JP2023513159A - マルチ電子ビームシステム用のマイクロスティグマトールアレイ - Google Patents
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 title claims abstract description 84
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims abstract description 46
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 7
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 25
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 17
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 12
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 11
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 11
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 8
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 7
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 7
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 230000005686 electrostatic field Effects 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 241000473391 Archosargus rhomboidalis Species 0.000 description 3
- 238000003491 array Methods 0.000 description 3
- 238000005421 electrostatic potential Methods 0.000 description 3
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- 201000001997 microphthalmia with limb anomalies Diseases 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 230000007306 turnover Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/10—Lenses
- H01J2237/12—Lenses electrostatic
- H01J2237/1205—Microlenses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/10—Lenses
- H01J2237/12—Lenses electrostatic
- H01J2237/121—Lenses electrostatic characterised by shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/153—Correcting image defects, e.g. stigmators
- H01J2237/1534—Aberrations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2813—Scanning microscopes characterised by the application
- H01J2237/2817—Pattern inspection
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Abstract
Description
φ(r,θ)=φ(-r,θ) (5)
φ(r,θ)=φ(r,-θ) (6)
A61=V/3πR6[sin6α+sin6(α+δ)-sin6(α+β+δ)] (17)
A62=V/3πR6[sin6α+sin6(α+δ)-sin6(α+β+δ)] (18)
A4=A41+A42=0+0=0 (19)
A6=A61+A62=2V/3πR6[sin6α+sin6(α+δ)-sin6(α+β+δ)] (20)
Claims (30)
- 電子源と、
前記電子源から1つ以上の一次電子ビームを受け取るとともに前記1つ以上の一次電子ビームを複数の一次電子ビームレットに分割するように構成されたマイクロレンズアレイ(MLA)と、
複数の12極静電スティグマトールを含むマイクロスティグマトールアレイ(MSA)であって、前記複数の一次電子ビームレットの4次フォーカス収差または6次フォーカス収差の少なくとも一方を除去するように構成されているマイクロスティグマトールアレイと、
前記複数の一次電子ビームレットを受け取るとともに前記複数の一次電子ビームレットを試料の表面に集束するように構成された投射光学部品と
を備えるシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、前記マイクロスティグマトールアレイ(MSA)が、
絶縁基板と、
前記絶縁基板上に配置された複数の12極静電スティグマトールであって、前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールが12枚の導電板を含む、複数の12極静電スティグマトールと、
前記絶縁基板上に配置され、前記複数の12極静電スティグマトールを1つ以上の電圧源に複数の接続ピンを介して電気的に結合するように構成されている複数の電圧接続線であって、前記1つ以上の電圧源が、1つ以上のフォーカス電圧を前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールに印加するように構成されている、複数の電圧接続線と
を備えるシステム。 - 請求項2に記載のシステムであって、前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールが、単一の電圧接続線を用いて前記1つ以上の電圧源に結合されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、1つ以上のプロセッサおよびメモリを含むコントローラをさらに備え、前記1つ以上のプロセッサが、前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールに印加される前記1つ以上のフォーカス電圧を調整するように構成されているシステム。
- 請求項4に記載のシステムであって、前記1つ以上のプロセッサが、前記複数の一次電子ビームレットのそれぞれの一次電子ビームレットの8極電界および12極電界を選択的に除去するために、前記1つ以上のフォーカス電圧を選択的に調整するようにさらに構成されているシステム。
- 請求項4に記載のシステムであって、前記1つ以上のプロセッサが、ウェハ面の前記複数の一次電子ビームレットのそれぞれの一次電子ビームレットの位置を個別に調整するために、前記1つ以上のフォーカス電圧を調整するようにさらに構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記電子源から前記一次電子ビームを受け取るとともに前記一次電子ビームを前記マイクロレンズアレイ(MLA)へ誘導するように構成されたビーム制限アパーチャ(BLA)をさらに備えるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記投射光学部品が伝送レンズおよび対物レンズを含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記電子源が熱電界放出(TFE)源を含む請求項1記載のシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、
前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールの第1の導電板、第3の導電板、第5の導電板、第7の導電板、第9の導電板、および第11の導電板に第1のフォーカス電圧が印加されるシステム。 - 請求項10に記載のシステムであって、第2の導電板、第4の導電板、第6の導電板、第8の導電板、第10の導電板、および第12の導電板に第2のフォーカス電圧が印加されるシステム。
- 請求項11に記載のシステムであって、前記第2のフォーカス電圧がゼロボルト(0V)を含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、
前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールが12枚の導電板を含み、
前記12枚の導電板の各導電板同士がギャップ角度δで分離されており、
第1の導電板、第4の導電板、第7の導電板、および第10の導電板が、板角度2αによって画定され、
第2の導電板、第3の導電板、第5の導電板、第6の導電板、第8の導電板、第9の導電板、第11の導電板、および第12の導電板が、β=45°-α-(3δ/2)である板角度βによって画定されるシステム。 - 絶縁基板と、
前記絶縁基板上に配置された複数の静電スティグマトールであって、複数の一次電子ビームレットを受け取るとともに前記複数の一次電子ビームレットの4次フォーカス収差または6次フォーカス収差の少なくとも一方を除去するように構成された複数の静電スティグマトールと、
前記絶縁基板上に配置され、前記複数の静電スティグマトールを1つ以上の電圧源に複数の接続ピンを介して電気的に結合するように構成されている複数の電圧接続線であって、前記1つ以上の電圧源が、1つ以上のフォーカス電圧を前記複数の静電スティグマトールのそれぞれの静電スティグマトールに印加するように構成されている、複数の電圧接続線と
を備えるマイクロスティグマトールアレイ(MSA)。 - 請求項14に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記複数の一次電子ビームレットのそれぞれの一次電子ビームレットの8極電界および12極電界を選択的に除去するように構成されているマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項14に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記複数の静電スティグマトールが複数の12極静電スティグマトールを含むマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項16に記載のマイクロスティグマトールであって、
前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールが12枚の導電板を含み、
前記12枚の導電板の各導電板同士がギャップ角度δで分離されており、
第1の導電板、第4の導電板、第7の導電板、および第10の導電板が、板角度2αによって画定され、
第2の導電板、第3の導電板、第5の導電板、第6の導電板、第8の導電板、第9の導電板、第11の導電板、および第12の導電板が、β=45°-α-(3δ/2)である板角度βによって画定されるマイクロスティグマトール。 - 請求項16に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールの第1の導電板、第3の導電板、第5の導電板、第7の導電板、第9の導電板、および第11の導電板に第1のフォーカス電圧が印加されるマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項18に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、第2の導電板、第4の導電板、第6の導電板、第8の導電板、第10の導電板、および第12の導電板に第2のフォーカス電圧が印加されるマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項19に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記第2のフォーカス電圧がゼロボルト(0V)を含むマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項14に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記複数の静電スティグマトールが、複数の完全正方形4極静電スティグマトールを含むマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項14に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記複数の静電スティグマトールが複数の長方形4極静電スティグマトールを含むマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項14に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記複数の静電スティグマトールが、4枚の導電板を含む複数の4極静電スティグマトールを備え、各導電板が、それぞれの4極静電スティグマトールの光軸に向かって内側に延びる双曲線状の突出部を含むマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項14に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記複数の静電スティグマトールのそれぞれの静電スティグマトールが、単一の電圧接続線を用いて前記1つ以上の電圧源に結合されているマイクロスティグマトールアレイ。
- 半径Rで環状に配置された12枚の導電板を備える12極静電スティグマトールであって、前記12枚の導電板が、第1の導電板、第2の導電板、第3の導電板、第4の導電板、第5の導電板、第6の導電板、第7の導電板、第8の導電板、第9の導電板、第10の導電板、第11の導電板、および第12の導電板を含み、
前記第1の導電板、前記第3の導電板、前記第5の導電板、前記第7の導電板、前記第9の導電板および前記第11の導電板には、前記一次電子ビームレットの4次フォーカス収差または6次フォーカス収差の少なくとも一方を除去するために、第1のフォーカス電圧が印加される12極静電スティグマトール。 - 請求項25に記載の12極静電スティグマトールであって、前記第2の導電板、前記第4の導電板、前記第6の導電板、前記第8の導電板、前記第10の導電板、および前記第12の導電板に第2のフォーカス電圧が印加される12極静電スティグマトール。
- 請求項26に記載の12極静電スティグマトールであって、前記第2のフォーカス電圧が0Vを含む12極静電スティグマトール。
- 請求項25に記載の12極静電スティグマトールであって、絶縁基板をさらに備え、前記12枚の導電板が前記絶縁基板上に配置される12極静電スティグマトール。
- 請求項25に記載の12極静電スティグマトールであって、12枚の導電板の各導電板同士がギャップ角度δで分離されており、
第1の導電板、第4の導電板、第7の導電板、および第10の導電板が、板角度2αによって画定され、
第2の導電板、第3の導電板、第5の導電板、第6の導電板、第8の導電板、第9の導電板、第11の導電板、および第12の導電板が、β=45°-α-(3δ/2)である板角度βによって画定される12極静電スティグマトール。 - 請求項25に記載の12極静電スティグマトールであって、前記第1の導電板、前記第3の導電板、前記第5の導電板、前記第7の導電板、前記第9の導電板、および前記第11の導電板を1つ以上の電圧源に電気的に結合するように構成された1つ以上の電圧接続線をさらに備える12極静電スティグマトール。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/782,273 | 2020-02-05 | ||
US16/782,273 US11056312B1 (en) | 2020-02-05 | 2020-02-05 | Micro stigmator array for multi electron beam system |
PCT/US2021/016271 WO2021158576A1 (en) | 2020-02-05 | 2021-02-03 | Micro stigmator array for multi-electron beam system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023513159A true JP2023513159A (ja) | 2023-03-30 |
JP7483021B2 JP7483021B2 (ja) | 2024-05-14 |
Family
ID=76658202
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022547677A Active JP7483021B2 (ja) | 2020-02-05 | 2021-02-03 | マルチ電子ビームシステム用のマイクロスティグマトールアレイ |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11056312B1 (ja) |
EP (1) | EP4091187A4 (ja) |
JP (1) | JP7483021B2 (ja) |
KR (1) | KR20220134682A (ja) |
CN (1) | CN115053318B (ja) |
IL (1) | IL294891A (ja) |
TW (1) | TW202137269A (ja) |
WO (1) | WO2021158576A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11651934B2 (en) | 2021-09-30 | 2023-05-16 | Kla Corporation | Systems and methods of creating multiple electron beams |
US20240096586A1 (en) * | 2022-05-31 | 2024-03-21 | Kla Corporation | Method and system of image-forming multi-electron beams |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999033085A1 (en) | 1997-12-22 | 1999-07-01 | Philips Electron Optics B.V. | Correction device for correcting chromatic aberration in particle-optical apparatus |
US6989546B2 (en) | 1998-08-19 | 2006-01-24 | Ims-Innenmikrofabrikations Systeme Gmbh | Particle multibeam lithography |
US7435956B2 (en) | 2004-09-10 | 2008-10-14 | Multibeam Systems, Inc. | Apparatus and method for inspection and testing of flat panel display substrates |
JP5237734B2 (ja) * | 2008-09-24 | 2013-07-17 | 日本電子株式会社 | 収差補正装置および該収差補正装置を備える荷電粒子線装置 |
EP2325862A1 (en) * | 2009-11-18 | 2011-05-25 | Fei Company | Corrector for axial aberrations of a particle-optical lens |
US8536538B2 (en) * | 2011-02-16 | 2013-09-17 | Kla-Tencor Corporation | Multiple-pole electrostatic deflector for improving throughput of focused electron beam instruments |
KR20220141929A (ko) | 2015-03-10 | 2022-10-20 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 복수의 하전 입자 빔을 이용하는 장치 |
US10236156B2 (en) | 2015-03-25 | 2019-03-19 | Hermes Microvision Inc. | Apparatus of plural charged-particle beams |
US10056224B2 (en) | 2015-08-10 | 2018-08-21 | Kla-Tencor Corporation | Method and system for edge-of-wafer inspection and review |
US9754759B2 (en) * | 2015-11-20 | 2017-09-05 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Electrostatic multipole device, electrostatic multipole arrangement, and method of manufacturing an electrostatic multipole device |
JP6550478B2 (ja) * | 2016-04-13 | 2019-07-24 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | マルチビーム装置、荷電粒子ビーム装置、ソース変換ユニット、ソース変換ユニットを構成する方法、仮想的マルチソースアレイを形成するための方法 |
JP2017220413A (ja) * | 2016-06-10 | 2017-12-14 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置および収差補正方法 |
US10497536B2 (en) | 2016-09-08 | 2019-12-03 | Rockwell Collins, Inc. | Apparatus and method for correcting arrayed astigmatism in a multi-column scanning electron microscopy system |
US10347460B2 (en) | 2017-03-01 | 2019-07-09 | Dongfang Jingyuan Electron Limited | Patterned substrate imaging using multiple electron beams |
JP7286630B2 (ja) | 2017-10-02 | 2023-06-05 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | 荷電粒子ビームを用いた装置 |
CN112041965A (zh) | 2018-05-01 | 2020-12-04 | Asml荷兰有限公司 | 多束检查装置 |
JP7198092B2 (ja) | 2018-05-18 | 2022-12-28 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ電子ビーム照射装置、マルチ電子ビーム検査装置及びマルチ電子ビーム照射方法 |
US10811215B2 (en) | 2018-05-21 | 2020-10-20 | Carl Zeiss Multisem Gmbh | Charged particle beam system |
-
2020
- 2020-02-05 US US16/782,273 patent/US11056312B1/en active Active
-
2021
- 2021-02-03 WO PCT/US2021/016271 patent/WO2021158576A1/en unknown
- 2021-02-03 KR KR1020227030218A patent/KR20220134682A/ko not_active Application Discontinuation
- 2021-02-03 JP JP2022547677A patent/JP7483021B2/ja active Active
- 2021-02-03 CN CN202180012116.5A patent/CN115053318B/zh active Active
- 2021-02-03 EP EP21751280.5A patent/EP4091187A4/en active Pending
- 2021-02-03 IL IL294891A patent/IL294891A/en unknown
- 2021-02-05 TW TW110104473A patent/TW202137269A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP4091187A4 (en) | 2024-02-07 |
EP4091187A1 (en) | 2022-11-23 |
TW202137269A (zh) | 2021-10-01 |
WO2021158576A1 (en) | 2021-08-12 |
JP7483021B2 (ja) | 2024-05-14 |
CN115053318B (zh) | 2023-08-11 |
IL294891A (en) | 2022-09-01 |
CN115053318A (zh) | 2022-09-13 |
US11056312B1 (en) | 2021-07-06 |
KR20220134682A (ko) | 2022-10-05 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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