JP2023089984A - 発光装置 - Google Patents

発光装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2023089984A
JP2023089984A JP2021204681A JP2021204681A JP2023089984A JP 2023089984 A JP2023089984 A JP 2023089984A JP 2021204681 A JP2021204681 A JP 2021204681A JP 2021204681 A JP2021204681 A JP 2021204681A JP 2023089984 A JP2023089984 A JP 2023089984A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mounting component
light emitting
light
concave portion
convex portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2021204681A
Other languages
English (en)
Inventor
昌基 杉本
Masaki Sugimoto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nichia Chemical Industries Ltd
Original Assignee
Nichia Chemical Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nichia Chemical Industries Ltd filed Critical Nichia Chemical Industries Ltd
Priority to JP2021204681A priority Critical patent/JP2023089984A/ja
Publication of JP2023089984A publication Critical patent/JP2023089984A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Semiconductor Lasers (AREA)

Abstract

【課題】発光素子への熱ダメージを低減することが可能であり、さらには第1実装部品を任意の向きで固定することができる発光装置を提供する。【解決手段】凹部または凸部の一方が1以上設けられた上面を有する基材と、前記基材に固定され、凹部または凸部の他方が1つ設けられた下面を有する1以上の第1実装部品と、を備え、前記第1実装部品は、発光素子を有し、前記凹部は、前記凸部と嵌合されており、前記凹部および前記凸部は、いずれも、上面視における外縁形状が円形状である、発光装置。【選択図】 図1

Description

本発明は、発光装置に関する。
特許文献1には、サブマウントと、サブマウントに設けられた端面発光型レーザ素子と、光学部材と、基板とを有するレーザパッケージの製造方法が記載されている。特許文献1では、金属ナノ粒子又は金属サブミクロン粒子と有機溶剤とを含む接合材料によって、サブマウントおよび光学部材をそれぞれ基板に接合している。
特許文献2には、裏面にV溝が形成されたサブマウントと、V溝に密着する突起が形成されたヒートシンクとが記載されている。特許文献2のサブマウントとヒートシンクの固定にはハンダ材が用いられている。
特開2018-107319号公報 特開昭57-007989号公報
ハンダ材等の接合材料は、加熱とその後の冷却によって部材同士を接合している。このような接合の際の加熱を省略できれば、レーザ素子等の発光素子への熱ダメージを低減することができる。
本発明の一態様の発光装置は、凹部または凸部の一方が1以上設けられた上面を有する基材と、前記基材に固定され、凹部または凸部の他方が1つ設けられた下面を有する1以上の第1実装部品と、を備え、前記第1実装部品は、発光素子を有し、前記凹部は、前記凸部と嵌合されており、前記凹部および前記凸部は、いずれも、上面視における外縁形状が円形状である。
本発明の別の一態様の発光装置は、凹部または凸部の一方が1以上設けられた上面を有する基材と、前記基材に固定され、レーザ光を出射するレーザ素子を有する第1実装部品と、前記基材に固定され、凹部または凸部の他方が1つ設けられた下面を有する1以上の第2実装部品と、を備え、前記第2実装部品は、前記レーザ素子からの前記レーザ光を反射する光反射面を有し、前記凹部は、前記凸部と嵌合されており、前記凹部および前記凸部は、いずれも、上面視における外縁形状が円形状である。
上述の発光装置によれば、発光素子への熱ダメージを低減することが可能であり、さらには第1実装部品または第2実装部品を任意の向きで固定することができる。
図1は、本発明の実施形態に係る発光装置の模式的な断面図である。 図2は、第1実装部品の模式的な斜視図である。 図3は、発光装置の模式的な上面図である。 図4は、発光装置から蓋を除いた状態を示す模式的な上面図である。
図1は、本発明の実施形態に係る発光装置の模式的な断面図である。図2は、第1実装部品の模式的な斜視図である。図3は、発光装置の模式的な上面図である。図4は、発光装置から蓋を除いた状態を示す模式的な上面図である。
図1および図2に示すように、発光装置1は、基材10と、1以上の第1実装部品20と、を有する。基材10は、凹部または凸部の一方が1以上設けられた上面を有する。第1実装部品20は、基材10に固定され、凹部または凸部の他方が1つ設けられた下面を有する。第1実装部品20は、発光素子21を有する。本実施形態では、基材10の上面に凸部11が設けられており、第1実装部品20の下面に凹部22が設けられている。基材10の上面に凹部が設けられ、第1実装部品20の下面に凸部が設けられていてもよい。凹部22は、凸部11と嵌合されている。凹部22および凸部11は、いずれも、上面視における外縁形状が円形状である。
発光装置1では、凹部22と凸部11との嵌合によって基材10と第1実装部品20とを固定することができる。これにより、接着剤を用いなくても基材10と第1実装部品20とを固定することができるため、接着剤を用いて固定する場合と比較して発光素子21への熱ダメージを低減することが可能である。加えて、凹部22および凸部11の上面視における外縁形状が円形状であることにより、第1実装部品20を任意の向きで固定することができる。
以下、各部材について順に説明する。
(発光装置1)
図3および図4に示すように、発光装置1は、基材10と第1実装部品20以外の部材を有していてよい。発光装置1は、枠体30と、アノード側端子41と、カソード側端子42と、蓋80とを有する。発光装置1は、第2実装部品50を有する。発光装置1は、導電ワイヤ60を有する。発光装置1は、中継部材70を有する。第1実装部品20は、基材10と、枠体30と、蓋80で囲まれた封止空間に配置されている。封止空間は、例えば気密封止された空間である。
(基材10)
基材10は、その上に第1実装部品20を実装可能な部材である。基材10の上面は、凸部11と、凸部11を囲む平坦部とを有する。基材10の下面は、ヒートシンク等と熱的に接続され、発光素子21の熱を放散するための放熱面として利用され得る。なお、基材10の上面とは第1実装部品20が実装される側の面を指し、下面とはその反対側の面を指す。
基材10には、セラミック材料や金属材料を用いることができる。金属材料としては、例えば、鉄、鉄合金、銅、銅合金等が挙げられる。基材10のうち少なくとも凸部11を主として銅または銅合金で形成することが好ましく、これにより、第1実装部品20の凹部と嵌合させやすいという利点が得られる。凸部11は、銅または銅合金のみからなる主部分と、その主部分の表面に形成された表面層とから構成されていてもよい。基材10に凹部を設ける場合も同様に、凹部を構成する部分は主として銅または銅合金で形成することが好ましい。
(凸部11および凹部22)
基材10の上面に凸部11が設けられており、第1実装部品20の下面に凹部22が設けられている。凹部22と凸部11との嵌合によって基材10と第1実装部品20とが固定されている。
凹部22の高さと凸部11の高さの差は、0μm以上とすることができ、0μm超であることが好ましい。凹部22の高さ(深さ)は、凸部11の高さよりも大きいことが好ましい。これにより、第1実装部品20の下面のうち凹部22の周囲の部分と基材10の上面のうち凸部11の周囲の部分とをより確実に接触または接近させることができる。第1実装部品20が有する発光素子21は駆動時に発熱するが、その熱を第1実装部品20の下面から基材10の上面へと伝えて放散させることができる。凹部22の高さと凸部11の高さの差は20μm以下とすることができる。
凹部22は、側部と底部とを有する。凸部11は、側部と頂部とを有する。凹部22の側部と凸部11の側部とは接触しており、凹部22の底部と凸部11の頂部とは接触していないことが好ましい。これにより、凹部22と凸部11とを嵌合させつつ、凹部22の周囲の部分と凸部11の周囲の部分とをより確実に接触または接近させることができる。
嵌合していない状態で、凹部22の内径は、凸部11の外径より小さくてもよい。この場合、凹部22の内径と凸部11の外径の差は20μm以下とすることが好ましく、10μm以下とすることがより好ましい。これによって、より確実に凹部22に凸部11を嵌合させることができる。凹部22の内径と凸部11の外径の差は5μm以下であってもよい。このような凹部22の内径と凸部11の外径の大小関係については、基材10の上面に凹部が設けられ第1実装部品20の下面に凸部が設けられる場合であっても、基材10の凹部の内径が第1実装部品20の凸部の外径より小さい関係を維持することが好ましい。
基材10の上面のうち凸部11が設けられた部分以外の部分と、第1実装部品20の下面のうち凹部22が設けられた部分以外の部分との間の距離は、凹部22の底部と凸部11の頂部との間の距離よりも小さいことが好ましい。これにより、凹部22と凸部11とを嵌合させつつ、凹部22の周囲の部分と凸部11の周囲の部分とをより確実に接触または接近させることができる。基材10の上面の凸部11以外の部分と第1実装部品20の下面の凹部22以外の部分とが接触し、凹部22の底部と凸部11の頂部とが接触していない場合も、上述の距離の大小関係を満たすといえる。
基材10と第1実装部品20との間には接着剤を設けなくてよい。基材10と第1実装部品20との間に隙間が生じる場合は、その隙間を埋めるために、放熱グリス、放熱シート、または金属のスペーサなどを基材10と第1実装部品20との間に設けてもよい。例えば、発光素子21がレーザ素子である場合に、有機物による集塵を避けるために、金属のスペーサを用いてもよい。
凹部22および凸部11の形状は、例えば円柱状である。凹部22および凸部11の形状は、円錐台状または円錐状でもよい。凹部22および凸部11の形状は同じでなくてもよい。例えば、凹部22の形状が円柱状であり、凸部11の形状が、円柱状の先端部分がテーパー状である形状、言い換えれば円柱と円錐台とを組み合わせた形状であってもよい。これにより、凹部22と凸部11とを嵌合させやすい。この場合、凸部11の円柱状の外径と円錐台の底面の外径は等しく、嵌合していない状態で、凹部22の内径はそれらより20μm以下の範囲で小さいことが好ましい。これによって、より確実に凹部22に凸部11を嵌合させることができる。
基材10の上面に凹部が設けられ、第1実装部品20の下面に凸部が設けられていてもよい。この場合は、特に断りがない限り、基材10の凸部11を凹部と読み替え、第1実装部品20の凹部22を凸部と読み替えて、上述した、あるいは後述する構成を採用することができる。
(第1実装部品20)
第1実装部品20は、発光素子21を有する。第1実装部品20の下面は、凹部22と、凹部22を囲む平坦部とを有する。平坦部を第1実装部品20の主たる放熱面として用いることができる。このため、下面から見て、平坦部の面積は凹部22の面積よりも大きいことが好ましい。基材10の平坦部と第1実装部品20の平坦部を接触または近接させることで、発光素子21が発する熱を基材10へ放散することができる。
上面視において、凹部22は、第1実装部品20の中心を含む位置に配置されている。すなわち、上面視において凹部22を透過して見ると凹部22が第1実装部品20の中心を含む位置に配置されている。もしくは、下面から見て同様の配置であるといってもよい。これにより、中心位置を制御しやすい。上面視において、凹部22は、第1実装部品20の中心を含まない位置に配置されていてもよい。
第1実装部品20の下面は、発光素子21の下面であってもよく、発光素子21とは異なる部材の下面であってもよい。例えば、第1実装部品20はサブマウント23を有することができ、サブマウント23の下面を第1実装部品20の下面とすることができる。この場合、サブマウント23の下面に凹部22を設けることができるため、発光素子21を加工する必要なく凹部22を形成することができる。サブマウント23の上には発光素子21が固定される。
発光装置1は、1以上の第1実装部品20を有しており、複数の第1実装部品20を有していてもよい。図4では、複数の第1実装部品20を基材10上に配置している。複数の第1実装部品20は、例えばマトリクス状に配置することができる。
(発光素子21)
発光素子21は、光を発する素子であり、例えば半導体発光素子である。凹部22および凸部11の上面視における外縁形状が円形状であるため、発光素子21が発する光の分布や方向に応じて、基材10に対する第1実装部品20の向きを調整することができる。発光素子21はレーザ素子であることが好ましく、例えば半導体レーザ素子である。発光素子21が発するレーザ光の出射方向に応じて、基材10に対する第1実装部品20の向きを調整することができる。
半導体レーザ素子としては、窒化物半導体からなる活性層を有するものが挙げられる。このような半導体レーザ素子を用いる場合は、出射するレーザ光によって集塵が発生しやすいため、気密封止することが好ましい。窒化物半導体としては、AlInGa1-x-yN(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)のようなIII-V族半導体が挙げられる。半導体レーザ素子は、例えば、n型半導体層と活性層とp型半導体層とがこの順に積層された半導体積層体と、n型半導体層と電気的に接続されたn電極と、p型半導体層と電気的に接続されたp電極と、を有する。複数の半導体レーザ素子はレーザ光をそれぞれ出射する。各レーザ光は、直接または第2実装部品50などを介して、蓋80から外部に取り出される。レーザ光の光路上に蛍光体含有部材を配置して、レーザ光によって励起された蛍光を外部に取り出してもよい。
図4は基材10上に発光素子21が配置された状態を示す模式的上面図である。図4に示すように、発光素子21は基材10の上面の側に配置される。発光装置1は、1以上の発光素子21を有しており、複数の発光素子21を有していてもよい。
複数の発光素子21は導電ワイヤ60等により互いに電気的に接続することができる。導電ワイヤ60としては、金、銅、アルミニウム等を用いることができる。例えば、図4に示すように、導電ワイヤ60を用いて一方向に設けられた複数の発光素子21を直列接続する。図4に示すように、アノード側端子41と発光素子21との間、及び/又は、カソード側端子42と発光素子21との間に、中継部材70を設けてもよい。
(サブマウント23)
第1実装部品20は、発光素子21が固定されたサブマウント23を有することができる。第1実装部品20の下面は、サブマウント23の下面である。サブマウント23の下面には凹部22が設けられる。凹部22は、サブマウント23の下面のうち発光素子21の直下を除く領域に設けられていてもよい。サブマウント23の材料として、基材10と発光素子21との間の熱膨張係数を有する材料を用いることができる。これにより、温度変化で生じる応力を低減することができる。
サブマウント23は、絶縁部23bと、絶縁部23bの下に設けられた下面金属層23aとを有することができる。サブマウント23は、絶縁部23bの上に設けられた上面金属層23cを有していてもよい。図1に示すように、凹部22の底を絶縁部23bで、凹部22の側面を下面金属層23aで構成することができる。このような凹部22は、下面金属層23aのパターニングによって形成することができるため、容易に形成可能である。下面金属層23aが十分に厚い場合は、凹部22の底も下面金属層23aで構成してもよい。
絶縁部23bには、AlNまたはSiC等のセラミック材料を用いることができる。絶縁部23bの厚みは、100μm以上とすることができる。絶縁部23bの厚みは、300μm以下とすることができる。下面金属層23aおよび上面金属層23cは、金、銅、チタン、アルミニウム等のうちの1以上を含むことができる。下面金属層23aおよび上面金属層23cは、単層構造であってもよく、多層構造であってもよい。下面金属層23aおよび上面金属層23cの厚みは、それぞれ、25μm以上とすることでき、40μm以上であってよい。下面金属層23aの厚みは、100μm以下とすることができ、70μm以下であってよい。上面金属層23cには凹部22を設けないため、上面金属層23cの厚みは、下面金属層23aより小さくてもよい。下面金属層23aおよび/または上面金属層23cに替えて、ダイヤモンド等の金属以外の材料からなる放熱層を設けてもよい。
(枠体30)
枠体30は、基材10の上面に接合されている。基材10の上面のうちの枠体30に囲まれた領域が、第1実装部品20を実装する領域となる。枠体30には複数の貫通孔が設けられており、その貫通孔のそれぞれにアノード側端子41およびカソード側端子42が挿入されている。枠体30は、例えば金属材料からなる。
(アノード側端子41、カソード側端子42)
アノード側端子41及びカソード側端子42は、発光素子21を外部の電源等に電気的に接続するための部材である。アノード側端子41及びカソード側端子42は、枠体30に固定されている。あるいは、枠体30に固定された板体を設け、その板体にアノード側端子41及びカソード側端子42を固定してもよい。
(第2実装部品50)
図1に示すように、発光装置1は第2実装部品50を備えていてもよい。第2実装部品50は光反射面を有する。図1では、発光素子21は、レーザ光が出射する面である側面を有するレーザ素子である。第2実装部品50は、発光素子21からのレーザ光を反射する光反射面を有する。凹部22および凸部11の上面視の外縁形状が円形状であることにより、第2実装部品50の光反射面に発光素子21からのレーザ光が照射される位置で、第1実装部品20を基材10に固定することができる。図1において、発光素子21がレーザ素子である場合に発光素子21が出射するレーザ光を破線で示す。
光反射面は、発光素子21が発するレーザ光に対する反射率が80%以上であってよく、90%以上であってもよい。光反射面は、第2実装部品50の下面に対して傾斜した面である。下面に対する光反射面の傾斜角度は、例えば45度である。第2実装部品50は、例えば、実装面及び実装面に対して傾斜した傾斜面を含む母体と、母体の傾斜面に設けられた光反射膜とを有する。光反射膜が設けられた面が光反射面である。第2実装部品50の母体としては、ガラス、合成石英、シリコン、サファイア、アルミニウム等を用いることができる。第2実装部品50の光反射膜としては、金属膜、誘電体多層膜等を用いることができる。第2実装部品50の光反射面は、発光素子21のレーザ光を出射する側面と向かい合うように配置される。
第2実装部品50と基材10とは、例えば接着剤を介して固定される。第2実装部品50の下面に凹部を設け、基材10の上面に凸部を設け、その凹部と凸部とが嵌合されていてもよい。この嵌合によって第2実装部品50を基材10に対して固定してもよい。
発光装置1は、凹部または凸部の一方が1以上設けられた上面を有する基材10と、基材10に固定され、レーザ光を出射するレーザ素子(発光素子21)を有する第1実装部品20と、基材10に固定され、凹部または凸部の他方が1つ設けられた下面を有する1以上の第2実装部品50と、を備えていてもよい。第2実装部品50は、レーザ素子からのレーザ光を反射する光反射面を有する。凹部は、凸部と嵌合されており、凹部および凸部は、いずれも、上面視における外縁形状が円形状である。
そのような凹部と凸部との嵌合によって、第2実装部品50を基材10に固定してもよい。これによって、発光素子21への熱ダメージを低減することが可能であり、さらには第2実装部品50を任意の向きで固定することができる。
また、第2実装部品50と基材10とを接着剤で固定する場合は、第1実装部品20を、第2実装部品50用の接着剤が第1実装部品20に到達して発光素子21のレーザ光を出射する側面を被覆しない程度に、第2実装部品50から離れた位置に配置するが、第2実装部品50と基材10との固定に接着剤が不要となることにより、第1実装部品20と第2実装部品50との距離を小さくすることができ、発光素子21から第2実装部品50までのレーザ光の光路長を短くすることができる。これによって、第2実装部品50の光反射面に照射されるレーザ光のビームサイズを小さくすることができるため、光反射面を小さくすることができ、第2実装部品50の小型化が可能である。また、発光装置1が複数の発光素子21を有する場合、発光素子21同士の距離を小さくすることができる。それらによって、発光装置1の小型化が可能である。
第2実装部品50の下面に凹部を設け、基材10の上面に凸部を設けてもよい。あるいは、第2実装部品50の下面に凸部を設け、基材10の上面に凹部を設けてもよい。第2実装部品50を固定するための凹部および凸部の形状は、第1実装部品20を固定するための凹部および凸部の形状と異なっていてもよい。
(蓋80)
蓋80は、枠体30に接続される。蓋80は、基材10に接続されていてもよい。発光素子21からの光は、蓋80を通過した発光装置1の外部に取り出される。蓋80は、発光素子21からの光を透過する透光性部材を有する。蓋80は、透光性部材が固定された枠部を有していてもよい。
以上、具体例を参照しつつ、本発明の実施形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。本発明の上述した実施形態を基にして、当業者が適宜設計変更して実施し得る全ての形態も、本発明の要旨を包含する限り、本発明の範囲に属する。その他、本発明の思想の範疇において、当業者であれば、各種の変更例及び修正例に想到し得るものであり、それら変更例及び修正例についても本発明の範囲に属するものと了解される。
1 発光装置
10 基材
11 凸部
20 第1実装部品
21 発光素子
22 凹部
23 サブマウント
23a 下面金属層
23b 絶縁部
23c 上面金属層
30 枠体
41 アノード側端子
42 カソード側端子
50 第2実装部品
60 導電ワイヤ
70 中継部材
80 蓋

Claims (9)

  1. 凹部または凸部の一方が1以上設けられた上面を有する基材と、
    前記基材に固定され、凹部または凸部の他方が1つ設けられた下面を有する1以上の第1実装部品と、を備え、
    前記第1実装部品は、発光素子を有し、
    前記凹部は、前記凸部と嵌合されており、
    前記凹部および前記凸部は、いずれも、上面視における外縁形状が円形状である、発光装置。
  2. 前記第1実装部品は、前記発光素子が固定されたサブマウントを有し、
    前記第1実装部品の前記下面は、前記サブマウントの下面である、請求項1に記載の発光装置。
  3. 前記凹部または凸部の他方は、前記サブマウントの下面のうち前記発光素子の直下を除く領域に設けられている、請求項2に記載の発光装置。
  4. 前記凹部または凸部の他方は、凹部であり、
    前記サブマウントは、絶縁部と、絶縁部の下に設けられた下面金属層とを有し、
    前記凹部の底は前記絶縁部で構成されており、
    前記凹部の側面は前記下面金属層で構成されている、請求項2または3に記載の発光装置。
  5. 前記発光素子は、レーザ光が出射する面である側面を有するレーザ素子であり、
    前記発光素子からの前記レーザ光を反射する光反射面を有する第2実装部品を備える、請求項1~4のいずれか1項に記載の発光装置。
  6. 凹部または凸部の一方が1以上設けられた上面を有する基材と、
    前記基材に固定され、レーザ光を出射するレーザ素子を有する第1実装部品と、
    前記基材に固定され、凹部または凸部の他方が1つ設けられた下面を有する1以上の第2実装部品と、を備え、
    前記第2実装部品は、前記レーザ素子からの前記レーザ光を反射する光反射面を有し、
    前記凹部は、前記凸部と嵌合されており、
    前記凹部および前記凸部は、いずれも、上面視における外縁形状が円形状である、発光装置。
  7. 前記凹部の高さは、前記凸部の高さよりも大きい、請求項1~6のいずれか1項に記載の発光装置。
  8. 前記凹部は、側部と底部とを有し、
    前記凸部は、側部と頂部とを有し、
    前記凹部の前記側部と前記凸部の前記側部とは接触しており、
    前記凹部の前記底部と前記凸部の前記頂部とは接触していない、請求項7に記載の発光装置。
  9. 前記基材の前記上面のうち前記凹部または凸部の一方が設けられた部分以外の部分と、前記第1実装部品の前記下面のうち前記凹部または凸部の他方が設けられた部分以外の部分との間の距離は、前記凹部の前記底部と前記凸部の前記頂部との間の距離よりも小さい、請求項8に記載の発光装置。
JP2021204681A 2021-12-17 2021-12-17 発光装置 Pending JP2023089984A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021204681A JP2023089984A (ja) 2021-12-17 2021-12-17 発光装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021204681A JP2023089984A (ja) 2021-12-17 2021-12-17 発光装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2023089984A true JP2023089984A (ja) 2023-06-29

Family

ID=86937257

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021204681A Pending JP2023089984A (ja) 2021-12-17 2021-12-17 発光装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2023089984A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6484588B2 (ja) 発光装置及び発光装置用パッケージ
US9685759B2 (en) Semiconductor laser device
JP6225812B2 (ja) 発光装置
JP4254669B2 (ja) 発光装置
JP6304282B2 (ja) 半導体レーザ装置
JP2009104998A (ja) 光源装置
US10522969B2 (en) Light-emitting device and lid body used in light-emitting device
JP2017199849A (ja) 発光装置の製造方法、レーザモジュールの製造方法及び発光装置
JP2022009833A (ja) 発光装置
JP2023014090A (ja) 光源装置
JP4893601B2 (ja) 光源装置
CN112636160B (zh) 激光器
JP7295426B2 (ja) 発光装置
JP6667149B1 (ja) 半導体レーザ光源装置
JP7024410B2 (ja) 半導体発光装置
JP2023089984A (ja) 発光装置
JP2010010509A (ja) 半導体レーザ装置
US20220238775A1 (en) Light-emitting device and method for manufacturing light-emitting device
JP6642749B1 (ja) 半導体レーザ光源装置
JP2017034133A (ja) 半導体発光装置
JPWO2020031944A1 (ja) 半導体発光装置
JP2019075460A (ja) 半導体発光素子および半導体発光装置
JP7220156B2 (ja) サブマウントおよび半導体レーザ装置
US10825974B2 (en) Light-emitting diode package and method of manufacture
JP2012134346A (ja) 半導体レーザ装置