JP2023075636A - 真空ポンプ及び該真空ポンプに用いられる断熱部材 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)座屈のリスクが増加する。
(2)固有振動数が低下し、共振が発生する。
(2)外部からの衝撃などで変形し、回転部と固定部が接触して故障の原因となる。(3)加工中に歪みが発生し易く、加工が難しいのでコストアップになる。
したがって、それらの問題点を考慮すると、断熱部は、肉厚で長い部品となり、スペース上の制約も出て来る。そのため、必要十分な断熱効果を得るのが容易ではなかった。
図9に示す断熱材203も、例えばステンレス製であり、アルミニウム製のネジ付スペーサ131及びベース部129より低い熱伝導率を示す。また、断熱材203は、環状部材であって、図8に示すように、固定円筒の支持部としてのネジ付スペーサ131の下端側軸方向支持部131Aの外周面131Bに、断熱材203の内周面203Aを対向させるともに、断熱材203の上側の端面203Bをネジ付スペーサ131の下端面131Cに当接させ、さらに下側の端面203Cをベース部129の上面129Aに当接させて、ネジ付スペーサ131の下端面131Cとベース部129の上面129Aとで挟まれて配設されている。
101 :吸気口
102 :回転翼
102d :円筒部(回転円筒)
103 :回転体
104 :上側径方向電磁石
105 :下側径方向電磁石
106A :軸方向電磁石
106B :軸方向電磁石
107 :上側径方向センサ
108 :下側径方向センサ
109 :軸方向センサ
111 :金属ディスク
113 :ロータ軸
120 :保護ベアリング
121 :モータ
122 :ステータコラム
123 :固定翼
123a :固定翼
123b :固定翼
123c :固定翼
125 :固定翼スペーサ
126A :固定翼スペーサ
126B :固定翼スペーサ
126C :下端側軸方向支持部
126D :外周面
126E :下端面
127 :外筒
129 :ベース部
129A :上面
131 :ネジ付スペーサ
131A :下端側軸方向支持部
131B :外周面
131C :下端面
131a :ネジ溝
133 :排気口
141 :電子回路部
143 :基板
145 :底蓋
149 :水冷管
150 :アンプ回路
151 :電磁石巻線
161 :トランジスタ
161a :カソード端子
161b :アノード端子
162 :トランジスタ
162a :カソード端子
162b :アノード端子
165 :ダイオード
165a :カソード端子
165b :アノード端子
166 :ダイオード
166a :カソード端子
166b :アノード端子
171 :電源
171a :正極
171b :負極
181 :電流検出回路
191 :アンプ制御回路
191a :ゲート駆動信号
191b :ゲート駆動信号
191c :電流検出信号
201 :ターボ分子ポンプ機構
202 :ネジ溝ポンプ機構部
202A :回転円板
202B :固定円板
202C :両面
202D :渦巻き状山部
202E :渦巻き状谷部
202F :ネジ溝
203 :断熱材(断熱部)
203A :内周面
203B :端面
203C :端面
203D :外周面
203E :内周層
203F :中間層
203G :外周層
203H :閉塞部
204A :空洞
204B :空洞
204C :空洞
204D :空洞
204E :空洞
205 :梁
I :断面二次モーメント
S :断面積
T :板の厚み
t :梁の厚み
Tp1 :パルス幅時間
Tp2 :パルス幅時間
Ts :制御サイクル
iL :電磁石電流
iLmax :電流値
iLmin :電流値
Claims (8)
- 加熱機能又は冷却機能の少なくとも一方を備えている真空ポンプであって、
加熱又は冷却される被温調部品に配設され、軸方向または半径方向に沿って空洞に形成された中空構造を呈する断熱部を備えている、
ことを特徴とする真空ポンプ。 - 前記空洞は、開口方向から視て略三角形状に形成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記空洞は、開口方向から視て略平行四辺形状に形成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ。 - 前記空洞は、少なくとも一部が塞がれている、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の真空ポンプ。 - 軸方向に多段状に配列された複数の回転翼を有する回転体と、前記複数の回転翼間に配設された複数の固定翼と、を備えているターボ分子ポンプ機構をさらに備え、
前記被温調部品は、前記複数の固定翼のうちの少なくとも1つの固定翼であり、
前記断熱部は、前記固定翼の支持部に配設された、
ことを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の真空ポンプ。 - 半径方向で互いに対向する回転円筒の外周面と固定円筒の内周面の少なくとも一面にネジ溝が形成されたホルベック型ポンプ機構をさらに備え、
前記被温調部品は、前記固定円筒であり、
前記断熱部は、前記固定円筒の支持部に配設された、
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の真空ポンプ。 - 軸方向で互いに対向する回転円板と固定円板とを有し、前記回転円板と対向する前記固定円板の少なくとも一面に渦巻き状山部と渦巻き状谷部を有する渦巻き状溝が形成されたシグバーン型ポンプ機構をさらに備え、
前記被温調部品は、前記固定円板であり、
前記断熱部は、前記固定円板の支持部に配設された、
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の真空ポンプ。 - 加熱機能又は冷却機能の少なくとも一方を備えている真空ポンプに用いられる断熱部材であって、
加熱又は冷却される被温調部品に配設され、軸方向または半径方向に沿って空洞に形成された中空構造を呈している、
ことを特徴とする断熱部材。
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