JP2023047530A - 研磨パッドの製造方法 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 93
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 139
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 66
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 66
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 3
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 21
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 9
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 4
- 229920005749 polyurethane resin Polymers 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 2
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920001228 polyisocyanate Polymers 0.000 description 1
- 239000005056 polyisocyanate Substances 0.000 description 1
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 1
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
【課題】終点検出窓用部材の位置ずれ等を抑制できるようにしつつも、終点検出窓用部材の位置の調整も容易に行うことのできる研磨パッドの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】終点検出窓付き研磨層を備える研磨パッドの製造方法であって、金型内に終点検出窓用部材を固定し、該終点検出窓用部材と接触した状態で硬化性樹脂を硬化して、前記終点検出窓用部材が組み込まれた樹脂シートを形成する硬化工程と、前記樹脂シートをスライスして研磨層を形成するスライス工程と、を有し、前記硬化工程において、前記終点検出窓用部材が、前記金型上部に設置した位置固定治具により吊り下げられて固定される、研磨パッドの製造方法。
【選択図】図1
【解決手段】終点検出窓付き研磨層を備える研磨パッドの製造方法であって、金型内に終点検出窓用部材を固定し、該終点検出窓用部材と接触した状態で硬化性樹脂を硬化して、前記終点検出窓用部材が組み込まれた樹脂シートを形成する硬化工程と、前記樹脂シートをスライスして研磨層を形成するスライス工程と、を有し、前記硬化工程において、前記終点検出窓用部材が、前記金型上部に設置した位置固定治具により吊り下げられて固定される、研磨パッドの製造方法。
【選択図】図1
Description
本発明は、研磨パッドの製造方法に関する。
半導体製造工程においては、絶縁膜成膜後の平坦化や金属配線の形成過程で化学機械研磨(CMP)が使用される。化学機械研磨に要求される重要な技術の一つとして、研磨プロセスが完了したかどうかを検出する研磨終点検出がある。例えば、目標とする研磨終点に対する過研磨や研磨不足は製品不良に直結する。そのため、化学機械研磨では、研磨終点検出により研磨量を厳しく管理する必要がある。
化学機械研磨は複雑なプロセスであり、研磨装置の運転状態や消耗品(スラリー、研磨パッド、ドレッサー等)の品質や研磨過程における経時的な状態のばらつきの影響によって、研磨速度(研磨レート)が変化する。さらに、近年半導体製造工程で求められる残膜厚の精度、面内均一性はますます厳しくなっている。このような事情から、十分な精度の研磨終点検出はより困難となってきている。
研磨終点検出の主な方法としては、光学式終点検出方式、トルク終点検出方式、渦電流終点検出方式などが知られており、光学式終点検出方式では、研磨パッド上に設けた透明な窓部材を通してウエハに光を照射し、反射光をモニタすることで終点検出を行う。
このような光学式終点検出方式を用いる研磨パッドの製造方法として、例えば、特許文献1には、金型の底面にライナーを設けて窓用ブロックを固定して、その後硬化性材料を金型に充填して、硬化させる研磨パッドの製造方法が開示されている。
しかしながら、特許文献1のように金型の底面で窓用ブロックを固定する方法では、硬化の際の熱によってライナーが変形すると、金型に窓用ブロックを垂直に固定できないという問題が生じる。また、ライナーには窓用ブロックが直接固定されているため、再使用することが難しく、製造コストに問題がある。
さらに、特許文献1では、窓接着剤を使用して窓用ブロックとライナーの上面とを接着するが、このような接着方法では、金型キャビティに硬化性材料を装填した際に、その硬化性材料の流れによって、または、硬化性材料の硬化時における膨張又は収縮によって、窓用ブロックの傾倒や位置ずれ(以下、まとめて「位置ずれ等」ともいう)が生じたりする恐れがある。
また、比較的小さい終点検出窓用部材を正確な位置に配置する際には、窓の位置を微調整する必要があるが、窓接着剤を使用して固定した場合には、その後の位置を調整することができず、良品の製造歩留まりが低下する。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、終点検出窓用部材の位置ずれ等を抑制できるようにしつつも、終点検出窓用部材の位置の調整も容易に行うことのできる研磨パッドの製造方法を提供することを目的とする。
すなわち、本発明は以下のとおりである。
〔1〕
終点検出窓付き研磨層を備える研磨パッドの製造方法であって、
金型内に終点検出窓用部材を固定し、該終点検出窓用部材と接触した状態で硬化性樹脂を硬化して、前記終点検出窓用部材が組み込まれた樹脂シートを形成する硬化工程と、
前記樹脂シートをスライスして研磨層を形成するスライス工程と、を有し、
前記硬化工程において、前記終点検出窓用部材が、前記金型上部に設置した位置固定治具の挟持部により挟持されることで、吊り下げられて固定される、
研磨パッドの製造方法。
〔2〕
前記硬化工程において、前記金型内に硬化性樹脂を充填してから、前記終点検出窓用部材を前記硬化性樹脂に接触させて、前記硬化性樹脂を硬化する、
〔1〕に記載の研磨パッドの製造方法。
〔3〕
前記硬化工程において、前記金型内に前記終点検出窓用部材を固定してから、硬化性樹脂を充填して硬化する、
〔1〕に記載の研磨パッドの製造方法。
〔4〕
前記位置固定治具が、前記終点検出窓用部材が挿通される貫通孔を有し、
前記挟持部は、前記貫通孔に挿通された前記終点検出窓用部材を挟持する、
〔1〕~〔3〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔5〕
前記挟持部は、前記終点検出窓用部材を着脱可能に挟持する、
〔1〕~〔4〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔6〕
前記位置固定治具が、前記金型上部と嵌合する第1嵌合部を有する、
〔1〕~〔5〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔7〕
前記金型が、前記位置固定治具と嵌合する第2嵌合部を有する、
〔1〕~〔6〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔8〕
前記研磨層の研磨面に溝加工を施す溝形成工程を有し、
前記溝形成工程の前に前記終点検出窓用部材の露出している部分には、溝加工を行わない、
〔1〕~〔7〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔9〕
前記研磨層の研磨面と反対側の面に、基材層及び/又はクッション層を積層する積層工程を有する、
〔1〕~〔8〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔1〕
終点検出窓付き研磨層を備える研磨パッドの製造方法であって、
金型内に終点検出窓用部材を固定し、該終点検出窓用部材と接触した状態で硬化性樹脂を硬化して、前記終点検出窓用部材が組み込まれた樹脂シートを形成する硬化工程と、
前記樹脂シートをスライスして研磨層を形成するスライス工程と、を有し、
前記硬化工程において、前記終点検出窓用部材が、前記金型上部に設置した位置固定治具の挟持部により挟持されることで、吊り下げられて固定される、
研磨パッドの製造方法。
〔2〕
前記硬化工程において、前記金型内に硬化性樹脂を充填してから、前記終点検出窓用部材を前記硬化性樹脂に接触させて、前記硬化性樹脂を硬化する、
〔1〕に記載の研磨パッドの製造方法。
〔3〕
前記硬化工程において、前記金型内に前記終点検出窓用部材を固定してから、硬化性樹脂を充填して硬化する、
〔1〕に記載の研磨パッドの製造方法。
〔4〕
前記位置固定治具が、前記終点検出窓用部材が挿通される貫通孔を有し、
前記挟持部は、前記貫通孔に挿通された前記終点検出窓用部材を挟持する、
〔1〕~〔3〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔5〕
前記挟持部は、前記終点検出窓用部材を着脱可能に挟持する、
〔1〕~〔4〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔6〕
前記位置固定治具が、前記金型上部と嵌合する第1嵌合部を有する、
〔1〕~〔5〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔7〕
前記金型が、前記位置固定治具と嵌合する第2嵌合部を有する、
〔1〕~〔6〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔8〕
前記研磨層の研磨面に溝加工を施す溝形成工程を有し、
前記溝形成工程の前に前記終点検出窓用部材の露出している部分には、溝加工を行わない、
〔1〕~〔7〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
〔9〕
前記研磨層の研磨面と反対側の面に、基材層及び/又はクッション層を積層する積層工程を有する、
〔1〕~〔8〕のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
本発明によれば、終点検出窓用部材の位置ずれ等を抑制できるようにしつつも、終点検出窓用部材の位置の調整も容易に行うことのできる研磨パッドの製造方法を提供することができる。
以下、必要に応じて図面を参照しつつ、本発明の実施の形態(以下、「本実施形態」という。)について詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。なお、図面中、同一要素には同一符号を付すこととし、重複する説明は省略する。又上下左右などの位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。さらに、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。
1.研磨パッドの製造方法
本実施形態の研磨パッドの製造方法は、金型内に終点検出窓用部材を固定し、該終点検出窓用部材と接触した状態で硬化性樹脂を硬化して、終点検出窓用部材が組み込まれた樹脂シートを形成する硬化工程と、樹脂シートをスライスして研磨層を形成するスライス工程と、を有し、硬化工程において、終点検出窓用部材が、金型上部に設置した位置固定治具の挟持部により挟持されることで、吊り下げられて固定されることで、終点検出窓付き研磨層を備える研磨パッドを製造する方法である。
本実施形態の研磨パッドの製造方法は、金型内に終点検出窓用部材を固定し、該終点検出窓用部材と接触した状態で硬化性樹脂を硬化して、終点検出窓用部材が組み込まれた樹脂シートを形成する硬化工程と、樹脂シートをスライスして研磨層を形成するスライス工程と、を有し、硬化工程において、終点検出窓用部材が、金型上部に設置した位置固定治具の挟持部により挟持されることで、吊り下げられて固定されることで、終点検出窓付き研磨層を備える研磨パッドを製造する方法である。
このように、終点検出窓用部材を金型上部に設置した位置固定治具の挟持部により挟持することで、接着剤等と比較して終点検出窓用部材をより強固に固定することができる。そのため、硬化性樹脂の流れによって、または、硬化性材料の硬化時における膨張又は収縮によって、終点検出窓用部材の位置ずれ等がより抑制される。さらに、接着剤等の固定では終点検出窓用部材が斜めに固定されることもあるが、終点検出窓用部材を挟持部により挟持することで、終点検出窓用部材を垂直に固定することができる。
また、金型底面に接着剤等で終点検出窓用部材を固定する場合には一度固定したらその位置を調整できないが、終点検出窓用部材を挟持部により吊り下げて固定することにより、終点検出窓用部材の取り外しが容易となり、硬化性樹脂が硬化するまでは挟持部を弛めて、終点検出窓用部材の埋設位置を微調整することができる。終点検出窓は通常は研磨能力を持たないため、研磨パッドに配置する窓の大きさはできるだけ小さいことが好ましく、小さい終点検出窓を介して、研磨装置の検出器部分に正確に透過光を届けるためには、いずれの研磨パッドにも同一箇所に正確に窓を配置する必要がある。そのため、上記のような微調整を可能とすることにより良品率を向上することもできる。また、硬化性樹脂が硬化した後には、挟持部を弛めて、挟持部から終点検出窓用部材を取り外すことにより、位置固定治具と得られた樹脂シートを分離することができる。
さらに、金型ではなく位置固定治具に終点検出窓用部材を取り付けるため、金型自体は加工する必要がなく、従来のものをそのまま使用することができる。さらに、位置固定治具も何度でも使用可能であるため、ライナーのように使い捨てにする必要はない。
1.1.硬化工程
硬化工程は、金型内に終点検出窓用部材を固定し、該終点検出窓用部材と接触した状態で硬化性樹脂を硬化して、終点検出窓用部材が組み込まれた樹脂シートを形成する工程である。
硬化工程は、金型内に終点検出窓用部材を固定し、該終点検出窓用部材と接触した状態で硬化性樹脂を硬化して、終点検出窓用部材が組み込まれた樹脂シートを形成する工程である。
1.1.1.終点検出窓用部材
まず、硬化工程に先立って終点検出窓用部材を用意する。終点検出窓用部材10の形状は、特に限定されないが、例えば、図1や図2に示すように、直方体状のものと、円柱状のものが挙げられる。
まず、硬化工程に先立って終点検出窓用部材を用意する。終点検出窓用部材10の形状は、特に限定されないが、例えば、図1や図2に示すように、直方体状のものと、円柱状のものが挙げられる。
図1に示すように、直方体状の終点検出窓用部材10は、挟持しやすい側面を有するため、より安定して位置固定治具30に固定することができる。直方体状の終点検出窓用部材10の形状は、必要とされる大きさの窓材として構成されたものであればその形状については、特に限定されないが、例えば、吊り下げ方向の端面が凸面形状を有していてもよい。このような凸面形状を有することにより、終点検出窓用部材10の端面と金型20の底面21との間に硬化性樹脂が流入しやすくなり、硬化性樹脂が気泡を巻き込んだりすることが抑制できる。
図2に示すように、円柱状の終点検出窓用部材10は、例えば、柱状部11と台座部12とを有するものとすることができる。ここで、柱状部11は硬化工程後において、樹脂シート50に埋設されて終点検出窓51となる。柱状部11の断面形状は特に制限されず、円形であっても多角形であってもよく、柱状部11の先端は凸面形状を有していてもよい。また、台座部12は、位置固定治具30の挟持部31の孔径よりも広く構成されていてもよい。これにより、位置固定治具30の挟持部31に上方から終点検出窓用部材10を挿通したときに、台座部12で係止され、円柱状の終点検出窓用部材10が脱落せずに固定される。
このように、円柱状の終点検出窓用部材10は、柱状部11と台座部12とを有する形状とすることで、柱状部11は終点検出窓として必要な範囲で比較的小さくしつつ、台座部12により脱落をより抑制することができる。これにより、硬化工程において注入された樹脂や硬化中の樹脂によって、終点検出窓用部材10の位置がずれたり、終点検出窓用部材10が斜めになったりすることが抑制される傾向にある。また、柱状部11を終点検出窓として必要な範囲で比較的小さく構成できるため、終点検出窓を埋設したことによる研磨パッドの研磨特性への影響をより小さくすることができる。なお、終点検出窓用部材10の形状は図2に限定されず、円柱状の終点検出窓用部材10は、台座部12がなく、柱状部11のみを有するものであってもよい。
終点検出窓用部材10は、特に限定されないが、例えば、金型(不図示)に樹脂を注入して硬化することで作製することができる。金型から取り出した終点検出窓用部材10は、側面を、サンドペーパーで処理したり溶剤で処理したりすることが好ましい。これにより、終点検出窓用部材10に離型剤が付着している場合には離型剤を除去することができ、また、サンドペーパーで側面が粗面化されることによって、樹脂シート50に終点検出窓用部材10を埋設したときに、樹脂シート50と終点検出窓用部材10(終点検出窓51)との密着性がより向上する傾向にある。
1.1.2.位置固定治具
位置固定治具30は、挟持部31を有し、金型20上部に設置可能であり、挟持部31によって終点検出窓用部材10を吊り下げて固定するものであれば特に制限されない。図5や図6に示すように、この位置固定治具30の挟持部31によって、終点検出窓用部材10は吊り下げられて固定される。
位置固定治具30は、挟持部31を有し、金型20上部に設置可能であり、挟持部31によって終点検出窓用部材10を吊り下げて固定するものであれば特に制限されない。図5や図6に示すように、この位置固定治具30の挟持部31によって、終点検出窓用部材10は吊り下げられて固定される。
例えば、金型20の底面に終点検出窓用部材10を固定する場合には、硬化性樹脂を金型に充填した後に、終点検出窓用部材10の個数や位置を変更することは困難である。一方で、本実施形態のように終点検出窓用部材10を吊り下げて固定する場合には、硬化性樹脂を金型20に充填した後であっても硬化前であれば、終点検出窓用部材10の位置を変更したり、終点検出窓用部材10の個数を変更したりすることが容易となる。
また、その他、金型20の底など金型自体に終点検出窓用部材10を固定するための変更を施す必要がなく、金型20としては終点検出窓を有しない研磨パッドの製造に用いるのと同様のものをそのまま用いることもできる。
また、挟持部31は、終点検出窓用部材10を挟持して固定するものであれば特に制限されない。このような挟持部31により終点検出窓用部材10の側面を挟持することにより、終点検出窓用部材10をまっすぐ垂直に吊り下げて固定することができ、また、平面方向に対する力が付加された場合にも位置ずれ等が生じにくくなる。そのため、終点検出窓用部材10がまっすぐ垂直に固定されず斜めに固定されてしまうことにより、終点検出窓として機能しなくなったり、硬化性材料の流れによって、または、硬化性材料の硬化時における膨張又は収縮によって、終点検出窓用部材10が押されて位置ずれ等が生じたりすることが抑制される。特に、例えば接着剤などで一面だけで終点検出窓用部材10を固定するような方法と比べて、このような効果は顕著となる。
また、挟持部31を用いることにより、接着剤等の固定化手段を用いる必要がなく、終点検出窓用部材10の着脱も容易となる。例えば、接着剤等を使用した場合には、接着力が弱い場合には位置ずれや脱落が生じることが懸念されるほか、接着力が強い場合には硬化工程後に位置固定治具30から終点検出窓用部材10を取り外すことが困難となる。これに対して、挟持部31を用いる場合は、少なくとも一方向から終点検出窓用部材10を挟み込めればよく、その挟み込みの力を弱めることで容易に着脱することができる。さらに、接着剤を用いる場合には、終点検出窓用部材10の接着面をサンドペーパー等で削って平坦とするようにするなどの処理が必要となるが、挟持部31を用いる場合にはそのような処置も不要となる。
挟持部31は、上記のように終点検出窓用部材10を挟持して固定するものであれば特に制限されず、終点検出窓用部材10を挟み込む一又は複数の部材を有してもよいし、さらに挟持する力を調整するための調整部32を有してもよい。このなかでも、着脱の容易性の点から、はめ込むだけで終点検出窓用部材10を挟持できるように構成された挟持部31が好ましく、固定の強度を調整できる点で、調整部32を備える挟持部31が好ましい。
このような調整部32としては、例えば、図1のように終点検出窓用部材10を挟み込む複数の部材(挟持部31)を締め付けるネジやバネなどであってもよい。図1では、調整部32(ネジ)を介して2つの部材からなる挟持部31が接続されており、調整部32によって、2つの部材からなる挟持部31の間の距離が調整可能とされている。これにより調整部32によって挟持部31の間の距離が短くなるように締め付けることで、終点検出窓用部材10の側面が押さえつけられ、挟持する力が調整される。
また、調整部32としては、例えば、図2のように挟持部31とともに終点検出窓用部材10を締め付けるネジやバネなどであってもよい。図2では、挟持部31の側面から貫通した調整部32(ネジ)の底部が終点検出窓用部材10の側面を押さえつけ、これにより、挟持部31内壁と調整部32(ネジ)の底部の押さえつける力によって、挟持する力が調整される。
なお、挟持部31や調整部32の形態は、上記に制限されることなく、その他にも挟持する力を強く又は弱くできるよう構成されたものであれば、任意の構造を有することができる。
位置固定治具30は、終点検出窓用部材10が挿通される貫通孔33を有してもよく、この際、挟持部31は、貫通孔33に挿通された終点検出窓用部材10を挟持してもよい。このように位置固定治具30にあらかじめ設けられた貫通孔33に対して終点検出窓用部材10を挿通しこれを挟持することで、貫通孔33に応じて容易に位置決めを行うことができる。
挟持部31は終点検出窓用部材10をより容易に着脱可能に挟持することができる。これにより、終点検出窓用部材10の取り外しが容易となり、硬化性樹脂が硬化するまでは挟持部31を弛めて、終点検出窓用部材10の埋設位置を微調整することができる。そのため、そのような微調整により製造歩留まりを向上することもできる。また、硬化性樹脂が硬化した後には、挟持部31を弛めて、挟持部31から終点検出窓用部材10を取り外すことにより、位置固定治具30と得られた樹脂シート50を分離することができる。
図3及び図4に、樹脂シートを作製するための金型20の上面図を示し、図5に、金型20に硬化性樹脂を注入する前の図3におけるA-A’の断面図を示す。図3~5において示す金型20は、図2で示す態様の終点検出窓用部材10を図4で示す態様の調整部32により固定する位置固定治具30を備える。図3及び図5に示すように、位置固定治具30は金型20の上部に設置されており、終点検出窓用部材10は位置固定治具30の挟持部31により挟持されることで、鉛直下向きに吊り下げられて固定されている。
また、金型20の形状は、特に限定されないが、例えば、樹脂シートを形成するための扁平な金型とすることができ、樹脂シートを切り出すための樹脂ブロックを形成するような直方体状の金型であってもよい。位置固定治具30は、その金型20の上部を覆うように側壁22に接して固定されている。
位置固定治具30の金型20と接触する場所は、金型20の上部と嵌合可能な凹凸形状(第1嵌合部)を有していてもよい。また、金型20の位置固定治具30と接触する場所も、位置固定治具30と嵌合可能な凹凸形状(第2嵌合部)を有していてもよい。これにより、金型20に位置固定治具30を設置する際において、位置固定治具30の位置決めが容易になり、硬化工程ごとに終点検出窓用部材10の埋設位置がずれたりすることを抑制できる傾向にある。
位置固定治具30の素材は、特に限定されないが、例えば、硬化工程の熱でも変形しない程度の耐熱性の素材であればよく、例えば、アルミ合金やステンレス鋼が挙げられる。
1.1.3.硬化性樹脂
硬化工程では、上記のように金型20内に終点検出窓用部材10を固定し、該終点検出窓用部材10と接触した状態で硬化性樹脂40を硬化して、終点検出窓用部材10(終点検出窓51)が組み込まれた樹脂シート50を形成する。図4に、金型20に硬化性樹脂を注入した後の図2におけるA-A’の断面図を示す。
硬化工程では、上記のように金型20内に終点検出窓用部材10を固定し、該終点検出窓用部材10と接触した状態で硬化性樹脂40を硬化して、終点検出窓用部材10(終点検出窓51)が組み込まれた樹脂シート50を形成する。図4に、金型20に硬化性樹脂を注入した後の図2におけるA-A’の断面図を示す。
本実施形態においては、終点検出窓用部材10と接触した状態で硬化性樹脂40を硬化する態様であれば特に限定されず、図3のように金型20内に終点検出窓用部材10を固定してから、金型20に硬化性樹脂40を充填して硬化性樹脂40を硬化させてもよいし、金型20内に硬化性樹脂40を充填してから、終点検出窓用部材10を硬化性樹脂に接触させて、その後に硬化性樹脂40を硬化させてもよい。
硬化性樹脂としては、特に制限されないが、例えば、ポリエステル系ポリウレタン樹脂、ポリエーテル系ポリウレタン樹脂、及びポリカーボネート系ポリウレタン樹脂が挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。このようなポリウレタン樹脂としては、ポリイソシアネートとポリオールにより合成することができる。
1.2.スライス工程
スライス工程は、樹脂シートをスライスして研磨層を形成する工程である。図7~8に、硬化工程後に、金型20から外して、台座部12を除去して得られた樹脂シート50の上面図と断面図を示す。図7~8に示されるように、樹脂シートは終点検出窓用部材が埋設されたものである。
スライス工程は、樹脂シートをスライスして研磨層を形成する工程である。図7~8に、硬化工程後に、金型20から外して、台座部12を除去して得られた樹脂シート50の上面図と断面図を示す。図7~8に示されるように、樹脂シートは終点検出窓用部材が埋設されたものである。
スライス方法は、特に限定されないが、例えば、図7~8に示すような樹脂シートを、面方向に切断し、任意の厚さの研磨パッドとする方法が挙げられる。また、図9に示すように四角形上の研磨パッドは、円形状に切り出してもよい。
1.3.溝形成工程
本実施形態の研磨パッドの製造方法は、必要に応じて、研磨層の研磨面に溝加工を施す溝形成工程を有していてもよい(図10参照)。なお、光学終点検出に支障があるため、溝加工は、終点検出窓用部材の露出している部分には行わないことが好ましい。
本実施形態の研磨パッドの製造方法は、必要に応じて、研磨層の研磨面に溝加工を施す溝形成工程を有していてもよい(図10参照)。なお、光学終点検出に支障があるため、溝加工は、終点検出窓用部材の露出している部分には行わないことが好ましい。
1.4.その他の工程
本実施形態の研磨パッドの製造方法は、必要に応じて、研磨層の研磨面と反対側の面に、基材層及び/又はクッション層を積層する積層工程を有していてもよい。
本実施形態の研磨パッドの製造方法は、必要に応じて、研磨層の研磨面と反対側の面に、基材層及び/又はクッション層を積層する積層工程を有していてもよい。
2.研磨パッド
図9に、本実施形態の研磨パッドの概略斜視図を示し、図10に、図9における終点検出窓51の周辺の断面図を示す。図10に示すように、本実施形態の研磨パッドは、樹脂シート50(研磨層)と、終点検出窓51と、を有し、必要に応じて、研磨面50aとは反対側に、クッション層52を有していてもよい。
図9に、本実施形態の研磨パッドの概略斜視図を示し、図10に、図9における終点検出窓51の周辺の断面図を示す。図10に示すように、本実施形態の研磨パッドは、樹脂シート50(研磨層)と、終点検出窓51と、を有し、必要に応じて、研磨面50aとは反対側に、クッション層52を有していてもよい。
図10に示すように、樹脂シート50(研磨層)とクッション層52の間には、接着層53が設けられていてもよく、また、クッション層52の表面には、接着層54が設けられていてもよい。本実施形態の研磨パッドの研磨面50aは、平坦の場合の他、図10に示すように、溝55が形成された凹凸状であってもよい。溝55は複数の同心円状、格子状、放射状等の様々な形状の溝を単独又は併用して形成してもよい。
終点検出用窓51は樹脂シート50(研磨層)の開口に設けられた透明な部材であり、光学式の終点検出において、膜厚検出センサからの光の透過路となるものである。本実施形態において、終点検出用窓は円形であるが、必要に応じて、正方形、長方形、多角形、楕円形等の形状としてもよい。
樹脂シート50(研磨層)としては、特に限定されないが、例えば、ポリウレタンシートを用いることができる。このポリウレタンシートは終点検出用窓が埋設される開口を有する。開口の位置は特に制限されないが、研磨装置のテーブルに設置された膜厚検出センサに対応する半径方向の位置に設けることが好ましい。また、開口の数は特に制限されないが、テーブルに貼られた研磨パッドが一回転する際に、窓が膜厚検出センサ上を複数回通過するように、同様の半径方向の位置に複数個有することが好ましい。
本発明の研磨パッドの製造方法は、光学式の終点検出法に適した研磨パッドの効率的な製造方法として、産業上の利用可能性を有する。
10…終点検出窓用部材、11…柱状部、12…台座部、20…金型、21…底面、22…側壁、30…位置固定治具、31…挟持部、32…調整部、40…硬化性樹脂、50…樹脂シート、50a…研磨面、51…終点検出窓、52…クッション層、53…接着層、54…接着層、55…溝
Claims (9)
- 終点検出窓付き研磨層を備える研磨パッドの製造方法であって、
金型内に終点検出窓用部材を固定し、該終点検出窓用部材と接触した状態で硬化性樹脂を硬化して、前記終点検出窓用部材が組み込まれた樹脂シートを形成する硬化工程と、
前記樹脂シートをスライスして研磨層を形成するスライス工程と、を有し、
前記硬化工程において、前記終点検出窓用部材が、前記金型上部に設置した位置固定治具の挟持部により挟持されることで、吊り下げられて固定される、
研磨パッドの製造方法。 - 前記硬化工程において、前記金型内に硬化性樹脂を充填してから、前記終点検出窓用部材を前記硬化性樹脂に接触させて、前記硬化性樹脂を硬化する、
請求項1に記載の研磨パッドの製造方法。 - 前記硬化工程において、前記金型内に前記終点検出窓用部材を固定してから、硬化性樹脂を充填して硬化する、
請求項1に記載の研磨パッドの製造方法。 - 前記位置固定治具が、前記終点検出窓用部材が挿通される貫通孔を有し、
前記挟持部は、前記貫通孔に挿通された前記終点検出窓用部材を挟持する、
請求項1~3のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。 - 前記挟持部は、前記終点検出窓用部材を着脱可能に挟持する、
請求項1~4のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。 - 前記位置固定治具が、前記金型上部と嵌合する第1嵌合部を有する、
請求項1~5のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。 - 前記金型が、前記位置固定治具と嵌合する第2嵌合部を有する、
請求項1~6のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。 - 前記研磨層の研磨面に溝加工を施す溝形成工程を有し、
前記溝形成工程の前に前記終点検出窓用部材の露出している部分には、溝加工を行わない、
請求項1~7のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。 - 前記研磨層の研磨面と反対側の面に、基材層及び/又はクッション層を積層する積層工程を有する、
請求項1~8のいずれか一項に記載の研磨パッドの製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021156497A JP2023047530A (ja) | 2021-09-27 | 2021-09-27 | 研磨パッドの製造方法 |
PCT/JP2022/007227 WO2022202059A1 (ja) | 2021-03-24 | 2022-02-22 | 研磨パッドの製造方法 |
TW111107133A TW202245980A (zh) | 2021-03-24 | 2022-02-25 | 研磨墊的製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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JP2023047530A true JP2023047530A (ja) | 2023-04-06 |
Family
ID=85779474
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP2023047530A (ja) |
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2021
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