JP2023143278A

JP2023143278A - Dicing device

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Publication number: JP2023143278A
Application number: JP2022050564A
Authority: JP
Inventors: 貴大飯田; Takahiro Iida
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 2022-03-25
Filing date: 2022-03-25
Publication date: 2023-10-06
Also published as: CN116803580A

Abstract

To provide a dicing device that can accurately detect elastic wave generated from a blade.SOLUTION: A dicing device is equipped with a machining table, a spindle 24, a blade 26 installed to a blade installing portion 60 of the spindle 24, and an elastic wave detecting portion 90 that detects elastic wave generated from the blade 26. The elastic wave detecting portion 90 is equipped with an AE sensor 92 that is attached to at least one of the spindle 24, the blade installing portion 60, and the machining table, a transmission side coil 94 that is attached to at lease one of the spindle 24, the blade installing portion 60, and the machining table and is connected to the AE sensor 92, and a reception side coil 96 that is disposed oppositely to the transmission side coil 94 and is magnetically united with the transmission side coil 94. A signal outputted from the AE sensor 92 is transferred to the reception side coil 96 through the transmission side coil 94 by mutual induction of the transmission side coil 94 and the reception side coil 96.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明はダイシング装置に係り、特に、回転するブレードでワークを切削又はワークに切溝を加工するダイシング装置に関する。 The present invention relates to a dicing device, and particularly to a dicing device that cuts a workpiece or forms a kerf on the workpiece with a rotating blade.

高速回転するスピンドルの先端に取り付けられたブレード（極薄外周刃）でワークを切削又はワークに切溝を加工するダイシング装置（いわゆるブレードダイサ）では、ブレードに目詰まり等の異常が生じると、ワークに加工不良（たとえば、チッピング等）が発生する。 In dicing machines (so-called blade dicers) that cut workpieces or form kerfs on workpieces with blades (ultra-thin peripheral blades) attached to the tip of a spindle that rotates at high speed, if an abnormality such as clogging occurs in the blade, the workpiece Processing defects (for example, chipping, etc.) occur.

特許文献１には、ＡＥセンサを固定式のワークテーブルに取り付けた装置が記載されている。特許文献１に記載の装置は、ブレードでワークを切断する際に発生する弾性波をＡＥセンサで検出し、そのセンサ出力からブレードの切れ味を測定する。 Patent Document 1 describes an apparatus in which an AE sensor is attached to a fixed work table. The device described in Patent Document 1 uses an AE sensor to detect elastic waves generated when cutting a workpiece with a blade, and measures the sharpness of the blade from the sensor output.

特開平４－９９９４６号公報Japanese Patent Application Publication No. 4-99946

弾性波は、物質内を伝搬するが、一様ではない物体間は大きく減衰するという特性を有する。このため、ワークテーブルが回転する場合、ＡＥセンサを取り付ける位置によっては、途中の軸受け部等において、弾性波が大きく減衰し、高精度な検出ができない可能性がある。 Although elastic waves propagate within materials, they have the characteristic that they are greatly attenuated between objects that are not uniform. For this reason, when the work table rotates, depending on the position where the AE sensor is attached, the elastic waves may be greatly attenuated in the bearing portion or the like in the middle, and highly accurate detection may not be possible.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ブレードから生じる弾性波を精度よく検出できるダイシング装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a dicing device that can accurately detect elastic waves generated from a blade.

上記課題を解決するために、本発明に係るダイシング装置は、ワークを保持するテーブルと、テーブルに対し相対的に移動するスピンドルと、スピンドルに一体的に取り付けられるブレード装着部と、ブレード装着部に装着されるブレードと、弾性波を検出する弾性波検出部と、備え、弾性波検出部は、スピンドル、ブレード装着部、及びテーブルの少なくとも１つに取り付けられるＡＥセンサと、スピンドル、ブレード装着部、及びテーブルの少なくとも１つに取り付けられ、ＡＥセンサと接続される送信側コイルと、送信側コイルと対向して配置され、送信側コイルと磁気結合される受信側コイルと、を備え、ＡＥセンサから出力される信号が、送信側コイルを介して、送信側コイルと受信側コイルとの相互誘導によって、受信側コイルに伝送される。 In order to solve the above problems, a dicing apparatus according to the present invention includes a table that holds a workpiece, a spindle that moves relative to the table, a blade mounting part that is integrally attached to the spindle, and a blade mounting part that is attached to the blade mounting part. A blade to be mounted; an elastic wave detection unit configured to detect elastic waves; the elastic wave detection unit includes an AE sensor attached to at least one of the spindle, the blade mounting unit, and the table; and a transmitting coil attached to at least one of the tables and connected to the AE sensor, and a receiving coil disposed opposite to the transmitting coil and magnetically coupled to the transmitting coil, the receiving coil being connected to the AE sensor. The output signal is transmitted to the receiving coil via the transmitting coil by mutual induction between the transmitting coil and the receiving coil.

本発明の一形態は、テーブル、スピンドル、及びブレード装着部は、回転体であることが好ましい。
本発明の一形態は、弾性波検出部から出力される信号に基づいて、ブレードとテーブルとの接触を検出する接触検出部と、ブレードの基準位置を設定する基準位置設定部と、を備え、基準位置設定部は、ブレードとテーブルとが離間した位置からスピンドルをテーブルに向けて移動させ、接触検出部で接触が検出される位置をブレードの基準位置に設定することが好ましい。 In one aspect of the present invention, the table, spindle, and blade mounting section are preferably rotating bodies.
One form of the present invention includes a contact detection unit that detects contact between a blade and a table based on a signal output from an elastic wave detection unit, and a reference position setting unit that sets a reference position of the blade, It is preferable that the reference position setting section moves the spindle toward the table from a position where the blade and the table are separated, and sets the position where contact is detected by the contact detection section as the reference position of the blade.

本発明の一形態は、ワークの加工中に弾性波検出部から出力される信号に基づいて、ブレード及び／又はワークの状態を推定する推定部を更に備えることが好ましい。 Preferably, one embodiment of the present invention further includes an estimation section that estimates the state of the blade and/or the workpiece based on a signal output from the elastic wave detection section during processing of the workpiece.

本発明の一形態は、推定部が、弾性波検出部から出力される信号に基づいて、チッピングの発生を推定することが好ましい。 In one embodiment of the present invention, it is preferable that the estimator estimates the occurrence of chipping based on the signal output from the elastic wave detector.

本発明の一形態は、推定部が、弾性波検出部から出力される信号に基づいて、ブレードの目詰まりの状態を推定することが好ましい。 In one aspect of the present invention, it is preferable that the estimator estimates the clogging state of the blade based on the signal output from the elastic wave detector.

本発明の一形態は、推定部が、安定切削時に弾性波検出部から出力される信号との比較でブレード及び／又はワークの状態を推定することが好ましい。 In one embodiment of the present invention, it is preferable that the estimating section estimates the state of the blade and/or the workpiece by comparing the signal with the signal output from the elastic wave detecting section during stable cutting.

本発明の一形態は、ＡＥセンサ及び送信側コイルが、ブレード装着部に取り付けられることが好ましい。 In one aspect of the present invention, it is preferable that the AE sensor and the transmitting coil be attached to the blade mounting section.

本発明の一形態は、ＡＥセンサ及び送信側コイルが、スピンドルに取り付けられることが好ましい。 In one form of the present invention, the AE sensor and the transmitting coil are preferably attached to the spindle.

本発明の一形態は、ブレード装着部が、スピンドルの先端部に備えられ、ＡＥセンサが、スピンドルの先端部に内蔵され、送信側コイルが、スピンドルの基端部に取り付けられることが好ましい。 In one embodiment of the present invention, it is preferable that the blade mounting section is provided at the tip of the spindle, the AE sensor is built in the tip of the spindle, and the transmitting coil is attached to the base end of the spindle.

本発明の一形態は、ＡＥセンサ及び送信側コイルが、テーブルに取り付けられることが好ましい。 In one aspect of the present invention, the AE sensor and the transmitting coil are preferably attached to a table.

本発明の一形態は、受信側コイル及び送信側コイルが、スピンドル、ブレード装着部、及びテーブルの少なくとも１つの回転軸の周囲に巻回して配置されることが好ましい。 In one aspect of the present invention, the receiving coil and the transmitting coil are preferably arranged so as to be wound around at least one rotation axis of the spindle, the blade mounting portion, and the table.

本発明の一形態は、スピンドル、ブレード装着部、及びテーブルの少なくとも１つにバランスウェイトが備えられることが好ましい。 In one aspect of the present invention, it is preferable that at least one of the spindle, the blade mounting portion, and the table is provided with a balance weight.

本発明によれば、ブレードから生じる弾性波を精度よく検出できる。 According to the present invention, elastic waves generated from the blade can be detected with high accuracy.

図１は、ダイシング装置の概略構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a dicing device. 図２は、加工部の概略構成を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a schematic configuration of the processing section. 図３は、ブレード装着部の構成を示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing the configuration of the blade mounting section. 図４は、後フランジの背面図である。FIG. 4 is a rear view of the rear flange. 図５は、先端カバーの正面図である。FIG. 5 is a front view of the tip cover. 図６は、カッターセットに関してシステムコントローラが有する主な機能のブロック図である。FIG. 6 is a block diagram of the main functions the system controller has regarding the cutter set. 図７は、ＡＥセンサの出力の一例を示すグラフである。FIG. 7 is a graph showing an example of the output of the AE sensor. 図８は、カッターセットの処理手順を示すフローチャートである。FIG. 8 is a flowchart showing the cutter set processing procedure. 図９は、スピンドルへのＡＥセンサの取り付け構造の一例を示す図である。FIG. 9 is a diagram illustrating an example of a structure for attaching an AE sensor to a spindle. 図１０は、加工テーブルへのＡＥセンサの取り付け構造の一例を示す図である。FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a structure for attaching an AE sensor to a processing table. 図１１は、センサベースの下面図である。FIG. 11 is a bottom view of the sensor base. 図１２は、コイルベースの上面図である。FIG. 12 is a top view of the coil base. 図１３は、切削ラインを上面から見た模式図である。FIG. 13 is a schematic diagram of the cutting line viewed from above. 図１４は、チッピングの発生の模式図である。FIG. 14 is a schematic diagram of the occurrence of chipping. 図１５は、加工中のＡＥセンサの出力の一例を示すグラフである。FIG. 15 is a graph showing an example of the output of the AE sensor during processing. 図１６は、加工中のＡＥセンサの出力の一例を示すグラフである。FIG. 16 is a graph showing an example of the output of the AE sensor during processing. 図１７は、加工中のブレードの模式図である。FIG. 17 is a schematic diagram of the blade during processing. 図１８は、加工中のＡＥセンサの出力の一例を示すグラフである。FIG. 18 is a graph showing an example of the output of the AE sensor during processing. 図１９は、推定に関してシステムコントローラが有する機能のブロック図である。FIG. 19 is a block diagram of the functions that the system controller has regarding estimation.

以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について説明する。 Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

（第１の実施の形態） (First embodiment)

［ダイシング装置の全体構成］
図１は、ダイシング装置の概略構成を示す斜視図である。図１には、Ｘ方向、Ｙ方向、及びＺ方向を示している。Ｘ方向及びＹ方向は、互いに交差している。例えば、Ｘ方向及びＹ方向は、互いに直交している。Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に交差している。例えば、Ｚ方向は、Ｘ方向及びＹ方向に直交している。以下で、Ｘ方向及びＹ方向の長さを厚さ、若しくは幅と称する場合もある。Ｚ方向の長さを厚さ、深さ、及び高さと称する場合もある。また、Ｚ方向において、Ｚ方向の矢印の先端側に向かう方向を上方向、上側、若しくは上と称し、上方向と反対方向を下方向、下側、若しくは下と称する場合もある。以下、Ｘ方向と平行な軸をＸ軸と称し、Ｙ方向と平行な軸をＹ軸と称し、Ｚ方向と平行な軸をＺ軸と称する場合もある。Ｘ軸及びＹ軸を含む面を水平面と称する場合もある。 [Overall configuration of dicing device]
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a dicing apparatus. FIG. 1 shows an X direction, a Y direction, and a Z direction. The X direction and the Y direction intersect with each other. For example, the X direction and the Y direction are orthogonal to each other. The Z direction intersects the X direction and the Y direction. For example, the Z direction is perpendicular to the X and Y directions. Below, the length in the X direction and the Y direction may be referred to as thickness or width. The length in the Z direction may also be referred to as thickness, depth, and height. Further, in the Z direction, the direction toward the tip of the arrow in the Z direction is sometimes referred to as an upward direction, the upper side, or the top, and the direction opposite to the upward direction is sometimes referred to as the downward direction, the lower side, or the bottom. Hereinafter, an axis parallel to the X direction may be referred to as the X axis, an axis parallel to the Y direction may be referred to as the Y axis, and an axis parallel to the Z direction may be referred to as the Z axis. A plane including the X-axis and Y-axis is sometimes referred to as a horizontal plane.

本実施の形態のダイシング装置１０は、いわゆるブレードダイサである。ブレードダイサは、高速回転するスピンドルの先端に取り付けられたブレードによってワークＷを切削又はワークに切溝を加工する。ワークＷは、たとえば、半導体ウェーハである。 The dicing apparatus 10 of this embodiment is a so-called blade dicer. The blade dicer cuts the workpiece W or forms a kerf in the workpiece using a blade attached to the tip of a spindle that rotates at high speed. The workpiece W is, for example, a semiconductor wafer.

図１に示すように、本実施の形態のダイシング装置１０は、ワークＷを供給及び回収する供給回収部１２、ワークＷを加工する加工部１４、加工後のワークＷを洗浄する洗浄部１６、及び、各部にワークＷを搬送する搬送部１８等を備える。 As shown in FIG. 1, the dicing apparatus 10 of the present embodiment includes a supply and recovery section 12 that supplies and recovers the work W, a processing section 14 that processes the work W, a cleaning section 16 that cleans the work W after processing, Further, each part is provided with a transport section 18 for transporting the workpiece W, and the like.

供給回収部１２は、ロードポート２０を含み、ロードポート２０にセットされたカセット（図示せず）から加工対象のワークＷを供給する。また、ロードポート２０を介して、加工後のワークＷはカセット（図示せず）に回収される。ワークＷは、ダイシングフレーム（図示せず）に取り付けられた状態でハンドリングされる。ダイシングフレームには、ダイシングテープを介してワークＷが取り付けられる。 The supply and recovery unit 12 includes a load port 20 and supplies a workpiece W to be processed from a cassette (not shown) set in the load port 20. Further, the processed work W is collected into a cassette (not shown) via the load port 20. The workpiece W is handled while attached to a dicing frame (not shown). A workpiece W is attached to the dicing frame via a dicing tape.

加工部１４は、ワークＷを加工テーブル２２に保持して加工する。加工テーブル２２は、図１に示すθ軸を中心に回転可能であり、かつ、Ｘ方向に沿って移動可能である。θ軸は、加工テーブル２２の中心を通り、Ｚ軸と平行な軸である。加工部１４は、高速回転するスピンドル２４の先端に取り付けられたブレード２６をワークＷに当接させて、ワークＷを切削又はワークＷに切溝を加工する。図１に示した例では、ダイシング装置１０は、スピンドル２４を２本有し、２個所を同時に加工できる。加工部１４の構成については、後述する。 The processing section 14 holds the workpiece W on a processing table 22 and processes it. The processing table 22 is rotatable around the θ axis shown in FIG. 1 and movable along the X direction. The θ-axis is an axis that passes through the center of the processing table 22 and is parallel to the Z-axis. The processing unit 14 cuts the work W or forms a kerf in the work W by bringing a blade 26 attached to the tip of a spindle 24 rotating at high speed into contact with the work W. In the example shown in FIG. 1, the dicing apparatus 10 has two spindles 24 and can process two locations simultaneously. The configuration of the processing section 14 will be described later.

洗浄部１６は、加工後のワークＷを洗浄テーブル２８で保持してスピン洗浄する。具体的には、洗浄部１６は、洗浄テーブル２８を回転させながら、ワークＷに洗浄液を供給して、ワークＷを洗浄する。また、洗浄終了後には、洗浄部１６は、洗浄テーブル２８を回転させながら、ワークＷにエアを吹き付けて、ワークＷを乾燥させる（いわゆるスピン乾燥）。 The cleaning section 16 holds the processed workpiece W on a cleaning table 28 and performs spin cleaning. Specifically, the cleaning unit 16 cleans the work W by supplying cleaning liquid to the work W while rotating the cleaning table 28 . Further, after the cleaning is completed, the cleaning unit 16 blows air onto the workpiece W while rotating the cleaning table 28 to dry the workpiece W (so-called spin drying).

搬送部１８は、ロボットアーム３０を有し、ロボットアーム３０によって各部にワークＷを搬送する。具体的には、搬送部１８は、供給回収部１２から供給されるワークＷをロボットアーム３０によって加工部１４に搬送する。また、搬送部１８は、加工部１４で加工されたワークＷをロボットアーム３０によって洗浄部１６に搬送する。更に、搬送部１８は、洗浄部１６で洗浄されたワークＷをロボットアーム３０によって供給回収部１２に搬送する。 The transport unit 18 has a robot arm 30, and the robot arm 30 transports the workpiece W to each part. Specifically, the transport unit 18 transports the workpiece W supplied from the supply and recovery unit 12 to the processing unit 14 using the robot arm 30. Further, the transport section 18 transports the workpiece W processed in the processing section 14 to the cleaning section 16 using the robot arm 30 . Further, the transport section 18 transports the work W cleaned by the cleaning section 16 to the supply/recovery section 12 using the robot arm 30 .

図２は、加工部の概略構成を示す斜視図である。 FIG. 2 is a perspective view showing a schematic configuration of the processing section.

図２に示すように、加工部１４は、サドル３２及び門型コラム３４を有する。サドル３２及び門型コラム３４は、図示しない架台の上に設置される。 As shown in FIG. 2, the processing section 14 has a saddle 32 and a gate-shaped column 34. The saddle 32 and the portal column 34 are installed on a pedestal (not shown).

Ｘ軸ガイドレール３８は、サドル３２に設けられている。Ｘ軸テーブル３６は、Ｘ軸ガイドレール３８に取り付けられている。Ｘ軸テーブル３６は、Ｘ軸ガイドレール３８にガイドされて、Ｘ方向に沿って移動自在に支持される。Ｘ軸テーブル３６は、Ｘ軸モータに駆動されて移動する。Ｘ軸モータは、たとえば、リニアモータで構成される。また、Ｘ軸テーブル３６は、Ｘ軸センサによって、その移動軸上での位置（Ｘ方向の位置）が検出される。Ｘ軸センサは、たとえば、リニアスケールで構成される。 The X-axis guide rail 38 is provided on the saddle 32. The X-axis table 36 is attached to an X-axis guide rail 38. The X-axis table 36 is guided by an X-axis guide rail 38 and is supported movably along the X direction. The X-axis table 36 is driven by an X-axis motor and moves. The X-axis motor is composed of, for example, a linear motor. Further, the position of the X-axis table 36 on its movement axis (position in the X direction) is detected by an X-axis sensor. The X-axis sensor is composed of, for example, a linear scale.

Ｘ軸テーブル３６には、テーブルユニット４０が備えられる。テーブルユニット４０は、ワークＷを保持する加工テーブル２２と、加工テーブル２２を回転させるテーブル駆動部４２と、を含む。加工テーブル２２は、円板状の形状を有し、上面部にワークＷを保持するワーク保持面２２Ａを有する。ワークＷは、たとえば、真空吸着によってワーク保持面２２Ａに保持される。ワークＷは、水平に保持される。テーブル駆動部４２は、モータを含み、モータによって加工テーブル２２を回転させる。 The X-axis table 36 is equipped with a table unit 40. The table unit 40 includes a processing table 22 that holds the workpiece W, and a table drive unit 42 that rotates the processing table 22. The processing table 22 has a disk-like shape, and has a work holding surface 22A that holds the work W on the upper surface. The workpiece W is held on the workpiece holding surface 22A by, for example, vacuum suction. The workpiece W is held horizontally. The table drive unit 42 includes a motor, and rotates the processing table 22 by the motor.

門型コラム３４には、Ｙ方向に沿って移動する一対のＹ軸テーブル４４が備えられる。各Ｙ軸テーブル４４は、門型コラム３４に配設された共通のＹ軸ガイドレール４６にガイドされて、Ｙ方向に沿って移動自在に支持される。各Ｙ軸テーブル４４は、たとえば、個別にＹ軸モータに駆動されて、個別に移動する。Ｙ軸モータは、たとえば、リニアモータで構成される。また、各Ｙ軸テーブル４４は、Ｙ軸センサによって、その移動軸上での位置（Ｙ方向の位置）が個別に検出される。Ｙ軸センサは、たとえば、リニアスケールで構成される。 The portal column 34 is equipped with a pair of Y-axis tables 44 that move along the Y direction. Each Y-axis table 44 is supported movably along the Y direction by being guided by a common Y-axis guide rail 46 disposed on the portal column 34. For example, each Y-axis table 44 is individually driven by a Y-axis motor and moves individually. The Y-axis motor is composed of, for example, a linear motor. Further, the position of each Y-axis table 44 on its movement axis (position in the Y direction) is individually detected by a Y-axis sensor. The Y-axis sensor is composed of, for example, a linear scale.

各Ｙ軸テーブル４４には、Ｚ方向に沿って移動するＺ軸テーブル４８が備えられる。各Ｚ軸テーブル４８は、Ｙ軸テーブル４４に配設された図示しないＺ軸ガイドレールにガイドされて、Ｚ方向に沿って移動自在に支持される。各Ｚ軸テーブル４８は、たとえば、個別にＺ軸モータに駆動されて、個別に移動する。Ｚ軸モータは、たとえば、リニアモータで構成される。また、各Ｚ軸テーブル４８は、Ｚ軸センサによって、その移動軸上での位置（Ｚ方向の位置）が個別に検出される。Ｚ軸センサは、たとえば、リニアスケールで構成される。 Each Y-axis table 44 is equipped with a Z-axis table 48 that moves along the Z direction. Each Z-axis table 48 is guided by a Z-axis guide rail (not shown) disposed on the Y-axis table 44 and is supported movably along the Z direction. For example, each Z-axis table 48 is individually driven by a Z-axis motor and moves individually. The Z-axis motor is composed of, for example, a linear motor. Furthermore, the position of each Z-axis table 48 on its movement axis (position in the Z direction) is individually detected by a Z-axis sensor. The Z-axis sensor is composed of, for example, a linear scale.

各Ｚ軸テーブル４８には、ワークＷを加工する加工ユニット５０が備えられる。加工ユニット５０は、スピンドル２４と、スピンドル２４を回転させるスピンドル駆動部５２と、切削液を供給する切削液供給部（図示せず）と、を含む。図２に示した例では、２つの加工ユニット５０が、方向Ｙにおいて対向している。２つの加工ユニット５０は、例えば、方向Ｙにおいて、互いに反対向きに配置されている。例えば、２つの加工ユニット５０は、サドル３２（若しくは、Ｘ軸ガイドレール３８）を間に挟んで対称に配置されている。スピンドル２４は、Ｙ方向に沿って配置される。スピンドル２４は、先端にブレード装着部を有する。ブレード２６は、ブレード装着部に着脱可能に装着される。ブレード装着部の構成については後述する。スピンドル駆動部５２は、モータを含み、モータによってスピンドル２４を回転させる。切削液供給部は、ノズルを含み、ノズルからブレード２６とワークＷとの接触部に切削液を供給する。 Each Z-axis table 48 is equipped with a processing unit 50 that processes the workpiece W. The processing unit 50 includes a spindle 24, a spindle drive section 52 that rotates the spindle 24, and a cutting fluid supply section (not shown) that supplies cutting fluid. In the example shown in FIG. 2, two processing units 50 face each other in the Y direction. For example, the two processing units 50 are arranged opposite to each other in the Y direction. For example, the two processing units 50 are arranged symmetrically with the saddle 32 (or the X-axis guide rail 38) in between. The spindle 24 is arranged along the Y direction. The spindle 24 has a blade mounting portion at its tip. The blade 26 is removably attached to the blade attachment section. The configuration of the blade mounting section will be described later. The spindle drive unit 52 includes a motor and rotates the spindle 24 by the motor. The cutting fluid supply unit includes a nozzle, and supplies cutting fluid to the contact portion between the blade 26 and the workpiece W from the nozzle.

前述したように構成される加工部１４によれば、Ｘ軸テーブル３６を駆動することにより、加工テーブル２２がＸ方向に沿って送られる。これにより、ワークＷが切削送りされる。また、Ｙ軸テーブル４４を駆動することにより、加工ユニット５０がＹ方向に沿って送られる。これにより、ブレード２６がインデックス送りされる。更に、Ｚ軸テーブル４８を駆動することにより、加工ユニット５０がＺ方向に沿って送られる。これにより、ブレード２６が切り込み送りされる。また、加工テーブル２２を回転させることにより、ワークＷの向き（回転位置）が切り替えられる。このような加工部１４の動作によって、ワークＷが切削又はワークＷに切溝が加工される。 According to the processing section 14 configured as described above, the processing table 22 is sent along the X direction by driving the X-axis table 36. As a result, the workpiece W is fed for cutting. Further, by driving the Y-axis table 44, the processing unit 50 is sent along the Y direction. As a result, the blade 26 is index-fed. Furthermore, by driving the Z-axis table 48, the processing unit 50 is sent along the Z direction. As a result, the blade 26 is fed into the cut. Furthermore, by rotating the processing table 22, the orientation (rotation position) of the workpiece W can be switched. By such an operation of the processing unit 14, the workpiece W is cut or a kerf is machined on the workpiece W.

［ブレード装着部］
図３は、ブレード装着部の構成を示す断面図である。図３では、図２に示した２つの加工ユニット５０の内のＹ方向の矢印の先端側に配置された加工ユニット５０のブレード装着部６０を用いて説明する。図３に示した加工ユニット５０のブレード装着部６０の構成は、他の加工ユニット５０のブレード装着部に適用され得る。 [Blade attachment part]
FIG. 3 is a sectional view showing the configuration of the blade mounting section. In FIG. 3, explanation will be made using the blade mounting portion 60 of the processing unit 50 that is disposed on the tip end side of the arrow in the Y direction of the two processing units 50 shown in FIG. The configuration of the blade mounting section 60 of the processing unit 50 shown in FIG. 3 can be applied to the blade mounting section of other processing units 50.

本実施の形態において、ブレード２６は、いわゆるハブレスブレードが使用される。ハブレスブレードは、台金（ハブ）のないブレードである。なお、台金を備えたハブブレードを使用する構成とすることもできる。ブレード２６は、円板状の形状を有し、中央部分に円形の装着穴２６Ａを有する。 In this embodiment, the blade 26 is a so-called hubless blade. A hubless blade is a blade without a base metal (hub). Note that a configuration may also be adopted in which a hub blade including a base metal is used. The blade 26 has a disk-like shape and has a circular mounting hole 26A in the center portion.

上記のように、ブレード２６は、ブレード装着部６０を介して、スピンドル２４の先端部に着脱可能に装着される。 As described above, the blade 26 is removably attached to the tip of the spindle 24 via the blade attachment part 60.

ブレード装着部６０は、スピンドル２４の先端に備えられたフランジ装着部２４Ｂ、フランジ装着部２４Ｂに装着される後フランジ７０、後フランジ７０をフランジ装着部２４Ｂに固定する固定用ネジ７２、ブレード２６を後フランジ７０との間で挟んで固定する前フランジ７４、及び、前フランジ７４を固定する固定用ナット７６等で構成される。ブレード装着部６０は、スピンドル２４の回転に応じて回転する。 The blade attachment part 60 includes a flange attachment part 24B provided at the tip of the spindle 24, a rear flange 70 attached to the flange attachment part 24B, fixing screws 72 for fixing the rear flange 70 to the flange attachment part 24B, and a blade 26. It is composed of a front flange 74 that is sandwiched and fixed with the rear flange 70, a fixing nut 76 that fixes the front flange 74, and the like. The blade mounting section 60 rotates in accordance with the rotation of the spindle 24.

フランジ装着部２４Ｂは、先端に向かって径が小さくなるテーパ状の形状（円錘台形状）を有する。フランジ装着部２４Ｂは、スピンドル本体２４Ａの先端に一体的に備えられる。スピンドル２４は、フランジ装着部２４Ｂが、スピンドル駆動部５２のハウジング５２Ａの先端から突出して配置される。より具体的には、ハウジング５２Ａの先端に取り付けられた先端カバー８０の開口部８０Ａから突出して配置される。先端カバー８０は、ボルト８２によって、スピンドル駆動部５２のハウジング５２Ａの先端に固定して取り付けられる。 The flange mounting portion 24B has a tapered shape (truncated cone shape) whose diameter decreases toward the tip. The flange mounting portion 24B is integrally provided at the tip of the spindle body 24A. The spindle 24 is arranged such that the flange mounting portion 24B protrudes from the tip of the housing 52A of the spindle drive portion 52. More specifically, it is arranged to protrude from an opening 80A of a tip cover 80 attached to the tip of the housing 52A. The tip cover 80 is fixedly attached to the tip of the housing 52A of the spindle drive section 52 by bolts 82.

後フランジ７０は、主として、後フランジ本体７０Ａ及びフランジ部７０Ｂで構成される。後フランジ本体７０Ａは、円筒状の形状を有する。後フランジ本体７０Ａは、その内側にフランジ装着部２４Ｂが嵌合する孔を有する。後フランジ本体７０Ａの内側に形成された孔は、フランジ装着部２４Ｂの形状に合致した形状を有する。すなわち、後フランジ本体７０Ａの孔の内周部は、フランジ装着部２４Ｂの形状に対応したテーパ状の形状を有する。フランジ部７０Ｂは、円板状の形状を有し、後フランジ本体７０Ａの基端部外周に一体的に備えられる。フランジ部７０Ｂには、Ｙ方向の矢印の先端と反対側（以下、前側若しくは先端側と称する場合もある）の端面にブレード嵌合部７０Ｃが備えられる。ブレード嵌合部７０Ｃは、ブレード２６の装着穴２６Ａに対応した形状を有する。ブレード２６は、その装着穴２６Ａをブレード嵌合部７０Ｃに嵌めることで、後フランジ７０の同軸上に保持される。 The rear flange 70 is mainly composed of a rear flange main body 70A and a flange portion 70B. The rear flange main body 70A has a cylindrical shape. The rear flange main body 70A has a hole inside thereof into which the flange mounting portion 24B fits. The hole formed inside the rear flange main body 70A has a shape that matches the shape of the flange mounting portion 24B. That is, the inner peripheral portion of the hole of the rear flange main body 70A has a tapered shape corresponding to the shape of the flange mounting portion 24B. The flange portion 70B has a disk-like shape and is integrally provided on the outer periphery of the base end portion of the rear flange main body 70A. The flange portion 70B is provided with a blade fitting portion 70C on an end surface on the side opposite to the tip of the arrow in the Y direction (hereinafter also referred to as the front side or the tip side). The blade fitting portion 70C has a shape corresponding to the mounting hole 26A of the blade 26. The blade 26 is held coaxially with the rear flange 70 by fitting its mounting hole 26A into the blade fitting portion 70C.

固定用ネジ７２は、フランジ装着部２４Ｂの先端にネジ結合される。フランジ装着部２４Ｂには、固定用ネジ７２がネジ結合されるネジ穴２４Ｃが備えられる。ネジ穴２４Ｃは、フランジ装着部２４Ｂの先端に、スピンドル２４の軸に沿って形成される。 The fixing screw 72 is screwed to the tip of the flange mounting portion 24B. The flange mounting portion 24B is provided with a screw hole 24C into which the fixing screw 72 is screwed. The screw hole 24C is formed along the axis of the spindle 24 at the tip of the flange mounting portion 24B.

後フランジ７０は、その内周部をフランジ装着部２４Ｂに嵌めることで、フランジ装着部２４Ｂの同軸上に装着される。装着後、フランジ装着部２４Ｂのネジ穴２４Ｃに固定用ネジ７２を嵌め、締め付けることにより、後フランジ７０がフランジ装着部２４Ｂに押し付けられて、フランジ装着部２４Ｂに一体的に固定される。 The rear flange 70 is coaxially mounted on the flange mounting portion 24B by fitting its inner peripheral portion into the flange mounting portion 24B. After mounting, the fixing screw 72 is fitted into the screw hole 24C of the flange mounting portion 24B and tightened, so that the rear flange 70 is pressed against the flange mounting portion 24B and is integrally fixed to the flange mounting portion 24B.

前フランジ７４は、円板状の形状を有し、中央部分に円形の穴７４Ａを有する。前フランジ７４は、穴７４Ａを後フランジ本体７０Ａに嵌めることで、後フランジ７０に装着される。 The front flange 74 has a disk-like shape and has a circular hole 74A in the center portion. The front flange 74 is attached to the rear flange 70 by fitting the hole 74A into the rear flange main body 70A.

固定用ナット７６は、後フランジ本体７０Ａの先端部にネジ結合される。後フランジ本体７０Ａの先端部には、固定用ナット７６がネジ結合される雄ネジ部７０Ｄが備えられる。 The fixing nut 76 is screwed to the tip of the rear flange main body 70A. A male screw portion 70D to which a fixing nut 76 is screwed is provided at the tip of the rear flange main body 70A.

ブレード２６は、ブレード装着部６０に装着される。ここで、ブレード２６のブレード装着部６０への装着方法について説明する。まず、スピンドル２４に後フランジ７０を装着する。後フランジ７０は、その内周部をフランジ装着部２４Ｂに嵌めることで、フランジ装着部２４Ｂに装着される。装着後、固定用ネジ７２で後フランジ７０をフランジ装着部２４Ｂに固定する。次に、ブレード２６を後フランジ７０に装着する。ブレード２６は、その装着穴２６Ａを後フランジ７０のフランジ部７０Ｂに備えられたブレード嵌合部７０Ｃに嵌めることで、後フランジ７０に装着される。その後、後フランジ７０に前フランジ７４を装着する。前フランジ７４は、中央の穴７４Ａに後フランジ本体７０Ａを通すことで、後フランジ７０に装着される。前フランジ７４の装着後、固定用ナット７６を後フランジ７０の雄ネジ部７０Ｄに嵌めて、締め付ける。これにより、ブレード２６が後フランジ７０と前フランジ７４との間で挟まれて固定される。 The blade 26 is attached to the blade attachment section 60. Here, a method for attaching the blade 26 to the blade attachment portion 60 will be described. First, the rear flange 70 is attached to the spindle 24. The rear flange 70 is attached to the flange attachment part 24B by fitting its inner circumference into the flange attachment part 24B. After mounting, the rear flange 70 is fixed to the flange mounting portion 24B with the fixing screws 72. Next, the blade 26 is attached to the rear flange 70. The blade 26 is attached to the rear flange 70 by fitting the attachment hole 26A into a blade fitting portion 70C provided on the flange portion 70B of the rear flange 70. Thereafter, the front flange 74 is attached to the rear flange 70. The front flange 74 is attached to the rear flange 70 by passing the rear flange main body 70A through the central hole 74A. After the front flange 74 is attached, the fixing nut 76 is fitted onto the male threaded portion 70D of the rear flange 70 and tightened. As a result, the blade 26 is sandwiched and fixed between the rear flange 70 and the front flange 74.

［弾性波検出部］
本実施の形態のダイシング装置１０は、ブレード２６から生じる弾性波を検出する弾性波検出部９０を備える。弾性波検出部９０は、ＡＥセンサ９２を含む。ＡＥは、アコースティック・エミッション（acoustic emission）の略である。アコースティック・エミッションとは、材料が変形あるいは破壊する際に、内部に蓄えていたひずみエネルギを弾性波（ＡＥ波）として放出する現象である。ＡＥ波は、数ｋＨｚ～数ＭＨｚと非常に高い周波数成分をもつ。周波数の高い信号は、空気中では減衰が大きいので、ＡＥ波は、主に物体中を伝播する。ＡＥセンサ９２は、このＡＥ波を検出し、電気信号に変換して出力する。ＡＥセンサは、一般的にＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）などの圧電素子を用いてＡＥ波を検出する。なお、ＡＥセンサ自体は、公知の構成であるので、その詳細についての説明は省略する。 [Elastic wave detection section]
The dicing apparatus 10 of this embodiment includes an elastic wave detection section 90 that detects elastic waves generated from the blade 26. The elastic wave detection section 90 includes an AE sensor 92. AE is an abbreviation for acoustic emission. Acoustic emission is a phenomenon in which when a material deforms or breaks, it releases the strain energy stored inside it as elastic waves (AE waves). AE waves have extremely high frequency components of several kHz to several MHz. Since high-frequency signals have large attenuation in the air, AE waves mainly propagate through objects. The AE sensor 92 detects this AE wave, converts it into an electrical signal, and outputs it. AE sensors generally detect AE waves using a piezoelectric element such as PZT (lead zirconate titanate). Note that since the AE sensor itself has a known configuration, detailed explanation thereof will be omitted.

本実施の形態のダイシング装置１０では、ＡＥセンサ９２がブレード装着部６０に取り付けられる。ブレード装着部６０は、回転体であることから、本実施の形態では、コイルを使用して、ＡＥセンサ９２の信号を外部に伝送する。以下、弾性波検出部９０の構成、及び、その取り付け構造について説明する。 In the dicing apparatus 10 of the present embodiment, an AE sensor 92 is attached to the blade attachment section 60. Since the blade mounting section 60 is a rotating body, in this embodiment, a coil is used to transmit the signal of the AE sensor 92 to the outside. The configuration of the elastic wave detection section 90 and its mounting structure will be described below.

図３に示すように、弾性波検出部９０は、ＡＥセンサ９２と、ＡＥセンサ９２と電気的に接続される送信側コイル９４と、送信側コイル９４と磁気結合される受信側コイル９６と、を備える。ＡＥセンサ９２及び送信側コイル９４は、回転体である後フランジ７０に取り付けられる。一方、受信側コイル９６は、ハウジング５２Ａの先端に固定されて回転しない先端カバー８０に取り付けられる。なお、回転体に対して回転しない物体を「固定体」と称する場合もある。 As shown in FIG. 3, the elastic wave detection unit 90 includes an AE sensor 92, a transmitting coil 94 electrically connected to the AE sensor 92, and a receiving coil 96 magnetically coupled to the transmitting coil 94. Equipped with. The AE sensor 92 and the transmitting coil 94 are attached to the rear flange 70, which is a rotating body. On the other hand, the receiving coil 96 is attached to a distal end cover 80 that is fixed to the distal end of the housing 52A and does not rotate. Note that an object that does not rotate with respect to a rotating body is sometimes referred to as a "fixed body."

図４は、後フランジの背面図である。 FIG. 4 is a rear view of the rear flange.

同図に示すように、後フランジ７０には、フランジ部７０Ｂの背面部にＡＥセンサ取付部７０Ｅ、バランスウェイト取付部７０Ｆ及び送信側コイル取付部７０Ｇが備えられる。 As shown in the figure, the rear flange 70 is provided with an AE sensor mounting section 70E, a balance weight mounting section 70F, and a transmitting coil mounting section 70G on the back surface of the flange section 70B.

ＡＥセンサ取付部７０Ｅ及びバランスウェイト取付部７０Ｆは、同じ形状の凹部で構成され、後フランジ７０の軸に対し、対称に配置される。ＡＥセンサ９２は、ＡＥセンサ取付部７０Ｅに収容されて、後フランジ７０に取り付けられる。 The AE sensor attachment portion 70E and the balance weight attachment portion 70F are configured with recesses having the same shape, and are arranged symmetrically with respect to the axis of the rear flange 70. The AE sensor 92 is housed in the AE sensor attachment portion 70E and attached to the rear flange 70.

バランスウェイト取付部７０Ｆには、バランスウェイト９８が取り付けられる。バランスウェイト９８は、後フランジ７０の回転バランスをとるウェイトである。バランスウェイト９８を取り付けることにより、スピンドル２４を高速回転させた場合であっても、ブレのない安定した回転を確保できる。 A balance weight 98 is attached to the balance weight attachment portion 70F. The balance weight 98 is a weight that balances the rotation of the rear flange 70. By attaching the balance weight 98, even when the spindle 24 is rotated at high speed, stable rotation without wobbling can be ensured.

送信側コイル取付部７０Ｇは、円環状の凹部で構成され、回転軸となる後フランジ７０の軸と同軸上に配置される。送信側コイル９４は、送信側コイル取付部７０Ｇに収容されて、後フランジ７０に取り付けられる。後フランジ７０に取り付けられた送信側コイル９４は、回転体である後フランジ７０の軸（回転軸）の周囲に巻回して配置される。 The transmitting coil attachment portion 70G is formed of an annular recess and is arranged coaxially with the axis of the rear flange 70, which serves as the rotation axis. The transmitting coil 94 is housed in the transmitting coil attachment portion 70G and attached to the rear flange 70. The transmitting coil 94 attached to the rear flange 70 is arranged so as to be wound around the axis (rotation axis) of the rear flange 70, which is a rotating body.

図５は、先端カバーの正面図である。 FIG. 5 is a front view of the tip cover.

図５に示すように、先端カバー８０の先端側の面には、受信側コイル取付部８０Ｂが備えられる。受信側コイル取付部８０Ｂは、円環状の凹部で構成され、送信側コイル取付部７０Ｇと同軸上に配置される。受信側コイル９６は、受信側コイル取付部８０Ｂに収容されて、先端カバー８０に取り付けられる。先端カバー８０に取り付けられた受信側コイル９６は、送信側コイル９４と同軸上に配置される。したがって、送信側コイル９４と同様に、後フランジ７０の軸（回転軸）の周りに巻回されて配置される。 As shown in FIG. 5, the front end side surface of the front end cover 80 is provided with a receiving side coil mounting portion 80B. The receiving side coil attachment portion 80B is formed of an annular recessed portion, and is arranged coaxially with the transmitting side coil attachment portion 70G. The receiving coil 96 is housed in the receiving coil attachment portion 80B and attached to the tip cover 80. A receiving coil 96 attached to the tip cover 80 is arranged coaxially with the transmitting coil 94. Therefore, like the transmitting coil 94, it is arranged so as to be wound around the axis (rotation axis) of the rear flange 70.

以上の構成により、送信側コイル９４と受信側コイル９６とが、所定の隙間をもって互いに対向して配置され、両者が非接触の状態で磁気結合される。また、この構成により、ＡＥセンサ９２から出力される信号が、送信側コイル９４と受信側コイル９６との相互誘導によって、受信側コイル９６に伝送される。 With the above configuration, the transmitting side coil 94 and the receiving side coil 96 are arranged facing each other with a predetermined gap, and are magnetically coupled in a non-contact state. Further, with this configuration, the signal output from the AE sensor 92 is transmitted to the receiving coil 96 by mutual induction between the transmitting coil 94 and the receiving coil 96.

［カッターセット］
ダイシング装置１０では、高精度な加工を実現するために、加工テーブル２２に対し、ブレード２６の高さが高精度に管理される。ブレード２６の高さの管理は、加工テーブル２２の表面にブレード２６が接触する位置を検出することで行われる。この処理は、カッターセットと呼ばれ、定期的に実施される。検出された位置は、ブレード２６の基準位置に設定され、この基準位置の情報に基づいて、ブレード２６の切り込み送りが制御される。また、この基準位置の情報に基づいて、ブレード２６の摩耗量が計測される。すなわち、基準位置の変化量からブレード２６の径の変化量（摩耗量）を算出する。 [Cutter set]
In the dicing apparatus 10, the height of the blade 26 with respect to the processing table 22 is controlled with high accuracy in order to realize highly accurate processing. The height of the blade 26 is controlled by detecting the position where the blade 26 contacts the surface of the processing table 22. This process is called cutter set and is performed periodically. The detected position is set as the reference position of the blade 26, and the cutting feed of the blade 26 is controlled based on information about this reference position. Furthermore, the amount of wear on the blade 26 is measured based on this reference position information. That is, the amount of change in the diameter of the blade 26 (amount of wear) is calculated from the amount of change in the reference position.

本実施の形態のダイシング装置１０では、カッターセットに際し、加工テーブル２２へのブレード２６の接触を弾性波検出部９０の出力に基づいて検出する。 In the dicing apparatus 10 of this embodiment, when setting the cutter, contact of the blade 26 with the processing table 22 is detected based on the output of the elastic wave detection section 90.

カッターセットは、カッターセットの実行指令に応じて、システムコントローラ１００が行う。実行指令は、手動と自動の双方を含む。手動の場合、オペレータが、ダイシング装置１０の操作部（図示せず）を介して、手動で入力する。自動の場合、特定のタイミングで自動的に入力される。たとえば、ブレード２６を交換してから一定時間が経過した場合、ブレード２６を交換してから一定数のワークを加工した場合等に自動で実行指令が入力される。 The cutter set is performed by the system controller 100 in response to a cutter set execution command. Execution instructions include both manual and automatic execution instructions. In the case of manual operation, the operator manually inputs the input via the operation section (not shown) of the dicing apparatus 10. If it is automatic, it will be automatically entered at a specific timing. For example, if a certain amount of time has passed since the blade 26 was replaced, or if a certain number of workpieces have been processed since the blade 26 was replaced, an execution command is automatically input.

システムコントローラ１００は、ダイシング装置１０の全体の動作を統括制御する制御部であり、たとえば、プロセッサ及びメモリ等を備えたコンピュータで構成される。プロセッサは、たとえば、ＣＰＵ（central processing unit）で構成される。メモリは、ＲＡＭ（random access memory）及びＲＯＭ（read only memory）を含む。 The system controller 100 is a control unit that centrally controls the entire operation of the dicing apparatus 10, and is configured by, for example, a computer equipped with a processor, a memory, and the like. The processor includes, for example, a CPU (central processing unit). Memory includes RAM (random access memory) and ROM (read only memory).

システムコントローラ１００は、スピンドル駆動部５２及びＺ軸モータ４８Ｍの駆動を制御して、カッターセットの処理を実行する。 The system controller 100 controls the spindle drive unit 52 and the Z-axis motor 48M to execute cutter set processing.

図６は、カッターセットに関してシステムコントローラが有する主な機能のブロック図である。 FIG. 6 is a block diagram of the main functions the system controller has regarding the cutter set.

図６に示すように、カッターセットに関し、システムコントローラ１００は、スピンドル回転制御部１１０、切り込み送り制御部１１２、接触検出部１１４、基準位置設定部１１６等の機能を有する。各機能は、プロセッサが所定の制御プログラムを実行することにより、プロセッサにより実現される。制御プログラムは、メモリ又は記憶部１０２に格納される。記憶部１０２は、たとえば、フラッシュメモリで構成される。 As shown in FIG. 6, regarding the cutter set, the system controller 100 has functions such as a spindle rotation control section 110, a cutting feed control section 112, a contact detection section 114, and a reference position setting section 116. Each function is realized by the processor by executing a predetermined control program. The control program is stored in memory or storage unit 102. The storage unit 102 is composed of, for example, a flash memory.

スピンドル回転制御部１１０は、スピンドル駆動部５２の駆動を制御して、ブレード２６の回転を制御する。 The spindle rotation control section 110 controls the drive of the spindle drive section 52 to control the rotation of the blade 26.

切り込み送り制御部１１２は、Ｚ軸モータ４８Ｍの駆動を制御して、ブレード２６のＺ軸方向の送り（切り込み送り）を制御する。 The cut feed control unit 112 controls the drive of the Z-axis motor 48M to control the feed of the blade 26 in the Z-axis direction (cut feed).

接触検出部１１４は、弾性波検出部９０から出力される信号（ＡＥセンサ９２の出力信号）を処理して、加工テーブル２２へのブレード２６の接触を検出する。 The contact detection unit 114 processes the signal output from the elastic wave detection unit 90 (the output signal of the AE sensor 92) to detect contact of the blade 26 with the processing table 22.

図７は、ＡＥセンサの出力の一例を示すグラフである。同図に示すグラフにおいて、横軸は時間であり、縦軸はＡＥセンサの出力（圧電素子の出力電圧［Ｖ］）である。図７（Ａ）は、ブレードが空転している場合のＡＥセンサの出力の一例を示している。また、図７（Ｂ）は、途中でブレードが加工テーブルに接触した場合のＡＥセンサの出力の一例を示している。図７（Ｂ）は、時刻Ｔ１において、ブレードが加工テーブルに接触した場合の例である。 FIG. 7 is a graph showing an example of the output of the AE sensor. In the graph shown in the figure, the horizontal axis is time, and the vertical axis is the output of the AE sensor (output voltage [V] of the piezoelectric element). FIG. 7(A) shows an example of the output of the AE sensor when the blade is idling. Moreover, FIG. 7(B) shows an example of the output of the AE sensor when the blade contacts the processing table midway. FIG. 7(B) is an example where the blade contacts the processing table at time T1.

図７（Ａ）に示すように、ブレード２６が、空転している場合、すなわち、ブレード２６に何も接触していない場合、ＡＥセンサ９２の出力は、接触している場合に比して低い値となり、かつ、ほぼ一定の範囲内で推移する。 As shown in FIG. 7(A), when the blade 26 is idling, that is, when nothing is in contact with the blade 26, the output of the AE sensor 92 is lower than when it is in contact. value, and it changes within an almost constant range.

一方、図７（Ｂ）に示すように、ブレード２６が、途中で加工テーブル２２に接触すると、ＡＥセンサ９２の出力が上昇する。 On the other hand, as shown in FIG. 7(B), when the blade 26 contacts the processing table 22 midway, the output of the AE sensor 92 increases.

接触検出部１１４は、弾性波検出部９０から出力される信号を監視し、ブレード２６が加工テーブル２２に接触したことを検出する。具体的には、弾性波検出部９０から出力される信号と閾値Ｔｈとを比較し、弾性波検出部９０から出力される信号が閾値を超えた場合に、ブレード２６が加工テーブル２２に接触したと判定する。 Contact detection section 114 monitors the signal output from elastic wave detection section 90 and detects that blade 26 has contacted processing table 22 . Specifically, the signal output from the elastic wave detection section 90 is compared with the threshold Th, and if the signal output from the elastic wave detection section 90 exceeds the threshold, it is determined that the blade 26 has contacted the processing table 22. It is determined that

基準位置設定部１１６は、接触検出部１１４の出力及びＺ軸センサ４８Ｓの出力に基づいて、ブレード２６の基準位置を設定する。具体的には、加工テーブル２２へのブレード２６の接触が検出された時点で検出されるＺ軸テーブル４８の位置をブレード２６の基準位置として設定する。設定された基準位置の情報は、記憶部１０２に記録される。 The reference position setting unit 116 sets the reference position of the blade 26 based on the output of the contact detection unit 114 and the output of the Z-axis sensor 48S. Specifically, the position of the Z-axis table 48 detected at the time when contact of the blade 26 with the processing table 22 is detected is set as the reference position of the blade 26. Information on the set reference position is recorded in the storage unit 102.

［カッターセットの処理］
図８は、カッターセットの処理手順を示すフローチャートである。 [Cutter set processing]
FIG. 8 is a flowchart showing the cutter set processing procedure.

まず、カッターセットの実行指令の有無が判定される（ステップＳ１）。上記のように、カッターセットは、操作部を介して手動で入力される他、特定のタイミングで自動的に入力される。 First, it is determined whether there is a cutter set execution command (step S1). As described above, the cutter set is input manually via the operation unit or automatically at a specific timing.

カッターセットの実行指示が入力されると、ブレード２６が原点位置にセットされる（ステップＳ２）。原点位置は、ブレード２６が、加工テーブル２２に接触しない位置、すなわち、離間した位置に設定される。 When a cutter set execution instruction is input, the blade 26 is set at the origin position (step S2). The origin position is set at a position where the blade 26 does not come into contact with the processing table 22, that is, at a spaced apart position.

次に、ブレード２６を回転させながら、加工テーブル２２に向けて切り込み送りされる（ステップＳ３）。 Next, while rotating the blade 26, the cut is fed toward the processing table 22 (step S3).

ブレード２６の切り込み送りが開始されると、接触検出部１１４において、ブレード２６の接触検出が行われる。接触検出部１１４は、ＡＥセンサ９２の出力に基づいて、ブレード２６が加工テーブル２２に接触したか否かを判定する（ステップＳ４）。より詳細には、ＡＥセンサ９２の出力が閾値を超えたか否かを判定して、ブレード２６が加工テーブル２２に接触したか否かを判定する。 When the cutting feed of the blade 26 is started, the contact detection unit 114 detects the contact of the blade 26. The contact detection unit 114 determines whether the blade 26 has contacted the processing table 22 based on the output of the AE sensor 92 (step S4). More specifically, it is determined whether the output of the AE sensor 92 exceeds a threshold value, and it is determined whether the blade 26 has contacted the processing table 22.

ブレード２６の接触が検出されると、基準位置の設定が行われる（ステップＳ５）。すなわち、ブレード２６の接触が検出された時点のＺ軸テーブル４８の位置の情報を取得し、取得した位置をブレード２６の基準位置に設定する。設定された基準位置の情報は、記憶部１０２に記憶される。 When contact of the blade 26 is detected, a reference position is set (step S5). That is, information on the position of the Z-axis table 48 at the time when the contact of the blade 26 is detected is acquired, and the acquired position is set as the reference position of the blade 26. Information on the set reference position is stored in the storage unit 102.

また、ブレード２６の接触が検出されると、ブレード２６が原点位置に戻され、かつ、ブレード２６の回転が停止される（ステップＳ６）。 Further, when contact of the blade 26 is detected, the blade 26 is returned to the original position and rotation of the blade 26 is stopped (step S6).

以上一連の工程でカッターセットの処理が完了する。以後、設定された基準位置を基準にして、ブレード２６の切り込み送りが制御される。また、設定された基準位置の情報に基づいて、ブレード２６の摩耗量が計測される。 With the above series of steps, the cutter set processing is completed. Thereafter, the cutting feed of the blade 26 is controlled based on the set reference position. Furthermore, the amount of wear on the blade 26 is measured based on the information on the set reference position.

なお、本実施の形態のダイシング装置１０には、２つの加工ユニット５０が備えられているので、加工ユニット５０ごとにカッターセットが行われる。 In addition, since the dicing apparatus 10 of this embodiment is equipped with two processing units 50, cutter setting is performed for each processing unit 50.

以上説明したように、本実施の形態のダイシング装置１０によれば、ＡＥセンサ９２の出力に基づいて、ブレード２６の接触を検出するので、ブレード２６の種類に依らずに、ブレード２６と加工テーブル２２との高さ関係を高精度に管理できる。したがって、たとえば、導電性を有していないブレードも使用できる。 As described above, according to the dicing apparatus 10 of the present embodiment, contact between the blade 26 and the processing table is detected based on the output of the AE sensor 92, so that the contact between the blade 26 and the processing table is determined regardless of the type of the blade 26. The height relationship with 22 can be managed with high precision. Thus, for example, non-conductive blades can also be used.

また、本実施の形態のダイシング装置１０によれば、ブレード装着部６０にＡＥセンサ９２が取り付けられるので、ブレード２６から生じる弾性波（ブレードに起因して生じる弾性波）を精度よく検出できる。すなわち、ブレード２６を直接保持する部材にＡＥセンサ９２が取り付けられるので、ブレード２６から生じる弾性波をほぼ減衰させることなく検出できる。また、加工ユニット５０を複数有する場合であっても、各加工ユニット５０のブレード２６から生じる弾性波を精度よく検出できる。更に、後フランジ７０に専用の取付部を設けて、ＡＥセンサ９２及び送信側コイル９４を取り付けることにより、ＡＥセンサ９２及び送信側コイル９４を回転体である後フランジ７０に強固に固定できる。これにより、スピンドル２４を高速回転させた場合であっても、安全に使用できる。 Further, according to the dicing apparatus 10 of the present embodiment, since the AE sensor 92 is attached to the blade mounting portion 60, the elastic waves generated from the blade 26 (elastic waves generated due to the blade) can be detected with high accuracy. That is, since the AE sensor 92 is attached to the member that directly holds the blade 26, the elastic waves generated from the blade 26 can be detected without being substantially attenuated. Further, even when a plurality of processing units 50 are provided, the elastic waves generated from the blades 26 of each processing unit 50 can be detected with high accuracy. Furthermore, by providing a dedicated attachment part on the rear flange 70 and attaching the AE sensor 92 and the transmitting coil 94, the AE sensor 92 and the transmitting coil 94 can be firmly fixed to the rear flange 70, which is a rotating body. Thereby, even when the spindle 24 is rotated at high speed, it can be used safely.

なお、上記実施の形態では、ブレード２６を加工テーブル２２に直接接触させる構成としているが、加工テーブル２２にカッターセット用の部材（加工テーブル２２との位置関係が既知の部材）を取り付け、その部材にブレード２６を接触させて、カッターセットを行う構成とすることもできる。この場合も実質的にブレード２６を加工テーブル２２に接触させる構成に含まれる。 In the above embodiment, the blade 26 is brought into direct contact with the processing table 22, but a cutter set member (a member whose positional relationship with the processing table 22 is known) is attached to the processing table 22, and the blade 26 is brought into direct contact with the processing table 22. It is also possible to set the cutter by bringing the blade 26 into contact with the cutter. This case is also included in the configuration in which the blade 26 is brought into substantial contact with the processing table 22.

（変形例）
上記実施の形態では、ＡＥセンサ９２をブレード装着部６０に取り付けて、ブレード２６から生じる弾性波を検出する構成としているが、ＡＥセンサ９２を取り付ける部位は、これに限定されるものではない。以下、ＡＥセンサ９２の取り付け箇所についての他の例について説明する。 (Modified example)
In the above embodiment, the AE sensor 92 is attached to the blade mounting portion 60 to detect the elastic waves generated from the blade 26, but the location where the AE sensor 92 is attached is not limited to this. Other examples of attachment locations for the AE sensor 92 will be described below.

［スピンドルに取り付ける例］
ブレード２６は、ブレード装着部６０を介して、スピンドル２４と一体化される。よって、ブレード２６から生じる弾性波は、スピンドル２４にも伝播される。したがって、ＡＥセンサ９２をスピンドル２４に取り付けた場合も、ブレード２６から生じる弾性波を検出できる。 [Example of mounting on spindle]
The blade 26 is integrated with the spindle 24 via a blade mounting portion 60. Therefore, the elastic waves generated from the blade 26 are also propagated to the spindle 24. Therefore, even when the AE sensor 92 is attached to the spindle 24, the elastic waves generated from the blade 26 can be detected.

図９は、スピンドルへのＡＥセンサの取り付け構造の一例を示す図である。 FIG. 9 is a diagram illustrating an example of a structure for attaching an AE sensor to a spindle.

同図に示すように、本例では、ＡＥセンサ９２が、スピンドル２４の先端（ブレード装着部６０側の端部）に内蔵される。 As shown in the figure, in this example, the AE sensor 92 is built into the tip of the spindle 24 (the end on the blade mounting section 60 side).

スピンドル２４には、軸に沿って基端部から先端部まで延びる孔２４Ｄが備えられる。孔２４Ｄは、スピンドル２４の回転軸と同軸上に配置される。ＡＥセンサ９２は、このスピンドル２４に備えられた孔２４Ｄに収容され、孔２４Ｄの先端部分に固定して取り付けられる。 The spindle 24 is provided with a hole 24D extending along the axis from the proximal end to the distal end. The hole 24D is arranged coaxially with the rotation axis of the spindle 24. The AE sensor 92 is housed in a hole 24D provided in the spindle 24, and is fixedly attached to the tip of the hole 24D.

スピンドル２４の基端部には、送信側コイル９４を備えた送信側ボビン９４Ａが取り付けられる。送信側コイル９４は、回転体であるスピンドル２４の回転軸の周囲に巻回して配置される。ＡＥセンサ９２は、孔２４Ｄに配置された導線９３を介して、送信側コイル９４と電気的に接続される。 A transmitter bobbin 94A including a transmitter coil 94 is attached to the base end of the spindle 24. The transmitting coil 94 is arranged so as to be wound around the rotation axis of the spindle 24, which is a rotating body. The AE sensor 92 is electrically connected to the transmitting coil 94 via a conductive wire 93 placed in the hole 24D.

固定部であるスピンドル駆動部５２のハウジング５２Ａには、その基端部にエンドキャップ８４が取り付けられる。エンドキャップ８４には、その内面に受信側コイル９６を備えた受信側ボビン９６Ａが取り付けられる。受信側コイル９６は、スピンドル２４の回転軸の周囲に巻回して配置され、かつ、送信側コイル９４と所定の隙間をもって対向して配置される。これにより、送信側コイル９４と受信側コイル９６とが、非接触の状態で磁気結合される。 An end cap 84 is attached to the base end of the housing 52A of the spindle drive section 52, which is a fixed section. A receiving bobbin 96A having a receiving coil 96 on its inner surface is attached to the end cap 84. The receiving coil 96 is arranged so as to be wound around the rotation axis of the spindle 24, and is arranged to face the transmitting coil 94 with a predetermined gap therebetween. Thereby, the transmitting side coil 94 and the receiving side coil 96 are magnetically coupled in a non-contact state.

以上の構成により、ＡＥセンサ９２が、スピンドル２４に取り付けられる。ＡＥセンサ９２から出力される信号は、送信側コイル９４と受信側コイル９６との相互誘導によって、受信側コイル９６に伝送される。 With the above configuration, the AE sensor 92 is attached to the spindle 24. A signal output from the AE sensor 92 is transmitted to the receiving coil 96 by mutual induction between the transmitting coil 94 and the receiving coil 96.

上記のように、ブレード２６は、ブレード装着部６０を介してスピンドル２４と一体化されるので、スピンドル２４にＡＥセンサ９２を取り付けた場合であっても、ブレード２６から生じる弾性波を検出できる。特に、本例では、スピンドル２４の先端側（ブレード装着部側）にＡＥセンサ９２が取り付けられるので、ほぼ減衰させることなく、ブレード２６から生じる弾性波を検出できる。また、本例では、ＡＥセンサ９２及び送信側コイル９４が、スピンドル２４の同軸上に取り付けられるので、スピンドル２４を安定して回転させることができる。ＡＥセンサ９２は、スピンドル２４に内蔵されるので、強固に固定できる。 As described above, since the blade 26 is integrated with the spindle 24 via the blade attachment part 60, even when the AE sensor 92 is attached to the spindle 24, the elastic waves generated from the blade 26 can be detected. In particular, in this example, since the AE sensor 92 is attached to the tip side (blade attachment side) of the spindle 24, the elastic waves generated from the blade 26 can be detected with almost no attenuation. Furthermore, in this example, the AE sensor 92 and the transmitting coil 94 are attached coaxially to the spindle 24, so the spindle 24 can be rotated stably. Since the AE sensor 92 is built into the spindle 24, it can be firmly fixed.

［加工テーブルに取り付ける例］
上記のように、カッターセットでは、ブレード２６が加工テーブル２２に接触した際に生じる特定パターンの弾性波をＡＥセンサ９２で検出することにより、ブレード２６が加工テーブル２２に接触したことを検出する。この特定パターンの弾性波は、加工テーブル２２にも伝播される。よって、加工テーブル２２にＡＥセンサ９２を取り付けた場合も、そのＡＥセンサ９２の出力からブレード２６の接触を検出できる。 [Example of mounting on processing table]
As described above, in the cutter set, contact of the blade 26 with the processing table 22 is detected by detecting a specific pattern of elastic waves generated when the blade 26 contacts the processing table 22 with the AE sensor 92. This specific pattern of elastic waves is also propagated to the processing table 22. Therefore, even when the AE sensor 92 is attached to the processing table 22, the contact of the blade 26 can be detected from the output of the AE sensor 92.

図１０は、加工テーブルへのＡＥセンサの取り付け構造の一例を示す図である。 FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a structure for attaching an AE sensor to a processing table.

同図に示すように、回転体である加工テーブル２２にＡＥセンサ９２及び送信側コイル９４が取り付けられ、固定体であるテーブル駆動部４２に受信側コイル９６が取り付けられる。ＡＥセンサ９２及び送信側コイル９４は、センサベース８６を介して加工テーブル２２に取り付けられる。また、受信側コイル９６は、コイルベース８８を介して、テーブル駆動部４２に取り付けられる。 As shown in the figure, an AE sensor 92 and a transmitting coil 94 are attached to the processing table 22, which is a rotating body, and a receiving coil 96 is attached to the table drive unit 42, which is a fixed body. The AE sensor 92 and the transmitting coil 94 are attached to the processing table 22 via the sensor base 86. Further, the receiving coil 96 is attached to the table driving section 42 via the coil base 88.

図１１は、センサベースの下面図である。 FIG. 11 is a bottom view of the sensor base.

図１１に示すように、センサベース８６は、円環状の形状を有する。センサベース８６の下面部には、ＡＥセンサ取付部８６Ａ、バランスウェイト取付部８６Ｂ及び送信側コイル取付部８６Ｃが備えられる。 As shown in FIG. 11, the sensor base 86 has an annular shape. The lower surface of the sensor base 86 is provided with an AE sensor mounting section 86A, a balance weight mounting section 86B, and a transmitting coil mounting section 86C.

ＡＥセンサ取付部８６Ａは及びバランスウェイト取付部８６Ｂは、同じ形状の凹部で構成され、センサベース８６の軸（＝加工テーブル２２の回転軸）に対し、対称に配置される。ＡＥセンサ９２は、ＡＥセンサ取付部８６Ａに収容されて、センサベース８６に取り付けられる。 The AE sensor attachment portion 86A and the balance weight attachment portion 86B are configured with recesses having the same shape, and are arranged symmetrically with respect to the axis of the sensor base 86 (=rotation axis of the processing table 22). The AE sensor 92 is housed in the AE sensor mounting portion 86A and attached to the sensor base 86.

バランスウェイト取付部８６Ｂには、バランスウェイト９８が取り付けられる。バランスウェイト９８は、センサベース８６の回転バランスをとるウェイトである。 A balance weight 98 is attached to the balance weight attachment portion 86B. The balance weight 98 is a weight that balances the rotation of the sensor base 86.

送信側コイル取付部８６Ｃは、円環状の凹部で構成され、センサベース８６の軸と同軸上に配置される。送信側コイル９４は、送信側コイル取付部８６Ｃに収容されて、センサベース８６に取り付けられる。これにより、送信側コイル９４が、センサベース８６の軸の周囲に巻回して配置される。 The transmitting coil attachment portion 86C is formed of an annular recess and is arranged coaxially with the axis of the sensor base 86. The transmitting coil 94 is housed in the transmitting coil mounting portion 86C and attached to the sensor base 86. As a result, the transmitting coil 94 is arranged so as to be wound around the axis of the sensor base 86.

以上の構成のセンサベース８６は、図１０に示すように、加工テーブル２２の下面同軸上に取り付けられて、加工テーブル２２と一体化される。センサベース８６が加工テーブル２２に取り付けられることにより、送信側コイル９４が、加工テーブル２２の回転軸と同軸上に配置され、その周囲に巻回して配置される。 As shown in FIG. 10, the sensor base 86 having the above configuration is attached coaxially to the lower surface of the processing table 22 and is integrated with the processing table 22. By attaching the sensor base 86 to the processing table 22, the transmitting coil 94 is arranged coaxially with the rotation axis of the processing table 22 and wound around it.

図１２は、コイルベースの上面図である。 FIG. 12 is a top view of the coil base.

図１２に示すように、コイルベース８８は、円環状の形状を有する。コイルベース８８の上面部には、受信側コイル取付部８８Ａが備えられる。受信側コイル取付部８８Ａは、円環状の凹部で構成され、コイルベース８８と同軸上に配置される。受信側コイル９６は、受信側コイル取付部８８Ａに収容されて、コイルベース８８に取り付けられる。これにより、受信側コイル９６が、コイルベース８８の軸の周囲に巻回して配置される。 As shown in FIG. 12, the coil base 88 has an annular shape. The upper surface portion of the coil base 88 is provided with a receiving side coil attachment portion 88A. The receiving side coil mounting portion 88A is formed of an annular recess and is arranged coaxially with the coil base 88. The receiving coil 96 is housed in the receiving coil mounting portion 88A and attached to the coil base 88. Thereby, the receiving side coil 96 is arranged so as to be wound around the axis of the coil base 88.

以上の構成のコイルベース８８は、図１０に示すように、テーブル駆動部４２のハウジング４２Ａの上端部に取り付けられ、加工テーブル２２の回転軸と同軸上に配置される。これにより、受信側コイル９６が、加工テーブル２２の回転軸と同軸上に配置され、その周囲に巻回して配置される。また、受信側コイル９６が、送信側コイル９４と同一円周上に配置される。 As shown in FIG. 10, the coil base 88 having the above configuration is attached to the upper end of the housing 42A of the table drive unit 42, and is arranged coaxially with the rotation axis of the processing table 22. As a result, the receiving coil 96 is arranged coaxially with the rotation axis of the processing table 22 and wound around it. Further, the receiving coil 96 is arranged on the same circumference as the transmitting coil 94.

以上の構成により、送信側コイル９４と受信側コイル９６とが、所定の隙間をもって互いに対向して配置され、両者が非接触の状態で磁気結合される。また、この構成により、ＡＥセンサ９２から出力される信号が、送信側コイル９４と受信側コイル９６との相互誘導によって、受信側コイル９６に伝送される。 With the above configuration, the transmitting side coil 94 and the receiving side coil 96 are arranged facing each other with a predetermined gap, and are magnetically coupled in a non-contact state. Furthermore, with this configuration, the signal output from the AE sensor 92 is transmitted to the receiving coil 96 by mutual induction between the transmitting coil 94 and the receiving coil 96.

ブレード２６が加工テーブル２２に接触すると、その接触の際に生じる弾性波が、ＡＥセンサ９２で検出される。これにより、ブレード２６の接触を検出できる。 When the blade 26 contacts the processing table 22, the AE sensor 92 detects the elastic waves generated during the contact. Thereby, contact of the blade 26 can be detected.

（第２の実施の形態）
前述したように、ダイシング装置１０に弾性波検出部９０を備えることにより、ブレード２６と加工テーブル２２との接触を検出できる。これにより、ブレード２６の種類に依らずに、接触式のカッターセットを実施できる。 (Second embodiment)
As described above, by providing the dicing apparatus 10 with the elastic wave detection section 90, contact between the blade 26 and the processing table 22 can be detected. Thereby, contact-type cutter setting can be carried out regardless of the type of blade 26.

弾性波検出部９０を備えたダイシング装置１０では、更に、加工中のブレード２６から生じる弾性波を監視することで、ワークＷ及びブレード２６の状態を推定できる。以下、弾性波を利用した、ワークＷ及びブレード２６の状態の推定について説明する。 In the dicing apparatus 10 equipped with the elastic wave detection unit 90, the states of the workpiece W and the blade 26 can be estimated by further monitoring the elastic waves generated from the blade 26 during processing. Hereinafter, estimation of the states of the workpiece W and the blade 26 using elastic waves will be described.

［ワークの状態の推定］
図１３は、切削ラインを上面から見た模式図である。 [Estimation of work state]
FIG. 13 is a schematic diagram of the cutting line viewed from above.

通常、ワークＷは、ストリートＳｔの中心（ストリートセンタ）を切削される。図１３は、ストリートセンタＳｔＣに対し、カーフ（Ｋｅｒｆ；切溝）Ｋの中心（カーフセンタ）ＫＣがずれて切削された場合の例を示している。ストリートセンタＳｔＣとカーフセンタＫＣとがずれると、センターズレが生じる。ストリートセンタＳｔＣとカーフセンタＫＣとのずれ量が、センターずれ量εである。 Usually, the workpiece W is cut at the center of the street St (street center). FIG. 13 shows an example where the center (kerf center) KC of the kerf (kerf) K is shifted from the street center StC when cutting. When the street center StC and the calf center KC are misaligned, center misalignment occurs. The amount of deviation between the street center StC and the calf center KC is the center deviation amount ε.

図１４は、チッピングの発生の模式図である。図１４は、ダイシングテープＤＴに張り付けられたウェーハ（ワークＷ）を切削しているときの状態を示している。図１４の中の符号ＦＢは、異物である。カーフエッジ（ストリートとの境界）には、チッピングＣが生じる。チッピングとは、ワークのカーフラインの角や縁に生じる意図しない割れや欠けのことをいう。チッピングは、ブレードの目詰まり、切削液の液量の変動、ワーク材質の様相変質、オペレータの設定ミス等、種々の要因で発生し得る。 FIG. 14 is a schematic diagram of the occurrence of chipping. FIG. 14 shows a state in which a wafer (workpiece W) attached to the dicing tape DT is being cut. The symbol FB in FIG. 14 is a foreign object. Chipping C occurs at the kerf edge (boundary with the street). Chipping refers to unintentional cracks or chips that occur at the corners or edges of the kerf line of a workpiece. Chipping can occur due to various factors, such as blade clogging, fluctuations in the amount of cutting fluid, changes in the appearance of the workpiece material, and operator setting errors.

チッピングの発生時は、通常の切削とは異なる変形、破壊の様相となる場合があるため、安定時とは異なる弾性波が発生する。したがって、ブレードから発生する弾性波を監視することで、チッピング（許容値を超えるチッピング）の発生を検出できる。 When chipping occurs, the appearance of deformation and destruction may be different from that of normal cutting, so elastic waves are generated that are different from those during stable cutting. Therefore, by monitoring the elastic waves generated from the blade, it is possible to detect the occurrence of chipping (chipping that exceeds a permissible value).

図１５は、加工中のＡＥセンサの出力の一例を示すグラフである。図１５（Ａ）は、安定切削時のＡＥセンサの出力の一例を示している。また、図１５（Ｂ）は、チッピングが突発的に発生した場合のＡＥセンサの出力の一例を示している。図１５（Ｂ）は、時刻Ｔ２及び時刻Ｔ３において、チッピングが発生した場合の例である。 FIG. 15 is a graph showing an example of the output of the AE sensor during processing. FIG. 15(A) shows an example of the output of the AE sensor during stable cutting. Further, FIG. 15(B) shows an example of the output of the AE sensor when chipping suddenly occurs. FIG. 15(B) is an example where chipping occurs at time T2 and time T3.

同図（Ａ）に示すように、加工（切削）が安定している場合、ＡＥセンサ９２の出力は、ほぼ一定の範囲内で推移する。すなわち、ほぼ一様の出力となる。 As shown in FIG. 5A, when the machining (cutting) is stable, the output of the AE sensor 92 changes within a substantially constant range. In other words, the output is approximately uniform.

一方、同図（Ｂ）に示すように、突発的なチッピングが発生すると、ＡＥセンサ９２の出力が、安定傾向から大きく変動する。 On the other hand, as shown in FIG. 3B, when sudden chipping occurs, the output of the AE sensor 92 changes greatly from its stable tendency.

図１６は、加工中のＡＥセンサの出力の一例を示すグラフである。同図は、チッピングが継続して発生している場合のＡＥセンサの出力の一例を示している。 FIG. 16 is a graph showing an example of the output of the AE sensor during processing. The figure shows an example of the output of the AE sensor when chipping continues to occur.

切削液の液量の違いや、オペレータの設定ミスなどによって、許容値を超えるチッピングが、継続して発生する場合がある。この場合、ＡＥセンサ９２の出力は、安定時とは異なる値を取り続ける。よって、安定時の出力（図１５（Ａ）参照）と比較することにより、異常を検出できる。 Chipping that exceeds the allowable value may continue to occur due to differences in the amount of cutting fluid or setting errors by the operator. In this case, the output of the AE sensor 92 continues to take a different value from the stable state. Therefore, an abnormality can be detected by comparing with the stable output (see FIG. 15(A)).

［ブレードの状態の推定］
図１７は、加工中のブレードの模式図である。 [Estimation of blade condition]
FIG. 17 is a schematic diagram of the blade during processing.

ブレード２６は、砥粒（切削粒子）ＡＣと、砥粒ＡＣを結合ずる結合剤（ボンド材）ＢＯと、それらをどれだけ空間を開けて結合するかの密集度（チップポケット）ＣＰとのバラスをとることにより、最適な加工（切削）が実現される。 The blade 26 has a balance between abrasive grains (cutting particles) AC, a bonding agent (bond material) BO that binds the abrasive grains AC, and a density (chip pocket) CP that determines how much space is left between them. Optimal machining (cutting) can be achieved by taking the following steps.

ワークＷの加工は、ブレード２６に切削液ＣＬを掛けながら行われる。ワークＷを切削すると、いわゆる切粉（切削紛）ＳＷが発生する。また、砥粒ＡＣもブレード２６から若干脱落する。この切粉ＳＷや脱落した砥粒が、切削液ＣＬと共にブレード２６から適度に離脱すると、良好な切削となる。その一方で、バランスが崩れると、ブレード２６のチップポケットＣＰに異物が詰まる。この現象を「目詰まり」と呼ぶ。ブレード２６に目詰まりが生じると、ＡＥセンサ９２の出力が変動する。 Machining of the workpiece W is performed while applying cutting fluid CL to the blade 26. When the workpiece W is cut, so-called chips (cutting dust) SW are generated. Further, the abrasive grains AC also fall off from the blade 26 to some extent. When the chips SW and the fallen abrasive grains are properly separated from the blade 26 together with the cutting fluid CL, good cutting can be achieved. On the other hand, if the balance is lost, the chip pocket CP of the blade 26 becomes clogged with foreign matter. This phenomenon is called "clogging." When the blade 26 becomes clogged, the output of the AE sensor 92 fluctuates.

図１８は、加工中のＡＥセンサの出力の一例を示すグラフである。図１８において、太線で示すグラフＧ１は、ブレードに目詰まりが発生した場合のＡＥセンサ９２の出力の一例を示すグラフである。一方、細線で示すグラフＧ２は、目詰まりのない安定時のＡＥセンサ９２の出力の一例を示すグラフである。 FIG. 18 is a graph showing an example of the output of the AE sensor during processing. In FIG. 18, a graph G1 shown by a thick line is a graph showing an example of the output of the AE sensor 92 when the blade is clogged. On the other hand, a graph G2 indicated by a thin line is a graph indicating an example of the output of the AE sensor 92 in a stable state without clogging.

図１８に示すように、ブレード２６に目詰まりが発生すると、ＡＥセンサ９２の出力が、安定時から段階的に変動する。したがって、安定時のＡＥセンサ９２の出力と比較することで、目詰まりの発生状態を推定できる。 As shown in FIG. 18, when the blade 26 becomes clogged, the output of the AE sensor 92 changes step by step from a stable state. Therefore, by comparing the output of the AE sensor 92 in a stable state, the state of occurrence of clogging can be estimated.

［装置構成］
本実施の形態のダイシング装置１０は、ブレード２６から発生する弾性波に基づいて、ワークＷの状態を推定する機能、及び、ブレード２６の状態を推定する機能を有する。この機能は、システムコントローラ１００が実現する。 [Device configuration]
The dicing apparatus 10 of this embodiment has a function of estimating the state of the workpiece W and a function of estimating the state of the blade 26 based on the elastic waves generated from the blade 26. This function is realized by the system controller 100.

なお、装置構成は、実質的に第１の実施の形態のダイシング装置１０と同じである。したがって、ここでは、システムコントローラ１００が有する上記機能についてのみ説明する。 Note that the device configuration is substantially the same as the dicing device 10 of the first embodiment. Therefore, only the above-mentioned functions that the system controller 100 has will be described here.

図１９は、推定に関するシステムコントローラが有する機能のブロック図である。 FIG. 19 is a block diagram of the functions of the system controller regarding estimation.

図１９に示すように、推定の処理に関して、システムコントローラ１００は、ワークＷの状態を推定するワーク状態推定部１２０、及び、ブレード２６の状態を推定するブレード状態推定部１２２を有する。各部は、プロセッサが所定のプログラムを実行することにより、プロセッサにより実現される。プログラムは、メモリ又は記憶部１０２に格納される。 As shown in FIG. 19, regarding the estimation process, the system controller 100 includes a work state estimation section 120 that estimates the state of the work W, and a blade state estimation section 122 that estimates the state of the blade 26. Each part is realized by the processor by executing a predetermined program. The program is stored in memory or storage unit 102.

ワーク状態推定部１２０は、弾性波検出部９０から出力される信号（ＡＥセンサ９２の出力信号）を取得し、ワークＷの状態、特に、チッピングの発生の有無を推定する。本実施の形態では、安定切削時に得られる信号との比較により、ワークＷの状態を推定する。 The workpiece state estimation section 120 acquires the signal output from the elastic wave detection section 90 (the output signal of the AE sensor 92), and estimates the state of the workpiece W, particularly whether or not chipping has occurred. In this embodiment, the state of the workpiece W is estimated by comparison with a signal obtained during stable cutting.

上記のように、許容値を超えるチッピングが突発的に発生すると、ＡＥセンサ９２の出力が安定傾向から大きく変動する（図１５（Ｂ）参照）。また、許容値を超えるチッピングが、継続して発生すると、ＡＥセンサ９２の出力は、安定時とは異なる値を取り続ける（図１６参照）。 As described above, when chipping exceeding the allowable value suddenly occurs, the output of the AE sensor 92 changes greatly from its stable tendency (see FIG. 15(B)). Furthermore, if chipping exceeding the allowable value continues to occur, the output of the AE sensor 92 continues to take a value different from that when stable (see FIG. 16).

そこで、ワーク状態推定部１２０は、加工中に得られるＡＥセンサ９２の出力信号を、安定切削時にＡＥセンサ９２から得られる出力信号と比較して、チッピングの発生を検出（推定）する。たとえば、安定切削時に得られる出力信号に基づいて閾値を設定し、閾値を超える信号を検出して、突発的なチッピングを検出（推定）する。また、たとえば、安定切削時に得られる出力信号に基づいて閾値を設定し、規定時間内に閾値を超える信号が規定回数以上検出された場合に、継続的なチッピングを検出（推定）する。 Therefore, the workpiece state estimation unit 120 compares the output signal of the AE sensor 92 obtained during machining with the output signal obtained from the AE sensor 92 during stable cutting to detect (estimate) the occurrence of chipping. For example, a threshold value is set based on an output signal obtained during stable cutting, and a signal exceeding the threshold value is detected to detect (estimate) sudden chipping. Further, for example, a threshold value is set based on an output signal obtained during stable cutting, and continuous chipping is detected (estimated) when a signal exceeding the threshold value is detected a predetermined number of times within a predetermined time.

ブレード状態推定部１２２は、弾性波検出部９０から出力される信号を取得し、ブレード２６の状態、特に、目詰まりの発生状態を推定する。本実施の形態では、安定切削時に得られる信号との比較により、目詰まりの発生状態を推定する。 The blade state estimating unit 122 acquires the signal output from the elastic wave detecting unit 90 and estimates the state of the blade 26, particularly the state of occurrence of clogging. In this embodiment, the occurrence state of clogging is estimated by comparison with the signal obtained during stable cutting.

上記のように、ブレード２６に目詰まりが発生すると、ＡＥセンサ９２の出力が、安定時から段階的に変動する。したがって、安定時のＡＥセンサ９２の出力信号と比較することで、目詰まりの発生状態を推定できる。 As described above, when the blade 26 becomes clogged, the output of the AE sensor 92 changes step by step from a stable state. Therefore, by comparing the output signal of the AE sensor 92 in a stable state, the state of occurrence of clogging can be estimated.

ブレード状態推定部１２２は、たとえば、統計的手法により、ＡＥセンサ９２の出力信号の変動傾向を算出し、安定時に得られる出力信号の変動傾向との比較により、目詰まりの発生を推定する。すなわち、算出した変動傾向が、安定時の変動傾向と異なる場合（特に、出力信号が、安定時の出力信号から経時的に離れる場合）に、許容量を超える目詰まりが発生したと推定する。 The blade condition estimating unit 122 calculates the fluctuation tendency of the output signal of the AE sensor 92 using a statistical method, for example, and estimates the occurrence of clogging by comparing it with the fluctuation tendency of the output signal obtained when the blade is stable. That is, when the calculated fluctuation tendency is different from the fluctuation tendency during stable conditions (particularly when the output signal deviates from the stable output signal over time), it is estimated that clogging exceeding the allowable amount has occurred.

安定切削時に得られるＡＥセンサ９２の出力信号の情報は、事前に取得し、記憶部１０２に記憶される。なお、安定切削時に得られるＡＥセンサ９２の出力信号は、加工条件（使用するブレードの種類等）により異なるので、加工条件ごとに用意される。 Information on the output signal of the AE sensor 92 obtained during stable cutting is obtained in advance and stored in the storage unit 102. Note that the output signal of the AE sensor 92 obtained during stable cutting differs depending on the processing conditions (such as the type of blade used), so it is prepared for each processing condition.

以上説明したように、本実施の形態のダイシング装置１０によれば、弾性波検出部９０を利用して、ワークＷ及びブレード２６の状態を推定できる。 As described above, according to the dicing apparatus 10 of the present embodiment, the states of the workpiece W and the blade 26 can be estimated using the elastic wave detection section 90.

なお、推定結果は、表示部（図示せず）に表示される。また、許容値を超えるチッピング及び目詰まりが検出（推定）された場合は、警告が発せられる。 Note that the estimation results are displayed on a display unit (not shown). Additionally, if chipping and clogging exceeding tolerance values are detected (estimated), a warning is issued.

本実施の形態では、ワークＷ及びブレード２６の双方の状態を推定する構成としているが、いずれか一方の状態についてのみ推定する構成とすることもできる。 In this embodiment, the configuration is such that the states of both the workpiece W and the blade 26 are estimated, but it is also possible to have a configuration in which only the state of either one is estimated.

上記実施の形態では、ブレード２６を切り込み送りする際、加工テーブル２２に対し、加工ユニット５０の側を移動させる構成としているが、加工テーブル２２の側を移動させる構成としてもよい。あるいは、双方を移動させる構成としてもよい。すなわち、スピンドル２４と加工テーブル２２との移動は、相対的であってよい。 In the above embodiment, when the blade 26 is fed into the cut, the processing unit 50 side is moved relative to the processing table 22, but the processing table 22 side may be moved. Alternatively, a configuration may be adopted in which both are moved. That is, the movement between the spindle 24 and the processing table 22 may be relative.

１０…ダイシング装置、１２…供給回収部、１４…加工部、１６…洗浄部、１８…搬送部、２０…ロードポート、２２…加工テーブル、２２Ａ…ワーク保持面、２４…スピンドル、２４Ａ…スピンドル本体、２４Ｂ…スピンドルのフランジ装着部、２４Ｃ…スピンドルのネジ穴、２４Ｄ…スピンドルの孔、２６…ブレード、２６Ａ…ブレードの装着穴、２８…洗浄テーブル、３０…ロボットアーム、３２…サドル、３４…門型コラム、３６…Ｘ軸テーブル、３８…Ｘ軸ガイドレール、４０…テーブルユニット、４２…テーブル駆動部、４２Ａ…テーブル駆動部のハウジング、４４…Ｙ軸テーブル、４６…Ｙ軸ガイドレール、４８…Ｚ軸テーブル、４８Ｍ…Ｚ軸モータ、４８Ｓ…Ｚ軸センサ、５０…加工ユニット、５２…スピンドル駆動部、５２Ａ…スピンドル駆動部のハウジング、６０…ブレード装着部、７０…後フランジ、７０Ａ…後フランジ本体、７０Ｂ…後フランジのフランジ部、７０Ｃ…後フランジのブレード嵌合部、７０Ｄ…後フランジの雄ネジ部、７０Ｅ…後フランジのＡＥセンサ取付部、７０Ｆ…後フランジのバランスウェイト取付部、７０Ｇ…後フランジの送信側コイル取付部、７２…固定用ネジ、７４…前フランジ、７４Ａ…前フランジの穴、７６…固定用ナット、８０…スピンドル駆動部のハウジングの先端カバー、８０Ａ…開口部、８０Ｂ…受信側コイル取付部、８２…ボルト、８４…エンドキャップ、８６…センサベース、８６Ａ…センサベースのＡＥセンサ取付部、８６Ｂ…センサベースのバランスウェイト取付部、８６Ｃ…センサベースの送信側コイル取付部、８８…コイルベース、８８Ａ…コイルベースの受信側コイル取付部、９０…弾性波検出部、９２…ＡＥセンサ、９３…導線、９４…送信側コイル、９４Ａ…送信側ボビン、９６…受信側コイル、９６Ａ…受信側ボビン、９８…バランスウェイト、１００…システムコントローラ、１０２…記憶部、１１０…スピンドル回転制御部、１１２…切り込み送り制御部、１１４…接触検出部、１１６…基準位置設定部、１２０…ワーク状態推定部、１２２…ブレード状態推定部、ＡＣ…砥粒、Ｃ…チッピング、ＣＬ…切削液、ＣＰ…チップポケット、ＤＴ…ダイシングテープ、ＫＣ…カーフセンタ、ＳＷ…切粉、Ｓｔ…ストリート、ＳｔＣ…ストリートセンタ、Ｗ…ワーク、ε…センターずれ量 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Dicing device, 12... Supply and collection part, 14... Processing part, 16... Cleaning part, 18... Transport part, 20... Load port, 22... Processing table, 22A... Work holding surface, 24... Spindle, 24A... Spindle body , 24B...Spindle flange attachment part, 24C...Spindle screw hole, 24D...Spindle hole, 26...Blade, 26A...Blade attachment hole, 28...Cleaning table, 30...Robot arm, 32...Saddle, 34...Gate Model column, 36...X-axis table, 38...X-axis guide rail, 40...table unit, 42...table drive unit, 42A...housing of table drive unit, 44...Y-axis table, 46...Y-axis guide rail, 48... Z-axis table, 48M...Z-axis motor, 48S...Z-axis sensor, 50...processing unit, 52...spindle drive unit, 52A...spindle drive unit housing, 60...blade attachment part, 70...rear flange, 70A...rear flange Main body, 70B...Flange part of rear flange, 70C...Blade fitting part of rear flange, 70D...Male thread part of rear flange, 70E...AE sensor mounting part of rear flange, 70F...Balance weight mounting part of rear flange, 70G ...Sending side coil mounting part of rear flange, 72...Fixing screw, 74...Front flange, 74A...Front flange hole, 76...Fixing nut, 80...Tip cover of spindle drive unit housing, 80A...Opening, 80B... Receiving side coil attachment part, 82... Bolt, 84... End cap, 86... Sensor base, 86A... AE sensor attachment part of sensor base, 86B... Balance weight attachment part of sensor base, 86C... Transmission side coil of sensor base Mounting part, 88... Coil base, 88A... Receiving side coil mounting part of coil base, 90... Elastic wave detection unit, 92... AE sensor, 93... Leading wire, 94... Transmitting side coil, 94A... Transmitting side bobbin, 96... Receiving Side coil, 96A... Receiving side bobbin, 98... Balance weight, 100... System controller, 102... Storage section, 110... Spindle rotation control section, 112... Cut feed control section, 114... Contact detection section, 116... Reference position setting section , 120... Work condition estimating section, 122... Blade condition estimating section, AC... Abrasive grain, C... Chipping, CL... Cutting fluid, CP... Chip pocket, DT... Dicing tape, KC... Kerf center, SW... Chips, St ... Street, StC... Street center, W... Work, ε... Center deviation amount

Claims

A table to hold the workpiece,
a spindle that moves relative to the table;
a blade mounting part that is integrally attached to the spindle;
a blade attached to the blade attachment part;
an elastic wave detection unit that detects elastic waves;
Prepare,
The elastic wave detection section includes:
an AE sensor attached to at least one of the spindle, the blade mounting section, and the table;
a transmitter coil attached to at least one of the spindle, the blade mounting section, and the table and connected to the AE sensor;
a receiving coil disposed opposite to the transmitting coil and magnetically coupled to the transmitting coil;
Equipped with
A signal output from the AE sensor is transmitted to the receiving coil via the transmitting coil by mutual induction between the transmitting coil and the receiving coil.
Dicing equipment.

The dicing apparatus according to claim 1, wherein the table, the spindle, and the blade mounting section are rotating bodies.

a contact detection unit that detects contact between the blade and the table based on a signal output from the elastic wave detection unit;
a reference position setting unit that sets a reference position of the blade;
Equipped with
The reference position setting unit moves the spindle toward the table from a position where the blade and the table are separated, and sets a position where contact is detected by the contact detection unit as the reference position of the blade. ,
The dicing apparatus according to claim 1 or 2.

further comprising an estimation unit that estimates the state of the blade and/or the workpiece based on a signal output from the elastic wave detection unit during processing of the workpiece;
The dicing apparatus according to any one of claims 1 to 3.

the estimation unit estimates the occurrence of chipping based on the signal output from the elastic wave detection unit;
The dicing apparatus according to claim 4.

The estimation unit estimates a clogging state of the blade based on a signal output from the elastic wave detection unit.
The dicing apparatus according to claim 4.

The estimation unit estimates the state of the blade and/or the workpiece by comparison with a signal output from the elastic wave detection unit during stable cutting.
The dicing apparatus according to any one of claims 4 to 6.

the AE sensor and the transmitting coil are attached to the blade mounting section;
The dicing apparatus according to any one of claims 1 to 7.

the AE sensor and the transmitter coil are attached to the spindle;
The dicing apparatus according to any one of claims 1 to 7.

The blade mounting part is provided at the tip of the spindle,
The AE sensor is built into the tip of the spindle,
the transmitter coil is attached to a proximal end of the spindle;
The dicing apparatus according to claim 9.

the AE sensor and the transmitter coil are attached to the table;
The dicing apparatus according to any one of claims 1 to 7.

The receiving coil and the transmitting coil are arranged to be wound around at least one rotational axis of the spindle, the blade mounting portion, and the table.
The dicing apparatus according to any one of claims 1 to 11.

At least one of the spindle, the blade mounting section, and the table is provided with a balance weight.
The dicing apparatus according to any one of claims 1 to 12.