JP2023048626A - 温度センサ異常判定装置および温度センサ異常判定方法並びに温度センサ異常判定プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】温度センサの測定値を用いて温度センサの異常を予測する。【解決手段】温度センサ異常判定装置１は、測定対象の雰囲気中の温度を測定する温度センサＡ１（Ａ２，Ｂ１，Ｂ２）の異常を判定するもので、温度センサＡ１の所定時間ごとの最新の複数サンプルの測定値を蓄積するデータ蓄積器２と、データ蓄積器２に蓄積された温度センサＡ１（Ａ２，Ｂ１，Ｂ２）の測定値が正規分布に従っているか否かを検定する検定器３と、検定器３の検定結果に基づいて温度センサＡ１（Ａ２，Ｂ１，Ｂ２）が異常を警告する温度センサか否かを判定するセンサ警告判定器４と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、測定対象のほぼ同じ場所の温度を測定する複数本の温度センサの異常を判定する温度センサ異常判定装置および温度センサ異常判定方法並びに温度センサ異常判定プログラムに関するものである。

例えば測定対象としての加熱炉などでは、ヒータの温度制御に熱電対や測温抵抗体などの温度センサが用いられる。加熱炉などでは、炉内の温度が高温であり、ヒータの温度制御に使用する温度センサが経時的に劣化し、検知結果の精度が低下するため炉内の温度を正確に把握できなくなり、温度センサの交換が必要になる。

そこで、温度センサの交換時期を知る方法として、例えば下記特許文献１，２に開示される技術が知られている。特許文献１では、温度センサに電流源から電流を供給したときの電圧降下から抵抗値を計測し、計測した抵抗値の時間に対する変化から劣化時点を予測して温度センサの交換時期を知らせている。特許文献２では、温度センサが経験した過度温度のイベントの回数、過度温度のイベントの期間、過度温度のイベントの間の温度などをプロセス変数伝送器のメモリまたは温度センサのメモリ内に蓄積して温度センサをモニタすることで温度センサの交換時期を知らせている。

特開平１０－２３２１７０号公報 特表２０１５－５２２１６０号公報

しかしながら、特許文献１のように、抵抗値を計測して温度センサの寿命を予測するものでは、専用の装置やパラメータ管理が必要となる問題があった。また、特許文献２のように、使用回数をカウントして温度センサの交換時期を示すものでは、温度センサの管理のために専用のパラメータが必要となる問題があった。

そこで、本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであって、温度センサの測定値を用いて温度センサの異常を予測することができる温度センサ異常判定装置および温度センサ異常判定方法並びに温度センサ異常判定プログラムを提供することを目的としている。

上記目的を達成するため、本発明の請求項１に記載された温度センサ異常判定装置は、測定対象の雰囲気中の温度を測定する温度センサの異常を判定する温度センサ異常判定装置であって、
前記温度センサの所定時間ごとの最新の複数サンプルの測定値を蓄積するデータ蓄積器と、
前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値が正規分布に従っているか否かを検定する検定器と、
前記検定器の検定結果に基づいて前記温度センサが異常を警告する温度センサか否かを判定するセンサ警告判定器と、を備えたことを特徴とする。

本発明の請求項２に記載された温度センサ異常判定装置は、測定対象の雰囲気中の温度を測定する温度センサの異常を判定する温度センサ異常判定装置であって、
前記温度センサの所定時間ごとの最新の複数サンプルの測定値を蓄積するデータ蓄積器と、
前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値のサンプル分の平方和を算出し、前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値を小さい順に並び替えて前記平方和より検定統計量を算出し、前記測定値のサンプル数とシャピロ・ウィルク検定で使用する係数に基づく比較基準値と前記検定統計量との比較により前記温度センサの測定値が正規分布であるか否かを検定するシャピロ・ウィルクの検定器と、
前記シャピロ・ウィルクの検定器の検定結果に基づいて前記温度センサが異常を警告する温度センサか否かを判定するセンサ警告判定器と、を備えたことを特徴とする。

本発明の請求項３に記載された温度センサ異常判定方法は、測定対象の雰囲気中の温度を測定する温度センサの異常を判定する温度センサ異常判定装置を用いた温度センサ異常判定方法であって、
温度センサ異常判定装置が備えるデータ蓄積器により、前記温度センサの所定時間ごとの最新の複数サンプルの測定値を蓄積するステップと、
前記温度センサ異常判定装置が備える検定器により、前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値が正規分布に従っているか否かを検定するステップと、
前記温度センサ異常判定装置が備えるセンサ警告判定器により、前記検定器の検定結果に基づいて前記温度センサが異常を警告する温度センサか否かを判定するステップと、を含むことを特徴とする。

本発明の請求項４に記載された温度センサ異常判定方法は、測定対象の雰囲気中の温度を測定する温度センサの異常を判定する温度センサ異常判定装置を用いた温度センサ異常判定方法であって、
温度センサ異常判定装置が備えるデータ蓄積器により、前記温度センサの所定時間ごとの最新の複数サンプルの測定値を蓄積するステップと、
前記温度センサ異常判定装置が備えるシャピロ・ウィルクの検定器により、前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値のサンプル分の平方和を算出し、前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値を小さい順に並び替えて前記平方和より検定統計量を算出し、前記測定値のサンプル数とシャピロ・ウィルク検定で使用する係数に基づく比較基準値と前記検定統計量との比較により前記温度センサの測定値が正規分布であるか否かを検定するステップと、
前記温度センサ異常判定装置が備えるセンサ警告判定器により、前記検定器の検定結果に基づいて前記温度センサが異常を警告する温度センサか否かを判定するステップと、を含むことを特徴とする。

本発明の請求項５に記載された温度センサ異常判定プログラムは、測定対象の雰囲気中の温度を測定する温度センサの異常を判定する温度センサ異常判定プログラムであって、
コンピュータを、
前記温度センサの所定時間ごとの最新の複数サンプルの測定値を蓄積するデータ蓄積器と、
前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値が正規分布に従っているか否かを検定する検定器と、
前記検定器の検定結果に基づいて前記温度センサが異常を警告する温度センサか否かを判定するセンサ警告判定器として機能させることを特徴とする。

本発明の請求項６に記載された温度センサ異常判定プログラムは、測定対象の雰囲気中の温度を測定する温度センサの異常を判定する温度センサ異常判定プログラムであって、
コンピュータを、
前記温度センサの所定時間ごとの最新の複数サンプルの測定値を蓄積するデータ蓄積器と、
前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値のサンプル分の平方和を算出し、前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値を小さい順に並び替えて前記平方和より検定統計量を算出し、前記測定値のサンプル数とシャピロ・ウィルク検定で使用する係数に基づく比較基準値と前記検定統計量との比較により前記温度センサの測定値が正規分布であるか否かを検定するシャピロ・ウィルクの検定器と、
前記シャピロ・ウィルクの検定器の検定結果に基づいて前記温度センサが異常を警告する温度センサか否かを判定するセンサ警告判定器として機能させることを特徴とする。

本発明によれば、従来のような専用の装置やパラメータ管理を必要とせず、温度センサの直近の測定値を用いて温度センサの異常を予測することができる。

本発明に係る温度センサ異常判定装置のブロック構成図である。 本発明に係る温度センサ異常判定装置が採用される測定系の一例を示す図である。

以下、本発明を実施するための形態について、添付した図面を参照しながら詳細に説明する。

まず、本発明が採用される測定系の一例について図２を参照しながら説明する。図２に示すように、測定系１１は、測定対象としての真空熱処理炉（加熱炉）１２と４つの制御ループ１３からなる。

真空熱処理炉１２は、内部が真空ポンプ１４により真空状態に保持され、炉内上部左右と炉内下部左右にそれぞれヒータ１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ）が配置される。

また、各ヒータ１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ）の近傍には、真空熱処理炉１２の雰囲気中の温度（炉内温度）を検出する複数の温度センサＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２が配置される。図２の例では、炉内上部左側のヒータ１５Ａの近傍に温度センサＡ１が配置され、炉内上部右側のヒータ１５Ｂの近傍に温度センサＡ２が配置され、炉内下部左側のヒータ１５Ｃの近傍に温度センサＢ１が配置され、炉内下部右側のヒータ１５Ｄの近傍に温度センサＢ２が配置される。

なお、本実施の形態では、温度センサＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２として、例えば内部の抵抗値の変動に伴って起電力が大きくなる熱電対を用いているが、これに限定されるものではなく、例えば測温抵抗体などを用いることもできる。

４つの制御ループ１３は、第１ゾーン上部制御ループ１３Ａ、第２ゾーン上部制御ループ１３Ｂ、第１ゾーン下部制御ループ１３Ｃ、第２ゾーン下部制御ループ１３Ｄからなる。

第１ゾーン上部制御ループ１３Ａ、第２ゾーン上部制御ループ１３Ｂ、第１ゾーン下部制御ループ１３Ｃ、第２ゾーン下部制御ループ１３Ｄは、例えばバッチ処理の各ロットにおける炉内温度分布がほぼ均一になるように真空熱処理炉１２の炉内温度を目標温度に制御するため、それぞれＰＩＤ制御器１３ａとＳＣＲ（サイリスタ）１３ｂを備えて構成される。

第１ゾーン上部制御ループ１３Ａでは、温度センサＡ１の測定値（温度データ）と上部炉内温度設定値がＰＩＤ制御器１３ａに入力され、その差に応じた操作量（０～１００％）をＰＩＤ制御器１３ａがＳＣＲ１３ｂに出力して駆動制御し、ＳＣＲ１３ｂがヒータ１５Ａをオン／オフ制御する。

同様に、第２ゾーン上部制御ループ１３Ｂでは、温度センサＡ２の測定値と上部炉内温度設定値がＰＩＤ制御器１３ａに入力され、その差に応じた操作量（０～１００％）をＰＩＤ制御器１３ａがＳＣＲ１３ｂに出力して駆動制御し、ＳＣＲ１３ｂがヒータ１５Ｂをオン／オフ制御する。

また、第１ゾーン下部制御ループ１３Ｃでは、温度センサＢ１の測定値と上部炉内温度設定値がＰＩＤ制御器１３ａに入力され、その差に応じた操作量（０～１００％）をＰＩＤ制御器１３ａがＳＣＲ１３ｂに出力して駆動制御し、ＳＣＲ１３ｂがヒータ１５Ｃをオン／オフ制御する。

さらに、第２ゾーン下部制御ループ１３Ｄでは、温度センサＢ２の測定値と上部炉内温度設定値がＰＩＤ制御器１３ａに入力され、その差に応じた操作量（０～１００％）をＰＩＤ制御器１３ａがＳＣＲ１３ｂに出力して駆動制御し、ＳＣＲ１３ｂがヒータ１５Ｄをオン／オフ制御する。

本実施の形態による温度センサ異常判定装置は、測定系の複数本の温度センサ（図２の例では、測定系１１の４本の温度センサＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２）の測定値の分散（測定ばらつき）の大きさの違いを調べることにより、複数本の温度センサのどの温度センサ（測定系１１を含めて）が異常かを判定し、オペレータに注意を促す機能を有する。

図１に示すように、温度センサ異常判定装置１は、上記機能を実現するため、データ蓄積器２、検定器３、センサ警告判定器４を備えて構成される。

データ蓄積器２は、温度センサＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２ごとに測定値を蓄積するデータ保存用のメモリで構成され、温度センサＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２それぞれからの最新１０サンプルの測定値（温度データ）を参照サンプルとして常に蓄積して保存する。

データ蓄積器２に保存される測定値は、例えばバッチ処理の１ロット（所定時間）ごとの温度センサＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２それぞれの測定値である。なお、データ蓄積器２に保存される参照サンプルの数は、１０サンプルの測定値に限定されるものではなく、適宜変えることができる。

検定器３は、直近の測定値が正規分布に従っているかどうかの検定を行うものであり、例えばシャピロ・ウィルクの検定器で構成される。

シャピロ・ウィルクの検定は、下記の手順１～４に従って検定が行われる。なお、ここでは計算量の関係から測定値のサンプル数を１０に限定して説明する。

手順１：取得したデータの平方和の算出
温度センサＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２のそれぞれの分散を下記式（１），（２），（３），（４）にて算出する。ここではサンプル数ｎを１０とする。

なお、Ｓ_A1は温度センサＡ１のサンプル分の平方和（個々の測定値－平均値の２乗和）、Ｓ_A2は温度センサＡ２のサンプル分の平方和（個々の測定値－平均値の２乗和）、Ｓ_B1は温度センサＢ１のサンプル分の平方和（個々の測定値－平均値の２乗和）、Ｓ_B2は温度センサＢ２のサンプル分の平方和（個々の測定値－平均値の２乗和）、ｘ_A1i は温度センサＡ１の個々のデータ、ｘ_A2i は温度センサＡ２の個々のデータ、ｘ_B1i は温度センサＢ１の個々のデータ、ｘ_B2i は温度センサＢ２の個々のデータ、ｘ_A1のバーは温度センサＡ１の平均値、ｘ_A2のバーは温度センサＡ２の平均値、ｘ_B1のバーは温度センサＢ１の平均値、ｘ_B2のバーは温度センサＢ２の平均値である。

手順２：データの並び替え
温度センサＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２のそれぞれのデータを小さい順に並び替える。ここではデータのサンプル数を１０とする。
温度センサＡ１…ｘ_A1(1) ，ｘ_A1(2) ，ｘ_A1(3) ，…ｘ_A1(9) ，ｘ_A1(10)
温度センサＡ２…ｘ_A2(1) ，ｘ_A2(2) ，ｘ_A2(3) ，…ｘ_A2(9) ，ｘ_A2(10)
温度センサＢ１…ｘ_B1(1) ，ｘ_B1(2) ，ｘ_B1(3) ，…ｘ_B1(9) ，ｘ_B1(10)
温度センサＢ２…ｘ_B1(1) ，ｘ_B2(2) ，ｘ_B2(3) ，…ｘ_B2(9) ，ｘ_B2(10)

手順３：検定統計量Ｗの算出
温度センサＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２のそれぞれの検定統計量Ｗを下記式（５），（６），（７），（８）にて算出する。なお、Ｗ_A1は温度センサＡ１の検定統計量、Ｗ_A2は温度センサＡ２の検定統計量、Ｗ_B1は温度センサＢ１の検定統計量、Ｗ_B2は温度センサＢ２の検定統計量である。

手順４：検定
検定統計量Ｗ＞Ｗ（ｎ，α）を用いて検定する。

なお、Ｗ（ｎ，α）はシャピロウィルク検定の比較基準値、ｎはデータ数（ロット数）、αは有意水準（一般的には０．０５）、α_i はシャピロウィルク検定で使用する係数（既知）である。

ここで、ｎ＝１０，α＝０．０５である。
よって、Ｗ_A1＞Ｗ（１０，０．０５），Ｗ_A2＞Ｗ（１０，０．０５），Ｗ_B1＞Ｗ（１０，０．０５），Ｗ_B2＞Ｗ（１０，０．０５）であれば、有意水準αで優位とならない。すなわち、該当温度センサは正規分布とはいえないため、故障の疑いがあることになる。

なお、係数α_i は下記表１のようになる。ここでは、データのサンプル数ｎを１０としているため、係数の数は５となる。

また、棄却域の検定表は下記表２となる。

検定器３は、上述した検定により、温度センサＡ１の測定値が正規分布であると判断すると、検定結果信号として「０」を出力し、温度センサＡ１の測定値が正規分布でないと判断すると、検定結果信号として「１」を出力する。

同様に、検定器３は、温度センサＡ２の測定値が正規分布であると判断すると、検定結果信号として「０」を出力し、温度センサＡ２の測定値が正規分布でないと判断すると、検定結果信号として「１」を出力する。また、検定器３は、温度センサＢ１の測定値が正規分布であると判断すると、検定結果信号として「０」を出力し、温度センサＢ１の測定値が正規分布でないと判断すると、検定結果信号として「１」を出力する。さらに、検定器３は、温度センサＢ２の測定値が正規分布であると判断すると、検定結果信号として「０」を出力し、温度センサＢ２の測定値が正規分布でないと判断すると、検定結果信号として「１」を出力する。

センサ警告判定器４は、検定器３から検定結果信号「１」が入力されると、測定値が正規分布でないと判断した温度センサが異常であると判定し、例えば音、表示などによりオペレータに警告を促す。例えばセンサ警告判定器４は、検定器３が温度センサＢ１の測定値が正規分布でないと判断し、検定器３から検定結果信号「１」が入力されると、温度センサＢ１が異常であると判定し、オペレータに警告を促す。

次に、４本の温度センサＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２の具体的な測定値による検定例について説明する。

今、ロットごとの温度センサＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２の測定値が下記表３のように得られたものとする。

Ａ１に対し、正規性の検定を行う。得られた測定値を小さい順に並べると（Ａ２も並行して並び替えておく）、下記表４となる。

サンプル数ｎ＝１０の時のα_i は、係数の数が５で前記表１の数値表より、α₁ ＝０．５７３９、α₂ ＝０．３２９１、α₃ ＝０．２１４１、α₄ ＝０．１２２４、α₅ ＝０．０３９９となる。

上記α_i と平方和Ｓ＝２９４．４３より、検定統計量Ｗは、下記式（９）にて算出される。

数値表から、Ｗ（ｎ，α）＝Ｗ（１０，０．０５）＝０．８４２であり、Ｗ＝０．８８６９＞０．８４２となるから有意でない。したがって正規性がないとはいえない。すなわち、温度センサＡ１は故障しているとはいえないことになる。

同様に、Ａ２に対し、正規性の検定を行う。平方和ｓ＝７９５．６７より、検定統計量Ｗは、下記式（１０）にて算出される。

数値表から、Ｗ（ｎ，α）＝Ｗ（１０，０．０５）＝０．８４２であり、Ｗ＝０．１０９５＜０．８４２となるから有意である。したがって正規性がないといえる。すなわち、温度センサＡ２は故障しているといえる。

ところで、上述した実施の形態では、測定系１１における真空熱処理炉１２の炉内温度を４本の温度センサＡ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２にて検出する場合を例にとって説明したが、測定系や温度センサの数が限定されるものではない。

また、上述した実施の形態において、温度センサ異常判定装置１が備える構成要素（データ蓄積器２、検定器３、センサ警告判定器４の各部）は、演算処理装置、記憶装置などを備えたコンピュータで構成し、各構成要素の処理がプログラムによって実行されるものとしてもよい。

このように、上述した実施の形態によれば、従来のような専用の装置やパラメータ管理を必要とせず、温度センサ自身が出力する直近の測定値を用いて温度センサの異常を予測することができる。

以上、本発明に係る温度センサ異常判定装置および温度センサ異常判定方法並びに温度センサ異常判定プログラムの最良の形態について説明したが、この形態による記述及び図面により本発明が限定されることはない。すなわち、この形態に基づいて当業者等によりなされる他の形態、実施例及び運用技術などはすべて本発明の範疇に含まれることは勿論である。

１ 温度センサ異常判定装置
２ データ蓄積器
３ 検定器
４ センサ警告判定器
１１ 測定系
１２ 真空熱処理炉
１３ 制御ループ
１３Ａ 第１ゾーン上部制御ループ
１３Ｂ 第２ゾーン上部制御ループ
１３Ｃ 第１ゾーン下部制御ループ
１３Ｄ 第２ゾーン下部制御ループ
１３ａ ＰＩＤ制御器
１３ｂ ＳＣＲ（サイリスタ）
１４ 真空ポンプ
１５（１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄ） ヒータ
Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２ 温度センサ

Claims (6)

1. 測定対象の雰囲気中の温度を測定する温度センサの異常を判定する温度センサ異常判定装置であって、
   前記温度センサの所定時間ごとの最新の複数サンプルの測定値を蓄積するデータ蓄積器と、
   前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値が正規分布に従っているか否かを検定する検定器と、
   前記検定器の検定結果に基づいて前記温度センサが異常を警告する温度センサか否かを判定するセンサ警告判定器と、を備えたことを特徴とする温度センサ異常判定装置。
2. 測定対象の雰囲気中の温度を測定する温度センサの異常を判定する温度センサ異常判定装置であって、
   前記温度センサの所定時間ごとの最新の複数サンプルの測定値を蓄積するデータ蓄積器と、
   前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値のサンプル分の平方和を算出し、前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値を小さい順に並び替えて前記平方和より検定統計量を算出し、前記測定値のサンプル数とシャピロ・ウィルク検定で使用する係数に基づく比較基準値と前記検定統計量との比較により前記温度センサの測定値が正規分布であるか否かを検定するシャピロ・ウィルクの検定器と、
   前記シャピロ・ウィルクの検定器の検定結果に基づいて前記温度センサが異常を警告する温度センサか否かを判定するセンサ警告判定器と、を備えたことを特徴とする温度センサ異常判定装置。
3. 測定対象の雰囲気中の温度を測定する温度センサの異常を判定する温度センサ異常判定装置を用いた温度センサ異常判定方法であって、
   温度センサ異常判定装置が備えるデータ蓄積器により、前記温度センサの所定時間ごとの最新の複数サンプルの測定値を蓄積するステップと、
   前記温度センサ異常判定装置が備える検定器により、前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値が正規分布に従っているか否かを検定するステップと、
   前記温度センサ異常判定装置が備えるセンサ警告判定器により、前記検定器の検定結果に基づいて前記温度センサが異常を警告する温度センサか否かを判定するステップと、を含むことを特徴とする温度センサ異常判定方法。
4. 測定対象の雰囲気中の温度を測定する温度センサの異常を判定する温度センサ異常判定装置を用いた温度センサ異常判定方法であって、
   温度センサ異常判定装置が備えるデータ蓄積器により、前記温度センサの所定時間ごとの最新の複数サンプルの測定値を蓄積するステップと、
   前記温度センサ異常判定装置が備えるシャピロ・ウィルクの検定器により、前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値のサンプル分の平方和を算出し、前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値を小さい順に並び替えて前記平方和より検定統計量を算出し、前記測定値のサンプル数とシャピロ・ウィルク検定で使用する係数に基づく比較基準値と前記検定統計量との比較により前記温度センサの測定値が正規分布であるか否かを検定するステップと、
   前記温度センサ異常判定装置が備えるセンサ警告判定器により、前記検定器の検定結果に基づいて前記温度センサが異常を警告する温度センサか否かを判定するステップと、を含むことを特徴とする温度センサ異常判定方法。
5. 測定対象の雰囲気中の温度を測定する温度センサの異常を判定する温度センサ異常判定プログラムであって、
   コンピュータを、
   前記温度センサの所定時間ごとの最新の複数サンプルの測定値を蓄積するデータ蓄積器と、
   前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値が正規分布に従っているか否かを検定する検定器と、
   前記検定器の検定結果に基づいて前記温度センサが異常を警告する温度センサか否かを判定するセンサ警告判定器として機能させるための温度センサ異常判定プログラム。
6. 測定対象の雰囲気中の温度を測定する温度センサの異常を判定する温度センサ異常判定プログラムであって、
   コンピュータを、
   前記温度センサの所定時間ごとの最新の複数サンプルの測定値を蓄積するデータ蓄積器と、
   前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値のサンプル分の平方和を算出し、前記データ蓄積器に蓄積された前記温度センサの測定値を小さい順に並び替えて前記平方和より検定統計量を算出し、前記測定値のサンプル数とシャピロ・ウィルク検定で使用する係数に基づく比較基準値と前記検定統計量との比較により前記温度センサの測定値が正規分布であるか否かを検定するシャピロ・ウィルクの検定器と、
   前記シャピロ・ウィルクの検定器の検定結果に基づいて前記温度センサが異常を警告する温度センサか否かを判定するセンサ警告判定器として機能させるための温度センサ異常判定プログラム。

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