JP2023051430A - Ultrapure water production system and ultrapure water production method - Google Patents
Ultrapure water production system and ultrapure water production method Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023051430A JP2023051430A JP2021162092A JP2021162092A JP2023051430A JP 2023051430 A JP2023051430 A JP 2023051430A JP 2021162092 A JP2021162092 A JP 2021162092A JP 2021162092 A JP2021162092 A JP 2021162092A JP 2023051430 A JP2023051430 A JP 2023051430A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- water
- treated
- reverse osmosis
- osmosis membrane
- control agent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 51
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 title claims abstract description 51
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 47
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 190
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims abstract description 127
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 112
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 claims abstract description 111
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 82
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims abstract description 68
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims abstract description 68
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 48
- 239000002455 scale inhibitor Substances 0.000 claims abstract description 41
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 48
- 239000003814 drug Substances 0.000 claims description 12
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 claims description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 3
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract description 14
- 239000000243 solution Substances 0.000 abstract 1
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 29
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 19
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 13
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 13
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 11
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 10
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 9
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 9
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 241000195493 Cryptophyta Species 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 5
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 4
- 238000009296 electrodeionization Methods 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 244000005700 microbiome Species 0.000 description 4
- 235000015097 nutrients Nutrition 0.000 description 4
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 3
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 3
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 3
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 3
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- 229940100555 2-methyl-4-isothiazolin-3-one Drugs 0.000 description 2
- 229940100484 5-chloro-2-methyl-4-isothiazolin-3-one Drugs 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DHNRXBZYEKSXIM-UHFFFAOYSA-N chloromethylisothiazolinone Chemical compound CN1SC(Cl)=CC1=O DHNRXBZYEKSXIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- BEGLCMHJXHIJLR-UHFFFAOYSA-N methylisothiazolinone Chemical compound CN1SC=CC1=O BEGLCMHJXHIJLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N silver(1+) nitrate Chemical compound [Ag+].[O-]N(=O)=O SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YMVICGPFTOKTIL-UHFFFAOYSA-N 4,5-dichlorodithiolan-3-one Chemical compound ClC1SSC(=O)C1Cl YMVICGPFTOKTIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVDKZNITIUWNER-UHFFFAOYSA-N Bronopol Chemical compound OCC(Br)(CO)[N+]([O-])=O LVDKZNITIUWNER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005749 Copper compound Substances 0.000 description 1
- SXRSQZLOMIGNAQ-UHFFFAOYSA-N Glutaraldehyde Chemical compound O=CCCCC=O SXRSQZLOMIGNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021586 Nickel(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N Phosphorous acid Chemical compound OP(O)=O ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N Silver ion Chemical compound [Ag+] FOIXSVOLVBLSDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 244000052616 bacterial pathogen Species 0.000 description 1
- DMSMPAJRVJJAGA-UHFFFAOYSA-N benzo[d]isothiazol-3-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)NSC2=C1 DMSMPAJRVJJAGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 1
- 150000001880 copper compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- XTVVROIMIGLXTD-UHFFFAOYSA-N copper(II) nitrate Chemical compound [Cu+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O XTVVROIMIGLXTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002242 deionisation method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000003673 groundwater Substances 0.000 description 1
- 239000008235 industrial water Substances 0.000 description 1
- 229910001410 inorganic ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 150000002816 nickel compounds Chemical class 0.000 description 1
- QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L nickel dichloride Chemical compound Cl[Ni]Cl QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L nickel sulfate Chemical compound [Ni+2].[O-]S([O-])(=O)=O LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000363 nickel(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 125000001477 organic nitrogen group Chemical group 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229940100890 silver compound Drugs 0.000 description 1
- 150000003379 silver compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910001961 silver nitrate Inorganic materials 0.000 description 1
- YPNVIBVEFVRZPJ-UHFFFAOYSA-L silver sulfate Chemical compound [Ag+].[Ag+].[O-]S([O-])(=O)=O YPNVIBVEFVRZPJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000367 silver sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/02—Reverse osmosis; Hyperfiltration ; Nanofiltration
- B01D61/08—Apparatus therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/02—Reverse osmosis; Hyperfiltration ; Nanofiltration
- B01D61/10—Accessories; Auxiliary operations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D61/00—Processes of separation using semi-permeable membranes, e.g. dialysis, osmosis or ultrafiltration; Apparatus, accessories or auxiliary operations specially adapted therefor
- B01D61/58—Multistep processes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/44—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/50—Treatment of water, waste water, or sewage by addition or application of a germicide or by oligodynamic treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F5/00—Softening water; Preventing scale; Adding scale preventatives or scale removers to water, e.g. adding sequestering agents
- C02F5/08—Treatment of water with complexing chemicals or other solubilising agents for softening, scale prevention or scale removal, e.g. adding sequestering agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F5/00—Softening water; Preventing scale; Adding scale preventatives or scale removers to water, e.g. adding sequestering agents
- C02F5/08—Treatment of water with complexing chemicals or other solubilising agents for softening, scale prevention or scale removal, e.g. adding sequestering agents
- C02F5/10—Treatment of water with complexing chemicals or other solubilising agents for softening, scale prevention or scale removal, e.g. adding sequestering agents using organic substances
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F9/00—Multistage treatment of water, waste water or sewage
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A20/00—Water conservation; Efficient water supply; Efficient water use
- Y02A20/124—Water desalination
- Y02A20/131—Reverse-osmosis
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Water Supply & Treatment (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Hydrology & Water Resources (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
Description
本願は、超純水製造システム、及び超純水製造方法に関する。 The present application relates to an ultrapure water production system and an ultrapure water production method.
特許文献1に記載の超純水製造システムでは、スライムコントロール剤及びスケール防止剤は、薬注ポンプによって貯留タンク内に注入される。貯留タンクの前処理水は、配管を経て高圧ポンプにより逆浸透膜分離装置に流れる。 In the ultrapure water production system described in Patent Document 1, the slime control agent and the scale inhibitor are injected into the storage tank by a chemical injection pump. The pretreated water in the storage tank flows through piping to the reverse osmosis membrane separation device by a high-pressure pump.
超純水製造システムは、前処理システム、1次純水システム、及び2次純水システムで構成されている。1次純水システムでは、例えば、前処理システムで処理された被処理水が貯留される被処理水ピット、ピットの貯留水を吐出する供給ポンプ、被処理水から懸濁物質を除去するフィルターが設けられたろ過装置、高圧ポンプ、及び逆浸透膜が設けられた逆浸透膜装置が、被処理水の流れ方向の上流側から順に並んでいる。また、1次純水システムは、必要に応じて、紫外線照射装置、イオン交換装置、電気脱イオン装置(EDI)、膜脱気装置、及び脱気装置(DG)等を備える。 The ultrapure water production system is composed of a pretreatment system, a primary pure water system, and a secondary pure water system. In the primary pure water system, for example, there are a water pit to store the water treated in the pretreatment system, a supply pump to discharge the water stored in the pit, and a filter to remove suspended solids from the water to be treated. The filtration device provided, the high-pressure pump, and the reverse osmosis membrane device provided with the reverse osmosis membrane are arranged in order from the upstream side in the flow direction of the water to be treated. In addition, the primary pure water system is equipped with an ultraviolet irradiation device, an ion exchange device, an electrodeionization device (EDI), a membrane deaeration device, a deaeration device (DG), etc., as required.
従来の超純水製造システムでは、逆浸透膜にスライムが付着するのを抑制するスライムコントロール剤、及び逆浸透膜にスケールが付着するのを抑制するスケール防止剤をピットの貯留水を吐出する供給ポンプの上流側、又は逆浸透膜装置に被処理水を供給する高圧ポンプの上流側に注入していた。 In the conventional ultrapure water production system, a slime control agent that suppresses the adhesion of slime to the reverse osmosis membrane and a scale inhibitor that suppresses the adhesion of scale to the reverse osmosis membrane are supplied by discharging the water stored in the pit. The water was injected into the upstream side of the pump or the upstream side of the high-pressure pump that supplies the water to be treated to the reverse osmosis membrane device.
一般的に、スライムコントロール剤、及びスケール防止剤は、その性能を十分発揮させるために、被処理水に対して均一に混合させる必要があると考えられている。このため、例えば、ポンプに対して上流側にスライムコントロール剤、及びスケール防止剤を注入する場合がある。さらに、スライムコントロール剤、及びスケール防止剤の注入位置に対して下流側にインラインミキサー等の薬剤の混合を促進する装置を設置する場合がある。 In general, it is believed that slime control agents and scale inhibitors should be uniformly mixed with water to be treated in order to fully demonstrate their performance. For this reason, for example, a slime control agent and a scale inhibitor may be injected upstream with respect to the pump. Furthermore, in some cases, a device such as an in-line mixer that promotes mixing of the agents is installed on the downstream side of the injection positions of the slime control agent and the scale inhibitor.
また、一般的に、スライムコントロール剤、及びスケール防止剤の注入位置ついては、ほぼ同じ場所にする場合が多い。これは、スライムコントロール剤、及びスケール防止剤の供給系を同じ場所に設置することで、供給系の配管が短くなる。さらに、供給系の配管が短くなることで、配管系でのトラブルが減り、さらに、運転管理やメンテナンスが容易となる。 In addition, in general, the injection positions of the slime control agent and the scale inhibitor are often almost the same. By installing the supply system of the slime control agent and the scale inhibitor at the same place, the piping of the supply system can be shortened. Furthermore, since the supply system piping is shortened, troubles in the piping system are reduced, and operation management and maintenance are facilitated.
このように逆浸透膜に対して前述した2種類の薬剤を注入する構成において、逆浸透膜装置の上流側にろ過装置を設けると、ろ過装置のフィルターがスライム(汚濁物)で詰まってしまうことがしばしば生じた。このフィルターの詰まりを抑制しなければならない、という課題があった。 In such a configuration in which the two types of chemicals described above are injected into the reverse osmosis membrane, if a filtration device is provided upstream of the reverse osmosis membrane device, the filter of the filtration device may be clogged with slime (contaminants). often occurred. There was a problem that clogging of this filter had to be suppressed.
また、被処理水ピット(貯留タンク)、又は供給ポンプの直前に2種類の薬剤を注入すると、ろ過装置のフィルターが詰まりやすいという傾向も明らかとなってきた。これは、スケール防止剤が、菌の養分となり、菌が増殖してフィルターに付着するためと思われる。そして、菌が増殖してフィルターに付着することにより、長期連続運転において、フィルターの詰まりが生じることで、フィルターの透過水量が低下してしまうと考えられる。 In addition, it has become clear that the filter of the filtration device tends to become clogged when the two chemicals are injected just before the water pit (storage tank) or the supply pump. This is presumably because the anti-scaling agent serves as a nutrient for the bacteria, and the bacteria grow and adhere to the filter. In addition, it is considered that the bacteria grow and adhere to the filter, causing clogging of the filter during long-term continuous operation, resulting in a decrease in the amount of water permeated through the filter.
本願の課題は、ろ過装置の上流側にスライムコントロール剤及びスケール防止剤を注入する場合と比して、長期連続運転において、フィルターの透過水量の低下を抑制することである。 An object of the present application is to suppress a decrease in the amount of water permeated through a filter during long-term continuous operation, as compared with the case where a slime control agent and a scale inhibitor are injected upstream of a filtration device.
本発明者らは、誠意検討を行った結果、スケール防止剤、及びスライムコントロール剤の注入位置がろ過装置のフィルターの詰まりに著しく影響することを見出した。そして、最適な注入位置にすることで、フィルターの詰まりをほぼ抑制できることに至り、発明を完成させたものである。 As a result of sincere investigation, the present inventors found that the injection positions of the scale inhibitor and the slime control agent significantly affect clogging of the filter of the filtration device. By optimizing the injection position, clogging of the filter can be substantially suppressed, and the invention has been completed.
第1態様の超純水製造システムは、主流路を流れる被処理水が透過するフィルターが設けられたろ過装置と、被処理水の流れ方向において前記ろ過装置の下流側に配置され、逆浸透膜が設けられた逆浸透膜装置と、被処理水の流れ方向において前記ろ過装置の上流側にスライムコントロール剤を注入する第一注入部と、被処理水の流れ方向において前記ろ過装置の下流側で、かつ、前記逆浸透膜装置の上流側にスケール防止剤を注入する第二注入部と、を備えることを特徴とする。 The ultrapure water production system of the first aspect includes a filtration device provided with a filter through which water to be treated flowing in a main flow path passes, and a reverse osmosis membrane disposed downstream of the filtration device in the flow direction of the water to be treated. a reverse osmosis membrane device provided with, a first injection part for injecting a slime control agent upstream of the filtration device in the flow direction of the water to be treated, and a downstream side of the filtration device in the flow direction of the water to be treated and a second injection part for injecting a scale inhibitor upstream of the reverse osmosis membrane device.
第1態様では、第一注入部は、被処理水の流れ方向においてろ過装置の上流側にスライムコントロール剤を注入する。これにより、菌が増殖してろ過装置に設けられたフィルターに付着するのが抑制されることで、フィルターに対するスライムの付着が抑制される。 In the first aspect, the first injection section injects the slime control agent upstream of the filtration device in the flow direction of the water to be treated. As a result, it is possible to suppress the adhesion of slime to the filter by suppressing the growth of bacteria and the attachment of the bacteria to the filter provided in the filtering device.
また、第二注入部は、被処理水の流れ方向においてろ過装置の下流側で、かつ、逆浸透膜装置の上流側にスケール防止剤を注入する。これにより、スケール防止剤が、菌の養分となり、菌が増殖してフィルターに付着する恐れがない。 In addition, the second injection section injects the anti-scaling agent downstream of the filtration device and upstream of the reverse osmosis membrane device in the flow direction of the water to be treated. As a result, the anti-scaling agent serves as a nutrient for the bacteria, and there is no risk of the bacteria growing and adhering to the filter.
以上より、ろ過装置の上流側にスライムコントロール剤及びスケール防止剤を注入する場合と比して、長期連続運転において、フィルターの透過水量の低下を抑制することができる。 As described above, compared with the case where the slime control agent and the scale inhibitor are injected into the upstream side of the filtration device, it is possible to suppress the decrease in the amount of water permeated through the filter during long-term continuous operation.
第2態様の超純水製造システムは、第1態様に記載の超純水製造システムにおいて、被処理水の流れ方向において前記ろ過装置の上流側に配置された活性炭装置を、備え、前記第一注入部は、被処理水の流れ方向において前記ろ過装置の上流側で、かつ、前記活性炭装置の下流側にスライムコントロール剤を注入することを特徴とする。 A second aspect of the ultrapure water production system is the ultrapure water production system according to the first aspect, comprising an activated carbon device arranged upstream of the filtering device in the flow direction of the water to be treated, The injection part is characterized by injecting the slime control agent upstream of the filtering device and downstream of the activated carbon device in the flow direction of the water to be treated.
第2態様では、第一注入部は、被処理水の流れ方向においてろ過装置の上流側で、かつ、活性炭装置の下流側にスライムコントロール剤を注入する。これにより、活性炭装置の吸着処理によって、スライムコントロール剤が活性炭に吸着されることがない。このため、少量の薬剤によって、菌が増殖してフィルターに付着するのが抑制される。 In the second aspect, the first injection section injects the slime control agent upstream of the filtration device and downstream of the activated carbon device in the flow direction of the water to be treated. As a result, the slime control agent is not adsorbed to the activated carbon by the adsorption treatment of the activated carbon device. Therefore, a small amount of the chemical suppresses bacteria from multiplying and adhering to the filter.
以上より、被処理水の流れ方向において、活性炭装置の上流側にスライムコントロール剤を注入する場合と比して、少量の薬剤によって、菌が増殖してフィルターに付着するのを抑制することができる。 As described above, compared with the case where the slime control agent is injected upstream of the activated carbon device in the flow direction of the water to be treated, a small amount of the agent can suppress bacteria from multiplying and adhering to the filter. .
第3態様の超純水製造システムは、第1又は第2態様に記載の超純水製造システムにおいて、前記第一注入部及び第二注入部は、それぞれのエジェクタによりタンク中の薬剤を吸い出して前記主流路の注入する構成であり、被処理水の流れ方向において前記逆浸透膜装置の下流側から分岐する分岐流路から前記第一注入部及び第二注入部のそれぞれのエジェクタに駆動水を供給する共通のポンプを備え、前記第一注入部のエジェクタは、一端が前記分岐流路に接続されると共に他端が前記ろ過装置の上流側に接続される第一固有流路に配置され、前記第二注入部のエジェクタは、一端が前記分岐流路に接続されると共に他端が前記ろ過装置の下流側で、かつ、前記逆浸透膜装置の上流側に接続される第二固有流路に配置されていることを特徴とする。 A third aspect of the ultrapure water production system is the ultrapure water production system according to the first or second aspect, wherein the first injection part and the second injection part suck out the chemical in the tank by their respective ejectors. In the main flow path, driving water is injected into each ejector of the first injection section and the second injection section from a branch flow path branching from the downstream side of the reverse osmosis membrane device in the flow direction of the water to be treated. The ejector of the first injection part is arranged in a first unique channel having one end connected to the branch channel and the other end connected to the upstream side of the filtering device, The ejector of the second injection part has a second unique flow path, one end of which is connected to the branch flow path, and the other end of which is connected to the downstream side of the filtering device and the upstream side of the reverse osmosis membrane device. It is characterized in that it is arranged in
第3態様では、共通のポンプによって、被処理水が、分岐流路を流れ、さらに、第一固有流路及び第二固有流路を流れる。スラムコントロール剤は、第一注入部のタンクのから流出してエジェクタに流れ、第一固有流路に合流する。合流したスライムコントロール剤は、第一固有流路を流れ、ろ過装置の上流側に注入される。 In the third aspect, a common pump causes the water to be treated to flow through the branch flow paths and further through the first unique flow path and the second unique flow path. The slum control agent flows out of the tank of the first injection section, flows into the ejector, and joins the first inherent flow path. The combined slime control agent flows through the first unique channel and is injected into the upstream side of the filtration device.
一方、スケール防止剤は、第二注入部のタンクのから流出してエジェクタに流れ、第二固有流路に合流する。合流したスケール防止剤は、第二固有流路を流れ、ろ過装置の下流側で、かつ、逆浸透膜装置の上流側に注入される。 On the other hand, the anti-scaling agent flows out of the tank of the second injection section, flows to the ejector, and joins the second inherent flow path. The combined anti-scaling agent flows through the second unique flow path and is injected downstream of the filtration device and upstream of the reverse osmosis membrane device.
以上より、第一注入部のタンクのから薬剤を吸い出すポンプ、及び第二注入部のタンクのから薬剤を吸い出すポンプの両方を有する場合と比して、ポンプの数を少なくすることができる。 As described above, the number of pumps can be reduced compared to the case where both a pump for sucking the medicine from the tank of the first injection part and a pump for sucking the medicine from the tank of the second injection part are provided.
第4態様の超純水製造システムは、第1~第3態様の何れか1態様に記載の超純水製造システムにおいて、前記第一注入部は、前記主流路を流れる被処理水に対するスライムコントロール剤の濃度が1ppm以上100ppm以下となるように、スライムコントロール剤を注入することを特徴とする。 A fourth aspect of the ultrapure water production system is the ultrapure water production system according to any one aspect of the first to third aspects, wherein the first injection section controls slime for the water to be treated flowing through the main flow path. The slime control agent is injected so that the concentration of the agent is 1 ppm or more and 100 ppm or less.
第4態様では、主流路を流れる被処理水に対して1ppm以上100ppm以下の濃度のスライムコントロール剤が注入される。これにより、菌が増殖してフィルターに付着するのが効果的に抑制されることで、長期連続運転において、フィルターの透過水量の低下を抑制することができる。 In the fourth aspect, the slime control agent having a concentration of 1 ppm or more and 100 ppm or less is injected into the water to be treated flowing through the main flow path. This effectively suppresses bacteria from multiplying and adhering to the filter, thereby suppressing a decrease in the amount of water permeated through the filter during long-term continuous operation.
第5態様の超純水製造システムは、第1~第4態様の何れか1態様に記載の超純水製造システムにおいて、前記第二注入部は、前記主流路を流れる被処理水に対するスケール防止剤の濃度が1ppm以上100ppm以下となるように、スケール防止剤を注入することを特徴とする。 An ultrapure water production system according to a fifth aspect is the ultrapure water production system according to any one aspect of the first to fourth aspects, wherein the second injection section prevents the water to be treated flowing through the main flow path from scaling. The anti-scaling agent is injected so that the concentration of the agent is 1 ppm or more and 100 ppm or less.
第5態様では、主流路を流れる被処理水に対して1ppm以上100ppm以下の濃度のスケール防止剤が注入される。これにより、逆浸透膜に対するスケールの付着が効果的に抑制されることで、長期連続運転において、逆浸透膜の透過水量の低下を抑制することができる。 In the fifth aspect, the anti-scaling agent having a concentration of 1 ppm or more and 100 ppm or less is injected into the water to be treated flowing through the main flow path. As a result, adhesion of scale to the reverse osmosis membrane is effectively suppressed, and a decrease in the amount of water permeated through the reverse osmosis membrane can be suppressed in long-term continuous operation.
第6態様の超純水製造方法は、主流路を流れる被処理水に対するろ過処理によって懸濁物質を除去し、前記ろ過処理で生じた被処理水に対する逆浸透膜処理によって塩類を除去し、被処理水の流れ方向において、前記ろ過処理の上流側にスライムコントロール剤を注入し、被処理水の流れ方向において、前記ろ過処理の下流側で、かつ、前記逆浸透膜処理の上流側にスケール防止剤を注入することを特徴とする。 In the ultrapure water production method of the sixth aspect, the water to be treated flowing through the main flow channel is filtered to remove suspended solids, the water to be treated generated by the filtration is treated with a reverse osmosis membrane to remove salts, and the A slime control agent is injected upstream of the filtration process in the flow direction of the treated water, and scale prevention is performed downstream of the filtration process and upstream of the reverse osmosis membrane process in the flow direction of the water to be treated. It is characterized by injecting a drug.
第6態様では、被処理水の流れ方向において、ろ過処理の上流側にスライムコントロール剤を注入する。これにより、ろ過装置に設けられたフィルターに菌が増殖して付着するのが抑制されることで、フィルターに対するスライムの付着が抑制される。 In the sixth aspect, the slime control agent is injected upstream of the filtration treatment in the flow direction of the water to be treated. This suppresses the growth and adhesion of bacteria to the filter provided in the filtering device, thereby suppressing the adhesion of slime to the filter.
また、被処理水の流れ方向において、ろ過処理の下流側で、かつ、逆浸透膜処理の上流側にスケール防止剤を注入する。これにより、スケール防止剤が、ろ過装置のフィルターを透過することがない。つまり、スケール防止剤が、菌の養分となり、菌が増殖してフィルターに付着する恐れがない。 Moreover, in the flow direction of the water to be treated, the scale inhibitor is injected downstream of the filtration process and upstream of the reverse osmosis membrane process. As a result, the anti-scaling agent does not permeate the filter of the filtration device. In other words, the anti-scaling agent serves as a nutrient for bacteria, and there is no fear that the bacteria will multiply and adhere to the filter.
以上より、ろ過処理の上流側にスライムコントロール剤及びスケール防止剤を注入する場合と比して、長期連続運転において、フィルターの透過水量の低下を抑制することができる。 As described above, compared with the case where the slime control agent and the scale inhibitor are injected upstream of the filtration process, it is possible to suppress a decrease in the amount of water permeated through the filter during long-term continuous operation.
第7態様の超純水製造方法は、第6態様に記載の超純水製造方法において、被処理水の流れ方向において前記ろ過処理の上流側で、被処理水に対する吸着処理によって天然有機物を除去し、被処理水の流れ方向において、前記吸着処理の下流側にスライムコントロール剤を注入することを特徴とする。 A seventh aspect of the ultrapure water production method is the ultrapure water production method according to the sixth aspect, wherein natural organic matter is removed by adsorption treatment on the water to be treated on the upstream side of the filtration treatment in the flow direction of the water to be treated. and the slime control agent is injected downstream of the adsorption treatment in the flow direction of the water to be treated.
第7態様では、被処理水の流れ方向において、吸着処理の下流側にスライムコントロール剤を注入する。これにより、活性炭装置の吸着処理によって、スライムコントロール剤が活性炭に吸着されることがない。このため、少量の薬剤によって、菌が増殖してフィルターに付着するのが抑制される。 In the seventh aspect, the slime control agent is injected downstream of the adsorption treatment in the flow direction of the water to be treated. As a result, the slime control agent is not adsorbed to the activated carbon by the adsorption treatment of the activated carbon device. Therefore, a small amount of the chemical suppresses bacteria from multiplying and adhering to the filter.
以上より、被処理水の流れ方向において、吸着処理の上流側にスライムコントロール剤を注入する場合と比して、少量の薬剤によって、菌が増殖してフィルターに付着するのを抑制することができる。 As described above, compared with the case where the slime control agent is injected upstream of the adsorption treatment in the flow direction of the water to be treated, a small amount of the agent can suppress bacteria from growing and adhering to the filter. .
第8態様の超純水製造方法は、第6又は第7態様に記載の超純水製造方法において、前記主流路を流れる被処理水に対するスライムコントロール剤の濃度が1ppm以上100ppm以下となるように、スライムコントロール剤を注入することを特徴とする。 The ultrapure water production method of the eighth aspect is the ultrapure water production method according to the sixth or seventh aspect, wherein the concentration of the slime control agent in the water to be treated flowing through the main flow channel is 1 ppm or more and 100 ppm or less. , characterized by injecting a slime control agent.
第8態様では、主流路を流れる被処理水に対するスライムコントロール剤の濃度が1ppm以上100ppm以下である。これにより、菌が増殖してフィルターに付着するのが効果的に抑制され、長期連続運転において、フィルターの透過水量の低下を抑制することができる。 In the eighth aspect, the concentration of the slime control agent in the water to be treated flowing through the main flow path is 1 ppm or more and 100 ppm or less. This effectively suppresses bacteria from multiplying and adhering to the filter, and can suppress a decrease in the amount of water permeated through the filter during long-term continuous operation.
第9態様の超純水製造方法は、第6~第8態様の何れか1態様に記載の超純水製造方法において、前記主流路を流れる被処理水に対するスケール防止剤の濃度が1ppm以上100ppm以下となるように、スケール防止剤を注入することを特徴とする。 A ninth aspect of the ultrapure water production method is the ultrapure water production method according to any one of the sixth to eighth aspects, wherein the concentration of the scale inhibitor in the water to be treated flowing through the main flow channel is 1 ppm or more and 100 ppm. It is characterized by injecting a scale inhibitor as follows.
第9態様では、主流路を流れる被処理水に対するスケール防止剤の濃度が1ppm以上100ppm以下である。これにより、逆浸透膜に対するスケールの付着が効果的に抑制され、長期連続運転において、逆浸透膜の透過水量の低下を抑制することができる。 In the ninth aspect, the concentration of the scale inhibitor in the water to be treated flowing through the main flow path is 1 ppm or more and 100 ppm or less. As a result, adhesion of scale to the reverse osmosis membrane is effectively suppressed, and a decrease in the amount of water permeated through the reverse osmosis membrane can be suppressed in long-term continuous operation.
本願では、ろ過装置の上流側にスライムコントロール剤及びスケール防止剤を注入する場合と比して、長期連続運転において、フィルターの透過水量の低下を抑制することができる。 In the present application, compared with the case where the slime control agent and the scale inhibitor are injected upstream of the filtration device, it is possible to suppress the decrease in the amount of water permeated through the filter during long-term continuous operation.
以下、本実施形態に係る超純水製造システム10、及び超純水製造方法について、図1、図2に従って説明する。この超純水製造システム10は、一次純水装置12と二次純水装置112とを備えている。
An ultrapure
(一次純水装置12)
一次純水装置12は、図1に示されるように、被処理水が貯留される被処理水ピット14、第一ポンプ18、流量計(FIQ)20、熱交換器(HEX)22、活性炭装置(AC)24、紫外線酸化装置(UV)26、及びろ過装置30を備えている。さらに、一次純水装置12は、第二ポンプ34、第一逆浸透膜装置(RO)38、脱イオン水ピット40、電気式脱イオン装置(EDI)42、イオン交換樹脂装置(MB)44、及び純水タンク46を備えている。
(Primary pure water device 12)
As shown in FIG. 1, the primary
そして、被処理水が流れる流れ方向の上流側から順に、被処理水が流れる主流路100に沿って被処理水ピット14、第一ポンプ18、流量計20、熱交換器22、活性炭装置24、紫外線酸化装置26、ろ過装置30、第二ポンプ34、第一逆浸透膜装置38、脱イオン水ピット40、電気式脱イオン装置42、イオン交換樹脂装置44、及び純水タンク46が並んでいる。第一逆浸透膜装置38は、逆浸透膜装置の一例である。
Then, along the
また、一次純水装置12は、第一逆浸透膜装置38から分岐する分岐流路102に配置された第二逆浸透膜装置(RO)48、及び主流路100に薬剤を注入する薬剤注入システム60を備えている。
In addition, the primary
以下各装置について説明する。
被処理水ピット14は、被処理水(超純水までの液)を貯留する。被処理水は、原水であって、被処理水としては、工業用水、水道水、地下水、河川水などが挙げられる。第一ポンプ18は、被処理水ピット14に貯留された被処理水を、主流路100に沿って、被処理水の流れ方向(以下「水流れ方向」という場合がある)の下流側へ流す。
Each device will be described below.
The to-
流量計20は、主流路100を流れる被処理水の流量を計測する。熱交換器22は、被処理水の温度を熱交換によって調整する。活性炭装置24は、吸着処理によって、被処理水から、天然有機物、残留塩素、及びトリハロメタン等を除去する。紫外線酸化装置26は、紫外線照射により、被処理水に含まれる生菌、バクテリアなどを分解して殺菌処理する。
The
ろ過装置30には、被処理水が透過するフィルター(プレフィルター)が設けられている。そして、ろ過装置30は、ろ過処理によって、残留塩素、遊離塩素、又は微粒子等の懸濁物質を除去する。ここで、被処理水がフィルターを透過することで、フィルターを透過しない細菌や藻類などの微生物がフィルターによって除去される。通常、ろ過装置30の上流側に配置された紫外線酸化装置26によって、細菌や藻類の増殖が抑制されるため問題を起こすことはない。しかし、条件によっては、増殖が抑制されていない一部の細菌や藻類(微生物)によってスライム(汚濁物)が形成される恐れがある。
The
なお、プレフィルターとしては、除濁用のマイクロフィルターを使用することができる。デプスタイプ、又は表層ろ過タイプのいずれのフィルターも使用可能である。ろ過精度としては、0.5~50μm、好ましくは、1~10μmが好ましい。形状については、カートリッジ式、不織布式、糸巻式、プリーツ式、バグタイプ等が使用可能である。素材としては、ポリエチレン、ポリプロピレン等の有機ポリマーの素材やステンレス等の金属素材が使用可能である。具体的には、Micro-Wind 糸巻き式フィルターカートリッジ、NWシリーズ(住友スリーエム株式会社製)、Micro-Klean(TM) 糸巻きフィルターカートリッジ、Dシリーズ(住友スリーエム株式会社製)、糸巻き式フィルターカートリッジ、WFシリーズ(BJY コーポレーション社製)、バグ式フィルター、BFシリーズ(BJY コーポレーション社製)が例示される。活性炭フィルターやイオン交換フィルター等の吸着性能を付加させたフィルターは、スライムコントロール剤やスケール防止剤を吸着させる恐れがあるので好ましくない。 A microfilter for turbidity removal can be used as the prefilter. Either depth type or surface filtration type filters can be used. Filtration accuracy is preferably 0.5 to 50 μm, preferably 1 to 10 μm. As for the shape, a cartridge type, a non-woven fabric type, a spool type, a pleated type, a bag type, etc. can be used. As materials, organic polymer materials such as polyethylene and polypropylene, and metal materials such as stainless steel can be used. Specifically, Micro-Wind thread-wound filter cartridge, NW series (manufactured by Sumitomo 3M), Micro-Klean (TM) thread-wound filter cartridge, D series (manufactured by Sumitomo 3M), thread-wound filter cartridge, WF series. (manufactured by BJY Corporation), bag-type filters, and BF series (manufactured by BJY Corporation) are exemplified. Filters with added adsorption performance such as activated carbon filters and ion exchange filters are not preferable because they may adsorb slime control agents and scale inhibitors.
第二ポンプ34は、高圧ポンプであって、ろ過装置30によって不純物が除去された被処理水を、第一逆浸透膜装置38へ流す。
The
第一逆浸透膜装置38には、被処理水が透過する逆浸透膜が設けられ、第一逆浸透膜装置38は、逆浸透膜処理によって、イオン、塩類を除去した透過水と、濃縮水とに被処理水を分離する。このように、被処理水が逆浸透膜を透過することで、逆浸透膜には、逆浸透膜を透過しなかったシリカ、カルシウム等のスケールが付着する恐れがある。また、逆浸透膜には、逆浸透膜を透過しなかった細菌や藻類など微生物により形成されたスライム(汚濁物)が付着する恐れがある。なお、スケールとは、液中に溶け込んでいるカルシウムやシリカなどが析出して固まったものである。
The first reverse
脱イオン水ピット40は、第一逆浸透膜装置38の逆浸透膜を透過した透過水を一時的に貯留する。電気式脱イオン装置42は、被処理水(透過水)を電気的に再生しながら、脱イオン処理を行う。イオン交換樹脂装置44は、アニオン樹脂とカチオン樹脂の混床式のイオン交換装置であり、被処理水から無機イオンを除去する。純水タンク46は、一次純水装置12によって製造された一次純水を貯留する。
The
〔第二逆浸透膜装置48〕
第二逆浸透膜装置48は、図1に示されるように、第一逆浸透膜装置38から分岐する分岐流路102の途中に配置されている。分岐流路102は、第一逆浸透膜装置38によって分離した濃縮水が流れる流路であって、一端が第一逆浸透膜装置38に接続され、他端が被処理水ピット14に接続されている。
[Second reverse osmosis membrane device 48]
The second reverse
第二逆浸透膜装置48には、濃縮水が透過する逆浸透膜が設けられ、第二逆浸透膜装置48は、逆浸透膜処理によって、第一逆浸透膜装置38によって分離した濃縮水からイオン、塩類を除去した処理水と、排水(酸化水)とに分離する。排水は、排水ピット52に貯留され、処理水は、被処理水ピット14に戻される。
The second reverse
このように、濃縮水が第二逆浸透膜装置48の逆浸透膜を透過することで、第二逆浸透膜装置48の逆浸透膜には、逆浸透膜を透過しなかったシリカ、カルシウム等のスケールが付着する恐れがある。さらに、第二逆浸透膜装置48の逆浸透膜には、逆浸透膜を透過しなかった細菌や藻類など微生物により形成されたスライム(汚濁物)が付着する恐れがある。
As the concentrated water permeates the reverse osmosis membrane of the second reverse
〔薬剤注入システム60〕
薬剤注入システム60は、図1に示されるように、第三ポンプ50、第一注入部62、及び第二注入部82を備えている。第三ポンプ50は、一端が脱イオン水ピット40に接続された分岐流路104aに配置されている。第三ポンプ50は、ポンプの一例である。
[Drug injection system 60]
The
-第一注入部62-
第一注入部62は、一端が分岐流路104aの他端に接続され、他端が主流路100において紫外線酸化装置26とろ過装置30との間の部分の流路100aに接続される第一固有流路104bに配置された第一エジェクタ64を備えている。さらに、第一注入部62は、液状のスライムコントール剤が貯留される第一タンク70、第一流量計(FIQ)66、及び第一流量調整弁(FCV)68を備えている。
-First injection part 62-
The
また、第一流量計66、及び第一流量調整弁68は、第一タンク70から第一エジェクタ64の吸入口64aまでを繋ぐ第一注入流路106に配置されている。具体的には、第一タンク70から第一エジェクタ64の吸入口64aへ向かって、第一流量計66、及び第一流量調整弁68は、この順に配置されている。
Also, the
なお、第一タンク70に貯留されるスライムコントロール剤は、主に、ヒドラジン系、有機窒素系、芳香族系、銀イオン系に大別される。具体的には、スライムコントロール剤としては、2,2-ジブロモ-3-ニトロプロピオンアシド、5-クロロ-2-メチル-4-イソチアゾリン-3-オン(Cl-MIT)、2-メチル-4-イソチアゾリン-3-オン(MIT),4,5-ジクロロ-1,2-ジチオラン-3-オン、2-ブロモ-2-ニトロプロパン-1,3-ジオール、ベンゾイソチアゾリン-3-オン、グルタールアルデヒド、硝酸銀、硫酸銀等の銀化合物、硫酸銅、硝酸銅等の銅化合物、塩化ニッケル、硫酸ニッケル等のニッケル化合物などが挙げられる。
The slime control agents stored in the
この構成において、第一流量計66の計測データ及び流量計20の計測データに基づいて第一流量調整弁68を制御する。これにより、主流路100を流れる被処理水に対するスライムコントロール剤の濃度が1ppm以上100ppm以下となるように、スライムコントロール剤が、第一注入流路106を流れて第一エジェクタ64を通って第一固有流路104bに合流する。さらに、第一固有流路104bに合流して流れるスライムコントール剤は、紫外線酸化装置26とろ過装置30との間の部分の流路100aに注入される。換言すれば、第一注入部62は、紫外線酸化装置26とろ過装置30との間の部分の流路100aにスライムコントール剤を注入する。なお、紫外線酸化装置26が設置されない場合には、第一注入部62は、活性炭装置24とろ過装置30との間の部分の流路100aにスライムコントール剤を注入する。
In this configuration, the first
そして、スライムコントロール剤は、流路100aを流れる被処理水に含有される。被処理水に含有されたスライムコントール剤は、主流路100を流れてろ過装置30のフィルターを透過し、第一逆浸透膜装置38に到達する。第一逆浸透膜装置38に到達したスライムコントール剤は、第一逆浸透膜装置38の逆浸透膜を透過することなく濃縮水に含有し、分岐流路102を流れる。ここで、第一逆浸透膜装置38の逆浸透膜を透過することなく濃縮水に含有するスライムコントール剤の濃度は、第一逆浸透膜装置38に到達する前の状態のスライムコントール剤の濃度と比して高くなる。
The slime control agent is contained in the water to be treated flowing through the
さらに、高濃度となったスライムコントール剤を含有する濃縮水は、分岐流路102を流れて第二逆浸透膜装置48に到達する。第二逆浸透膜装置48に到達したスライムコントール剤は、第二逆浸透膜装置48の逆浸透膜を透過することなく排水に含有し、排水ピット52に排出される。
Furthermore, the concentrated water containing the highly concentrated slime control agent flows through the
-第二注入部82-
第二注入部82は、一端が分岐流路104aの他端に接続され、他端が主流路100においてろ過装置30と第二ポンプ34との間の部分の流路100bに接続されている第二固有流路104cに配置された第二エジェクタ84を備えている。さらに、第二注入部82は、液状のスケール防止剤が貯留される第二タンク90、第二流量計(FIQ)86、及び第二流量調整弁(FCV)88を備えている。
-Second injection part 82-
The
また、第二流量計86、及び第二流量調整弁88は、第二タンク90から第二エジェクタ84の吸入口84aまでを繋ぐ第二注入流路108に配置されている。具体的には、第二タンク90から第二エジェクタ84の吸入口84aへ向かって、第二流量計86、及び第二流量調整弁88は、この順に配置されている。
Also, the
なお、スケール防止剤は、主に、ホスホン酸系、ポリカルボン酸系、アクリル酸系に大別される。具体的には、スケール防止剤としては、オルガノ株式会社製の「オルパージョン」シリーズ、BWA Water Additives社製の「Flocon(登録商標)」シリーズ、Nalco社製の「PermaTreat(登録商標)」シリーズ、ゼネラル・エレクトリック社製の「Hypersperse(登録商標)」シリーズ、栗田工業株式会社製の「クリバーター( 登録商標) 」シリーズなどが挙げられる。 Scale inhibitors are mainly classified into phosphonic acid-based, polycarboxylic acid-based, and acrylic acid-based agents. Specifically, the scale inhibitors include "Orpersion" series manufactured by Organo Co., Ltd., "Flocon (registered trademark)" series manufactured by BWA Water Additives, "PermaTreat (registered trademark)" series manufactured by Nalco, "Hypersperse (registered trademark)" series manufactured by General Electric Company, "Kuriverter (registered trademark)" series manufactured by Kurita Water Industries Ltd., and the like.
この構成において、第二流量計86の計測データ及び流量計20の計測データに基づいて第二流量調整弁88を制御する。これにより、主流路100を流れる被処理水に対するスケール防止剤の濃度が1ppm以上100ppm以下となるように、スケール防止剤が、第二注入流路108を流れて第二エジェクタ84を通って第二固有流路104cに合流する。さらに、第二固有流路104cに合流して流れるスケール防止剤は、ろ過装置30と第二ポンプ34と間の部分の流路100bに注入される。換言すれば、第二注入部82は、ろ過装置30と第二ポンプ34と間の部分の流路100bにスケール防止剤を注入する。
In this configuration, the second
そして、スケール防止剤は、流路100bを流れる被処理水に含有される。被処理水に含有されたスケール防止剤は、主流路100を流れて第一逆浸透膜装置38に到達する。第一逆浸透膜装置38に到達したスケール防止剤は、第一逆浸透膜装置38の逆浸透膜を透過することなく濃縮水に含有し、分岐流路102を流れる。ここで、第一逆浸透膜装置38の逆浸透膜を透過することなく濃縮水に含有するスケール防止剤の濃度は、第一逆浸透膜装置38に到達する前の状態のスケール防止剤の濃度と比して高くなる。
The scale inhibitor is contained in the water to be treated flowing through the
さらに、高濃度となったスケール防止剤を含有する濃縮水は、分岐流路102を流れて第二逆浸透膜装置48に到達する。第二逆浸透膜装置48に到達したスケール防止剤は、第二逆浸透膜装置48の逆浸透膜を透過することなく排水に含有し、排水ピット52に排出される。
Furthermore, the concentrated water containing the anti-scaling agent, which has become highly concentrated, flows through the
(二次純水装置112)
二次純水装置112は、図1に示されるように、水流れ方向において、純水タンク46の下流側に配置されている。
(Secondary pure water device 112)
The secondary
この構成において、二次純水装置112は、一次純水からさらに不純物を取り除く。そして、二次純水装置112によって得られた超純水は、使用場所であるユースポイント120へ送られる。ユースポイント120へ送られた超純水のうち、使用されなかった超純水はそのまま純水タンク46へ戻され、一次純水と一緒に純水タンク46に貯留される。
In this configuration, the secondary
(実施例1、比較例1、比較例2)
次に、本願を実施例1、及び実施例1に対する比較例1、比較例2によって、さらに詳細に説明する。ただし、本願は、以下の実施例の内容に限定されるものでない。
(Example 1, Comparative Example 1, Comparative Example 2)
Next, the present application will be described in more detail by way of Example 1 and Comparative Examples 1 and 2 for Example 1. FIG. However, the present application is not limited to the contents of the following examples.
〔比較例1〕
比較例1では、水流れ方向においてろ過装置30の下流側に、スケール防止剤及びスライムコントール剤を注入する。具体的には、図1に示す流路100bにスケール防止剤及びスライムコントール剤を注入する。
[Comparative Example 1]
In Comparative Example 1, a scale inhibitor and a slime control agent are injected downstream of the
〔比較例2〕
比較例2では、水流れ方向においてろ過装置30の上流側に、スケール防止剤及びスライムコントール剤を注入する。具体的には、図1に示す流路100aにスケール防止剤及びスライムコントール剤を注入する。
[Comparative Example 2]
In Comparative Example 2, a scale inhibitor and a slime control agent are injected upstream of the
〔比較例3〕
比較例3では、水流れ方向においてろ過装置30の上流側にスケール防止剤を注入し、ろ過装置30の下流側にスライムコントール剤を注入する。具体的には、図1に示す流路100aにスケール防止剤を注入し、流路100bにスライムコントール剤を注入する。
[Comparative Example 3]
In Comparative Example 3, the scale inhibitor is injected upstream of the
〔実施例1〕
実施例1では、水流れ方向においてろ過装置30の上流側にスライムコントール剤を注入し、ろ過装置30の下流側にスケール防止剤を注入する。具体的には、図1に示す流路100aにスライムコントール剤を注入し、流路100bにスケール防止剤を注入する。
[Example 1]
In Example 1, the slime control agent is injected upstream of the
〔評価条件〕
フラックス 20m/h、ろ過精度(公称) 1μm、フィルター型式 バグタイプ。
なお、薬剤の注入位置以外の他の評価条件についても、比較例1、比較例2、実施例1において全て同様とする。
[Evaluation conditions]
Flux 20m/h, filtration accuracy (nominal) 1μm, filter type bag type.
In Comparative Example 1, Comparative Example 2, and Example 1, the evaluation conditions other than the drug injection position are all the same.
〔評価結果〕
図2には、比較例1及び実施例1の評価結果がグラフで示されている。グラフの縦軸は、ろ過装置30の上流側の水圧と下流側の水圧との差(通水差圧)であって、横軸は、ろ過装置30に被処理水を透過させた時間(通水時間)である。
〔Evaluation results〕
FIG. 2 graphically shows the evaluation results of Comparative Example 1 and Example 1. As shown in FIG. The vertical axis of the graph is the difference between the water pressure on the upstream side and the water pressure on the downstream side of the filtration device 30 (water flow differential pressure), and the horizontal axis is the time for the water to be treated to permeate the filtration device 30 (general water time).
比較例1については、図2のグラフに示されるように、概ね7日間の運転継続で、通水差圧の変化が大きくなる。これは、機能的に問題が生じるレベルであり、運転停止又はフィルターの交換となる。 As for Comparative Example 1, as shown in the graph of FIG. 2, the change in the water flow differential pressure becomes large after approximately seven days of continued operation. This is the level at which functional problems arise, resulting in shutdown or replacement of the filter.
比較例2については、比較例1と同様に、概ね7日間の運転継続で、通水差圧の変化が大きくなる。これは、機能的に問題が生じるレベルであり、運転停止又はフィルターの交換となる。 As for Comparative Example 2, as in Comparative Example 1, the change in the water flow differential pressure increases after approximately 7 days of continuous operation. This is the level at which functional problems arise, resulting in shutdown or replacement of the filter.
比較例3については、比較例1と同様に、概ね7日間の運転継続で、通水差圧の変化が大きくなる。これは、機能的に問題が生じるレベルであり、運転停止又はフィルターの交換となる。 As for Comparative Example 3, similarly to Comparative Example 1, the change in the water flow differential pressure becomes large after approximately seven days of continuous operation. This is the level at which functional problems arise, resulting in shutdown or replacement of the filter.
実施例1については、図2のグラフに示されるように、50日間の運転継続で、通水差圧の変化が小さい。つまり、比較例1及び比較例2と比して、長期連続運転において、フィルターの透過水量の低下が抑制されている。これは、機能的に問題が生じるレベルではなく、運転継続が可能となる。 As for Example 1, as shown in the graph of FIG. 2, the change in the water flow differential pressure is small after 50 days of continuous operation. In other words, compared to Comparative Examples 1 and 2, the decrease in the amount of water permeated through the filter is suppressed during long-term continuous operation. This is not a level at which functional problems occur, and operation can be continued.
(まとめ)
以上説明したように、第一注入部62は、紫外線酸化装置26とろ過装置30との間の部分の流路100aにスライムコントール剤を注入する。そして、被処理水に含有されたスライムコントール剤は、主流路100を流れてろ過装置30のフィルターを透過する。これにより、フィルターに付着しる菌が増殖するのが抑制される。
(summary)
As described above, the
なお、一般的に、純水装置に薬剤を注入する場合には、薬剤を均一に混合することが求められる。このため、例えば、薬剤は、ポンプに対して上流側で注入される。しかし、本発明の方法の場合、注入されたスライムコントロール剤は、均一に混合されることなくフィルターに到達することで、より高いスライム発生の抑制効果が得られる。これは高濃度のスライムコントロール剤と接触したフィルターメディアでスライムの発生を抑制する高い効果が得られると推測される。なお、高濃度のスライムコントロール剤は、フィルターメディアに順次接触するため、最終的にフィルター全体でスライムの発生を抑制できる。 In addition, in general, when injecting a chemical into a water purifier, it is required to uniformly mix the chemical. Thus, for example, medication is injected upstream with respect to the pump. However, in the case of the method of the present invention, the injected slime control agent reaches the filter without being uniformly mixed, so that a higher effect of suppressing slime generation can be obtained. It is presumed that the filter media in contact with the slime control agent of high concentration is highly effective in suppressing the generation of slime. In addition, since the high-concentration slime control agent comes into contact with the filter media in sequence, the generation of slime can finally be suppressed in the entire filter.
上記効果を発揮させるために、薬剤の注入位置の下流側とろ過装置30と間には、インラインミキサー等の薬剤の混合を促進させる装置やポンプを設置しないことがより好ましい。
In order to exhibit the above effect, it is more preferable not to install a device such as an in-line mixer or a pump that promotes mixing of the medicine between the downstream side of the injection position of the medicine and the
一方、第二注入部82は、ろ過装置30と第二ポンプ34と間の部分の流路100bにスケール防止剤を注入する。これにより、スケール防止剤が、ろ過装置のフィルターを透過することがない。つまり、スケール防止剤が、菌の養分となり、菌が増殖してフィルターに付着する恐れがない。
On the other hand, the
以上より、超純水製造システム10及び超純水製造方法においては、ろ過装置30の上流側にスライムコントロール剤及びスケール防止剤を注入する場合と比して、長期連続運転において、フィルターの透過水量の低下を抑制することができる。
As described above, in the ultrapure
また、第一注入部62は、水流れ方向において活性炭装置24の下流側の流路100aにスライムコントロール剤を注入する。このため、スライムコントロール剤が、活性炭装置24を通過することがない。つまり、活性炭装置24の吸着処理によって、スライムコントロール剤が活性炭に吸着されることがない。このため、少量の薬剤によって、菌がフィルターで増殖するのが抑制される。
Also, the
同様に、紫外線酸化装置26が設置されている場合には、紫外線酸化装置26におけるスライムコントロール剤の紫外線分解を避けるため、紫外線酸化装置26に対して下流側にスライムコントロール剤を注入することが好ましい。なお、本開示の方法を用いると、フィルターでの菌の増殖がスライムコントロール剤によって抑制されるため、紫外線酸化装置26を設置しなくても良い。
Similarly, when the
以上より、超純水製造システム10及び超純水製造方法においては、被処理水の流れ方向において、活性炭装置24の上流側にスライムコントロール剤を注入する場合と比して、少量の薬剤によって、菌が増殖してフィルターに付着するのを著しく抑制することができる。
As described above, in the ultrapure
また、第三ポンプ50は、一端が脱イオン水ピット40に接続された分岐流路104aに配置されている。さらに、第三ポンプ50は、脱イオン水ピット40に貯留された被処理水の一部を、第一固有流路104b及び第二固有流路104cへ流す。そして、スライムコントロール剤は、第一注入流路106を流れて第一エジェクタ64を通って第一固有流路104bに合流する。また、スケール防止剤が、第二注入流路108を流れて第二エジェクタ84を通って第二固有流路104cに合流する。
Also, the
このように、共通の第三ポンプ50によって、被処理水は、第一固有流路104b及び第二固有流路104cを流れる。
以上より、第一注入部62の第一タンク70のからスライムコントロール剤を吸い出すポンプ、及び第二注入部82の第二タンク90のからスケール防止剤を吸い出すポンプの両方を有する場合と比して、ポンプの数を少なくすることができる。
Thus, the common
From the above, compared to the case of having both a pump for sucking the slime control agent from the
また、被処理水に含有されたスライムコントール剤は、主流路100を流れてろ過装置30のフィルターを透過し、第一逆浸透膜装置38に到達する。さらに、被処理水に含有されたスケール防止剤は、主流路100を流れて第一逆浸透膜装置38に到達する。
Also, the slime control agent contained in the water to be treated flows through the
以上より、超純水製造システム10及び超純水製造方法においては、第一逆浸透膜装置38に設けられた逆浸透膜に対するスライムの付着が抑制される。さらに、第一逆浸透膜装置38に設けられた逆浸透膜に対するスケールの付着が抑制される。これにより、長期連続運転において、第一逆浸透膜装置38に設けられた逆浸透膜の透過水量の低下を抑制することができる。
As described above, in the ultrapure
また、高濃度となったスライムコントール剤を含有する濃縮水が、第二逆浸透膜装置48に到達する。さらに、高濃度となったスケール防止剤を含有する濃縮水が、第二逆浸透膜装置48に到達する。
Also, the concentrated water containing the highly concentrated slime control agent reaches the second reverse
以上より、超純水製造システム10及び超純水製造方法においては、第二逆浸透膜装置48に設けられた逆浸透膜に対するスライムの付着が抑制される。さらに、第二逆浸透膜装置38に設けられた逆浸透膜に対するスケールの付着が抑制される。これにより、長期連続運転において、第二逆浸透膜装置48に設けられた逆浸透膜の透過水量の低下を抑制することができる。
As described above, in the ultrapure
また、第一注入部62は、主流路100を流れる被処理水に対するスライムコントロール剤の濃度が1ppm以上100ppm以下となるように、スライムコントロール剤を注入する。このため、ろ過装置30に設けられたフィルターに対するスライムの付着、第一逆浸透膜装置38に設けられた逆浸透膜に対するスライムの付着、及び第二逆浸透膜装置48に設けられた逆浸透膜に対するスライムの付着を、効果的に抑制することができる。なお、本開示の効果を十分に発揮するためには、スライムコントロール剤の濃度は、2~20ppmがより好ましい。4~10ppmがさらに好ましい。
Also, the
また、第二注入部82は、主流路100を流れる被処理水に対するスケール防止剤の濃度が1ppm以上100ppm以下となるように、スケール防止剤を注入する。このため、第一逆浸透膜装置38に設けられた逆浸透膜に対するスケールの付着、及び第二逆浸透膜装置48に設けられた逆浸透膜に対するスケールの付着を、効果的に抑制することができる。なお、本開示の効果を十分に発揮するためには、スケール防止剤の濃度は、2~20ppmがより好ましい。4~10ppmがさらに好ましい。
Moreover, the
なお、上記では、活性炭装置24の下流側の流路100aにスライムコントロール剤を注入したが、活性炭装置24の上流側にスライムコントロール剤を注入してもよい。この場合には、活性炭装置24の下流側の流路100aにスライムコントロール剤を注入することで奏する作用は奏しない。
In the above description, the slime control agent is injected into the
また、上記では、第三ポンプ50は、一端が脱イオン水ピット40に接続された分岐流路104aに配置された。また、第一固有流路104b及び第二固有流路104cは、分岐流路104aに接続された。しかし、第一固有流路が脱イオン水ピット40に接続され、かつ、第二固有流路が脱イオン水ピット40に接続されている場合には、第一固有流路及び第二固有流路の夫々にポンプを配置してもよい。この場合には、第三ポンプ50が分岐流路104aに配置されることで奏する作用は奏しない。
Also, in the above description, the
10 超純水製造システム
24 活性炭装置
30 ろ過装置
38 第一逆浸透膜装置(逆浸透膜装置の一例)
50 第三ポンプ(ポンプの一例)
62 第一注入部
64 第一エジェクタ(エジェクタの一例)
70 第一タンク(タンクの一例)
82 第二注入部
84 第一エジェクタ(エジェクタの一例)
90 第二タンク(タンクの一例)
100 主流路
104a 分岐流路
104b 第一固有流路
104c 第二固有流路
10 Ultrapure
50 third pump (an example of a pump)
62
70 first tank (an example of a tank)
82 second injection part 84 first ejector (an example of an ejector)
90 second tank (an example of a tank)
100
(まとめ)
以上説明したように、第一注入部62は、紫外線酸化装置26とろ過装置30との間の部分の流路100aにスライムコントール剤を注入する。そして、被処理水に含有されたスライムコントール剤は、主流路100を流れてろ過装置30のフィルターを透過する。これにより、フィルターに付着する菌が増殖するのが抑制される。
(summary)
As described above, the
Claims (9)
被処理水の流れ方向において前記ろ過装置の下流側に配置され、逆浸透膜が設けられた逆浸透膜装置と、
被処理水の流れ方向において前記ろ過装置の上流側にスライムコントロール剤を注入する第一注入部と、
被処理水の流れ方向において前記ろ過装置の下流側で、かつ、前記逆浸透膜装置の上流側にスケール防止剤を注入する第二注入部と、
を備える超純水製造システム。 a filtering device provided with a filter through which the water to be treated flowing through the main flow path passes;
a reverse osmosis membrane device disposed downstream of the filtering device in the flow direction of the water to be treated and provided with a reverse osmosis membrane;
a first injection part for injecting a slime control agent upstream of the filtration device in the flow direction of the water to be treated;
a second injection section for injecting a scale inhibitor downstream of the filtration device and upstream of the reverse osmosis membrane device in the flow direction of the water to be treated;
An ultrapure water production system.
前記第一注入部は、被処理水の流れ方向において前記ろ過装置の上流側で、かつ、前記活性炭装置の下流側にスライムコントロール剤を注入する、
請求項1に記載の超純水製造システム。 an activated carbon device arranged upstream of the filtration device in the flow direction of the water to be treated,
The first injection part injects the slime control agent upstream of the filtration device and downstream of the activated carbon device in the flow direction of the water to be treated.
The ultrapure water production system according to claim 1.
被処理水の流れ方向において前記逆浸透膜装置の下流側から分岐する分岐流路から前記第一注入部及び第二注入部のそれぞれのエジェクタに駆動水を供給する共通のポンプを備え、
前記第一注入部のエジェクタは、一端が前記分岐流路に接続されると共に他端が前記ろ過装置の上流側に接続される第一固有流路に配置され、前記第二注入部のエジェクタは、一端が前記分岐流路に接続されると共に他端が前記ろ過装置の下流側で、かつ、前記逆浸透膜装置の上流側に接続される第二固有流路に配置されている、
請求項1又は2に記載の超純水製造システム。 The first injection part and the second injection part are configured to suck out the medicine in the tank by each ejector and inject it into the main flow path,
a common pump that supplies drive water to the respective ejectors of the first injection section and the second injection section from a branch flow path branching from the downstream side of the reverse osmosis membrane device in the flow direction of the water to be treated;
The ejector of the first injection section is arranged in a first unique flow path having one end connected to the branch flow path and the other end connected to the upstream side of the filtering device, and the ejector of the second injection section is , one end is connected to the branch channel and the other end is arranged in a second unique channel connected to the downstream side of the filtration device and the upstream side of the reverse osmosis membrane device;
The ultrapure water production system according to claim 1 or 2.
請求項1~3の何れか1項に記載の超純水製造システム。 The first injection part injects the slime control agent so that the concentration of the slime control agent in the water to be treated flowing through the main flow channel is 1 ppm or more and 100 ppm or less.
The ultrapure water production system according to any one of claims 1 to 3.
請求項1~4の何れか1項に記載の超純水製造システム。 The second injection unit injects the anti-scaling agent so that the concentration of the anti-scaling agent in the water to be treated flowing through the main flow path is 1 ppm or more and 100 ppm or less.
The ultrapure water production system according to any one of claims 1 to 4.
前記ろ過処理で生じた被処理水に対する逆浸透膜処理によって塩類を除去し、
被処理水の流れ方向において、前記ろ過処理の上流側にスライムコントロール剤を注入し、
被処理水の流れ方向において、前記ろ過処理の下流側で、かつ、前記逆浸透膜処理の上流側にスケール防止剤を注入する超純水製造方法。 removing suspended solids by filtering the water to be treated flowing through the main flow channel;
Salts are removed by reverse osmosis membrane treatment of the water to be treated generated in the filtration treatment,
Injecting a slime control agent upstream of the filtration treatment in the flow direction of the water to be treated,
A method for producing ultrapure water, in which a scale inhibitor is injected downstream of the filtration process and upstream of the reverse osmosis membrane process in the flow direction of the water to be treated.
被処理水の流れ方向において、前記吸着処理の下流側にスライムコントロール剤を注入する、
請求項6に記載の超純水製造方法。 removing natural organic matter by adsorption treatment on the water to be treated on the upstream side of the filtration treatment in the flow direction of the water to be treated;
injecting a slime control agent downstream of the adsorption treatment in the direction of flow of the water to be treated;
The method for producing ultrapure water according to claim 6.
請求項6又は7に記載の超純水製造方法。 Injecting the slime control agent so that the concentration of the slime control agent with respect to the water to be treated flowing through the main flow channel is 1 ppm or more and 100 ppm or less.
The method for producing ultrapure water according to claim 6 or 7.
請求項6~8の何れか1項に記載の超純水製造方法。
Injecting the anti-scaling agent so that the concentration of the anti-scaling agent with respect to the water to be treated flowing through the main flow channel is 1 ppm or more and 100 ppm or less.
The method for producing ultrapure water according to any one of claims 6 to 8.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021162092A JP2023051430A (en) | 2021-09-30 | 2021-09-30 | Ultrapure water production system and ultrapure water production method |
PCT/JP2022/028123 WO2023053678A1 (en) | 2021-09-30 | 2022-07-19 | Ultrapure water production system and ultrapure water production method |
TW111127506A TW202330087A (en) | 2021-09-30 | 2022-07-22 | Ultrapure water production system and ultrapure water production method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021162092A JP2023051430A (en) | 2021-09-30 | 2021-09-30 | Ultrapure water production system and ultrapure water production method |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023051430A true JP2023051430A (en) | 2023-04-11 |
Family
ID=85782275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021162092A Pending JP2023051430A (en) | 2021-09-30 | 2021-09-30 | Ultrapure water production system and ultrapure water production method |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2023051430A (en) |
TW (1) | TW202330087A (en) |
WO (1) | WO2023053678A1 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010202524A (en) * | 2009-02-27 | 2010-09-16 | Kurita Water Ind Ltd | Slime-control agent for activated carbon, method of passing water through activated carbon device, and method and apparatus for treating organic-containing water |
CN103663771A (en) * | 2012-09-21 | 2014-03-26 | 中国石油化工股份有限公司 | Medication method and medication system of water treatment device |
JP2020028865A (en) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | 栗田工業株式会社 | Slime control method for reverse osmosis membrane device |
JP2021007927A (en) * | 2019-07-02 | 2021-01-28 | 栗田工業株式会社 | Regeneration process of water softener, and manufacturing apparatus of desalted water |
-
2021
- 2021-09-30 JP JP2021162092A patent/JP2023051430A/en active Pending
-
2022
- 2022-07-19 WO PCT/JP2022/028123 patent/WO2023053678A1/en unknown
- 2022-07-22 TW TW111127506A patent/TW202330087A/en unknown
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010202524A (en) * | 2009-02-27 | 2010-09-16 | Kurita Water Ind Ltd | Slime-control agent for activated carbon, method of passing water through activated carbon device, and method and apparatus for treating organic-containing water |
CN103663771A (en) * | 2012-09-21 | 2014-03-26 | 中国石油化工股份有限公司 | Medication method and medication system of water treatment device |
JP2020028865A (en) * | 2018-08-23 | 2020-02-27 | 栗田工業株式会社 | Slime control method for reverse osmosis membrane device |
JP2021007927A (en) * | 2019-07-02 | 2021-01-28 | 栗田工業株式会社 | Regeneration process of water softener, and manufacturing apparatus of desalted water |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202330087A (en) | 2023-08-01 |
WO2023053678A1 (en) | 2023-04-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8206592B2 (en) | Treating acidic water | |
JP2008518758A (en) | Concentration recycle loop with filtration module | |
KR101530571B1 (en) | A desalination of cooling tower make-up water and effluent recycling system | |
KR20070112818A (en) | A device and a method for purifying a liquid with ozone and recirculation | |
JP2011088053A (en) | Equipment and method for desalination treatment | |
JP2013111559A (en) | Pretreating apparatus for supplying seawater to apparatus desalting or concentrating salt in seawater by using film | |
CN105347539A (en) | Integrated and automatic device for recycling water in industrial wastewater | |
US20060096920A1 (en) | System and method for conditioning water | |
KR100221225B1 (en) | Apparatus for brine conversion | |
RU106613U1 (en) | INSTALLATION FOR CLEANING AND SOFTENING WATER | |
KR101035899B1 (en) | High recovery and low fouling type apparatus for reusing treated wastewater and method thereof | |
KR100356343B1 (en) | Sewage and wastewater recycling metacarpus-treatment system using reverse osmosis membrane | |
CN214571340U (en) | Deionized water treatment system | |
CN109160664A (en) | A kind of electroplating wastewater zero equipment and application method | |
WO2023053678A1 (en) | Ultrapure water production system and ultrapure water production method | |
WO2007130053A1 (en) | System and method for conditioning water | |
CN204111474U (en) | A kind of seawater cleaning reverse osmosis unit | |
CN202671334U (en) | Double-film method heavy metal waste water purification treatment reuse device | |
JPH11207392A (en) | Water purifying treatment device | |
JP2011218267A (en) | Water processing method and water processing device | |
CN203095802U (en) | Island direct drinking water process integrated equipment | |
CN202576146U (en) | Water purifier | |
WO2023062970A1 (en) | Drug injection system, pure water production system, and water production method | |
CN216918887U (en) | Centralized direct drinking water equipment | |
CN203360174U (en) | Desalted water pretreatment system for low-turbidity algal water and desalted water treatment system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220920 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221111 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20230221 |