JP2023041312A - テープ廃棄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】テープ搬送ユニットからテープを箱体内に確実に落下させる。【解決手段】矩形の外形を有し中央部に円形の開口が形成されており一方の面側に粘着層を有するテープの外形よりも大きいサイズの開口を上部に有する直方体状の箱体と、フレームと、フレームの底面側に設けられた複数の吸引パッドと、を有し、複数の吸引パッドでテープを吸引保持した状態で、テープを箱体へ搬送可能なテープ搬送ユニットと、を備え、箱体は、それぞれ、箱体の開口の内周縁から中央部に向かって突出する様に配置され、弾性変形可能であり、１つの吸引パッドを挿入可能な貫通孔を有する、複数の弾性板ユニットを有し、複数の弾性板ユニットは、下降するテープに押し下げられると弾性的に変形することでテープの箱体への進入を許容し、上昇するテープの上面側を下方に押圧することで、テープの箱体からの退出を規制可能であるテープ廃棄装置を提供する。【選択図】図４

Description

本発明は、矩形の外形を有し中央部に円形の開口が形成されており一方の面側に粘着層を有するテープを廃棄するテープ廃棄装置に関する。

半導体ウェーハ等の円形の被加工物を複数のチップに個片化する際に、被加工物の外周よりも外側にはみ出る様に被加工物に貼り付けられた矩形のテープを四方に引張って拡張することで、被加工物を複数のチップに分割すると共にチップ間の間隔を拡張する加工装置が知られている（例えば、特許文献１及び２参照）。

チップ間の間隔を拡張した後、所定の径を有する開口部を含むリングフレームの一面を矩形状のテープに貼り付けることで、被加工物の径方向の外周部に対応する複数のチップの外側を囲む様にリングフレームを配置する。これにより、開口部に対応する領域に位置するテープを拡張した状態で固定し、チップ間の間隔を固定する。

テープは、通常、基材層と粘着層とが積層された積層構造を有しており、被加工物及びリングフレームは、この粘着層側に貼り付けられる。貼り付け後、リングフレームの開口部の径よりも大きく且つリングフレームの外径よりも小さい所定の径を有する円に沿ってテープを切断し、テープを、当該所定の径を有する円形領域と、矩形の外形と円形領域に対応する開口部とを有する外側領域とに、分離する。

テープの外側領域は、テープ廃棄装置のテープ搬送ユニットにより搬送され、上部に矩形の開口部を有する直方体状の箱体（ゴミ箱）へ廃棄される。テープ搬送ユニットは、このテープの一面の四隅を吸引するための複数の吸引パッドを有する。

吸引パッドは、テープの粘着層側に接する態様でテープを吸引保持するが、通常、吸引パッドのうち少なくともテープとの接触部分には、粘着層に対してくっつき難い材料（例えば、ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素樹脂）で形成された被覆層が設けられている。

テープ搬送ユニットは、例えば、テープの一面の四隅を吸引パッドで吸引した状態で箱体の上部へ移動し、開口部から箱体内へ進入した後、吸引パッドでの吸引を止める。そして、吸引パッドからエアを噴射することで、テープを箱体内へ落下させる。

しかし、使用回数を重ねるにつれて、例えば、吸引パッドの被覆層が劣化し、被覆層が部分的に剥がれることで、テープの粘着層が吸引パッドに貼り付いた状態となり、エアを噴射してもテープを箱体内へ落下させることができない場合がある。

特開２０１８－６３７０号公報 特開２０１９－１１０１８８号公報

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、テープ搬送ユニットからテープを箱体内に確実に落下させることを目的とする。

本発明の一態様によれば、矩形の外形を有し中央部に円形の開口が形成されており一方の面側に粘着層を有するテープを廃棄するテープ廃棄装置であって、該テープの外形よりも大きいサイズの開口を上部に有する直方体状の箱体と、フレームと、該フレームの底面側に設けられた複数の吸引パッドと、を有し、該複数の吸引パッドで該テープを吸引保持した状態で、該テープを該箱体へ搬送可能なテープ搬送ユニットと、を備え、該箱体は、それぞれ、該箱体の開口の内周縁から中央部に向かって突出する様に配置され、弾性変形可能であり、１つの吸引パッドを挿入可能な貫通孔を有する、複数の弾性板ユニットを有し、該複数の弾性板ユニットは、該テープを該複数の吸引パッドで吸引保持した該フレームが該箱体に対して相対的に下降して該テープを該箱体に進入させる際には、相対的に下降する該テープに押し下げられると弾性的に変形することで該テープの該箱体への進入を許容し、該箱体の内部において該複数の吸引パッドによる吸引を解除した後、該フレームが該箱体に対して相対的に上昇する際に該複数の吸引パッドの少なくとも１つの吸引パッドに該テープが貼り付いている場合は、相対的に上昇する該少なくとも１つの吸引パッドに対応する弾性板ユニットが該テープの上面側を下方に押圧することで、該少なくとも１つの吸引パッドから該テープを剥離させて、該テープの該箱体からの退出を規制するテープ廃棄装置が提供される。

好ましくは、該テープ搬送ユニットは、該テープの該一方の面側の四隅を吸引保持する４つの吸引パッドを有し、１つの弾性板ユニットの該貫通孔が１つの吸引パッドに対応する様に、該４つの吸引パッドは該フレームの異なる箇所に配置されている。

また、好ましくは、該複数の弾性板ユニットの各々は、少なくとも外表面がフッ素樹脂で覆われているベース板と、該ベース板の下方への押圧による変形を許容するが、該ベース板の上方への押圧による変形を抑制する様に、該ベース板の底面側に配置された発泡ウレタン樹脂製のブロックと、を含む。

本発明の一態様に係るテープ廃棄装置は、テープの粘着層が吸引パッドに貼り付き、エアを噴射してもテープを落下させることができない場合であっても、弾性板ユニットにより吸引パッドからテープを剥離させることができるので、テープを箱体内に確実に落下させることができる。

テープ拡張装置の斜視図である。 被加工物ユニットの斜視図である。 図３（Ａ）テープの外側領域の上面図であり、図３（Ｂ）はテープの側面図である。 テープ搬送ユニット及び箱体の拡大斜視図である。 図５（Ａ）は１つの弾性板ユニットの上面図であり、図５（Ｂ）は図５（Ａ）のＡ‐Ａ断面図である。 箱体の直上に配置されたテープ搬送ユニット等の一部断面側面図である。 箱体内に進入するテープ搬送ユニット等を示す角部近傍の上面図である。 箱体内に進入するテープ搬送ユニット等の一部断面側面図である。 テープにエアを噴射するときのテープ搬送ユニット等の一部断面側面図である。 上昇するテープ搬送ユニット等の一部断面側面図である。 テープ搬送ユニットから落下するテープ等の一部断面側面図である。 図１２（Ａ）は第２の実施形態に係る１つの弾性板ユニットの上面図であり、図１２（Ｂ）は図１２（Ａ）のＣ‐Ｃ断面図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、テープ拡張装置２の斜視図である。図１に示す様に、テープ拡張装置２は、テープ搬送ユニット６及び箱体８を備えるテープ廃棄装置４を含む。

テープ拡張装置２は、円板状の被加工物１１に、伸縮性を有する矩形状のテープ（即ち、エキスパンドテープ）１３を貼り付けた後、テープ１３を四方に拡張し、次いで、被加工物１１の外周縁よりも外側に位置するテープ１３の所定領域に、被加工物１１の径よりも大きな径の開口１７ａを有するリングフレーム１７を貼り付ける（図２参照）。

その後、テープ１３の中央部を円形に切り取り、この円形の外側領域をテープ搬送ユニット６で箱体８へ搬送する。ここで、図２を参照し、被加工物１１について説明する。図２は、被加工物１１を含む被加工物ユニット１９の斜視図である。被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料で形成された半導体ウェーハである。

被加工物１１の表面１１ａ側には、複数の分割予定ライン（不図示）が格子状に設定されている。分割予定ラインで区画された各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイス１５が形成されている。但し、デバイス１５の種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等に制限はない。

各分割予定ラインに沿って被加工物１１の異なる深さ位置には、レーザー加工装置（不図示）を用いて複数の改質層（不図示）が形成されている。改質層は、デバイス１５が形成されている領域に比べて機械的強度が脆弱な領域である。

改質層は、例えば、保護テープ（不図示）を介して表面１１ａ側をチャックテーブル（不図示）で吸引保持した状態で、裏面１１ｂ側からパルス状のレーザービームを照射することで形成できる。

具体的には、被加工物１１を透過する波長を有するパルス状のレーザービームの集光点を被加工物１１の内部の所定の深さに位置付けた状態で、この集光点を分割予定ラインに沿って相対的に移動させることで、改質層を形成できる。

各分割予定ラインに１又は複数の改質層を形成した後、上述のテープ１３を裏面１１ｂ側に貼り付ける。テープ１３の貼り付けは、テープ拡張装置２のテープ供給ユニット１０、貼付ユニット１２、受渡ユニット４０等を用いて行われる。

ここで、図１に戻って、テープ拡張装置２の構成要素について説明する。図１に示す、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向は互いに直交する方向である。＋Ｘ方向及び－Ｘ方向は逆向きであり、共にＸ軸方向と平行である。

同様に、＋Ｙ方向及び－Ｙ方向は逆向きであり、共にＹ軸方向と平行である。また、＋Ｚ方向及び－Ｚ方向は逆向きであり、共にＺ軸方向と平行である。なお、本明細書では、＋Ｚ方向を上方、－Ｚ方向を下方、と称することがある。

テープ拡張装置２は、平板状の基台２ａを備える。基台２ａの－Ｘ方向及び－Ｙ方向の角部には、被加工物１１にテープ１３を供給するためのテープ供給ユニット１０が配置されている。

テープ供給ユニット１０には、例えば、離型フィルム付きのテープ１３がロール状に巻回されたロール体（不図示）が配置されている。巻回されているテープ１３の短辺方向の幅は、被加工物１１の径よりも大きい。

テープ１３は、樹脂製の基材層１３ａ（図３（Ｂ）参照）を有する。基材層１３ａは、例えば、伸縮性を有するポリオレフィン等で形成されている。基材層１３ａの一面の全体には、樹脂製の粘着層（糊層）１３ｂが形成されている（図３（Ｂ）参照）。

この様に、テープ１３の一方の面１３ｃ側の全体には、粘着層１３ｂが形成されている。粘着層１３ｂは、例えば、紫外線硬化樹脂で形成されているが、熱硬化性樹脂等の他の材料で形成されてもよい。

テープ供給ユニット１０は、ロール体から離型フィルム付きのテープ１３を送り出す送出ローラー（不図示）と、離型フィルム付きのテープ１３から離型フィルムを剥がす剥離プレート（不図示）と、を有する。

更に、テープ供給ユニット１０は、剥離された離型フィルムを巻き取る巻取ローラー（不図示）と、離型フィルムが剥離されたテープ１３の基材層１３ａ側を支持する貼付ローラー（不図示）と、を有する。

テープ供給ユニット１０の上方には、被加工物１１を吸引保持した状態で、テープ１３の粘着層１３ｂ側に被加工物１１を押し付ける貼付ユニット１２が配置されている。貼付ユニット１２は、円板状の第１チャックテーブル１４を有する。

第１チャックテーブル１４は、所定の流路を介してエジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている略平坦な保持面１４ａを有する。保持面１４ａは、負圧により対象物を吸引保持する。保持面１４ａの反対側には、平板状のベース部１６が固定されている。

ベース部１６は、Ｘ軸方向と略平行に配置された回転軸１８の周りに回転可能である。回転軸１８には、モータ等の駆動源（不図示）が連結されており、第１チャックテーブル１４は、駆動源により、保持面１４ａが上方を向いた状態と、保持面１４ａが下方を向いた状態と、に位置付けられる。

第１チャックテーブル１４は、枠体２０を介してエアシリンダ２２に固定されている。エアシリンダ２２は、第１チャックテーブル１４をＺ軸方向に沿って移動させる。エアシリンダ２２は、第１チャックテーブル１４の径よりも大径の貫通穴２４ａを含む支持板２４で支持されている。

支持板２４の－Ｘ方向の一辺には、テープ１３を切断するための切刃（不図示）を有する切刃部２６と、切刃を加熱するためのヒーター２８と、が配置されている。切刃部２６は、支持板２４に設けられた移動機構（不図示）により、Ｙ軸方向に沿って移動可能に構成されている。

支持板２４の＋Ｙ方向の一辺には、貼付ユニット１２をＸ軸方向に沿って移動させるボールねじ式のＸ軸方向移動機構３０が設けられている。Ｘ軸方向移動機構３０は、Ｘ軸方向に略平行に配置された一対のガイドレール３２を有する。

一対のガイドレール３２には、Ｘ軸方向にスライド可能に移動板３４が取り付けられている。移動板３４の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｘ軸方向に略平行に配置されたボールねじ３６が回転可能に連結されている。

ボールねじ３６の一端部には、モータ等の回転駆動源３８が連結されている。回転駆動源３８を動作させれば、移動板３４がＸ軸方向に沿って移動する。ここで、被加工物１１の裏面１１ｂ側にテープ１３を貼り付ける手順を説明する。

まず、貼付ユニット１２をテープ供給ユニット１０の上方に配置する。そして、保持面１４ａを上方に向けた状態で、保護テープ（不図示）を介して表面１１ａ側が保持面１４ａと対向する様に、保持面１４ａ上に被加工物１１を載置する。

その後、保持面１４ａで表面１１ａ側を吸引保持した状態で、回転軸１８を回転させて保持面１４ａを下方に向け、更に、エアシリンダ２２を動作させて第１チャックテーブル１４を下方に移動させる。

このとき、テープ１３は、粘着層１３ｂが上方に露出する様に支持板２４の下方に送り出されており、貫通穴２４ａを介して第１チャックテーブル１４が下方に移動することで、裏面１１ｂ側の全体に、テープ１３の粘着層１３ｂが貼り付けられる。

次に、切刃部２６をＹ軸方向に沿って移動させてテープ１３を切断する。これにより、テープ１３は略正方形（矩形）の外形を有する様に切り取られる（図２参照）。テープ１３が貼り付けられた被加工物１１は、貼付ユニット１２の下方に配置された受渡ユニット４０に載置される。

受渡ユニット４０は、矩形状の移動板４２を有する。移動板４２上には、Ｚ軸方向に沿う所定の回転軸の周りに回転可能な円板状の支持板４４が設けられている。支持板４４の中央部には、支持板４４よりも＋Ｚ方向に突出する態様で円柱状のエアシリンダ４６が設けられている。

エアシリンダ４６の上端部には、円板状の第２チャックテーブル４８が設けられている。第２チャックテーブル４８は、その上面に円形で略平坦な保持面４８ａを有する。保持面４８ａには、エジェクタ等の吸引源（不図示）で生じた負圧が伝達される。

第２チャックテーブル４８の側部には、複数のクランプ機構５０が設けられている。本実施形態では、４つのクランプ機構５０が保持面４８ａの周方向に沿って略等間隔に設けられている。４つのクランプ機構５０は、保持面４８ａで吸引保持されたテープ１３の四隅を挟持する。

支持板４４の上面には、直方体状の支柱５２が設けられている。支柱５２の上端部には、２つのローラー部５４が略同じ高さ位置に設けられている。各ローラー部５４は、金属製の薄板で形成されたリング状のリングフレーム１７（図２参照）を、テープ１３に貼り付ける際に使用される。

支柱５２の上端部において、２つのローラー部５４の間には、１つの切刃部５６が設けられている。切刃部５６は、円板状の切刃を有する。切刃部５６は、リングフレーム１７が貼り付けられたテープ１３を、リングフレーム１７の開口１７ａ（図２参照）の外側を開口１７ａに沿って切り取る際に使用される。

各ローラー部５４の下部には、エアシリンダ（不図示）が設けられており、エアシリンダにより各ローラー部５４の高さが調節される。また、切刃部５６の下部にも、エアシリンダ（不図示）が設けられており、エアシリンダにより切刃部５６の高さが調節される。

移動板４２の下部には、ボールねじ式のＸ軸方向移動機構６０が設けられている。Ｘ軸方向移動機構６０は、Ｘ軸方向に略平行に配置された一対のガイドレール６２を有する。ガイドレール６２上には、移動板４２がＸ軸方向にスライド可能に取り付けられている。

移動板４２の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられている。ナット部には、Ｘ軸方向に略平行なボールねじ６４が回転可能に連結されている。ボールねじ６４の一端部には、モータ等の回転駆動源（不図示）が連結されている。

回転駆動源を動作させれば、移動板４２がＸ軸方向に沿って移動する。ところで、受渡ユニット４０よりも上方には、表面１１ａ側に貼り付けられた保護テープを剥離するための剥離機構７０が設けられている。

裏面１１ｂ側にテープ１３を貼り付けた後、移動板４２が＋Ｘ方向に移動すると共に、剥離機構７０により表面１１ａ側の保護テープが剥離される。保護テープの剥離後、移動板４２は、更に＋Ｘ方向に移動し、拡張ユニット７２の直下に移動する。

拡張ユニット７２は、Ｚ軸方向でそれぞれテープ１３を挟持する第１挟持ユニット７４Ａ、第２挟持ユニット７４Ｂ、第３挟持ユニット７４Ｃ、及び、第４挟持ユニット７４Ｄを有する。

第１挟持ユニット７４Ａ及び第２挟持ユニット７４Ｂは、Ｘ軸方向において向き合う様に配置されており、ボールねじ式の移動機構により、互いに近づく様に、又は、互いに離れる様に、Ｘ軸方向に沿って移動可能である。

第１挟持ユニット７４Ａ及び第２挟持ユニット７４Ｂの各々は、Ｙ軸方向に沿う長手部をそれぞれ有する上側挟持部及び下側挟持部を含む。上側挟持部及び下側挟持部は、ボールねじ式の移動機構により、互いに近づく様に、又は、互いに離れる様に、Ｚ軸方向に沿って移動可能である。

第３挟持ユニット７４Ｃ及び第４挟持ユニット７４Ｄは、Ｙ軸方向において向き合う様に配置されており、ボールねじ式の移動機構により、互いに近づく様に、又は、互いに離れる様に、Ｙ軸方向に沿って移動可能である。

第３挟持ユニット７４Ｃ及び第４挟持ユニット７４Ｄの各々は、Ｘ軸方向に沿う長手部をそれぞれ有する上側挟持部及び下側挟持部を含む。上側挟持部及び下側挟持部は、ボールねじ式の移動機構により、互いに近づく様に、又は、互いに離れる様に、Ｚ軸方向に沿って移動可能である。

拡張ユニット７２の直下に移動板４２が移動した後、テープ１３が上側挟持部及び下側挟持部の間の高さ位置となるまで、エアシリンダ４６が第２チャックテーブル４８を上昇させる。そして、テープ１３の四辺を上側挟持部及び下側挟持部で挟んだ後、エアシリンダ４６は、第２チャックテーブル４８を下降させる。

この様にして、被加工物１１及びテープ１３が拡張ユニット７２へ受け渡された後、拡張ユニット７２は、テープ１３をＸ‐Ｙ平面方向に沿って四方に拡張する。

具体的には、第１挟持ユニット７４Ａ及び第２挟持ユニット７４Ｂを、Ｘ軸方向で互いに離れる向きに移動させ、第３挟持ユニット７４Ｃ及び第４挟持ユニット７４Ｄを、Ｙ軸方向で互いに離れる向きに移動させる。

これにより、テープ１３が拡張されると共に、被加工物１１にはテープ１３の拡張に伴う外力が印加される。被加工物１１に印加された外力は改質層に作用し、被加工物１１は、改質層を起点として複数のチップ１５ａ（図２参照）に分割される。

被加工物１１の分割後、テープ１３の拡張状態を維持したまま、テープ１３の粘着層１３ｂに、リングフレーム１７の一面を貼り付ける。リングフレーム１７は、拡張ユニット７２の＋Ｙ方向に配置されているリングフレーム収容箱７６に収容されている。

リングフレーム１７は、基台２ａの上方に配置されているリングフレーム搬送ユニット７８により吸引された状態で、リングフレーム収容箱７６から搬出され、拡張ユニット７２で挟持されているテープ１３近傍の所定の高さ位置に配置される。

その後、リングフレーム搬送ユニット７８で吸引保持されたリングフレーム１７に対して、２つのローラー部５４を上昇させることで、ローラー部５４でテープ１３の下面側を上方へ押圧する。

そして、支持板４４を略３６０°回転させることで、拡張されたテープ１３の粘着層１３ｂに、リングフレーム１７の一面を貼り付ける。次いで、２つのローラー部５４を下降させて、入れ替わりに、切刃部５６を上昇させて、切刃がリングフレーム１７の一面に当たるまで切刃を上昇させてテープ１３に切り込む。

そして、再び、支持板４４を略３６０°回転させることで、テープ１３を円形に切り取る。これにより、円形状のテープ１３を介して、分割された被加工物１１（即ち、複数のチップ１５ａ）とリングフレーム１７とが一体化された被加工物ユニット１９が形成される。

図２は、被加工物ユニット１９の斜視図である。なお、図２では、切刃部５６による切り取り位置（テープ１３に形成される開口１３ｄに対応する）を破線で示す。被加工物ユニット１９は、その後、リングフレーム搬送ユニット７８により所定の加工領域へ搬出される。

被加工物ユニット１９が搬出された後、中央部に円形の開口１３ｄが形成されたテープ１３（即ち、テープ１３の外側領域）を廃棄する。図３（Ａ）は、テープ１３の外側領域の上面図であり、図３（Ｂ）は、テープ１３の側面図である。

テープ１３の外側領域は、テープ搬送ユニット６により、直方体状の箱体８へ搬送される。箱体８は、拡張ユニット７２の＋Ｙ方向に隣接し、且つ、リングフレーム収容箱７６の＋Ｘ方向に隣接して配置されている。

図４は、テープ搬送ユニット６及び箱体８の拡大斜視図である。テープ搬送ユニット６は、Ｚ軸方向に沿って配置された四角棒状のロッド６ａを有する。ロッド６ａの上端部には、Ｚ軸方向に沿ってロッド６ａを昇降させるエアシリンダ等の昇降機構（不図示）が設けられている。

また、昇降機構には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に沿ってロッド６ａを移動させるための移動機構（不図示）が設けられている。ロッド６ａの下端部には、長手部がＹ軸方向に沿って配置された四角棒状の接続部６ｂが固定されている。

接続部６ｂのＹ軸方向の両端部には、長手部がＸ軸方向に沿う様にそれぞれ配置された四角棒状のアーム部６ｃの長手方向の中間部分が固定されている。接続部６ｂ及び２つのアーム部６ｃは、上面視で略Ｈ字形状である。

本実施形態において、接続部６ｂ及び２つのアーム部６ｃは、フレーム６ｄを形成している。各アーム部６ｃの長手方向の両端部の底面側には、吸引パッド６ｅが設けられているので、フレーム６ｄには、合計で４つの吸引パッド６ｅが設けられている。

４つの吸引パッド６ｅは、後述する弾性板ユニット８０の１つの貫通孔９４に１つの吸引パッド６ｅが対応する様に、フレーム６ｄの異なる箇所に配置されている。吸引パッド６ｅは、テープ１３に接触する態様でテープ１３を負圧により吸引保持する。

吸引パッド６ｅの吸引口（不図示）には、Ｚ軸方向に沿って配置され所定の長さを有する円柱状の導管６ｆが接続されている。バキュームポンプ、エジェクタ等の吸引源（不図示）で発生した負圧は、導管６ｆを介して吸引パッド６ｅに伝達される。

なお、吸引パッド６ｅの吸引口と、吸引源と、を接続する第１流路（不図示）には、第１電磁弁（不図示）が設けられている。第１電磁弁を開閉することで、吸引口への負圧の伝達が制御される。

また、導管６ｆを介して吸引パッド６ｅには、エア供給源（不図示）からエア６ｇ（図９参照）が供給される。吸引口と、エア供給源とは、第２流路（不図示）で接続されており、第２流路には、第２電磁弁（不図示）が設けられている。第２電磁弁を開閉することで、吸引口へのエア６ｇの供給が制御される。

吸引パッド６ｅのテープ１３との接触領域は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂で形成された被覆層で覆われているが、使用回数を重ねるにつれて、被覆層が劣化し、被覆層が部分的に剥がれることがある。

テープ搬送ユニット６がテープ１３を箱体８に廃棄する際には、リングフレーム搬送ユニット７８が拡張ユニット７２近傍から被加工物ユニット１９を搬出した後、各挟持ユニットで挟持されているテープ１３の外周部を、テープ搬送ユニット６の各吸引パッド６ｅが吸引保持する。

各挟持ユニットがテープ１３の挟持を解除した後、テープ搬送ユニット６は、４つの吸引パッド６ｅで開口１３ｄが形成されたテープ１３の四隅を吸引保持した状態で、上昇及び平行移動して、箱体８の上方へテープ１３を搬送する。

箱体８は、開口８ａを上部に有する。開口８ａは、略正方形のテープ１３の外形の一辺よりもそれぞれ長い各辺を有する。つまり、開口８ａのサイズは、テープ１３の外形よりも大きい。例えば、テープ１３の外形は、各辺が４００ｍｍの正方形であるのに対して、開口８ａは、各辺が４２０ｍｍの正方形である。

通常、テープ搬送ユニット６が下降して開口８ａから箱体８内へ進入した後、吸引パッド６ｅでの負圧を解除し、次いで、エア６ｇ（図９参照）を噴射することで、吸引パッド６ｅからテープ１３を落下させる。しかし、上述の様に、テープ１３が吸引パッド６ｅに貼り付いて、剥がれ難い場合がある。

そこで、本実施形態では、箱体８の開口８ａに設けられた複数の弾性板ユニット８０を利用して、吸引パッド６ｅからテープ１３を剥離する。各弾性板ユニット８０は、吸引パッド６ｅ及びテープ１３の箱体８への進入を許容するが、テープ１３の箱体８からの退出を規制する機能を有する。

ここで、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）を参照し、弾性板ユニット８０について説明する。図５（Ａ）は、１つの弾性板ユニット８０の上面図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のＡ‐Ａ断面図である。

本実施形態において、開口８ａの角部８ｂには、１つの弾性板ユニット８０が設けられている。１つの弾性板ユニット８０は、一対の爪部材８２を有する。爪部材８２は、弾性変形可能な材料で形成されたベース板８４を有する。

本実施形態のベース板８４は、ＰＴＦＥ等のフッ素樹脂で形成されている。但し、ベース板８４をフッ素樹脂以外の弾性変形可能な材料で形成し、少なくともその外表面をフッ素樹脂で覆ってもよい。

ベース板８４は、箱体８の開口８ａの内周縁から中央部に向かって突出する様に配置された梁部８６を含む。梁部８６の基端部には、箱体８の内周側面に固定された矩形板状の固定部８８が設けられている。

梁部８６は、固定部８８の上端部に接続している梁基端部８６ａを含む。梁基端部８６ａは、固定部８８と同様に、比較的広い幅を有する。固定部８８及び梁基端部８６ａの幅Ｂ１は、例えば、３ｃｍ以上５ｃｍ以下の所定値である。

梁基端部８６ａの固定部８８とは反対側には、比較的幅が狭い梁先端部８６ｂが設けられている。梁先端部８６ｂは、梁基端部８６ａの幅方向において、開口８ａの角部８ｂから離れた位置にある。

梁先端部８６ｂは、その先端近傍に、箱体８の内周側面から離れる方向に進むにつれて幅が狭くなる三角形状領域を有する。箱体８の内周側面から梁先端部８６ｂの先端位置までの突出量Ｂ２は、固定部８８及び梁基端部８６ａの幅Ｂ１と略同じであり、例えば、３ｃｍ以上５ｃｍ以下の所定値である。

開口８ａの角部８ｂに配置された一対の梁部８６は、互いに離れた状態で、この角部８ｂを通る開口８ａの対角線８ｃに対して線対称に配置されている。線対称に配置されている一対の梁先端部８６ｂの間には、直線状の隙間９２が対角線８ｃに沿って形成される。

隙間９２の近傍には、隙間９２に接続する態様で、略矩形の貫通孔９４が形成されている。貫通孔９４は、それぞれ線対称に配置されている一対の梁基端部８６ａ及び一対の梁先端部８６ｂで囲まれた領域に位置する。

貫通孔９４の各辺の長さは、吸引パッド６ｅの径に略等しいか、それよりも少し大きい。それゆえ、１つの貫通孔９４には、１つの吸引パッド６ｅを挿入可能である。対角線８ｃ上において、貫通孔９４に対して隙間９２と反対側には、略矩形状の隙間９６が形成されている。

隙間９６は、対角線８ｃに沿う方向で貫通孔９４に接続されている。隙間９６は、例えば、開口８ａを通じて箱体８内へ搬送されるテープ１３の角部の進入を許容する。但し、隙間９６は必須ではなく、一対の爪部材８２は、隙間９６を塞ぐ様に接続されてもよい。

梁部８６の梁基端部８６ａと、固定部８８とは、直交する態様で接続されており、梁基端部８６ａの底面と、固定部８８の内側側面とには、発泡ウレタン樹脂製の直方体状のブロック９８が接着剤等で固定されている。

なお、図５（Ａ）では、便宜上、ブロック９８が設けられている領域を、破線及びドットで示す。ブロック９８は、梁基端部８６ａの底面側全体に配置されており、梁先端部８６ｂの底面側には設けられていない。

発泡ウレタン樹脂は、外力により比較的容易に圧縮変形するので、ブロック９８と一体的に固定されている梁部８６は、下向きの外力に対して比較的、変形し易い。

それゆえ、テープ１３を吸引保持したテープ搬送ユニット６が開口８ａから箱体８内へ進入するとき、テープ１３及び／又は吸引パッド６ｅでベース板８４の梁部８６を下方へ押圧すると、梁部８６及びブロック９８は容易に変形する（つまり、ブロック９８は変形を許容する）。

これに対して、発泡ウレタン樹脂製のブロック９８は、圧縮時の外力と同程度の外力で引張られても容易には変形し難い。それゆえ、ブロック９８と一体的に固定されている梁部８６は、ブロック９８が無い場合に比べて、上向きの外力に対して変形し難い。

例えば、テープ１３が吸引パッド６ｅに貼り付いた状態で、テープ搬送ユニット６が開口８ａから箱体８外へ出るとき、ベース板８４の梁部８６はテープ１３で上方へ押圧される。

しかし、吸引パッド６ｅに貼り付いたテープ１３で梁部８６を押し上げても、梁部８６に固定されているブロック９８は略変形しない（つまり、ブロック９８は変形を抑制する）。

それゆえ、テープ搬送ユニット６が上方へ移動する場合、吸引パッド６ｅに貼り付いていたテープ１３は、梁部８６により上方への移動が規制される。テープ搬送ユニット６が上方へ移動するにつれて、このテープ１３は、吸引パッド６ｅから剥がれた後、自重で下方へ落下する。

図１に戻って、テープ拡張装置２は、テープ搬送ユニット６等の各構成要素の動作を制御する制御ユニット１００を有する。制御ユニット１００は、例えば、ＣＰＵ（Central Processing Unit）に代表されるプロセッサ（処理装置）と、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）等の主記憶装置と、フラッシュメモリ等の補助記憶装置と、を含むコンピュータによって構成されている。

補助記憶装置には、所定のプログラムを含むソフトウェアが記憶されている。このソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御ユニット１００の機能が実現される。

次に、図６から図１１を参照し、テープ搬送ユニット６がテープ１３を箱体８へ搬送し廃棄する様子を説明する。上述の様に、拡張ユニット７２からテープ１３を受け取って吸引保持したテープ搬送ユニット６は、箱体８の上方に移動する。

図６は、箱体８の直上に配置されたテープ搬送ユニット６等の一部断面側面図である。なお、図６では、便宜的に、箱体８の＋Ｙ方向側に位置し、且つ、Ｘ軸方向に沿って突出する２つの爪部材８２等を示している。なお、貫通孔９４に対応する範囲を便宜的に破線で示す。後述する図９から図１１でも同様である。

テープ搬送ユニット６は、テープ１３の外周がＸ‐Ｙ平面において開口８ａの内側に対応する位置まで移動したら、下降を開始する。４つの吸引パッド６ｅでテープ１３を吸引保持したフレーム６ｄが、箱体８に対して相対的に下降すると、テープ１３が箱体８に進入する。

図７は、箱体８内に進入するテープ搬送ユニット６等を示す角部８ｂ近傍の上面図であり、図８は、箱体８内に進入するテープ搬送ユニット６等の一部断面側面図である。

図８に示す様に、テープ１３が箱体８へ進入するとき、それぞれの弾性板ユニット８０（即ち、各一対の爪部材８２及びブロック９８）は、相対的に下降するテープ１３により押し下げられ、弾性的に変形する。

テープ搬送ユニット６は、図９に示す様に、各吸引パッド６ｅが梁部８６よりも下方の箱体８の内部に位置するが、アーム部６ｃが箱体８に入らない高さ位置まで下降する。テープ１３を箱体８内の所定の高さ位置に配置した後、テープ搬送ユニット６は、下降を停止する。

次いで、吸引パッド６ｅと吸引源とを接続している第１流路で閉じることで、吸引パッド６ｅによるテープ１３の吸引を解除する。その後、吸引パッド６ｅとエア供給源とを接続している第２流路を開いて、吸引パッド６ｅからエア６ｇを噴射する。

図９は、テープ１３にエア６ｇを噴射するときのテープ搬送ユニット６等の一部断面側面図である。但し、上述の様に、少なくとも１つの吸引パッド６ｅにテープ１３が貼り付いている場合には、エア６ｇを噴射しても、吸引パッド６ｅからテープ１３が剥がれ難い場合がある。

そこで、本実施形態では、エア６ｇの噴射後に、フレーム６ｄを箱体８に対して相対的に上昇させる。図１０は、エア６ｇの噴射後に上昇するテープ搬送ユニット６等の一部断面側面図である。

吸引パッド６ｅが相対的に上昇するにつれて、少なくとも１つの吸引パッド６ｅにテープ１３が貼り付いている場合には、テープ１３が貼り付いている吸引パッド６ｅに対応する１又は複数の弾性板ユニット８０が、相対的にテープ１３の一方の面（上面）１３ｃ側を下方に押圧する。

上述の様に、ブロック９８は、引張り方向の外力に対して変形し難いので、吸引パッド６ｅに貼り付いたテープ１３がベース板８４の梁部８６を上方へ押圧しても、梁部８６は変形し難い。テープ１３は、梁部８６により、下向きの外力を受けて、吸引パッド６ｅから剥離される。

それゆえ、テープ１３の箱体８からの退出を規制し、テープ１３を箱体８内に確実に落下させることができる。図１１は、テープ搬送ユニット６から落下するテープ１３等の一部断面側面図である。

次に、第２の実施形態について説明する。図１２（Ａ）は、第２の実施形態に係る１つの弾性板ユニット１１０の上面図であり、図１２（Ｂ）は、図１２（Ａ）のＣ‐Ｃ断面図である。

１つの弾性板ユニット１１０は、角部８ｂに設けられた環状のベース板１１２を有する。ベース板１１２は、弾性変形可能な材料（本実施形態では、ＰＴＦＥ等のフッ素樹脂）で形成されている。

但し、ベース板１１２をフッ素樹脂以外の弾性変形可能な材料で形成し、少なくともその外表面をフッ素樹脂で覆ってもよい。ベース板１１２は、箱体８の開口８ａの内周縁から中央部に向かって突出する様に配置されており、上面視で略矩形の外形を有する。

ベース板１１２は、直線状の切り欠き１１４を有する。切り欠き１１４は、角部８ｂを通る対角線８ｃに位置するベース板１１２の２つの角部のうち、この角部８ｂから遠い方の角部において、対角線８ｃに沿って形成されている。

切り欠き１１４は、ベース板１１２の中央部に形成された円形の貫通孔１１６とつながっている。貫通孔１１６の径は、吸引パッド６ｅの径に略等しいか又はそれよりも少し大きい。貫通孔１１６には、吸引パッド６ｅを挿入可能である。

ベース板１１２の底面と、箱体８の角部８ｂを構成する２つの側面とには、発泡ウレタン樹脂製で環状のブロック１１８が接着剤等で固定されている。この様に、ブロック１１８は、ベース板１１２の底面側に配置されている。

なお、図１２（Ａ）では、便宜上、ブロック１１８が設けられている領域を、破線及びドットで示す。ブロック１１８は、切り欠き１１４近傍を除く貫通孔１１６の周りにおいて、貫通孔１１６よりも外側に配置されている。

具体的には、ブロック１１８は、切り欠き１１４近傍を除く貫通孔１１６の外側において、対角線８ｃに線対称な所定角度αの範囲に形成されている。所定角度αは、図１２（Ａ）の例では、２７０°であるが、１８０°以上３００°以下の範囲で適宜定めてよい。

第２の実施形態においても、テープ１３を吸引保持したテープ搬送ユニット６が開口８ａから箱体８内へ進入するとき、テープ１３でベース板１１２を下方へ押圧すると、ブロック１１８は容易に変形する。

これに対して、テープ１３が吸引パッド６ｅに貼り付いたテープ搬送ユニット６が開口８ａから箱体８外へ出るとき、ベース板１１２はテープ１３で上方へ押圧されるが、このときブロック１１８は略変形しない。

それゆえ、本実施形態のベース板１１２も、第１の実施形態の梁部８６と同様に、テープ１３の箱体８からの退出を規制し、テープ１３を箱体８内に確実に落下させることができる。その他、上述の実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

一例として、弾性板ユニット８０は、発泡ウレタン樹脂製のブロック９８に代えて、圧縮方向の外力に対しては変形を許容するが、引張方向の外力に対しては変形を抑制する他の材料やメカニズムを採用してもよい。

例えば、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示す、梁基端部８６ａの底面と、固定部８８の側面とを、可撓性部材で接続してもよい。可撓性部材としては、例えば、１又は複数の棒やシートを用いることができる。棒、シートは、例えば、発泡ウレタン樹脂で形成されるが、発泡ウレタン樹脂以外の材料で形成されてもよい。

この様な可撓性部材は、圧縮方向の外力に対しては、任意の方向に折れ曲がることで変形を許容するが、引張方向の外力に対しては、比較的変形し難いので、変形が抑制される。また、可撓性部材に代えて、クランク機構を利用してもよい。

例えば、クランク機構は、梁基端部８６ａの底面に対して一端が回転可能に固定された第１棒と、固定部８８の側面に対して一端が回転可能に固定された第２棒と、を有する。また、第１棒の他端と、第２棒の他端とは、クランクピンにより回転可能に連結される。

但し、第１棒及び第２棒は、第１棒の一端と第２棒の一端とが近づく様にクランクピン周りに回転できるが、クランクピンを回転軸とする第１棒及び第２棒の開き角度は、所定の角度範囲以上には開かない様に適宜制限されている。

クランク機構に代えて、リンク機構を採用してもよい。弾性板ユニット１１０における発泡ウレタン樹脂製のブロック１１８についても同様に、可撓性部材、クランク機構、リンク機構等を適用できる。

２：テープ拡張装置、２ａ：基台、４：テープ廃棄装置
６：テープ搬送ユニット、６ａ：ロッド、６ｂ：接続部、６ｃ：アーム部
６ｄ：フレーム、６ｅ：吸引パッド、６ｆ：導管、６ｇ：エア
８：箱体、８ａ：開口、８ｂ：角部、８ｃ：対角線
１０：テープ供給ユニット、１２：貼付ユニット
１１：被加工物、１１ａ：表面、１１ｂ：裏面
１３：テープ、１３ａ：基材層、１３ｂ：粘着層
１３ｃ：一方の面（上面）、１３ｄ：開口
１４：第１チャックテーブル、１４ａ：保持面
１５：デバイス、１５ａ：チップ
１７：リングフレーム、１７ａ：開口、１９：被加工物ユニット
１６：ベース部、１８：回転軸、２０：枠体、２２：エアシリンダ
２４：支持板、２４ａ：貫通穴、２６：切刃部、２８：ヒーター
３０：Ｘ軸方向移動機構、３２：ガイドレール
３４：移動板、３６：ボールねじ、３８：回転駆動源
４０：受渡ユニット、４２：移動板、４４：支持板、４６：エアシリンダ
４８：第２チャックテーブル、４８ａ：保持面、５０：クランプ機構
５２：支柱、５４：ローラー部、５６：切刃部
６０：Ｘ軸方向移動機構、６２：ガイドレール、６４：ボールねじ
７０：剥離機構、７２：拡張ユニット
７４Ａ：第１挟持ユニット、７４Ｂ：第２挟持ユニット
７４Ｃ：第３挟持ユニット、７４Ｄ：第４挟持ユニット
７６：リングフレーム収容箱、７８：リングフレーム搬送ユニット
８０：弾性板ユニット
８２：爪部材
８４：ベース板、８６：梁部、８６ａ：梁基端部、８６ｂ：梁先端部、８８：固定部
９２：隙間、９４：貫通孔、９６：隙間、９８：ブロック
１００：制御ユニット
１１０：弾性板ユニット
１１２：ベース板、１１４：切り欠き、１１６：貫通孔、１１８：ブロック
α：所定角度、Ｂ１：幅、Ｂ２：突出量

Claims (3)

1. 矩形の外形を有し中央部に円形の開口が形成されており一方の面側に粘着層を有するテープを廃棄するテープ廃棄装置であって、
   該テープの外形よりも大きいサイズの開口を上部に有する直方体状の箱体と、
   フレームと、該フレームの底面側に設けられた複数の吸引パッドと、を有し、該複数の吸引パッドで該テープを吸引保持した状態で、該テープを該箱体へ搬送可能なテープ搬送ユニットと、を備え、
   該箱体は、それぞれ、該箱体の開口の内周縁から中央部に向かって突出する様に配置され、弾性変形可能であり、１つの吸引パッドを挿入可能な貫通孔を有する、複数の弾性板ユニットを有し、
   該複数の弾性板ユニットは、該テープを該複数の吸引パッドで吸引保持した該フレームが該箱体に対して相対的に下降して該テープを該箱体に進入させる際には、相対的に下降する該テープに押し下げられると弾性的に変形することで該テープの該箱体への進入を許容し、
   該箱体の内部において該複数の吸引パッドによる吸引を解除した後、該フレームが該箱体に対して相対的に上昇する際に該複数の吸引パッドの少なくとも１つの吸引パッドに該テープが貼り付いている場合は、相対的に上昇する該少なくとも１つの吸引パッドに対応する弾性板ユニットが該テープの上面側を下方に押圧することで、該少なくとも１つの吸引パッドから該テープを剥離させて、該テープの該箱体からの退出を規制することを特徴とするテープ廃棄装置。
2. 該テープ搬送ユニットは、該テープの該一方の面側の四隅を吸引保持する４つの吸引パッドを有し、
   １つの弾性板ユニットの該貫通孔が１つの吸引パッドに対応する様に、該４つの吸引パッドは該フレームの異なる箇所に配置されていることを特徴とする請求項１に記載のテープ廃棄装置。
3. 該複数の弾性板ユニットの各々は、
   少なくとも外表面がフッ素樹脂で覆われているベース板と、
   該ベース板の下方への押圧による変形を許容するが、該ベース板の上方への押圧による変形を抑制する様に、該ベース板の底面側に配置された発泡ウレタン樹脂製のブロックと、
   を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載のテープ廃棄装置。

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