JP2023043494A5 - - Google Patents

Description

上記目的を達成するために、本発明の液体吐出装置は、基板を保持する基板ステージと、液体を吐出するノズルを有する吐出部と、前記ノズルから前記液体を吐出させるための信号を前記吐出部に与える制御部と、前記基板の上に吐出された液滴の大きさに関する情報を取得する取得部と、を有し、前記制御部は、互いに異なる液滴量を吐出するための複数の信号を前記吐出部に与えて、前記ノズルから前記基板の上に複数の液滴が吐出されるように制御し、前記取得部により取得された前記液滴の大きさに関する情報に基づいて、前記基板の上の前記複数の液滴それぞれに対応する信号を前記複数の信号のうちから特定することを特徴とする。

Claims (12)

1. 基板を保持する基板ステージと、
   液体を吐出するノズルを有する吐出部と、
   前記ノズルから前記液体を吐出させるための信号を前記吐出部に与える制御部と、
   前記基板の上に吐出された液滴の大きさに関する情報を取得する取得部と、を有し、
   前記制御部は、
   互いに異なる液滴量を吐出するための複数の信号を前記吐出部に与えて、前記ノズルから前記基板の上に複数の液滴が吐出されるように制御し、
   前記取得部により取得された前記液滴の大きさに関する情報に基づいて、前記基板の上の前記複数の液滴それぞれに対応する信号を前記複数の信号のうちから特定することを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記制御部は、特定された前記信号に対応する液滴の目標位置からのずれ量に基づいて、着弾位置を補正するための補正条件を決定することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記取得部は、液滴の着弾位置を取得し、
   前記制御部は、前記取得部で取得される前記液体の着弾位置を用いて、前記目標位置からのずれ量を特定することを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
4. 前記制御部は、前記補正条件として、前記ノズルに前記信号を与えるタイミングを決定することを特徴とする請求項２または３に記載の液体吐出装置。
5. 前記制御部は、前記補正条件として、前記基板ステージの駆動条件を決定することを特徴とする請求項２または３に記載の液体吐出装置。
6. 前記制御部は、所定の液滴量が吐出される信号に対応する液滴の目標位置からのずれ量に基づいて、着弾位置が補正されるように前記補正条件を決定することを特徴とする請求項２乃至５のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
7. 前記基板の上に吐出された液滴は、所定の速度で移動している前記基板ステージに保持された前記基板に対して、前記吐出部から吐出された液滴であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
8. 前記吐出部は、複数のノズルを有し、
   前記制御部は、隣接するノズルから、互いに異なる液滴量の液滴が隣接して着弾するように信号を与えることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液体吐出装置。
9. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載の液体吐出装置と、
   型を保持する型保持部と、
   硬化性組成物を硬化させる硬化部と、を有する成膜装置であって、
   前記吐出部から吐出される液体は硬化性組成物であり、
   前記制御部は、前記基板と前記型とが前記硬化性組成物を介して接触している状態で前記硬化部により前記硬化性組成物を硬化させ、膜を形成することを特徴とする成膜装置。
10. 請求項９に記載の成膜装置を用いて基板上に膜を形成する工程と、
    前記工程で形成された前記基板を加工する工程と、
    加工された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
11. 互いに異なる液滴量を吐出するための複数の信号を吐出部に与えて、液体を吐出するノズルから基板の上に複数の液滴を吐出する吐出工程と、
    前記吐出工程で吐出された前記基板の上の液滴の大きさに関する情報を取得する取得工程と、
    前記取得工程で取得された前記液滴の大きさに関する情報に基づいて、前記基板の上の前記複数の液滴それぞれに対応する信号を前記複数の信号のうちから特定する特定工程と、
    を有することを特徴とする液体吐出方法。
12. 前記特定工程で特定された信号に対応する液滴の目標位置からのずれ量に基づいて、着弾位置を補正するための補正条件を決定する決定工程をさらに有することを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出方法。