JP2023104148A - 検査システムおよび検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】被検査体の平行度の判定に要する時間およびコストを低減できる検査システムおよび検査方法を提供する。【解決手段】検査システムは、被検査体とそれぞれの先端が対向するように配置された複数のプローブを有する検査治具と、プローブごとに、被検査体と先端の間隔に依存して変化する電気パラメータを測定する測定装置と、複数の間隔においてそれぞれ測定された電気パラメータの測定値を用いて、間隔の変化に起因する電気パラメータの変化量を、プローブごとに検出する検出装置と、電気パラメータの変化量に基づいて、被検査体と検査治具が平行に配置されているか否かを判定する判定装置を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、被検査体の平行度の確認検査に使用する検査システムおよび検査方法に関する。

特性検査の対象物または加工作業の対象物などについて、平行度を確認する検査が必要な場合がある。ここで、「平行度」とは、検査装置または加工装置に対する対象物の平行の度合いをいう。プリント基板またはウェハに形成された半導体装置などの検査対象物の特性を検査するために、検査対象物に接触するプローブを有する検査装置が用いられている。検査対象物に複数のプローブを同時に接触させた状態で正確に検査を行うには、各プローブが均等な圧力で検査対象物に接触する必要がある。そのため、検査装置のプローブを保持する検査治具と検査対象物とが平行に配置されていることが重要である。また、加工対象物の研削または研磨などの加工において、加工装置に対して加工対象物が平行に配置されている必要がある。以下、平行度の確認検査が必要な対象物を「被検査体」とも称する。

特開２０１３－１７５５７２号公報

被検査体の平行度を判定するために、例えば、プローブ毎にプローブの先端と被検査体との間隔を測定する方法がある。この方法では、各プローブの先端と被検査体との間隔が均等になるように検査治具又は被検査体の配置を調整することにより、検査治具と被検査体を平行にする。

しかしながら、プローブ毎にプローブの先端と被検査体との間隔を測定するには時間がかかる。また、間隔を測定するための測定装置が必要である。このため、検査治具と被検査体の平行度の判定は、時間およびコストを要していた。

本発明は、被検査体の平行度の判定に要する時間およびコストを低減できる検査システムおよび検査方法を提供することを目的とする。

本発明の一態様によれば、複数のプローブを有する検査治具と、電気パラメータを測定する測定装置と、電気パラメータの変化量を検出する検出装置と、被検査体と検査治具が平行に配置されているか否かを判定する判定装置を備える検査システムが提供される。検査治具は、被検査体とそれぞれの先端が対向するように配置された複数のプローブを有する。測定装置は、プローブごとに、被検査体と先端の間隔に依存して変化する電気パラメータを測定する。検出装置は、複数の間隔においてそれぞれ測定された電気パラメータの測定値を用いて、間隔の変化に起因する電気パラメータの変化量を、プローブごとに検出する。判定装置は、電気パラメータの変化量に基づいて、被検査体と検査治具が平行に配置されているか否かを判定する。

本発明によれば、被検査体の平行度の判定に要する時間およびコストを低減できる検査システムおよび検査方法を提供できる。

図１は、第１の実施形態に係る検査システムの構成を示す模式図である。 図２は、第１の実施形態に係る検査方法を説明するためのフローチャートである。 図３は、第１の対向距離を設定する方法の例を示すフローチャートである。 図４は、第１の実施形態の変形例に係る検査システムの構成を示す模式図である。 図５は、比較例の平行度判定システムの構成を示す模式図である。 図６は、第２の実施形態に係る検査システムによる検査方法を説明するための模式図である。 図７は、第２の対向距離を設定する方法の例を示すフローチャートである。

次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置などを下記のものに特定するものでない。

（第１の実施形態）
図１に示す本発明の第１の実施形態に係る検査システム１は、被検査体２の平行度の確認検査に使用される。更に、検査システム１は、被検査体２の平行度を確認した後に、被検査体２の特性検査に使用してもよい。被検査体２は、第１面２０１に配置された第１端子２１１～第３端子２１３を有する。以下、第１端子２１１～第３端子２１３のそれぞれを限定しない場合は、端子２１と表記する。被検査体２は、例えば、複数の端子２１に配線パターンがそれぞれ接続されたプリント基板である。被検査体２がプリント基板である場合、検査システム１は、例えばプリント基板の配線パターンの短絡や断線の有無などの特性検査に使用される。

検査システム１は、検査治具１１、切替器１２、測定装置１３、検出装置１４、および判定装置１５を備える。

検査治具１１は、被検査体２とそれぞれの先端が対向する第１プローブ１０１～第３プローブ１０３を有する。第１プローブ１０１～第３プローブ１０３は、第１プローブ１０１～第３プローブ１０３の先端が被検査体２の第１端子２１１～第３端子２１３と対向するように配置されている。以下、第１プローブ１０１～第３プローブ１０３のそれぞれを限定しない場合は、プローブ１０と表記する。検査治具１１は、被検査体２に対向して配置される。以下において、相互に対向する端子２１とプローブ１０の対を「対向対」とも称する。

図１に示すように、被検査体２に対して検査治具１１が配置される方向をＺ方向とする。図１において、Ｚ方向は紙面の上下方向であり、Ｘ方向は紙面の左右方向、Ｙ方向は紙面の奥行方向である。

図１では検査治具１１が保持するプローブ１０の本数が３本である例を示したが、プローブ１０の本数は３本に限定されるものではない。被検査体２の第１面２０１の相互に離間した複数の領域に対向するように、複数のプローブ１０が検査治具１１に配置される。図１はＸ方向に沿ってプローブ１０を配列した例を示すが、Ｙ方向に沿ってプローブ１０を配列してもよいし、Ｚ方向に垂直なＸＹ平面にプローブ１０をマトリクス状に配置してもよい。

切替器１２は、検査治具１１が保持する複数のプローブ１０を選択的に測定装置１３と電気的に接続する。切替器１２は、２本以上のプローブ１０を同時に測定装置１３と電気的に接続することができる。

測定装置１３は、プローブ１０ごとに、端子２１とプローブ１０の先端の間隔（以下において「対向距離Ｄ」と称する。）に依存して変化する電気パラメータを測定する。対向距離Ｄは、Ｚ方向に沿った距離である。測定装置１３が測定した電気パラメータの測定値は、測定値記憶装置１６に記憶される。切替器１２が複数のプローブ１０を同時に測定装置１３と電気的に接続した場合は、測定装置１３は、複数のプローブ１０について同時に電気パラメータを測定する。

検出装置１４は、プローブ１０ごとに複数の対向距離Ｄにおいて測定装置１３が測定した電気パラメータの測定値を用いて、対向距離Ｄの変化に起因する電気パラメータの変化量を、プローブ１０ごとに検出する。例えば、検出装置１４は、異なる対向距離Ｄのそれぞれにおいて測定された電気パラメータの測定値の差分として電気パラメータの変化量を検出してもよい。

検出装置１４は、測定値記憶装置１６に記憶された電気パラメータの測定値を読み出して、プローブ１０ごとに電気パラメータの変化量を検出する。或いは、検出装置１４が、測定装置１３により測定された電気パラメータの測定値を、測定装置１３から直接に取得してもよい。

判定装置１５は、検出装置１４が検出した電気パラメータの変化量に基づいて、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されているか否かを判定する。以下において、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されているか否かの判定を、「平行度の判定」とも称する。判定装置１５による平行度の判定の方法の詳細は後述する。

判定結果表示装置１７は、判定装置１５による平行度の判定の結果を表示する。判定結果表示装置１７は、例えばディスプレイなどの画像表示装置であってもよい。

検査システム１は、被検査体２と検査治具１１の間隔を調整して、対向距離Ｄを変化させる間隔調整装置１８を備える。図１に示す検査システム１は、間隔調整装置１８として、被検査体２を戴置する検査ステージ１８１、および検査ステージ１８１を制御するステージ駆動装置１８２を有する。例えば、ステージ駆動装置１８２は、検査ステージ１８１をＺ方向に移動させる。

図１に示す検査システム１は、被検査体２とプローブ１０の先端との間の電気容量を、平行度の判定のための電気パラメータとして使用する。図１に示すように、第１プローブ１０１の先端と第１端子２１１の間の電気容量を、第１可変電気容量Ｃ１１とする。第２プローブ１０２の先端と第２端子２１２の間の電気容量を、第２可変電気容量Ｃ１２とする。第３プローブ１０３の先端と第３端子２１３の間の電気容量を、第３可変電気容量Ｃ１３とする。以下、第１可変電気容量Ｃ１１～第３可変電気容量Ｃ１３のそれぞれを限定しない場合は、プローブ１０の先端と端子２１の間の電気容量を可変電気容量Ｃ１と表記する。可変電気容量Ｃ１は、対向距離Ｄの変化に起因して変化する。

被検査体２は、導電性の平行プレート２３を有する。平行プレート２３は、端子２１と容量性カップリングする。図１に示した被検査体２では、第１面２０１に対向する第２面２０２に平行プレート２３が配置されている。第１端子２１１～第３端子２１３と平行プレート２３の間の電気容量を、第１固定電気容量Ｃ２１～第３固定電気容量Ｃ２３とする。以下、第１固定電気容量Ｃ２１～第３固定電気容量Ｃ２３のそれぞれを限定しない場合は、端子２１と平行プレート２３の間の電気容量を固定電気容量Ｃ２と表記する。例えば、固定電気容量Ｃ２は被検査体２の内部の電気容量である。対向距離Ｄが変化しても、固定電気容量Ｃ２は変化しない。

被検査体２の第１面２０１には、平行プレート２３と電気的に接続する基準端子２２が配置されている。例えば、第１面２０１から第２面２０２まで被検査体２を貫通する内部配線２４によって、基準端子２２と平行プレート２３は電気的に接続する。

検査システム１は、電気パラメータを測定する際に基準端子２２と電気的に接続可能な測定端子１２１を備える。測定装置１３は、プローブ１０と測定端子１２１間の電気パラメータを測定する。つまり、図１に示す測定装置１３は、可変電気容量Ｃ１と固定電気容量Ｃ２を合成した電気容量を測定する。

測定装置１３は、第１プローブ１０１が測定装置１３に接続する状態で、第１プローブ１０１と第１端子２１１の対向対を含む電気経路について第１合成電気容量Ｃ３１を測定する。ここで、第１合成電気容量Ｃ３１は、第１可変電気容量Ｃ１１と第１固定電気容量Ｃ２１を直列接続した合成電気容量である。また、測定装置１３は、第２プローブ１０２が測定装置１３に接続する状態で、第２プローブ１０２と第２端子２１２の対向対を含む電気経路について、第２合成電気容量Ｃ３２を測定する。第２合成電気容量Ｃ３２は、第２可変電気容量Ｃ１２と第２固定電気容量Ｃ２２を直列接続した合成電気容量である。更に、測定装置１３は、第３プローブ１０３が測定装置１３に接続する状態で、第３プローブ１０３と第３端子２１３の対向対を含む電気経路について、第３合成電気容量Ｃ３３を測定する。第３合成電気容量Ｃ３３は、第３可変電気容量Ｃ１３と第３固定電気容量Ｃ２３を直列接続した合成電気容量である。以下、第１合成電気容量Ｃ３１～第３合成電気容量Ｃ３３のそれぞれを限定しない場合は、可変電気容量Ｃ１と固定電気容量Ｃ２を合成した電気容量を合成電気容量Ｃ３と表記する。

検査システム１は、切替器１２により測定装置１３と接続するプローブ１０を切り替えながら、プローブ１０ごとに合成電気容量Ｃ３を順次測定する。或いは、切替器１２が複数のプローブ１０を同時に測定装置１３と電気的に接続して、測定装置１３が、複数のプローブ１０について同時に電気パラメータを測定する。例えば、検査システム１が、第１合成電気容量Ｃ３１、第２合成電気容量Ｃ３２および第３合成電気容量Ｃ３３を同時に測定してもよい。複数のプローブ１０について同時に電気パラメータを測定することにより、平行度の判定に要する時間を短縮することができる。

検査治具１１と被検査体２の平行度の判定のための測定は、測定端子１２１と基準端子２２が電気的に接続した状態で対向距離Ｄを変化させて行う。例えば、柔軟性を有する測定端子１２１を使用することにより、測定端子１２１と基準端子２２が電気的に接続した状態のままで、対向距離Ｄを変化させることができる。或いは、Ｚ方向に伸縮自在な構成を測定端子１２１に採用して、測定端子１２１と基準端子２２が電気的に接続した状態のままで対向距離Ｄを変化させてもよい。Ｚ方向に伸縮自在な構成の測定端子１２１として、例えば、Ｚ方向に伸縮するバネ部を有するプローブを使用してもよい。また、測定端子１２１と測定装置１３とを柔軟性を有する導電性ワイヤなどの接続部材で接続してもよい。

以下に、図１に示した検査システム１を用いて検査治具１１と被検査体２の平行度を判定する方法の例を、図２を参照して説明する。

図２のステップＳ１０において、測定端子１２１と基準端子２２が電気的に接続した状態で、間隔調整装置１８が、被検査体２と検査治具１１の間隔を第１の対向距離Ｄ１に設定する。

次いで、ステップＳ２０において、測定装置１３が、プローブ１０ごとに第１の対向距離Ｄ１における合成電気容量Ｃ３を電気パラメータとして測定する。測定された合成電気容量Ｃ３は、プローブ１０ごとに第１の対向距離Ｄ１に関連付けて測定値記憶装置１６に記憶される。

次に、ステップＳ３０において、間隔調整装置１８が、被検査体２と検査治具１１の間隔を第１の対向距離Ｄ１と異なる第２の対向距離Ｄ２に設定する。例えば、第２の対向距離Ｄ２は第１の対向距離Ｄ１よりも短くする。

次いで、ステップＳ４０において、測定装置１３が、プローブ１０ごとに第２の対向距離Ｄ２における合成電気容量Ｃ３を電気パラメータとして測定する。測定された合成電気容量Ｃ３は、プローブ１０ごとに第２の対向距離Ｄ２に関連付けて測定値記憶装置１６に記憶される。

ステップＳ５０において、検出装置１４が、第１の対向距離Ｄ１および第２の対向距離Ｄ２においてそれぞれ測定された電気パラメータの測定値を用いて、対向距離Ｄの変化に起因する電気パラメータの変化量を、プローブ１０ごとに検出する。すなわち、検出装置１４は、第１の対向距離Ｄ１において測定された合成電気容量Ｃ３と第２の対向距離Ｄ２において測定された合成電気容量Ｃ３を用いて、対向距離Ｄの変化に起因する合成電気容量Ｃ３の変化量をプローブ１０ごとに検出する。例えば、検出装置１４は、第１の対向距離Ｄ１において測定された合成電気容量Ｃ３（以下、「第１測定電気容量Ｃ３Ａ」と称する。）と第２の対向距離Ｄ２において測定された合成電気容量Ｃ３（以下、「第２測定電気容量Ｃ３Ｂ」と称する。）を、測定値記憶装置１６から読み出す。そして、検出装置１４は、第１測定電気容量Ｃ３Ａと第２測定電気容量Ｃ３Ｂの差分を、対向距離Ｄの変化に起因する合成電気容量Ｃ３の変化量（以下において、「差分電気容量Ｃｄ」とも称する。）として検出する。例えば、第２の対向距離Ｄ２が第１の対向距離Ｄ１よりも短い場合には、第２測定電気容量Ｃ３Ｂから第１測定電気容量Ｃ３Ａを引いた値が、差分電気容量Ｃｄである。検出された差分電気容量Ｃｄは、判定装置１５に送信される。

ステップＳ６０において、判定装置１５が、電気パラメータの変化量である差分電気容量Ｃｄに基づいて、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されているか否かを判定する。例えば、判定装置１５は、それぞれのプローブ１０について、差分電気容量Ｃｄが所定の判定値の範囲内であるか否かを判定する。判定装置１５は、プローブ１０のすべてにおいて差分電気容量Ｃｄが判定値の範囲内である場合に、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されていると判定する。一方、差分電気容量Ｃｄが判定値の範囲内ではないプローブ１０が１つでもあれば、判定装置１５は、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されていないと判定する。

判定装置１５による判定結果は、判定結果表示装置１７に送信される。検査システム１の使用者は、判定結果表示装置１７が表示する判定結果を参照して、被検査体２の特性検査を実行するか否かを判断してもよい。すなわち、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されているという判定結果が得られた場合には、検査システム１を用いた被検査体２の特性検査が実行される。一方、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されていないという判定結果が得られた場合には、検査システム１の使用者は、被検査体２と検査治具１１が平行になるように、被検査体２と検査治具１１のいずれか若しくは両方の配置を調整する。例えば、ＸＹ平面に対する被検査体２又は検査ステージ１８１のなす角が調整される。或いは、ＸＹ平面に対する検査治具１１のなす角が調整される。

判定装置１５が被検査体２と検査治具１１の平行度の判定に使用する判定値は、被検査体２の検査内容に必要な平行度の精度などに応じて、任意に設定可能である。つまり、被検査体２の検査に影響を及ぼさない範囲で被検査体２と検査治具１１の平行度が得られるように、判定値が設定される。判定値は、例えば、検査システム１の図示を省略した入力装置を介して判定装置１５に入力してもよい。

第１の対向距離Ｄ１と第２の対向距離Ｄ２は、可変電気容量Ｃ１が測定可能な距離に設定される。例えば、シミュレーションや事前の試験測定などにより、可変電気容量Ｃ１が測定精度を保証された有効な測定値である距離の範囲になるように、第１の対向距離Ｄ１と第２の対向距離Ｄ２を設定する。また、第１測定電気容量Ｃ３Ａと第２測定電気容量Ｃ３Ｂとで一定の差が生じるように、第１の対向距離Ｄ１と第２の対向距離Ｄ２の差を設定する。

対向距離Ｄが十分に長いと可変電気容量Ｃ１はゼロである。そして、対向距離Ｄを短くすることにより可変電気容量Ｃ１は増加する。このため、測定装置１３が合成電気容量Ｃ３を測定する複数の対向距離Ｄが、第１測定電気容量Ｃ３Ａがゼロである第１の対向距離Ｄ１と、第１の対向距離Ｄ１よりも短い第２の対向距離Ｄ２を含むようにしてもよい。

第１の対向距離Ｄ１は、例えば図３に示す方法のように設定してもよい。まず、ステップＳ１１において、間隔調整装置１８が、被検査体２と検査治具１１の間隔を任意の初期距離に設定する。次いで、ステップＳ１２において、測定装置１３が、複数のプローブ１０のうちの任意の１つと基準端子２２の間の電気容量を測定する。例えば、測定装置１３が、第１プローブ１０１と基準端子２２の間の電気容量を測定する。以下において、ステップＳ１２において測定された電気容量値を「設定用電気容量値」とも称する。

ステップＳ１３において、測定装置１３は、設定用電気容量値を所定の容量しきい値と比較する。設定用電気容量値が容量しきい値よりも大きい場合には、処理はステップＳ１４に進み、その時の被検査体２と検査治具１１の間隔を第１の対向距離Ｄ１に設定する。一方、ステップＳ１３において設定用電気容量値が容量しきい値を超えない場合には、処理はステップＳ１５に進み、被検査体２と検査治具１１の間隔を狭くする。ステップＳ１５の後、処理はステップＳ１２に戻る。

容量しきい値は、被検査体２と検査治具１１を近づける目安となる電気容量値である。容量しきい値は、測定精度を保証された有効な測定値に設定される。初期距離は、例えば、測定装置１３により有効な測定値の取得が可能と見込まれる最大の距離としてもよい。

上記では、１つの端子２１に１本のプローブ１０が対向する例を説明したが、１つの端子２１に複数のプローブ１０が対向していてもよい。例えば、被検査体２の第１端子２１１と第２端子２１２がつながっていてもよい。また、被検査体２が第１面２０１に広がる１つの端子２１を有する場合は、端子２１に対向して複数のプローブ１０を相互に離間して配置することにより、検査システム１は被検査体２の平行度を判定することができる。

なお、被検査体２のすべての端子２１にプローブ１０が対向していなくてもよい。つまり、プローブ１０同士の間隔が被検査体２の平行度を判定できる範囲で、被検査体２の第１面２０１に対向して複数のプローブ１０が配置されていればよい。

また、端子２１と容量性カップリングする平行プレート２３を有する被検査体２について説明したが、被検査体２が平行プレート２３を有しなくてもよい。平行プレート２３を有しない被検査体２では、例えば被検査体２の内部の電気容量によって端子２１と基準端子２２が容量性カップリングしていることにより、検査システム１により合成電気容量Ｃ３が測定される。更に、被検査体２が端子２１および平行プレート２３のいずれも有しなくてもよい。プローブ１０の先端に対向する第１面２０１の領域と基準端子２２が被検査体２の内部の電気容量によって容量性カップリングしていることにより、検査システム１により合成電気容量Ｃ３が測定される。

ところで、上記では、対向対のそれぞれの差分電気容量Ｃｄを判定値と比較する方法により、被検査体２と検査治具１１の平行度を判定する方法を説明した。しかし、差分電気容量Ｃｄを用いた他の方法によって被検査体２と検査治具１１の平行度を判定してもよい。

例えば、プローブ１０についてそれぞれ検出された差分電気容量Ｃｄにおける最大値と最小値の差が所定の判定値の範囲内である場合に、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されていると判定してもよい。

或いは、プローブ１０の１つを基準プローブとして選択し、基準プローブの測定値を用いて被検査体２の平行度を判定してもよい。すなわち、検査システム１が、基準プローブを除いた他のすべてのプローブ１０の差分電気容量Ｃｄと基準プローブの差分電気容量Ｃｄとの差が所定の判定値の範囲内である場合に、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されていると判定してもよい。この基準プローブは、合成電気容量Ｃ３の測定値を用いて選択してもよい。例えば、すべてのプローブ１０について測定された合成電気容量Ｃ３の平均値に最も近い合成電気容量Ｃ３が測定されたプローブ１０を、基準プローブとして選択してもよい。この場合、検査治具１１と被検査体２の平行度を判定するための合成電気容量の測定の途中で、基準プローブを選択してもよい。

＜変形例＞
図１に示した検査システム１では、被検査体２の第２面２０２の大部分が検査ステージ１８１と離間している。一方、図４に示す検査システム１では、検査ステージ１８１が被検査体２の第２面２０２の全面と接触する。検査ステージ１８１が導電性であることにより、被検査体２に平行プレート２３がなくても、被検査体２の端子２１と基準端子２２を電気的に接続することができる。言い換えると、被検査体２の第２面２０２が導電性の検査ステージ１８１と接触していれば、被検査体２に平行プレート２３がなくても、検査システム１は合成電気容量Ｃ３を測定できる。

検査システム１による平行度の判定と比較するために、図５に示す比較例の平行度判定システム１Ｍによって検査治具１１と被検査体２の平行度を判定する方法を以下に示す。平行度判定システム１Ｍは、変位測定装置５１と変位判定装置５２を備える。

変位測定装置５１は、検査治具１１と被検査体２の間に配置されている。変位測定装置５１は、検査治具１１に対向して配置された第１レーザ変位計５１１および被検査体２に対向して配置された第２レーザ変位計５１２を有する。変位計駆動装置５１３の制御により、第１レーザ変位計５１１および第２レーザ変位計５１２はＸＹ平面に沿って移動する。

変位測定装置５１から第１プローブ１０１の先端までの距離を測定するために、図５に示すように、変位計駆動装置５１３が、第１レーザ変位計５１１を第１プローブ１０１の直下に移動させる。そして、第１レーザ変位計５１１が、第１プローブ１０１に投光した第１レーザ光Ｌ１の第１プローブ１０１からの反射光を受光して、変位測定装置５１から第１プローブ１０１までの距離を測定する。更に、変位計駆動装置５１３が第１レーザ変位計５１１の位置を変更しながら、第１レーザ変位計５１１が、変位測定装置５１から第２プローブ１０２までの距離および変位測定装置５１から第３プローブ１０３までの距離を測定する。

変位測定装置５１からプローブ１０までの距離は、変位判定装置５２に送信される。変位判定装置５２は、変位測定装置５１からそれぞれのプローブ１０までの距離を用いて、検査治具１１と変位測定装置５１の平行度が所定の許容範囲内であるか否かを判定する。例えば、変位判定装置５２は、変位測定装置５１からプローブ１０までの距離の差がすべて平行しきい値よりも小さい場合に、検査治具１１と変位測定装置５１の平行度が許容範囲内であると判定する。平行しきい値は、入力装置５２１から変位判定装置５２に入力するようにしてもよい。変位判定装置５２による判定結果は、判定表示装置５２２に表示される。

また、変位測定装置５１から第１端子２１１までの距離を測定するために、図５に示すように、変位計駆動装置５１３が第２レーザ変位計５１２を第１端子２１１の直上に移動させる。そして、第２レーザ変位計５１２が、第１端子２１１に投光した第２レーザ光Ｌ２の第１端子２１１からの反射光を受光して、変位測定装置５１から第１端子２１１までの距離を測定する。更に、変位計駆動装置５１３が第２レーザ変位計５１２の位置を変更しながら、第２レーザ変位計５１２が、変位測定装置５１から第２端子２１２までの距離および変位測定装置５１から第３端子２１３までの距離を測定する。

変位測定装置５１から端子２１までの距離は、変位判定装置５２に送信される。変位判定装置５２は、変位測定装置５１からそれぞれの端子２１までの距離を用いて、被検査体２と変位測定装置５１の平行度が所定の許容範囲内であるか否かを判定する。例えば、変位判定装置５２は、変位測定装置５１から端子２１までの距離の差がすべて平行しきい値よりも小さい場合に、被検査体２と変位測定装置５１の平行度が許容範囲内であると判定する。変位判定装置５２による判定結果は、判定表示装置５２２に表示される。

上記のように、平行度判定システム１Ｍは、変位測定装置５１からプローブ１０までの距離を測定して、検査治具１１と変位測定装置５１の平行度を判定する。更に、平行度判定システム１Ｍは、変位測定装置５１から端子２１までの距離を測定して、被検査体２と変位測定装置５１の平行度を判定する。平行度判定システム１Ｍは、検査治具１１と変位測定装置５１の平行度、および被検査体２と変位測定装置５１の平行度を判定することにより、間接的に検査治具１１と被検査体２の平行度を判定する。

平行度判定システム１Ｍは、プローブ１０の本数の回数だけ第１レーザ変位計５１１を移動させて、変位測定装置５１からプローブ１０までの距離をプローブ１０ごとに測定する。そして、平行度判定システム１Ｍは、端子２１の個数の回数だけ第２レーザ変位計５１２を移動させて、変位測定装置５１から端子２１までの距離を端子２１ごとに測定する。したがって、プローブ１０の本数の回数だけプローブ１０と第１レーザ変位計５１１とを位置合わせし、端子２１の個数の回数だけ端子２１と第２レーザ変位計５１２とを位置合わせする必要がある。

このため、平行度判定システム１Ｍを用いて検査治具１１と被検査体２の平行度を判定する方法は、平行度の判定に必要な時間が長い。特に、プローブ１０の本数および端子２１の個数が多いほど、平行度判定システム１Ｍによる平行度の判定に要する時間が増大する。例えば、レーザ変位計による測定時間が１箇所あたり１秒と仮定すると、プローブ１０の本数および端子２１の個数が１００００である場合には、距離を測定するだけで約３３３分を要する。このように、平行度判定システム１Ｍを用いて検査治具１１と被検査体２の平行度を判定する方法は、生産性が低い。

一方、検査システム１を用いて検査治具１１と被検査体２の平行度を判定する場合は、すべてのプローブ１０と端子２１を位置合わせした状態で、測定装置１３がプローブ１０ごとに電気パラメータを測定する。このため、検査システム１を用いる方法によれば、平行度判定システム１Ｍを用いる方法と比べて、平行度の判定に要する時間を短縮できる。また、距離を測定するためのレーザ変位計などの測定装置が不要であるため、検査治具１１と被検査体２の平行度を判定するためのコストを抑制できる。

以上に説明したように、第１の実施形態に係る検査システム１では、対向距離Ｄの変化に起因する電気パラメータの変化量として電気容量の変化量をプローブ１０について測定する。そして、プローブ１０について測定された電気容量の変化量に基づいて、検査治具１１と被検査体２の平行度を判定する。したがって、検査システム１によれば、検査治具１１と被検査体２の平行度の判定に要する時間およびコストを低減することができる。

（第２の実施形態）
第２の実施形態に係る検査システム１は、プローブ１０について測定される電気パラメータが電気抵抗である点が、電気パラメータが電気容量である第１の実施形態に係る検査システム１と異なる。図６に、検査治具１１と被検査体２の平行度を判定するための電気パラメータが電気抵抗である場合における、検査システム１による検査方法を説明する模式図を示す。図６に示す検査システム１は、図１に示す検査システム１と同様に、検査治具１１、測定装置１３、検出装置１４、判定装置１５および間隔調整装置１８を備える。

図６に示すように、第１プローブ１０１の先端と第１端子２１１の間の電気抵抗を、第１可変電気抵抗Ｒ１１とする。第２プローブ１０２の先端と第２端子２１２の間の電気抵抗を、第２可変電気抵抗Ｒ１２とする。第３プローブ１０３の先端と第３端子２１３の間の電気抵抗を、第３可変電気抵抗Ｒ１３とする。以下、第１可変電気抵抗Ｒ１１～第３可変電気抵抗Ｒ１３のそれぞれを限定しない場合は、プローブ１０の先端と端子２１の間の電気抵抗を可変電気抵抗Ｒ１と表記する。

図６では、説明をわかりやすくするためにプローブ１０の先端と端子２１が離れた状態で可変電気抵抗Ｒ１を図示した。可変電気抵抗Ｒ１は、対向距離Ｄの変化に起因して変化する。すなわち、対向距離Ｄが十分に長いと可変電気抵抗Ｒ１はほぼ無限大である。一方、プローブ１０の先端と端子２１が接触した状態では、可変電気抵抗Ｒ１はほぼゼロである。このように、対向距離Ｄを変化させることにより、可変電気抵抗Ｒ１は変化する。

被検査体２は、端子２１と電気的に接続する導電性プレート２５を有する。図６に示した被検査体２では、端子２１を配置した第１面２０１に導電性プレート２５が配置されている。更に、被検査体２の第１面２０１には、導電性プレート２５と電気的に接続する基準端子２２が配置されている。端子２１と基準端子２２は導電性プレート２５を介して電気的に接続し、端子２１と基準端子２２の間の電気抵抗はゼロである。図６に示す検査システム１の測定端子１２１は、図１に示す検査システム１と同様に、電気パラメータを測定する際に基準端子２２と電気的に接続する。

図６に示す検査システム１では、測定装置１３が、プローブ１０ごとにプローブ１０と測定端子１２１間の電気抵抗を測定する。以下において、プローブ１０と測定端子１２１間の電気抵抗の合計を「合成電気抵抗」とも称する。合成電気抵抗は可変電気抵抗Ｒ１を含む。

以下に、図２を参照して、図６に示した検査システム１により検査治具１１と被検査体２の平行度を判定する方法の例を説明する。まず、ステップＳ１０において、間隔調整装置１８が、被検査体２と検査治具１１の間隔を第１の対向距離Ｄ１に設定する。例えば、プローブ１０と端子２１が接触する距離を第１の対向距離Ｄ１に設定してもよい。

次いで、ステップＳ２０において、切替器１２により測定装置１３と接続するプローブ１０を切り替えながら、測定装置１３が、プローブ１０ごとに第１の対向距離Ｄ１における合成電気抵抗を電気パラメータとして順次測定する。或いは、切替器１２が複数のプローブ１０を同時に測定装置１３と電気的に接続して、測定装置１３が、複数のプローブ１０について同時に合成電気抵抗を測定する。測定された合成電気抵抗は、プローブ１０ごとに第１の対向距離Ｄ１に関連付けて測定値記憶装置１６に記憶される。例えば第１の対向距離Ｄ１においてプローブ１０と端子２１が接触する場合、測定される合成電気抵抗はゼロΩである。

次に、ステップＳ３０において、間隔調整装置１８が、被検査体２と検査治具１１の間隔を第１の対向距離Ｄ１と異なる第２の対向距離Ｄ２に設定する。例えば、第１の対向距離Ｄ１においてプローブ１０と端子２１が接触する場合に、第２の対向距離Ｄ２を第１の対向距離Ｄ１よりも長く設定する。

次いで、ステップＳ４０において、測定装置１３が、プローブ１０ごとに第２の対向距離Ｄ２における合成電気抵抗を電気パラメータとして測定する。測定された合成電気抵抗は、プローブ１０ごとに第２の対向距離Ｄ２に関連付けて測定値記憶装置１６に記憶される。

ステップＳ５０において、検出装置１４が、第１の対向距離Ｄ１において測定された合成電気抵抗と第２の対向距離Ｄ２において測定された合成電気抵抗を用いて、対向距離Ｄの変化に起因する合成電気抵抗の変化量をプローブ１０ごとに検出する。例えば、検出装置１４が、第１の対向距離Ｄ１において測定された合成電気抵抗と第２の対向距離Ｄ２において測定された合成電気抵抗の差分を、対向距離Ｄの変化に起因する合成電気抵抗の変化量（以下において、「差分電気抵抗Ｒｄ」とも称する。）として検出する。検出された差分電気抵抗Ｒｄは、判定装置１５に送信される。例えば第１の対向距離Ｄ１においてプローブ１０と端子２１が接触する場合、第１の対向距離Ｄ１において測定された合成電気抵抗はゼロΩであるため、差分電気抵抗Ｒｄは、第２の対向距離Ｄ２において測定された合成電気抵抗である。

ステップＳ６０において、判定装置１５が、差分電気抵抗Ｒｄに基づいて、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されているか否かを判定する。例えば、判定装置１５は、それぞれのプローブ１０について、差分電気抵抗Ｒｄが所定の判定値の範囲内であるか否かを判定する。判定装置１５は、すべてのプローブ１０において差分電気抵抗Ｒｄが判定値の範囲内である場合に、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されていると判定する。一方、差分電気抵抗Ｒｄが判定値の範囲内にないプローブ１０が１つでもあれば、判定装置１５は、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されていないと判定する。

例えば第１の対向距離Ｄ１でプローブ１０と端子２１が接触する場合、判定装置１５は、第２の対向距離Ｄ２において測定された合成電気抵抗がすべてのプローブ１０においてオープン抵抗値であると、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されていると判定する。ここで、「オープン抵抗値」は、プローブ１０と基準端子２２が離間していることを示す抵抗値である。オープン抵抗値は、第１の対向距離Ｄ１においてプローブ１０と端子２１が接触している状態の合成電気抵抗より大きい。

第１の対向距離Ｄ１と第２の対向距離Ｄ２は、第１の対向距離Ｄ１における合成電気抵抗と第２の対向距離Ｄ２における合成電気抵抗の比較が可能な距離に設定される。

例えば、第１の対向距離Ｄ１をプローブ１０と端子２１が接触する距離とし、第２の対向距離Ｄ２をプローブ１０と端子２１が離間する距離に設定してもよい。このとき、第１の対向距離Ｄ１において、測定装置１３が、すべてのプローブ１０と基準端子２２の間の電気抵抗がショート抵抗値であることを確認してもよい。ここで、「ショート抵抗値」とは、プローブ１０と基準端子２２が接触していることを示す抵抗値であり、ほぼゼロΩである。第２の対向距離Ｄ２は、例えば、検査治具１１と被検査体２の平行度が許容範囲である場合にすべてのプローブ１０と端子２１が離間する距離に設定される。

すべてのプローブ１０が端子２１とそれぞれ接触するように第１の対向距離Ｄ１を設定した場合には、第２の対向距離Ｄ２は、例えば図７に示す方法により設定してもよい。

図７のステップＳ３１において、間隔調整装置１８が、被検査体２と検査治具１１の間隔を第１の対向距離Ｄ１に設定する。このとき、すべてのプローブ１０について合成電気抵抗がショート抵抗値であることを確認してもよい。次いで、ステップＳ３２において、間隔調整装置１８が、被検査体２と検査治具１１の間隔を広げる。

ステップＳ３３において、測定装置１３が、複数のプローブ１０のうちの任意の１つと基準端子２２の間の電気抵抗を測定する。例えば、測定装置１３が、第１プローブ１０１と基準端子２２の間の電気抵抗を測定する。以下において、ステップＳ３３において測定された電気抵抗値を「設定用電気抵抗値」とも称する。

ステップＳ３４において、測定装置１３は、設定用電気抵抗値がオープン抵抗値であるか否かを判定する。設定用電気抵抗値がオープン抵抗値である場合には、処理はステップＳ３５に進み、その時の被検査体２と検査治具１１の間隔を第２の対向距離Ｄ２に設定する。このため、第２の対向距離Ｄ２は、プローブ１０と端子２１が離間している距離である。一方、ステップＳ３４において設定用電気抵抗値がオープン抵抗値でない場合には、処理はステップＳ３２に戻り、被検査体２と検査治具１１の間隔を広くする。その後、処理はステップＳ３３に進む。

なお、すべてのプローブ１０が端子２１と接触するように第１の対向距離Ｄ１を設定する場合には、被検査体２と検査治具１１の間隔を第１の対向距離Ｄ１を設定する前に、被検査体２と検査治具１１とがある程度は平行であるように留意する。被検査体２に対して検査治具１１が大きく傾いていると、第１の対向距離Ｄ１において端子２１に強く接触するプローブ１０により端子２１が破損する可能性がある。

上記では、第１の対向距離Ｄ１よりも第２の対向距離Ｄ２が長い場合を説明した。或いは、第１の対向距離Ｄ１よりも第２の対向距離Ｄ２を短くしてもよい。例えば、対向距離Ｄが十分に大きく合成電気抵抗が無限大である状態から、測定装置１３が合成電気抵抗を測定できる第１の対向距離Ｄ１まで対向距離Ｄを狭くする。その場合、任意のプローブ１０について合成電気抵抗を測定しながら、徐々に対向距離Ｄを狭くしてもよい。そして、有効な合成電気抵抗が測定された対向距離Ｄを第１の対向距離Ｄ１に設定する。第１の対向距離Ｄ１において合成電気抵抗を測定した後、第１の対向距離Ｄ１における測定値から合成電気抵抗が変化するまで、任意のプローブ１０について合成電気抵抗を測定しながら、徐々に対向距離Ｄを短くする。そして、第１の対向距離Ｄ１における測定値から合成電気抵抗が変化した対向距離Ｄを、第２の対向距離Ｄ２に設定する。

ところで、複数のプローブ１０と基準端子２２の間の電気抵抗を測定しながら、対向距離Ｄを変化させてもよい。その場合、切替器１２が、検査治具１１が保持する複数のプローブ１０のうち２本以上のプローブ１０を選択的に測定装置１３と電気的に接続する。

以下に、切替器１２が、第１プローブ１０１および第３プローブ１０３を同時に測定装置１３と電気的に接続する例を説明する。この例では、以下に説明するように、測定装置１３が、第１プローブ１０１と基準端子２２の間の電気抵抗と、第３プローブ１０３と基準端子２２の間の電気抵抗を同時に測定する。

対向距離Ｄを変化させながら、測定装置１３が、第１プローブ１０１と基準端子２２の間の電気抵抗（以下、「第１設定抵抗Ｒｓ１」と称する。）と、第３プローブ１０３と基準端子２２の間の電気抵抗（以下、「第３設定抵抗Ｒｓ３」と称する。）を同時に測定する。検出装置１４は、測定装置１３が測定した第１設定抵抗Ｒｓ１と第３設定抵抗Ｒｓ３を、測定と同時にモニタする。検出装置１４は、第１設定抵抗Ｒｓ１と第３設定抵抗Ｒｓ３の少なくともいずれかが所定の抵抗しきい値の範囲から外れた時点で、対向距離Ｄの変化を停止させる。抵抗しきい値は、プローブ１０と端子２１の間の電気抵抗の変化を検出するための目安となる電気抵抗値である。対向距離Ｄの変化を停止した後にプローブ１０ごとに合成電気抵抗を測定することにより、ＸＹ平面における合成電気抵抗の面内分布を取得することができる。

合成電気抵抗の面内分布を取得することにより、検査治具１１と被検査体２の平行度を効率的に判定することができる。一方、１本のプローブ１０と基準端子２２の間の電気抵抗値により対向距離Ｄを設定する場合には、以下のような問題が生じる可能性がある。例えば、第１プローブ１０１の先端に対して第３プローブ１０３の先端が被検査体２に近い場合に、第３プローブ１０３と第３端子２１３が接触した状態で、第１プローブ１０１は第１端子２１１に接触していない。その場合、すべてのプローブ１０について合成電気抵抗を測定したときに、検査治具１１と被検査体２の平行度を合成電気抵抗の面内分布により判定することが困難である。

これに対し、複数のプローブ１０と基準端子２２の間の電気抵抗を測定しながら対向距離Ｄを変化させることにより、被検査体２の電気抵抗値の面内分布の傾向を検出できる。面内分布の傾向を検出することにより、効率的に検査治具１１と被検査体２の平行度を判定することができる。

上記では、切替器１２が、第１プローブ１０１と第３プローブ１０３を同時に測定装置１３と電気的に接続する例を説明したが、任意の複数のプローブ１０を同時に測定装置１３と接続してもよい。なお、検査治具１１の中央部と外縁部にそれぞれ配置されたプローブ１０について同時に電気抵抗値を測定することにより、検査治具１１の傾きや撓りによる影響を考慮することができる。

以上に説明した電気パラメータが電気抵抗である検査システム１では、プローブ１０のそれぞれの差分電気抵抗Ｒｄを判定値と比較する方法により、被検査体２と検査治具１１の平行度を判定する。しかし、差分電気抵抗Ｒｄを用いた他の方法によって被検査体２と検査治具１１の平行度を判定してもよい。

例えば、プローブ１０についてそれぞれ検出された差分電気抵抗Ｒｄにおける最大値と最小値の差が所定の判定値の範囲内である場合に、検査システム１が、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されていると判定してもよい。或いは、複数のプローブ１０の１つを基準プローブとして選択し、基準プローブの測定値を用いて平行度を判定してもよい。すなわち、検査システム１が、基準プローブを除いた他のすべてのプローブ１０の差分電気抵抗Ｒｄと基準プローブの差分電気抵抗Ｒｄとの差が所定の判定値の範囲内である場合に、被検査体２と検査治具１１が平行に配置されていると判定してもよい。

以上に説明したように、第２の実施形態に係る検査システム１では、対向距離Ｄの変化に起因して変化する電気パラメータとして電気抵抗を使用し、電気抵抗の変化量に基づいて検査治具１１と被検査体２の平行度を判定する。他は、第２の実施形態は第１の実施形態と実質的に同様であり、重複した記載を省略する。

（その他の実施形態）
上記のように本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替の実施形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。

例えば、上記では被検査体２を戴置した検査ステージ１８１をＺ方向に移動させることにより対向距離Ｄを変化させる例を説明した。しかし、検査治具１１をＺ方向に移動させることにより対向距離Ｄを変化させてもよい。

また、上記では、被検査体２の特性を検査する例を説明したが、被検査体２の外観検査や寸法検査を行うために、被検査体２の平行度を確認してもよい。また、被検査体２の平行度を確認した後に、検査システム１に代えて他の検査システムを用いて被検査体２の特性検査を実行してもよい。例えば、検査治具１１に他の検査装置を接続して、被検査体２を検査してもよい。

被検査体２がプリント基板である場合を例示的に説明したが、被検査体２がプリント基板以外であってもよい。例えば、被検査体２がウェハに形成された半導体装置であってもよい。被検査体２が半導体装置である場合、検査システム１は、半導体装置の電気的特性などの検査に使用される。検査システム１では、半導体装置の電気的特性を検査する前に、半導体装置に形成された端子２１に対向するプローブ１０について電気パラメータを測定することにより、検査治具１１とウェハの平行度が判定される。

或いは、被検査体２は、金属板や絶縁板であってもよい。また、被検査体２が加工対象物であってもよい。すなわち、被検査体２の平行度を確認した後に、加工装置を用いて被検査体２の研削加工または研磨加工を行ってもよい。検査システム１は、検査または加工する対象が平面である板状などの被検査体２の平行度の確認に、好適に使用することができる。

このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態などを含むことはもちろんである。

１…検査システム
２…被検査体
１０…プローブ
１１…検査治具
１２…切替器
１３…測定装置
１４…検出装置
１５…判定装置
１８…間隔調整装置
２１…端子

Claims (21)

1. 被検査体の平行度の検査に使用される検査システムであって、
   前記被検査体とそれぞれの先端が対向するように配置された複数のプローブを有する検査治具と、
   前記プローブごとに、前記被検査体と前記先端の間隔に依存して変化する電気パラメータを測定する測定装置と、
   複数の前記間隔においてそれぞれ測定された前記電気パラメータの測定値を用いて、前記間隔の変化に起因する前記電気パラメータの変化量を、前記プローブごとに検出する検出装置と、
   前記電気パラメータの前記変化量に基づいて、前記被検査体と前記検査治具が平行に配置されているか否かを判定する判定装置と
   を備える、検査システム。
2. 前記判定装置が、前記プローブのすべてにおいて前記変化量が所定の判定値の範囲内である場合に、前記被検査体と前記検査治具が平行に配置されていると判定する、請求項１に記載の検査システム。
3. 前記判定装置が、前記プローブについてそれぞれ検出された前記変化量の最大値と最小値の差が所定の判定値の範囲内である場合に、前記被検査体と前記検査治具が平行に配置されていると判定する、請求項１に記載の検査システム。
4. 前記判定装置が、複数の前記プローブの１つを基準プローブとして、前記基準プローブを除いた他のすべての前記プローブでそれぞれ検出された前記変化量と前記基準プローブで検出された前記変化量との差が所定の判定値の範囲内である場合に、前記被検査体と前記検査治具が平行に配置されていると判定する、請求項１に記載の検査システム。
5. 前記プローブについてそれぞれ測定された前記電気パラメータの測定値の平均値に最も近い測定値が測定された前記プローブを前記基準プローブに選択する、請求項４に記載の検査システム。
6. 前記電気パラメータが、前記被検査体と前記プローブの前記先端との間の電気容量を含む、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の検査システム。
7. 前記測定装置が前記電気パラメータを測定するときの前記間隔が、前記被検査体と前記プローブの前記先端との間の電気容量がゼロである第１の対向距離と、前記第１の対向距離よりも短い第２の対向距離を含む、請求項６に記載の検査システム。
8. 前記電気パラメータが、前記被検査体と前記プローブの前記先端との間の電気抵抗を含む、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の検査システム。
9. 前記測定装置が前記電気パラメータを測定するときの前記間隔が、前記プローブが前記被検査体と接触する第１の対向距離と、前記プローブと前記被検査体が離間している第２の対向距離を含む、請求項８に記載の検査システム。
10. 前記測定装置が、複数の前記プローブについて前記電気パラメータを同時に測定する、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の検査システム。
11. 前記プローブを前記被検査体と接触させて前記被検査体の特性を検査する、請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の検査システム。
12. 複数のプローブを有する検査治具を、前記プローブの先端が被検査体と対向するように配置し、
    前記プローブごとに、前記被検査体と前記先端の間隔に依存して変化する電気パラメータを測定し、
    複数の前記間隔においてそれぞれ測定された前記電気パラメータの測定値を用いて、前記間隔の変化に起因する前記電気パラメータの変化量を、前記プローブごとに検出し、
    前記電気パラメータの前記変化量に基づいて、前記被検査体と前記検査治具が平行に配置されているか否かを判定する
    を含む、検査方法。
13. 前記プローブのすべてにおいて前記変化量が所定の判定値の範囲内である場合に、前記被検査体と前記検査治具が平行に配置されていると判定する、請求項１２に記載の検査方法。
14. 前記プローブについてそれぞれ検出された前記変化量の最大値と最小値の差が所定の判定値の範囲内である場合に、前記被検査体と前記検査治具が平行に配置されていると判定する、請求項１２に記載の検査方法。
15. 複数の前記プローブの１つを基準プローブとして、前記基準プローブを除いた他のすべての前記プローブでそれぞれ検出された前記変化量と前記基準プローブで検出された前記変化量との差が所定の判定値の範囲内である場合に、前記被検査体と前記検査治具が平行に配置されていると判定する、請求項１２に記載の検査方法。
16. 前記プローブについてそれぞれ測定された前記電気パラメータの測定値の平均値に最も近い測定値が測定された前記プローブを前記基準プローブに選択する、請求項１５に記載の検査方法。
17. 前記電気パラメータが、前記被検査体と前記プローブの前記先端との間の電気容量を含む、請求項１２乃至１６のいずれか１項に記載の検査方法。
18. 前記電気パラメータを測定するときの前記間隔が、前記被検査体と前記プローブの前記先端との間の電気容量がゼロである第１の対向距離と、前記第１の対向距離よりも短い第２の対向距離を含む、請求項１７に記載の検査方法。
19. 前記電気パラメータが、前記被検査体と前記プローブの前記先端との間の電気抵抗を含む、請求項１２乃至１６のいずれか１項に記載の検査方法。
20. 前記電気パラメータを測定するときの前記間隔が、前記プローブが前記被検査体と接触する第１の対向距離と、前記プローブと前記被検査体が離間している第２の対向距離を含む、請求項１９に記載の検査方法。
21. 複数の前記プローブについて前記電気パラメータを同時に測定する、請求項１２乃至２０のいずれか１項に記載の検査方法。

Images