JP2023137624A - Dust core powder, method for manufacturing dust core powder, dust core, and method for manufacturing dust core - Google Patents

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Yasuo Oshima
真之 深澤
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Abstract

To provide dust core powder to which further high heat treatment can be subjected and a method for manufacturing the same, and a dust core using the dust core powder and a method for manufacturing the same.SOLUTION: Dust core powder includes soft magnetic powder and tantalum alkoxide adhering to the surface of the soft magnetic powder. Such dust core powder can be manufactured using a manufacturing method including, after a tantalum adhesion step in which tantalum alkoxide is added to and mixed with soft magnetic powder, a heating step of heating the soft magnetic powder under an atmosphere at temperatures of 1,000°C or above.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、圧粉磁心用粉末及びこの圧粉磁心用粉末を含む圧粉磁心に関する。 The present invention relates to a powder for a powder magnetic core and a powder magnetic core containing the powder for a powder magnetic core.

インダクタ又はリアクトルとも呼ばれるコイルは、電気エネルギーを磁気エネルギーに変換して蓄積及び放出する電磁気部品である。コイルは、電力用途では特にリアクトルとも呼ばれ、ハイブリッド自動車や電気自動車、燃料電池車の駆動システム等をはじめ、OA機器、太陽光発電システム、自動車、無停電電源といった各種の分野で使用されている。 A coil, also called an inductor or reactor, is an electromagnetic component that converts electrical energy into magnetic energy for storage and release. Coils are also called reactors especially in power applications, and are used in various fields such as drive systems for hybrid vehicles, electric vehicles, and fuel cell vehicles, as well as office automation equipment, solar power generation systems, automobiles, and uninterruptible power supplies. .

コイルには圧粉磁心のコアが多用されている。圧粉磁心は、圧粉磁心用粉末を押し固めた成型体を焼鈍したものである。圧粉磁心用粉末は、軟磁性金属の粉末である。軟磁性粉末としては、鉄を主成分とするパーマロイ(Fe-Ni合金)、Si含有鉄合金(Fe-Si合金)、センダスト合金(Fe-Si-Al合金)、アモルファス合金、純鉄粉等が挙げられる。 A powder magnetic core is often used for the coil. A powder magnetic core is obtained by annealing a molded body obtained by compacting powder for a powder magnetic core. The dust core powder is a soft magnetic metal powder. Examples of soft magnetic powders include permalloy whose main component is iron (Fe-Ni alloy), Si-containing iron alloy (Fe-Si alloy), sendust alloy (Fe-Si-Al alloy), amorphous alloy, pure iron powder, etc. Can be mentioned.

圧粉磁心は、エネルギー交換効率の向上や低発熱などの要求から、小さな印加磁界で大きな磁束密度を得ることが出来る磁気特性と、磁束密度変化におけるエネルギー損失が小さいという磁気特性が求められる。磁束密度に関する磁気特性とは、具体的には透磁率(μ)である。エネルギー損失に関する磁気特性とは、具体的には鉄損(Pcv)である。鉄損(Pcv)は、ヒステリシス損失(Ph)と、渦電流損失(Pe)の和で表される。 Due to demands for improved energy exchange efficiency and low heat generation, powder magnetic cores are required to have magnetic properties that allow a large magnetic flux density to be obtained with a small applied magnetic field, and magnetic properties that minimize energy loss due to changes in magnetic flux density. Specifically, the magnetic property related to magnetic flux density is magnetic permeability (μ). Specifically, the magnetic property related to energy loss is iron loss (Pcv). Iron loss (Pcv) is expressed as the sum of hysteresis loss (Ph) and eddy current loss (Pe).

軟磁性粉末の結晶内に歪みが生じると、歪みに伴う保磁力の高まりにより、ヒステリシス損失が増加してしまう。そこで、ヒステリシス損失低減方法の一つとして、高温による軟磁性粉末の熱処理が挙げられる。高温による熱処理により軟磁性粉末の結晶内の歪みが開放され、保持力が下がり、ヒステリシス損失が低減する。 When distortion occurs in the crystals of soft magnetic powder, the coercive force increases due to the distortion, resulting in an increase in hysteresis loss. Therefore, one method for reducing hysteresis loss is heat treatment of soft magnetic powder at high temperatures. Heat treatment at high temperatures releases strain within the crystals of the soft magnetic powder, lowering the coercive force and reducing hysteresis loss.

また、磁区幅が大きくなると、渦電流損失が大きくなる。そこで、渦電流損失の低減方法の一つとして、軟磁性粉末を絶縁する方法が挙げられる。軟磁性粉末を絶縁層で覆うことにより軟磁性粉末間が拡がり、磁区が細分化されて渦電流損失が低減する。絶縁層に含まれる絶縁材料としては、アルミニウム、チタン、ジルコニウム又はシリコーンのアルコキシドが提案されている。また、絶縁材料として、Fe、Ni、Mn、Mg、Li、Mo、Nb、Hf、Sc又はZnのアルコキシドも提案されている。 Furthermore, as the magnetic domain width increases, eddy current loss increases. Therefore, one method for reducing eddy current loss is to insulate soft magnetic powder. By covering the soft magnetic powder with an insulating layer, the spaces between the soft magnetic powders are expanded, the magnetic domains are subdivided, and eddy current loss is reduced. Aluminum, titanium, zirconium, or silicone alkoxides have been proposed as the insulating material included in the insulating layer. Also, alkoxides of Fe, Ni, Mn, Mg, Li, Mo, Nb, Hf, Sc, or Zn have been proposed as insulating materials.

特開昭62-14601号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 14601/1983 特開2007-194273号公報Japanese Patent Application Publication No. 2007-194273

絶縁層は、ヒステリシス損失低減のための高温による軟磁性粉末の熱処理において、軟磁性粉末同士が焼結することを阻止する役割も果たす。しかしながら、これまで提案されてきた多くの絶縁材料では、ヒステリシス損失低減効果の向上を図るための更なる高熱処理に対応することができなかった。即ち、これまで提案されてきた多くの絶縁材料では、更に熱処理温度を上げると軟磁性粉末同士が焼結してしまい、圧粉磁心に加工することができなくなっていた。 The insulating layer also plays a role in preventing the soft magnetic powders from sintering together during heat treatment of the soft magnetic powders at high temperatures to reduce hysteresis loss. However, many of the insulating materials that have been proposed so far have not been able to cope with further high heat treatment in order to improve the hysteresis loss reduction effect. That is, in many insulating materials that have been proposed so far, if the heat treatment temperature is further increased, the soft magnetic powders sinter together, making it impossible to process them into powder magnetic cores.

本発明は、上記のような課題を解決するために提案されたものであり、本発明の目的は、更なる高温による軟磁性粉末の熱処理が可能となる圧粉磁心用粉末、その製造方法、この圧粉磁心用粉末を用いた圧粉磁心、及びその製造方法を提供することにある。 The present invention has been proposed in order to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a powder for powder magnetic core that enables heat treatment of soft magnetic powder at an even higher temperature, a method for producing the same, It is an object of the present invention to provide a powder magnetic core using this powder for powder magnetic core, and a method for manufacturing the same.

上記の目的を達成するため、本発明の実施形態に係る圧粉磁心用粉末は、軟磁性粉末と、前記軟磁性粉末の表面に付着するタンタルアルコキシドと、を備える。タンタルアルコキシドが表面に付着した軟磁性粉末は、1000℃以上の高温に晒されても焼結し難く、圧粉磁心として加工可能であり、且つ1000℃以上の高熱処理による結晶内歪みを良好に解消してヒステリシス損失が低減するとともに、磁区も細分化して渦電流損失も下がる。 In order to achieve the above object, a powder for powder magnetic core according to an embodiment of the present invention includes soft magnetic powder and tantalum alkoxide that adheres to the surface of the soft magnetic powder. Soft magnetic powder with tantalum alkoxide attached to its surface is difficult to sinter even when exposed to high temperatures of 1000°C or higher, can be processed into powder magnetic cores, and has good resistance to intracrystalline distortion when subjected to high heat treatment at 1000°C or higher. This eliminates the hysteresis loss, reduces the hysteresis loss, and also subdivides the magnetic domain, reducing eddy current loss.

前記タンタルアルコキシドは、前記軟磁性粉末に対して0.25wt%以上2.0wt%の割合で付着しているようにしてもよい。軟磁性粉末がこの範囲にあると、ヒステリシス損失の低減効果が高い。 The tantalum alkoxide may be attached to the soft magnetic powder at a ratio of 0.25 wt% or more to 2.0 wt%. When the soft magnetic powder is within this range, the effect of reducing hysteresis loss is high.

前記タンタルアルコキシドは、前記軟磁性粉末に対して0.5wt%以上1.5wt%の割合で付着しているようにしてもよい。磁性粉末がこの範囲にあると、ヒステリシス損失の低減効果が特に高い。 The tantalum alkoxide may be attached to the soft magnetic powder at a ratio of 0.5 wt% or more to 1.5 wt%. When the magnetic powder is within this range, the effect of reducing hysteresis loss is particularly high.

前記軟磁性粉末は、粉末粒径が粒度分布におけるD50で20μm以下であるようにしてもよい。このように小径化された軟磁性粉末は、絶縁材料と均一に分散させ難く、焼結し易い。また、小径化された軟磁性粉末は、表面積増大による酸化が顕著になり、益々焼結し易くなる。そのため、このように小径化された軟磁性粉末に対して、これまで提案されてきた絶縁材料では、1000℃以上の高熱処理は難しかった。しかし、このように小径化された軟磁性粉末に対しても、焼結を抑制させ、圧粉磁心として加工可能となる。 The soft magnetic powder may have a powder particle size of 20 μm or less in terms of D50 in the particle size distribution. The soft magnetic powder whose diameter has been reduced in this way is difficult to uniformly disperse with the insulating material and is easily sintered. In addition, the soft magnetic powder whose diameter is reduced becomes more susceptible to oxidation due to the increased surface area, making it easier to sinter. Therefore, with the insulating materials that have been proposed so far, it has been difficult to perform high heat treatment at temperatures of 1000° C. or higher on soft magnetic powders whose diameters have been reduced in this way. However, even soft magnetic powder whose diameter is reduced in this way can be processed into a powder magnetic core by suppressing sintering.

前記軟磁性粉末はFeSi合金粉末であるようにしてもよい。 The soft magnetic powder may be FeSi alloy powder.

これらの圧粉磁心用粉末を含む圧粉磁心も本発明の一態様である。この圧粉磁心においては、加熱による反応によりタンタルアルコキシドがタンタル酸化物に変質して付着していてもよい。 A powder magnetic core containing these powders for powder magnetic cores is also one embodiment of the present invention. In this powder magnetic core, tantalum alkoxide may be modified into tantalum oxide and adhered thereto due to a reaction caused by heating.

また、上記の目的を達成するため、本発明の実施形態に係る圧粉磁心用粉末の製造方法は、軟磁性粉末にタンタルアルコキシドを添加及び混合するタンタル付着工程の後、1000℃以上の温度雰囲気下で前記軟磁性粉末を加熱する加熱工程を含む。この製造方法により、1000℃以上の高温に晒されても焼結し難く、圧粉磁心として加工可能であり、且つ1000℃以上の高熱処理による結晶内歪みを良好に解消してヒステリシス損失が低減するとともに、磁区も細分化して渦電流損失も下がる軟磁性粉末が製造可能となる。 In addition, in order to achieve the above object, the method for producing powder for powder magnetic core according to the embodiment of the present invention includes a tantalum adhesion step of adding and mixing tantalum alkoxide to soft magnetic powder, followed by an atmosphere at a temperature of 1000° C. or higher. The method further includes a heating step of heating the soft magnetic powder. With this manufacturing method, it is difficult to sinter even when exposed to high temperatures of 1000°C or higher, and can be processed as a powder magnetic core.In addition, it successfully eliminates intracrystalline distortion caused by high heat treatment of 1000°C or higher, reducing hysteresis loss. At the same time, it becomes possible to produce soft magnetic powder with finely divided magnetic domains and reduced eddy current loss.

粒度分布におけるD50が20μm以下になるように、軟磁性粉末を分級する分級工程を更に含み、前記分級工程を経た前記軟磁性粉末を前記タンタル付着工程に移すことも可能となり、圧粉磁心用粉末の小径化の恩恵も得られ、更に渦電流損失も低減する。 It is also possible to further include a classification step of classifying the soft magnetic powder so that D50 in the particle size distribution is 20 μm or less, and to transfer the soft magnetic powder that has passed through the classification step to the tantalum adhesion step. This also benefits from a smaller diameter, and further reduces eddy current loss.

この製造方法による前記タンタル付着工程以降、前記軟磁性粉末を所定形状の成型体に加圧成型する成型工程と、前記成型体を焼鈍する熱処理工程と、を含む圧粉磁心の製造方法も本発明の一態様である。 The present invention also includes a method for manufacturing a powder magnetic core, which includes, after the tantalum adhesion step in this manufacturing method, a molding step of press-molding the soft magnetic powder into a molded body of a predetermined shape, and a heat treatment step of annealing the molded body. This is one aspect.

本発明によれば、更なる高熱処理によっても圧粉磁心として加工可能となり、且つヒステリシス損失と渦電流損失を下げることもできる。 According to the present invention, it is possible to process it as a powder magnetic core even by further high heat treatment, and it is also possible to reduce hysteresis loss and eddy current loss.

添加量を横軸とし、鉄損Pcv(kw/m)、ヒステリシス損失Ph(kw/m)及び渦電流損失Pe(kw/m)を縦軸とするグラフである。It is a graph in which the horizontal axis represents the amount of addition, and the vertical axis represents iron loss Pcv (kw/m 3 ), hysteresis loss Ph (kw/m 3 ), and eddy current loss Pe (kw/m 3 ).

以下、本実施形態に係る圧粉磁心用粉末及び圧粉磁心について詳細に説明する。なお、本発明は、以下に説明する実施形態に限定されるものでない。 Hereinafter, the powder for powder magnetic core and the powder magnetic core according to this embodiment will be explained in detail. Note that the present invention is not limited to the embodiments described below.

(概略構成)
圧粉磁心は、インダクタ及びリアクトルとも呼ばれるコイルのコアに用いられる磁性体である。圧粉磁心は、圧粉磁心用粉末を押し固めて構成される。この圧粉磁心用粉末は、軟磁性粉末を核とする。軟磁性粉末に対して、タンタルアルコキシドを付着させるタンタル付着工程、及びタンタル付着工程後に高熱処理するタンタル付着後加熱工程を経て、圧粉磁心用粉末は作製される。圧粉磁心用粉末の製造工程には、必要に応じてシラン化合物、シリコーンレジン又はこれらの両方の層を形成する絶縁処理工程を含めてもよい。圧粉磁心は、この圧粉磁心用粉末を所望の形状に加圧成型して成型体を形成する成型工程と、成型体を焼鈍する焼鈍工程とを経て作製される。
(Schematic configuration)
A powder magnetic core is a magnetic material used in the core of a coil, also called an inductor or reactor. A powder magnetic core is constructed by compacting powder for a powder magnetic core. This dust core powder has soft magnetic powder as its core. Powder for powder magnetic cores is produced through a tantalum adhesion step in which tantalum alkoxide is attached to the soft magnetic powder, and a post-tantalum adhesion heating step in which high heat treatment is performed after the tantalum adhesion step. The manufacturing process of the powder for powder magnetic core may include an insulation treatment process of forming a layer of a silane compound, a silicone resin, or both of these, as necessary. A powder magnetic core is produced through a molding process in which the powder for powder magnetic core is pressure-molded into a desired shape to form a molded body, and an annealing process in which the molded body is annealed.

(軟磁性粉末)
軟磁性粉末は鉄を主成分とする。軟磁性粉末としては、純鉄粉、鉄を主成分とするパーマロイ(Fe-Ni合金)、Si含有鉄合金(Fe-Si合金)、センダスト合金(Fe-Si-Al合金)、又はこれら2種以上の粉末の混合粉等が挙げられる。
(Soft magnetic powder)
Soft magnetic powder has iron as its main component. As the soft magnetic powder, pure iron powder, permalloy whose main component is iron (Fe-Ni alloy), Si-containing iron alloy (Fe-Si alloy), sendust alloy (Fe-Si-Al alloy), or two of these are used. A mixed powder of the above powders and the like can be mentioned.

純鉄粉は、Feを99%以上含むものである。Si含有鉄合金には、Co、Al、Cr又はMnが含まれていてもよい。パーマロイ(Fe-Ni合金)を用いる場合、Feに対するNiの比率は50:50や25:75が好ましいが、他の比率であってもよい。例えば、Fe-80Ni、Fe-36Niでもよい。FeとNiの他にSi、Cr、Mo、Cu、Nb、Ta等を含んでいても良い。 Pure iron powder contains 99% or more of Fe. The Si-containing iron alloy may contain Co, Al, Cr, or Mn. When permalloy (Fe--Ni alloy) is used, the ratio of Ni to Fe is preferably 50:50 or 25:75, but other ratios may be used. For example, Fe-80Ni or Fe-36Ni may be used. In addition to Fe and Ni, Si, Cr, Mo, Cu, Nb, Ta, etc. may be included.

Fe-Si合金粉末は、例えば、Fe-3.5%Si合金粉末、Fe-6.5%Si合金粉末が挙げられるが、Feに対するSiの比率は、3.5%や6.5%以外であっても良い。Fe-Si-Al合金は、鉄と珪素とアルミニウムからなる三元合金であり、例えば、Feに対して、6wt%から10wt%程度のSiと、4wt%から5wt%程度のAlとを含有させているが、Feに対して1wt%から3wt%程度のNiが含まれていてもよく、更にCo、Cr又はMnが含まれていてもよい。 Examples of Fe-Si alloy powder include Fe-3.5%Si alloy powder and Fe-6.5%Si alloy powder, but the ratio of Si to Fe is other than 3.5% or 6.5%. It may be. Fe-Si-Al alloy is a ternary alloy consisting of iron, silicon, and aluminum. For example, Fe-Si-Al alloy contains about 6 wt% to 10 wt% of Si and about 4 wt% to 5 wt% of Al. However, about 1 wt% to 3 wt% of Ni may be included with respect to Fe, and Co, Cr, or Mn may also be included.

この軟磁性粉末は、粉砕法により作製されたものでも、アトマイズ法により作製されたものでも良い。アトマイズ法は、水アトマイズ法、ガスアトマイズ法、水ガスアトマイズ法のいずれでも良い。水アトマイズ法は、現状、もっとも入手性が良く低コストである。水アトマイズ法を使用した場合は、その粒子形状がいびつであるので、それを加圧成型した粉末成型体の機械的強度を向上させやすいため、好ましい。ガスアトマイズ法は、ヒステリシス損失を効果的に低減でき、好ましい。 This soft magnetic powder may be produced by a pulverization method or an atomization method. The atomization method may be a water atomization method, a gas atomization method, or a water gas atomization method. The water atomization method is currently the most readily available and low cost. When the water atomization method is used, since the particle shape is distorted, the mechanical strength of the powder molded product obtained by pressure molding is easily improved, which is preferable. The gas atomization method is preferable because it can effectively reduce hysteresis loss.

この軟磁性粉末は、タンタル付着工程前に熱処理しておくことが好ましい。この熱処理は、分級前熱処理であり、軟磁性粉末を解砕し易くなり、軟磁性粉末を所望粒径に分級し易くなる。分級前熱処理は、非酸化雰囲気が好ましい。非酸化雰囲気としては、雰囲気中の酸素濃度が0.01%等の低酸素雰囲気、不活性ガス雰囲気又は還元ガス雰囲気が望ましい。不活性ガスとしてはArなどの貴ガスやNが挙げられる。また、還元ガスとしてはH等が挙げられる。加熱時間は、例えば1~6時間程度である。この分級前熱処理の工程では、500℃以上700℃以下の温度環境下に軟磁性粉末を晒すことが好ましい。 This soft magnetic powder is preferably heat treated before the tantalum deposition step. This heat treatment is a pre-classification heat treatment, which makes it easier to crush the soft magnetic powder, and makes it easier to classify the soft magnetic powder into a desired particle size. The pre-classification heat treatment is preferably performed in a non-oxidizing atmosphere. As the non-oxidizing atmosphere, a low oxygen atmosphere such as an oxygen concentration of 0.01%, an inert gas atmosphere, or a reducing gas atmosphere is desirable. Examples of the inert gas include noble gases such as Ar and N2 . Moreover, H 2 etc. are mentioned as a reducing gas. The heating time is, for example, about 1 to 6 hours. In this pre-classification heat treatment step, the soft magnetic powder is preferably exposed to a temperature environment of 500°C or more and 700°C or less.

(タンタルアルコキシド)
タンタル付着工程では、軟磁性粉末の表面にタンタルアルコキシドに付着させる。タンタルアルコキシドは一般式Ta(OR)で表され、式中のRは同一又は異なるアルキル基であり、アルキル基の炭素数は1以上である。タンタルアルコキシドとしては、例えば、化学式Ta(OCで表され、全てのアルキル基の炭素数が2であるペンタエトキシタンタルが挙げられる。また、タンタルアルコキシドとしては、例えば、化学式Ta(O-n-Cで表されるペンターンープロポキシタンタルや、化学式Ta(O-n-Cで表されるペンタ-n-ブトキシタンタルが挙げられる。
(tantalum alkoxide)
In the tantalum attachment step, tantalum alkoxide is attached to the surface of the soft magnetic powder. Tantalum alkoxide is represented by the general formula Ta(OR) 5 , in which R is the same or different alkyl group, and the alkyl group has 1 or more carbon atoms. Examples of tantalum alkoxides include pentaethoxy tantalum, which is represented by the chemical formula Ta(OC 2 H 5 ) 5 and has two carbon atoms in all alkyl groups. Examples of tantalum alkoxides include pentan-propoxy tantalum, which is represented by the chemical formula Ta(O-n-C 3 H 7 ) 5 , and tantalum, which is represented by the chemical formula Ta(O-n-C 4 H 9 ) 5 . Pent-n-butoxytantalum is mentioned.

これは推測であり、このメカニズムに限定されるものではないが、タンタルは付着した軟磁性粉末の結晶中の格子欠陥を修復することでヒステリシス損失を低減させる。このタンタルアルコキシドが圧粉磁心への製造過程内の加熱処理によって酸化して絶縁層として作用し、渦電流損失も低減させる。また、タンタルのアルコキシドとして軟磁性粉末に添加することで、微量のタンタルであっても効率的に軟磁性粉末の表面にタンタルを付着させることができ、また高熱環境下でも凝集し難い。 Although this is speculation and is not limited to this mechanism, tantalum reduces hysteresis loss by repairing lattice defects in the crystals of the attached soft magnetic powder. This tantalum alkoxide is oxidized by heat treatment during the manufacturing process of the powder magnetic core, acts as an insulating layer, and also reduces eddy current loss. Furthermore, by adding tantalum as alkoxide to the soft magnetic powder, tantalum can be efficiently attached to the surface of the soft magnetic powder even in a trace amount, and it is difficult to aggregate even in a high temperature environment.

タンタル付着工程におけるタンタルアルコキシドの添加量は、軟磁性粉末に対して0.25wt%以上2.0wt%以下が好ましく、軟磁性粉末に対して0.5wt%以上1.5wt%以下が特に好ましい。0.25wt%以上2.0wt%以下では、ヒステリシス損失及び渦電流損失を低下させる効果が大きく発生する。0.5wt%以上1.5wt%以下では、ヒステリシス損失を低下させる効果が特に大きくなる。混合は、容器内の羽根が回転するプラネタリーミキサーや高速攪拌造粒機等を使用すればよい。タンタルアルコキシドは、例えばアルミナと異なり、常温(25℃)で液状であり、添加量が少量でも、また軟磁性粉末が小径であっても、タンタルアルコキシドと軟磁性粉末を均一に高分散させ易い。 The amount of tantalum alkoxide added in the tantalum adhesion step is preferably 0.25 wt% or more and 2.0 wt% or less based on the soft magnetic powder, and particularly preferably 0.5 wt% or more and 1.5 wt% or less based on the soft magnetic powder. When the content is 0.25 wt% or more and 2.0 wt% or less, the effect of reducing hysteresis loss and eddy current loss is significant. When the content is 0.5 wt% or more and 1.5 wt% or less, the effect of reducing hysteresis loss becomes particularly large. For mixing, a planetary mixer with rotating blades in a container, a high-speed stirring granulator, or the like may be used. Unlike alumina, for example, tantalum alkoxide is liquid at room temperature (25° C.), and even if the amount added is small or the soft magnetic powder is small in diameter, it is easy to uniformly and highly disperse the tantalum alkoxide and the soft magnetic powder.

タンタル付着工程後、タンタル付着後加熱工程に移る。タンタル付着後加熱工程では、タンタルアルコキシドを表面に付着させた軟磁性粉末を高温環境下で熱処理して、軟磁性粉末の結晶内の歪みを開放する。380℃以上の温度環境下に軟磁性粉末を晒す必要があるが、タンタルアルコキシドを添加した場合には1000℃以上の高温環境下に軟磁性粉末を晒すこともできる。この熱処理についても非酸化雰囲気が好ましく、例えば窒素雰囲気下で軟磁性粉末を熱処理する。1000℃以上等のピーク温度に例えば1~6時間程度晒す。 After the tantalum adhesion process, the process moves to a post-tantalum adhesion heating process. In the tantalum post-deposition heating step, the soft magnetic powder with tantalum alkoxide adhered to the surface is heat treated in a high temperature environment to release distortion within the crystals of the soft magnetic powder. It is necessary to expose the soft magnetic powder to a temperature environment of 380° C. or higher, but if tantalum alkoxide is added, the soft magnetic powder can also be exposed to a high temperature environment of 1000° C. or higher. A non-oxidizing atmosphere is also preferable for this heat treatment, for example, the soft magnetic powder is heat treated in a nitrogen atmosphere. It is exposed to a peak temperature of 1000° C. or higher, for example, for about 1 to 6 hours.

1000℃以上の温度環境下に軟磁性粉末を晒しても、タンタルアルコキシドを添加した場合には、軟磁性粉末同士の焼結を抑制できる。そのため、タンタルアルコキシドを添加した場合、軟磁性粉末同士の焼結抑制のための磁区細分化による渦電流損失低下と、高温熱処理下での歪み開放によるヒステリシス損失低下の両方の恩恵を、圧粉磁心への成型可能な状態で達成できる。即ち、軟磁性粉末同士の焼結が抑制されているために、タンタルアルコキシドを付着させた後、必要に応じて絶縁処理工程に移すことができ、圧粉磁心用粉末を所望の形状に加圧成型して成型体を形成できる。 Even if soft magnetic powders are exposed to a temperature environment of 1000° C. or higher, when tantalum alkoxide is added, sintering of the soft magnetic powders can be suppressed. Therefore, when tantalum alkoxide is added, the benefits of reducing eddy current loss due to magnetic domain refinement to suppress sintering between soft magnetic powders and reducing hysteresis loss due to strain relief during high-temperature heat treatment can be achieved in the powder magnetic core. This can be achieved in a moldable state. In other words, since sintering between the soft magnetic powders is suppressed, after the tantalum alkoxide is attached, it can be transferred to an insulation treatment process as needed, and the powder for the dust core can be pressed into the desired shape. Can be molded to form a molded body.

タンタルアルコキシドを用いる場合、軟磁性粉末は、粒度分布におけるメジアン径D50が20μm以下であることが好ましい。軟磁性粉末は、タンタル付着工程前に熱処理して軟磁性粉末を解砕し、分級工程を経て、この分級工程で、振動篩等による篩い分けや、気流中の粒子の粒径により飛行軌跡が異なることを利用した気流で分級することにより、粒度分布におけるD50が20μm以下の粒径を得ることができる。 When tantalum alkoxide is used, the soft magnetic powder preferably has a median diameter D50 of 20 μm or less in the particle size distribution. Before the tantalum adhesion process, the soft magnetic powder is heat-treated to crush the soft magnetic powder, and then goes through a classification process. By classifying with an air flow that takes advantage of different characteristics, it is possible to obtain particle sizes with a D50 of 20 μm or less in the particle size distribution.

この範囲の粒径の軟磁性粉末が用いられると、磁区が細分化され易く、渦電流損失を更に低減させることができる。一方、この範囲の粒径の軟磁性粉末は、表面積が増大しており、酸化し易い。酸化した軟磁性粉末は焼結し易い。しかし、タンタルアルコキシドを用いると、この範囲の粒径の軟磁性粉末を1000℃以上の高温環境下に晒した場合であっても、軟磁性粉末の焼結抑制効果は発揮される。 When soft magnetic powder having a particle size in this range is used, the magnetic domains are easily segmented, and eddy current loss can be further reduced. On the other hand, soft magnetic powder having a particle size in this range has an increased surface area and is easily oxidized. Oxidized soft magnetic powder is easily sintered. However, when tantalum alkoxide is used, even when soft magnetic powder having a particle size in this range is exposed to a high temperature environment of 1000° C. or higher, the effect of suppressing sintering of the soft magnetic powder is exhibited.

(絶縁処理工程)
タンタル付着工程及びタンタル付着後加熱工程を経た後、軟磁性粉末を絶縁層で被覆することで、軟磁性粉末の粒子間の電気的絶縁性を確保し、圧粉磁心の渦電流損失を低下させる。絶縁層は、バインダー作用も兼ね備え、成型時の保形性を高め、更には焼鈍後の成型体の強度をより強固なものとし、また軟磁性粉末の密度を向上させ、圧粉磁心の透磁率を上げる。
(Insulation treatment process)
After going through the tantalum adhesion process and the tantalum post-deposition heating process, the soft magnetic powder is coated with an insulating layer to ensure electrical insulation between the particles of the soft magnetic powder and reduce eddy current loss in the dust core. . The insulating layer also has a binder function, improving shape retention during molding, further increasing the strength of the molded product after annealing, and improving the density of the soft magnetic powder, increasing the magnetic permeability of the powder magnetic core. raise.

絶縁層は、軟磁性粉末の全表面を覆うように付着していてもよく、粉末の一部の表面を覆うように付着していてもよいし、これらの両方の態様が混在していてもよい。また、この絶縁粉末は、軟磁性粉末の各粒子に付着していてもよいし、粒子の凝集体の表面に付着していてもよいし、これらの両方の態様が混在していてもよい。粒子や凝集体の一部表面を覆うとき、絶縁樹脂は、点状に分散して付着していてもよいし、塊状に分散して付着していてもよいし、これらの態様が混在していてもよい。 The insulating layer may be attached so as to cover the entire surface of the soft magnetic powder, it may be attached so as to cover a part of the surface of the powder, or both of these aspects may be mixed. good. Further, the insulating powder may be attached to each particle of the soft magnetic powder, or may be attached to the surface of an aggregate of particles, or both of these modes may be mixed. When covering a part of the surface of particles or aggregates, the insulating resin may be dispersed and attached in dots, dispersed and attached in lumps, or a mixture of these modes. You can.

絶縁層の樹脂としては、シラン化合物、シリコーンオリゴマー、シリコーンレジン又はこれらの複数を使用することができる。絶縁層は、単層であってもよいし、複数層であってもよい。例えば、絶縁層は、種類ごとに各層に分けた複数層で構成してもよいし、1種類又は2種類以上を混合した絶縁材料の単層であってもよい。 As the resin for the insulating layer, a silane compound, a silicone oligomer, a silicone resin, or a plurality of these can be used. The insulating layer may be a single layer or multiple layers. For example, the insulating layer may be composed of multiple layers divided into layers for each type, or may be a single layer of an insulating material of one type or a mixture of two or more types.

シラン化合物には、官能基の無いシラン化合物及びシランカップリング剤が含まれる。官能基の無いシラン化合物としては、例えばエトキシ系及びメトキシ系等のアルコキシシランを使用することができ、更に具体的にはテトラエトキシシランが挙げられる。シランカップリング剤としては、アミノシラン系、エポキシシラン系、イソシアヌレート系等を使用することができ、更に具体的には3-アミノプロピルトリエトキシシラン、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、トリス-(3-トリメトキシシリルプロピル)イソシアヌレートが挙げられる。官能基の無いシラン化合物やシランカップリング剤の添加量としては、軟磁性粉末に対して、0.05wt%以上1.0wt%以下が好ましい。シラン化合物の添加量をこの範囲にすることで、軟磁性粉末の流動性を向上させるとともに、成型された圧粉磁心の密度、磁気特性、強度特性を向上させることができる。 Silane compounds include silane compounds without functional groups and silane coupling agents. As the silane compound without a functional group, for example, alkoxysilanes such as ethoxy-based and methoxy-based alkoxysilanes can be used, and a more specific example is tetraethoxysilane. As the silane coupling agent, aminosilane type, epoxysilane type, isocyanurate type, etc. can be used, and more specifically, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, tris- (3-trimethoxysilylpropyl) isocyanurate is mentioned. The amount of the silane compound or silane coupling agent without a functional group to be added is preferably 0.05 wt% or more and 1.0 wt% or less based on the soft magnetic powder. By adjusting the amount of the silane compound added within this range, it is possible to improve the fluidity of the soft magnetic powder and also to improve the density, magnetic properties, and strength properties of the molded powder magnetic core.

シリコーンレジンは、シロキサン結合(Si-O―Si)を主骨格に持つ樹脂であり、可撓性に優れた絶縁層を形成することができる。シリコーンレジンとしては、典型的には、メチル系、メチルフェニル系、プロピルフェニル系、エポキシ樹脂変性系、アルキッド樹脂変性系、ポリエステル樹脂変性系、ゴム系等を用いることができる。この中でも特に、メチルフェニル系のシリコーンレジンを用いた場合、加熱減量が少なく、耐熱性に優れた絶縁層を形成することができる。シリコーンレジンの添加量は、軟磁性粉末に対して、0.6wt%以上2.5wt%以下であることが好ましく、0.8wt%以上2.0wt%以下が更に好ましい。添加量が0.6wt%より少ないと絶縁層として機能せず、渦電流損失が増加することにより磁気特性が低下し、またシリコーンレジンがバインダーとしての機能が不足し、強度の低下を招く。添加量が2.5wt%より多いと圧粉磁心の密度低下を招く。 Silicone resin is a resin having a siloxane bond (Si--O--Si) as its main skeleton, and can form an insulating layer with excellent flexibility. As the silicone resin, typically, a methyl type, methylphenyl type, propylphenyl type, epoxy resin modified type, alkyd resin modified type, polyester resin modified type, rubber type, etc. can be used. Among these, in particular, when a methylphenyl silicone resin is used, it is possible to form an insulating layer with little heat loss and excellent heat resistance. The amount of silicone resin added is preferably 0.6 wt% or more and 2.5 wt% or less, and more preferably 0.8 wt% or more and 2.0 wt% or less, based on the soft magnetic powder. If the amount added is less than 0.6 wt%, it will not function as an insulating layer, and magnetic properties will deteriorate due to increased eddy current loss, and the silicone resin will not function as a binder, resulting in a decrease in strength. If the amount added is more than 2.5 wt%, the density of the powder magnetic core will decrease.

シリコーンオリゴマーとしては、アルコキシシリル基を有し、反応性官能基を有さないメチル系、メチルフェニル系のものや、アルコキシシリル基及び反応性官能基を有するエポキシ系、エポキシメチル系、メルカプト系、メルカプトメチル系、アクリルメチル系、メタクリルメチル系、ビニルフェニル系のもの、又はアルコキシシリル基ではなく、反応性官能基を有する脂環式エポキシ系のもの等を用いることができる。特に、メチル系またはメチルフェニル系のシリコーンオリゴマーを用いることで厚く硬い絶縁層を形成することができる。また、絶縁層の形成のしやすさを考慮して、粘度の比較的低いメチル系、メチルフェニル系を用いてもよい。シリコーンオリゴマーの添加量は、軟磁性粉末に対して0.1以上2.0wt%以下が好ましい。添加量が0.1wt%より少ないと絶縁層として機能せず、渦電流損失が増加することにより磁気特性が低下する。添加量が2.0wt%より多いと、圧粉磁心の密度低下を招く。 Examples of silicone oligomers include methyl-based and methylphenyl-based ones that have an alkoxysilyl group and no reactive functional group; epoxy-based, epoxymethyl-based, and mercapto-based ones that have an alkoxysilyl group and a reactive functional group; Mercaptomethyl, acrylicmethyl, methacrylmethyl, vinylphenyl, or alicyclic epoxy having a reactive functional group instead of an alkoxysilyl group can be used. In particular, a thick and hard insulating layer can be formed by using a methyl-based or methylphenyl-based silicone oligomer. Furthermore, in consideration of ease of forming an insulating layer, a methyl-based or methylphenyl-based material having a relatively low viscosity may be used. The amount of silicone oligomer added is preferably 0.1 or more and 2.0 wt% or less based on the soft magnetic powder. If the amount added is less than 0.1 wt%, it will not function as an insulating layer, and magnetic properties will deteriorate due to increased eddy current loss. If the amount added is more than 2.0 wt%, the density of the powder magnetic core will decrease.

絶縁処理工程では、まず、絶縁層に含有させる樹脂と軟磁性粉末との混合工程を経る。絶縁処理工程では、混合工程の後、加熱による乾燥工程を有する。乾燥工程では、特に限定はされないが70℃以上300℃以下の温度環境下に2時間程度晒しておくとよい。尚、乾燥温度が70℃未満であると膜の形成が不完全となり、渦電流損失が高くなり、損失が増大する。一方、乾燥温度300℃より大きいと粉末が酸化することによりヒステリシス損失が高くなり、損失が増大する。乾燥時間は、例えば2時間程度である。 In the insulation treatment process, first, a resin to be contained in the insulation layer and a soft magnetic powder are mixed together. The insulation treatment process includes a drying process by heating after the mixing process. In the drying step, although not particularly limited, it is preferable to expose the material to a temperature environment of 70° C. or more and 300° C. or less for about 2 hours. Note that if the drying temperature is less than 70°C, the film formation will be incomplete, resulting in high eddy current loss and increased loss. On the other hand, if the drying temperature is higher than 300° C., hysteresis loss increases due to oxidation of the powder, resulting in increased loss. The drying time is, for example, about 2 hours.

(成型工程)
成型工程では、絶縁処理工程を経て作製された圧粉磁心用粉末を加圧成型することにより、成型体を形成する。成型時の圧力は10~20ton/cmであり、平均で12~15ton/cm程度が好ましい。尚、成型工程に先立って潤滑剤添加工程を経ていると、成型時の上パンチを離型させる際の抜き圧も低減し、圧粉磁心用粉末が金型への焼き付くことも防止され、成型体の品質が向上する。また、成型工程に先立って、軟磁性粉末の凝集を解消する目的で所定の目開きの篩に通しておくとよい。
(molding process)
In the molding step, a molded body is formed by pressure molding the dust core powder produced through the insulation treatment step. The pressure during molding is 10 to 20 ton/cm 2 , preferably about 12 to 15 ton/cm 2 on average. In addition, if the lubricant addition process is performed prior to the molding process, the ejection pressure when releasing the upper punch during molding will be reduced, and the powder for the dust core will be prevented from sticking to the mold, which will improve the molding process. Improves body quality. Further, prior to the molding process, it is preferable to pass the soft magnetic powder through a sieve with a predetermined mesh size in order to eliminate agglomeration of the soft magnetic powder.

潤滑剤は、軟磁性粉末を被覆した絶縁層の表面を被覆する。潤滑剤としては、これに限定されないが、例えば、ステアリン酸及びその金属塩並びにエチレンビスステアルアミド、エチレンビスステアロアマイド、エチレンビスステアレートアミドなどが挙げられる。潤滑剤の添加量は、軟磁性粉末に対して、0.2wt%~0.8wt%程度であることが好ましい。さらに好ましくは、潤滑剤の添加量は、軟磁性粉末に対して、0.3wt%~0.6wt%程度である。この範囲にすることで、軟磁性粉末間の滑りをより向上させることができる。潤滑剤は、絶縁処理工程でシラン化合物、シリコーンオリゴマー、シリコーンレジン又はこれらの複数を添加及び混合する際に用いられてもよい。 The lubricant coats the surface of the insulating layer coated with soft magnetic powder. Examples of the lubricant include, but are not limited to, stearic acid and its metal salts, ethylene bis stearamide, ethylene bis stearamide, ethylene bis stearate amide, and the like. The amount of lubricant added is preferably about 0.2 wt% to 0.8 wt% based on the soft magnetic powder. More preferably, the amount of lubricant added is about 0.3 wt% to 0.6 wt% based on the soft magnetic powder. By setting it within this range, the sliding between the soft magnetic powders can be further improved. The lubricant may be used when adding and mixing a silane compound, a silicone oligomer, a silicone resin, or a plurality of these in the insulation treatment process.

(焼鈍工程)
焼鈍工程では、成型工程を経た成型体を加熱して歪を除去する。加熱環境としては、不活性雰囲気中若しくは還元雰囲気中、酸素濃度が調整された酸化雰囲気中、又は大気中にて、800℃以上が好ましい。不活性雰囲気及び還元雰囲気中は、反応性ガスが低量であり、不活性ガス又は中性ガスで満たされた雰囲気である。反応性ガスは、酸素、水蒸気又は炭酸ガス等である。不活性ガスは、アルゴンやヘリウム等である。中性ガスは、窒素やアンモニア等である。800℃未満であると、歪除去の効果が限定的となる。
(Annealing process)
In the annealing process, the molded body that has undergone the molding process is heated to remove distortion. The heating environment is preferably 800° C. or higher in an inert atmosphere, a reducing atmosphere, an oxidizing atmosphere with adjusted oxygen concentration, or the air. Inert and reducing atmospheres are atmospheres with low amounts of reactive gases and filled with inert or neutral gases. The reactive gas is oxygen, water vapor, carbon dioxide, or the like. The inert gas is argon, helium, or the like. Neutral gases include nitrogen and ammonia. If the temperature is less than 800°C, the effect of strain removal will be limited.

これにより、軟磁性粉末を元に圧粉磁心用粉末が作製され、圧粉磁心用粉末を元に圧粉磁心が作製される。圧粉磁心の作製が完了した時点では、タンタルアルコキシドはタンタル酸化物になって軟磁性粉末に付着していてもよいし、タンタルとして軟磁性粉末にドープされた状態となっていてもよい。 As a result, powder for a powder magnetic core is produced based on the soft magnetic powder, and a powder magnetic core is produced based on the powder for a powder magnetic core. At the time when the production of the dust core is completed, the tantalum alkoxide may become tantalum oxide and adhere to the soft magnetic powder, or may be doped as tantalum into the soft magnetic powder.

以下、実施例に基づいて本発明をさらに詳細に説明する。なお、本発明は下記実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be explained in more detail based on Examples. Note that the present invention is not limited to the following examples.

次のように、圧粉磁心用粉末を作製し、この圧粉磁心用粉末を用いて圧粉磁心を作製した。軟磁性粉末としてFe-Si合金粉末が用いられた。このFe-Si合金粉末は、5.5wt%のSiを含む。このFe-Si合金粉末を650℃の窒素環境下で2時間加熱することで、Fe-Si合金粉末を解した。Fe-Si合金粉末を熱処理にて解した後、分級処理により篩分けし、粒度分布におけるD50が20μm以下のFe-Si合金粉末を選抜した。 A powder for powder magnetic core was produced as follows, and a powder magnetic core was produced using this powder for powder magnetic core. Fe--Si alloy powder was used as the soft magnetic powder. This Fe--Si alloy powder contains 5.5 wt% Si. The Fe--Si alloy powder was dissolved by heating it in a nitrogen environment at 650° C. for 2 hours. After dissolving the Fe--Si alloy powder by heat treatment, it was sieved by classification treatment to select Fe--Si alloy powder having D50 of 20 μm or less in the particle size distribution.

分級処理により選抜されたFe-Si合金粉末は、粒度分布におけるD10が6.284μm、D50が14.48μm、D90が21.17μm及びD100が32.72μmであった。また、このFe-Si合金粉末の円形度は、粒度分布におけるD10の範囲で0.876、D50の範囲で0.966、及びD90の範囲で0.985であった。また、Fe-Si合金粉末の保持力Hcは、3.32A/cmであった。粒径と円形度は、粒子画像分析装置(Malvern社製、装置名:morphologi G3S)を用いて3000個のサンプルから算出したものであり、ガラス基板上にFe-Si合金粉末を分散して、顕微鏡で粉末写真を撮り一個毎自動で画像から測定した。 The Fe--Si alloy powder selected by the classification process had a particle size distribution of D10 of 6.284 μm, D50 of 14.48 μm, D90 of 21.17 μm, and D100 of 32.72 μm. Further, the circularity of this Fe-Si alloy powder was 0.876 in the D10 range, 0.966 in the D50 range, and 0.985 in the D90 range in the particle size distribution. Further, the holding force Hc of the Fe-Si alloy powder was 3.32 A/cm. The particle size and circularity were calculated from 3000 samples using a particle image analyzer (manufactured by Malvern, device name: Morphologi G3S), and Fe-Si alloy powder was dispersed on a glass substrate. Photographs of the powder were taken using a microscope and each individual piece was automatically measured based on the image.

Fe-Si合金粉末をタンタル付着工程とタンタル付着後熱処理工程に移した。即ち、Fe-Si合金粉末に対して0.5wt%のタンタルアルコキシドを添加し、乳鉢で混合した。タンタルアルコキシドは、化学式Ta(OCで表されるペンタエトキシタンタル(以下、Ta(OCという。)を用いた。Ta(OCを添加及び混合した後、Fe-Si合金粉末は、窒素雰囲気下で1000℃の高熱に2時間晒した。尚、温度プロファイルとしては、1000℃で2時間の温度帯に昇温する時間、また温度を下げる時間を含め、合計10時間を要した。 The Fe--Si alloy powder was transferred to a tantalum deposition process and a post-tantalum deposition heat treatment process. That is, 0.5 wt % of tantalum alkoxide was added to the Fe--Si alloy powder and mixed in a mortar. As the tantalum alkoxide, pentaethoxytantalum (hereinafter referred to as Ta(OC 2 H 5 ) 5 ) represented by the chemical formula Ta(OC 2 H 5 ) 5 was used. After adding and mixing Ta(OC 2 H 5 ) 5 , the Fe-Si alloy powder was exposed to high heat at 1000° C. for 2 hours under nitrogen atmosphere. It should be noted that the temperature profile required a total of 10 hours, including the time to raise the temperature to the temperature range of 1000° C. for 2 hours and the time to lower the temperature.

次に絶縁処理工程に移り、Fe-Si合金粉末に対して0.5wt%のシリコーンオリゴマーを添加及び混合して、200℃の温度雰囲気下で2時間乾燥させた。目開き250μmの篩を通ったFe-Si合金粉末に対して1.6wt%のシリコーンレジン(固形分50%)を添加及び混合して、150℃の温度雰囲気下で2時間乾燥させた。 Next, an insulation treatment step was carried out, in which 0.5 wt % silicone oligomer was added and mixed with the Fe--Si alloy powder, and the mixture was dried in an atmosphere at a temperature of 200° C. for 2 hours. 1.6 wt% silicone resin (solid content 50%) was added and mixed with the Fe--Si alloy powder that had passed through a sieve with an opening of 250 μm, and the mixture was dried in an atmosphere at a temperature of 150° C. for 2 hours.

凝集を解消する目的で圧粉磁心用粉末を目開き250μmの篩に通し、潤滑剤(Acrawax(登録商標))を0.5wt%添加した。潤滑剤を添加した圧粉磁心用粉末を金型に充填し、プレス成型を行い、外径16.5mm、内径11.0mm、高さ5.0mmのトロイダル状の成型体を得た。プレス成型の圧力は、15ton/cmで行った。成型体が作製された後、この成型体を酸素濃度が0.01%の雰囲気下に置き、850℃で2時間焼成した。これにより、圧粉磁心が作製された。 In order to eliminate agglomeration, the powder for powder magnetic core was passed through a sieve with an opening of 250 μm, and 0.5 wt % of a lubricant (Acrawax (registered trademark)) was added. A mold was filled with powder for powder magnetic core to which a lubricant had been added, and press molding was performed to obtain a toroidal molded body having an outer diameter of 16.5 mm, an inner diameter of 11.0 mm, and a height of 5.0 mm. Press molding was performed at a pressure of 15 ton/cm 2 . After the molded body was produced, the molded body was placed in an atmosphere with an oxygen concentration of 0.01% and fired at 850° C. for 2 hours. In this way, a powder magnetic core was produced.

その他に、各種の圧粉磁心用粉末及び圧粉磁心を作製した。各種の圧粉磁心は、Ta(OCを添加及び混合した工程において、Ta(OCに代えて、アルミナ粉末、Si(OC、Nb(OC、Ti(O-n-Cが添加及び混合された。添加量、混合方法、及び1000℃及び窒素雰囲気下に2時間晒し、温度プロファイルの合計時間が10時間である点を含め、添加物の種類が異なる以外は、各圧粉磁心は、全て同一の製造方法、製造条件及び組成で製造された。 In addition, various powders for powder magnetic cores and powder magnetic cores were produced. Various dust cores are made by adding alumina powder , Si(OC 2 H 5 ) 4 , Nb ( OC 2 H 5 ) 5 and Ti(On-C 4 H 9 ) 4 were added and mixed. The powder cores were all identical except for the types of additives, including the amount added, mixing method, and exposure to 1000 °C and nitrogen atmosphere for 2 hours, with a total temperature profile time of 10 hours. Manufactured according to the manufacturing method, manufacturing conditions and composition.

更に、Ta(OC、一次粒子の平均粒子径が13mmのアルミナ粉末、Si(OC、Nb(OC及びTi(O-n-Cを添加及び混合した後の加熱温度が異なる各圧粉磁心を作製した。加熱温度として、1000℃の他に800℃と900℃を加えた。また、Ta(OCとSi(OCについては、Ta(OCとSi(OCを添加した後に熱処理をしなかった圧粉磁心も作製した。 Furthermore, Ta(OC 2 H 5 ) 5 , alumina powder with an average primary particle diameter of 13 mm, Si(OC 2 H 5 ) 4 , Nb(OC 2 H 5 ) 5 and Ti(O-n-C 4 H 9 ) Powder magnetic cores having different heating temperatures after adding and mixing 4 were prepared. In addition to 1000°C, 800°C and 900°C were added as heating temperatures. Regarding Ta(OC 2 H 5 ) 5 and Si(OC 2 H 5 ) 4 , the powder was not heat-treated after adding Ta(OC 2 H 5 ) 5 and Si(OC 2 H 5 ) 4 . A magnetic core was also fabricated.

各圧粉磁心の密度(g/cm)、0A/mにおける透磁率μ0、10kA/mにおける透磁率μ1、鉄損Pcv(kW/m)、ヒステリシス損失Ph(kW/m)及び渦電流損失Pe(kW/m)を測定した。 Density of each powder magnetic core (g/cm 3 ), magnetic permeability μ0 at 0 A/m, magnetic permeability μ1 at 10 kA/m, iron loss Pcv (kW/m 3 ), hysteresis loss Ph (kW/m 3 ), and vortex Current loss Pe (kW/m 3 ) was measured.

密度(g/cm)は、見かけ密度である。圧粉磁心の外径、内径、及び高さを測り、これらの値から各圧粉成型体の体積(cm)を、π×(外径-内径)×高さに基づき算出した。そして、圧粉磁心の重量を測定し、測定した重量を算出した体積で除して密度を算出した。 Density (g/cm 3 ) is apparent density. The outer diameter, inner diameter, and height of the powder magnetic core were measured, and from these values, the volume (cm 3 ) of each powder compact was calculated based on π×(outer diameter 2 − inner diameter 2 )×height. Then, the weight of the dust core was measured, and the density was calculated by dividing the measured weight by the calculated volume.

透磁率μ0及びμ1の測定に際し、圧粉磁心にφ0.5mmの銅線を17ターン巻回した。損失の測定に際しては、圧粉磁心にφ0.5mmの銅線を1次巻線として17ターン巻回し、また2次巻線として17ターン巻回した。そして、LCRメータ(アジレントテクノロジー:4284A)を使用することで、100kHz、1.0Vにおける磁界の強さのインダクタンスから透磁率μ0及びμ1算出した。また、磁気計測機器であるBHアナライザ(岩通計測株式会社:SY-8219)を用いて、周波数が100kHz及び最大磁束密度Bmが100mTの測定条件にて鉄損Pcv(kW/m)の測定を行った。 When measuring the magnetic permeability μ0 and μ1, a copper wire with a diameter of 0.5 mm was wound 17 turns around the powder magnetic core. When measuring the loss, a powder magnetic core was wound with 17 turns of a copper wire having a diameter of 0.5 mm as a primary winding, and 17 turns as a secondary winding. Then, by using an LCR meter (Agilent Technologies: 4284A), magnetic permeability μ0 and μ1 were calculated from the inductance of the magnetic field strength at 100 kHz and 1.0 V. In addition, iron loss Pcv (kW/m 3 ) was measured using a BH analyzer (Iwatsu Keizoku Co., Ltd.: SY-8219), which is a magnetic measurement device, under measurement conditions of a frequency of 100 kHz and a maximum magnetic flux density Bm of 100 mT. I did it.

更に、鉄損Pcvの測定結果からヒステリシス損失Ph(kW/m)と渦電流損失Pe(kW/m)とを算出した。ヒステリシス損失Ph(kW/m)と渦電流損失Pe(kW/m)は、鉄損Pcvの周波数曲線を次の(1)~(3)式で最小2乗法により、ヒステリシス損失係数(Kh)、渦電流損失係数(Ke)を算出することで行った。
Pcv =Kh×f+Ke×f2・・(1)
Ph =Kh×f・・(2)
Pe =Ke×f2・・(3)
Pcv:鉄損
Kh :ヒステリシス損失係数
Ke :渦電流損失係数
f :周波数
Ph :ヒステリシス損失
Pe :渦電流損失
Furthermore, hysteresis loss Ph (kW/m 3 ) and eddy current loss Pe (kW/m 3 ) were calculated from the measurement results of iron loss Pcv. The hysteresis loss Ph (kW/m 3 ) and the eddy current loss Pe (kW/m 3 ) are determined by calculating the hysteresis loss coefficient (Kh ), and calculated the eddy current loss coefficient (Ke).
Pcv =Kh×f+Ke×f2...(1)
Ph = Kh×f...(2)
Pe=Ke×f2...(3)
Pcv: Iron loss Kh: Hysteresis loss coefficient Ke: Eddy current loss coefficient f: Frequency Ph: Hysteresis loss Pe: Eddy current loss

下表1は、Fe-Si合金粉末にTa(OC、アルミナ粉末、Si(OC、Nb(OC又はTi(O-n-Cを添加及び混合した後に熱処理した状態を示している。表1中、丸印は、Fe-Si合金粉末の焼結が抑制され、次の絶縁処理工程、成型工程及び焼鈍工程が可能な状態であることを示している。一方、表1中、x印は、次の絶縁処理工程、成型工程及び焼鈍工程に移れないほど、Fe-Si合金粉末同士が焼結してしまった状態であることを示している。 Table 1 below shows Fe-Si alloy powder containing Ta(OC 2 H 5 ) 5 , alumina powder, Si(OC 2 H 5 ) 4 , Nb(OC 2 H 5 ) 5 or Ti(O-n-C 4 H 9 ) Shows the state of heat treatment after adding and mixing 4 . In Table 1, the circles indicate that sintering of the Fe--Si alloy powder is suppressed and the next insulation treatment process, molding process, and annealing process are possible. On the other hand, in Table 1, the x mark indicates that the Fe--Si alloy powders were sintered to such an extent that they could not proceed to the next insulation treatment process, molding process, and annealing process.

(表1)

Figure 2023137624000002
(Table 1)
Figure 2023137624000002

下表2は、Fe-Si合金粉末にTa(OC、アルミナ粉末、Si(OC、Nb(OC又はTi(O-n-Cの圧粉磁心の密度(g/cm)、0A/mにおける透磁率μ0、10kA/mにおける透磁率μ1、鉄損Pcv(kW/m)、ヒステリシス損失Ph(kW/m)及び渦電流損失Pe(kW/m)を示す。 Table 2 below shows Fe-Si alloy powder containing Ta(OC 2 H 5 ) 5 , alumina powder, Si(OC 2 H 5 ) 4 , Nb(OC 2 H 5 ) 5 or Ti(O-n-C 4 H 9 ) Density of powder magnetic core (g/cm 3 ) of No. 4 , magnetic permeability μ0 at 0 A/m, magnetic permeability μ1 at 10 kA/m, iron loss Pcv (kW/m 3 ), hysteresis loss Ph (kW/m 3 ) and eddy current loss Pe (kW/m 3 ).

(表2)

Figure 2023137624000003
(Table 2)
Figure 2023137624000003

表1に示すように、タンタル添加後熱処理工程で1000℃の温度環境下においたとき、Ta(OCを添加及び混合したFe-Si合金粉末は焼結が見られなかった。アルミナ粉末の場合には1000℃で熱処理すると、Fe-Si合金粉末の焼結が所々あったが、各種特性を計測可能な程度に圧粉磁心を作製することはできた。一方、Si(OC、Nb(OC及びTi(O-n-Cの場合には1000℃で熱処理すると、Fe-Si合金粉末同士が焼結してしまい、各種特性を計測可能な程度に圧粉磁心を作製することができなかった。 As shown in Table 1, no sintering was observed in the Fe--Si alloy powder to which Ta(OC 2 H 5 ) 5 was added and mixed when it was placed in a temperature environment of 1000° C. in the heat treatment step after adding tantalum. In the case of alumina powder, when heat treated at 1000° C., the Fe-Si alloy powder was sintered in some places, but it was possible to produce a powder magnetic core to the extent that various properties could be measured. On the other hand, in the case of Si(OC 2 H 5 ) 4 , Nb(OC 2 H 5 ) 5 and Ti(O-n-C 4 H 9 ) 4 , when heat treated at 1000°C, the Fe-Si alloy powders sinter. Therefore, it was not possible to produce a powder magnetic core to the extent that various properties could be measured.

表2に示すように、1000℃で熱処理できたアルミナ粉末の場合、0A/mにおける透磁率μ0、10kA/mにおける透磁率μ1、鉄損Pcv(kW/m)、ヒステリシス損失Ph(kW/m)及び渦電流損失Pe(kW/m)の全てが、900℃で熱処理したアルミナ粉末と比べて悪化してしまった。特に、ヒステリシス損失Ph(kW/m)及び渦電流損失Pe(kW/m)は著しく悪化してしまった。 As shown in Table 2, in the case of alumina powder that can be heat treated at 1000°C, magnetic permeability μ0 at 0 A/m, magnetic permeability μ1 at 10 kA/m, iron loss Pcv (kW/m 3 ), hysteresis loss Ph (kW/ m 3 ) and eddy current loss Pe (kW/m 3 ) were all deteriorated compared to the alumina powder heat-treated at 900°C. In particular, the hysteresis loss Ph (kW/m 3 ) and eddy current loss Pe (kW/m 3 ) deteriorated significantly.

1000℃で熱処理したことにより、アルミナ粉末が凝集し、Fe-Si合金粉末が焼結してしまい、磁区が細分化されずに渦電流損失Pe(kW/m)が悪化したものである。特に、Fe-Si合金粉末のメジアン径D50が20μm以下となっているため、Fe-Si合金粉末が酸化して焼結が促進されてしまったことが確認された。 Due to the heat treatment at 1000° C., the alumina powder agglomerated and the Fe-Si alloy powder was sintered, and the magnetic domains were not subdivided and the eddy current loss Pe (kW/m 3 ) worsened. In particular, it was confirmed that since the median diameter D50 of the Fe--Si alloy powder was 20 μm or less, the Fe--Si alloy powder was oxidized and sintering was accelerated.

一方、表2に示すように、1000℃で熱処理できたTa(OCの場合、0A/mにおける透磁率μ0、10kA/mにおける透磁率μ1及び渦電流損失Pe(kW/m)が900℃の場合と同程度になった。鉄損Pcv(kW/m)及びヒステリシス損失Ph(kW/m)については、1000℃で熱処理した場合、900℃で熱処理した場合と比べて更に改善された。 On the other hand, as shown in Table 2, in the case of Ta(OC 2 H 5 ) 5 that can be heat-treated at 1000°C, the magnetic permeability μ0 at 0 A/m, the magnetic permeability μ1 at 10 kA/m, and the eddy current loss Pe (kW/m 3 ) became comparable to that at 900°C. Iron loss Pcv (kW/m 3 ) and hysteresis loss Ph (kW/m 3 ) were further improved when heat treated at 1000°C compared to when heat treated at 900°C.

1000℃で熱処理出来たことにより、Fe-Si合金粉末の結晶内の歪みが開放され、ヒステリシス損失が更に改善されたものである。また、Ta(OCからタンタル又はタンタル酸化物への変質物が拡散し、Fe-Si合金粉末の格子欠陥が抑制され、磁壁移動がスムーズになったものである。更に、1000℃で熱処理しても、Ta(OCの場合には、メジアン径D50が20μm以下のFe-Si合金粉末でも焼結せず、渦電流損失Pe(kW/m)が良好であったものである。 By being able to perform the heat treatment at 1000°C, the strain in the crystals of the Fe--Si alloy powder was released, and the hysteresis loss was further improved. Furthermore, the altered substance from Ta(OC 2 H 5 ) 5 to tantalum or tantalum oxide diffuses, suppressing lattice defects in the Fe--Si alloy powder and smoothing domain wall movement. Furthermore, even when heat treated at 1000°C, in the case of Ta(OC 2 H 5 ) 5 , even Fe-Si alloy powder with a median diameter D50 of 20 μm or less does not sinter, and the eddy current loss Pe (kW/m 3 ) was good.

次に、Ta(OCを各種量で添加した圧粉磁心用粉末を用いて圧粉磁心を作製した。これら圧粉磁心についても、タンタル添加工程にてTa(OCを添加し、タンタル添加後熱処理工程にて1000℃で加熱した。焼鈍工程では930℃の温度環境下に晒した。その他、Ta(OCの添加量が異なる以外は、各圧粉磁心用粉末及び圧粉磁心は、全て同一の製造方法、製造条件及び組成で製造された。 Next, powder magnetic cores were produced using powder for powder magnetic cores to which Ta(OC 2 H 5 ) 5 was added in various amounts. These powder magnetic cores were also added with Ta(OC 2 H 5 ) 5 in the tantalum addition step, and heated at 1000° C. in the post-tantalum addition heat treatment step. In the annealing process, it was exposed to a temperature environment of 930°C. Other than that, except for the difference in the amount of Ta(OC 2 H 5 ) 5 added, each dust core powder and dust core were manufactured using the same manufacturing method, manufacturing conditions, and composition.

Ta(OCの添加量は、Fe-Si合金粉末に対して0.1wt%から2.20wt%の範囲で変化させた。そして、各圧粉磁心の密度(g/cm)、鉄損Pcv(kW/m)、ヒステリシス損失Ph(kW/m)及び渦電流損失Pe(kW/m)を測定した。その結果を表3に示す。 The amount of Ta(OC 2 H 5 ) 5 added was varied in the range of 0.1 wt% to 2.20 wt% with respect to the Fe-Si alloy powder. Then, the density (g/cm 3 ), iron loss Pcv (kW/m 3 ), hysteresis loss Ph (kW/m 3 ), and eddy current loss Pe (kW/m 3 ) of each dust core were measured. The results are shown in Table 3.

(表3)

Figure 2023137624000004
(Table 3)
Figure 2023137624000004

また、表3に基づき、添加量を横軸とし、鉄損Pcv(kW/m)、ヒステリシス損失Ph(kW/m)及び渦電流損失Pe(kW/m)を縦軸とする図1のグラフを作成した。図1において、プロットが丸印のグラフが鉄損Pcv(kW/m)であり、プロットが三角印のグラフがヒステリシス損失Ph(kW/m)であり、プロットが四角印のグラフが渦電流損失Pe(kW/m)である。 Also, based on Table 3, a diagram in which the horizontal axis represents the addition amount and the vertical axis represents iron loss Pcv (kW/m 3 ), hysteresis loss Ph (kW/m 3 ), and eddy current loss Pe (kW/m 3 ) I created a graph of 1. In Figure 1, the graph with a circle plot is the iron loss Pcv (kW/m 3 ), the graph with a triangle plot is the hysteresis loss Ph (kW/m 3 ), and the graph with a square plot is the vortex loss. Current loss Pe (kW/m 3 ).

表3及び図1に示すように、Fe-Si合金粉末に対してTa(OCの添加量が0.25wt%以上2.0wt%の割合であると、ヒステリシス損失Ph(kW/m)及び渦電流損失Pe(kW/m)の低減効果が高いことが確認できる。更に、Fe-Si合金粉末に対してTa(OCの添加量が0.5wt%以上1.5wt%の割合であると、ヒステリシス損失Ph(kW/m)低減効果が特に高いことが確認できる。 As shown in Table 3 and FIG. 1, when the amount of Ta(OC 2 H 5 ) 5 added to the Fe-Si alloy powder is 0.25 wt% or more and 2.0 wt%, the hysteresis loss Ph (kW It can be confirmed that the effect of reducing the eddy current loss Pe (kW/m 3 ) and eddy current loss Pe (kW/m 3 ) is high. Furthermore, when the amount of Ta(OC 2 H 5 ) 5 added to the Fe-Si alloy powder is 0.5 wt% or more and 1.5 wt%, the effect of reducing hysteresis loss Ph (kW/m 3 ) is particularly high. It can be confirmed that it is high.

以上、本発明の実施形態及び実施例は例として提示したものであって、上記実施形態及び実施例に限定されるものではない。上記実施形態及び実施例は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の範囲を逸脱しない範囲で、種々の省略や置き換え、変更を行うことができる。そして、実施形態、実施例及びその変形は本発明の範囲に含まれるものである。 The embodiments and examples of the present invention have been presented as examples, and the present invention is not limited to the above embodiments and examples. The embodiments and examples described above can be implemented in various other forms, and various omissions, substitutions, and changes can be made without departing from the scope of the invention. The embodiments, examples, and modifications thereof are included within the scope of the present invention.

Claims (10)

軟磁性粉末と、
前記軟磁性粉末の表面に付着するタンタルアルコキシドと、
を備えること、
を特徴とする圧粉磁心用粉末。
soft magnetic powder,
tantalum alkoxide adhering to the surface of the soft magnetic powder;
to have
Powder for powder magnetic cores featuring:
前記タンタルアルコキシドは、前記軟磁性粉末に対して0.25wt%以上2.0wt%の割合で付着していること、
を特徴とする請求項1記載の圧粉磁心用粉末。
The tantalum alkoxide is attached to the soft magnetic powder at a ratio of 0.25 wt% or more to 2.0 wt%;
The powder for powder magnetic core according to claim 1, characterized by:
前記タンタルアルコキシドは、前記軟磁性粉末に対して0.5wt%以上1.5wt%の割合で付着していること、
を特徴とする請求項2記載の圧粉磁心用粉末。
The tantalum alkoxide is attached to the soft magnetic powder at a ratio of 0.5 wt% or more to 1.5 wt%;
The powder for powder magnetic core according to claim 2, characterized in that:
前記軟磁性粉末は、粉末粒径が粒度分布におけるD50で20μm以下であること、
を特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の圧粉磁心用粉末。
The soft magnetic powder has a powder particle size of 20 μm or less at D50 in the particle size distribution;
The powder for powder magnetic core according to any one of claims 1 to 3, characterized by:
前記軟磁性粉末はFeSi合金粉末であること、
を特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の圧粉磁心用粉末。
the soft magnetic powder is FeSi alloy powder;
The powder for powder magnetic core according to any one of claims 1 to 4, characterized by:
請求項1乃至5の何れかに記載の圧粉磁心用粉末を含むこと、
を特徴とする圧粉磁心。
Containing the powder for powder magnetic core according to any one of claims 1 to 5,
A powder magnetic core featuring:
前記タンタルアルコキシドがタンタル酸化物に変質して付着していること、
を特徴とする請求項6記載の圧粉磁心。
the tantalum alkoxide is altered and attached to tantalum oxide;
The powder magnetic core according to claim 6, characterized by:
軟磁性粉末にタンタルアルコキシドを添加及び混合するタンタル付着工程と、
前記タンタル付着工程後、1000℃以上の温度雰囲気下で前記軟磁性粉末を加熱するタンタル付着後加熱工程と、
を含むこと、
を特徴とする圧粉磁心用粉末の製造方法。
a tantalum adhesion step of adding and mixing tantalum alkoxide to soft magnetic powder;
After the tantalum adhesion step, a post-tantalum adhesion heating step of heating the soft magnetic powder in an atmosphere at a temperature of 1000° C. or higher;
including;
A method for producing powder for powder magnetic core, characterized by:
粒度分布におけるD50が20μm以下になるように、軟磁性粉末を分級する分級工程を更に含み、
前記分級工程を経た前記軟磁性粉末を前記タンタル付着工程に移すこと、
を特徴とする請求項8記載の圧粉磁心用粉末の製造方法。
further comprising a classification step of classifying the soft magnetic powder so that D50 in the particle size distribution is 20 μm or less,
transferring the soft magnetic powder that has undergone the classification step to the tantalum adhesion step;
The method for producing powder for powder magnetic core according to claim 8, characterized in that:
請求項8又は9の何れかに記載の製造方法による前記タンタル付着工程以降、前記軟磁性粉末を所定形状の成型体に加圧成型する成型工程と、
前記成型体を焼鈍する熱処理工程と、
を含むこと、
を特徴とする圧粉磁心の製造方法。
After the tantalum adhesion step by the manufacturing method according to claim 8 or 9, a molding step of press-molding the soft magnetic powder into a molded body of a predetermined shape;
a heat treatment step of annealing the molded body;
including;
A method for producing a dust core characterized by:
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