで回転させることと、
前記保持リングの前記研磨パッド接触面を研磨パッドの表面に対して押し付けることと
を含み、
前記荷重ベアリングピンの各々の前記接触面は、前記研磨プロセス中に、それが配置された前記凹部の表面に対して位置決め可能である、方法。 - 前記研磨プロセス中に、荷重ベアリングピンの前記接触面の位置を、前記荷重ベアリングピンが配置される前記凹部の表面に対して調整することを更に含む、請求項13に記載の方法。
- 荷重ベアリングピンの前記接触面の位置を調整することは、荷重力アクチュエータによって前記荷重ベアリングピンの一部に供給される力の量を調整することを含む、請求項14に記載の方法。
- 前記凹部のアレイの各凹部に配置された各荷重ベアリングピンの前記接触面の位置を、研磨プロセス中に、荷重ベアリングピンが配置された前記凹部の表面に対して調整することを更に含む、請求項14に記載の方法。
- 前記荷重ベアリングピンの前記接触面の位置を調整することは、前記荷重ベアリングピンの一部と前記基板キャリアアセンブリの一部との間に配置されたバネを圧縮することを含む、請求項14に記載の方法。
- 前記保持リングの一部と前記基板キャリアアセンブリの一部との間に配置された荷重印加部材の内部領域に正の圧力を印加することにより、前記保持リングの前記研磨パッド接触面を研磨パッドに対して押し付けることを更に含む、請求項13に記載の方法。
- 前記荷重ベアリングピンの各々は、前記基板キャリアアセンブリの一部に対して固定される、請求項18に記載の方法。
- 各荷重ベアリングピンの前記接触面は、前記荷重ベアリングピンの残り部分よりも大きい水平幅を有する、請求項13に記載の方法。
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