JP2023094519A - 光子源及び光子源を作製する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
-波長範囲700-2000nmにおいて放出される複数の量子ドット
-厚さλ/4から2*λの半導体層内、ここで、λは層内の効果的な波長の放出である
-λ/2から5*λの間の直径を有する中央メサ
-幅>50nm及び<1000nmの前記半導体層内の一連の2つ以上の同心トレンチ
-ここで、前記トレンチは、中央メサを接続する1つ以上の半導体ブリッジによってさえぎられる
-屈折率が前記半導体層よりも低い、上記の下にある及び上記と接触する誘電体スペーサ層
-上記の下にある及び上記と接触する反射層
第1の基板に横たわる犠牲層を形成することと、
犠牲層に横たわる第1のドープ半導体層を形成することと、
第1のドープ半導体層に横たわる量子ドットを備えるドープされていない半導体層を形成することと、
ドープされていない半導体層に横たわる第2のドープ半導体を形成することと、第2のドープ半導体層は、第1のドープ半導体層に対向する両極性型を有し、
第2のドープ半導体層に横たわる誘電体層を形成することと、
誘電体層に横たわる金属層を形成することと、
第2の基板に横たわる金属層を形成することと、
接合された構造を形成するために、第1の基板に横たわる金属層を前記第2の基板に横たわる金属層にフリップチップボンディングすることと、
接合された構造から第1の基板と犠牲層とを除去することと、
犠牲層を除去するステップによって露光する面上に中央ディスクを囲む同心リングのパターンを形成することと、前記パターンはまた、中央ディスクから径方向に伸長する少なくとも1つのブリッジを備え、パターンはエッチングによって形成され、
2つのドープされた半導体層への接触を形成することとを含む。
・上記バンド励起 ポンピングレーザーのエネルギーがバルク材バンドギャップよりも高いとき。このスキームでは、電子及び正孔は、バリア材料のバンド端上で励起され、QDによって捕捉され、これらは、フォノン相互作用を介してこれらのエネルギーをより低くし、結果として放射状態及び再結合に達する。
・準共鳴励起 ポンピングレーザーのエネルギーがQD内の高次状態間のエネルギー差、又はLOフォノン共鳴のエネルギーに一致する場合。
・共鳴励起 到来光子エネルギーが所定の光学遷移と共鳴してオンにされるとき。共鳴励起下で放出される光は、共鳴蛍光(RF)として知られている。励起波長は、放出波長と同じであることから、この技術は、ポンプレーザーの最適化された抑制を必要とする。
・温度同調 数十度Kまで温度を増加させるために放出波長が赤方偏移される。
・電界同調 デバイスにわたる電圧の印加により発生した電界は、量子閉じ込めシュタルク効果のおかげで放出波長を修正することができる。
1)Stranski-Krastanov(SK)モードは、異なる半導体間の格子不一致に依存する。この成長モードにおいて、As及びInフラックスは、同時に基板に供給される。最初に、成長は2次元であり、著しくひずんだInAs湿潤層が形成される。InAsとInp基板との間に格子不一致によってもたらされるひずみは、湿潤層の厚さで増加する。臨界厚さの後、成長停止は、均一であり、表面張力を最少化するためにQDアイランドは形成することを開始する。
2)一方、液滴エピタキシー(DE)は、QD形成の間、ひずみに依存しない。代わりに、In及びAsフラックスは、SK QDと比較してより低い温度で別々に供給される。
最初に、InのようなグループIII金属元素が基板面上に配置され、ナノメートルサイズの液滴の自発的形成につながる。この段階では、基板の温度、又はユニットエリア毎に配置された材料の総量のいずれかを変更することにより、液滴濃度とサイズを制御することが可能である。一旦このステップが完了すると、金属源は閉じられ、Asのような所望の非金属グループV元素の放射により、金属液滴の結晶化による成長が継続する。
-スラブの厚さの20nmのバリエーションは、キャビティモードで~10nm波長シフトにつながる
-中央ディスクの半径の10nmのバリエーションはおおよそ20nmだけ共振波長をシフトする
-周期が15nmだけ変化するとき、キャビティモードはおおよそ10nmだけ移動する。
Claims (20)
- 光子源であって、
量子ドットと、光キャビティとを備え、
前記光キャビティは、
回折ブラッグ格子「DBG」と、
平面反射層とを備え、
前記DBGは、中央ディスクを囲む複数の同心反射リングと、前記中央ディスクから複数の同心リングにわたって伸長する少なくとも1つの導電トラックとを備え、前記量子ドットは、前記中央ディスク内に設けられ、前記平面反射層は、前記DBGの対向する側から光を優先的に放出させるように前記DBGの一方に設けられる、光子源。 - 前記平面反射層は、金属反射層である、請求項1に記載の光子源。
- 前記量子ドットは、半導体層に設けられ、誘電体スペーサ層は、前記量子ドットと前記平面反射層との間に設けられる、請求項1又は2に記載の光子源。
- 前記複数の反射リングは、複数のトレンチを備える、請求項3に記載の光子源。
- 前記量子ドットは、ドープされていない半導体層に設けられ、前記ドープされていない半導体層は、第1のドープ半導体層と第2のドープとの間に設けられ、前記トレンチは、前記ドープされていない半導体層、前記第1のドープ半導体層、及び第2のドープ半導体層、を通して伸長し、前記少なくとも1つの導電トラックは、第1のドープ半導体材料及び/又は第2のドープ半導体材料のうちの少なくとも1つを備える半導体材料のブリッジによって設けられる、請求項4に記載の光子源。
- 前記トレンチは、エッチングされたトレンチであり、前記半導体材料のブリッジは、エッチングされていない領域である、請求項5に記載の光子源。
- 前記トレンチは、前記誘電体スペーサに伸長し、前記誘電体スペーサ層はエッチング停止層として機能する、請求項6に記載の光子源。
- 第1のドープ層は、n型ドープ層であり、n型接触が前記n型ドープ層に設けられ、第2のドープ層はp型ドープ層であり、p型接触が最外部の同心リングの縁の前記p型ドープ層に設けられる、請求項6又は7に記載の光子源。
- 前記中央ディスクから放射状に伸長する複数のブリッジがある、請求項5に記載の光子源。
- 前記複数のブリッジは、前記中央ディスクの周りを回転して対照的に配置される、請求項9に記載の光子源。
- 前記ブリッジの幅は、少なくとも150nmであり、多くても500nmである、請求項5に記載の光子源。
- 前記トレンチの幅は、少なくとも50nmであり、多くて600nmである、請求項5に記載の光子源。
- 前記量子ドットから放出された放射を収集するように位置付けられた光ファイバをさらに備える、請求項5に記載の光子源。
- 半導体は、GaAs又はInPを備える、請求項5に記載の光子源。
- 前記ブリッジの幅は、前記同心リングの半径に沿って一定である、請求項5に記載の光子源。
- 前記量子ドットは、700nmから2000nmの波長を有する放射を放出するように構成されている、請求項1に記載の光子源。
- 光子源を作製する方法であって、
第1の基板に横たわる犠牲層を形成することと、
前記犠牲層に横たわる第1のドープ半導体層を形成することと、
前記第1のドープ半導体層に横たわる量子ドットを備えるドープされていない半導体層を形成することと、
前記ドープされていない半導体層に横たわる第2のドープ半導体を形成することと、第2のドープ半導体層は、前記第1のドープ半導体層に対向する両極性型を有し、
前記第2のドープ半導体層に横たわる誘電体層を形成することと、
前記誘電体層に横たわる金属層を形成することと、
第2の基板に横たわる金属層を形成することと、
接合された構造を形成するために、前記第1の基板に横たわる前記金属層を前記第2の基板に横たわる前記金属層にフリップチップボンディングすることと、
前記接合された構造から前記第1の基板と犠牲層とを除去することと、
前記犠牲層を除去するステップによって露光する面上に中央ディスクを囲む同心リングのパターンを形成することと、前記パターンはまた、前記中央ディスクから径方向に伸長する少なくとも1つのブリッジを備え、前記パターンはエッチングによって形成され、
2つのドープされた半導体層への接触を形成することとを含む、方法。 - 前記パターンは、前記誘電体層にまで下がってエッチングされる、請求項17に記載の方法。
- 接触は、ドープ半導体層に形成され、前記接触は、外側同心リングの端に形成される、請求項17又は18に記載の方法。
- 前記接触は、前記パターンをエッチングする前に形成される、請求項19に記載の方法。
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GB2118970.9A GB2614300A (en) | 2021-12-23 | 2021-12-23 | A photon source and method of fabricating a photon source |
GB2118970.9 | 2021-12-23 |
Publications (2)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2020530666A (ja) * | 2017-08-11 | 2020-10-22 | オプティパルス・インコーポレイテッド | ハイパワーのレーザグリッド構造 |
Non-Patent Citations (1)
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LIANG, GUOZHEN ETC.: "Single-mode surface-emitting concentric-circular-grating terahertz quantum cascade lasers", APPL. PHYS. LETT., vol. 102, JPN7023003463, January 2013 (2013-01-01), US, pages 1 - 031119, ISSN: 0005154435 * |
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