JP7483021B2 - マルチ電子ビームシステム用のマイクロスティグマトールアレイ - Google Patents
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Description
φ(r,θ)=φ(-r,θ) (5)
φ(r,θ)=φ(r,-θ) (6)
A61=V/3πR6[sin6α+sin6(α+δ)-sin6(α+β+δ)] (17)
A62=V/3πR6[sin6α+sin6(α+δ)-sin6(α+β+δ)] (18)
A4=A41+A42=0+0=0 (19)
A6=A61+A62=2V/3πR6[sin6α+sin6(α+δ)-sin6(α+β+δ)] (20)
f(α)=cos3δ+(1+cos6δ)sin6α+sin6δcos6α (23)
Claims (30)
- 電子源と、
前記電子源から1つ以上の一次電子ビームを受け取るとともに前記1つ以上の一次電子ビームを複数の一次電子ビームレットに分割するように構成されたマイクロレンズアレイ(MLA)と、
複数の12極静電スティグマトールを含むマイクロスティグマトールアレイ(MSA)であって、前記複数の一次電子ビームレットの4次フォーカス収差または6次フォーカス収差の少なくとも一方を除去するように構成されているマイクロスティグマトールアレイと、
前記複数の一次電子ビームレットを受け取るとともに前記複数の一次電子ビームレットを試料の表面に集束するように構成された投射光学部品と
を備えるシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、前記マイクロスティグマトールアレイ(MSA)が、
絶縁基板と、
前記絶縁基板上に配置された複数の12極静電スティグマトールであって、前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールが12枚の導電板を含む、複数の12極静電スティグマトールと、
前記絶縁基板上に配置され、前記複数の12極静電スティグマトールを1つ以上の電圧源に複数の接続ピンを介して電気的に結合するように構成されている複数の電圧接続線であって、前記1つ以上の電圧源が、1つ以上のフォーカス電圧を前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールに印加するように構成されている、複数の電圧接続線と
を備えるシステム。 - 請求項2に記載のシステムであって、前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールが、単一の電圧接続線を用いて前記1つ以上の電圧源に結合されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、1つ以上のプロセッサおよびメモリを含むコントローラをさらに備え、前記1つ以上のプロセッサが、前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールに印加される前記1つ以上のフォーカス電圧を調整するように構成されているシステム。
- 請求項4に記載のシステムであって、前記1つ以上のプロセッサが、前記複数の一次電子ビームレットのそれぞれの一次電子ビームレットの8極電界および12極電界を選択的に除去するために、前記1つ以上のフォーカス電圧を選択的に調整するようにさらに構成されているシステム。
- 請求項4に記載のシステムであって、前記1つ以上のプロセッサが、ウェハ面の前記複数の一次電子ビームレットのそれぞれの一次電子ビームレットの位置を個別に調整するために、前記1つ以上のフォーカス電圧を調整するようにさらに構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記電子源から前記一次電子ビームを受け取るとともに前記一次電子ビームを前記マイクロレンズアレイ(MLA)へ誘導するように構成されたビーム制限アパーチャ(BLA)をさらに備えるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記投射光学部品が伝送レンズおよび対物レンズを含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、前記電子源が熱電界放出(TFE)源を含む請求項1記載のシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、
前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールの第1の導電板、第3の導電板、第5の導電板、第7の導電板、第9の導電板、および第11の導電板に第1のフォーカス電圧が印加されるシステム。 - 請求項10に記載のシステムであって、第2の導電板、第4の導電板、第6の導電板、第8の導電板、第10の導電板、および第12の導電板に第2のフォーカス電圧が印加されるシステム。
- 請求項11に記載のシステムであって、前記第2のフォーカス電圧がゼロボルト(0V)を含むシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、
前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールが12枚の導電板を含み、
前記12枚の導電板の各導電板同士がギャップ角度δで分離されており、
第1の導電板、第4の導電板、第7の導電板、および第10の導電板が、板角度2αによって画定され、
第2の導電板、第3の導電板、第5の導電板、第6の導電板、第8の導電板、第9の導電板、第11の導電板、および第12の導電板が、β=45°-α-(3δ/2)である板角度βによって画定されるシステム。 - 絶縁基板と、
前記絶縁基板上に配置された複数の静電スティグマトールであって、複数の一次電子ビームレットを受け取るとともに前記複数の一次電子ビームレットの4次フォーカス収差または6次フォーカス収差の少なくとも一方を除去するように構成された複数の静電スティグマトールと、
前記絶縁基板上に配置され、前記複数の静電スティグマトールを1つ以上の電圧源に複数の接続ピンを介して電気的に結合するように構成されている複数の電圧接続線であって、前記1つ以上の電圧源が、1つ以上のフォーカス電圧を前記複数の静電スティグマトールのそれぞれの静電スティグマトールに印加するように構成されている、複数の電圧接続線と
を備えるマイクロスティグマトールアレイ(MSA)。 - 請求項14に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記複数の一次電子ビームレットのそれぞれの一次電子ビームレットの8極電界および12極電界を選択的に除去するように構成されているマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項14に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記複数の静電スティグマトールが複数の12極静電スティグマトールを含むマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項16に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、
前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールが12枚の導電板を含み、
前記12枚の導電板の各導電板同士がギャップ角度δで分離されており、
第1の導電板、第4の導電板、第7の導電板、および第10の導電板が、板角度2αによって画定され、
第2の導電板、第3の導電板、第5の導電板、第6の導電板、第8の導電板、第9の導電板、第11の導電板、および第12の導電板が、β=45°-α-(3δ/2)である板角度βによって画定されるマイクロスティグマトールアレイ。 - 請求項16に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記複数の12極静電スティグマトールのそれぞれの12極静電スティグマトールの第1の導電板、第3の導電板、第5の導電板、第7の導電板、第9の導電板、および第11の導電板に第1のフォーカス電圧が印加されるマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項18に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、第2の導電板、第4の導電板、第6の導電板、第8の導電板、第10の導電板、および第12の導電板に第2のフォーカス電圧が印加されるマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項19に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記第2のフォーカス電圧がゼロボルト(0V)を含むマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項14に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記複数の静電スティグマトールが、複数の完全正方形4極静電スティグマトールを含むマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項14に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記複数の静電スティグマトールが複数の長方形4極静電スティグマトールを含むマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項14に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記複数の静電スティグマトールが、4枚の導電板を含む複数の4極静電スティグマトールを備え、各導電板が、それぞれの4極静電スティグマトールの光軸に向かって内側に延びる双曲線状の突出部を含むマイクロスティグマトールアレイ。
- 請求項14に記載のマイクロスティグマトールアレイであって、前記複数の静電スティグマトールのそれぞれの静電スティグマトールが、単一の電圧接続線を用いて前記1つ以上の電圧源に結合されているマイクロスティグマトールアレイ。
- 半径Rで環状に配置された12枚の導電板を備える12極静電スティグマトールであって、前記12枚の導電板が、第1の導電板、第2の導電板、第3の導電板、第4の導電板、第5の導電板、第6の導電板、第7の導電板、第8の導電板、第9の導電板、第10の導電板、第11の導電板、および第12の導電板を含み、
前記第1の導電板、前記第3の導電板、前記第5の導電板、前記第7の導電板、前記第9の導電板および前記第11の導電板には、一次電子ビームレットの4次フォーカス収差または6次フォーカス収差の少なくとも一方を除去するために、第1のフォーカス電圧が印加される12極静電スティグマトール。 - 請求項25に記載の12極静電スティグマトールであって、前記第2の導電板、前記第4の導電板、前記第6の導電板、前記第8の導電板、前記第10の導電板、および前記第12の導電板に第2のフォーカス電圧が印加される12極静電スティグマトール。
- 請求項26に記載の12極静電スティグマトールであって、前記第2のフォーカス電圧が0Vを含む12極静電スティグマトール。
- 請求項25に記載の12極静電スティグマトールであって、絶縁基板をさらに備え、前記12枚の導電板が前記絶縁基板上に配置される12極静電スティグマトール。
- 請求項25に記載の12極静電スティグマトールであって、12枚の導電板の各導電板同士がギャップ角度δで分離されており、
第1の導電板、第4の導電板、第7の導電板、および第10の導電板が、板角度2αによって画定され、
第2の導電板、第3の導電板、第5の導電板、第6の導電板、第8の導電板、第9の導電板、第11の導電板、および第12の導電板が、β=45°-α-(3δ/2)である板角度βによって画定される12極静電スティグマトール。 - 請求項25に記載の12極静電スティグマトールであって、前記第1の導電板、前記第3の導電板、前記第5の導電板、前記第7の導電板、前記第9の導電板、および前記第11の導電板を1つ以上の電圧源に電気的に結合するように構成された1つ以上の電圧接続線をさらに備える12極静電スティグマトール。
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