JP2023069251A - Sheet application device and sheet application method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。 The present invention relates to a sheet sticking device and a sheet sticking method.
フレーム部材および当該フレーム部材の開口部内に配置された被着体に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 2. Description of the Related Art A sheet applying device for applying an adhesive sheet to a frame member and an adherend placed in an opening of the frame member is known (see, for example, Patent Document 1).
特許文献1に記載されたテープ貼着装置2(シート貼付装置)は、フレーム13(フレーム部材)および被加工物11(被着体)にテープ3a(接着シート)を貼付した後に、フレーム部材に対する被着体の位置を検査するように構成されていないため、フレーム部材に対して被着体が適切な位置となるように接着シートが貼付されたことを判定することができないという不都合がある。
A tape sticking device 2 (sheet sticking device) described in
本発明の目的は、フレーム部材に対して被着体が適切な位置となるように接着シートが貼付されたことを判定することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a sheet sticking apparatus and a sheet sticking method that can determine whether an adhesive sheet has been stuck such that an adherend is positioned appropriately with respect to a frame member.
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。 The present invention employs the configurations described in the claims.
本発明によれば、接着シートが貼付されたフレーム部材および被着体において、フレーム部材に対する被着体の位置を検査するため、フレーム部材に対して被着体が適切な位置となるように接着シートが貼付されたことを判定することができる。
また、検査手段が、所定の第1仮想線に沿ってフレーム部材の縁から被着体の縁までの距離である第1距離と、第1仮想線とは異なる所定の第2仮想線に沿ってフレーム部材の縁から被着体の縁までの距離である第2距離とを測定し、第1距離および第2距離の各測定結果を基にフレーム部材に対する被着体の位置を検査すれば、被着体位置の検査の精度を向上させることができる。
According to the present invention, in order to inspect the position of the adherend with respect to the frame member, the frame member and the adherend to which the adhesive sheet is attached are adhered so that the adherend is positioned appropriately with respect to the frame member. It can be determined that the sheet has been attached.
Further, the inspection means measures a first distance, which is the distance from the edge of the frame member to the edge of the adherend along a predetermined first virtual line, and along a predetermined second virtual line different from the first virtual line. a second distance, which is the distance from the edge of the frame member to the edge of the adherend, is measured, and the position of the adherend relative to the frame member is inspected based on the measurement results of the first distance and the second distance. , the accuracy of the inspection of the adherend position can be improved.
以下、本発明の一実施形態を図1に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1(A)の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1(A)中手前方向で「後」がその逆方向とする。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG.
Note that the X-axis, Y-axis, and Z-axis in this embodiment are orthogonal to each other, and the X-axis and Y-axis are axes within a predetermined plane, and the Z-axis is an axis orthogonal to the predetermined plane. do. Furthermore, in the present embodiment, when viewed from the front side of FIG. In terms of direction, "left" is the arrow direction of the X axis, "right" is the opposite direction, and "front" is the front direction in FIG. 1A parallel to the Y axis, and "back" is the opposite direction.
シート貼付装置EAは、フレーム部材としてのリングフレームRFおよび当該リングフレームRFの開口部RF1内に配置された被着体WKに接着シートASを貼付する貼付工程を実施する貼付手段10と、接着シートASが貼付されたリングフレームRFおよび被着体WKにおいて、リングフレームRFに対する被着体WKの位置を検査する検査工程を実施する検査手段20とを備え、リングフレームRFおよび被着体WKを支持する支持手段30の近傍に配置されている。
The sheet sticking apparatus EA includes a ring frame RF as a frame member and a sticking means 10 for carrying out a sticking step of sticking an adhesive sheet AS to an adherend WK arranged in an opening RF1 of the ring frame RF; An inspection means 20 for performing an inspection step of inspecting the position of the adherend WK with respect to the ring frame RF and the adherend WK to which the AS is attached, and supports the ring frame RF and the adherend WK. It is arranged in the vicinity of the supporting
貼付手段10は、剥離シートRLの一方の面に接着シートASが仮着された原反RSを支持する支持ローラ11と、原反RSを案内するガイドローラ12と、剥離縁13Aで剥離シートRLを折り返し、当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板13と、駆動機器としての回動モータ14Aの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ14Bとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ14と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置EAの自動運転が行われている間、ピンチローラ14Bとの間に存在する剥離シートRLに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートRLを回収する回収手段としての回収ローラ15と、リングフレームRFおよび被着体WKに接着シートASを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ16とを備えている。
The sticking means 10 includes a support roller 11 that supports the original sheet RS to which the adhesive sheet AS is temporarily adhered to one surface of the release sheet RL, a
検査手段20は、リングフレームRFおよび被着体WKに接着シートASが貼付された一体物UPを反転させる反転手段21と、リングフレームRFの縁としての外縁RF2および被着体WKの縁としての外縁WK1を検知するカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成され、前後方向に並設された複数の検知手段22と、リングフレームRFおよび被着体WKに対して検知手段22を相対移動させる相対移動手段23と、リングフレームRFに対する被着体WKの位置を検査するとともに、シート貼付装置EAの全体的または部分的な動作を制御するパーソナルコンピュータやシーケンサ等の制御手段24とを備えている。本実施形態の場合、検査手段20は、所定の第1仮想線SL1に沿ってリングフレームRFの外縁RF2から被着体WKの外縁WK1までの距離である第1距離SD1と、第1仮想線SL1とは異なる所定の第2仮想線SL2に沿ってリングフレームRFの外縁RF2から被着体WKの外縁WK1までの距離である第2距離SD2とを測定し、第1距離SD1および第2距離SD2の各測定結果を基にリングフレームRFに対する被着体WKの位置を検査する構成となっている。
反転手段21は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端アーム21Bで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット21Aと、一体物UPを保持する保持手段であって、先端アーム21Bに支持された駆動機器としてのチャックシリンダ21Cとを備えている。
相対移動手段23は、駆動機器としてのリニアモータ23Aと、リニアモータ23Aのスライダ23Bに支持された駆動機器としての回動モータ23Cと、回動モータ23Cの出力軸23Dに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面23Eを有する検査テーブル23Fとを備えている。なお、第1、第2仮想線SL1、SL2は、平面視で回動モータ23Cの出力軸23Dの軸中心ARから前後方向に所定距離PD1、PD2離れた位置を通り、左右方向に延びる互いに平行な線である。
制御手段24は、リングフレームRFに対する被着体WKの位置を検査した検査結果から、リングフレームRFに対して被着体WKが不適切な位置にある状態で接着シートASが貼付された貼付不良が発生したと判定した場合、表示器やスピーカ等の図示しない警告手段に不良判定信号を出力するようになっている。なお、図示しない警告機器は、制御手段24によって出力された不良判定信号を受信すると、表示器やスピーカ等を介して光や音等の警告シグナルを出力するようになっている。
The inspection means 20 includes a reversing means 21 for reversing the integrated object UP in which the adhesive sheet AS is attached to the ring frame RF and the adherend WK, an outer edge RF2 as the edge of the ring frame RF, and an outer edge RF2 as the edge of the adherend WK. A plurality of detection means 22 arranged side by side in the front-rear direction, which includes imaging means such as a camera and a projector for detecting the outer edge WK1, and various sensors such as an optical sensor and an ultrasonic sensor, and a ring frame RF and an adherend. A relative movement means 23 for moving the detection means 22 relative to the body WK, and a personal computer for inspecting the position of the adherend WK with respect to the ring frame RF and controlling the entire or partial operation of the sheet sticking apparatus EA. and a control means 24 such as a sequencer. In this embodiment, the inspection means 20 measures a first distance SD1, which is the distance from the outer edge RF2 of the ring frame RF to the outer edge WK1 of the adherend WK along a predetermined first virtual line SL1, A second distance SD2, which is the distance from the outer edge RF2 of the ring frame RF to the outer edge WK1 of the adherend WK, is measured along a predetermined second virtual line SL2 different from SL1, and the first distance SD1 and the second distance are measured. The position of the adherend WK with respect to the ring frame RF is inspected based on each measurement result of SD2.
The
The relative movement means 23 is supported by a
The control means 24 determines from the result of the inspection of the position of the adherend WK with respect to the ring frame RF that the adhesive sheet AS is adhered in a state where the adherend WK is in an inappropriate position with respect to the ring frame RF. When it is determined that a failure has occurred, a failure determination signal is output to warning means (not shown) such as a display or speaker. A warning device (not shown) outputs a warning signal such as light or sound via a display or a speaker upon receiving the defect determination signal output by the control means 24 .
支持手段30は、リニアモータ23Aのスライダ23Gに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって各々吸着保持が可能な被着体支持面31Aおよびフレーム支持面31Bを有するテーブル31を備え、リニアモータ23Aを相対移動手段23と兼用する構成となっている。
The support means 30 is supported by the
以上のシート貼付装置EAの動作を説明する。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EAに対し、当該シート貼付装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように原反RSをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付手段10が回動モータ14Aを駆動し、原反RSを繰り出し、先頭の接着シートASの繰出方向先端部が剥離板13の剥離縁13Aで所定長さ剥離されると、貼付手段10が回動モータ14Aの駆動を停止する。
The operation of the above sheet sticking apparatus EA will be described.
First, a user of the sheet sticking device EA (hereinafter simply referred to as the "user") moves the sheet sticking device EA in which the respective members are arranged at the initial positions indicated by the solid lines in FIG. After the raw fabric RS is set in the machine, a signal for starting automatic operation is inputted through an operation means such as an operation panel (not shown) or a personal computer. Then, the pasting means 10 drives the
次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図1(A)に示すように、被着体WK、リングフレームRFを被着体支持面31A、フレーム支持面31B上の所定の位置に載置すると、支持手段30が図示しない減圧手段を駆動し、被着体支持面31A、フレーム支持面31Bでの被着体WK、リングフレームRFの吸着保持を開始する。その後、支持手段30がリニアモータ23Aを駆動し、テーブル31を左方に移動させ、当該テーブル31が所定の位置に到達すると、貼付手段10が回動モータ14Aを駆動し、テーブル31の移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、図1(A)中二点鎖線で示すように、先頭の接着シートASが剥離板13の剥離縁13Aで剥離シートRLから剥離され、当該剥離シートRLから剥離された接着シートASは、押圧ローラ16によってリングフレームRFおよび被着体WKに押圧されて貼付される。
Next, as shown in FIG. 1(A), a user or a conveying means (not shown) such as an articulated robot or a belt conveyor moves the adherend WK and the ring frame RF to the adherend supporting
次に、先頭の接着シートAS全体がリングフレームRFおよび被着体WKに貼付されて一体物UPが形成され、当該先頭の接着シートASに続く次の接着シートASの繰出方向先端部が剥離板13の剥離縁13Aで所定長さ剥離されると、貼付手段10が回動モータ14Aの駆動を停止する。そして、一体物UPを支持したテーブル31が押圧ローラ16の下方を抜け出て、図1(A)中二点鎖線で示すように、多関節ロボット21Aの前方の所定位置に到達すると、支持手段30がリニアモータ23Aの駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、被着体支持面31A、フレーム支持面31Bでの被着体WK、リングフレームRFの吸着保持を解除する。次いで、検査手段20が多関節ロボット21Aおよびチャックシリンダ21Cを駆動し、当該チャックシリンダ21Cで一体物UPを持ち上げて上下反転させると、支持手段30がリニアモータ23Aを駆動し、テーブル31を初期位置に復帰させる。その後、検査手段20がリニアモータ23Aを駆動し、検査テーブル23Fを右方に移動させ、当該検査テーブル23Fが多関節ロボット21Aの前方の所定位置に到達すると、検査手段20がリニアモータ23Aの駆動を停止する。次に、検査手段20が多関節ロボット21Aを駆動し、上下反転した一体物UPを支持面23E上の所定の位置に載置した後、図示しない減圧手段を駆動し、支持面23Eでの一体物UPの吸着保持を開始する。そして、検査手段20が多関節ロボット21Aおよびリニアモータ23Aを駆動し、チャックシリンダ21Cおよび検査テーブル23Fを初期位置に復帰させる。
Next, the entire leading adhesive sheet AS is adhered to the ring frame RF and the adherend WK to form an integrated body UP, and the leading end of the next adhesive sheet AS following the leading adhesive sheet AS in the delivery direction is a release plate. When the
次いで、検査手段20がリニアモータ23Aを駆動し、図1(A)中二点鎖線で示すように、検査テーブル23Fを右方に所定の距離移動させる。この際、検査テーブル23Fが右方に移動している間に、検査テーブル23FとリングフレームRFとの段差が各検知手段22の下方を通過すると、検査手段20が各検知手段22でリングフレームRFの外縁RF2を検知し、それまでに検査テーブル23Fが初期位置から移動した移動距離を制御手段24に記憶する。その後、接着シートASと被着体WKとの段差が各検知手段22の下方を通過すると、検査手段20が各検知手段22で被着体WKの外縁WK1を検知し、それまでに検査テーブル23Fが初期位置から移動した距離を制御手段24に記憶する。次に、検査手段20が制御手段24に記憶した各移動距離を基に、図1(B)に示す第1、第2仮想線SL1、SL2に沿ってリングフレームRFの外縁RF2から被着体WKの外縁WK1までの距離を算出することで、第1、第2距離SD1、SD2を測定し、これらの測定結果を基に、下記式(1)を用いて、検査テーブル23FのDX軸方向でリングフレームRFに対する被着体WKのずれ量を算出する。
Next, the inspection means 20 drives the
ずれ量=基準距離RD-(第1距離SD1+第2距離SD2)/2 ・・・式(1)
なお、上記式(1)における基準距離RDは、予め定められる設計値であり、図1(B)に示すように、被着体WKの外縁WK1の中心がリングフレームRFの中心に一致している場合の第1、第2距離SD1、SD2に相当する。そして、検査手段20がリニアモータ23Aを駆動し、検査テーブル23Fを初期位置に復帰させる。次いで、検査手段20がリニアモータ23Aの駆動を停止した後、回動モータ23Cを駆動し、図1(C)に示すように、出力軸23Dの軸中心ARを中心として検査テーブル23Fを時計回転方向に90度回転させる。その後、検査手段20は、上記と同様にして、検査テーブル23Fを所定の距離移動させることで第1、第2距離SD1、SD2を測定した後、これらの測定結果を基に、検査テーブル23FのDY軸方向でリングフレームRFに対する被着体WKのずれ量を算出する。
Deviation amount=reference distance RD-(first distance SD1+second distance SD2)/2 Expression (1)
Note that the reference distance RD in the above formula (1) is a predetermined design value, and as shown in FIG. corresponds to the first and second distances SD1 and SD2 in the case of Then, the inspection means 20 drives the
次に、検査手段20が制御手段24でDX軸方向、DY軸方向の各ずれ量の絶対値と、所定の閾値とを対比し、リングフレームRFに対する被着体WKの位置を検査する。検査の結果、DX軸方向、DY軸方向の各ずれ量が所定の閾値以下である場合、検査手段20は、リングフレームRFに対して被着体WKが適切な位置となるように接着シートASが貼付されたと判定し、図示しない警告手段に不良判定信号を出力することはない。そして、検査手段20が図示しない減圧機器の駆動を停止し、支持面23Eでの一体物UPの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が一体物UPを次工程に搬送すると、検査手段20がリニアモータ23Aおよび回動モータ23Cを駆動し、検査テーブル23Fを初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
Next, the control means 24 of the inspection means 20 compares the absolute values of the deviation amounts in the DX-axis direction and the DY-axis direction with a predetermined threshold value, and inspects the position of the adherend WK with respect to the ring frame RF. As a result of the inspection, if the amount of deviation in each of the DX-axis direction and the DY-axis direction is equal to or less than a predetermined threshold value, the inspection means 20 adjusts the adhesive sheet AS so that the adherend WK is positioned appropriately with respect to the ring frame RF. is attached, and a failure determination signal is not output to warning means (not shown). Then, the inspection means 20 stops driving the decompression device (not shown), and releases the
ここで、被着体WK位置の検査の結果、DX軸方向およびDY軸方向の何れかの方向のずれ量が所定の閾値を超えた場合、検査手段20は、リングフレームRFに対して被着体WKが不適切な位置にある状態で接着シートASが貼付された貼付不良が発生したと判定する。例えば、図1(B)中二点鎖線で示すように、リングフレームRFに対して被着体WKがDY軸の矢印方向の逆方向に位置ずれしている場合、検査手段20がDX軸方向における第1、第2距離SD1、SD2を測定したとき、第1距離SD1が基準距離RDよりも短くなるが、第2距離SD2が基準距離RDよりも長くなるため、DX軸方向のずれ量の絶対値が所定の閾値以下となる。一方、図1(C)に示すように、検査手段20がDY軸方向における第1、第2距離SD1、SD2を測定したとき、第1、第2距離SD1、SD2のそれぞれが基準距離RDよりも短くなるため、DY軸方向のずれ量の絶対値が所定の閾値を超える。このため、検査手段20は、貼付不良が発生したと判定し、図示しない警告手段に不良判定信号を出力する。図示しない警告機器が不良判定信号を受信すると、当該警告機器が表示器やスピーカ等を介して警告シグナルを発し、貼付不良が発生したことを使用者に伝える。その後、使用者または図示しない搬送手段が一体物UPを検査テーブル23F上から除去すると、検査手段20がリニアモータ23Aおよび回動モータ23Cを駆動し、検査テーブル23Fを初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
Here, as a result of the inspection of the position of the adherend WK, if the deviation amount in either the DX-axis direction or the DY-axis direction exceeds a predetermined threshold value, the inspection means 20 detects the position of the adherend with respect to the ring frame RF. It is determined that a sticking failure has occurred in which the adhesive sheet AS is stuck while the body WK is in an inappropriate position. For example, as shown by the two-dot chain line in FIG. 1B, when the adherend WK is displaced in the direction opposite to the arrow direction of the DY axis with respect to the ring frame RF, the inspection means 20 moves in the direction of the DX axis. , the first distance SD1 is shorter than the reference distance RD, but the second distance SD2 is longer than the reference distance RD. The absolute value becomes equal to or less than a predetermined threshold. On the other hand, as shown in FIG. 1C, when the inspection means 20 measures the first and second distances SD1 and SD2 in the DY-axis direction, each of the first and second distances SD1 and SD2 is greater than the reference distance RD. becomes shorter, the absolute value of the amount of deviation in the DY-axis direction exceeds a predetermined threshold. Therefore, the inspection means 20 determines that a sticking failure has occurred, and outputs a failure determination signal to a warning means (not shown). When a warning device (not shown) receives the defect determination signal, the warning device issues a warning signal via a display, speaker, or the like, and informs the user that the sticking defect has occurred. Thereafter, when the user or unillustrated conveying means removes the integrated object UP from the inspection table 23F, the inspection means 20 drives the
以上のような実施形態によれば、接着シートASが貼付されたリングフレームRFおよび被着体WKにおいて、リングフレームRFに対する被着体WKの位置を検査するため、リングフレームRFに対して被着体WKが適切な位置となるように接着シートASが貼付されたことを判定することができる。 According to the above-described embodiment, in order to inspect the position of the adherend WK with respect to the ring frame RF and the adherend WK to which the adhesive sheet AS is attached, the adhesive sheet AS is adhered to the ring frame RF. It can be determined that the adhesive sheet AS has been attached so that the body WK is in an appropriate position.
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。 As described above, the best configuration, method, etc. for carrying out the present invention are disclosed in the above description, but the present invention is not limited thereto. That is, although the present invention has been particularly illustrated and described primarily with respect to certain embodiments, it is understood that there may be modifications to the above-described embodiments without departing from the spirit and scope of the invention. Various modifications can be made by those skilled in the art in terms of materials, quantity, and other detailed configurations. In addition, the descriptions that limit the shape, material, etc. disclosed above are exemplified to facilitate understanding of the present invention, and do not limit the present invention. The description by the name of the member that removes some or all of the limitations such as is included in the present invention.
例えば、貼付手段10は、剥離シートRLに仮着された帯状の接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートASとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートRLに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断刃等の切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を接着シートASとしてもよいし、支持ローラ11やガイドローラ12等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で原反RS、剥離シートRLを支持したり案内したりしてもよいし、原反RSを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートRLを巻回することなくファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートRLを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、駆動機器であって押圧手段としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で接着シートASを保持し、当該保持部材で保持した接着シートASをリングフレームRFや被着体WKに押圧して貼付する構成でもよいし、上記の実施形態では、移動することのない貼付手段10に対してリングフレームRFおよび被着体WKを移動させ、当該リングフレームRFおよび被着体WKに接着シートASを貼付したが、リングフレームRFおよび被着体WKを移動させることなくまたは、リングフレームRFおよび被着体WKを移動させつつ、貼付手段10を移動させ、当該リングフレームRFおよび被着体WKに接着シートASを貼付してもよい。
For example, the pasting means 10 is formed by forming a closed loop shape or a notch in the entire short width direction in a band-shaped adhesive sheet base material temporarily attached to the release sheet RL, and a predetermined area partitioned by the notch. may be fed out as the adhesive sheet AS, or a strip-shaped adhesive sheet base material is temporarily attached to the release sheet RL, and the adhesive sheet base material has a closed loop shape or a short width direction. A cut may be formed by a cutting means such as a cutting blade, and a predetermined region partitioned by the cut may be used as an adhesive sheet AS, or a plate member instead of each roller such as the support roller 11 and the
検査手段20は、反転手段21が備わっていなくてもよく、この場合、テーブル31の上方に設けた検知手段22で、透過性を有する接着シートAS越しに被着体WKの外縁WK1を検知してもよいし、検査テーブル23Fを透過性を有するものとし、当該検査テーブル23Fの下方に設けた検知手段22で、当該検査テーブル23F越しにリングフレームRFの外縁RF2および被着体WKの外縁WK1を検知してもよい。
検査手段20は、1つまたは3つ以上の検知手段22を備えてもよいし、相対移動手段23が検知手段22を前後方向に移動させる駆動手段を備え、1つの検知手段22で第1仮想線SL1に沿ってリングフレームRFの外縁RF2と被着体WKの外縁WK1とを検知した後、第2仮想線SL2に沿ってリングフレームRFの外縁RF2と被着体WKの外縁WK1とを検知してもよいし、リングフレームRFの外縁RF2に代えて、リングフレームRFの開口部RF1で形成される内縁を当該リングフレームRFの縁として検知し、リングフレームRFの内縁から被着体WKの外縁WK1までの距離を第1、第2距離SD1、SD2として測定してもよいし、被着体WKが環状である場合、被着体WKの外縁WK1に代えて、被着体WKの縁としての内縁を検知し、リングフレームRFの外縁RF2から被着体WKの内縁までの距離を第1、第2距離SD1、SD2として測定したり、リングフレームRFの内縁から被着体WKの内縁までの距離を第1、第2距離SD1、SD2として測定したりしてもよい。
検査手段20は、回動モータ23Cを備えなくてもよく、回動モータ23Cを備えない場合、検査テーブル23FのDX軸方向におけるずれ量を基に、リングフレームRFに対する被着体WKの位置を検査してもよいし、検査テーブル23Fの回転動作を複数回に分けて実施し、検査テーブル23Fの3つ以上の方向において算出したずれ量を基に、リングフレームRFに対する被着体WKの位置を検査してもよいし、第1、第2仮想線SL1、SL2と回動モータ23Cの出力軸23Dの軸中心ARとの間の所定距離PD1、PD2を互いに等しい距離としてもよいし、互いに異なる距離としてもよいしもよいし、検査テーブル23FのDX軸方向、DY軸方向の各方向で、1つの仮想線に沿ってリングフレームRFの外縁RF2から被着体WKの外縁WK1までの距離を測定し、これらの距離を基に、リングフレームRFに対する被着体WKの位置を検査してもよい。
検査手段20は、リングフレームRFに対して被着体WKの位置がずれている方向やずれ量を警告手段に出力し、当該警告手段に設けた表示器に表示させてもよい。
The inspection means 20 may not have the reversing
The inspection means 20 may be provided with one or three or more detection means 22 , or the relative movement means 23 may be provided with drive means for moving the detection means 22 in the front-rear direction, and one detection means 22 may be used to move the first
The inspection means 20 does not have to include the
The inspection means 20 may output the direction and the amount of displacement of the adherend WK with respect to the ring frame RF to the warning means, and display them on a display provided in the warning means.
支持手段30は、本発明のシート貼付装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、他の装置で被着体WKやリングフレームRFを支持してもよい。 The support means 30 may or may not be provided in the sheet sticking apparatus EA of the present invention, and if not provided, another device may support the adherend WK and the ring frame RF. .
シート貼付装置EAは、検査テーブル23F上に支持された一体物UPのリングフレームRFに対する被着体WKの位置を検査している間、テーブル31上に支持されたリングフレームRF、被着体WKに次の接着シートASを貼付してもよい。
フレーム部材は、リングフレームRF以外に、環状でない(外周が繋がっていない)ものや、円形、楕円形、多角形、その他の形状であってもよい。
While the sheet sticking apparatus EA inspects the position of the adherend WK with respect to the ring frame RF of the integrated object UP supported on the inspection table 23F, the ring frame RF supported on the table 31 and the adherend WK The following adhesive sheet AS may be attached to the .
Other than the ring frame RF, the frame member may have a non-annular shape (the outer circumference is not connected), a circular shape, an elliptical shape, a polygonal shape, or other shapes.
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、フレーム部材および当該フレーム部材の開口部内に配置された被着体に接着シートを貼付可能なものであれば、どのようなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(その他の手段および工程も同じ)。 The means and steps in the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions or steps described for those means and steps. The process is not limited at all. For example, the sticking means may be of any type as long as it can stick the adhesive sheet to the frame member and the adherend placed in the opening of the frame member. There is no limitation as long as it is within the technical scope (other means and steps are the same).
接着シートAS、被着体WKおよびフレーム部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートAS、被着体WKおよびフレーム部材は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートASは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等3層以上のもの、さらには、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体WKとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら2つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。 The materials, types, shapes, etc. of the adhesive sheet AS, the adherend WK and the frame member are not particularly limited. For example, the adhesive sheet AS, the adherend WK, and the frame member may be circular, elliptical, polygonal such as triangular or square, or other shapes. In the case of adopting a thermosensitive adhesive sheet AS, a suitable heating means such as a coil heater or a heat pipe is used to heat the adhesive sheet AS. It may be adhered by an appropriate method such as providing. Further, the adhesive sheet AS is, for example, a single-layer adhesive layer only, an intermediate layer between the substrate and the adhesive layer, or three or more layers such as a cover layer on the upper surface of the substrate. Furthermore, it may be a so-called double-sided adhesive sheet from which the base material can be peeled off from the adhesive layer. It may be of a single layer or multiple layers. Examples of the adherend WK include food, resin containers, semiconductor wafers such as silicon semiconductor wafers and compound semiconductor wafers, information recording substrates such as circuit boards and optical discs, glass plates, steel plates, ceramics, wood plates, resins, and the like. It may be a single substance, or a composite formed by two or more of them, and may be a member or article of any shape. In addition, the adhesive sheet AS can be arbitrarily used, for example, a label for information recording, a label for decoration, a protective sheet, a dicing tape, a die attach film, a die bonding tape, a resin sheet for forming a recording layer, etc. sheet, film, tape, or the like.
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、2軸または3軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
The drive device in the above embodiment includes a rotating motor, a linear motor, a linear motor, a single-axis robot, an electric device such as a multi-joint robot having two or more joints, an air cylinder, a hydraulic cylinder, and a rodless robot. Actuators such as cylinders and rotary cylinders can be used, and combinations thereof directly or indirectly can also be used.
In the above embodiments, when a rotating member such as a roller is employed, a drive device for rotating the rotating member may be provided, or the surface of the rotating member or the rotating member itself may be made of deformable material such as rubber or resin. It may be composed of a member, the surface of the rotating member or the rotating member itself may be composed of a member that does not deform, or other members such as a shaft or a blade that rotates or does not rotate instead of the roller. Alternatively, if a pressing means such as a pressing roller or a pressing head or a pressing member that presses an object to be pressed is adopted, a roller, a round bar, a blade can be used instead of or in combination with the above examples In addition to the material and brush-like member, it may be possible to adopt the one by blowing gas such as air or gas. It may be composed of a member that does not deform such as , resin, etc., or if a peeling means such as a peeling plate or a peeling roller or a peeling member such as a peeling member is used, instead of the above examples Alternatively, a member such as a plate-shaped member, a round bar, or a roller may be adopted, and the peelable member may be made of a deformable member such as rubber or resin, or may be made of a non-deformable member. Alternatively, if a supporting (holding) means or a supporting (holding) member or the like that supports (holds) a member to be supported (member to be held) is employed, gripping means such as a mechanical chuck or a chuck cylinder may be used. , Coulomb force, adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), magnetic force, Bernoulli adsorption, suction adsorption, drive equipment, etc. to support (hold) the supported member. Alternatively, if a cutting means or a cutting member that cuts the member to be cut or forms a cut or a cutting line in the member to be cut is adopted, it can be used in place of or in combination with the above examples. , Cutter blades, laser cutters, ion beams, thermal power, heat, water pressure, heating wires, spraying of gas or liquid, etc., or moving objects to be cut with a combination of appropriate driving equipment You may make it cut|disconnect by making it cut|disconnect.
EA…シート貼付装置
10…貼付手段
20…検査手段
AS…接着シート
RF…リングフレーム(フレーム部材)
WK…被着体
EA...
WK: adherend
Claims (3)
前記接着シートが貼付された前記フレーム部材および前記被着体において、前記フレーム部材に対する前記被着体の位置を検査する検査手段をさらに備えていることを特徴とするシート貼付装置。 a frame member and a sticking means for sticking the adhesive sheet to the adherend arranged in the opening of the frame member;
The sheet sticking apparatus further comprises inspection means for inspecting the position of the adherend with respect to the frame member and the adherend to which the adhesive sheet is pasted.
前記接着シートが貼付された前記フレーム部材および前記被着体において、前記フレーム部材に対する前記被着体の位置を検査する検査工程をさらに実施することを特徴とするシート貼付方法。 performing an attaching step of attaching the adhesive sheet to the frame member and the adherend disposed in the opening of the frame member;
A sheet sticking method, further comprising: inspecting the position of the adherend with respect to the frame member and the adherend to which the adhesive sheet is stuck.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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