JP2023142323A - プラズマリアクター、および、電極パネルの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電極パネルの製造工程の簡略化を図ることができるプラズマリアクター、および、電極パネルの製造方法を提供する。【解決手段】プラズマリアクター１は、ケーシング２と、ケーシング２内に配置される第１電極パネル３Ａおよび第２電極パネル３Ｂとを備える。第１電極パネル３Ａは、第１誘電体層３１Ａと、第１誘電体層３１Ａ内に配置される内蔵電極３３Ａとを有する。第２電極パネル３Ｂは、第２誘電体層３１Ｂと、第１誘電体層３１Ａと第２誘電体層３１Ｂとの間に配置される表面電極３２Ｂであって、第２誘電体層３１Ｂの表面Ｓ１上に配置された表面電極３２Ｂとを有する。表面電極３２Ｂは、塗膜の焼成体である。【選択図】図２
Description
本発明は、プラズマリアクター、および、電極パネルの製造方法に関する。
従来、プラズマリアクターは、互いに間隔を隔てて並ぶ複数の電極パネルを備える。複数の電極パネルは、誘電体層と、誘電体層の内部に配置される導体層とを有する（下記特許文献１参照）。
上記特許文献１に記載されるようなプラズマリアクターでは、導体層が誘電体層の内部に配置されているため、電極パネルの製造工程の簡略化を図りにくい場合がある。
そこで、本発明の目的は、電極パネルの製造工程の簡略化を図ることができるプラズマリアクター、および、電極パネルの製造方法を提供することにある。
本発明［１］は、排ガスが流入する入口と排ガスが流出する出口とを有するケーシングと、前記ケーシング内に配置され、前記入口から前記出口に向かう第１方向に延びる第１電極パネルと、前記ケーシング内に配置され、前記第１方向に延び、前記第１方向と直交する第２方向において前記第１電極パネルと間隔を隔てて向かい合う第２電極パネルと、を備え、前記第１電極パネルが、第１誘電体層と、前記第１誘電体層内に配置される内蔵電極と、を有し、前記第２電極パネルが、第２誘電体層と、前記第２方向において前記第１誘電体層と前記第２誘電体層との間に配置される表面電極であって、前記第２方向における前記第２誘電体層の表面上に配置された塗膜の焼成体である表面電極と、を有する、プラズマリアクターを含む。
このような構成によれば、第２電極パネルは、その表面に、表面電極を有する。表面電極は、塗膜の焼成体である。
そのため、第２電極パネルの表面に電極（表面電極）を印刷することができ、第２電極パネルの製造工程の簡略化を図ることができる。
本発明［２］は、前記表面電極が、金属触媒を含有する、上記［１］のプラズマリアクターを含む。
このような構成によれば、表面電極に触媒活性を付与することができる。
そのため、排ガスに含まれる有害成分（例えば、炭化水素など）を、プラズマリアクター内で生じるプラズマで分解するとともに、表面電極の触媒活性によっても分解することができる。
その結果、有害成分の除去効率の向上を図ることができる。
本発明［３］は、上記［１］または［２］のプラズマリアクターの前記第２電極パネルとして使用される電極パネルの製造方法であって、前記第２誘電体層の前駆体であるセラミックグリーンシートを準備する準備工程と、前記セラミックグリンシートの表面に前記表面電極の前駆体である塗膜を印刷する印刷工程と、前記セラミックグリンシートおよび前記塗膜を焼成して前記電極パネルを得る焼成工程とを含む、電極パネルの製造方法を含む。
このような方法によれば、印刷により、電極パネルの表面に電極を形成することができ、電極パネルの製造工程の簡略化を図ることができる。
本発明のプラズマリアクター、および、電極パネルの製造方法によれば、電極パネルの製造工程の簡略化を図ることができる。
１．プラズマリアクター
図１に示すように、プラズマリアクター１は、車両１００の排気システム１０３に含まれる。
図１に示すように、プラズマリアクター１は、車両１００の排気システム１０３に含まれる。
車両１００は、エンジン１０１と、バッテリー１０２を含む電気システムと、エンジン１０１に吸気するための図示しない吸気システムと、エンジン１０１に燃料を供給するための図示しない燃料噴射システムと、エンジン１０１から排気するための排気システム１０３とを備える。
排気システム１０３は、排気管１０４と、プラズマリアクター１とを備える。
排気管１０４は、エンジン１０１から排出される排ガスを排気するための配管である。排気管１０４は、エンジン１０１に接続される。
プラズマリアクター１は、排気管１０４の途中に介在される。プラズマリアクター１は、電源配線１０５を介して、バッテリー１０２に電気的に接続される。プラズマリアクター１は、後で詳しく説明するが、バッテリー１０２から電源配線１０５を介して電力が供給されることにより、プラズマを発生させ、排ガスに含まれる有害成分を分解する。プラズマリアクター１を通過した排ガスは、排気管１０４を介して、車外に排出される。
プラズマリアクター１は、ケーシング２と、複数の電極パネル３とを備える。
（１）ケーシング
ケーシング２は、中空の筒形状を有する。ケーシング２は、入口２Ａと、出口２Ｂとを有する。出口２Ｂは、第１方向において、入口２Ａから離れて配置される。つまり、第１方向は、入口２Ａから出口２Ｂに向かう方向である。エンジン１０１から排出された排ガスは、排気管１０４を通って、入口２Ａからケーシング２の内部に流入する。ケーシング２の内部を通過した排ガスは、出口２Ｂから流出する。
ケーシング２は、中空の筒形状を有する。ケーシング２は、入口２Ａと、出口２Ｂとを有する。出口２Ｂは、第１方向において、入口２Ａから離れて配置される。つまり、第１方向は、入口２Ａから出口２Ｂに向かう方向である。エンジン１０１から排出された排ガスは、排気管１０４を通って、入口２Ａからケーシング２の内部に流入する。ケーシング２の内部を通過した排ガスは、出口２Ｂから流出する。
（２）電極パネル
図２Ａに示すように、複数の電極パネル３は、複数の第１電極パネル３Ａと、複数の第２電極パネル３Ｂとを含む。言い換えると、プラズマリアクター１は、第１電極パネル３Ａと、第２電極パネル３Ｂとを備える。
図２Ａに示すように、複数の電極パネル３は、複数の第１電極パネル３Ａと、複数の第２電極パネル３Ｂとを含む。言い換えると、プラズマリアクター１は、第１電極パネル３Ａと、第２電極パネル３Ｂとを備える。
（２－１）第１電極パネル
複数の第１電極パネル３Ａは、ケーシング２内に配置される。複数の第１電極パネル３Ａのそれぞれは、第１方向に延びる。複数の第１電極パネル３Ａは、第２方向において、互いに間隔を隔てて並ぶ。複数の第１電極パネル３Ａのそれぞれは、平板形状を有する。本実施形態では、複数の第１電極パネル３Ａは、バッテリー１０２（図１参照）の正極に電気的に接続される。複数の第１電極パネル３Ａのそれぞれは、第１誘電体層３１Ａと、２つの内蔵電極３２Ａ，３３Ａとを有する。
複数の第１電極パネル３Ａは、ケーシング２内に配置される。複数の第１電極パネル３Ａのそれぞれは、第１方向に延びる。複数の第１電極パネル３Ａは、第２方向において、互いに間隔を隔てて並ぶ。複数の第１電極パネル３Ａのそれぞれは、平板形状を有する。本実施形態では、複数の第１電極パネル３Ａは、バッテリー１０２（図１参照）の正極に電気的に接続される。複数の第１電極パネル３Ａのそれぞれは、第１誘電体層３１Ａと、２つの内蔵電極３２Ａ，３３Ａとを有する。
（２－１－１）第１誘電体層
第１誘電体層３１Ａは、第１方向に延びる。第１誘電体層３１Ａは、平板形状を有する。第１誘電体層３１Ａは、例えば、酸化アルミニウムなどのセラミックスからなる。第１誘電体層３１Ａは、表面Ｓ１と表面Ｓ２とを有する。表面Ｓ１は、第２方向における一方側の表面である。表面Ｓ２は、第２方向における他方側の表面である。第２方向は、第１方向と直交する。第２方向は、第１電極パネル３Ａの厚み方向である。
第１誘電体層３１Ａは、第１方向に延びる。第１誘電体層３１Ａは、平板形状を有する。第１誘電体層３１Ａは、例えば、酸化アルミニウムなどのセラミックスからなる。第１誘電体層３１Ａは、表面Ｓ１と表面Ｓ２とを有する。表面Ｓ１は、第２方向における一方側の表面である。表面Ｓ２は、第２方向における他方側の表面である。第２方向は、第１方向と直交する。第２方向は、第１電極パネル３Ａの厚み方向である。
（２－１－２）内蔵電極
内蔵電極３２Ａは、第１誘電体層３１Ａ内に配置される。内蔵電極３２Ａは、第２方向において、第１誘電体層３１Ａの中央に対して、第１誘電体層３１Ａの表面Ｓ１の近くに配置される。内蔵電極３２Ａは、第１方向に延びる。内蔵電極３２Ａは、シート形状を有する。内蔵電極３２Ａは、例えば、タングステンなどの金属からなる。
内蔵電極３２Ａは、第１誘電体層３１Ａ内に配置される。内蔵電極３２Ａは、第２方向において、第１誘電体層３１Ａの中央に対して、第１誘電体層３１Ａの表面Ｓ１の近くに配置される。内蔵電極３２Ａは、第１方向に延びる。内蔵電極３２Ａは、シート形状を有する。内蔵電極３２Ａは、例えば、タングステンなどの金属からなる。
内蔵電極３３Ａは、第１誘電体層３１Ａ内に配置される。内蔵電極３３Ａは、第２方向において、第１誘電体層３１Ａの中央に対して、第１誘電体層３１Ａの表面Ｓ２の近くに配置される。内蔵電極３３Ａは、内蔵電極３２Ａと同様に説明される。そのため、内蔵電極３３Ａについての説明は、省略される。
（２－２）第２電極パネル
複数の第２電極パネル３Ｂは、ケーシング２内に配置される。複数の第２電極パネル３Ｂのそれぞれは、第１方向に延びる。複数の第２電極パネル３Ｂのそれぞれは、平板形状を有する。本実施形態では、複数の第２電極パネル３Ｂは、バッテリー１０２（図１参照）の負極に電気的に接続される。第２電極パネル３Ｂは、第２方向において、第１電極パネル３Ａと間隔を隔てて向かい合う。詳しくは、第２電極パネル３Ｂは、第２方向において、２つの第１電極パネル３Ａの間に配置される。第２電極パネル３Ｂの表面Ｓ１は、第２方向において、一方側の第１電極パネル３Ａの表面Ｓ２と、間隔を隔てて向かい合う。第２電極パネル３Ｂの表面Ｓ２は、第２方向において、他方側の第１電極パネル３Ａの表面Ｓ１と、間隔を隔てて向かい合う。複数の第２電極パネル３Ｂのそれぞれは、第２誘電体層３１Ｂと、２つの表面電極３２Ｂ，３３Ｂとを有する。
複数の第２電極パネル３Ｂは、ケーシング２内に配置される。複数の第２電極パネル３Ｂのそれぞれは、第１方向に延びる。複数の第２電極パネル３Ｂのそれぞれは、平板形状を有する。本実施形態では、複数の第２電極パネル３Ｂは、バッテリー１０２（図１参照）の負極に電気的に接続される。第２電極パネル３Ｂは、第２方向において、第１電極パネル３Ａと間隔を隔てて向かい合う。詳しくは、第２電極パネル３Ｂは、第２方向において、２つの第１電極パネル３Ａの間に配置される。第２電極パネル３Ｂの表面Ｓ１は、第２方向において、一方側の第１電極パネル３Ａの表面Ｓ２と、間隔を隔てて向かい合う。第２電極パネル３Ｂの表面Ｓ２は、第２方向において、他方側の第１電極パネル３Ａの表面Ｓ１と、間隔を隔てて向かい合う。複数の第２電極パネル３Ｂのそれぞれは、第２誘電体層３１Ｂと、２つの表面電極３２Ｂ，３３Ｂとを有する。
（２－２－１）第２誘電体層
第２誘電体層３１Ｂは、第１電極パネル３Ａの第１誘電体層３１Ａと同様に説明される。そのため、第２誘電体層３１Ｂについての説明は、省略される。
第２誘電体層３１Ｂは、第１電極パネル３Ａの第１誘電体層３１Ａと同様に説明される。そのため、第２誘電体層３１Ｂについての説明は、省略される。
（２－２－２）表面電極
表面電極３２Ｂは、第２方向における第２誘電体層３１Ｂの表面Ｓ１上に配置される。表面電極３２Ｂは、第２方向において、第１誘電体層３１Ａと第２誘電体層３１Ｂとの間に配置される。表面電極３２Ｂは、第２方向における一方側の第１電極パネル３Ａの内蔵電極３３Ａとの間で、放電（誘電体バリア放電）を発生可能である。表面電極３２Ｂは、第１方向に延びる。表面電極３２Ｂは、シート形状を有する。表面電極３２Ｂは、塗膜の焼成体である。表面電極３２Ｂは、炭化水素を分解するための触媒としても機能する。詳しくは、表面電極３２Ｂは、金属触媒を含有する。金属触媒として、例えば、貴金属触媒が挙げられる。貴金属触媒として、例えば、白金、パラジウム、ロジウムが挙げられる。金属触媒として、好ましくは、白金が挙げられる。
表面電極３２Ｂは、第２方向における第２誘電体層３１Ｂの表面Ｓ１上に配置される。表面電極３２Ｂは、第２方向において、第１誘電体層３１Ａと第２誘電体層３１Ｂとの間に配置される。表面電極３２Ｂは、第２方向における一方側の第１電極パネル３Ａの内蔵電極３３Ａとの間で、放電（誘電体バリア放電）を発生可能である。表面電極３２Ｂは、第１方向に延びる。表面電極３２Ｂは、シート形状を有する。表面電極３２Ｂは、塗膜の焼成体である。表面電極３２Ｂは、炭化水素を分解するための触媒としても機能する。詳しくは、表面電極３２Ｂは、金属触媒を含有する。金属触媒として、例えば、貴金属触媒が挙げられる。貴金属触媒として、例えば、白金、パラジウム、ロジウムが挙げられる。金属触媒として、好ましくは、白金が挙げられる。
好ましくは、表面電極３２Ｂは、金属触媒からなる触媒部分３２１と、接合材部分３２２とを有する。
触媒部分３２１は、図２Ａの拡大図に示すように、誘電体層３１Ｂと接合した網目状の担持体となっている接合材部分３２２中に、金属触媒の粒子同士が連続した状態で形成される。「連続した状態」とは、金属触媒の粒子同士が接触していることをいう。金属触媒の粒子同士は、融着していてもよい。触媒部分３２１は、表面電極３２Ｂにおける導電パスとして機能する。
さらに、図２Ａの拡大図、および、図２Ｂに示すように、触媒部分３２１の一部（露出部分）は、接合材部分３２２から露出している。触媒部分３２１の露出部分により、表面電極３２Ｂに触媒活性を付与することができる。
表面電極３２Ｂ中の触媒部分３２１の割合は、例えば、８０質量％以上、好ましくは、９０質量％以上である。表面電極３２Ｂ中の触媒部分３２１の割合が上記下限値以上であると、触媒部分３２１の導電性を確保でき、触媒部分３２１を使って放電（誘電体バリア放電）を発生させることができる。
表面電極３２Ｂ中の触媒部分３２１の割合は、例えば、９８質量％以下、好ましくは、９５質量％以下である。表面電極３２Ｂ中の触媒部分３２１の割合が上記上限値以下であると、表面電極３２Ｂ中の接合材部分３２２の割合を確保でき、触媒部分３２１と第２誘電体層３１Ｂとを確実に接合できる。
接合材部分３２２は、触媒部分３２１を内包し、第２誘電体層３１Ｂに接合される。接合材部分３２２は、接合材からなる。接合材として、例えば、酸化アルミニウムが挙げられる。
表面電極３２Ｂ中の接合材部分３２２の割合は、例えば、２質量％以上、好ましくは、５質量％以上である。表面電極３２Ｂ中の接合材部分３２２の割合が上記下限値以上であると、均一な接合材部分３２２を形成でき、触媒部分３２１と第２誘電体層３１Ｂとを確実に接合できる。
表面電極３２Ｂ中の接合材部分３２２の割合は、例えば、２０質量％以下、好ましくは、１５質量％以下である。表面電極３２Ｂ中の接合材部分３２２の割合が上記上限値以下であると、表面電極３２Ｂ中の触媒部分３２１の割合を確保でき、触媒部分３２１の導電性を確保できる。
表面電極３３Ｂは、第２方向における第２誘電体層３１Ｂの表面Ｓ２上に配置される。表面電極３３Ｂは、第２方向における他方側の第１電極パネル３Ａの内蔵電極３２Ａとの間で、放電（誘電体バリア放電）を発生可能である。表面電極３３Ｂは、表面電極３２Ｂと同様に説明される。そのため、表面電極３３Ｂについての説明は、省略される。
（３）プラズマリアクターの動作
図１に示すように、バッテリー１０２から電源配線１０５を介してプラズマリアクター１に電力が供給されると、第１電極パネル３Ａと第２電極パネル３Ｂとの間で放電（誘電体バリア放電）が生じる。これにより、第１電極パネル３Ａと第２電極パネル３Ｂとの間の気体が、プラズマ状態となる。すなわち、プラズマリアクター１内にプラズマが発生する。
図１に示すように、バッテリー１０２から電源配線１０５を介してプラズマリアクター１に電力が供給されると、第１電極パネル３Ａと第２電極パネル３Ｂとの間で放電（誘電体バリア放電）が生じる。これにより、第１電極パネル３Ａと第２電極パネル３Ｂとの間の気体が、プラズマ状態となる。すなわち、プラズマリアクター１内にプラズマが発生する。
すると、プラズマリアクター１に流入した排ガスに含まれる有害成分（例えば、炭化水素（ＨＣ）、窒素酸化物（ＮＯｘ）、粒子状物質（ＰＭ）など）は、プラズマリアクター１内のプラズマにより、分解される。
２．電極パネルの製造方法
次に、図３Ａから図３Ｄを参照して、プラズマリアクター１の第２電極パネル３Ｂとして使用される電極パネル３の製造方法について説明する。
次に、図３Ａから図３Ｄを参照して、プラズマリアクター１の第２電極パネル３Ｂとして使用される電極パネル３の製造方法について説明する。
電極パネル３の製造方法は、準備工程（図３Ａ参照）と、印刷工程（図３Ｂ参照）と、焼成工程（図３Ｃ、図３Ｄ参照）とを含む。
（１）準備工程
図３Ａに示すように、準備工程では、第２誘電体層３１Ｂ（図２Ａ参照）の前駆体である複数のセラミックグリーンシート４１Ａ，４１Ｂを準備する。セラミックグリーンシート４１Ａ，４１Ｂのそれぞれは、上記したセラミックスの粉末を含有する。
図３Ａに示すように、準備工程では、第２誘電体層３１Ｂ（図２Ａ参照）の前駆体である複数のセラミックグリーンシート４１Ａ，４１Ｂを準備する。セラミックグリーンシート４１Ａ，４１Ｂのそれぞれは、上記したセラミックスの粉末を含有する。
（２）印刷工程
次に、図３Ｂに示すように、印刷工程では、一方のセラミックグリーンシート４１Ａの表面に、表面電極３２Ｂ（図２Ａ参照）の前駆体である塗膜４２Ａを印刷し、他方のセラミックグリーンシート４１Ｂの表面に、表面電極３３Ｂ（図２Ａ参照）の前駆体である塗膜４２Ｂを印刷する。
次に、図３Ｂに示すように、印刷工程では、一方のセラミックグリーンシート４１Ａの表面に、表面電極３２Ｂ（図２Ａ参照）の前駆体である塗膜４２Ａを印刷し、他方のセラミックグリーンシート４１Ｂの表面に、表面電極３３Ｂ（図２Ａ参照）の前駆体である塗膜４２Ｂを印刷する。
塗膜４２Ａ，４２Ｂを印刷するには、例えば、触媒ペーストを、セラミックグリーンシート４１Ａまたはセラミックグリーンシート４１Ｂの表面に、スクリーン印刷する。触媒ペーストは、金属触媒の粒子と、接合材の粒子とを含有する。
金属触媒の粒子は、焼成工程において互いに融着し、触媒部分３２１（図２Ａ参照）を形成する。
触媒ペーストの固形分中の金属触媒の割合は、例えば、８０質量％以上、好ましくは、９０質量％以上である。触媒ペーストの固形分中の金属触媒の割合が上記下限値以上であると、触媒部分３２１の導電性を確保できる。
触媒ペーストの固形分中の金属触媒の割合は、例えば、９８質量％以下、好ましくは、９５質量％以下である。触媒ペーストの固形分中の金属触媒の割合が上記上限値以下であると、触媒ペーストの固形分中の接合材の割合を確保でき、均一な接合材部分３２２を形成できる。
接合材の粒子は、焼成工程において互いに融着し、接合材部分３２２（図２Ａ参照）を形成する。
触媒ペーストの固形分中の接合材の割合は、例えば、２質量％以上、好ましくは、５質量％以上である。触媒ペーストの固形分中の接合材の割合が上記下限値以上であると、均一な接合材部分３２２を形成できる。
触媒ペーストの固形分中の接合材の割合は、例えば、２０質量％以下、好ましくは、１５質量％以下である。触媒ペーストの固形分中の接合材の割合が上記上限値以下であると、触媒ペーストの固形分中の金属触媒の割合を確保でき、触媒部分３２１の導電性を確保できる。
（３）焼成工程
次に、図３Ｃおよび図３Ｄに示すように、焼成工程では、セラミックグリーンシート４１Ａ，４１Ｂおよび塗膜４２Ａ，４２Ｂを焼成して電極パネル３を得る。
次に、図３Ｃおよび図３Ｄに示すように、焼成工程では、セラミックグリーンシート４１Ａ，４１Ｂおよび塗膜４２Ａ，４２Ｂを焼成して電極パネル３を得る。
詳しくは、図３Ｃに示すように、複数のセラミックグリーンシート４１Ａ，４１Ｂを、所望の電極パネル３が得られるように積層し、プレスして、セラミックグリーンシートの積層体を得る。
本実施形態では、塗膜４２Ａ、セラミックグリーンシート４１Ａ、セラミックグリーンシート４１Ｂ、塗膜４２Ｂの順に並ぶように、塗膜４２Ａが印刷されたセラミックグリーンシート４１Ａと、塗膜４２Ｂが印刷されたセラミックグリーンシート４１Ｂとを積層する。言い換えると、塗膜４２Ａと塗膜４２Ｂとの間に複数のセラミックグリーンシート４１Ａ，４１Ｂが配置されるように、塗膜４２Ａが印刷されたセラミックグリーンシート４１Ａと、塗膜４２Ｂが印刷されたセラミックグリーンシート４１Ｂとを積層する。
そして、例えば、８０℃以上、好ましくは、８５℃以上、例えば、１００℃以下、好ましくは、９５℃以下の温度において、例えば、１５ＭＰａ以上、好ましくは、２０ＭＰａ以上、例えば、３０ＭＰａ以下、好ましくは、２５ＭＰａ以下の圧力で、１０分以上、好ましくは、１５分以上、例えば、３０分以下、好ましくは、２５分以下、プレスする。
次に、得られた積層体を、例えば、１０００℃以上、好ましくは、１５００℃以上、例えば、２０００℃以下、好ましくは、１７００℃以下で、例えば、１時間以上、好ましくは、１．５時間以上、例えば、３時間以下、好ましくは、２．５時間以下、焼成する。
これにより、セラミックグリーンシート４１Ａおよびセラミックグリーンシート４１Ｂが第２誘電体層３１Ｂになり、塗膜４２Ａが表面電極３２Ｂになり、塗膜４２Ｂが表面電極３３Ｂになる。
このとき、上記したプレス条件および焼成条件であれば、塗膜４２Ａ中の接合材が、網目状の担持体としての接合材部分３２２（表面電極３３Ａの接合材部分３２２）を形成し、塗膜４２Ａ中の金属触媒が、その接合材部分３２２中で互いに連続した触媒部分３２１（表面電極３３Ａの触媒部分３２１）を形成する。同様に、塗膜４２Ｂ中の接合材が、表面電極３３Ｂの接合材部分３２２を形成し、塗膜４２Ａ中の金属触媒が、表面電極３３Ｂの触媒部分３２１を形成する。
これにより、図３Ｄに示すように、電極パネル３が得られる。
３．作用効果
（１）プラズマリアクター１によれば、図２Ａに示すように、第２電極パネル３Ｂは、その表面（表面Ｓ１および表面Ｓ２）に、表面電極３２Ｂ，３３Ｂを有する。表面電極３２Ｂ，３３Ｂは、塗膜４２Ａ，４２Ｂ（図３Ｃ参照）の焼成体である。
（１）プラズマリアクター１によれば、図２Ａに示すように、第２電極パネル３Ｂは、その表面（表面Ｓ１および表面Ｓ２）に、表面電極３２Ｂ，３３Ｂを有する。表面電極３２Ｂ，３３Ｂは、塗膜４２Ａ，４２Ｂ（図３Ｃ参照）の焼成体である。
そのため、第２電極パネル３Ｂの表面に表面電極３２Ｂ，３３Ｂを印刷することができ、第２電極パネル３Ｂの製造工程の簡略化を図ることができる。
（２）プラズマリアクター１によれば、図２Ａおよび図２Ｂに示すように、表面電極３２Ｂが、金属触媒からなる触媒部分３２１を有する。
そのため、表面電極３２Ｂに触媒活性を付与することができる。
そのため、排ガスに含まれる有害成分（例えば、炭化水素など）を、プラズマリアクター１内で生じるプラズマで分解するとともに、表面電極３２Ｂの触媒部分３２１によっても分解することができる。
その結果、有害成分の除去効率の向上を図ることができる。
（３）電極パネル３の製造方法によれば、図３Ｂから図３Ｃに示すように、スクリーン印刷により、電極パネル３の表面Ｓ１，Ｓ２に表面電極３２Ｂ，３３Ｂを形成することができ、電極パネル３の製造工程の簡略化を図ることができる。
４．変形例
図４を参照して、変形例について説明する。変形例において、上記した実施形態と同様の部材には同じ符号を付し、説明を省略する。
図４を参照して、変形例について説明する。変形例において、上記した実施形態と同様の部材には同じ符号を付し、説明を省略する。
第１電極パネル５０Ａと第２電極パネル５０Ｂとは、同じ構造を有してもよい。
詳しくは、第１電極パネル５０Ａは、第１誘電体層３１Ａと、表面電極５１Ａと、内蔵電極３３Ａとを有してもよい。表面電極５１Ａは、表面電極３２Ｂと同様に説明される。そのため、表面電極５１Ａについての説明は、省略される。
また、第２電極パネル５０Ｂは、第２誘電体層３１Ｂと、表面電極３２Ｂと、内蔵電極５１Ｂとを有してもよい。内蔵電極５１Ｂは、内蔵電極３３Ａと同様に説明される。そのため、表面電極５１Ａについての説明は、省略される。
変形例でも、上記した実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
１ プラズマリアクター
２ ケーシング
２Ａ 入口
２Ｂ 出口
３ 電極パネル
３Ａ 第１電極パネル
３Ｂ 第２電極パネル
３１Ａ 第１誘電体層
３３Ａ 内蔵電極
３１Ｂ 第２誘電体層
３２Ｂ 表面電極
４１Ａ セラミックグリーンシート
４１Ｂ セラミックグリーンシート
４２Ａ 塗膜
４２Ｂ 塗膜
５０Ａ 第１電極パネル
５０Ｂ 第２電極パネル
２ ケーシング
２Ａ 入口
２Ｂ 出口
３ 電極パネル
３Ａ 第１電極パネル
３Ｂ 第２電極パネル
３１Ａ 第１誘電体層
３３Ａ 内蔵電極
３１Ｂ 第２誘電体層
３２Ｂ 表面電極
４１Ａ セラミックグリーンシート
４１Ｂ セラミックグリーンシート
４２Ａ 塗膜
４２Ｂ 塗膜
５０Ａ 第１電極パネル
５０Ｂ 第２電極パネル
Claims (3)
- 排ガスが流入する入口と排ガスが流出する出口とを有するケーシングと、
前記ケーシング内に配置され、前記入口から前記出口に向かう第１方向に延びる第１電極パネルと、
前記ケーシング内に配置され、前記第１方向に延び、前記第１方向と直交する第２方向において前記第１電極パネルと間隔を隔てて向かい合う第２電極パネルと、を備え、
前記第１電極パネルは、
第１誘電体層と、
前記第１誘電体層内に配置される内蔵電極と、を有し、
前記第２電極パネルは、
第２誘電体層と、
前記第２方向において前記第１誘電体層と前記第２誘電体層との間に配置される表面電極であって、前記第２方向における前記第２誘電体層の表面上に配置された塗膜の焼成体である表面電極と、を有する、プラズマリアクター。 - 前記表面電極は、金属触媒を含有する、請求項１に記載のプラズマリアクター。
- 請求項１または請求項２に記載のプラズマリアクターの前記第２電極パネルとして使用される電極パネルの製造方法であって、
前記第２誘電体層の前駆体であるセラミックグリーンシートを準備する準備工程と、
前記セラミックグリーンシートの表面に前記表面電極の前駆体である塗膜を印刷する印刷工程と、
前記セラミックグリーンシートおよび前記塗膜を焼成して前記電極パネルを得る焼成工程と
を含む、電極パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022049176A JP2023142323A (ja) | 2022-03-24 | 2022-03-24 | プラズマリアクター、および、電極パネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2022049176A JP2023142323A (ja) | 2022-03-24 | 2022-03-24 | プラズマリアクター、および、電極パネルの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2023142323A true JP2023142323A (ja) | 2023-10-05 |
Family
ID=88205816
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022049176A Pending JP2023142323A (ja) | 2022-03-24 | 2022-03-24 | プラズマリアクター、および、電極パネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2023142323A (ja) |
-
2022
- 2022-03-24 JP JP2022049176A patent/JP2023142323A/ja active Pending
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