JP2023184405A - 個別に制御可能なファンを備える真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
Description
13 作業室
15 ロータ
17 ベーン
20 内壁
21 入口
23 出口
25 出口弁
27 入口弁
29 油分離器
50 第1の電動モータ
52 モータハウジング
54 ポンプハウジング
56 ポンプ段
58 ポンプシャフト
60 モータシャフト
62 軸受ハウジング
64 周波数変換器
66 ファン
68 第2の電動モータ
70 第2のモータシャフト
72 ファンフード
74 第1の制御出力
76 第2の制御出力
78 第3の制御出力
80 出力監視ユニット
82 温度センサ
84 温度センサ
85 温度センサ
86 グリッド
88 開口
90 制御ユニットユニット
D 回転方向
なお、本願は、特許請求の範囲に記載の発明に関するものであるが、他の態様として以下を含む。
1.
少なくとも1つのポンプ段(56)と、ポンプ段(56)に駆動接続された第1の電動モータ(50)とを備えた、真空ポンプ、特にロータリーベーン真空ポンプにおいて、
真空ポンプは、真空ポンプを冷却するための、第2の電動モータ(68)によって駆動される少なくとも1つのファン(66)を更に備える、真空ポンプ。
2.
少なくとも1つのポンプ段(56)は、ポンプシャフト(58)を有し、第1の電動モータ(50)は、第1の電動モータ(50)と一体に構成された第1のモータシャフト(60)を有する、上記1の真空ポンプ。
3.
第2の電動モータ(68)は、第1のモータシャフト(60)とポンプシャフト(58)とのいずれにも接続されていない第2のモータシャフト(70)を有する、上記1又は2の真空ポンプ。
4.
少なくとも1つのポンプ段(56)は、ポンプハウジング(54)内に収容されていて、第1の電動モータ(50)は、ポンプハウジング(54)の軸方向の延長部に延在するモータハウジング(52)内に収容されていて、ポンプハウジング(54)とモータハウジング(52)との両方が、それぞれ第1の端部と、第1の端部とは軸方向で反対側に位置する第2の端部とを有し、ポンプハウジング(54)の第1の端部は、少なくとも間接に、モータハウジング(52)の第1の端部に接続されていて、前記少なくとも1つのファン(66)のうちの1つのファン(66)は、ポンプハウジング(54)の第2の端部に取り付けられてる、及び/又は前記少なくとも1つのファン(66)のうちの1つのファン(66)は、モータハウジング(52)の第2の端部に取り付けられている、上記1から3のいずれか一つの真空ポンプ。
5.
前記少なくとも1つのファン(66)の各ファン(66)は、第2の電動モータ(68)と共に、各々の第2の端部に取り付けられた各々のファンフード(72)内に収容されている、上記1から4のいずれか一つの真空ポンプ。
6.
単一の周波数変換器(64)を更に備え、周波数変換器(64)は、前記少なくとも1つのファン(66)の第2の電動モータ(68)を、第1の電動モータ(50)から独立して制御し、特に、周波数変換器(64)は、さらに、ファン(66)の第2の電動モータ(68)を、別のファン(66)の第2の電動モータ(68)から独立して制御するようにもなっている、上記1から5のいずれか一つの真空ポンプ。
7.
周波数変換器(64)は、単一の電流入力と、互いに独立して制御可能な複数の電流出力(74、76、78)とを有し、第1の電動モータ(50)は、複数の電流出力(74、76、78)のうちの1つに接続されていて、各第2の電動モータ(68)は、複数の電力出力(74、76、78)のうちの別の1つに接続されている、上記6の真空ポンプ。
8.
制御ユニット(90)を更に備え、制御ユニット(90)は、周波数変換器(64)を、特に周波数変換器(64)の電流出力(74、76、78)を制御し、制御ユニット(90)は、制御ユニット(90)が前記少なくとも1つのファン(66)の各々の第2の電動モータ(68)が接続された、周波数変換器(64)の電流出力(76、78)を、第1の電動モータ(50)の消費電力、周波数変換器(64)の、特に周波数変換器(64)のパワーエレクトロニクスの温度、電動モータ(50)の温度及び/又は少なくとも1つのポンプ段(56)の温度に依存して制御するように、調整されている、上記6及び/又は7の真空ポンプ。
Claims (8)
- 少なくとも1つのポンプ段(56)と、ポンプ段(56)に駆動接続された第1の電動モータ(50)とを備えた、真空ポンプ、特にロータリーベーン真空ポンプにおいて、
真空ポンプは、真空ポンプを冷却するための、第2の電動モータ(68)によって駆動される少なくとも1つのファン(66)を更に備える、真空ポンプ。 - 少なくとも1つのポンプ段(56)は、ポンプシャフト(58)を有し、第1の電動モータ(50)は、第1の電動モータ(50)と一体に構成された第1のモータシャフト(60)を有する、請求項1に記載の真空ポンプ。
- 第2の電動モータ(68)は、第1のモータシャフト(60)とポンプシャフト(58)とのいずれにも接続されていない第2のモータシャフト(70)を有する、請求項1又は2に記載の真空ポンプ。
- 少なくとも1つのポンプ段(56)は、ポンプハウジング(54)内に収容されていて、第1の電動モータ(50)は、ポンプハウジング(54)の軸方向の延長部に延在するモータハウジング(52)内に収容されていて、ポンプハウジング(54)とモータハウジング(52)との両方が、それぞれ第1の端部と、第1の端部とは軸方向で反対側に位置する第2の端部とを有し、ポンプハウジング(54)の第1の端部は、少なくとも間接に、モータハウジング(52)の第1の端部に接続されていて、前記少なくとも1つのファン(66)のうちの1つのファン(66)は、ポンプハウジング(54)の第2の端部に取り付けられてる、及び/又は前記少なくとも1つのファン(66)のうちの1つのファン(66)は、モータハウジング(52)の第2の端部に取り付けられている、請求項1から3のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 前記少なくとも1つのファン(66)の各ファン(66)は、第2の電動モータ(68)と共に、各々の第2の端部に取り付けられた各々のファンフード(72)内に収容されている、請求項1から4のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 単一の周波数変換器(64)を更に備え、周波数変換器(64)は、前記少なくとも1つのファン(66)の第2の電動モータ(68)を、第1の電動モータ(50)から独立して制御し、特に、周波数変換器(64)は、さらに、ファン(66)の第2の電動モータ(68)を、別のファン(66)の第2の電動モータ(68)から独立して制御するようにもなっている、請求項1から5のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 周波数変換器(64)は、単一の電流入力と、互いに独立して制御可能な複数の電流出力(74、76、78)とを有し、第1の電動モータ(50)は、複数の電流出力(74、76、78)のうちの1つに接続されていて、各第2の電動モータ(68)は、複数の電力出力(74、76、78)のうちの別の1つに接続されている、請求項6に記載の真空ポンプ。
- 制御ユニット(90)を更に備え、制御ユニット(90)は、周波数変換器(64)を、特に周波数変換器(64)の電流出力(74、76、78)を制御し、制御ユニット(90)は、制御ユニット(90)が前記少なくとも1つのファン(66)の各々の第2の電動モータ(68)が接続された、周波数変換器(64)の電流出力(76、78)を、第1の電動モータ(50)の消費電力、周波数変換器(64)の、特に周波数変換器(64)のパワーエレクトロニクスの温度、電動モータ(50)の温度及び/又は少なくとも1つのポンプ段(56)の温度に依存して制御するように、調整されている、請求項6及び/又は7に記載の真空ポンプ。
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