JP2023108274A - パラメータ最適化方法、プログラム、記録媒体および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
・定常速度V1
・加速時間T1:停止状態から定常速度V1に加速させる時間
・定常速度時間T2:定常速度V1を継続させる時間
・定常速度V2
・加速時間T3:定常速度V1から定常速度V2に減速させる時間
・定常速度時間T4:定常速度V2を継続させる時間
・定常速度V3
・加速時間T5:定常速度V2から定常速度V3に加速させる時間
・定常速度時間T6:定常速度V3を継続させる時間
・定常速度V4
・加速時間T7:定常速度V3から定常速度V4に減速させる時間
・定常速度時間T8:定常速度V4を継続させる時間
・定常速度V5
・加速時間T9:定常速度V4から定常速度V5に加速させる時間
・定常速度時間T10:定常速度V5を継続させる時間
・減速時間T11:定常速度V5から停止状態に減速させる時間
図7は、図6に示す第1最適化工程S2の詳細を示すフローチャートである。図7に示すように、第1最適化工程S2では、まず、上記16個のパラメータが設定される(ステップS21)。パラメータの初期値は、例えば乱数から生成した値、あるいは、ユーザが指定した値とされる。ステップS21の後、吐出特性計測部911が、吐出特性である圧力波形を計測する(ステップS22)。ステップS22の後、コスト値導出部913が、計測された圧力波形からコスト値を導出する(ステップS23)。
図8は、図6に示す第2最適化工程S3の詳細を示すフローチャートである。第2最適化工程S3が開始されると、まず、第2最適化部917は、第1最適化工程S2によってパラメータが最適化された圧力波形から、特徴量Fvを算出する(ステップS31)。特徴量Fvを算出する手順について、図9を参照しつつ説明する。
次に、第1最適化工程S2において最適化のために使用されるコスト値の算出方法について説明する。コスト値は、圧力波形から、所定の評価項目毎に特徴量を算出し、各特徴量Fv1~Fv10を足し合わせることによって求められる。以下、各評価項目の特徴量Fv1~Fv10について説明する。
MAE(α、β)=(1/n)・(Σ|α-β|)
RMSE(α、β)=((1/n)・(Σ(α-β)2))1/2
nは、データ数である。
Fv6=|1-Fv6|
コスト値導出部913は、変換された特徴量Fv6を、記憶部93に記憶させる。
Fv7=(Σ(P_measure-WF7)2×W)1/2
時刻t≦t73+2×Twの範囲でW=1
時刻t>t73+2×Twの範囲でW=w
wは、1より大きい重み係数であり、例えば10である
Fv8=Pmax-Pg
Fv9=RMSE(P_measure,Pm)
Fv10=Pmax-P10min
9 制御ユニット
71 ノズル
81 ポンプ
91 演算部
93 記憶部
910 吐出制御部
911 吐出特性計測部
913 コスト値導出部
915 第1最適化部
917 第2最適化部
931 プログラム
EL 有機
M 記録媒体
S 基板
Claims (9)
- ノズルから吐出される処理液を基板に供給する基板処理装置において、前記処理液の吐出を制御するためのパラメータを最適化するパラメータ最適化方法であって、
a) 大域的探索によって第1パラメータを最適化する第1最適化工程と、
b) 局所的探索によって第2パラメータを最適化する第2最適化工程と、
を含み、
前記第1パラメータは、前記ノズルからの前記処理液の吐出速度が定常吐出速度に高められる立ち上がり期間に対応するパラメータを含み、
前記第2パラメータは、前記吐出速度が前記定常吐出速度に維持される定常吐出期間に対応するパラメータを含む、パラメータ最適化方法。 - 請求項1に記載のパラメータ最適化方法であって、
前記工程b)が前記工程a)の後に実行される、パラメータ最適化方法。 - 請求項1に記載のパラメータ最適化方法であって、
前記第1最適化工程は、ベイズ最適化により前記第1パラメータを最適化する工程を含む、パラメータ最適化方法。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のパラメータ最適化方法であって、
前記パラメータが、前記ノズルに前記処理液を送給するポンプの動作を制御する制御量である、パラメータ最適化方法。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のパラメータ最適化方法であって、
前記工程a)は、前記ノズルから前記処理液を吐出したときの吐出特性の特徴量から導出されるコスト値に基づいて、前記第1パラメータを最適化する工程を含む、パラメータ最適化方法。 - 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のパラメータ最適化方法であって、
前記工程b)は、前記定常吐出期間の開始時における吐出速度と、前記定常吐出期間の終了時の吐出速度との比に基づいて、前記第2パラメータを最適化する工程を含む、パラメータ最適化方法。 - ノズルからの処理液の吐出を制御するためのパラメータの最適化をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
a) 大域的探索によって第1パラメータを最適化する第1最適化工程と、
b) 局所的探索によって第2パラメータを最適化する第2最適化工程と、
を前記コンピュータに実行させ、
前記第1パラメータは、前記ノズルからの前記処理液の吐出速度が定常吐出速度に高められる立ち上がり期間に対応するパラメータを含み、
前記第2パラメータは、前記吐出速度が前記定常吐出速度に維持される定常吐出期間に対応するパラメータを含む、プログラム。 - コンピュータが読み取り可能な記録媒体であって、
請求項7に記載のプログラムを記録した、記録媒体。 - ノズルから吐出される処理液を基板に供給する基板処理装置であって、
第1パラメータおよび第2パラメータを含む複数のパラメータに基づいて、前記ノズルからの前記処理液の吐出を制御する吐出制御部と、
前記ノズルが前記処理液を吐出する際の吐出特性を計測する吐出特性計測部と、
前記吐出特性に基づき、大域的探索によって前記第1パラメータを最適化する第1最適化部と、
前記吐出特性に基づき、局所的探索によって前記第2パラメータを最適化する第2最適化部と、
を備え、
前記第1パラメータは、前記ノズルからの前記処理液の吐出速度が定常吐出速度に高められる立ち上がり期間に対応するパラメータを含み、
前記第2パラメータは、前記吐出速度が前記定常吐出速度に維持される定常吐出期間に対応するパラメータを含む、基板処理装置。
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