JP2023093819A - 観察方法、観察装置、及び、プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】観察方法、観察装置、及びプログラムにおいて、ユーザによる観察対象の外周面の確認を容易にする。【解決手段】観察方法は、回転可能なステージ２５に載置された観察対象Ｓを、ステージ２５の回転角度が異なる複数の位置のそれぞれで、ステージ２５の回転中心Ｃとは異なる方向から撮像する工程と、複数の位置で撮像された複数の画像（例えば撮像画像Ｐ１～Ｐ４）のそれぞれにおけるステージ２５の回転角度を取得する工程と、複数の画像を、対応するステージ２５の回転角度と関連づけて表示部（例えば表示装置４０）に表示させる工程とを含む。【選択図】図６

Description

本明細書の開示は、観察方法、観察装置、及びプログラムに関する。

従来、ヘッド傾斜機構に装着されたヘッド部が揺動軸を中心に揺動可能で、且つ、ステージが観察対象物を回転させる拡大観察装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

また、撮像部が、所定の速度で回転する円柱状の検査対象の側面の一次元画像を繰り返し撮像し、制御部が、これらの一次元画像を合成して、検査対象の一周分の側面展開画像（検査画像）を多値画像のまま作成する欠陥検査装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

特開２０１５－１２７７７７号公報 特許第６５９５８００号公報

ところで、観察対象を撮像する撮像部を有するヘッドがチルト可能である場合、観察対象の外周面を観察することができる。更に、観察対象が載置されるステージが回転可能である場合、観察対象の外周面の任意の位置を観察することができる。これにより、例えば、円筒形状などの転がりやすい観察対象について、横に寝かせてＶ字状のブロックなどで保持しなくとも観察対象の外周面の任意の位置を観察することができる。そのため、ヘッドのストロークがブロック分短くなるのを回避することができる。

しかしながら、観察対象の外周面の任意の位置の画像が表示部に表示される場合、ユーザは、観察対象の外周面から不具合箇所を探すときなどには、複数回に分けて画像の確認を行うことになる。そのため、観察対象の外周面を直観的に把握することができない。

なお、観察対象の外周面が曲面である場合には、表示部の表示面が平面形状を成すため、観察対象の外周面を直観的に把握することが特に困難である。

以上のような実情を踏まえ、本発明の一側面に係る目的は、ユーザによる観察対象の外周面の確認を容易にすることができる観察方法、観察装置、及びプログラムを提供することである。

１つの態様では、観察方法は、回転可能なステージに載置された観察対象を、前記ステージの回転角度が異なる複数の位置のそれぞれで、前記ステージの回転中心とは異なる方向から撮像する工程と、前記複数の位置で撮像された複数の画像のそれぞれにおける前記ステージの回転角度を取得する工程と、前記複数の画像を、対応する前記ステージの回転角度と関連づけて表示部に表示させる工程とを含む。

他の１つの態様では、観察装置は、観察対象が載置される回転可能なステージと、前記ステージの回転角度が異なる複数の位置のそれぞれで、前記ステージの回転中心とは異なる方向から前記観察対象を撮像する撮像部と、前記撮像部によって撮像された前記観察対象の画像を表示する表示部と、前記複数の位置で撮像された複数の画像のそれぞれにおける前記ステージの回転角度を検出する回転角度検出部と、前記複数の画像を、対応する前記ステージの回転角度と関連づけて前記表示部に表示させる制御部とを備える。

他の１つの態様では、プログラムは、回転可能なステージに載置された観察対象を、前記ステージの回転角度が異なる複数の位置のそれぞれで、前記ステージの回転中心とは異なる方向から撮像した画像を取得する機能と、前記複数の位置で撮像された複数の画像のそれぞれにおける前記ステージの回転角度を取得する機能と、前記複数の画像を、対応する前記ステージの回転角度と関連づけて表示部に表示させる機能とをコンピュータに実行させる。

前記態様によれば、ユーザによる観察対象の外周面の確認を容易にすることができる。

一実施の形態に係る観察装置の構成を示す右側面図である。 一実施の形態に係る観察装置の一部を示す右側面図である。 一実施の形態に係る観察装置の一部を示す正面図である。 一実施の形態におけるＸＹステージ及び回転ステージを示す正面図である。 一実施の形態における表示画面を示す図である。 一実施の形態に係る観察方法を説明するためのフローチャートである。 一実施の形態における撮像画像及び貼り合わせ画像を説明するための説明図である。 一実施の形態における表示画面の表示内容の一例を示す図である。 一実施の形態における観察対象の撮像を説明するための平面図である。 一実施の形態における観察対象の形状を説明するための平面図である。 一実施の形態における観察対象の形状及び撮像方法を説明するための平面図である。 一実施の形態における観察対象の撮像方法を説明するための平面図である。 一実施の形態における合焦位置の判別を説明するためのコントラストとＺ位置との関係を示す図である。 コンピュータのハードウェア構成を例示した図である。

以下、本発明の一実施の形態に係る、観察方法、観察装置、及びプログラムについて、図面を参照しながら説明する。

図１は、一実施の形態に係る観察装置１０の構成を示す右側面図である。

なお、図１並びに後述する図２～図４及び図９～図１２に示すＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は、例えば、Ｘ軸方向及びＹ軸方向が互いに直交する水平方向であり、Ｚ軸方向が鉛直方向である。

図１に示す観察装置１０は、顕微鏡２０と、顕微鏡２０を制御する制御装置３０と、表示装置４０と、入力装置５０とを備える。なお、顕微鏡２０が、表示部（表示装置４０）及び制御部（制御装置３０）を備えるデジタルマイクロスコープなどである場合には、顕微鏡２０自体が観察装置として機能することができる。

顕微鏡２０は、ヘッド２１と、光源２２と、観察光学系２３と、チルト部２４と、ステージ２５と、フレーム２６と、デジタルカメラ２７と、操作部２８とを有する。光源２２及びデジタルカメラ２７は、ハーフミラー、ダイクロイックミラー、偏光ビームスプリッタなどの光路分割素子（スプリッタ）とともにヘッド２１内に設けられている。スプリッタで分岐した光路の一方に光源２２が配置され、他方にデジタルカメラ２７が配置される。

ヘッド２１は、チルト部２４を介してフレーム２６に保持されている。ヘッド２１は、観察対象（試料）Ｓと観察光学系２３との間の距離を変更する焦準部の一例であり、チルト部２４に保持された状態で対物レンズ２３１の光軸（図３に示す観察光軸Ａ）と平行に移動可能である。また、ヘッド２１は、フレーム２６によって保持されたチルト部２４とともに、図２に示す回転軸部２４１を中心（Ｙ軸方向）として、図３に示すように回転（チルト）する。回転軸部２４１の中心は、ステージ２５又は観察対象Ｓの上面又はその近傍を通って延び、ユーセントリック観察を行うことができるとよい。なお、回転軸部２４１は、フレーム２６に固定され、チルト部２４のベアリングによって保持されているとよい。また、回転軸部２４１は、フレーム２６に設けられたスケールの位置情報を読み出すスケールヘッドを有するとよい。このスケールヘッドは、フレーム２６のスケールの位置情報を読み出すことによって回転軸部２４１の回転角度を検出する。なお、スケールヘッドは、例えば、ロータリーエンコーダであることが望ましい。このように、顕微鏡２０には、スケールヘッド（ロータリーエンコーダ）が設けられていることによってヘッド２１（及びチルト部２４）の傾き角度を検出する傾き角度検出部が設けられているといえる。

ヘッド２１の観察光軸Ａ方向（図３参照）の移動は、例えば、手動で行われるが、制御装置３０によって制御されてもよい。ヘッド２１が観察光軸Ａ方向に移動する際には、制御装置３０は、例えば、チルト部２４のＺ軸保持部２４２のリニアスケールの位置情報をヘッド２１に固定されたスケールヘッドで読み出すことでヘッド２１の観察光軸Ａ方向（Ｚ軸方向）の位置を検出する。なお、ヘッド２１の移動方向である観察光軸Ａ方向は、ヘッド２１が正立状態ではＺ軸方向（鉛直方向）であるが、ヘッド２１がチルトした状態では、Ｚ軸方向に対して傾斜した方向となる。

ヘッド２１のチルトは、ユーザによって手動で行われる。ヘッド２１のチルト角度は、例えば、正立状態からプラスマイナス９０°の範囲である。

光源２２は、落射照明用の光源であり、例えば、白色ＬＥＤである。光源２２は、キセノンランプ、ハロゲンランプなどの他の光源であってもよい。光源２２から出射された照明光は、照明レンズでコリメートされる。コリメートされた照明光は、スプリッタで反射し、対物レンズ２３１を介してステージ２５に配置された観察対象Ｓに照射される。

観察光学系２３は、照明光が照射された観察対象Ｓの光学像をデジタルカメラ２７へ投影する。観察光学系２３は、例えば、対物レンズ２３１と結像レンズとを含んでいる。対物レンズ２３１は、レボルバで切り替え可能である。複数の異なる倍率の対物レンズがレボルバに装着されてもよく、ユーザの選択に応じて複数の対物レンズの中から任意の対物レンズが観察光軸Ａ上に配置されてもよい。

デジタルカメラ２７は、観察対象Ｓを撮像する撮像部の一例である。デジタルカメラ２７は、イメージセンサ２７１を含む。このイメージセンサ２７１は、例えば、ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサなどの撮像素子である。デジタルカメラ２７は、観察対象を撮像し、観察対象Ｓの画像を制御装置３０へ出力する。これにより、制御装置３０は、撮像された画像を取得する取得部として機能する。

観察対象Ｓが載置されるステージ２５は、ＸＹステージ２５１と回転ステージ２５２と、Ｚステージ２５３とを含む。

図４に示すように、ＸＹステージ２５１は、Ｘ軸可動機構２５１ｘと、Ｙ軸可動機構２５１ｙとを含む。Ｘ軸可動機構２５１ｘは、観察対象Ｓの載置プレートをＸ軸方向に移動させるボールネジ２５１ｘａなどの送り機構と、スケール２５１ｘｂ・スケールヘッド２５１ｘｃなどのＸ座標検出機構と、モータ２５１ｘｄなどのアクチュエータと、手動操作のためのハンドル２５１ｘｅと、Ｘ軸可動機構２５１ｘを固定するための図示しないネジとの連結部分２５１ｘｆとを含む。Ｙ軸可動機構２５１ｙも、手動操作のためのハンドル２５１ｙａのみ図示するが、観察対象Ｓの載置プレートをＹ軸方向に移動させるボールネジなどの送り機構と、スケール・スケールヘッドなどのＹ座標検出機構と、モータなどのアクチュエータとを含む。

ＸＹステージ２５１は、例えば、電動ステージであり、制御装置３０によってＸＹ方向の位置が制御される。ＸＹステージ２５１は、回転ステージ２５２上に設けられる。なお、図４の例では、Ｘ軸可動機構２５１ｘ及びＹ軸可動機構２５１ｙのそれぞれにモータ２５１ｘｄ及びハンドル２５１ｘｅ，２５１ｙａが配置されているため、電動及び手動の両方による移動が可能となるが、モータ２５１ｘｄとハンドル２５１ｘｅ，２５１ｙａとのうち一方が省略され、電動及び手動のうちの一方による移動のみが可能であってもよい。

回転ステージ２５２は、図３に示すように鉛直方向に延びる回転中心Ｃを中心としてＸＹステージ２５１を回転させることによって、観察対象Ｓを回転させる。回転ステージ２５２の回転中心Ｃは、正立状態のヘッド２１の観察光軸Ａに一致する。回転ステージ２５２は、ステージ２５の回転角度を検出する例えばスケール・スケールヘッド（例えば、ロータリーエンコーダ）を有することによって、ステージ２５の回転角度を検出する回転角度検出部の一例として機能する。また、回転ステージ２５２は、モータなどのアクチュエータを含む。なお、ステージ２５の回転角度を検出する回転角度検出部は、ロータリーエンコーダ、磁気センサなどの回転角度を直接的に検出する部材であってもよいし、制御装置３０がステッピングモータのステップ数をカウントしたりステージ２５上のマーク（指標：例えば１本線）の向きを検出したりする場合などには、制御装置３０であってもよい。

Ｚステージ２５３は、観察対象Ｓと観察光学系２３との間の距離を変更する焦準部の一例である。Ｚステージ２５３は、例えば、電動ステージ又は手動ステージであり、手動の場合には図示しないハンドルで鉛直方向（Ｚ方向）の位置を調整可能である。なお、ＸＹステージ２５１、回転ステージ２５２、及びＺステージ２５３は、この例に限らず、それぞれ電動ステージであっても手動ステージであってもよい。

図１に示す操作部２８は、顕微鏡２０の動作などに関するユーザの各種操作情報の入力を受け付け、この入力情報を後述する制御装置３０に送る。例えば、操作部２８は、ステージ２５やヘッド２１を操作するための、ハンドル、スイッチ、ボタン、マウス、キーボード、ジョイスティック、ダイアル、タッチパネルなどの少なくとも１つを有するとよい。

制御装置３０は、顕微鏡２０を制御する装置であり、観察装置１０の制御部の一例である。制御装置３０は、複数の装置により構成されてもよい。制御装置３０は、例えば、主に顕微鏡２０の電動部の動作制御を担う顕微鏡コントローラと、主に顕微鏡２０で取得した画像に対する画像処理を担う汎用コンピュータと、を含んでもよい。

表示装置４０は、観察装置１０の表示部の一例であり、例えば、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイなどの任意のディスプレイである。

表示装置４０は、例えば、図５に示す表示画面４１を表示する。この表示画面４１の表示内容については後述するが、表示画面４１は、撮像ボタン（画像取得ボタン）や画像の保存ボタンなどの複数の操作ボタン４１ａ、取得した画像を表示するプレビュー表示部４１ｂ、現在の観察領域を表示するライブ画像表示部４１ｃ、取得した画像を貼り合わせたマップ画像を表示するマップ画像表示部４１ｄなどを有するとよい。なお、操作ボタン４１ａは、表示画面４１による表示領域に設けられ、タッチパネルの操作や入力装置５０を用いたカーソル操作などによって選択されるが、表示領域以外の領域に設けられて押下されるものであってもよい。また、操作ボタン４１ａが省略され、顕微鏡２０の操作部２８、入力装置５０などにおいて、操作ボタン４１ａを用いた操作と同様の操作が行われてもよい。

入力装置５０は、キーボード、マウス、タッチパッド、ジョイスティックなどの任意の入力装置である。

次に、図６を参照しながら、本実施の形態に係る観察方法について説明する。

まず、制御装置３０は、外周観察モードの設定を受け付ける（ステップＳ１）。この外周観察モードは、後述するが、ステージ２５の回転角度が異なる複数の位置のそれぞれで、ヘッド２１がチルトした状態（ヘッド２１の観察光軸Ａがステージ２５の回転中心Ｃとは平行ではない状態）で撮像された複数の画像を、ステージ２５の回転角度と関連づけて表示装置４０に表示させるモード（後述するプレビュー画像表示工程Ｓ１１などの表示を行うモード）である。

外周観察モードの設定は、例えば、表示画面４１の操作ボタン４１ａの設定ボタンを選択するユーザによる手動操作に基づいて行われてもよい。また、外周観察モードの設定は、例えば、ヘッド２１がチルト（後述するステップＳ４のように、ヘッド２１の観察光軸Ａがステージ２５の回転中心Ｃに対してチルト）し、閾値（例えば９０°）以上傾いた場合、ヘッド２１がチルトし且つステージ２５（回転ステージ２５２）が回転した場合、観察対象Ｓが曲面を有することが検出された場合（例えば、ヘッド２１がチルトした状態で）、３Ｄモデル作成時などに観察対象Ｓの高さが閾値以上であることが検出された場合、ヘッド２１が正立状態でデジタルカメラ２７を用いて観察対象Ｓの周縁が円形（真円形及び楕円形を含む）であると判定された場合、または観察対象Ｓの中心とステージ２５の回転中心Ｃとが一致する場合などのうちのいずれかの条件又は２つ以上の条件を満たす場合に、自動で設定されるか或いは実行設定を促すようにユーザに報知するとよい。なお、ユーザへの報知は、例えば、表示装置４０による表示、図示しない音声出力部による音声出力などにより行われるとよい。

次に、制御装置３０は、顕微鏡２０が正立状態であるか、すなわち、ステージ２５の回転中心Ｃに対するヘッド２１の観察光軸Ａの傾きが０°であるかを判別し、正立状態でなければ、ユーザによる手動で顕微鏡２０を正立状態とするようにユーザに報知する（ステップＳ２）。また、制御装置３０は、デジタルカメラ２７により撮像された画像に基づいて、観察対象Ｓの周縁の形状を識別したり３Ｄモデル作成時に観察対象Ｓの高さを識別したりする。制御装置３０がこれらの識別を行わない場合などには、ステップＳ２の工程は省略可能である。

次に、制御装置３０は、観察対象Ｓの中心とステージ２５の回転中心Ｃとを一致させるようにユーザに報知する（ステップＳ３）。観察対象Ｓの中心とステージ２５の回転中心Ｃとを一致させるように報知されたユーザは、例えば、ステージ２５上に付された「＋」のマーク、グリッド線や補助線などに基づいて、観察対象Ｓを移動させるとよい。なお、制御装置３０の制御によってステージ２５のＸＹステージ２５１をＸＹ方向に移動させて、観察対象Ｓの中心とステージ２５の回転中心Ｃとを一致させてもよい。

次に、制御装置３０は、ヘッド２１がチルトしていなければ、ユーザによる手動でヘッド２１をチルト（ここでは９０°）させるように、すなわち、ステージ２５の回転中心Ｃに対してヘッド２１の観察光軸Ａを傾けるように、ユーザに報知する（ステップＳ３）。また、制御装置３０は、例えば回転軸部２４１のスケールヘッドが検出した観察光軸Ａ（ヘッド２１）の傾き角度を取得する。

制御装置３０は、ヘッド２１がチルトした状態で、デジタルカメラ２７から取得される画像に基づいて、観察対象Ｓの被撮像部分の少なくとも一部（例えば、角柱形状であれば面であるが、円柱形状であれば面の一部）に対して観察光軸Ａが垂直であるかを判定する（ステップＳ５）。

例えば、観察対象Ｓの形状が、頂点が上端に位置する円錐形状である場合にヘッド２１が９０°チルトしているときなどには、制御装置３０は、観察対象Ｓの被撮像部分に観察光軸Ａが垂直でないと判定する（ステップＳ５：ＮＯ）。この場合、上述のステップＳ４の処理に戻るが、制御装置３０は、デジタルカメラ２７により撮像された画像に基づいて、被撮像部分に観察光軸Ａが垂直となる観察光軸Ａの傾き角度をユーザに報知するとよい。観察対象Ｓの被撮像部分に観察光軸Ａが垂直であるか否かは、撮像された画像中のある領域内に基づいて判定されてもいいし、閾値を設けて垂直からのズレがあってもズレが閾値の範囲内であれば垂直である（ステップＳ５：ＹＥＳ）とみなしてＳ６に進むことしてもいい。

例えば、観察対象ＳがステージXY平面に対して鉛直方向に延びる中心軸を有する円柱形状を呈する場合にヘッド２１が９０°チルトしているときなどには、制御装置３０は、デジタルカメラ２７により撮像された画像に基づいて、観察対象Ｓの被撮像部分に観察光軸Ａが垂直であると判定する（ステップＳ５：ＹＥＳ）。

この場合、制御装置３０は、ヘッド２１が合焦位置にあるかを判定する（ステップＳ６）。例えば、制御装置３０は、ある画素（エリア）のコントラスト値を見て、図１３に示すＺ位置（観察光軸Ａ方向の位置）が異なる複数の位置（例えば、位置１、位置２、位置３、及び位置４）のうち最もコントラスト値の高いピーク値におけるＺ位置（位置３）を合焦位置と判別することができる。これを全て又は一部（例えば注目領域のみ）の画素（エリア）で実施し、ヘッド２１をＺ位置に動かすことによって、公知の方法により全焦点画像や３Ｄ画像を生成することができる。このように全焦点画像や３Ｄ画像を生成する場合には、観察対象Ｓの外周面の粗さ測定を行ってもよい。なお、ヘッド２１が合焦位置にあるかの判定工程（ステップＳ６）及び後述する焦点位置調整工程（ステップＳ７）は、正立状態のヘッド２１において事前に観察対象Ｓの周縁形状が真円形状であることが判別されている場合などには省略可能である。一方、観察対象Ｓが楕円柱形状である場合などには、ステージ２５の回転角度ごとにヘッド２１が合焦位置にあるかの判定工程（ステップＳ６）を行うとよい。

ヘッド２１が合焦位置になければ（ステップ６：ＮＯ）、制御装置３０は、ヘッド２１をチルト部２４に対して観察光軸Ａ方向に移動させるか、或いはステージ２５により観察対象Ｓを移動させることによって、合焦位置に合わせる（ステップＳ７）。

ヘッド２１が合焦位置にある場合（ステップ６：ＹＥＳ）又はヘッド２１を合焦位置に合わせた後（ステップＳ７）、制御装置３０は、デジタルカメラ２７によって撮像された画像を取得する（ステップＳ８）。また、制御装置３０は、撮像された画像のそれぞれにおける取得時のステージ２５の回転角度を取得し、記憶する。

なお、図９に示す観察対象Ｓとは異なり、図１０に示すように外周面に凹凸を有する円柱形状の観察対象Ｓ－１の場合、正立状態の段階のヘッド２１によって、３点の座標から仮想真円を描き（破線）この仮想真円を基準として、凹凸を判別することができる。少なくともこの凹凸部分を撮像する場合には、ステージ２５の回転角度が同一の位置で観察対象Ｓ－１を焦点が異なるようにデジタルカメラ２７によって複数回撮像してもよい。この場合、同一の位置で撮像された観察対象Ｓの焦点が異なる画像を合成した合成画像（全焦点画像）を用いて、後述するように複数の画像を配列して或いは貼り合わせて、表示装置４０に表示するとよい。

また、図１１に示す観察対象Ｓ－２のように、外周面の一部のみに凹凸部（図１１では凸部）が設けられている場合、この凹凸部のみで複数回の撮像（例えば、図１２に示す縦線で示す３箇所）を行って合成画像を作成し、他の部分（例えば、凹凸が無い領域又は凹凸高さ(凹部と凸部との高さの差)が規定の閾値以下の領域）のみが撮像対象となる場合には、ステージ２５の回転角度が同一の位置で観察対象Ｓの撮像を１回のみ行ってもよい。

デジタルカメラ２７による撮像は、手動の操作によって或いは自動で行われる。手動の操作により撮像を行う場合には、制御装置３０は、撮像する際に推奨されるステージ２５の回転角度（例えば、０°、９０°、１８０°、及び２７０°）をユーザに報知してもよい。また、自動で撮像を行う場合には、制御装置３０は、ステージ２５が予め定められた回転角度に手動で又は自動で回転したときに或いはステージ２５が手動又は自動で回転している期間中の所定の時間ごとに、観察対象Ｓを自動で撮像するようにデジタルカメラ２７を制御する。デジタルカメラ２７による撮像時には、ステージ２５の回転を一時的にロックするとよい。なお、制御装置３０は、上述のステップ２の工程において観察対象Ｓの周縁の形状を識別できていれば、この周縁の形状に基づいて撮像時のステージ２５の回転角度を決定することができる。一例ではあるが、観察対象Ｓが鉛直方向に延びる中心軸を有する円柱形状を呈し、観察対象Ｓの側面全周を撮像する場合、撮像時のステージ２５の回転角度を０°、９０°、１８０°、及び２７０°のように等間隔で設定するとよい。一方、観察対象Ｓの一部の注目領域のみを撮像する場合、ステージ２５の回転角度を、注目領域に対応する１つ又は複数の回転角度を設定するとよい。なお、観察対象Ｓが直径の小さい円柱形状を呈する場合には、観察対象Ｓの被撮像部分が外周面の半分近くとなることもあり、被撮像部分の全体は観察光軸Ａには直交しない。そのため、ステージ２５の回転角度が上述の９０°よりも短い間隔となるように撮像が行われてもよい。また、観察対象Ｓが鉛直方向に延びる中心軸を有する正三角柱形状を呈する場合、撮像時のステージ２５の回転角度を、観察光軸Ａが観察対象Ｓのある一面に直交するステージ回転角度を０°として１２０度ごとに０°、１２０°、及び２４０°に設定すると側面全面が撮像でき貼り合わせ画像の作成なども行える。推奨されるステージの回転角度は観察対象Ｓの形状に合わせて適宜設定されるとよい。但し、ユーザの所望の回転角度で撮像が行われてもよい。

制御装置３０は、ステージ２５が目標のすべての回転角度における撮像が行われたかを判定し（ステップＳ９）、撮像が途中であれば（ステップＳ９：ＮＯ）、ステージ２５を次の回転角度に回転させ（ステップＳ１０）、ステップＳ６の工程に戻る。なお、デジタルカメラ２７は、上述のように正立状態のヘッド２１において識別された観察対象Ｓの周縁の形状に基づいて、同一焦点で観察対象Ｓを撮像してもよいため（例えば円柱など）、この場合には、ステップＳ６の焦点調整を省略し、デジタルカメラ２７による撮像処理（ステップＳ８）に進む。

撮像が終了であれば（ステップＳ９：ＹＥＳ）、制御装置３０は、デジタルカメラ２７によって撮像された画像を表示装置４０に表示させる（ステップＳ１１）。この画像表示工程（ステップＳ１１）は、撮像終了より前に行われてもよい。なお、撮像の終了は、ユーザが決定する任意のタイミング（例えば、操作ボタン４１ａのプレビュー画像表示ボタンが選択されたタイミングや撮像終了の入力があったタイミングなど）に基づいて判別されてもよい。

ここで、図７に示すように、ステージ２５の回転角度が０°、９０°、１８０°、及び２７０°のときに円柱形状の観察対象Ｓの全周に亘って撮像が行われる場合を例に説明する。この観察対象Ｓには、外周面にＡ～Ｈの８文字がそれぞれ４５°ごとに印刷されている。ステージ２５の回転角度が０°の撮像画像Ｐ１はＡＢＣＤの４文字が表れた画像であり、９０°の撮像画像Ｐ２はＣＤＥＦの４文字が表れた画像であり、１８０°の撮像画像Ｐ３はＥＦＧＨの４文字が表れた画像であり、２７０°の撮像画像Ｐ４はＧＨＡＢの４文字が表れた画像である。

制御装置３０は、図８に示す表示画面４１のプレビュー表示部４１ｂに各画像Ｐ１～Ｐ４を表示させる（ステップＳ１１）。表示された各画像Ｐ１～Ｐ４は、自動で保存されてもよいが、例えば、プレビュー表示部４１ｂにおいて、タッチパネルの操作やカーソル操作などによって「レ」のチェックを入れて選択された１枚以上の撮像画像Ｐ１，Ｐ２について、操作ボタン４１ａの保存ボタンが選択されると、保存されてもよい。この場合、撮像画像Ｐ１，Ｐ２は、ステージ２５の回転角度、ヘッド２１の傾き角度などの情報とともに保存されるとよい。

なお、図７及び図８に示すように、複数の撮像画像Ｐ１～Ｐ４が左から０°、９０°、１８０°、２７０°の順に表示される場合、複数の撮像画像Ｐ１～Ｐ４のそれぞれに含まれる観察対象Ｓの被撮像部分の位置関係に合わせて、複数の撮像画像Ｐ１～Ｐ４を配列して表示装置４０（表示画面４１）に表示させているといえる。制御装置３０は、複数の撮像画像Ｐ１～Ｐ４を、対応するステージ２５の回転角度と関連づけて表示装置４０に表示させている。また、スケールバーのようなステージ２５の回転角度を表す指標を表示し、取得した角度に対応するスケールバー位置に撮像画像Ｐ１～Ｐ４を表示、または指標が選択された際に撮像画像Ｐ１～Ｐ４を表示させてもよい。なお、制御装置３０は、撮像画像Ｐ１～Ｐ４内に又は撮像画像Ｐ１～Ｐ４の周囲に、対応するステージ２５の回転角度を表示させてもよい。この場合、観察対象Ｓの被撮像部分の位置関係に合わせて複数の撮像画像Ｐ１～Ｐ４が配列されていなくとも、制御装置３０は、複数の撮像画像Ｐ１～Ｐ４を、対応するステージ２５の回転角度と関連づけて表示装置４０に表示させているといえる。このように、本実施の形態では、複数の撮像画像Ｐ１～Ｐ４を、撮影した時間順に並べるのではなく、ステージ２５の回転角度と関連づけて表示装置４０に表示することによって、画像間の位置関係を直感的に把握することができる。

また、制御装置３０は、例えば、操作ボタン４１ａの貼り合わせボタンを選択されることに基づき、複数の撮像画像Ｐ１～Ｐ４のそれぞれに含まれる観察対象Ｓの被撮像部分の位置関係に合わせて、図７に示すように複数の撮像画像Ｐ１～Ｐ４を貼り合わせた貼り合わせ画像Ｐ１０を表示装置４０（表示画面４１）に表示させてもよい。これによっても、制御装置３０は、複数の撮像画像Ｐ１～Ｐ４を、対応するステージ２５の回転角度と関連づけて表示装置４０に表示させているといえる。

制御装置３０は、複数の撮像画像Ｐ１～Ｐ４を貼り合わせる場合には、例えば、ステージ２５の座標や、ステージ２５の回転角度、ヘッド２１のＺ位置座標などを用いて、例えば画像マッチングにより貼り合わせ画像Ｐ１０を作成するとよい。

制御装置３０は、例えば、操作ボタン４１ａの輝度調整ボタンを選択されたことに基づいて、複数の撮像画像Ｐ１～Ｐ４の貼り合わせによる重複部分の輝度値を調整した貼り合わせ画像Ｐ１０を作成するとよい。例えば、撮像画像Ｐ１の右端が輝度値２０％で、この撮像画像Ｐ１の右端に重複する撮像画像Ｐ２の中央部分が輝度値８０％であれば、平均化して輝度値５０％に調整してもよいし、明るい方を選択して輝度値８０％に調整してもよいし、或いは、所定の輝度値（例えば、常に５０％）に調整してもよい。また、重複部分の輝度値は、正立状態のヘッド２１によって識別された観察対象Ｓの周縁形状に基づいて調整されてもよい。ここで、貼り合わせ画像Ｐ１０は、撮像画像Ｐ１～Ｐ４が個別に配列される場合とは異なり、ステージ２５の回転角度が異なる複数の画像の重複部分を省略することができるため、例えば、ステージ２５の回転角度が１０°、１５°などの短い間隔で観察対象Ｓの撮像を行うともよい。また、貼り合わせ画像Ｐ１０は、観察対象Ｓが円錐形状を呈し、撮像された各画像に観察対象Ｓの頂点が含まれている場合などには、頂点が一致する展開図のように貼り合わせ画像であるとよい。

図８に示すように、貼り合わせ画像Ｐ１０は、マップ画像表示部４１ｄに表示される。制御装置３０は、この貼り合わせ画像Ｐ１０のみならず、この貼り合わせ画像Ｐ１０のうちタッチパネルの操作やカーソル操作などによって任意に選択された選択領域４１ｅを拡大した拡大画像Ｐ２０を表示装置４０（ライブ画像表示部４１ｃ）に表示させるとよい。

なお、撮像画像Ｐ１～Ｐ４を配列して表示装置４０に表示する場合も、貼り合わせ画像Ｐ１０を表示装置４０に表示する場合も、ステージ２５の回転角度が異なる複数の画像のみならず、ステージ２５のＺ軸方向の位置が異なる複数の画像も用いて表示を行ってもよい。一例ではあるが、ステージ２５のＺ軸方向の位置が共通でステージ２５の回転角度が異なる複数の画像を左右方向に並べ、ステージ２５の回転角度が共通の画像の上下にステージ２５のＺ軸方向の位置が異なる画像をＺ軸方向の位置とステージ２５の回転角度を対応付けて画面上に並べて、または貼り合わせて表示してもよい。

図１４は、上述した実施の形態に係る、制御装置３０を実現するためのコンピュータ１００のハードウェア構成を例示した図である。

図１４に示すように、コンピュータ１００は、ハードウェア構成として、プロセッサ１０１、メモリ１０２、記憶装置１０３、読取装置１０４、通信インタフェース１０６、及び入出力インタフェース１０７を備える。なお、プロセッサ１０１、メモリ１０２、記憶装置１０３、読取装置１０４、通信インタフェース１０６、及び入出力インタフェース１０７は、例えば、バス１０８を介して互いに接続されている。

プロセッサ１０１は、例えば、シングルプロセッサであっても、マルチプロセッサやマルチコアプロセッサであってもよい。プロセッサ１０１は、記憶装置１０３に格納されているプログラムを読み出して実行することで、観察装置１０の制御部として動作する。

メモリ１０２は、例えば、半導体メモリであり、ＲＡＭ領域およびＲＯＭ領域を含んでいてよい。記憶装置１０３は、例えばハードディスク、フラッシュメモリ等の半導体メモリ、または外部記憶装置である。

読取装置１０４は、例えば、プロセッサ１０１の指示に従って着脱可能記憶媒体１０５にアクセスする。着脱可能記憶媒体１０５は、例えば、半導体デバイス、磁気的作用により情報が入出力される媒体、光学的作用により情報が入出力される媒体などにより実現される。なお、半導体デバイスは、例えば、ＵＳＢ（Ｕｎｉｖｅｒｓａｌ Ｓｅｒｉａｌ Ｂｕｓ）メモリである。また、磁気的作用により情報が入出力される媒体は、例えば、磁気ディスクである。光学的作用により情報が入出力される媒体は、例えば、ＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ Ｄｉｓｃ）－ＲＯＭ、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ Ｄｉｓｋ）、Ｂｌｕ－ｒａｙ Ｄｉｓｃ等（Ｂｌｕ－ｒａｙは登録商標）である。

通信インタフェース１０６は、例えば、プロセッサ１０１の指示に従って、他の装置と通信する。入出力インタフェース１０７は、例えば、入力装置および出力装置との間のインタフェースである。入力装置は、例えば、ユーザからの指示を受け付けるキーボード、マウス、タッチパネルなどのデバイスである。出力装置は、例えばディスプレイなどの表示装置、およびスピーカなどの音声装置である。

プロセッサ１０１が実行するプログラムは、例えば、下記の形態でコンピュータ１００に提供される。
（１）記憶装置１０３に予めインストールされている。
（２）着脱可能記憶媒体１０５により提供される。
（３）プログラムサーバなどのサーバから提供される。

なお、図１４を参照して述べた、制御装置３０を実現するためのコンピュータ１００のハードウェア構成は例示であり、実施の形態はこれに限定されるものではない。例えば、上述の構成の一部が、削除されてもよく、また、新たな構成が追加されてもよい。また、別の実施の形態では、例えば、上述の算出部４２の一部または全部の機能がＦＰＧＡ（Ｆｉｅｌｄ Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｇａｔｅ Ａｒｒａｙ）、ＳｏＣ（Ｓｙｓｔｅｍ－ｏｎ－ａ－Ｃｈｉｐ）、ＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｉｆｉｃ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）、およびＰＬＤ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｄｅｖｉｃｅ）などによるハードウェアとして実装されてもよい。即ち、制御装置３０に含まれる任意の電気回路が上述した内部予測処理を行ってもよい。

以上説明した本実施の形態では、例えば観察装置１０によって行われる観察方法は、回転可能なステージ２５に載置された観察対象Ｓを、ステージ２５の回転角度が異なる複数の位置のそれぞれで、ステージ２５の回転中心Ｃとは異なる方向から撮像する工程と、複数の位置で撮像された複数の画像（撮像画像Ｐ１～Ｐ４）のそれぞれにおけるステージ２５の回転角度を取得する工程と、複数の画像を、対応するステージ２５の回転角度と関連づけて、例えば、撮像画像Ｐ１～Ｐ４或いは貼り合わせ画像Ｐ１０として、表示部の一例である表示装置４０に表示させる工程とを含む。

他の観点では、観察装置１０は、観察対象Ｓが載置される回転可能なステージ２５と、このステージ２５の回転角度が異なる複数の位置のそれぞれで、ステージ２５の回転中心Ｃとは異なる方向から観察対象Ｓを撮像する撮像部の一例であるデジタルカメラ２７と、このデジタルカメラ２７によって撮像された観察対象Ｓの画像を表示する表示部の一例である表示装置４０と、ステージ２５の回転角度が異なる複数の位置で撮像された複数の画像（撮像画像Ｐ１～Ｐ４）のそれぞれにおけるステージ２５の回転角度を検出する回転角度検出部（例えば、回転ステージ２５２）と、複数の画像を、対応するステージ２５の回転角度と関連づけて表示装置４０に表示させる制御部の一例である制御装置３０とを備える。

また、他の観点では、プログラムは、回転可能なステージ２５に載置された観察対象Ｓを、ステージ２５の回転角度が異なる複数の位置のそれぞれで、ステージ２５の回転中心Ｃとは異なる方向から撮像した画像を取得する機能と、複数の位置で撮像された複数の画像（撮像画像Ｐ１～Ｐ４）のそれぞれにおけるステージ２５の回転角度を取得する機能と、複数の画像を、対応するステージ２５の回転角度と関連づけて表示部の一例である表示装置４０に表示させる機能とをコンピュータ１００（例えば制御装置３０）に実行させる。

これらによって、ステージ２５の回転角度と関連づいた、ステージ２５の回転角度が異なる複数の画像が表示装置４０に表示されるため、ユーザは、特に低倍領域の観察対象Ｓの外周面を直観的に把握しながら、欠陥や不具合などを確認することができる。よって、本実施の形態によれば、ユーザによる観察対象Ｓの外周面の確認を容易にすることができる。

また、本実施の形態では、複数の画像を表示させる工程では、複数の画像のそれぞれに含まれる観察対象Ｓの被撮像部分の位置関係に合わせて、複数の画像を配列して表示装置４０に表示させる（例えば、図８のプレビュー表示部４１ｂ）。これにより、各画像内の被撮像対象の位置関係をユーザが把握しやすくなる。

また、本実施の形態では、複数の画像を表示させる工程では、複数の画像のそれぞれに含まれる観察対象Ｓの被撮像部分の位置関係に合わせて、複数の画像を貼り合わせた貼り合わせ画像Ｐ１０（図８のマップ画像表示部４１ｄ参照）を表示装置４０に表示させる。これにより、ユーザは、各画像に表れる観察対象Ｓを一体に捉えることができる。

また、本実施の形態では、複数の画像を表示させる工程では、貼り合わせ画像Ｐ１０と、この貼り合わせ画像Ｐ１０のうち任意に選択される選択領域４１ｅを拡大した拡大画像Ｐ２０（図８のライブ画像表示部４１ｃ参照）とを表示装置４０に表示させる。これにより、ユーザは、各画像に表れる観察対象Ｓを一体に捉えながら、観察対象Ｓの細部を確認することができる。

また、本実施の形態では、複数の画像を表示させる工程では、複数の画像の貼り合わせによる重複部分の輝度値を調整して表示装置４０に表示させる。これにより、貼り合わせ画像Ｐ１０をユーザに確認させやすくすることができる。

また、本実施の形態では、観察方法は、所定の条件を満たす場合に複数の画像を表示させる工程（例えば、図６のプレビュー画像表示工程Ｓ１１）を実行するか又はこの工程の実行設定を促すようにユーザに報知する。所定の条件を満たす場合は、例えば、観察対象Ｓを撮像する撮像部の一例であるデジタルカメラ２７を有するヘッド２１の観察光軸Ａがステージ２５の回転中心Ｃに対して閾値以上傾いた場合、ヘッド２１の観察光軸Ａがステージ２５の回転中心Ｃに対して傾き、且つ、ステージ２５が回転した場合、観察光軸Ａがステージ２５の回転中心Ｃに対して傾いた状態でヘッド２１がデジタルカメラ２７を用いて観察対象Ｓが曲面を有することを検出した場合、デジタルカメラ２７を用いて観察対象Ｓの高さが閾値以上であることを検出した場合、或いは、ヘッド２１の観察光軸Ａがステージ２５の回転中心Ｃと平行な状態でデジタルカメラ２７を用いて観察対象Ｓの周縁が円形であると判定し、且つ、観察対象Ｓの中心とステージの回転中心Ｃとが一致する場合などである。これにより、ユーザは、ヘッド２１をチルトさせたときなどの所定の条件を満たす場合に、操作ボタン４１ａのプレビュー画像表示ボタンを選択するなどの操作を意識的に行わなくとも、ステージ２５の回転角度が異なる複数の位置のそれぞれで撮像され、ステージ２５の回転角度と関連づいた画像を表示装置４０において確認することができる。

また、本実施の形態では、観察対象Ｓを撮像する工程では、ステージ２５が予め定められた回転角度に回転したときに自動で観察対象Ｓを撮像する。これにより、ユーザがステージ２５を手動で回転させる際に所定の回転角度で止める作業や、操作ボタン４１ａの撮像ボタンなどで撮像実行の操作を行う作業などを省略することができるため、ユーザの利便性が向上する。

また、本実施の形態では、観察対象Ｓを撮像する工程では、観察対象Ｓの全周に亘って観察対象Ｓを撮像する。これにより、ユーザは、観察対象Ｓの外周面の全体を確認することができる。

また、本実施の形態では、観察対象Ｓを撮像する工程では、ヘッド２１の観察光軸Ａが観察対象Ｓの被撮像部分の少なくとも一部に垂直である場合に、観察対象Ｓを撮像する。これにより、ヘッド２１のチルトが観察対象Ｓ（被撮像部分）の形状に合っていない状態で観察対象Ｓが撮像されるのを防止することができる。

また、本実施の形態では、観察対象Ｓを撮像する工程では、ステージ２５の回転角度が同一の少なくとも１つの位置で観察対象Ｓを焦点が異なるように複数回撮像し、複数の画像を表示させる工程では、同一の位置で撮像された全焦点画像を用いて複数の画像を表示装置４０に表示させる。これにより、観察対象Ｓが外周面に凹凸を有する場合や、外周面が曲面である場合などでも、ユーザが、各画像に表れる観察対象Ｓを確認しやすくすることができる。

また、本実施の形態では、観察対象Ｓを撮像する工程では、ヘッド２１の観察光軸Ａがステージ２５の回転中心Ｃと平行な状態でデジタルカメラ２７を用いて判定された観察対象Ｓの周縁の形状に基づく同一焦点で例えば円柱形状の観察対象Ｓを撮像する。これにより、ステージ２５の回転角度ごとの観察対象Ｓの撮像時の焦点合わせの処理を簡略化又は省略することができる。

上述した本実施の形態は、発明の理解を容易にするために具体例を示したものである。そのため、本発明は、本実施の形態に限定されるものではなく、本実施の形態を変形した変形形態および上述した実施の形態に代替する代替形態を包含し得る。つまり、本実施の形態は、その趣旨および範囲を逸脱しない範囲で構成要素を変形することが可能である。また、本実施の形態に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることにより、新たな実施の形態を実施することができる。また、本実施の形態に示される構成要素からいくつかの構成要素を削除してもよく、または本実施の形態に示される構成要素にいくつかの構成要素を追加してもよい。さらに、各実施の形態に示す処理手順は、矛盾しない限り順序を入れ替えて行われてもよい。即ち、本発明の観察方法、観察装置、及びプログラムは、特許請求の範囲の記載を逸脱しない範囲において、さまざまな変形、変更が可能である。

１０ 観察装置
２０ 顕微鏡
２１ ヘッド
２２ 光源
２３ 観察光学系
２３１ 対物レンズ
２４ チルト部
２４１ 回転軸部
２４２ Ｚ軸保持部
２５ ステージ
２５１ ＸＹステージ
２５１ｘ Ｘ軸可動機構
２５１ｘａ ボールネジ
２５１ｘｂ スケール
２５１ｘｃ スケールヘッド
２５１ｘｄ モータ
２５１ｘｅ ハンドル
２５１ｘｆ 連結部分
２５１ｙ Ｙ軸可動機構
２５１ｙａ ハンドル
２５２ 回転ステージ
２５３ Ｚステージ
２６ フレーム
２７ デジタルカメラ
２７１ イメージセンサ
２８ 操作部
３０ 制御装置
４０ 表示装置
４１ 表示画面
４１ａ 操作ボタン
４１ｂ プレビュー表示部
４１ｃ ライブ画像表示部
４１ｄ マップ画像表示部
４１ｅ 選択領域
５０ 入力装置
１００ コンピュータ
１０１ プロセッサ
１０２ メモリ
１０３ 記憶装置
１０４ 読取装置
１０５ 記憶媒体
１０６ 通信インタフェース
１０７ 入出力インタフェース
１０８ バス
Ａ 観察光軸
Ｃ 回転中心
Ｐ１～Ｐ４ 撮像画像
Ｐ１０ 貼り合わせ画像
Ｐ２０ 拡大画像
Ｓ 観察対象

Claims (18)

1. 回転可能なステージに載置された観察対象を、前記ステージの回転角度が異なる複数の位置のそれぞれで、前記ステージの回転中心とは異なる方向から撮像する工程と、
   前記複数の位置で撮像された複数の画像のそれぞれにおける前記ステージの回転角度を取得する工程と、
   前記複数の画像を、対応する前記ステージの回転角度と関連づけて表示部に表示させる工程と
   を含むことを特徴とする観察方法。
2. 前記複数の画像を表示させる工程では、前記複数の画像のそれぞれに含まれる前記観察対象の被撮像部分の位置関係に合わせて、前記複数の画像を配列して前記表示部に表示させる
   ことを特徴とする請求項１記載の観察方法。
3. 前記複数の画像を表示させる工程では、前記複数の画像のそれぞれに含まれる前記観察対象の被撮像部分の位置関係に合わせて、前記複数の画像を貼り合わせた貼り合わせ画像を前記表示部に表示させる
   ことを特徴とする請求項１記載の観察方法。
4. 前記複数の画像を表示させる工程では、前記貼り合わせ画像と、当該貼り合わせ画像のうち任意に選択される選択領域を拡大した拡大画像とを前記表示部に表示させる
   ことを特徴とする請求項３記載の観察方法。
5. 前記複数の画像を表示させる工程では、前記複数の画像の貼り合わせによる重複部分の輝度値を調整して前記表示部に表示させる
   ことを特徴とする請求項３又は４記載の観察方法。
6. 所定の条件を満たす場合に、前記複数の画像を表示させる工程を実行するか又は当該工程の実行設定を促すようにユーザに報知する
   ことを特徴とする請求項１から５のいずれか１項記載の観察方法。
7. 前記所定の条件を満たす場合は、前記観察対象を撮像する撮像部を有するヘッドの観察光軸が前記ステージの回転中心に対して閾値以上傾いた場合である
   ことを特徴とする請求項６記載の観察方法。
8. 前記所定の条件を満たす場合は、前記観察対象を撮像する撮像部を有するヘッドの観察光軸が前記ステージの回転中心に対して傾き、且つ、前記ステージが回転した場合である
   ことを特徴とする請求項６記載の観察方法。
9. 前記所定の条件を満たす場合は、前記観察対象を撮像する撮像部を用いて前記観察対象が曲面を有することを検出した場合である
   ことを特徴とする請求項６記載の観察方法。
10. 前記所定の条件を満たす場合は、前記観察対象を撮像する撮像部を用いて前記観察対象の高さが閾値以上であることを検出した場合である
    ことを特徴とする請求項６記載の観察方法。
11. 前記所定の条件を満たす場合は、前記観察対象を撮像する撮像部を有するヘッドの観察光軸が前記ステージの回転中心と平行な状態で前記撮像部を用いて前記観察対象の周縁が円形であると判定した場合と、前記観察対象の中心と前記ステージの回転中心とが一致する場合とのうち少なくとも一方である
    ことを特徴とする請求項６記載の観察方法。
12. 前記観察対象を撮像する工程では、前記ステージが予め定められた回転角度に回転したときに自動で前記観察対象を撮像する
    ことを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項記載の観察方法。
13. 前記観察対象を撮像する工程では、前記観察対象の全周に亘って前記観察対象を撮像する
    ことを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項記載の観察方法。
14. 前記観察対象を撮像する工程では、前記観察対象を撮像する撮像部を有するヘッドの観察光軸が前記観察対象の被撮像部分の少なくとも一部に垂直である場合に、前記観察対象を撮像する
    ことを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項記載の観察方法。
15. 前記観察対象を撮像する工程では、前記ステージの回転角度が同一の少なくとも１つの位置で前記観察対象を焦点が異なるように複数回撮像し、
    前記複数の画像を表示させる工程では、前記同一の位置で撮像された全焦点画像を用いて前記複数の画像を前記表示部に表示させる
    ことを特徴とする請求項１から１４のいずれか１項記載の観察方法。
16. 前記観察対象を撮像する工程では、前記観察対象を撮像する撮像部を有するヘッドの観察光軸が前記ステージの回転中心と平行な状態で前記撮像部を用いて判定された前記観察対象の周縁の形状に基づく同一焦点で前記観察対象を撮像する
    ことを特徴とする請求項１から１４のいずれか１項記載の観察方法。
17. 観察対象が載置される回転可能なステージと、
    前記ステージの回転角度が異なる複数の位置のそれぞれで、前記ステージの回転中心とは異なる方向から前記観察対象を撮像する撮像部と、
    前記撮像部によって撮像された前記観察対象の画像を表示する表示部と、
    前記複数の位置で撮像された複数の画像のそれぞれにおける前記ステージの回転角度を検出する回転角度検出部と、
    前記複数の画像を、対応する前記ステージの回転角度と関連づけて前記表示部に表示させる制御部と
    を備えることを特徴とする観察装置。
18. 回転可能なステージに載置された観察対象を、前記ステージの回転角度が異なる複数の位置のそれぞれで、前記ステージの回転中心とは異なる方向から撮像した画像を取得する機能と、
    前記複数の位置で撮像された複数の画像のそれぞれにおける前記ステージの回転角度を取得する機能と、
    前記複数の画像を、対応する前記ステージの回転角度と関連づけて表示部に表示させる機能と
    をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。

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