JP2023508963A - センサシステムおよび方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 205
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 claims abstract description 431
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 181
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 173
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 75
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 49
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 48
- 210000001124 body fluid Anatomy 0.000 claims description 44
- 230000027455 binding Effects 0.000 claims description 41
- 235000018102 proteins Nutrition 0.000 claims description 38
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 claims description 38
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 claims description 38
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 29
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 28
- 108010067390 Viral Proteins Proteins 0.000 claims description 23
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 17
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 10
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 claims description 9
- 239000008280 blood Substances 0.000 claims description 9
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 claims description 9
- 108010023918 S100 Calcium Binding Protein beta Subunit Proteins 0.000 claims description 8
- 239000010839 body fluid Substances 0.000 claims description 8
- 101710193519 Glial fibrillary acidic protein Proteins 0.000 claims description 7
- 108091005774 SARS-CoV-2 proteins Proteins 0.000 claims description 7
- 241000700605 Viruses Species 0.000 claims description 7
- 239000000090 biomarker Substances 0.000 claims description 7
- 210000005046 glial fibrillary acidic protein Anatomy 0.000 claims description 7
- 108700010900 influenza virus proteins Proteins 0.000 claims description 7
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 claims description 7
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 6
- 102100025038 Ubiquitin carboxyl-terminal hydrolase isozyme L1 Human genes 0.000 claims description 6
- 101710186825 Ubiquitin carboxyl-terminal hydrolase isozyme L1 Proteins 0.000 claims description 6
- OPQRFPHLZZPCCH-PGMHBOJBSA-N [(z)-[5-chloro-1-[(2,5-dichlorophenyl)methyl]-2-oxoindol-3-ylidene]amino] acetate Chemical compound C12=CC=C(Cl)C=C2C(=N/OC(=O)C)/C(=O)N1CC1=CC(Cl)=CC=C1Cl OPQRFPHLZZPCCH-PGMHBOJBSA-N 0.000 claims description 6
- 208000029028 brain injury Diseases 0.000 claims description 6
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 6
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 6
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 6
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 101710154606 Hemagglutinin Proteins 0.000 claims description 5
- 102000005348 Neuraminidase Human genes 0.000 claims description 5
- 108010006232 Neuraminidase Proteins 0.000 claims description 5
- 101710093908 Outer capsid protein VP4 Proteins 0.000 claims description 5
- 101710135467 Outer capsid protein sigma-1 Proteins 0.000 claims description 5
- 101710176177 Protein A56 Proteins 0.000 claims description 5
- 229940096437 Protein S Drugs 0.000 claims description 5
- 101710198474 Spike protein Proteins 0.000 claims description 5
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 5
- 150000002632 lipids Chemical class 0.000 claims description 5
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 claims description 5
- 210000003296 saliva Anatomy 0.000 claims description 5
- 150000003384 small molecules Chemical class 0.000 claims description 5
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 claims description 4
- 108060003393 Granulin Proteins 0.000 claims description 4
- 208000002606 Paramyxoviridae Infections Diseases 0.000 claims description 4
- 241000907316 Zika virus Species 0.000 claims description 4
- 239000005018 casein Substances 0.000 claims description 4
- BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N casein, tech. Chemical compound NCCCCC(C(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CC(C)C)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(C(C)O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=O)N=C(O)C(COP(O)(O)=O)N=C(O)C(CCC(O)=N)N=C(O)C(N)CC1=CC=CC=C1 BECPQYXYKAMYBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 235000021240 caseins Nutrition 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 210000002700 urine Anatomy 0.000 claims description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 125000002485 formyl group Chemical group [H]C(*)=O 0.000 claims 4
- 239000003154 D dimer Substances 0.000 claims 3
- 102100027723 Endogenous retrovirus group K member 6 Rec protein Human genes 0.000 claims 3
- 101710091045 Envelope protein Proteins 0.000 claims 3
- 102100039289 Glial fibrillary acidic protein Human genes 0.000 claims 3
- 241000713772 Human immunodeficiency virus 1 Species 0.000 claims 3
- 108090001074 Nucleocapsid Proteins Proteins 0.000 claims 3
- 101710188315 Protein X Proteins 0.000 claims 3
- 108010052295 fibrin fragment D Proteins 0.000 claims 3
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 33
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 120
- 239000000306 component Substances 0.000 description 95
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 49
- 230000008569 process Effects 0.000 description 40
- 239000000463 material Substances 0.000 description 34
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 33
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 26
- 238000001363 water suppression through gradient tailored excitation Methods 0.000 description 25
- 239000012491 analyte Substances 0.000 description 23
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 22
- 230000008859 change Effects 0.000 description 20
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 18
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 13
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 13
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 12
- 230000006870 function Effects 0.000 description 12
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 11
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 10
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 10
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 102000011425 S100 Calcium Binding Protein beta Subunit Human genes 0.000 description 7
- 101000629318 Severe acute respiratory syndrome coronavirus 2 Spike glycoprotein Proteins 0.000 description 7
- 208000030886 Traumatic Brain injury Diseases 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 7
- 230000009529 traumatic brain injury Effects 0.000 description 7
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 6
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 5
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 5
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- 102000053171 Glial Fibrillary Acidic Human genes 0.000 description 4
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920001486 SU-8 photoresist Polymers 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 208000014674 injury Diseases 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 4
- 229910021607 Silver chloride Inorganic materials 0.000 description 3
- 208000027418 Wounds and injury Diseases 0.000 description 3
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 3
- 210000004556 brain Anatomy 0.000 description 3
- 150000005829 chemical entities Chemical class 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- -1 poly(vinylpyrrolidone) Polymers 0.000 description 3
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 3
- 230000028327 secretion Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 3
- HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M silver monochloride Chemical compound [Cl-].[Ag+] HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 108091003079 Bovine Serum Albumin Proteins 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101100508070 Drosophila melanogaster ich gene Proteins 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- 206010018985 Haemorrhage intracranial Diseases 0.000 description 2
- 208000008574 Intracranial Hemorrhages Diseases 0.000 description 2
- 229920001213 Polysorbate 20 Polymers 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 125000003172 aldehyde group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 229940098773 bovine serum albumin Drugs 0.000 description 2
- 239000007975 buffered saline Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 238000007306 functionalization reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000185 hemagglutinin Substances 0.000 description 2
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000006250 one-dimensional material Substances 0.000 description 2
- 239000000256 polyoxyethylene sorbitan monolaurate Substances 0.000 description 2
- 235000010486 polyoxyethylene sorbitan monolaurate Nutrition 0.000 description 2
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 2
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241000894007 species Species 0.000 description 2
- 230000009870 specific binding Effects 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001020 Au alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010008513 Child maltreatment syndrome Diseases 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010010356 Congenital anomaly Diseases 0.000 description 1
- 208000034656 Contusions Diseases 0.000 description 1
- 238000002965 ELISA Methods 0.000 description 1
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108700010908 HIV-1 proteins Proteins 0.000 description 1
- 208000032843 Hemorrhage Diseases 0.000 description 1
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 208000034693 Laceration Diseases 0.000 description 1
- 241001082241 Lythrum hyssopifolia Species 0.000 description 1
- 206010039203 Road traffic accident Diseases 0.000 description 1
- 208000002108 Shaken Baby Syndrome Diseases 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- VJHCJDRQFCCTHL-UHFFFAOYSA-N acetic acid 2,3,4,5,6-pentahydroxyhexanal Chemical compound CC(O)=O.OCC(O)C(O)C(O)C(O)C=O VJHCJDRQFCCTHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 description 1
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 208000020466 alteration of consciousness Diseases 0.000 description 1
- 239000000427 antigen Substances 0.000 description 1
- 102000036639 antigens Human genes 0.000 description 1
- 108091007433 antigens Proteins 0.000 description 1
- 229940045713 antineoplastic alkylating drug ethylene imines Drugs 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 208000034158 bleeding Diseases 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- 239000012503 blood component Substances 0.000 description 1
- 210000004204 blood vessel Anatomy 0.000 description 1
- 230000006931 brain damage Effects 0.000 description 1
- 231100000874 brain damage Toxicity 0.000 description 1
- 210000005013 brain tissue Anatomy 0.000 description 1
- 150000001720 carbohydrates Chemical class 0.000 description 1
- 235000014633 carbohydrates Nutrition 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 210000001175 cerebrospinal fluid Anatomy 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 230000001149 cognitive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 238000010960 commercial process Methods 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000009519 contusion Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006735 deficit Effects 0.000 description 1
- 230000003412 degenerative effect Effects 0.000 description 1
- 238000004925 denaturation Methods 0.000 description 1
- 230000036425 denaturation Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010537 deprotonation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000013399 early diagnosis Methods 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 230000009881 electrostatic interaction Effects 0.000 description 1
- 238000000572 ellipsometry Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N germanium oxide Inorganic materials O=[Ge]=O YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004676 glycans Chemical class 0.000 description 1
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- NEXSMEBSBIABKL-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilane Chemical compound C[Si](C)(C)[Si](C)(C)C NEXSMEBSBIABKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HNDVDQJCIGZPNO-UHFFFAOYSA-N histidine Natural products OC(=O)C(N)CC1=CN=CN1 HNDVDQJCIGZPNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N hydridophosphorus(.) (triplet) Chemical compound [PH] BHEPBYXIRTUNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N molybdenum disulfide Chemical compound S=[Mo]=S CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052982 molybdenum disulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- 102000039446 nucleic acids Human genes 0.000 description 1
- 108020004707 nucleic acids Proteins 0.000 description 1
- 150000007523 nucleic acids Chemical class 0.000 description 1
- 229920001542 oligosaccharide Polymers 0.000 description 1
- 150000002482 oligosaccharides Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PVADDRMAFCOOPC-UHFFFAOYSA-N oxogermanium Chemical compound [Ge]=O PVADDRMAFCOOPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920001282 polysaccharide Polymers 0.000 description 1
- 239000005017 polysaccharide Substances 0.000 description 1
- 108090000765 processed proteins & peptides Proteins 0.000 description 1
- 102000004196 processed proteins & peptides Human genes 0.000 description 1
- 230000005588 protonation Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000035440 response to pH Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 210000002966 serum Anatomy 0.000 description 1
- 150000004760 silicates Chemical class 0.000 description 1
- 210000003625 skull Anatomy 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 235000000346 sugar Nutrition 0.000 description 1
- 150000008163 sugars Chemical class 0.000 description 1
- 229920001059 synthetic polymer Polymers 0.000 description 1
- 210000001138 tear Anatomy 0.000 description 1
- 150000003573 thiols Chemical class 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
- 239000006163 transport media Substances 0.000 description 1
- 230000008733 trauma Effects 0.000 description 1
- ITRNXVSDJBHYNJ-UHFFFAOYSA-N tungsten disulfide Chemical compound S=[W]=S ITRNXVSDJBHYNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003612 virological effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
Description
本発明は、概して、センサに関するものであり、特に、本発明は、体液のセンシングに適したセンサに関する。
本実施例では、1対の電極が配置された電気絶縁層を形成するための例示的なプロセスについて説明する。同様のプロセスが、フォトレジストから他の層(例えば、パッシベーション層、1つ以上の構成要素を適切に位置付けるために1つの製造工程中に形成されるが、その後の製造工程中にセンサから除去される層)を形成するためにも採用され得ることが留意される。
本実施例では、1対の電極上にワイヤボンディング組成物を配置するための例示的なプロセスを説明する。同様のプロセスが、フォトリソグラフィを利用して他の構成要素(例えば、電極、パッシベーション層)を形成するためにも採用され得ることが留意される。
本実施例では、ナノワイヤによって電気的な連通状態にある1対の電極を備えるセンサの使用について説明する。
本実施例では、官能化されたナノワイヤによって電気的な連通状態にある1対の電極を備えるセンサについて説明する。
Claims (177)
- 中心点の周りに円形構造を形成するように配置された複数のナノワイヤであって、前記複数のナノワイヤは少なくとも30のナノワイヤを含む、複数のナノワイヤと、
前記複数のナノワイヤ上に配置された複数の電極と、
を備える、センサ。 - 中心点の周りに放射対称となるように配置された複数対の電極を備え、
前記複数対の電極は、少なくとも10対の電極を含む、センサ。 - ナノワイヤは、少なくとも1対の電極を互いに電気的に連通させている、請求項1または2に記載のセンサ。
- 前記センサは、10対以上40対以下の電極を備える、請求項1から3のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤの長さ、および/または、前記複数のナノワイヤの平均長さが5ミクロン以上50ミクロン以下である、請求項1から4のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤの長さ、および/または、前記複数のナノワイヤの平均長さが10ミクロン以上25ミクロン以下である、請求項1から5のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤおよび/または前記複数のナノワイヤは、単結晶シリコンを含む、請求項1から6のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤの表面が帯電している、および/または、前記複数のナノワイヤは、帯電した表面を有するナノワイヤを含む、請求項1から7のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、その表面に位置するヒドロキシル官能基を有する、および/または、前記複数のナノワイヤは、それらの表面に位置するヒドロキシル官能基を有するナノワイヤを含む、請求項1から8のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、その表面に位置するアミノ官能基を有する、および/または、前記複数のナノワイヤは、それら表面に位置するアミノ官能基を有するナノワイヤを含む、請求項1から9のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、その表面に位置するアルデヒド官能基を有する、および/または、前記複数のナノワイヤは、それらの表面に位置するアルデヒド官能基を有するナノワイヤを含む、請求項1から10のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤおよび/または前記複数のナノワイヤは、結合エンティティ(binding entity)を有する、請求項1から11のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤおよび/または前記複数のナノワイヤは、脳損傷のバイオマーカーに対する結合エンティティを有する、請求項1から12のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤおよび/または前記複数のナノワイヤは、GFAPに対する結合エンティティを有する、請求項1から13のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤおよび/または前記複数のナノワイヤは、S100βに対する結合エンティティを有する、請求項1から14のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤおよび/または前記複数のナノワイヤは、UCH-L1に対する結合エンティティを有する、請求項1から15のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤおよび/または前記複数のナノワイヤは、NFL-1に対する結合エンティティを有する、請求項1から16のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤおよび/または前記複数のナノワイヤは、Dダイマーに対する結合エンティティを有する、請求項1から17のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤおよび/または前記複数のナノワイヤは、小分子バイオマーカーに対する結合エンティティを有する、請求項1から18のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤおよび/または前記複数のナノワイヤは、脂質に対する結合エンティティを有する、請求項1から19のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤおよび/または前記複数のナノワイヤは、ウイルスタンパク質に対する結合エンティティを有する、請求項1から20のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ウイルスタンパク質は、ヒトウイルスタンパク質、非ヒト動物ウイルスタンパク質、および/または植物ウイルスタンパク質である、請求項1から21のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ウイルスタンパク質は、SARS-CoV-2タンパク質、インフルエンザウイルスタンパク質、ジカウイルスタンパク質、パラインフルエンザウイルスタンパク質、HIV1ウイルスタンパク質、および/またはHHVウイルスタンパク質である、請求項1から22のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記SARS-CoV-2タンパク質は、スパイクタンパク質、ヌクレオカプシドタンパク質、および/またはエンベロープタンパク質である、請求項1から23のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記インフルエンザウイルスタンパク質は、ヘマグルチニンタンパク質、ノイラミニダーゼタンパク質、および/またはマトリックスタンパク質である、請求項1から24のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記センサは、基板を備える、請求項1から25のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記基板は、シリコンを含む、請求項1から26のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記基板は、シリコンウエハである、請求項1から27のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記基板は、酸化シリコンを含む、請求項1から28のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記基板は、ガラスを含む、請求項1から29のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記センサは、ブロッキング層を含む、請求項1から30のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ブロッキング層は、前記ナノワイヤ上に配置されている、請求項1から31のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ブロッキング層は、タンパク質を含む、請求項1から32のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記タンパク質は、カゼインである、請求項1から33のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ブロッキング層は、PEGの誘導体を含む、請求項1から34のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ブロッキング層は、液体との接触により除去される安定剤を含む、請求項1から35のいずれか1つに記載のセンサ。
- 請求項1から36のいずれか1つに記載の前記センサを流体にさらすことを含む方法。
- 前記流体は、体液を含む、請求項37に記載の方法。
- 前記体液は、血液である、請求項37または38に記載の方法。
- 前記体液は、指刺しによって得られた毛細血管血である、請求項37から39のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、血漿である、請求項37から40のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、唾液である、請求項37から41のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、涙である、請求項37から42のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、尿である、請求項37から43のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、鼻腔液(nasal fluid)および/または鼻咽頭液(nasopharyngeal fluid)である、請求項37から44のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、綿棒を用いて採取された、請求項37から45のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、他の流体に再懸濁された固体または粘性の試料を含む、請求項37から46のいずれか1つに記載の方法。
- 前記流体は、タンパク質を含む、請求項37から47のいずれか1つに記載の方法。
- 前記センサは、前記流体中の前記タンパク質の濃度を示す信号を出力するように構成されている、請求項37から48のいずれか1つに記載の方法、または請求項1から36のいずれか1つに記載のセンサ。
- 請求項1から36のいずれか1つに記載のセンサを複数個備える、流体デバイス。
- 1対の電極を備え、前記1対の電極は、第1電極および第2電極を有し、
前記第1電極は、
第1部分、
第2部分、および、
前記第1部分と前記第2部分とを接続する第3部分、
を有し、
前記第2電極は、
前記第1電極の第1部分と実質的に平行な第1部分、
前記第1電極の第2部分と実質的に平行な第2部分、および、
前記第1部分と前記第2部分とを接続する第3部分、
を有し、
前記第2電極の前記第1部分および前記第2部分は、前記第1電極の前記第1部分と前記第2部分との間に位置している、センサ。 - 第1電極、
第2電極、および
ナノワイヤ
を備え、
前記ナノワイヤは、前記第1電極および前記第2電極と電気的に連通しており、
前記第1電極と前記第2電極との間の距離は、5ミクロン以上15ミクロン以下であり、
前記第1電極と前記第2電極との間の前記距離に対する前記ナノワイヤの長さの比が、1以上5以下である、センサ。 - 前記ナノワイヤによって、前記第1電極と前記第2電極とは互いに電気的に連通している、請求項51または52に記載のセンサ。
- 前記センサは、10対以上40対以下の電極を備える、請求項51から53のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、5ミクロン以上50ミクロン以下の長さを有する、請求項51から54のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、10ミクロン以上25ミクロン以下の長さを有する、請求項51から55のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、単結晶シリコンを含む、請求項51から56のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤの表面が帯電している、請求項51から57のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、その表面に位置するヒドロキシル官能基を含む、請求項51から58のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、その表面に位置するアミノ官能基を含む、請求項51から59のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、その表面に位置するアルデヒド官能基を含む、請求項51から60のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、結合エンティティを含む、請求項51から61のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、脳損傷のバイオマーカーに対する結合エンティティを含む、請求項51から62のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、GFAPに対する結合エンティティを含む、請求項51から63のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、S100βに対する結合エンティティを含む、請求項51から64のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、UCH-L1に対する結合エンティティを含む、請求項51から65のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、NFL-1に対する結合エンティティを含む、請求項51から66のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤおよび/または前記複数のナノワイヤは、Dダイマーに対する結合エンティティを含む、請求項51から67のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、小分子バイオマーカーに対する結合エンティティを含む、請求項51から68のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、脂質に対する結合エンティティを含む、請求項51から69のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤおよび/または複数のナノワイヤは、ウイルスタンパク質に対する結合エンティティを含む、請求項51から70のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ウイルスタンパク質は、ヒトウイルスタンパク質、非ヒト動物ウイルスタンパク質、および/または植物ウイルスタンパク質である、請求項51から71のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ウイルスタンパク質は、SARS-CoV-2タンパク質、インフルエンザウイルスタンパク質、ジカウイルスタンパク質、パラインフルエンザウイルスタンパク質、HIV1ウイルスタンパク質、および/またはHHVウイルスタンパク質である、請求項51から72のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記SARS-CoV-2タンパク質は、スパイクタンパク質、ヌクレオカプシドタンパク質、および/またはエンベロープタンパク質である、請求項51から73のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記インフルエンザウイルスタンパク質は、ヘマグルチニンタンパク質、ノイラミニダーゼタンパク質、および/またはマトリックスタンパク質である、請求項51から74のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記センサは、基板を備える、請求項51から75のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記基板は、シリコンを含む、請求項51から76のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記基板は、シリコンウエハである、請求項51から77のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記基板は、酸化シリコンを含む、請求項51から78のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記基板は、ガラスを含む、請求項51から79のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記センサは、ブロッキング層を含む、請求項51から80のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ブロッキング層は、前記ナノワイヤ上に配置されている、請求項51から81のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ブロッキング層は、タンパク質を含む、請求項51から82のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記タンパク質は、カゼインである、請求項51から83のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ブロッキング層は、PEGの誘導体を含む、請求項51から84のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ブロッキング層は、液体との接触により除去される安定剤を含む、請求項51から85のいずれか1つに記載のセンサ。
- 請求項51から86のいずれか1つに記載の前記センサを流体にさらすことを含む方法。
- 前記流体は、体液を含む、請求項87に記載の方法。
- 前記体液は、血液である、請求項87または88に記載の方法。
- 前記体液は、指刺しによって得られた毛細血管血である、請求項87から89のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、血漿である、請求項87から90のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、唾液である、請求項87から91のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、涙である、請求項87から92のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、尿である、請求項87から93のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、鼻腔液および/または鼻咽頭液である、請求項87から94のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、綿棒を用いて採取された、請求項87から95のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、他の流体に再懸濁された固体または粘性の試料を含む、請求項87から96のいずれか1つに記載の方法。
- 前記流体は、タンパク質を含む、請求項87から97のいずれか1つに記載の方法。
- 前記センサは、前記流体中の前記タンパク質の濃度を示す信号を出力するように構成されている、請求項87から98のいずれか1つに記載の方法、または請求項1から30のいずれか1つに記載のセンサ。
- 請求項51から88のいずれか1つに記載のセンサを複数個備える、流体デバイス。
- 複数対の電極、および複数のナノワイヤを備え、
前記複数対の電極の10%以上について、その対を構成する2つの電極は、まさに1つのナノワイヤによって電気的に連通している、センサ。 - 基板上に複数のナノワイヤを堆積させる方法であって、前記方法は、
前記複数のナノワイヤを含む流体をノズルから前記基板上に吐出すること、
前記流体の少なくとも一部を蒸発させること、
前記ノズルから前記流体のさらなる量を吐出することによって、前記蒸発させた流体の少なくとも一部を補充すること、および
前記複数のナノワイヤを含む前記流体を前記基板と接触させて、0.2秒以上の時間にわたって保持すること、
を含み、
前記保持、前記補充および前記蒸発の工程の間、前記流体は前記基板および前記ノズルの両方に接触している、方法。 - 前記センサは、10対以上40対以下の電極を含む、請求項101または102に記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤは、5ミクロン以上50ミクロン以下の長さを有する、請求項101から103のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤは、10ミクロン以上25ミクロン以下の長さを有する、請求項101から104のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤは、単結晶シリコンを含む、請求項101から105のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤの表面が帯電している、請求項101から106のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤは、その表面に位置するヒドロキシル官能基を含む、請求項101から107のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤは、その表面に位置するアミノ官能基を含む、請求項101から108のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤは、その表面に位置するアルデヒド官能基を含む、請求項101から109のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤは、結合エンティティを含む、請求項101から110のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤは、脳損傷のバイオマーカーに対する結合エンティティを含む、請求項101から111のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤは、GFAPに対する結合エンティティを含む、請求項101から112のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤは、S100βに対する結合エンティティを含む、請求項101から113のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤは、UCH-L1に対する結合エンティティを含む、請求項101から114のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤは、NFL-1に対する結合エンティティを含む、請求項101から115のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤおよび/または前記複数のナノワイヤは、Dダイマーに対する結合エンティティを含む、請求項101から116のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ナノワイヤは、小分子バイオマーカーに対する結合エンティティを含む、請求項101から117のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤは、脂質に対する結合エンティティを含む、請求項101から118のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ナノワイヤおよび/または前記複数のナノワイヤは、ウイルスタンパク質に対する結合エンティティを含む、請求項101から119のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ウイルスタンパク質は、ヒトウイルスタンパク質、非ヒト動物ウイルスタンパク質、および/または植物ウイルスタンパク質である、請求項101から120のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記ウイルスタンパク質は、SARS-CoV-2タンパク質、インフルエンザウイルスタンパク質、ジカウイルスタンパク質、パラインフルエンザウイルスタンパク質、HIV1ウイルスタンパク質、および/またはHHVウイルスタンパク質である、請求項101から121のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記SARS-CoV-2タンパク質は、スパイクタンパク質、ヌクレオカプシドタンパク質、および/またはエンベロープタンパク質である、請求項101から122のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記インフルエンザウイルスタンパク質は、ヘマグルチニンタンパク質、ノイラミニダーゼタンパク質、および/またはマトリックスタンパク質である、請求項101から123のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記センサは、基板を含む、請求項101から124のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記基板は、シリコンを含む、請求項101から125のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記基板は、シリコンウエハである、請求項101から126のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記基板は、酸化シリコンを含む、請求項101から127のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記基板は、ガラスを含む、請求項101から128のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記センサは、ブロッキング層を含む、請求項101から129のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ブロッキング層は、前記ナノワイヤ上に配置されている、請求項101から130のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ブロッキング層は、タンパク質を含む、請求項101から131のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記タンパク質は、カゼインである、請求項101から132のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ブロッキング層は、PEGの誘導体を含む、請求項101から133のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 前記ブロッキング層は、液体との接触により除去される安定剤を含む、請求項101から134のいずれか1つに記載のセンサまたは方法。
- 請求項101から135のいずれか1つに記載のセンサを流体にさらすことを含む方法。
- 前記流体は、体液を含む、請求項136に記載の方法。
- 前記体液は、血液である、請求項136または137に記載の方法。
- 前記体液は、指刺しによって得られた毛細血管血である、請求項136から138のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、血漿である、請求項136から139のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、唾液である、請求項136から140のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、涙である、請求項136から141のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、尿である、請求項136から142のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、鼻腔液および/または鼻咽頭液である、請求項136から143のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、綿棒を用いて採取された、請求項136から144のいずれか1つに記載の方法。
- 前記体液は、他の流体に再懸濁された固体または粘性の試料を含む、請求項136から145のいずれか1つに記載の方法。
- 前記流体は、タンパク質を含む、請求項136から146のいずれか1つに記載の方法。
- 前記センサは、前記流体中の前記タンパク質の濃度を示す信号を出力するように構成されている、請求項136から147のいずれか1つに記載の方法、または請求項101から135のいずれか1つに記載のセンサ。
- 前記蒸発の工程と前記補充の工程とは同時に行われる、請求項101から148のいずれか1つに記載の方法。
- 前記蒸発の工程と前記保持の工程とは同時に行われる、請求項101から149のいずれか1つに記載の方法。
- 前記蒸発の工程の間に前記基板が加熱される、請求項101から150のいずれか1つに記載の方法。
- 前記蒸発の工程の間、前記基板の温度は55℃以上80℃以下である、請求項101から151のいずれか1つに記載の方法。
- 前記流体は0.1マイクロリットル以上1マイクロリットル以下の体積を有する、請求項101から152のいずれか1つに記載の方法。
- 前記蒸発の工程の間、前記流体と前記基板との接触角が20°以上90°以下である、請求項101から153のいずれか1つに記載の方法。
- 前記蒸発の工程の間、前記ノズルと前記基板との間の距離が0.01mm以上0.2mm以下である、請求項101から154のいずれか1つに記載の方法。
- 前記蒸発の工程の間、前記ノズルと前記基板との間の距離が0.03mm以上0.1mm以下である、請求項101から155のいずれか1つに記載の方法。
- 前記流体は、沸点が120℃未満の有機溶媒を含む、請求項101から156のいずれか1つに記載の方法。
- 前記流体は、アルコールを含む、請求項101から157のいずれか1つに記載の方法。
- 前記流体は、エタノールを含む、請求項101から158のいずれか1つに記載の方法。
- 前記流体は、メタノールを含む、請求項101から159のいずれか1つに記載の方法。
- 前記流体は、イソプロパノールを含む、請求項101から160のいずれか1つに記載の方法。
- 前記流体は、ヘキサンを含む、請求項101から161のいずれか1つに記載の方法。
- 前記ナノワイヤ上にフォトレジストを堆積させることをさらに含む、請求項101から162のいずれか1つに記載の方法。
- 前記フォトレジストは、SU8を含む、請求項101から163のいずれか1つに記載の方法。
- 前記フォトレジストは、ポリイミドを含み、および/またはポリイミドベースのフォトレジストである、請求項101から164のいずれか1つに記載の方法。
- 前記ナノワイヤ上に金属を堆積させて電極を形成することをさらに含む、請求項101から165のいずれか1つに記載の方法。
- 前記金属は、ニッケルである、請求項101から166のいずれか1つに記載の方法。
- 前記電極および前記ナノワイヤを加熱することをさらに含む、請求項101から167のいずれか1つに記載の方法。
- 前記電極および前記ナノワイヤを加熱することにより、これらの間にオーミックコンタクトが形成される、請求項101から168のいずれか1つに記載の方法。
- 前記電極上にフォトレジストを堆積させることをさらに含む、請求項101から169のいずれか1つに記載の方法。
- 前記フォトレジストは、SU8を含む、請求項101から170のいずれか1つに記載の方法。
- 前記フォトレジストがポリイミドを含み、および/またはポリイミドベースのフォトレジストである、請求項101から171のいずれか1つに記載の方法。
- 前記金属上に第2の金属を蒸着して、センサの外部の環境と電気的に連通するように構成された電極を形成することをさらに含む、請求項101から172のいずれか1つに記載の方法。
- 請求項101から135のいずれか1つに記載のセンサを複数個備える流体デバイス。
- 前記センサが、中心点から等距離にある複数対の電極を備える、請求項1から174のいずれか1つに記載のセンサ、方法、または流体デバイス。
- 前記センサが、異なる化学物質で官能化された2つ以上のナノワイヤ群を備える、請求項1から175のいずれか1つに記載のセンサ、方法、または流体デバイス。
- 前記センサが、2つ以上の電極群を備え、各電極群は、異なる化学物質で官能化されたナノワイヤ群の上に配置されている、請求項1から176のいずれか1つに記載のセンサ、方法、または流体デバイス。
Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201962953143P | 2019-12-23 | 2019-12-23 | |
US201962953148P | 2019-12-23 | 2019-12-23 | |
US201962953140P | 2019-12-23 | 2019-12-23 | |
US62/953,148 | 2019-12-23 | ||
US62/953,140 | 2019-12-23 | ||
US62/953,143 | 2019-12-23 | ||
PCT/US2020/066765 WO2021133869A1 (en) | 2019-12-23 | 2020-12-23 | Sensor system and methods |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2024035162A Division JP2024063221A (ja) | 2019-12-23 | 2024-03-07 | センサシステムおよび方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023508963A true JP2023508963A (ja) | 2023-03-06 |
JPWO2021133869A5 JPWO2021133869A5 (ja) | 2024-01-05 |
JP7456666B2 JP7456666B2 (ja) | 2024-03-27 |
Family
ID=76438198
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022539012A Active JP7456666B2 (ja) | 2019-12-23 | 2020-12-23 | センサシステムおよび方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (8) | US11486842B2 (ja) |
EP (1) | EP4081794A4 (ja) |
JP (1) | JP7456666B2 (ja) |
KR (1) | KR20220116549A (ja) |
AU (1) | AU2020413218A1 (ja) |
CA (1) | CA3162824A1 (ja) |
WO (1) | WO2021133869A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8491184B2 (en) | 2007-02-27 | 2013-07-23 | Deka Products Limited Partnership | Sensor apparatus systems, devices and methods |
US11738130B2 (en) | 2008-01-23 | 2023-08-29 | Deka Products Limited Partnership | Fluid line autoconnect apparatus and methods for medical treatment system |
US11975128B2 (en) | 2008-01-23 | 2024-05-07 | Deka Products Limited Partnership | Medical treatment system and methods using a plurality of fluid lines |
US10201647B2 (en) | 2008-01-23 | 2019-02-12 | Deka Products Limited Partnership | Medical treatment system and methods using a plurality of fluid lines |
US11833281B2 (en) | 2008-01-23 | 2023-12-05 | Deka Products Limited Partnership | Pump cassette and methods for use in medical treatment system using a plurality of fluid lines |
EP2591385B1 (en) | 2010-07-07 | 2017-10-11 | DEKA Products Limited Partnership | Medical treatment system and methods using a plurality of fluid lines |
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US11486842B2 (en) | 2019-12-23 | 2022-11-01 | Nanodx, Inc. | Sensor system and electrodes |
-
2020
- 2020-12-22 US US17/131,657 patent/US11486842B2/en active Active
- 2020-12-22 US US17/131,677 patent/US11054384B1/en active Active
- 2020-12-22 US US17/131,645 patent/US11255805B2/en active Active
- 2020-12-23 CA CA3162824A patent/CA3162824A1/en active Pending
- 2020-12-23 JP JP2022539012A patent/JP7456666B2/ja active Active
- 2020-12-23 KR KR1020227025560A patent/KR20220116549A/ko unknown
- 2020-12-23 EP EP20907247.9A patent/EP4081794A4/en active Pending
- 2020-12-23 WO PCT/US2020/066765 patent/WO2021133869A1/en active Application Filing
- 2020-12-23 AU AU2020413218A patent/AU2020413218A1/en active Pending
-
2021
- 2021-05-25 US US17/330,216 patent/US11609198B2/en active Active
- 2021-05-25 US US17/330,206 patent/US11493466B2/en active Active
- 2021-12-20 US US17/556,930 patent/US11761917B2/en active Active
-
2022
- 2022-07-01 US US17/856,438 patent/US20220390402A1/en active Pending
- 2022-08-29 US US17/897,408 patent/US11808722B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11486842B2 (en) | 2022-11-01 |
EP4081794A1 (en) | 2022-11-02 |
AU2020413218A1 (en) | 2022-07-14 |
US20210278364A1 (en) | 2021-09-09 |
US20210285906A1 (en) | 2021-09-16 |
US11054384B1 (en) | 2021-07-06 |
US11808722B2 (en) | 2023-11-07 |
US20220390402A1 (en) | 2022-12-08 |
US11609198B2 (en) | 2023-03-21 |
US20220113269A1 (en) | 2022-04-14 |
JP7456666B2 (ja) | 2024-03-27 |
US11761917B2 (en) | 2023-09-19 |
US20210262968A1 (en) | 2021-08-26 |
US20210190711A1 (en) | 2021-06-24 |
EP4081794A4 (en) | 2024-01-10 |
US11255805B2 (en) | 2022-02-22 |
US20220412907A1 (en) | 2022-12-29 |
WO2021133869A1 (en) | 2021-07-01 |
CA3162824A1 (en) | 2021-07-01 |
KR20220116549A (ko) | 2022-08-23 |
US20210190723A1 (en) | 2021-06-24 |
US11493466B2 (en) | 2022-11-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A621 | Written request for application examination |
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|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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