JP2023062559A - インダクタ部品 - Google Patents
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Abstract
Description
磁性粉を含み、第1主面および第2主面と、前記第1主面と前記第2主面とを接続する側面と、を有する素体と、
前記素体内に設けられたインダクタ配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第1端部に接続され前記第1主面まで延在する第1垂直配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第2端部に接続され前記第1主面まで延在する第2垂直配線と、
前記第1垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第1外部端子と、
前記第2垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第2外部端子と
を備え、
前記磁性粉は、Fe元素を主成分とし、
前記側面は、複数の前記磁性粉が酸化された酸化膜が露出している酸化領域と、複数の前記磁性粉が露出している非酸化領域とを有する。
前記素体は、前記磁性粉を含有する樹脂を含み、
前記酸化領域における前記磁性粉は、前記酸化膜を介して前記樹脂と接触する磁性粉を含む。
前記素体は、前記磁性粉を含有する樹脂を含み、
前記酸化領域における前記磁性粉は、前記樹脂と直接接触する磁性粉を含む。
前記酸化領域は、前記非酸化領域と比べて、600nmより小さい波長の反射率に対する600nm以上800nm以下の波長の反射率の割合が大きい。
前記酸化膜は、前記磁性粉の切断面に形成されている。
前記酸化膜の厚みは、前記磁性粉の粒径のD50より小さい。
前記インダクタ配線は、前記第1端部に接続され前記側面から露出する第1引出部を有する。
第1引出部が露出する側面は、酸化領域を有するので、複数のインダクタ配線を設ける場合、側面における隣り合う第1引出部の間の絶縁抵抗を高くすることができる。また、複数のインダクタ部品を配置する場合、隣り合うインダクタ部品の第1引出部の間の絶縁抵抗を高くすることができる。
前記インダクタ配線は、複数あり、
複数のインダクタ配線は、前記第1主面に平行な同一平面に配置され、互いに電気的に分離している。
前記インダクタ配線は、複数あり、
複数のインダクタ配線は、前記第1主面に直交する方向に沿って配置されている。
前記第1主面上に設けられた絶縁層をさらに備える。
前記第1主面は、前記酸化領域と前記非酸化領域とを有する。
前記側面は、前記第1主面から、前記第1主面に直交する方向の所定範囲の第1領域と、前記第1領域以外の第2領域と、を有し、
前記第2領域における前記磁性粉の粒径のD50は、前記第1領域における前記磁性粉の粒径のD50よりも大きく、
前記側面において、前記第1領域は、前記第2領域と比べて、前記非酸化領域の面積が大きく、かつ、前記第2領域は、前記第1領域と比べて、前記酸化領域の面積が大きい。
前記素体は、前記第1主面に直交する方向に積層された複数の磁性層を有し、
前記インダクタ配線に接する前記磁性層は、前記インダクタ配線の外形の一部に沿って配置されている。
前記酸化領域の前記磁性粉の粒径のD50は、前記非酸化領域の前記磁性粉のD50よりも大きい。
前記酸化領域のFe元素の量は、前記非酸化領域のFe元素の量より多い。
前記側面は、さらに凹部を有する。
磁性粉を含み、第1主面および第2主面と、前記第1主面と前記第2主面とを接続する側面と、を有する素体と、
前記素体内に設けられたインダクタ配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第1端部に接続され前記第1主面まで延在する第1垂直配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第2端部に接続され前記第1主面まで延在する第2垂直配線と、
前記第1垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第1外部端子と、
前記第2垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第2外部端子と
を備え、
前記磁性粉は、Fe元素を主成分とし、
前記側面は、複数の前記磁性粉上においてFe元素が65wt%以上でありかつO元素が24wt%以上である酸化領域と、複数の前記磁性粉が露出している非酸化領域とを有する。
(構成)
図1は、インダクタ部品の第1実施形態を示す平面図である。図2Aは、図1のA-A断面図である。図2Bは、図1のB-B断面図である。
次に、インダクタ部品1の製造方法について説明する。図4Aから図4Iは、図1のB-B断面(図2B)に対応する。
次に、実施例1、実施例2、実施例3において、酸化領域および非酸化領域のそれぞれのFe元素量とO元素量とを求めた。図5Aは、実施例1から実施例3において、酸化領域および非酸化領域のそれぞれのFe元素量[wt%]を示すグラフである。図5Bは、実施例1から実施例3において、酸化領域および非酸化領域のそれぞれのO元素量[wt%]を示すグラフである。
図6は、インダクタ部品の第2実施形態を示す平面図である。図7は、図6のA-A断面図である。第3実施形態は、第1実施形態とは、インダクタ配線、垂直配線および外部端子の構成が相違する。この相違する構成を以下に説明する。なお、第3実施形態において、第1実施形態と同一の符号は、第1実施形態と同じ構成であるため、その説明を省略する。
次に、インダクタ部品1Aの製造方法について説明する。図9Aから図9Mは、図6のA-A断面(図7)に対応する。
図10は、インダクタ部品の第3実施形態を示す画像図である。第3実施形態は、第1実施形態とは、素体の構成が相違する。この相違する構成を以下に説明する。その他の構造は、第1実施形態と同じであるため、第1実施形態と同一の符号を付して、その説明を省略する。なお、図10は、図1のC-C断面に対応する。
10,10A 素体
10a 第1主面
10b 第2主面
10c~10f 第1~第4側面
11 第1磁性層
12 第2磁性層
13 第3磁性層
15 第2絶縁層
21,21A 第1インダクタ配線
21a 第1端部(内周端)
21b 第2端部(外周端)
22,22A 第2インダクタ配線
22a 第1端部(内周端)
22b 第2端部(外周端)
25 ビア配線
31 第1柱状配線(垂直配線)
32 第2柱状配線(垂直配線)
33 第3柱状配線(垂直配線)
41,41A 第1外部端子
42,42A 第2外部端子
43 第3外部端子
50 第3絶縁層(被覆膜)
51 第1垂直配線
52 第2垂直配線
61 第2絶縁層
71 第1絶縁層
81 第1接続配線
82 第2接続配線
100 磁性粉
101 樹脂
102 酸化膜
201 第1引出配線
202 第2引出配線
A1 第1領域
A2 第2領域
C 凹部
L 第1領域のZ方向の長さ
R1 酸化領域
R2 非酸化領域
Claims (17)
- 磁性粉を含み、第1主面および第2主面と、前記第1主面と前記第2主面とを接続する側面と、を有する素体と、
前記素体内に設けられたインダクタ配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第1端部に接続され前記第1主面まで延在する第1垂直配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第2端部に接続され前記第1主面まで延在する第2垂直配線と、
前記第1垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第1外部端子と、
前記第2垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第2外部端子と
を備え、
前記磁性粉は、Fe元素を主成分とし、
前記側面は、複数の前記磁性粉が酸化された酸化膜が露出している酸化領域と、複数の前記磁性粉が露出している非酸化領域とを有する、インダクタ部品。 - 前記素体は、前記磁性粉を含有する樹脂を含み、
前記酸化領域における前記磁性粉は、前記酸化膜を介して前記樹脂と接触する磁性粉を含む、請求項1に記載のインダクタ部品。 - 前記素体は、前記磁性粉を含有する樹脂を含み、
前記酸化領域における前記磁性粉は、前記樹脂と直接接触する磁性粉を含む、請求項1に記載のインダクタ部品。 - 前記酸化領域は、前記非酸化領域と比べて、600nmより小さい波長の反射率に対する600nm以上800nm以下の波長の反射率の割合が大きい、請求項1から3の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記酸化膜は、前記磁性粉の切断面に形成されている、請求項1から4の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記酸化膜の厚みは、前記磁性粉の粒径のD50より小さい、請求項1から5の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記インダクタ配線は、前記第1端部に接続され前記側面から露出する第1引出部を有する、請求項1から6の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記インダクタ配線は、複数あり、
複数のインダクタ配線は、前記第1主面に平行な同一平面に配置され、互いに電気的に分離している、請求項1から7の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記インダクタ配線は、複数あり、
複数のインダクタ配線は、前記第1主面に直交する方向に沿って配置されている、請求項7に記載のインダクタ部品。 - 前記第1主面上に設けられた絶縁層をさらに備える、請求項1から9の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記第1主面は、前記酸化領域と前記非酸化領域とを有する、請求項1から10の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記側面は、前記第1主面から、前記第1主面に直交する方向の所定範囲の第1領域と、前記第1領域以外の第2領域と、を有し、
前記第2領域における前記磁性粉の粒径のD50は、前記第1領域における前記磁性粉の粒径のD50よりも大きく、
前記側面において、前記第1領域は、前記第2領域と比べて、前記非酸化領域の面積が大きく、かつ、前記第2領域は、前記第1領域と比べて、前記酸化領域の面積が大きい、請求項1から11の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記素体は、前記第1主面に直交する方向に積層された複数の磁性層を有し、
前記インダクタ配線に接する前記磁性層は、前記インダクタ配線の外形の一部に沿って配置されている、請求項1から12の何れか一つに記載のインダクタ部品。 - 前記酸化領域の前記磁性粉の粒径のD50は、前記非酸化領域の前記磁性粉のD50よりも大きい、請求項1から13の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 前記酸化領域のFe元素の量は、前記非酸化領域のFe元素の量より多い、請求項14に記載のインダクタ部品。
- 前記側面は、さらに凹部を有する、請求項1から15の何れか一つに記載のインダクタ部品。
- 磁性粉を含み、第1主面および第2主面と、前記第1主面と前記第2主面とを接続する側面と、を有する素体と、
前記素体内に設けられたインダクタ配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第1端部に接続され前記第1主面まで延在する第1垂直配線と、
前記素体内に設けられ、前記インダクタ配線の第2端部に接続され前記第1主面まで延在する第2垂直配線と、
前記第1垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第1外部端子と、
前記第2垂直配線に接続され、前記第1主面において露出する第2外部端子と
を備え、
前記磁性粉は、Fe元素を主成分とし、
前記側面は、複数の前記磁性粉上においてFe元素が65wt%以上でありかつO元素が24wt%以上である酸化領域と、複数の前記磁性粉が露出している非酸化領域とを有する、インダクタ部品。
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