JP2023164058A - 転写装置および物品製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】微動ステージに作用するモーメントを低減するために有利な技術を提供する。【解決手段】原版のパターンを基板に転写する転写装置は、粗動ステージと、所定の平面に沿って粗動ステージを駆動する粗動アクチュエータと、基板を保持する微動ステージと、微動ステージの位置および姿勢を調整するための微動アクチュエータと、粗動アクチュエータにより粗動ステージに与えられる推力を非接触で微動ステージに伝達するための電磁アクチュエータとを含む。電磁アクチュエータは粗動ステージに固定され第１端面を有する固定鉄心と、固定鉄心に巻かれたコイルと、微動ステージに固定され第１端面に対向する第２端面を有する可動鉄心とを含み、第１端面のうち微動ステージによって保持される基板から最も遠い位置までの第１距離から第２端面のうち微動ステージによって保持される基板から最も遠い位置までの第２距離を減じた差分の最大値が正の所定値より大きい。【選択図】図１１

Description

本発明は、転写装置および物品製造方法に関する。
原版のパターンを基板に転写する転写装置は、粗動アクチュエータによって駆動される粗動ステージと、粗動ステージの上に配置され基板を保持する微動ステージとを含みうる。粗動ステージと微動ステージとの間には、粗動ステージに対する微動ステージの位置および姿勢を調整するための微動アクチュエータが配置されうる。また、粗動ステージと微動ステージとの間には、粗動アクチュエータによって粗動ステージに与えられる推力を非接触で微動ステージに伝達するための電磁アクチュエータも配置されうる。
特開２００５－１０９５２２号公報 特開平８－１３０１７９号公報
微動ステージを加速させる際に、微動ステージに対してモーメントが作用しうる。このようなモーメントを相殺するために微動アクチュエータを動作させると、微動アクチュエータからの発熱が増大しうる。この発熱は微動ステージの変形をもたらし、この変形はオーバーレイ精度の低下をもたらしうる。
本発明は、微動ステージに作用するモーメントを低減するために有利な技術を提供することを目的とする。
本発明の１つの側面は、原版のパターンを基板に転写する転写装置に係り、前記転写装置は、粗動ステージと、所定の平面に沿って前記粗動ステージを駆動する粗動アクチュエータと、前記基板を保持する微動ステージと、前記粗動ステージに対する前記微動ステージの位置および姿勢を調整するための微動アクチュエータと、前記粗動アクチュエータによって前記粗動ステージに与えられる推力を非接触で前記微動ステージに伝達するための電磁アクチュエータと、を含み、前記電磁アクチュエータは、前記粗動ステージに固定され第１端面を有する固定鉄心と、前記固定鉄心に巻かれたコイルと、前記微動ステージに固定され前記第１端面に対向する第２端面を有する可動鉄心と、を含み、前記第１端面のうち前記微動ステージによって保持される前記基板から最も遠い位置までの第１距離から前記第２端面のうち前記微動ステージによって保持される前記基板から最も遠い位置までの第２距離を減じた差分の最大値が正の所定値より大きい。
本発明によれば、微動ステージに作用するモーメントを低減するために有利な技術が提供される。
一実施形態の露光装置の構成を例示的に示す図。 一実施形態のウエハステージ装置の構成を例示的に示す図。 一実施形態のウエハステージ装置の構成を例示的に示す図。 一実施形態の微動ステージ装置の構成を例示的に示す図。 一実施形態の粗動テージ装置の構成を例示的に示す図。 一実施形態の粗動リニアモータの構成を例示的に示す図。 ショットレイアウト図を例示的に示す図。 第１実施形態の露光装置あるいはウエハステージ装置に組み込まれた微動電磁石の構成を例示的に示す図。 第１実施形態の露光装置あるいはウエハステージ装置に組み込まれた微動電磁石の構成を例示的に示す図。 第１実施形態の露光装置あるいはウエハステージ装置に組み込まれた微動ステージ装置の構成を例示的に示す図。 固定鉄心および可動鉄心の好ましい構成および配置を説明するための図。 第２実施形態の露光装置あるいはウエハステージ装置に組み込まれた微動電磁石の構成を例示的に示す図。 第２実施形態の露光装置あるいはウエハステージ装置に組み込まれた微動電磁石の構成を例示的に示す図。 第２実施形態の露光装置あるいはウエハステージ装置に組み込まれた微動電磁石の構成を例示的に示す図。 微動ステージに作用するモーメントについて説明するための図。 第２実施形態の露光装置あるいはウエハステージ装置に組み込まれた微動電磁石の改良例の構成を例示的に示す図。 第２実施形態の露光装置あるいはウエハステージ装置に組み込まれた微動電磁石の改良例の構成を例示的に示す図。 第２実施形態の露光装置あるいはウエハステージ装置に組み込まれた微動電磁石の他の改良例の構成を例示的に示す図。 第３実施形態の露光装置あるいはウエハステージ装置に組み込まれた微動電磁石の構成を例示的に示す図。 第３実施形態の露光装置あるいはウエハステージ装置に組み込まれた微動電磁石の変形例の構成を例示的に示す図。 第３実施形態の微動電磁石の変形例における可動鉄心の支持部材の構成を例示的に示す図。 一実施形態におけるウエハステージ装置の制御系の構成を例示的に示す図。 位置プロファイルおよび加速度プロファイルを例示的に示す図。 第２実施形態の微動電磁石の他の改良例の組立方法あるいは製造方法を説明するための図。 第２実施形態の微動電磁石の他の改良例の組立方法あるいは製造方法を説明するための図。 第２実施形態の微動電磁石の他の改良例の組立方法あるいは製造方法を説明するための図。 第２実施形態の微動電磁石の他の改良例の組立方法あるいは製造方法を説明するための図。 第２実施形態の微動電磁石の他の改良例の組立方法あるいは製造方法を説明するための図。 巻鉄心を例示的に説明するための図。 巻鉄心の製造方法を例示的に説明するための図。 複雑な３次元形状を有する鉄心において発生する渦電流を説明するための図。
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明に必須のものとは限らない。実施形態で説明されている複数の特徴のうち二つ以上の特徴が任意に組み合わされてもよい。また、同一若しくは同様の構成には同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
以下の説明において、ＸＹＺ座標系に従って方向が説明される。Ｘ軸およびＹ軸によって規定されるＸＹ平面は、典型的には水平面であり、Ｚ軸は、典型的には鉛直方向に平行である。ＸＹ方向は、ＸＹ平面に平行な方向である。Ｘ軸方向はＸ軸に平行な方向であり、Ｙ軸方向はＹ軸に平行な方向であり、Ｚ軸方向はＺ軸に平行な方向である。
図１には、一実施形態の露光装置の構成が例示的に示されている。該露光装置は、第１物体（例えば基板）と第２物体（例えば原版）とを相対的に位置合わせする位置合わせ装置、あるいは、原版（レチクル）のパターンを基板（ウエハ）に転写する転写装置の一例として理解されてもよい。床６９１の上にマウントを介してステージ定盤６９２が配置され、その上にウエハステージ装置５００が配置されうる。また、床６９１の上にマウント６９８を介して鏡筒定盤６９６が配置されうる。鏡筒定盤６９６によって、投影光学系６８７およびレチクル定盤６９４が支持されうる。レチクル定盤６９４の上にはレチクルステージ装置６９５が配置されうる。レチクル定盤６９４の上方には、照明光学系６９９が配置されうる。照明光学系６９９は、レチクルステージ装置６９５のレチクルステージに載置されたレチクルの像をウエハステージ装置５００のウエハステージに載置されたウエハに投影し、これによりレチクルのパターンがウエハに転写されうる。該露光装置は、走査露光装置として構成されてもよい。
ウエハステージ装置５００は、第１物体としての基板を位置決めする第１位置決め機構として理解することができ、レチクルステージ装置６９５は、第２物体としてのレチクルを位置決めする第２位置決め機構として理解することができる。第１位置決め機構および第２位置決め機構の少なくとも一方は、以下で説明される電磁装置あるいは電磁アクチュエータを含みうる。
上記の露光装置あるいは転写装置は、半導体デバイス等の物品を製造する物品製造方法において使用されうる。物品製造方法は、上記の露光装置あるいは転写装置よって原版のパターンを基板に転写する転写工程と、該転写工程を経た基板を処理することによって物品を得る工程とを含みうる。基板の処理は、例えば、エッチング、成膜、ダイシング等を含みうる。
図２には、ウエハステージ装置５００の全体の構成が例示的に示されている。ステージベース１０５の上には、ＸＹスライダ１０４がＸＹ方向に滑動自在に配置されうる。ＸＹスライダ１０４には、Ｘスライダ１０２によってＸ軸方向の力が伝達され、また、Ｙスライダ１０３によってＹ軸方向の力が伝達されうる。ＸＹスライダ１０４の上には、微動ステージ装置１０１が搭載されうる。Ｘスライダ１０２およびＹスライダ１０３のそれぞれの両側には、それらをそれぞれＸ軸方向およびＹ軸方向に駆動する粗動リニアモータ１０６が設けられうる。
図３には、ウエハステージ装置５００において微動ステージ装置１０１の微動ステージ（微動天板）１０１－１を便宜的に上方に移動させた状態が例示的に示されている。微動ステージ１０１－１は、ウエハを保持する。微動ステージ１０１－１は、ウエハを保持するチャックを有するものとして理解されてもよい。微動ベース１０１－２がＸＹスライダ１０４の上に固定されうる。微動ベース１０１－２の上には、Ｚチルトの精密位置決めを行う４個の微動ＺＬＭ（第１微動アクチュエータ）１０１－６が設けられうる。また、微動ベース１０１－２の上には、Ｘ軸およびＺ軸まわりの精密位置決めを行う２個の微動ＸＬＭ（第２微動アクチュエータ）１０１－４が設けられうる。また、微動ベース１０１－２の上には、Ｙ軸およびＺ軸まわりの精密位置決めを行う２個の微動ＹＬＭ（第３微動アクチュエータ）１０１－５が設けられうる。微動ベース１０１－２の中央部には、ＸＹスライダ１０４に与えられるＸ軸およびＹ軸方向の加速力を微動ベース１０１－２に伝達するように機能する微動電磁石１０１－３が設けられうる。
ここで、微動ベース１０１－２は、粗動ステージとして理解されうる。あるいは、ＸＹスライダ１０４および微動ベース１０１－２が粗動ステージとして理解されてもよい。また、粗動リニアモータ１０６は、ＸＹ平面、即ち所定の平面に沿って粗動ステージとしての微動ベース１０１－２を駆動する粗動アクチュエータとして理解されうる。また、微動ＺＬＭ１０１－６、微動ＸＬＭ１０１－４、および、Ｙ微動ＹＬＭ１０１－５は、粗動ステージとしての微動ベース１０１－２に対する微動ステージ１０１－１の位置および姿勢を調整するための微動アクチュエータとして理解されうる。また、微動電磁石１０１－３は、粗動アクチュエータとしての粗動リニアモータ１０６によって粗動ステージとしての微動ベース１０１－２に与えられる推力を非接触で微動ステージ１０１－１に伝達するための電磁アクチュエータとして理解される。
図４には、微動ステージ装置１０１の構成、特に微動ＹＬＭ１０１－５、微動ＺＬＭ１０１－６の詳細な構成例が示されている。なお、図４では、ヨークの一部が取り除かれた状態が示されている。微動ＹＬＭ１０１－５は、リニアモータで構成されうる。微動ＹＬＭ１０１－５は、微動ＹＬＭコイルベース１０１－５２、微動ＹＬＭコイル１０１－５１、微動ＹＬＭ磁石１０１－５３、微動ＹＬＭヨーク１０１－５４、微動ＬＭスペーサ１０１－７０を含みうる。微動ベース１０１－２の上に微動ＹＬＭコイルベース１０１－５２が固定され、その上に微動ＹＬＭコイル１０１－５１が固定されうる。微動ＹＬＭコイル１０１－５１は、鉛直方向に延びる直線部を有する長円形コイルであってよく、この直線部と対面するように４個の微動ＹＬＭ磁石１０１－５３が空隙を介して配置されうる。それらの磁石を挟むように、磁束を通すための２枚のＹＬＭヨーク１０１－５４が配置されうる。磁石の着磁方向はＸ軸方向であってよく、Ｙ軸方向に隣り合う磁石は逆極性であってよく、Ｘ軸方向に並ぶ磁石は同極性であってよい。微動ＬＭスペーサ１０１－７０は、１対の磁石およびヨークに働く吸引力に対抗してそれらの位置を保持するために用いられうる。磁石、ヨーク、スペーサは、微動ベース１０１－２に固定されうる。ＹＬＭコイル１０１－５１に電流を流ことにより、直線部と直交する方向つまりＹ軸方向に、電流に比例した力を発生することができる。また、２つの微動ＹＬＭ１０１－５に互いに逆方向の電流を流すことでＺ軸周りのモーメントを発生することができる。
微動ＺＬＭ１０１－６は、リニアモータで構成されうる。微動ＺＬＭ１０１－６は、微動ＺＬＭコイルベース１０１－６２、微動ＺＬＭコイル１０１－６１、微動ＺＬＭ磁石１０１－６３、微動ＺＬＭヨーク１０１－６４、微動ＬＭスペーサ１０１－７０を含みうる。微動ベース１０１－２の上に微動ＺＬＭコイルベース１０１－６２が固定され、その上に微動ＺＬＭコイル１０１－６１が固定されうる。微動ＺＬＭコイル１０１－６１は、水平方向に延びる直線部を有する長円形コイルであってよく、この直線部と対面するように４個の微動ＺＬＭ磁石１０１－６３が空隙を介して配置されうる。それらの磁石を挟むように、磁束を通すための２枚のＺＬＭヨーク１０１－６４が配置されうる。磁石の着磁方向はＸ軸方向であってよく、Ｚ軸方向に隣り合う磁石は逆極性であってよく、Ｘ軸方向に並ぶ磁石は同極性であってよい。微動ＬＭスペーサ１０１－７０は、１対の磁石およびヨークに働く吸引力に対抗してそれらの位置を保持するために用いられうる。磁石、ヨーク、スペーサは、微動天板１０１に固定されうる。ＺＬＭコイル１０１－６１に電流を流ことにより、直線部と直交する方向つまりＺ軸方向に電流に比例した力を発生することができる。また、４個の微動ＺＬＭ１０１－６に流す電流の方向の組み合わせにより、Ｘ軸まわりのモーメント、Ｙ軸まわりのモーメントを発生することができる。
微動ＸＬＭ１０１－４は、微動ＹＬＭ１０１－５と同じ構成で、微動ＹＬＭ１０１－５を９０度回転させた配置を有する。これにより、Ｘ軸方向の力とＺ軸まわりのモーメントを発生することができる。
また、４個のピンユニット１０１－３９が設けられてもよく、これらは、ウエハを微動ステージ１０１の上から回収するとき、および、ウエハを微動ステージ１０１－１に載置するときの仮置き場として機能しうる。ウエハを安定して仮置きするにはピンユニット１０１－３９の数は３本以上であることが望ましいが、最低１本あれば受け渡しが可能である。ピンユニット１０１－３９は、ウエハが仮置きあるいは載置されるピンを昇降させる昇降機構を有する。ピンユニット１０１－３９は、ピンの上端が微動ステージ１０１－１の上面から突出した第１状態になるようにピンを駆動し、および、ピンの上端が微動ステージ１０１－１の上面より下に退避した第２状態になるようにピンを駆動する機能を有しうる。ウエハを微動ステージ１０１－１の上に載置する動作においては、ピンユニット１０１－３９は、第１状態でウエハを不図示の搬送機構から受け取り、その後、第２状態に移行する過程で、ピン上のウエハを微動ステージ１０１－１に渡す。微動ステージ１０１－１の上に載置されたウエハを不図示の搬送機構に渡す動作においては、ピンユニット１０１－３９は、ピンを第２状態から第１状態に移行させる。ピンユニット１０１－３９は、その過程で微動ステージ１０１－１上に載置されたウエハをピンで受け取り、第１状態において不図示の搬送機構に渡す。
微動ステージ装置１０１は、ピンユニット１０１－３９を備えなくてもよく、この場合には、微動ＺＬＭ１０１－６によって微動ステージ１０１－１を上方位置に駆動することによって、不図示の搬送機構との間にウエハの受け渡しを行いうる。
図５には、粗動ステージ装置、特にＸスライダ１０２、Ｙスライダ１０３、ＸＹスライダ１０４の詳細な構成が例示的に示されている。ＸＹスライダ１０４は、ＸＹスライダ下部品１０４－３、ＸＹスライダ中部品１０４－２、ＸＹスライダ上部品１０４－１を含みうる。ＸＹスライダ下部品１０４－３は、ステージベース１０５の上にＸＹ方向に滑動自在に支持され、その上にＸＹスライダ中部品１０４－２が配置され、その上にＸＹスライダ上部品１０４－１が配置されうる。
Ｘスライダ１０２は、Ｘビーム１０２－１、２つのＸフット１０２－２、２つのＸヨーガイド１０２－３を含みうる。２つのＸヨーガイド１０２－３は、ステージベース１０５の２つの側面に固定されうる。２つのＸフット１０２－２は、Ｘビーム１０２－１で連結されうる。一方のＸフット１０２－２は、一方のＸヨーガイド１０２－３の側面およびステージベース１０５の上面に対して空隙を介して対面し、Ｘ軸方向に滑動自在に支持されうる。他方のＸフット１０２－２は、他方のＸヨーガイド１０２－３の側面およびステージベース１０５の上面に対して空隙を介して対面し、Ｘ軸方向に滑動自在に支持されうる。これにより、Ｘビーム１０２－１と２つのＸフット１０２－２との一体物は、Ｘ軸方向に滑動自在に配置されうる。また、Ｘビーム１０２－１の両側面は、ＸＹスライダ中部品１０４－２の内側面に対して微小空隙を介して滑動自在に対面し、ＸＹスライダ１０４をＸＹ方向に滑動自在に拘束しうる。
Ｙスライダ１０３は、Ｙビーム１０３－１、Ｙフット１０３－２、Ｙヨーガイド１０３－３を含みうる。２つのＹヨーガイド１０３－３は、ステージベース１０５の２つの側面に固定され、２つのＹフット１０３－２は、Ｙビーム１０３－１で連結されうる。一方のＹフット１０３－２は、一方のＹヨーガイド１０３－３の側面およびステージベース１０５の上面に対して空隙を介して対面し、Ｙ軸方向に滑動自在に支持されうる。他方のＹフット１０３－２は、他方のＹヨーガイド１０３－３の側面およびステージベース１０５の上面に対して空隙を介して対面し、Ｙ軸方向に滑動自在に支持されうる。これにより、Ｙビーム１０３－１と２つのＹフット１０３－２の一体物は、Ｘ軸方向に滑動自在に配置されうる。また、Ｙビーム１０３－１の両側面は、ＸＹスライダ上部品１０４－１の内側面に対して微小空隙を介して滑動自在に対面し、ＸＹスライダ１０４をＸＹ方向に滑動自在に拘束しうる。
図６には、粗動リニアモータ１０６の詳細な構成が例示的に示されている。粗動リニアモータ１０６は、複数のリニアモータコイル１０６－１、コイル支持板１０６－２、支柱１０６－３、コイルベース１０６－４、２つのリニアモータ磁石１０６－５、ヨーク１０６－６、２つのスペーサ１０６－７、および、アーム１０６－８を含みうる。
複数のリニアモータコイル１０６－１は、隣り合うリニアモータコイル１０６－１の位相が互いに９０度異なる２相コイルユニットでありうる。複数のリニアモータコイル１０６－１は、コイル支持板１０６－２に固定され、支柱１０６－３を介してコイルベース１０６－４に固定されうる。コイルベース１０６－４は、ステージ定盤６９２に固定されてもよいし、ステージ定盤６９２によってコイル並び方向に滑動自在に支持されてもよい。コイルベース１０６－４が滑動自在に支持すれる構成では、加速の反動を吸収することができる。２つのリニアモータ磁石１０６－５は、それぞれ４極磁石ユニットであってよく、これらは空隙を介してリニアモータコイル１０６－１を上下から挟むように配置されうる。
各リニアモータ磁石１０６－５の裏には、ヨーク１０６－６が配置されうる。スペーサ１０６－７は、吸引力に対抗して２つのリニアモータ磁石１０６－５の隙間を保つために用いられうる。リニアモータ磁石１０６－５、ヨーク１０６－６、スペーサ１０６－７で構成される構造体は、アーム１０６－８を介してＸフット１０２－２またはＹフット１０３－２に固定されうる。該構造体は、Ｘビームと２個のＸフットの一体物や、Ｙビームと２個のＹフットの一体物にＸ軸方向、Ｙ軸方向の推力を与えうる。また、この構成において、２相のコイルのうち磁石と対面しているコイルに対して位置に応じた正弦波電流を流すことで連続的に力を発生させることができる。
図７には、ウエハ７００上の複数のショット領域の配列であるショットレイアウト図が例示的に示されている。ウエハ７００上には、Ｘ軸方向のサイズ、Ｙ軸方向のサイズがそれぞれＳｘ、Ｓｙのショット領域７０１が配置されうる。複数のショット領域７０１は、例えば、ステップ・スキャン軌跡に沿ってスキャン露光が行われる。微動ステージ１０１－１は、スキャン露光時はレチクルステージに同期してＹ軸方向にレチクルステージの走査量の１／投影倍率の走査量のスキャン駆動がなされうる。また、スキャン露光が終了したら、微動ステージ１０１－１は、Ｙ軸方向にＵターンしつつＸ軸方向にステップして次のショット領域のスキャン露光がなされうる。微動ステージ１０１－１の加速には電磁石を使い、位置制御にはリニアモータを使うことで、高精度な位置制御と低発熱を両立することができる。
微動ステージ１０１－１を加速させる際に、微動ステージ１０１－１に対してモーメントが作用しうる。このようなモーメントを相殺するために微動ＺＬＭ１０１－６を動作させると、これにより微動ＺＬＭ１０１－６からの発熱が増大しうる。この発熱は微動ステージ１０１－１の変形をもたらし、この変形はオーバーレイ精度の低下をもたらしうる。
微動ＺＬＭ１０１－６からの発熱を抑えるためには、微動ステージ１０１－１を加速させる際に微動ステージ１０１－１に作用するモーメントを低減することが有効である。微動ステージ１０１－１を加速させる際に微動ステージ１０１－１に作用するモーメントを低減するためには、微動ＸＬＭ１０１－４、微動ＹＬＭ１０１－５、微動ＺＬＭ１０１－６と微動ステージ１０１－１の重心との距離を小さくことが有効である。そのためには、微動ベース１０１－２上における微動電磁石１０１－３の可動鉄心のＺ軸方向の長さを小さくすることが有利である。
図８、図９、図１０には、第１実施形態の露光装置あるいはウエハステージ装置５００に組み込まれる微動電磁石１０１－３の構成が例示的に示されている。第１実施形態の微動電磁石１０１－３は、微動ステージ１０１－１を加速させる際に微動ステージ１０１－１に作用するモーメントを低減するために有利な構造を有する。微動電磁石１０１－３は、固定鉄心（第１部材）ＳＣと、固定鉄心ＳＣを支持する支持部材１０１－３０と、可動鉄心（第２部材）ＭＣと、可動鉄心ＭＣを支持する支持部材１０１－３１と、コイル１０１－３６とを含みうる。支持部材１０１－３０は、固定鉄心ＳＣを粗動ステージとしての微動ベース１０１－２に固定し、支持部材１０１－３１は、可動鉄心ＭＣを微動ステージ１０１－１に固定する。コイル１０１－３６は、固定鉄心ＳＣに巻かれる。コイル１０１－３６の中心軸は、ＸＹ平面（粗動ステージとしての微動ベース１０１－２が移動する平面）に平行であってよい。
図８、図９、図１０の例では、微動ベース１０１－２の上に４つの支持部材１０１－３０が固定され、その各々の上に固定鉄心ＳＣが配置され、各固定鉄心ＳＣにコイル１０１－３６が巻かれうる。固定鉄心ＳＣと可動鉄心ＭＣとは、微小空隙を介して対面している。Ｚ軸方向（粗動ステージとしての微動ベース１０１－２が移動するＸＹ平面に直交する方向）における可動鉄心ＭＣの寸法Ｈｉは、Ｚ軸方向における固定鉄心ＳＣの寸法Ｈｅより小さいことが好ましい。換言すると、可動鉄心ＭＣのＺ軸方向の長さを小さくすることが好ましいい。これは、微動ステージ１０１－１を加速させる際に微動ステージ１０１－１に対して作用するモーメントを小さくするために有効である。
図１１を参照しながら固定鉄心ＳＣおよび可動鉄心ＭＣの好ましい構成および配置について説明する。粗動ステージとしての微動ベース１０１－２に固定され、コイル１０１－３６が巻かれた固定鉄心ＳＣは、第１端面Ｅ１を有する。微動ステージ１０１－１に固定された可動鉄心ＭＣは、空隙を介して第１端面Ｅ１に対向する第２端面Ｅ２を有する。
図１において、ｄ１は、第１端面Ｅ１のうち微動ステージ１０１－１によって保持されるウエハ（基板）７００から最も遠い位置までの第１距離である。ｄ２は、第２端面Ｅ２のうち微動ステージ１０１－１によって保持されるウエハ７００から最も遠い位置までの第２距離である。この定義において、ｄ１からｄ２を減じた差分（ｄ１－ｄ２）の最大値が正の所定値ＰＶより大きいことが好ましい。
微動ＺＬＭ（第１微動アクチュエータ）１０１－６は、差分（ｄ１－ｄ２）が０以上の範囲に維持されるように微動ステージ１０１－１を駆動するように構成および制御されうる。所定値ＰＶは、微動ＺＬＭ（第１微動アクチュエータ）１０１－６に要求されるストロークとして理解されてよい。
１つの例において、所定値ＰＶは、取扱可能なウエハ（基板）の最大厚と基板標準厚との差分ｄｗｕである。基板標準厚は、微動ステージ１０１－１のチャック面が基準高さ（Ｚ軸方向における基準位置）に配置されている場合において、そのチャック面と投影光学系６８７の像面ＦＰとの距離である。微動ステージ１０１－１のチャック面は、ウエハを保持するチャックがピンチャックである場合は、ウエハを支持する複数のピンの先端によって規定される面である。微動ステージ１０１－１のチャック面は、ウエハの下面、あるいは、微動ステージ１０１－１の側の面として理解されてもよい。
他の例として、微動ステージ１０１－１にキャリブレーションマークが設けられていて、標準基板厚を有する基板の表面とキャリブレーションマークの表面との高低差ｈｍが存在する場合がある。このような場合、所定値ＰＶは、取扱可能な基板の最大厚と標準基板厚との差分ｄｗｕと、高低差ｈｍと、の和でありうる。
更に他の例として、ウエハステージ装置５００がウエハの受け渡しのためのピンユニットを備えなく、ウエハの受け渡しのために微動ステージ１０１－１を微動ＺＬＭ（第１微動アクチュエータ）１０１－６によって昇降させる構成が採用される場合がる。このような場合、所定値ＰＶは、取扱可能な基板の最大厚と標準基板厚との差分ｄｗｕと、高低差ｈｍと、基板の受け渡しのための微動ステージ１０１－１の駆動量ｈｕと、の和でありうる。
可動鉄心ＭＣの軽量化のため、ＸＹ平面に垂直な方向における第２端面Ｅ２の寸法（例えばＨｉ）は、ＸＹ平面に垂直な方向における第１端面Ｅ１の寸法（例えばＨｅ）より小さいことが好ましい。可動鉄心ＭＣの軽量化は、微動ステージ１０１－１の加速の際に微動ステージ１０１－１に作用するモーメントを低減するように機能する。
図１２、図１３、図１４には、第２実施形態の露光装置あるいはウエハステージ装置５００に組み込まれた微動電磁石１０１－３の構成が例示的に示されている。第２実施形態として言及しない事項は、第１実施形態に従いうる。第２実施形態の微動電磁石１０１－３は、微動ステージ１０１－１を加速させる際に微動ステージ１０１－１に作用するモーメントを低減するために更に有利な構造を有する。微動電磁石１０１－３は、固定鉄心（第１部材）ＳＣと、固定鉄心ＳＣを支持する支持部材１０１－３０と、可動鉄心（第２部材）ＭＣと、可動鉄心ＭＣを支持する支持部材１０１－３１と、コイル１０１－３６とを含みうる。支持部材１０１－３０は、固定鉄心ＳＣを粗動ステージとしての微動ベース１０１－２に固定し、支持部材１０１－３１は、可動鉄心ＭＣを微動ステージ１０１－１に固定する。コイル１０１－３６は、固定鉄心ＳＣに巻かれる。コイル１０１－３６の中心軸は、ＸＹ平面（粗動ステージとしての微動ベース１０１－２が移動する平面）に対して垂直な角度で配置されうる。このような構成が、固定鉄心ＳＣおよびコイル１０１－３６からなる構造体の高さを低くするために有利であり、これは可動鉄心ＭＣのＺ軸方向の寸法を小さくするために有効である。ＸＹ平面に垂直でコイル１０１－３６の中心軸に平行な断面において、固定鉄心ＳＣは、Ｌ形状を有する部分を含みうる。微動ベース１０１－２は、開口を有してもよく、微動電磁石１０１ａ－３の一部は、該開口の中に配置されてもよい。
ここで、図１５を参照しながら微動ステージ１０１－１に作用するモーメントについて説明する。微動ステージ装置１０１を図１５のようにモデル化すると、質量ｍの微動ステージ１０１－１を加速度ａで加速させる時に微動ステージ１０１－１に作用するモーメントＭは、Ｍ＝ｍ・ａ・（ｈｇ＋ｈｕ＋ｈｅ）である。ｈｇは、微動ステージ１０１－１および微動ステージ１０１－１とともに移動する構成要素（可動鉄心ＭＣおよび支持部材１０１－３１等）からなる構造体の重心Ｇと微動ステージ１０１－１の下面（微動ベース１０１－２側の面）との間のＺ軸方向距離である。ｈｕは、微動ステージ１０１－１の下面と微動電磁石１０１－３の上端（微動ステージ１０１－１側の端）との間のＺ軸方向距離である。ｈｅは、固定鉄心ＳＣの上端と微動電磁石１０１－３の作用点との間のＺ軸方向距離である
このようなモーメントは、微動ＺＬＭ１０１－６によって相殺されうる。しかし、モーメントを相殺するために微動ＺＬＭ１０１－６を動作させることによって微動ＺＬＭ１０１－６が熱を発生し、これによって微動ステージ１０１－１が変形し、結果としてオーバーレイ精度を低下させる可能性がある。よって、前述のように、微動ステージ１０１－１を加速させる際に発生するモーメントを小さくすることが重要である。
また、微動ステージ１０１－１の変形は、微動電磁石１０１－３が発生する熱によっても起こりうる。微動電磁石１０１－３が発生する熱は、磁気回路における渦電流によって引き起こされうる。図３１には、三次元状の構造を有する固定鉄心ＳＣの構成が模式的に示されている。図３１の例では、固定鉄心ＳＣは、複数の電磁鋼板の積層体で構成され、積層方法は、Ｚ軸方向である。各電磁鋼板は、絶縁膜によって被覆されている。図３１において、磁気回路における磁束の方向が黒矢印で示され、磁束は、３次元的な経路を通して流れる。Ｚ軸方向に流れる磁束は、太い黒矢印で示されている。太い黒矢印の方向は、電磁鋼板の法線方向と平行なので、電流の変化によって発生する渦電流は、電磁鋼板の面に沿って流れ、それを抑制するものがない。したがって、白抜きの太い矢印のように、大きな渦電流が発生しうる。これにより、固定鉄心ＳＣが発熱し、その熱が微動ステージ１０１－１に伝達され、微動ステージ１０１－１が変形することによってオーバーレイ精度が低下しうる。また、太い黒矢印で示されるＺ軸方向の磁束は、電磁鋼板の法線方向に平行な方向を有するので、磁気抵抗が大きく、磁束の値が低下し、吸引力が低下するという不利益をもたらしうる。
以下、第２実施形態の露光装置あるいはウエハステージ装置５００に組み込まれた微動電磁石１０１－３の改良例を説明する。ここで言及しない事項は、第１実施形態の改良例に従いうる。図１６、図１７には、第２実施形態の微動電磁石１０１－３の改良例の構成が例示的に示されている。なお、図１７には、微動ベース１０１－２を取り去った状態の微動電磁石１０１－３の構成が例示的に示されている。
この改良例では、微動ベース１０１－２に対して４つの開口３０１－２１が設けられ、各微動電磁石１０１－３の一部は、対応する開口３０１－２１の中に配置されうる。４つの微動電磁石１０１－３のそれぞれの一部は、微動ベース１０１－２の下に配置されてもよい。各微動電磁石１０１－３は、支持部材３０１－３０を介して微動ベース１０１－２によって支持されうる。このような構成は、微動ベース１０１－２の上における微動電磁石１０１－３の高さを低くすること、および、微動電磁石１０１－３のＸＹ方向における寸法を小さくするために有利である。
微動電磁石１０１－３は、固定鉄心（第１部材）ＳＣと、固定鉄心ＳＣを支持する支持部材３０１－３０と、可動鉄心（第２部材）ＭＣと、可動鉄心ＭＣを支持する支持部材１０１－３１と、コイル３０１－３６とを含みうる。固定鉄心（第１部材）ＳＣは、第１要素３０１－３２、第２要素３０１－３３、第３要素３０１－３４および第４要素３０１－３５を含みうる。可動鉄心（第２部材）ＭＣは、要素１０１－３８を含みうるが、要素１０１－３８の他に１又は複数の他の要素を含んでもよい。固定鉄心（第１部材）ＳＣは、第１端面Ｅ１を有し、可動鉄心（第２部材）ＭＣは、第１端面Ｅ１に対して空隙を介して対面する第２端面Ｅ２を有しうる。この例では、第１端面Ｅ１は、第２要素３０１－３３、第３要素３０１－３４および第４要素３０１－３５のそれぞれに設けられ、第２端面Ｅ２は、要素１０１－３８に設けられている。
固定鉄心（第１部材）ＳＣは、複数の電磁鋼板の積層体で構成されうる。該複数の電磁鋼板の各々は、絶縁膜によって被覆されうる。他の観点において、固定鉄心（第１部材）ＳＣを構成する第１要素３０１－３２、第２要素３０１－３３、第３要素３０１－３４および第４要素３０１－３５の各々は、複数の電磁鋼板の積層体で構成されうる。可動鉄心（第２部材）ＭＣは、複数の電磁鋼板の積層体で構成されうる。他の観点において、可動鉄心（第２部材）ＭＣを構成する少なくとも１つの要素である要素１０１－３８は、複数の電磁鋼板の積層体で構成されうる。該複数の電磁鋼板の各々は、絶縁膜によって被覆されうる。
固定鉄心（第１部材）ＳＣ、可動鉄心（第２部材）ＭＣおよび空隙（第１端面Ｅ１と第２端面Ｅ２との間の空間）によって構成される磁気回路は、複数の電磁鋼板の積層体における積層方向が直角に変化する少なくとも１つの変化部ＣＰを含みうる。変化部ＣＰは、積層方向が第１方向（例えば、Ｙ軸方向）である第１部分（例えば、第１要素３０１－３２）と積層方向が第１方向に直交する第２方向（例えば、Ｘ軸方向）である第２部分（例えば、第３要素３０１－３４）との接触部を含みうる。変化部ＣＰは、積層方向が第１方向である第１部分（例えば、第１要素３０１－３２）と積層方向が第１方向に直交する第２方向である第２部分（例えば、第３要素３０１－３４）とを固体部材を介して対面させる部分を含みうる。該固体部材は、例えば、複数の電磁鋼板をそれぞれ被覆する絶縁膜でありうる。
図１６、図１７の例では、変化部ＣＰは、固定鉄心（第１部材）ＳＣに設けられている。また、図１６、図１７の例では、変化部ＣＰは、固定鉄心（第１部材）ＳＣと可動鉄心（第２部材）ＭＣとを空隙を介して対面させた部分を含む。後者の構成は、変化部ＣＰを構成する第１部分および第２部分のうち第１部分が固定鉄心（第１部材）ＳＣに設けられ、第２部分が可動鉄心（第２部材）ＭＣに設けられた構成として理解されてもよい。変化部ＣＰは、可動鉄心（第２部材）ＭＣに対して追加的に設けられてもよいし、可動鉄心（第２部材）ＭＣにのみ設けられてもよい。図１６、図１７の例では、第２要素３０１－３３、第３要素３０１－３４および第４要素３０１－３は、Ｌ型の形状を有し、第１要素３０１－３２は、直方体形状を有する。
図１８には、第２実施形態の微動電磁石１０１－３の他の改良例の構成が例示的に示されている。微動電磁石１０１－３は、固定鉄心（第１部材）ＳＣと、固定鉄心ＳＣを支持する支持部材２０１ａ－３０と、可動鉄心（第２部材）ＭＣと、可動鉄心ＭＣを支持する支持部材１０１－３１と、コイル２０１ａ－３６とを含みうる。固定鉄心（第１部材）ＳＣは、第１要素２０１ａ－３２、第２要素２０１ａ－３３、第３要素２０１ａ－３４および第４要素２０１ａ－３５を含みうる。可動鉄心（第２部材）ＭＣは、要素１０１－３８を含みうるが、要素１０１－３８の他に１又は複数の他の要素を含んでもよい。固定鉄心（第１部材）ＳＣは、第１端面Ｅ１を有し、可動鉄心（第２部材）ＭＣは、第１端面Ｅ１に対して空隙を介して対面する第２端面Ｅ２を有しうる。この例では、第１端面Ｅ１は、第２要素２０１ａ－３３、第３要素２０１ａ－３４および第４要素２０１ａ－３５のそれぞれに設けられ、第２端面Ｅ２は、要素１０１－３８に設けられている。図１８の改良例では、第１要素２０１ａ－３２は、Ｅ型の形状を有し、コイル２０１ａ－３６は、第１要素２０１ａ－３２の中央の歯に巻かれている。また、図１８の改良例では、第２要素２０１ａ－３３、第３要素２０１ａ－３４および第４要素２０１ａ－３５は、直方体形状を有する。
以下、図２４～図２８を参照しながら図２４の他の改良例の微動電磁石１０１－３の組立方法あるいは製造方法を説明する。図２４には、図１８の改良例の微動電磁石１０１－３を分解した状態が示されている。第１要素２０１ａ－３２と支持部材２０１ａ－３０とは、接着剤、クランプ、嵌め合い等によって結合されうる。また、コイル２０１ａ－３６とコイルベース２０１ａ－４２とは、接着材等によって結合されうる。また、第２要素２０１ｂ－３３、第３要素２０１ｂ－３４および第４要素２０１ｂ－３５は、先端部品スペーサ２０１ａ－４０を介して接着材、クランプ、嵌め合い等によって結合されうる。
図２５に例示されるように、微動ベース１０１－２の開口２０１ａ－２１に第１要素２０１ａ－３２が挿入され、第１要素２０１ａ－３２と支持部材２０１ａ－３０との結合体が微動ベース１０１－２に位置決めされうる。そして、支持部材２０１ａ－３０が微動ベース１０１－２に固定されうる。微動ベース１０１－２に対する支持部材２０１ａ－３０の固定は、例えば、ねじ締結、接着剤、クランプ、嵌め合い等によってなされうる。
次に、図２６に例示されるように、コイル２０１ａ－３６とコイルベース２０１ａ－４２との結合体が微動ベース１０１－２に位置決めされ、コイルベース２０１ａ－４２が微動ベース１０１－２に固定されうる。微動ベース１０１－２に対するコイルベース２０１ａ－４２の固定は、例えば、ねじ締結、接着剤、クランプ、嵌め合い等によってなされうる。
次に、図２７に例示されるように、先端部品ベース２０１ａ－４１が微動ベース１０１－２に対して、例えば、ねじ締結、接着剤、クランプ、嵌め合い等によって固定されうる。
次に、図２８に例示されるように、第２要素２０１ｂ－３３、第３要素２０１ｂ－３４、第４要素２０１ｂ－３５および第２要素２０１ｂ－３３、第３要素２０１ｂ－３４および第４要素２０１ｂ－３５の結合体が先端部品ベース２０１ａ－４１に固定されうる。これは、先端部品スペーサ２０１ａ－４０を先端部品ベース２０１ａ－４１に対してねじ締結、接着剤、クランプ、嵌め合い等によって固定することによってなされうる。
コイル２０１ａ－３６の交換は、上記とは逆の手順を経て図２５に示す状態に戻り、図２１に例示されるように、新たなコイル２０１ａ－３６を微動ベース１０１－２に固定し、その後、図２７、図２８に例示される手順を経て行われうる。
複数の要素を結合することによって固定鉄心ＳＣを形成する場合、例えば、２つの要素の境界（例えば、第２要素２０１ａ－３３と第１要素２０１ａ－３２との境界）で境界面に沿って２つの要素間で微小な相対ずれが発生し、パーティクルを発生する懸念がある。この対策として、境界面にパーティクルを防止するためのコーティングを施してもよいし、境界面の付近に回収パンを設けてもよいし、境界面の付近に捕集マグネットを設けてもよい。また、先端部品スペーサ２０１ａ－４０を先端部品ベース２０１ａ－４１に固定する際に、両者の間に薄いスペーサを挿入して第１要素２０１ａ－３２と第２要素２０１ａ－３３、第３要素２０１ａ－３４、第４要素２０１ａ－３５とを非接触に状態に維持してもよい。
以下、第３実施形態の露光装置および微動電磁石１０１－３について説明する。第３実施形態として言及しない事項は、第１又は第２実施形態に従いうる。図１９には、第３実施形態の微動電磁石１０１－３の構成が例示的に示されている。微動電磁石１０１－３は、固定鉄心（第１部材）ＳＣと、固定鉄心ＳＣを支持する支持部材３０１ａ－３０と、可動鉄心（第２部材）ＭＣと、可動鉄心ＭＣを支持する支持部材３０１ａ－３１と、コイル３０１ａ－３６とを含みうる。固定鉄心（第１部材）ＳＣは、第１要素３０１ａ－３２、第２要素３０１ａ－３７、第３要素３０１ａ－３３、第４要素３０１ａ－３４、第５要素３０１ａ－３５を含みうる。可動鉄心（第２部材）ＭＣは、要素３０１ａ－３８を含みうるが、要素３０１ａ－３８の他に１又は複数の他の要素を含んでもよい。固定鉄心（第１部材）ＳＣは、第１端面Ｅ１を有し、可動鉄心（第２部材）ＭＣは、第１端面Ｅ１に対して空隙を介して対面する第２端面Ｅ２を有しうる。この例では、第１端面Ｅ１は、第３要素３０１ａ－３３、第４要素３０１ａ－３４および第５要素３０１ａ－３５のそれぞれに設けられ、第２端面Ｅ２は、要素３０１ａ－３８に設けられている。
固定鉄心（第１部材）ＳＣは、複数の電磁鋼板の積層体で構成されうる。該複数の電磁鋼板の各々は、絶縁膜によって被覆されうる。他の観点において、固定鉄心（第１部材）ＳＣの一部を構成する第３要素３０１ａ－３３および第４要素３０１ａ－３４、および、第５要素３０１ａ－３５は、複数の電磁鋼板を積層した積鉄心で構成されうる。また、固定鉄心（第１部材）ＳＣの他の一部を構成する第１要素３０１ａ－３２、および、第２要素３０１ａ－３７、電磁鋼板を巻いて形成されうる巻鉄心で構成されうる。なお、固定鉄心（第１部材）ＳＣを構成する部品として使用される状態において、巻鉄心は、複数の電磁鋼板を積層した構造の一形態を有する。可動鉄心（第２部材）ＭＣは、複数の電磁鋼板を積層した積鉄心で構成されうる。他の観点において、可動鉄心（第２部材）ＭＣを構成する少なくとも１つの要素である要素３０１ａ－３８は、複数の電磁鋼板の積層体で構成されうる。該複数の電磁鋼板の各々は、絶縁膜によって被覆されうる。
固定鉄心（第１部材）ＳＣ、可動鉄心（第２部材）ＭＣおよび空隙（第１端面Ｅ１と第２端面Ｅ２との間の空間）によって構成される磁気回路は、複数の電磁鋼板の積層体における積層方向が直角に変化する変化部ＣＰ、ＣＰ’を含みうる。変化部ＣＰは、積層方向が第１方向（例えば、Ｚ軸方向）である第１部分（例えば、第５要素３０１ａ－３８）と積層方向が第１方向に直交する第２方向（例えば、Ｘ軸方向）である第２部分（例えば、第２要素３０１ａ－３７）との接触部を含みうる。変化部ＣＰは、積層方向が第１方向である第１部分（例えば、第５要素３０１ａ－３８）と積層方向が第１方向に直交する第２方向である第２部分（例えば、第２要素３０１ａ－３７）とを固体部材を介して対面させる部分を含みうる。該固体部材は、例えば、複数の電磁鋼板をそれぞれ被覆する絶縁膜でありうる。変化部ＣＰ’は、積層方向が第１方向（例えば、Ｘ軸方向）から第１方向に直交する第２方向（例えば、Ｚ軸方向）に緩やかに変化する部分を含む。積層方向が緩やかに変化する部分を含む変化部ＣＰ’は、巻鉄心の一部でありうる。固定鉄心（第１部材）ＳＣは、積層方向が第１方向（例えば、Ｘ軸方向）である第１部分Ｐ１および第２方向（例えば、Ｚ軸方向）である第２部分Ｐ２を含み、第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２との間で積層方向が緩やかに変化する。変化部ＣＰ’は、第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２との間の部分である。
図１９の例では、変化部ＣＰ、ＣＰ’は、固定鉄心（第１部材）ＳＣに設けられている。変化部ＣＰおよびＣＰ’の少なくとも１つは、可動鉄心（第２部材）ＭＣに対して追加的に設けられてもよいし、可動鉄心（第２部材）ＭＣにのみ設けられてもよい。固定鉄心（第１部材）ＳＣおよび可動鉄心（第２部材）ＭＣのうちの一方は、少なくとも１つの積鉄心で構成され、固定鉄心（第１部材）ＳＣおよび可動鉄心（第２部材）ＭＣのうちの他方は、巻鉄心で構成され、変化部は、巻鉄心によって構成されてもよい。
第１要素３０１ａ－３２、第２要素３０１ａ－３７、第３要素３０１ａ－３３および第４要素３０１ａ－３４、第５要素３０１ａ－３５は、接着材を使って一体化されてもよいし、クランプ部品を使って締結されることによって一体化されてもよい。この例では、変化部ＣＰ、ＣＰ’が固定鉄心（第１部材）ＳＣに設けられ、コイル３０１ａ－３６は、固定鉄心（第１部材）ＳＣに巻かれている。コイル３０１ａ－３６は、固定鉄心（第１部材）ＳＣのうち変化部ＣＰ、ＣＰ’が配置された部分とは異なる部分に巻かれうる。コイル３０１ａ－３６に電流を流すことによって、第１端面Ｅ１と第２端面Ｅ２との間に吸引力が発生する。図１９の例では、第１要素３０１ａ－３２および第２要素３０１ａ－３７は、Ｕ型の形状を有し、コイル３０１ａ－３６は、第１要素３０１ａ－３２の１つの歯および第２要素３０１ａ－３７の１つの歯が一体化された部分に巻かれている。
変化部ＣＰ、ＣＰ’は、固定鉄心（第１部材）ＳＣ、可動鉄心（第２部材）ＭＣおよび空隙によって構成される磁気回路を通る磁束が、固定鉄心ＳＣ、可動鉄心ＭＣを構成する複数の電磁鋼板をそれらの積層方向に流れないように設けられる。あるいは、変化部ＣＰ、ＣＰ’は、固定鉄心（第１部材）ＳＣ、可動鉄心（第２部材）ＭＣは、固定鉄心ＳＣ、可動鉄心ＭＣを通る磁束が各電磁鋼板の面方向に沿って流れるように設けられうる。あるいは、変化部ＣＰ、ＣＰ’は、固定鉄心（第１部材）ＳＣ、可動鉄心（第２部材）ＭＣおよび空隙によって構成される磁気回路の磁気抵抗が、変化部ＣＰ、ＣＰ’がない場合よりも小さくなるように設けられうる。あるいは、変化部ＣＰ、ＣＰ’は、固定鉄心（第１部材）ＳＣ、可動鉄心（第２部材）ＭＣおよび空隙によって構成される磁気回路において発生する渦電流が、変化部ＣＰ、ＣＰ’がない場合よりも小さくなるように設けられうる。
図１９の例では、第１端面Ｅ１を有する第３要素３０１ａ－３３、第４要素３０１ａ－３４および第５要素３０１ａ－３５の積層方向（Ｚ軸方向）と、第２端面Ｅ２を有する要素３０１ａ－３８の積層方向（Ｚ軸方向）とが等しい。これは、空隙の近傍における磁気抵抗を低減し磁束を増加することに寄与しうる。
図１９の構成例に代えて、第３要素３０１ａ－３３、第４要素３０１ａ－３４および第５要素３０１ａ－３５の積層方向をＸ軸方向にしてもよい。このような構成は、第３要素３０１ａ－３３、第４要素３０１ａ－３４および第５要素３０１ａ－３５と第１要素３０１ａ－３２および第２要素３０１ａ－３７との境界部の近傍における磁気抵抗を低減し磁束を増加することに寄与しうる。
図２０には、第３実施形態の微動電磁石１０１－３の変形例の構成が例示的に示されている。変形例として言及しない事項は、図１９に示された第３実施形態の構成に従いうる。微動電磁石１０１－３は、固定鉄心（第１部材）ＳＣと、固定鉄心ＳＣを支持する支持部材３０１ｂ－３０と、可動鉄心（第２部材）ＭＣと、可動鉄心ＭＣを支持する支持部材３０１ｂ－３１と、コイル３０１ｂ－３６とを含みうる。固定鉄心（第１部材）ＳＣは、第１要素３０１ｂ－３２、第２要素３０１ｂ－３３を含みうる。可動鉄心（第２部材）ＭＣは、第３要素３０１ｂ－３７、第４要素３０１ｂ－３８を含みうる。固定鉄心（第１部材）ＳＣは、第１端面Ｅ１を有し、可動鉄心（第２部材）ＭＣは、第１端面Ｅ１に対して空隙を介して対面する第２端面Ｅ２を有しうる。この例では、第１端面Ｅ１は、第１要素３０１ｂ－３２および第２要素３０１ｂ－３３のそれぞれに設けられ、第２端面Ｅ２は、第３要素３０１ｂ－３７および第４要素３０１ｂ－３８のそれぞれに設けられている。
固定鉄心（第１部材）ＳＣは、複数の電磁鋼板の積層体で構成されうる。該複数の電磁鋼板の各々は、絶縁膜によって被覆されうる。他の観点において、固定鉄心（第１部材）ＳＣの一部を構成する第１要素３０１ｂ－３２および第２要素３０１ｂ－３３は、複数の電磁鋼板の積層体で構成されうる。なお、固定鉄心（第１部材）ＳＣを構成する部品として使用される状態において、巻鉄心も、複数の電磁鋼板を積層した構造の一形態を有する。可動鉄心（第２部材）ＭＣは、複数の電磁鋼板の積層体で構成されうる。他の観点において、可動鉄心（第２部材）ＭＣを構成する第３要素３０１ｂ－３７および第４要素３０１ｂ－３８は、複数の電磁鋼板の積層体で構成されうる。該複数の電磁鋼板の各々は、絶縁膜によって被覆されうる。
固定鉄心（第１部材）ＳＣ、可動鉄心（第２部材）ＭＣおよび空隙（第１端面Ｅ１と第２端面Ｅ２との間の空間）によって構成される磁気回路は、複数の電磁鋼板の積層体における積層方向が直角に変化する変化部ＣＰ’、ＣＰ”を含みうる。この例では、変化部ＣＰ’は、固定鉄心（第１部材）ＳＣに設けられ、変化部ＣＰ”は、可動鉄心（第２部材）ＭＣに設けられている。
変化部ＣＰ’は、積層方向が第１方向（例えば、Ｘ軸方向）から第１方向に直交する第２方向（例えば、Ｚ軸方向）に緩やかに変化する部分を含む。積層方向が緩やかに変化する部分を含む変化部ＣＰ’は、巻鉄心の一部でありうる。固定鉄心（第１部材）ＳＣは、積層方向が第１方向（例えば、Ｘ軸方向）である第１部分Ｐ１および第２方向（例えば、Ｚ軸方向）である第２部分Ｐ２を含み、第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２との間で積層方向が緩やかに変化する。変化部ＣＰ’は、第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２との間の部分である。
可動鉄心（第２部材）ＭＣは、積層方向が第１方向（例えば、Ｘ軸方向）である第３部分Ｐ３および第２方向（例えば、Ｙ軸方向）である第４部分Ｐ４を含み、第３部分Ｐ３と第４部分Ｐ４との間で積層方向が緩やかに変化する。変化部ＣＰ”は、第３部分Ｐ３と第４部分Ｐ４との間の部分である。
コイル３０１ｂ－３６に電流を流すことによって、第１端面Ｅ１と第２端面Ｅ２との間に吸引力が発生する。図２０の例では、第１要素３０１ｂ－３２および第２要素３０１ｂ－３３は、Ｕ型の形状を有し、コイル３０１ｂ－３６は、第１要素３０１ａ－３２の１つの歯および第２要素３０１ａ－３７の１つの歯が一体化された部分に巻かれている。
変化部ＣＰ’、ＣＰ”は、固定鉄心（第１部材）ＳＣ、可動鉄心（第２部材）ＭＣおよび空隙によって構成される磁気回路を通る磁束が、固定鉄心ＳＣ、可動鉄心ＭＣを構成する複数の電磁鋼板をそれらの積層方向に流れないように設けられる。あるいは、変化部ＣＰ’、ＣＰ”は、固定鉄心（第１部材）ＳＣ、可動鉄心（第２部材）ＭＣは、固定鉄心ＳＣ、可動鉄心ＭＣを通る磁束が各電磁鋼板の面方向に沿って流れるように設けられうる。あるいは、変化部ＣＰ’、ＣＰ”は、固定鉄心（第１部材）ＳＣ、可動鉄心（第２部材）ＭＣおよび空隙によって構成される磁気回路の磁気抵抗が、変化部ＣＰ’、ＣＰ”がない場合よりも小さくなるように設けられうる。あるいは、変化部ＣＰ’、ＣＰ”は、固定鉄心（第１部材）ＳＣ、可動鉄心（第２部材）ＭＣおよび空隙によって構成される磁気回路において発生する渦電流が、変化部ＣＰ’、ＣＰ”がない場合よりも小さくなるように設けられうる。
図２０の例では、第１端面Ｅ１における第１要素３０１ｂ－３２および第２要素３０１ｂ－３３の積層方向（Ｘ軸方向）と、第２端面Ｅ２における第３要素３０１ｂ－３７および第４要素３０１ｂ－３８の積層方向（Ｘ軸方向）とが等しい。これは、空隙の近傍における磁気抵抗を低減し磁束を増加することに寄与しうる。また、図２３の例では、固定鉄心（第１部材）ＳＣ、可動鉄心（第２部材）ＭＣおよび空隙によって構成される磁気回路において、積層方向が急峻に変化することがなく、これは磁気抵抗を低下させ磁束を増加させるために有利である。
図２１には、可動鉄心ＭＣを支持する支持部材３０１ｂ－３１の構造が例示的に示されている。支持部材３０１ｂ－３１は、巻鉄心で構成されうる可動鉄心ＭＣを支持するためにスターホイール形状を有しうる。
ここで、図２９を参照しながら巻鉄心について説明する。図２９（ａ）には、巻鉄心が例示されている。図２９（ｂ）には、図２９（ａ）に例示された巻鉄心をワイヤカット等で切断して得られる巻鉄心であり、このような巻鉄心は、カットコアとも呼ばれる。巻鉄心は、フープ材を不図示の芯に巻き付けて製造されうる。図３０に例示されるように、フープ材は、図２５に例示されるスリッタで製造されうる。原コイルロールを通板方向に送り、途中に設けた丸刃を含むスリッタで所望の幅に切断することでフープ材が得られる。この幅は、スリッタの丸刃の間隔によって決定される。
図２９（ａ）に例示されるように、巻鉄心は、複数の電磁鋼板の積層体であり、１つの巻鉄心は、複数の積層方向を有する。換言すると、巻鉄心は、前述の変化部を構成する部材として利用可能である。積層方向は、巻鉄心における注目箇所を電磁鋼板に対して垂直な方向に貫通する方向である。巾方向は、スリッタによって決定される方向であり、軸方向でもある。軸方向は、各電磁鋼板の最も広い面のいずれの箇所とも平行な方向である。
１つの側面において、本発明の電磁装置は、積鉄心または巻鉄心で構成される複数の鉄心部材と、該鉄心部材に磁束を発生させるコイルとを備えうる。ここで、ある積鉄心の積層方向とある巻鉄心の幅方向が直交し、または、ある積鉄心と別の積鉄心の積層方向が直交し、または、ある巻鉄心と別の巻鉄心の幅方向が直交しうる。
以下、ウエハステージ装置５００の制御系に関して説明する。図２２には、ウエハステージ装置５００の制御系の構成が例示的に示されている。移動目標提供部５１０１は、移動目標を提供する。位置プロファイル生成器５１０２は、移動目標提供部５１０１から提供される移動目標に基づいて、時間とその時間における微動ステージ１０１－１の位置との関係を示す位置プロファイルを生成する。また、位置プロファイル生成器５１０２は、生成した位置プロファイルに従って目標位置を生成する。加速度プロファイル生成器５１０３は、移動目標提供部５１０１から提供される移動目標に基づいて、時間とその時間における微動ステージ１０１－１の加速度との関係を示す加速度プロファイルを生成する。また、加速度プロファイル生成器５１０３は、生成した加速度プロファイルに従って目標加速度を生成する。図２３には、位置プロファイル生成器５１０２によって生成される位置プロファイルおよび加速度プロファイル生成器５１０３によって生成される加速度プロファイルが例示されている。
微動位置センサ５１５６は、微動ステージ１０１－１の位置を計測する。微動位置制御系５１２１は、位置プロファイル生成器５１０２によって生成される位置プロファイルに従って与えられる目標位置と微動位置センサ５１５６によって与えられる現在位置との偏差に応じてＰＩＤ演算等によって操作量を発生する。電流アンプ５１２２は、微動位置制御系５１２１が発生した操作量に応じた電流を微動ＸＬＭ１０１－４、微動ＹＬＭ１０１－５に供給する。これにより、微動ステージ１０１－１がフィードバック制御される。
粗動位置センサ５１３５は、微動ベース１０１－２の位置を計測する。粗動位置制御系５１３３は、位置プロファイル生成器５１０２によって生成される位置プロファイルに従って与えられる目標位置と粗動位置センサ５１３５によって与えられる現在位置との偏差に応じてＰＩＤ演算等によって操作量を発生する。電流アンプ５１３１は、粗動位置制御系５１３３が発生した操作量、および、加速度プロファイル生成器５１０３から与えられる目標加速度に応じた電流を粗動リニアモータ１０６に供給する。これにより、微動ベース１０１－２がフィードバック制御およびフィードフォワードされる。
加速度プロファイル生成器５１０３が発生する目標加速度は、電磁石電流制御系５５１５にも供給され、電磁石電流制御系５５１５は、目標加速度に応じて微動電磁石１０１－３を制御する。微動ステージ１０１－１（微動ステージ装置１０１）の加速時は、主に微動電磁石１０１－３によって微動ステージ１０１－１に対して力が与えられる。微動ＸＬＭ１０１－４、微動ＹＬＭ１０１－５は、目標位置と計測された現在位置との間の僅かな位置偏差を低減するための推力を発生するように制御されうる。これにより、微動ＸＬＭ１０１－４、微動ＹＬＭ１０１－５が発生する熱が低減されうる。
粗動位置制御系５１３３は、微動ベース１０１－２の位置を位置プロファイル生成器５１０２が発生する位置プロファイルに従って移動させる。微動電磁石１０１－３は、極めて小さい発熱で大きな吸引力を発生するために有利である。しかし、微動電磁石１０１－３における第１端面Ｅ１と第２端面Ｅ２との間の空隙が維持されなければならない。つまり、微動電磁石１０１－３によって微動ステージ１０１－１に所望の力を与え続けるためには、微動ステージ１０１－１の移動にならって微動電磁石１０１－３の固定子（固定鉄心およびコイル）を移動させ、空隙を維持する必要がある。また、微動ＺＬＭが発生する熱は、微動ベース１０１－２上における微動電磁石１０１－３の高さを低減することによって低減されうる。以上により、微動ステージ１０１－１の高精度な位置制御、発熱の低減、および、オーバーレイ誤差の低減が実現されうる。
これを実現するのが粗動位置制御系５１３３である。粗動位置つまり微動ベース１０１－２の位置がエンコーダに代表される粗動位置センサ５１３５で計測され、これと目標位置との偏差に基づいて粗動位置制御系５１３３によって粗動リニアモータ１０６が駆動される。この結果、微動ステージ１０１－１（微動電磁石１０１－３の可動子）の位置も微動ベース１０１－２（微動電磁石１０１－３の固定子）の位置も位置プロファイル生成器５１０２の出力に基づいて制御され、空隙が維持される。微動ステージ１０１－１の位置を計測する微動位置センサ５１５６は、微動ステージ１０１－１と微動ベース１０１－２との相対位置を計測するセンサによって置き換えられてもよい。
本明細書の開示は、以下の転写装置および物品製造方法を含む。
（項目１）
原版のパターンを基板に転写する転写装置であって、
粗動ステージと、所定の平面に沿って前記粗動ステージを駆動する粗動アクチュエータと、前記基板を保持する微動ステージと、前記粗動ステージに対する前記微動ステージの位置および姿勢を調整するための微動アクチュエータと、前記粗動アクチュエータによって前記粗動ステージに与えられる推力を非接触で前記微動ステージに伝達するための電磁アクチュエータと、を含み、
前記電磁アクチュエータは、前記粗動ステージに固定され第１端面を有する固定鉄心と、前記固定鉄心に巻かれたコイルと、前記微動ステージに固定され前記第１端面に対向する第２端面を有する可動鉄心と、を含み、
前記第１端面のうち前記微動ステージによって保持される前記基板から最も遠い位置までの第１距離から前記第２端面のうち前記微動ステージによって保持される前記基板から最も遠い位置までの第２距離を減じた差分の最大値が正の所定値より大きい、
ことを特徴とする転写装置。
（項目２）
前記微動アクチュエータは、前記差分が０以上の範囲に維持されるように前記微動ステージを駆動する、
ことを特徴とする項目１に記載の転写装置。
（項目３）
前記所定値は、取扱可能な基板の最大厚と標準基板厚との差分である、
ことを特徴とする項目１又は２に記載の転写装置。
（項目４）
前記微動ステージは、キャリブレーションマークを有し、
前記所定値は、取扱可能な基板の最大厚さと標準基板厚との差分と、前記標準基板厚を有する基板の表面と前記キャリブレーションマークの表面との高低差と、の和である、
ことを特徴とする項目１又は２に記載の転写装置。
（項目５）
前記微動ステージは、キャリブレーションマークを有し、
前記所定値は、取扱可能な基板の最大厚と標準基板厚との差分と、前記標準基板厚を有する基板の表面と前記キャリブレーションマークの表面との高低差と、基板の受け渡しのための前記微動ステージの駆動量と、の和である、
ことを特徴とする項目１又は２に記載の転写装置。
（項目６）
前記平面に垂直な方向における前記第２端面の寸法が、前記平面に垂直な方向における前記第１端面の寸法より小さい、
ことを特徴とする項目１又は２に記載の転写装置。
（項目７）
前記平面に対して前記コイルの中心軸が平行である、
ことを特徴とする項目１乃至６のいずれか１項に記載の転写装置。
（項目８）
前記コイルの中心軸は、前記平面に対して垂直な角度で配置されている、
ことを特徴とする項目１乃至６のいずれか１項に記載の転写装置。
（項目９）
前記粗動ステージは、開口を有し、前記固定鉄心の一部が前記開口の中に配置されている、
ことを特徴とする項目８に記載の転写装置。
（項目１０）
前記固定鉄心および前記可動鉄心は、磁気回路を構成し、前記磁気回路は、複数の電磁鋼板で構成される積層体を含み、前記積層体は、前記複数の電磁鋼板の積層方向が直角に変化する変化部を含む、
ことを特徴とする項目１乃至９のいずれか１項に記載の転写装置。
（項目１１）
前記変化部は、前記積層方向が第１方向である第１部分と前記積層方向が前記第１方向に直交する第２方向である第２部分との接触部を含む、
ことを特徴とする項目１０に記載の転写装置。
（項目１２）
前記変化部は、前記積層方向が第１方向である第１部分と前記積層方向が前記第１方向に直交する第２方向である第２部分とが固体部材を介して対面する部分を含む、
ことを特徴とする項目１０に記載の転写装置。
（項目１３）
前記変化部は、前記固定鉄心および前記可動鉄心の少なくとも一方に設けられている、
ことを特徴とする項目１０に記載の転写装置。
（項目１４）
前記変化部は、前記積層方向が第１方向である第１部分と前記積層方向が前記第１方向に直交する第２方向である第２部分とが空隙を介して対面する部分を含む、
ことを特徴とする項目１０に記載の転写装置。
（項目１５）
前記第１部分が前記固定鉄心に設けられ、前記第２部分が前記可動鉄心に設けられている、
ことを特徴とする項目１４に記載の転写装置。
（項目１６）
前記固定鉄心および前記可動鉄心のそれぞれは、少なくとも１つの積鉄心で構成されている、
ことを特徴とする項目１０乃至１５のいずれか１項に記載の転写装置。
（項目１７）
前記固定鉄心および前記可動鉄心の少なくとも一方は、複数の積鉄心で構成されている、
ことを特徴とする項目１０乃至１５のいずれか１項に記載の転写装置。
（項目１８）
前記複数の積鉄心は、互いに近接して配置され、固定部材によって固定されている、
ことを特徴とする項目１７に記載の転写装置。
（項目１９）
前記変化部は、前記積層方向が第１方向から前記第１方向に直交する第２方向に緩やかに変化する部分を含む、
ことを特徴とする項目１０に記載の転写装置。
（項目２０）
前記変化部は、巻鉄心によって構成されている、
ことを特徴とする項目１１に記載の転写装置。
（項目２１）
前記固定鉄心および前記可動鉄心のうちの一方は、少なくとも１つの積鉄心を含み、
前記固定鉄心および前記可動鉄心のうちの他方は、巻鉄心を含み、
前記変化部は、前記巻鉄心によって構成されている、
ことを特徴とする項目１０に記載の転写装置。
（項目２２）
前記固定鉄心および前記可動鉄心のそれぞれは、巻鉄心で構成され、
前記固定鉄心を構成する前記巻鉄心の軸方向と前記可動鉄心を構成する前記巻鉄心の軸方向とが互いに直交し、
前記固定鉄心を構成する前記巻鉄心および前記可動鉄心を構成する前記巻鉄心の各々によって前記変化部が構成されている、
ことを特徴とする項目１０に記載の転写装置。
（項目２３）
前記変化部は、前記固定鉄心に設けられ、前記コイルは、前記固定鉄心に巻かれている、
ことを特徴とする項目１０に記載の転写装置。
（項目２４）
前記コイルは、前記固定鉄心のうち前記変化部が配置された部分とは異なる部分に巻かれている、
ことを特徴とする項目２３に記載の転写装置。
（項目２５）
項目１乃至２４のいずれか１項に記載の転写装置によって原版のパターンを基板に転写する転写工程と、
前記転写工程を経た前記基板から物品を得る工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
発明は上記の実施形態に制限されるものではなく、発明の要旨の範囲内で、種々の変形・変更が可能である。
ＳＣ：固定鉄心（第１部材）、ＭＣ：可動鉄心（第２部材）、１０１－１：微動ステージ、１０１－２：微動ベース、１０１－３６：コイル

Claims (25)

  1. 原版のパターンを基板に転写する転写装置であって、
    粗動ステージと、所定の平面に沿って前記粗動ステージを駆動する粗動アクチュエータと、前記基板を保持する微動ステージと、前記粗動ステージに対する前記微動ステージの位置および姿勢を調整するための微動アクチュエータと、前記粗動アクチュエータによって前記粗動ステージに与えられる推力を非接触で前記微動ステージに伝達するための電磁アクチュエータと、を含み、
    前記電磁アクチュエータは、前記粗動ステージに固定され第１端面を有する固定鉄心と、前記固定鉄心に巻かれたコイルと、前記微動ステージに固定され前記第１端面に対向する第２端面を有する可動鉄心と、を含み、
    前記第１端面のうち前記微動ステージによって保持される前記基板から最も遠い位置までの第１距離から前記第２端面のうち前記微動ステージによって保持される前記基板から最も遠い位置までの第２距離を減じた差分の最大値が正の所定値より大きい、
    ことを特徴とする転写装置。
  2. 前記微動アクチュエータは、前記差分が０以上の範囲に維持されるように前記微動ステージを駆動する、
    ことを特徴とする請求項１に記載の転写装置。
  3. 前記所定値は、取扱可能な基板の最大厚と標準基板厚との差分である、
    ことを特徴とする請求項１に記載の転写装置。
  4. 前記微動ステージは、キャリブレーションマークを有し、
    前記所定値は、取扱可能な基板の最大厚さと標準基板厚との差分と、前記標準基板厚を有する基板の表面と前記キャリブレーションマークの表面との高低差と、の和である、
    ことを特徴とする請求項１に記載の転写装置。
  5. 前記微動ステージは、キャリブレーションマークを有し、
    前記所定値は、取扱可能な基板の最大厚と標準基板厚との差分と、前記標準基板厚を有する基板の表面と前記キャリブレーションマークの表面との高低差と、基板の受け渡しのための前記微動ステージの駆動量と、の和である、
    ことを特徴とする請求項１に記載の転写装置。
  6. 前記平面に垂直な方向における前記第２端面の寸法が、前記平面に垂直な方向における前記第１端面の寸法より小さい、
    ことを特徴とする請求項１に記載の転写装置。
  7. 前記平面に対して前記コイルの中心軸が平行である、
    ことを特徴とする請求項１に記載の転写装置。
  8. 前記コイルの中心軸は、前記平面に対して垂直な角度で配置されている、
    ことを特徴とする請求項１に記載の転写装置。
  9. 前記粗動ステージは、開口を有し、前記固定鉄心の一部が前記開口の中に配置されている、
    ことを特徴とする請求項８に記載の転写装置。
  10. 前記固定鉄心および前記可動鉄心は、磁気回路を構成し、前記磁気回路は、複数の電磁鋼板で構成される積層体を含み、前記積層体は、前記複数の電磁鋼板の積層方向が直角に変化する変化部を含む、
    ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の転写装置。
  11. 前記変化部は、前記積層方向が第１方向である第１部分と前記積層方向が前記第１方向に直交する第２方向である第２部分との接触部を含む、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の転写装置。
  12. 前記変化部は、前記積層方向が第１方向である第１部分と前記積層方向が前記第１方向に直交する第２方向である第２部分とが固体部材を介して対面する部分を含む、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の転写装置。
  13. 前記変化部は、前記固定鉄心および前記可動鉄心の少なくとも一方に設けられている、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の転写装置。
  14. 前記変化部は、前記積層方向が第１方向である第１部分と前記積層方向が前記第１方向に直交する第２方向である第２部分とが空隙を介して対面する部分を含む、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の転写装置。
  15. 前記第１部分が前記固定鉄心に設けられ、前記第２部分が前記可動鉄心に設けられている、
    ことを特徴とする請求項１４に記載の転写装置。
  16. 前記固定鉄心および前記可動鉄心のそれぞれは、少なくとも１つの積鉄心で構成されている、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の転写装置。
  17. 前記固定鉄心および前記可動鉄心の少なくとも一方は、複数の積鉄心で構成されている、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の転写装置。
  18. 前記複数の積鉄心は、互いに近接して配置され、固定部材によって固定されている、
    ことを特徴とする請求項１７に記載の転写装置。
  19. 前記変化部は、前記積層方向が第１方向から前記第１方向に直交する第２方向に緩やかに変化する部分を含む、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の転写装置。
  20. 前記変化部は、巻鉄心によって構成されている、
    ことを特徴とする請求項１１に記載の転写装置。
  21. 前記固定鉄心および前記可動鉄心のうちの一方は、少なくとも１つの積鉄心を含み、
    前記固定鉄心および前記可動鉄心のうちの他方は、巻鉄心を含み、
    前記変化部は、前記巻鉄心によって構成されている、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の転写装置。
  22. 前記固定鉄心および前記可動鉄心のそれぞれは、巻鉄心で構成され、
    前記固定鉄心を構成する前記巻鉄心の軸方向と前記可動鉄心を構成する前記巻鉄心の軸方向とが互いに直交し、
    前記固定鉄心を構成する前記巻鉄心および前記可動鉄心を構成する前記巻鉄心の各々によって前記変化部が構成されている、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の転写装置。
  23. 前記変化部は、前記固定鉄心に設けられ、前記コイルは、前記固定鉄心に巻かれている、
    ことを特徴とする請求項１０に記載の転写装置。
  24. 前記コイルは、前記固定鉄心のうち前記変化部が配置された部分とは異なる部分に巻かれている、
    ことを特徴とする請求項２３に記載の転写装置。
  25. 請求項１に記載の転写装置によって原版のパターンを基板に転写する転写工程と、
    前記転写工程を経た前記基板から物品を得る工程と、
    を含むことを特徴とする物品製造方法。
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